KR102245520B1 - Foup에서 실시간 환경 센서를 사용하기 위한 시스템들, 디바이스들, 및 방법들 - Google Patents

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Abstract

본 개시물은 FOUP(front opening universal pod)의 환경을 모니터링하기 위한 시스템들 및 방법들을 제공한다. 시스템들 및 방법들은 FOUP 내에 배치되고 FOUP의 환경의 환경 파라미터들을 측정하도록 구성된 하나 이상의 환경 센서들, 및 하나 이상의 웨이퍼들을 홀딩하도록 구성되는 FOUP를 포함할 수 있다. 시스템들 및 방법들은 환경 센서와 통신하는 무선 송신기를 더 포함할 수 있으며, 무선 송신기는 FOUP 내에 배치되고 환경 센서로부터 측정된 환경 파라미터들을 송신하도록 구성될 수 있다.

Description

FOUP에서 실시간 환경 센서를 사용하기 위한 시스템들, 디바이스들, 및 방법들{SYSTEMS, DEVICES, AND METHODS FOR USING A REAL TIME ENVIRONMENT SENSOR IN A FOUP}
반도체 집적 회로(IC, integrated circuit) 산업은 기하급수적인 성장을 경험하였다. IC 재료들 및 디자인에 있어서의 기술적 진보는 각 세대가 이전 세대보다 더 작고 더 복잡한 회로들을 갖는 IC 세대를 생산해 냈다. IC 진화의 과정에서, 기능적 밀도(즉, 칩 면적 당 상호연결된 디바이스들의 개수)는 일반적으로 증가한 반면, 기하학적 사이즈(즉, 제조 프로세스를 사용하여 생성될 수 있는 가장 작은 컴포넌트 또는 라인)는 감소해 왔다. 이러한 스케일링 다운 프로세스는 일반적으로 생산 효율성을 증가시키고 관련 비용을 낮춤으로써 이점들을 제공한다. 이러한 스케일링 다운은 또한 IC를 프로세싱하고 제조하는데 있어서 복잡성을 증가시켜왔고, 이러한 진보들을 실현하기 위해서는, IC 프로세싱 및 제조에 있어서 마찬가지의 개발이 필요하다.
일 예로서, 반도체 리소그래피 프로세스들은 기판 상에 패턴들을 광학적으로 전사하기 위해 리소그래픽 템플릿들(예를 들어, 포토마스크들 또는 레티클들)을 사용하여 반도체 웨이퍼들을 프로세싱하는 것을 포함할 수 있다. 그러한 프로세스는, 예를 들어, 간섭 포토마스크(intervening photomask) 또는 레티클을 통해 복사선 소스를 웨이퍼 상의 감광성 재료(예를 들어, 포토레지스트) 코팅에 투사함으로써 달성될 수 있다. 그러한 리소그래피 프로세스에 의해 패터닝될 수 있는 최소 피처 사이즈는 투사된 복사선 소스의 파장에 의해 제한된다. 이러한 관점에서, 극자외선(EUV) 복사선 소스들과 같은 복사선 소스들을 포함하는 정확한 리소그래피 프로세스들이 도입되었다. 그러나, 이들 정밀한 프로세스들은 웨이퍼들이 오염 문제들에 매우 민감하게 만들 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 상에 도입된 입자 오염은 리소그래피적으로 전사된 패턴들의 현저한 열화를 초래할 수 있다. 입자 오염은 웨이퍼들의 취급 및 운반 동안 발생할 수 있다. 또한, 웨이퍼들은 온도, 습도, 및 다른 환경적 요인의 변화에 민감할 수 있다.
이러한 오염을 피하기 위해, 웨이퍼들은 프로세스들 간의 운반 및 홀딩을 위해 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 배치될 수 있다. FOUP들은 일반적으로 웨이퍼들을 위한 제어된 환경을 제공하도록 설계되는 전문화된 인클로저를 포함한다. 그러나, 기존의 운반 및 취급 프로세스는 FOUP들이 프로세싱 스테이지들 동안 또는 프로세싱 스테이지들 사이에("인라인(inline)") 환경의 측정을 제공하지 않으며, 대신에 단지 FOUP들이 프로세싱에서 제외될 때("오프라인") 환경적 요인들을 측정한다. 이것은 처리되지 않은 환경 문제들을 허용할 수 있으며, 이는 결국 웨이퍼들을 손상시킬 수 있다. 따라서 FOUP들의 기존의 환경 시스템들은 모든 면에서 완전히 만족스럽지는 않다.
본 발명개시는 첨부 도면들과 함께 아래의 상세한 설명을 읽음으로써 최상으로 이해된다. 본 산업계에서의 표준적인 관행에 따라, 다양한 피처들은 실척도로 작도되지 않았음을 강조해둔다. 다양한 피처들의 치수들은 논의의 명료성을 위해 임의적으로 증가되거나 또는 감소될 수 있다.
도 1은 본 개시물의 양상들에 따른 FOUP을 모니터링하기 위한 시스템의 도면이다.
도 2는 본 개시물의 양상들에 따른 하나 이상의 환경 센서를 갖는 FOUP의 도면이다.
도 3은 본 개시물의 양상들에 따른 하나 이상의 환경 센서를 갖는 FOUP의 또 다른 도면이다.
도 4는 본 개시물의 양상들에 따른 FOUP을 모니터링하기 위한 프로세스의 도면이다.
도 5는 본 개시물의 양상들에 따른 FOUP을 모니터링하기 위한 방법의 흐름도이다.
본 개시물은 FOUP의 환경을 모니터링하는 것과 관련된다. 본 개시물은 FOUP를 모니터링하는 것에 관하여 설명되지만, 민감한 디바이스들을 운반하거나 취급하는데 사용되는 임의의 디바이스가 본 발명으로부터 이점을 얻을 수 있음을 이해할 것이다.
아래의 개시내용은 발명의 상이한 피처들을 구현하기 위한 다수의 상이한 실시예들 또는 예시들을 제공하는 것으로 이해된다. 본 개시내용을 간략히 하기 위해 컴포넌트들 및 배열(arrangement)들의 특정 예시들이 아래에 설명된다. 이들은 단지 예시들에 불과하며, 한정하는 것으로 의도된 것은 아니다. 일부 항목들은 단순화된 형태로 도시되며, 본질적으로 당업계에 잘 알려진 컴포넌트들을 포함한다. 또한, 본 개시물은 상이한 예들에서 도면 번호들 및/또는 문자들을 반복할 수 있다. 이러한 반복은 간략화 및 명료화를 위한 것이지, 그러한 반복 그 자체가 개시된 다양한 실시예들 및/또는 구성 사이의 관계를 설명하는 것은 아니다.
도 1을 참조하면, 모니터링 시스템(100)의 도면이 도시된다. 모니터링 시스템(100)은 FOUP(102), 프로세싱 스테이지(120), 제어기(130), 및 디스플레이 디바이스(140)를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, FOUP(102)은 하나 이상의 환경 센서(110) 및 송신기(114)를 포함할 수 있다. 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP(102) 내에(예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이 FOUP(102)의 도어(222) 상에) 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP의 내부 환경의 환경 파라미터들을 측정하도록 구성된다. 특히, 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP의 환경 파라미터들의 실시간 측정을 제공할 수 있다. 이들 측정치들은 FOUP(102)에 배치될 수 있는 메모리(118)와 같은 하나 이상의 메모리 디바이스에 저장될 수 있다. 송신기(114)는 무선 송신기일 수 있고, 측정된 환경 파라미터들을 제어기(130)에 송신하도록 구성될 수 있다.
몇몇 실시예들에서, FOUP(102)의 실시간 모니터링은 FOUP(102) 내에 저장된 웨이퍼들에 대한 해를 방지할 수 있다. 몇몇 경우에 있어서, 웨이퍼들은 그들이 프로세싱 스테이지들 내에 있는 것보다 두배 초과의 시간 동안 FOUP(102) 내에 저장된다. 기존 시스템들은 스테이지들 사이의 환경 문제들을 식별하지 못할 수 있으며, 이는 웨이퍼들에 대한 손상의 위험을 증가시킬 수 있다. 따라서, 본 명세서에 제시된 실시예에 의해 제공되는 바와 같은 환경 문제들의 신속한 인지 및 치유(remedy)는 웨이퍼들에 대한 심각한 손상을 방지할 수 있다.
다른 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 특정 시간들에 FOUP(102)의 환경 파라미터들을 측정하도록 구성된다. 예를 들어, 하나 이상의 환경 센서(110)는 특정 프로세스 스테이지(120) 이전 및 이후에 FOUP(102)의 환경 파라미터들을 측정하도록 구성될 수 있다. 이것은 환경 센서들(110)에 의해 소비되는 전력의 양을 감소시키는 것을 도울 수 있다.
제어기(130)는 프로세서(132), 메모리(134), 송신기(136), 및 수신기(138)를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 제어기(130)는 환경 센서(110)로부터의 측정된 환경 파라미터들을 수집 및 분석하여, 환경 파라미터들이 허용가능한 한도 내에 있는지를 결정하도록 구성된다. 제어기(130)는 또한 측정된 환경 파라미터들이 허용가능한 한도 내에 있지 않은 경우, FOUP(102), 프로세스 스테이지(120), 또는 다른 디바이스들에 명령어들을 전송하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 환경 센서(110)가 환경 파라미터들이 안전 작동 한도를 초과하는 것을 나타내는 측정치들을 제어기(130)에 전송하는 경우, 제어기(130)는 FOUP(102)를 프로세싱으로부터 제거하고 문제를 해결하기 위한 명령어들을 전송할 수 있다.
제어기(130)의 프로세서(132)는 마이크로프로세서, 제어기, 디지털 신호 프로세서(DSP, digital signal processor), 주문형 집적 회로(ASIC, application specific integrated circuit), 필드 프로그래머블 게이트 어레이(FPGA, field-programmable gate array), 또는 동등한 이산 또는 집적 논리 회로 중 임의의 하나 이상을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 제어기(130)는 컴퓨터 시스템이다. 프로세서(132)는 메모리(134), 송신기(136), 및 수신기(138)에 연결될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 프로세서(132)는 환경 측정치들, 경보(alert)들, 및 지시들을 보기 위해 디스플레이 디바이스(140)(예컨대, 모니터 또는 다른 타입의 스크린)에 연결된다. 디스플레이 디바이스(140)는 FOUP의 상태, 환경 경보들, 또는 FOUP와 관련된 다른 정보를 디스플레이하는데 사용될 수 있다.
몇몇 실시예들에서, 제어기(130)는 환경 문제 뿐만 아니라 식별된 환경 문제의 타입(즉, 입자 오염에 대한 "입자들")을 갖는 FOUP(102)를 식별하는 경보를 하나 이상의 오퍼레이터에게 송신하도록 구성된다. 이러한 경보들은 디스플레이 디바이스(140) 상에 디스플레이될 수 있다. 디스플레이 디바이스(140)는 컴퓨터 모니터 또는 오퍼레이터가 볼 수 있는 다른 타입의 스크린일 수 있다. 디스플레이 디바이스(140)는 시각적 경보(142)를 디스플레이하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 1의 예에서, 디스플레이 디바이스(140)는 단순한 "ALERT" 메시지를 보여준다. 시각적 경보(142)의 컬러는 FOUP(102)에 문제가 있음을 나타내기 위해 색상들, 형상들, 아이콘들, 깜박이는 패턴들 등을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 시각적 경보(142)의 컬러들은 식별된 문제들과 대응할 수 있다. 예를 들어, 시각적 경보(142)는 온도가 허용가능한 한도들을 초과하는 것으로 밝혀지는 경우 적색 경보를, 미립자 레벨들이 정상보다 높다고 판단되는 경우 황색을 디스플레이하는 등의 동작을 할 수 있다. 다른 실시예들에서, 단일 색상(예컨대, 적색)은 모든 시각적 경보들에 사용된다.
다른 메시지들(144)이 또한 디스플레이 디바이스(140) 상에 디스플레이될 수 있다. 이들 다른 메시지들(144)은 식별된 문제 뿐만 아니라 FOUP(102)의 특정 번호 또는 식별 데이터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1의 예에서, FOUP(102)의 온도는 하나 이상의 환경 센서(110)에 의해 측정되었고, 제어기(130)에 의해 허용가능한 레벨들보다 높은 것으로 결정된다. 따라서, 메시지(144)는 "온도(temp)"를 문제로서 열거한다. 다른 메시지들(144)에 의해 식별될 수 있는 다른 문제들은, 정상보다 높거나 낮은 습도, 정상보다 높거나 낮은 온도, 정상보다 높은 진동 레벨들, 정상보다 높은 입사 복사선 레벨들, 및 정상보다 높은 입자량들, 및 FOUP(102) 내의 화학적 조성에 대한 문제들(예컨대, 질소 이외에 다른 가스들의 양이 측정되는 것)을 포함한다. 시각적 경보(142) 및 다른 메시지들(144)의 디스플레이는 오퍼레이터가 환경 문제 및 문제가 있는 특정 FOUP(102)를 신속하게 식별하도록 허용할 수 있다. 이것은 문제를 신속하게 해결하고 FOUP(102) 내의 웨이퍼들에 대한 해를 최소화하는 것을 도울 수 있다.
제어기(130)는 또한 환경 문제를 나타내기 위해 FOUP(102) 자체에 명령어들을 전송할 수 있다. 일 실시예에서, FOUP(102)는 환경 문제들이 발견되는 경우 특정 컬러 또는 깜박이는 패턴을 디스플레이하도록 구성되는 스크린 또는 라이트와 같은 표시기(228)를 포함한다. 예를 들어, 하나 이상의 환경 센서(110)가 수용가능한 레벨들보다 높은 습도 레벨들을 검출하는 경우, FOUP(102)는 깜빡이는 적색 광을 디스플레이할 수 있다. 표시기(228)는 (도 3에 도시된 바와 같이) FOUP(102)의 인클로저(220) 또는 FOUP(102)의 도어(222) 상에 배치될 수 있다. 표시기의 타입, 형상, 및 디스플레이는 다를 수 있다. 예를 들어, 일 실시예에서, 표시기(228)는 FOUP(102)의 상태에 따라 적색 또는 녹색 광을 디스플레이하도록 구성되는 작은 LED 광이다. 다른 실시예에서, 표시기(228)는, FOUP(102)의 외부에 배치되고 하나 이상의 환경 센서(110)에 의해 측정된 환경 파라미터들의 실시간 측정치들을 표시하도록 구성된 스크린이다. 표시기(228) 뿐만 아니라 디스플레이 디바이스(140)의 사용은 오퍼레이터가 FOUP(102)의 문제들을 신속하게 식별하고 해결하여 웨이퍼들에 대한 손상을 방지하는 것을 도울 수 있다.
제어기(130)의 메모리(134)는 예를 들어, 판독 전용 메모리, 랜덤 액세스 메모리, FRAM, 또는 NAND 플래시 메모리와 같은 반도체 메모리일 수 있다. 프로세서(132)가 메모리(134)에 기록하고 메모리(134)로부터 판독할 수 있도록, 메모리(134)는 프로세서(132) 및 연관된 프로세서들과 인터페이싱할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 메모리(134)는 하나 이상의 환경 센서(110)로부터의 환경 측정치들을 저장하도록 구성될 수 있다. 메모리(134)는 또한 환경 센서(110)로부터의 이전 판독들 및 각각의 환경 파라미터에 대한 문턱값들을 저장하도록 구성될 수 있다. 이 경우, 제어기(130)는 환경 측정치들을 문턱치들과 비교하여, FOUP(102) 내의 환경이 안전 작동 조건들 내에 있는지를 결정할 수 있다. 그렇지 않은 경우, 제어기(130)는 환경 문제가 수정될 수 있도록 오퍼레이터 및/또는 프로세스 스테이지(120)에 경보를 발행할 수 있다.
몇몇 실시예들에서, 제어기(130)의 메모리(134)는 하나 이상의 환경 센서(110)에 의해 측정된 환경 파라미터들을 저장하도록 구성된다. 예를 들어, 특정 FOUP(102)에 대한 환경 파라미터들은 모든 프로세싱 스테이지들 이전 및 이후를 포함하여, 전체 동작 동안 저장될 수 있다. 이것은 오퍼레이터가 온도 또는 습도가 정상보다 높은 제조 영역 내의 영역들을 식별하는 것과 같은 환경 문제들이 프로세싱 스테이지들 동안 발생할 때를 결정하도록 허용할 수 있다. 일 실시예에서, 메모리(134)는 다수의 FOUP들로부터 환경 파라미터들을 저장하도록 구성될 수 있다. 이들 파라미터들은 FOUP 환경들에서의 경향을 결정하기 위해 비교될 수 있다. 환경 파라미터들의 저장 및 비교는 또한 웨이퍼들에 대한 지속적인 손상을 방지하기 위해 문제가 되는 FOUP들을 식별하는 것을 도울 수 있다.
제어기(130)의 수신기(138)는 FOUP(102)의 송신기(114)로부터의 송신을 수신하도록 구성될 수 있다. 제어기(130)의 메모리(134)는 측정치들 및 명령어들을 저장하도록 구성될 수 있다. 제어기(130)의 송신기(136)는 FOUP(102), 프로세스 스테이지(120), 또는 다른 위치들에 명령어들을 전송하도록 구성될 수 있다.
FOUP(102)는 FOUP 내의 웨이퍼들에 대한 프로세싱 동작 동안 프로세스 스테이지(120)에 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 프로세스 스테이지(120)는 제어기(130)로부터 명령어들을 수신하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제어기(130)가 FOUP(102)의 하나 이상의 환경 파라미터들이 허용가능한 한도 내에 있지 않은 것으로 결정하는 경우, 제어기(130)는 FOUP(102) 및/또는 프로세스 스테이지(120)에 FOUP(102)를 프로세싱으로부터 제거하라는 지시들을 송신할 수 있다. 프로세스 스테이지(120)는 또한 프로세서 및/또는 수신기를 포함할 수 있다.
도 2는 하나 이상의 환경 센서(110)를 갖는 FOUP(102)의 도면이다. 몇몇 실시예들에서, FOUP(102)는 보호된 환경에서 하나 이상의 웨이퍼(212)를 홀딩하도록 구성된 인클로저(220)를 포함한다. 웨이퍼들(212)은 보유(retaining) 피처(216) 상에 탑재될 수 있다. 보유 피처(216)는 운반 및 취급 동안 웨이퍼들(212)을 고정시키기 위한 랙, 브래킷, 선반, 클립, 프레임워크, 또는 다른 피처일 수 있다. 인클로저(220)는 3개의 연결된 벽들, 도어(222)(도 3에 도시됨), 상단(226), 및 베이스(214)를 포함하는 바디를 갖는 일반적으로 직사각형 형상을 가질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 인클로저(220)는 만곡된 상부 코너들을 갖는다. 인클로저(220)는 내부의 웨이퍼들을 보호하고 안전하게 홀딩하기 위해 강성 재료로 제조될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 인클로저는 플라스틱 재료들로 형성된다. 몇몇 실시예들에서, 플랜지(210)는 FOUP(102)의 상단(226)의 상부면 상에 배치된다. 하나 이상의 핸들(218)은 인클로저(220)의 측면들 상에 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 플랜지(210) 및 핸들들(218)은 FOUP(102)를 취급하고 운반하는데 사용될 수 있다.
FOUP(102)는 제어된 환경을 지원하도록 구성될 수 있다. 이 제어된 환경의 파라미터들 또는 양상들은 예를 들어, 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함할 수 있다. 제어된 환경은 FOUP(102)의 하나 이상의 환경 지원 디바이스(112)에 의해 생성될 수 있다. 이들 환경 지원 디바이스들(112)은 통기구들 및 정화 시스템들(FOUP(102)의 벽들, 베이스(214), 상단(226), 및 도어(222) 상에 배치될 수 있음), 기계적 구조물들, 예컨대 복사선 방지 도금 및 코팅들, 방진 시스템들, 개스킷들, 플랜지들, 및 다른 밀봉 피처들(FOUP(102)의 벽들, 도어(222), 및 베이스(214)에 배치될 수 있음), 가스 시스템들, 예컨대 습도 제어 디바이스들, 입/출력 밸브들, 및 환경 지원 디바이스들(112)을 포함할 수 있다. 예를 들어, FOUP(102)는 유기 오염물들 뿐만 아니라 웨이퍼들 상의 자연 산화물 성장을 방지하는 것을 도울 수 있는 주로 질소 가스 환경을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, FOUP(102)는 일정한 온도, 습도, 및 최소 입사 복사선, 및 진동을 갖는 입자가 없는 질소 환경을 유지하도록 구성된다. 몇몇 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 하나 이상의 환경 지원 디바이스들(112)에 연결된다.
하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP(102)의 환경을 유지하는 것을 돕기 위해 FOUP 상에 또는 FOUP 내부에 배치될 수 있다. 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP(102)의 내부 체적 내에 배치될 수 있고, 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함하는 FOUP(102)의 환경 파라미터들을 측정할 수 있다. 환경 센서들(110)은 하나 이상의 습도 센서, 온도계들, 가속도계들, 복사선 검출기들, 입자 검출기들, 및 화학적 검출 시스템들을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 동일한 타입의 둘 이상의 환경 센서들(110)이 FOUP(102)에 포함될 수 있다. 예를 들어, FOUP(102)는 2 개의 온도 센서들 및/또는 2 개의 진동 센서들을 포함할 수 있다. 각각의 타입의 하나 초과의 센서를 포함하는 것은, 판독을 확인하고 센서들 중 하나가 고장나는 경우에도 소정 레벨의 보안을 제공하는데 도움이 될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 환경 센서들(110)은 도 3에 도시된 바와 같이 FOUP(102)의 도어(222) 상에 배치된다. 다른 실시예들에서, 환경 센서들(110)은 벽들, 베이스(214), 또는 상단(226)과 같은 FOUP(102)의 다른 부분들 상에 배치된다. 하나 이상의 환경 센서(110)는 취급 및 운반 동안을 포함하여 실시간으로 FOUP(102) 내의 환경의 측정을 수행하도록 구성될 수 있다. 이는 FOUP 제어 시스템들에 대한 조기 경보를 제공할 수 있으며, 웨이퍼들(212)이 해를 입기 전에 문제를 해결하는데 도움이 될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 둘 이상의 타입의 센서들을 포함한다. 예를 들어, FOUP(102)는 FOUP(102)의 도어(222)의 제1 부분에 통합된 진동 센서, 및 FOUP(102)의 도어(222)의 제2 부분에 통합된 습도 센서를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 매 프로세스 스테이지(120) 사이에 FOUP 환경의 측정을 수행하도록 구성된다. 다른 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 리소그래피 스테이지 이후와 같은 특정 프로세스 스테이지들 동안 및 이후에 활성화된다. 하나 이상의 환경 센서(110)는 제어기(130) 또는 다른 컴퓨터 시스템에 의해 자동적으로 또는 오퍼레이터에 의해 수동으로 활성화될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 환경 센서들(110)이 FOUP(102)를 취급하는 머신 또는 개인에 의해 활성화될 수 있도록, FOUP(102)의 외부 표면 상의 포트 또는 스위치에 의해 활성화되도록 구성된다.
하나 이상의 환경 센서(110)는 환경 지원 디바이스들(112)을 제어하여 FOUP(102) 내의 환경을 제어하도록 구성될 수 있다. 이것은 FOUP(102)의 압력, 습도, 온도, 및/또는 화학적 조성을 조정하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP(102) 내의 질소 가스 내의 오염물들의 존재를 식별할 수 있다. 이에 응답하여, 정화 시스템은 FOUP(102) 내에서 자동적으로 활성화되어 오염물들을 없앨 수 있다. 이것은 FOUP가 생산 라인 상에 있고 FOUP(102)가 오프라인으로 이동되도록 요구하지 않으면서, FOUP(102)가 몇몇 환경 문제들을 자동으로 수정하도록 허용할 수 있다. 또한, FOUP(102) 내의 자동 시스템들은 웨이퍼들에 대한 손상을 방지하기 위해 문제들이 신속하게 해결되도록 할 수 있다.
하나 이상의 환경 센서(110)는 프로세서(116) 및 메모리(118)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 환경 센서들(110)의 프로세서(116)는 마이크로프로세서, 제어기, 디지털 신호 프로세서(DSP), 주문형 집적 회로(ASIC), 필드 프로그래머블 게이트 어레이(FPGA), 또는 동등한 이산 또는 집적 논리 회로 중 임의의 하나 이상을 포함할 수 있다. 프로세서(116)는 송신기(114) 뿐 아니라 메모리(118)에 연결될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 프로세서(116)는 하나 이상의 환경 센서(110)로부터 측정치들을 수신하고 송신기(114)를 통해 측정치들을 송신하도록 구성될 수 있다. 환경 센서들(110)의 메모리(118)는 예를 들어, 판독 전용 메모리, 랜덤 액세스 메모리, FRAM, 또는 NAND 플래시 메모리와 같은 반도체 메모리일 수 있다. 프로세서(116)가 메모리(118)에 기록하고 메모리(118)로부터 판독할 수 있도록, 메모리(118)는 프로세서(116)와 인터페이싱할 수 있다. 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP(102) 내에 배치된 전원을 통해 전력 공급될 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP 내에 저장된 하나 이상의 배터리에 의해 전력 공급될 수 있다. 이들 배터리들은 도 4에 도시된 바와 같이 환경 치유 스테이션(410)과 같은 환경 치유 스테이션들에서 재충전될 수 있다.
송신기(114)는 하나 이상의 환경 센서(110)로부터 측정치들을 수신하고 제어기(130), 프로세스 스테이지(120), 및/또는 다른 위치들로 측정치들을 송신하도록 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 송신기(114)는 무선 송신기이다. 송신기(114)는 FOUP(102)의 도어(222)에 부착되는 것과 같이 FOUP(102) 내부에 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 송신기(114)는 하우징 내에 하나 이상의 환경 센서(110)와 함께 위치된다. 송신기(114)는 또한 하나 이상의 환경 센서(110)와 함께 FOUP(102)의 도어(222)에 통합될 수 있다. 송신기(114)는 하나 이상의 환경 센서(110)와 전기적으로 연결될 수 있다.
도 3은 FOUP(102)의 측면도를 도시하는 도면이다. 몇몇 실시예들에서, FOUP(102)은 FOUP(102)의 인클로저(220)에 연결되도록 구성된 도어(222)를 포함한다. 도어(222)는 제거가능할 수 있다. 하나 이상의 환경 센서(110)는 도어(222)의 내부 표면 상에 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 송신기(114)는 또한 도어(222)의 내부 표면 상에 배치된다. 하나 이상의 환경 센서(110) 및/또는 송신기(114)는 환경 센서들(110) 및/또는 송신기가 FOUP(102)의 로딩 및 언로딩 동안 손상되는 것을 방지하기 위해 도어 상의 하우징(224) 내에 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 오퍼레이터가 환경 센서들(110) 및/또는 송신기(114)에 액세스할 수 있도록, 하우징(224)은 제거가능하다. 몇몇 실시예들에서, 도어(222)의 부분들이 하나 이상의 환경 센서(110) 주위로 연장되도록, 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP(102)의 도어(222)에 통합된다. 다른 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 도어(222)에 부착되는 하우징에 배치된다. 이 하우징은 하나 이상의 환경 센서(110)의 형상을 따를 수 있다. 하우징은 프로세싱 동안 하나 이상의 환경 센서가 손상되는 것을 방지하는데 도움이 될 수 있다.
도 4는 FOUP(102)를 모니터링하는 프로세스를 도시하는 도면이다. 상기 논의된 바와 같이, FOUP(102)는 FOUP(102)의 내부 환경의 측정들을 수행할 수 있는 하나 이상의 환경 센서(110)를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 실시간으로 FOUP(102)의 환경을 측정하고 이들 측정치들을 실시간으로 제어기(130)에 송신하도록 구성된다. 다수의 프로세스 스테이지들(402, 404, 406)이 또한 도면(400)에 도시되어 있다. 하나 이상의 환경 센서(110)는 스테이지들(402 및 404) 사이 및 스테이지들(404 및 406) 사이에 FOUP(102)의 환경을 측정하도록 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 이상의 환경 센서(110)는 특정 프로세스 스테이지(406) 이전 및/또는 이후에 FOUP(102)의 환경 파라미터들을 측정하도록 구성된다.
몇몇 실시예들에서, 제어기(130)는 하나 이상의 환경 센서(110)의 측정치들을 수신하고 측정치들이 허용가능한 범위 내에 있는지를 결정하도록 구성된다. 제어기(130)가 측정치들이 허용가능한 범위 내에 있는 것으로 결정하는 경우, FOUP(102)는 다음 스테이지(404, 406)로 계속하도록 허용된다. 제어기(130)가 측정치가 허용가능한 범위 밖에 있다고 결정하는 경우, 제어기(130)는 오퍼레이터에게 프롬프트 또는 경보를 발행하고, FOUP(102)는 프로세스 스테이지들(402, 404, 406)로부터 제거되어 오프라인으로 이동될 수 있다. 이것은 프로세스 스테이지들(402, 404, 406)로부터 FOUP(102)를 물리적으로 제거하는 것 및/또는 FOUP(102)를 환경 치유 영역(410)으로 가져가는 것을 수반할 수 있다. 환경 치유 영역(410)에서, FOUP(102)의 환경에서의 임의의 결함들(예컨대, 하나 이상의 환경 센서(110)에 의해 식별되는 것들)이 해결될 수 있다. 이것은 FOUP(102)의 환경에 대한 문제들을 해결하기 위한 다른 단계들을 취하는 것 뿐 아니라, 먼지 또는 다른 미립자들의 제거, FOUP(102)의 정화, FOUP(102) 내의 가스의 갱신(renewing)(예컨대, 질소 레벨들의 재충전), FOUP(102)의 습도의 변경, FOUP(102)의 온도의 변경을 수반할 수 있다. 일단 치유가 완료되면, FOUP(102)의 환경 파라미터들은 하나 이상의 환경 센서(110)에 의해 재점검되어 문제가 해결되었는지를 확인할 수 있다. FOUP(102)의 환경이 허용가능한 레벨 내에 있는 것으로 결정된 후, FOUP(102)는 프로세싱 스테이지들(402, 404, 406)로 복귀될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 환경 문제가 검출되기 전에 FOUP(102)는 그 위치로 복귀될 수 있다. 예를 들어, FOUP(102) 내의 하나 이상의 환경 센서(110)는 FOUP(102)가 프로세스 스테이지(404)에 대해 예정되기 직전에 비정상적으로 높은 온도를 측정할 수 있다. FOUP(102)가 오프라인으로 당겨지고 문제가 해결된 후, FOUP(102)는 프로세스 스테이지(404)로 복귀될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, FOUP(102) 내의 웨이퍼들에 대한 손상이 검출되면, FOUP(102)의 웨이퍼들은 버려질 수 있고, FOUP(102)는 새로운 웨이퍼 세트를 홀딩하기 위한 동작의 시작으로 복귀될 수 있다.
도 5는 본 개시물의 양상들에 따른 FOUP을 모니터링하기 위한 방법(500)의 흐름도이다. 추가적인 단계들이 방법(500)의 단계들 이전에, 그 동안에, 및 그 후에 제공될 수 있으며, 설명된 단계들 중 몇몇은 방법(500)의 다른 예들을 위해 교체되거나 또는 제거될 수 있다는 것이 이해된다.
일 실시예에서, 방법(500)은 FOUP(front opening universal pod) 내에 환경 센서 및 송신기를 제공하는 단계(502)에서 시작한다. 환경 센서, 송신기, 및 FOUP는 도 1 내지 도 4 중 임의의 것에 도시된 바와 같은 환경 센서(110), 송신기(114), 및 FOUP(102)일 수 있다. 환경 센서 및 송신기는 FOUP 내에 예컨대, FOUP의 도어 상에 배치될 수 있다. 환경 센서는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성과 같은 FOUP의 환경 파라미터들을 측정하도록 구성될 수 있다. 송신기는 측정된 환경 파라미터들을 도 1에 도시된 바와 같은 제어기(130)와 같은 제어기로 송신하도록 구성될 수 있다.
단계(504)에서, 방법(500)은 하나 이상의 환경 파라미터에 대한 문턱 레벨들을 결정하는 단계를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 문턱 레벨들은 FOUP 내의 웨이퍼들이 그 이상에서 손상될 수 있는 한도를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 압력에 대한 문턱 레벨들은 1.2 atm 또는 0.8 atm(1 atm의 이상적 압력)일 수 있다. 또 다른 예는 5 % 또는 65 %의 상대 습도(40 %의 이상적 상대 습도)의 문턱 레벨이다. 문턱 레벨들은 FOUP 내의 제어기에 의해 결정되거나 그 제어기에 전달될 수 있으며, FOUP 내의 메모리에 또는 외부 제어기에 저장될 수 있다.
단계(506)에서, 방법(500)은 환경 센서로 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하는 단계를 포함할 수 있다. 환경 센서(110)는 습도 센서들, 온도계들, 가속도계들, 복사선 검출기들, 입자 검출기들, 및 화학적 검출 시스템들을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 환경 센서는 실시간으로 환경 파라미터들을 측정하는데 사용된다. 대안적으로, 환경 센서는 프로세싱 스테이지들 사이와 같이 FOUP의 운반, 취급, 및 프로세싱 동안의 특정 시간에 환경 파라미터들을 측정할 수 있다. 측정치들은 FOUP 내의 메모리에 저장될 수 있다.
단계(508)에서, 방법(500)은 제어기에 하나 이상의 환경 파라미터를 송신하는 단계를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 송신은 무선이고 무선 송신기로 달성된다. 제어기는 무선 수신기를 포함할 수 있으며, 수신된 측정치들을 저장할 수 있다.
단계(510)에서, 방법(500)은 하나 이상의 환경 파라미터가 단계(504)에서 결정된 문턱 레벨 내에 있는지 여부를 결정하는 단계를 포함할 수 있다. 이것은, 제어기로, 측정된 환경 파라미터들을 문턱 레벨들과 비교하는 단계를 포함할 수 있다. 단계(510)는 예컨대, 그래픽 또는 경보로 결정을 디스플레이 디바이스 상에 디스플레이하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이 디스플레이 디바이스는 도 1에 도시된 바와 같은 디스플레이 디바이스(140)와 유사할 수 있다. 부가적으로 및 대안적으로, 디스플레이 피처는 이 결정을 디스플레이하기 위해 FOUP 상에 포함될 수 있다. 이 디스플레이 피처는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 표시자(228)와 유사할 수 있다. 제어기가 하나 이상의 측정된 환경 파라미터가 문턱 레벨 내에 있는 것으로 결정하는 경우, FOUP는 단계(516)에서 프로세스 스테이지로 이송될 수 있다. FOUP는 또한 메시지, 그래픽, 또는 결정의 다른 표시들(예컨대, 녹색 광)을 디스플레이하도록 구성될 수 있다. 제어기가 하나 이상의 측정된 환경 파라미터가 문턱 레벨 내에 있지 않은 것으로 결정하는 경우, 방법(500)은 단계(512)로 진행될 수 있다. FOUP는 또한 메시지, 그래픽, 또는 결정의 다른 표시들(예컨대, 적색 광)을 디스플레이하도록 구성될 수 있다. 경보가 또한 프로세스 스테이지로 전송될 수 있다. 이 경보는 프로세스 스테이지 근처에 위치되거나 프로세스 스테이지 상에 배치된 디스플레이 디바이스 상에 디스플레이될 수 있다. 예를 들어, 제어기는 FOUP가 FOUP 내의 하나 이상의 환경 센서로부터의 판독에 기초하여 환경 문제를 갖는 것을 결정할 수 있다. FOUP가 프로세싱을 위해 프로세스 스테이지로 운반될 때, 프로세스 스테이지는 특정 FOUP에 대한 문제점의 표시를 디스플레이할 수 있다. 이것은 오프레이터가 프로세싱 전에 FOUP의 문제들을 식별하는데 도움이 될 수 있으며, FOUP의 웨이퍼들에 대한 손상을 방지하기 위해 가능한 한 빨리 환경을 치유하는데 도움이 될 수 있다.
단계(512)에서, 방법(500)은 하나 이상의 환경 파라미터를 수정하기 위한 동작을 수행하는 단계를 포함할 수 있다. 이것은 FOUP를 오프라인으로 그리고 FOUP 환경을 다루기 위한 특정 영역에 가져가는 단계를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 이 단계(512)는 FOUP 내에 질소(또는 다른 가스들)를 재충전하는 단계, FOUP로부터 가스를 제거하는 단계, 입자들을 제거하는 단계, 습도 또는 온도 레벨을 감소 시키거나 증가시키는 단계, 및/또는 결함 시일(seal)들과 같은 FOUP 상의 메커니즘을 교체하는 단계를 포함한다.
단계(514)에서, 방법(500)은 단계(512)의 동작을 수행한 이후 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 레벨 내에 있는지를 결정하는 단계를 옵션적으로 포함할 수 있다. 이것은 모든 문제들이 해결되고 FOUP가 추가의 운반 및 취급 준비가 된 것을 확인하도록 도울 수 있다.
단계(516)에서, 방법(500)은 FOUP를 프로세스 스테이지로 이송하는 단계를 포함할 수 있다. 이 프로세스 스테이지는 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이 프로세스 스테이지들(120, 402, 404, 406) 중 임의의 것일 수 있다.
본 개시물의 범위 내의 예시적인 구현에서, 방법(500)은 단계(516) 이후에 반복되어, 방법 흐름은 단계(504)로 되돌아가서 다시 시작한다. 방법(500)의 반복은 FOUP 내의 환경의 진행 모니터링을 수행하는데 이용될 수 있다.
따라서, 본 개시물은 FOUP(front opening universal pod)를 모니터링하기 위한 센서 시스템을 제공한다. 일 실시예에서, 센서 시스템은 하나 이상의 웨이퍼를 홀딩하도록 구성되는 FOUP, 및 FOUP 내에 배치되고 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하도록 구성되는 환경 센서를 포함한다. 센서 시스템은, 환경 센서와 통신하고 FOUP 내에 배치되는 무선 송신기를 더 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 무선 송신기는 환경 센서로부터 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 송신하도록 구성된다.
몇몇 실시예들에서, 환경 센서는 FOUP의 도어 상에 배치된다. 무선 송신기도 또한 FOUP의 도어 상에 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 환경 센서는 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 실시간으로 측정하도록 구성된다. 하나 이상의 환경 파라미터는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함할 수 있다.
몇몇 실시예들에서, 센서 시스템은 환경 센서 및 무선 송신기와 통신하는 데이터베이스를 더 포함한다. 이 데이터베이스는 하나 이상의 환경 파라미터와 연관된 하나 이상의 문턱값을 저장하도록 구성될 수 있다. 환경 센서는 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터의 측정치들을 저장하도록 구성되는 메모리 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 개시물은 또한 FOUP를 모니터링하기 위한 시스템을 제공할 수 있다. 이 시스템은, 하나 이상의 웨이퍼를 홀딩하도록 구성되는 FOUP, FOUP 내에 배치되고 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하도록 구성되는 환경 센서, 환경 센서와 통신하고, FOUP 내에 배치되며, 환경 센서로부터 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 수신하고 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 송신하도록 구성되는 무선 송신기, 및 무선 송신기로부터 송신된 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 수신하고, 하나 이상의 환경 파라미터가 안전 문턱 레벨의 범위에 있는지 여부를 결정하도록 구성되는 제어기를 포함할 수 있다.
몇몇 실시예들에서, 제어기는 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 안전 문턱 레벨에 속하는 경우, 프로세스 스테이지에 FOUP를 전송하기 위한 명령어들을 전송하도록 구성된다. 이 제어기는 안전 문턱 레벨을 저장하도록 구성된 메모리를 포함할 수 있고, 제어기는 또한 저장된 안전 문턱 레벨을 측정된 하나 이상의 환경 파라미터에 비교하도록 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 환경 센서 및 무선 송신기는 FOUP의 도어 상에 배치된다. 환경 센서는 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 실시간으로 측정하도록 구성될 수 있다. 이들 하나 이상의 환경 파라미터는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함할 수 있다.
본 개시물은 FOUP(front opening universal pod) 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법을 또한 제공한다. 이 방법은, FOUP 내에 환경 센서를 제공하는 단계, 환경 센서로, FOUP의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하는 단계, 제어기로, FOUP의 하나 이상의 환경 파라미터에 대한 문턱 레벨을 결정하는 단계, FOUP 내에 배치된 무선 송신기로, FOUP의 측정된 하나 이상의 환경 파라미터를 제어기에 송신하는 단계, FOUP의 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 레벨 내에 있는지 여부를 결정하는 단계, 및 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 레벨 내에 있는 것으로 결정되는 경우, FOUP를 프로세스 스테이지에 이송하는 단계를 포함할 수 있다.
몇몇 실시예들에서, 방법은, 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 레벨 내에 있지 않은 것으로 결정되는 경우, 하나 이상의 환경 파라미터를 수정하기 위한 동작을 수행하는 단계를 더 포함한다. 방법은, 수정하기 위한 동작을 수행한 후, FOUP를 프로세스 스테이지에 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다. 방법은 환경 센서로 FOUP의 하나 이상의 환경 파라미터를 실시간으로 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 방법은 FOUP 내에 배치된 무선 송신기로, FOUP의 측정된 하나 이상의 환경 파라미터를 제어기에 실시간으로 송신하는 단계를 더 포함한다. 하나 이상의 환경 파라미터는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함할 수 있다.
여러 실시예들의 피처들이 상술되어 있다. 본 기술분야의 당업자들은 위에서 소개된 실시예들과 동일한 목적들을 수행하고 그리고/또는 동일한 장점들을 달성하기 위한 다른 프로세스들 및 구조들을 설계하거나 또는 수정하기 위한 기초로서 본 개시내용을 자신들이 손쉽게 이용할 수 있다는 것을 인식할 것이다. 본 기술분야의 당업자들은 또한 이와 같은 등가적 구성들은 본 개시물의 사상과 범위를 벗어나지 않으며, 당업자들이 본 개시물의 사상과 범위를 벗어나지 않고 개시된 실시예들에 대한 다양한 변경들, 대체들, 및 개조들을 행할 수 있음을 알 것이다.
실시예들
실시예 1. FOUP(front opening universal pod)를 모니터링하기 위한 센서 시스템에 있어서,
하나 이상의 웨이퍼를 홀딩하도록 구성되는 FOUP;
상기 FOUP 내에 배치되고, 상기 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하도록 구성되는 환경 센서; 및
상기 환경 센서와 통신하고, 상기 FOUP 내에 배치되며, 상기 환경 센서로부터 상기 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 송신하도록 구성되는 무선 송신기
를 포함하는, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 2. 실시예 1에 있어서,
상기 환경 센서는 상기 FOUP의 도어 상에 배치되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 3. 실시예 1에 있어서,
상기 무선 송신기는 상기 FOUP의 도어 상에 배치되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 4. 실시예 1에 있어서,
상기 환경 센서는 상기 FOUP의 내부 환경의 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 실시간으로 측정하도록 구성되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 5. 실시예 1에 있어서,
상기 하나 이상의 환경 파라미터는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함하는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 6. 실시예 1에 있어서,
상기 센서 시스템은 상기 환경 센서 및 상기 무선 송신기와 통신하는 데이터베이스를 더 포함하는, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 7. 실시예 6에 있어서,
상기 데이터베이스는 상기 하나 이상의 환경 파라미터와 연관된 하나 이상의 문턱값을 저장하도록 구성되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 8. 실시예 1에 있어서,
상기 환경 센서는 상기 FOUP의 내부 환경의 상기 하나 이상의 환경 파라미터의 측정치들을 저장하도록 구성되는 메모리 모듈을 포함하는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 센서 시스템.
실시예 9. FOUP(front opening universal pod)를 모니터링하기 위한 시스템에 있어서,
하나 이상의 웨이퍼를 홀딩하도록 구성되는 FOUP;
상기 FOUP 내에 배치되고, 상기 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하도록 구성되는 환경 센서;
상기 환경 센서와 통신하고, 상기 FOUP 내에 배치되며, 상기 환경 센서로부터 상기 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 수신하고 상기 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 송신하도록 구성되는 무선 송신기; 및
상기 무선 송신기로부터 상기 송신된 하나 이상의 측정된 환경 파라미터를 수신하고, 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 안전 문턱 레벨의 범위에 있는지 여부를 결정하도록 구성되는 제어기
를 포함하는, FOUP를 모니터링하기 위한 시스템.
실시예 10. 실시예 9에 있어서,
상기 제어기는, 상기 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 상기 안전 문턱 레벨에 속하는 경우, 프로세스 스테이지에 상기 FOUP를 전송하기 위한 명령어들을 전송하도록 구성되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 시스템.
실시예 11. 실시예 9에 있어서,
상기 제어기는 상기 안전 문턱 레벨을 저장하도록 구성된 메모리를 포함하고, 상기 제어기는 또한, 상기 저장된 안전 문턱 레벨을 상기 측정된 하나 이상의 환경 파라미터에 비교하도록 구성되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 시스템.
실시예 12. 실시예 9에 있어서,
상기 환경 센서 및 상기 무선 송신기는 상기 FOUP의 도어 상에 배치되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 시스템.
실시예 13. 실시예 9에 있어서,
상기 환경 센서는 상기 FOUP의 내부 환경의 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 실시간으로 측정하도록 구성되는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 시스템.
실시예 14. 실시예 9에 있어서,
상기 하나 이상의 환경 파라미터는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함하는 것인, FOUP를 모니터링하기 위한 시스템.
실시예 15. FOUP(front opening universal pod) 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법에 있어서,
상기 FOUP 내에 환경 센서를 제공하는 단계;
상기 환경 센서로, 상기 FOUP의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하는 단계;
제어기로, 상기 FOUP의 상기 하나 이상의 환경 파라미터에 대한 문턱 레벨을 결정하는 단계;
상기 FOUP 내에 배치된 무선 송신기로, 상기 FOUP의 상기 측정된 하나 이상의 환경 파라미터를 상기 제어기에 송신하는 단계;
상기 FOUP의 상기 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 상기 문턱 레벨 내에 있는지 여부를 결정하는 단계; 및
상기 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 상기 문턱 레벨 내에 있는 것으로 결정되는 경우, 상기 FOUP를 프로세스 스테이지에 이송하는 단계
를 포함하는, FOUP 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법.
실시예 16. 실시예 15에 있어서,
상기 측정된 하나 이상의 환경 파라미터가 상기 문턱 레벨 내에 있지 않은 것으로 결정되는 경우, 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 수정하기 위한 동작을 수행하는 단계를 더 포함하는, FOUP 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법.
실시예 17. 실시예 16에 있어서,
상기 동작을 수행한 후에, 상기 FOUP를 상기 프로세스 스테이지에 이송하는 단계를 더 포함하는, FOUP 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법.
실시예 18. 실시예 15에 있어서,
상기 환경 센서로 상기 FOUP의 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 실시간으로 측정하는 단계를 더 포함하는, FOUP 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법.
실시예 19. 실시예 18에 있어서,
상기 FOUP 내에 배치된 무선 송신기로, 상기 FOUP의 상기 측정된 하나 이상의 환경 파라미터를 상기 제어기에 실시간으로 송신하는 단계를 더 포함하는, FOUP 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법.
실시예 20. 실시예 15에 있어서,
상기 하나 이상의 환경 파라미터는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함하는 것인, FOUP 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법.

Claims (10)

  1. 시스템에 있어서,
    하나 이상의 웨이퍼를 홀딩하도록 구성되는 FOUP(front opening universal pod);
    상기 FOUP 내에 배치되고, 상기 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하도록 구성되는 환경 센서;
    상기 환경 센서와 통신하고, 상기 FOUP 내에 배치되며, 상기 환경 센서로부터 상기 FOUP 외부에 배치된 제어기에 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 무선 송신하여 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 한도 내에 있는지 여부를 결정하며, 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 한도 내에 있는지 여부의 결정에 따른 메시지를 상기 제어기로부터 수신하도록 구성되는 무선 송신기; 및
    상기 FOUP 상에 배치되고, 상기 메시지에 따라 상기 FOUP의 내부 환경의 표시를 디스플레이하도록 구성되는 표시기
    를 포함하는, 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 환경 센서는 상기 FOUP의 도어 상에 배치되는 것인, 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 무선 송신기는 상기 FOUP의 도어 상에 배치되는 것인, 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 환경 센서는 상기 FOUP의 내부 환경의 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 실시간으로 측정하도록 구성되는 것인, 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 하나 이상의 환경 파라미터는 습도, 온도, 진동, 입사 복사선, 입자 밀도, 및 화학적 조성을 포함하는 것인, 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 표시기는 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 상기 문턱 한도를 초과하는 경우 경보를 디스플레이하도록 구성된 LED 광인 것인, 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 표시기는 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 디스플레이하도록 구성된 스크린인 것인, 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 환경 센서는 상기 FOUP의 내부 환경의 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 저장하도록 구성되는 메모리 모듈을 포함하는 것인, 시스템.
  9. 시스템에 있어서,
    하나 이상의 웨이퍼를 홀딩하도록 구성되는 FOUP(front opening universal pod);
    상기 FOUP 내에 배치되고, 상기 FOUP의 내부 환경의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하도록 구성되는 환경 센서;
    상기 환경 센서와 통신하고, 상기 FOUP 내에 배치되며, 상기 환경 센서로부터 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 수신하고, 상기 FOUP 외부의 제어기에 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 무선 송신하여 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 한도 내에 있는지 여부를 결정하며, 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 한도 내에 있는지 여부의 결정에 따른 메시지를 상기 제어기로부터 수신하도록 구성되는 무선 송신기;
    상기 FOUP 상에 배치되고, 상기 메시지에 따라 상기 FOUP의 내부 환경의 표시를 디스플레이하도록 구성되는 표시기; 및
    상기 FOUP 내에 배치되고 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 상기 문턱 한도를 초과하는 경우 상기 FOUP의 내부 환경을 변경하도록 구성되는 환경 지원 디바이스
    를 포함하는, 시스템.
  10. FOUP(front opening universal pod) 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법에 있어서,
    상기 FOUP 내에 배치되는 환경 센서로, 상기 FOUP의 하나 이상의 환경 파라미터를 측정하는 단계;
    상기 FOUP 내에 배치된 무선 송신기로, 상기 FOUP의 상기 하나 이상의 환경 파라미터를 상기 FOUP 외부의 제어기에 송신하는 단계;
    상기 무선 송신기로, 상기 FOUP의 상기 하나 이상의 환경 파라미터가 문턱 레벨 내에 있는지 여부의 결정에 따른 메시지를 상기 제어기로부터 수신하는 단계; 및
    상기 FOUP 상에 배치되는 표시기로, 상기 메시지에 따라 상기 FOUP의 환경의 표시를 디스플레이하는 단계
    를 포함하는, FOUP 내의 환경을 모니터링하기 위한 방법.
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