TWI792868B

TWI792868B - 倉儲設備及倉儲設備的監控方法

Info

Publication number: TWI792868B
Application number: TW111101925A
Authority: TW
Inventors: 邱毓絜; 黃彥文
Original assignee: 盟立自動化股份有限公司
Priority date: 2021-02-03
Filing date: 2022-01-18
Publication date: 2023-02-11
Also published as: TW202231555A

Abstract

本發明揭露一種倉儲設備及倉儲設備的監控方法。倉儲設備包含倉體、多個感測器及處理裝置。處理裝置能執行監控程序，其包含：收集步驟：收集每一個感測器的感測值；狀態判斷步驟：判斷每一個感測器的狀態；若任一個感測器的狀態是異常，則利用預測方程式及位於異常感測器周圍的正常感測器的感測值計算出預測值；數值判斷步驟：判斷每一個感測器的感測值或預測值，是否都位於相對應的容許範圍內，若每一個感測器都位於相對應的容許範圍內則結束監控程序，若任一個感測器不位於相對應的容許範圍內，則執行調整步驟，以調整倉體內的環境狀態。

Description

倉儲設備及倉儲設備的監控方法

本發明涉及一種倉儲設備及倉儲設備的監控方法，特別是一種適合應用為潔淨室用自動倉儲(Stocker)或自動倉儲系統(Automated Storage/Retrieval System, AS/RS)的倉儲設備及倉儲設備的監控方法。

現有常見的用來儲存半導體相關物料的倉儲設備，其包含有一處理裝置及多個感測器，多個感測器設置於倉儲設備內，處理裝置能依據多個感測器所傳遞的感測值，來決定是否通知相關人員對倉儲設備進行維修。舉例來說，假設倉儲設備中的溫度預設是25°C，則處理裝置若接收到其中一個感測器所傳遞的感測值為35°C時，處理裝置即會發出相關警示資訊，並啟動相對應的溫度控制機制，據以降低倉儲設備中的溫度。

然，在實務中，感測到35°C的感測器，可能是感測器本身發生故障，或者，可能是感測器在訊號傳輸上發生短暫的異常，而倉儲設備內的溫度，實際上並沒有到達35°C，在此情況中，若處理裝置啟動相對應的溫度控制機制，將可能導致倉儲設備內的溫度由正常的25°C，降至不正常的20°C，為此反而可能導致相關物料處於不正確的環境溫度中。

本發明公開一種倉儲設備及倉儲設備的監控方法，主要用以改善現有的倉儲設備，在感測器發生故障或在訊號傳輸上發生任何異常時，倉儲設備將會發出相關警示資訊，甚至啟動相對應的控制機制，而要求相關人員立即對倉儲設備進行相關維修。

本發明的其中一實施例公開一種倉儲設備，其包含：一倉體、多個感測器及一處理裝置。倉體的內部具有一倉儲空間；多個感測器設置於倉儲空間中，各個感測器用以感測其周圍環境，以產生一感測值；處理裝置包含一處理器及一儲存器，儲存器內儲存有多個預測方程式，各個預測方程式用以利用至少一個感測器的感測值計算出一預測值，預測值用來代表另一個感測器的感測值；其中，處理器能執行一監控程序，其包含以下步驟：一收集步驟：收集每一個感測器於一預定感測時間內產生的感測值；一狀態判斷步驟：判斷所有的感測器是否都處於一正常狀態；其中，被判定處於正常狀態的感測器定義為一正常感測器；被判定不是處於正常狀態的感測器定義為一異常感測器；若所有的感測器都處於正常狀態，則執行一數值判斷步驟；若不是所有的感測器都處於正常狀態，則於執行數值判斷步驟前，執行至少一次預測值生成步驟，以計算出每一個異常感測器的預測值，各個預測值用來代表異常感測器為正常狀態時所產生的感測值；預測值生成步驟為：利用其中一個預測方程式及位於異常感測器周圍的至少一個正常感測器所產生的感測值，計算出相對應的預測值；數值判斷步驟為：判斷所有的正常感測器的感測值及所有預測值，是否都位於相對應的一容許範圍內；若判定任一個感測值或任一個預測值超出相對應的容許範圍，則執行一調整步驟：先控制一乾燥氣體供給設備運作一預定供氣時間，以將一乾燥氣體輸入倉儲空間，再重新執行收集步驟及狀態判斷步驟；若判定所有的感測值及所有的預測值都位於相對應的容許範圍內，則結束監控程序。

本發明的其中一實施例公開一種倉儲設備的監控方法，其適用於一倉儲設備，倉儲設備的監控方法包含以下步驟：一初始步驟：控制設置於倉儲設備的一倉儲空間內的多個感測器運作；一收集步驟：收集每一個感測器於一預定感測時間內產生的一感測值；一狀態判斷步驟：判斷所有的感測器是否都處於一正常狀態；其中，被判定處於正常狀態的感測器定義為一正常感測器；被判定不是處於正常狀態的感測器定義為一異常感測器；若所有的感測器都處於正常狀態，則執行一數值判斷步驟；若不是所有的感測器都處於正常狀態，則於執行數值判斷步驟前，執行至少一次預測值生成步驟，以計算出每一個異常感測器的一預測值，各個預測值用來代表異常感測器為正常狀態時所產生的感測值；預測值生成步驟為：利用一預測方程式及位於異常感測器周圍的至少一個正常感測器所產生的感測值，計算出相對應的預測值；數值判斷步驟為：判斷所有的正常感測器的感測值及所有預測值，是否都位於相對應的一容許範圍內；若判定任一個感測值或任一個預測值超出相對應的容許範圍，則執行一調整步驟：先控制一乾燥氣體供給設備運作一預定供氣時間，以將一乾燥氣體輸入倉儲空間，再重新執行收集步驟及狀態判斷步驟；若判定所有的感測值及所有的預測值都位於相對應的容許範圍內，則結束倉儲設備的監控方法。

綜上所述，本發明的倉儲設備及倉儲設備的監控方法，通過監控程序中的收集步驟、狀態判斷步驟、預測值生成步驟、數值判斷步驟等設計，可以在倉儲設備的任一個感測器發生錯誤，但該感測器的感測值可以被預測的情況下，不要求相關人員立即對倉儲設備進行維修，如此，相關人員可以視其廠房內的人力配置及倉儲設備的倉儲狀態，選擇適合的時間再進入倉儲設備中進行維修。

為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。

於以下說明中，如有指出請參閱特定圖式或是如特定圖式所示，其僅是用以強調於後續說明中，所述及的相關內容大部份出現於該特定圖式中，但不限制該後續說明中僅可參考所述特定圖式。

請參閱圖1至圖3，圖1為本發明的倉儲設備的示意圖，圖2為本發明的倉儲設備的內部示意圖，圖3為本發明的倉儲設備的方塊示意圖。本發明的倉儲設備100包含一倉體1、多個感測器2及一處理裝置3。本發明的倉儲設備100例如可以是應用為潔淨室用自動倉儲(stocker)、自動倉儲系統(Automated Storage/Retrieval System, AS/RS)。倉體1的內部具有一倉儲空間11。多個感測器2設置於倉儲空間11中，各個感測器2用以感測其周圍環境，以產生一感測值21。舉例來說，部分的感測器2可以是溫度感測器，而其對應產生的感測值即為溫度；部分的感測器2可以是濕度感測器，而其對應產生的感測值即為濕度，部分的感測器2可以是氣壓感測器，而其對應產生的感測值即為氣壓。

處理裝置3包含一處理器31及一儲存器32，儲存器32內儲存有多個預測方程式321，預測方程式321用以利用至少一個感測器2的感測值21計算出一預測值311，預測值311用來代表另一個感測器2的感測值。在實際應用中，處理器31可以是各式電腦、遠端電腦、微處理器等，儲存器32則可以是各式記憶體、硬碟、遠端伺服器等。在實際應用中，處理裝置3例如可以是連接一輸入裝置，而相關人員可以通過操作輸入裝置，以將多筆預測方程式，儲存至儲存器32中。

在實際應用中，倉儲設備100可以是包含有多個承載架4及至少一移載裝置5，各個承載架4與倉體1相連接，且多個承載架4是上下間隔地設置於倉儲空間11中。各個承載架4可以是呈現為環狀，且各個承載架4環繞移載裝置5設置，各個承載架4用以承載多個待倉儲物。每一個承載架4的周圍設置有多個感測器2。在實際應用中，各個感測器2例如可以是設置於倉體1，或者，感測器2也可以是設置於承載架4。移載裝置5用來將待倉儲物移入或移出倉儲空間11，舉例來說，移載裝置5可以是包含有類似機器手臂的機構。在較佳的實施例中，鄰近於各個承載架4的多個感測器2，是以移載裝置為中心，平均地分散設置於承載架4的周圍；舉例來說，各個承載架4用來承載待倉儲物的承載面，可以是大致位於同一個水平面，鄰近於同一個承載架4設置的多個感測器2的布置方式，可以是以移載裝置5為中心，每間隔60度即於承載架4上或其周圍設置一個感測器2，而同一個承載架4的周圍，則是對應設置有6個感測器2。

需說明的是，在本實施例的圖式中，是以倉儲設備100的內部空間的外型大致呈現為圓柱狀，而移載裝置5對應位於中心軸線上，但倉儲設備100的內部空間的外型不以圖中所示為限，在不同的實施例中，倉儲設備100的內部空間的外型，也可以是大致呈現為矩形狀，而移載裝置5的數量則可依據需求增加。

在其中一個實際應用中，倉儲設備100例如可以是設置於一無塵室中，而倉儲設備100內的倉儲空間11，則可以是用來儲存半導體相關物品(例如晶元、晶片、電路板等)，而各個承載架4例如可以是用來承載多個晶元盒(FOUP)。當然，倉儲設備100不侷限於僅可用來儲存半導體相關物品。

處理器31能執行一監控程序。在實際應用中，處理器31可以是每間隔一預設時間，即自動地執行一次監控程序。在不同的實施例中，處理器31也可以是受設備的控制，而即時地執行一次監控程序，舉例來說，相關人員可以是通過操作相關電腦設備，以控制處理器31即時地執行一次監控程序。

如圖4所示，處理器31執行監控程序時，是執行以下步驟：

一收集步驟S11：收集每一個感測器2於一預定感測時間(例如1～5秒內，但不以此為限)內產生的感測值21；

一狀態判斷步驟S12：判斷所有的感測器2是否都處於一正常狀態；其中，被判定處於所述正常狀態的感測器2定義為一正常感測器，被判定不是處於所述正常狀態的感測器2則定義為一異常感測器；

若所有的感測器都處於正常狀態，則執行一數值判斷步驟S13：判斷所有正常感測器的感測值是否都位於相對應的一容許範圍內；

若判定所有的正常感測器的感測值21都位於相對應的容許範圍內，則執行一結束步驟S14：結束監控程序。

在實際應用中，於所述收集步驟S11中，可以是各個感測器2，每間隔一預設時間，即自動地向處理裝置3發送其所產生的感測值21，但不以此為限。在不同的實施例中，於所述收集步驟S11中，也可以是處理裝置3每間隔一預設時間，即主動地向各個感測器2取得其所產生的感測值21。

在實際應用中，於狀態判斷步驟S12中，處理器31是先控制所有的感測器2作動，並於各個感測器2作動預定感測時間後，將有回傳感測值21的感測器2判定為處於正常狀態的正常感測器，並將沒有回傳感測值21的感測器2判定為不是處於正常狀態的異常感測器，且處理器31還會依據各個感測器2所回傳的感測值21，來決定各個感測器2是正常感測器或是異常感測器；若感測器2所回傳的感測值21大於一預設上限值，或者，感測器2所回傳的感測值21小於一預設下限值，則處理器31將判定感測器2為異常感測器。

在其中一個例子中，各個感測器2可以是每間隔一預定時間(例如5秒)即回傳其感測的感測值至處理器31，而於狀態判斷步驟S12中，處理器31是判斷每一個感測器2所傳遞的感測值，與前一次所傳遞的感測值的時間差，是否超過一預設時間差，若任一個感測器2當前所傳遞的感測值，與前一次傳遞的感測值的時間差，被處理器31判斷為超過預設時間差時，處理器將判定此感測器2判定為異常感測器。

舉例來說，假設倉儲設備的其中6個感測器2為溫度感測器，且所述預設上限值為40°C，所述下限值為10°C，而預定感測時間為5秒，則於狀態判斷步驟S12中，處理器31可以是先向6個溫度感測器發出作動指令，以使6個溫度感測器感測其周圍環境的溫度；若其中5個感測器A、B、C、D、E於5秒內分別感測出其周圍環境的溫度值為25°C、23°C、28°C、-15°C、45°C，且其中一個感測器F沒有產生溫度值，另一個感測器F則是產生NAN(Not A Number)，如此，處理器31在發出作動指令後的第6秒時，將會判定感測器A～C皆處於正常狀態而為正常感測器，且感測器D～F都不是處於正常狀態而為異常感測器。

如圖4所示，於所述狀態判斷步驟S12後，若判定不是所有的感測器2都處於正常狀態，則於執行數值判斷步驟S13前，執行至少一次預測值生成步驟S15，以計算出每一個所述異常感測器的一預測值，各個所述預測值用來代表所述異常感測器為正常狀態時所產生的感測值。

所述預測值生成步驟S15為：利用其中一個預測方程式321及位於異常感測器周圍的至少一個正常感測器所產生的感測值21，計算出相對應的所述預測值311。於所述預測值生成步驟S15後，所執行的數值判斷步驟S13，則是判斷所有正常感測器的感測值21及所有預測值311，是否都位於相對應的容許範圍內。

需說明的是，只要處理器31有對應計算出每一個異常感測器所對應的預測值，預測值生成步驟S15被執行的次數可以依據需求設計。舉例來說，假設倉儲空間11內設置有20個感測器2，於狀態判斷步驟S12後，若處理器31判斷其中3個感測器2為異常感測器，則處理器31例如可以是執行三次預測值生成步驟S15，以產生出3個預測值，或者，處理器31可以是執行單一次預測值生成步驟S15，並於單一次預測值生成步驟S15中，利用三個預測方程式及相關正常感測器的感測值，以計算出3個預測值。

於數值判斷步驟S13後，若判定任一個正常感測器的感測值21或任一個預測值311，沒有位於相對應的容許範圍內，則執行一調整步驟S16：先控制乾燥氣體供給設備(圖未示)運作一預定供氣時間(例如5分鐘，但不以此為限)，以將一乾燥氣體輸入倉儲空間11，再重新執行收集步驟S11及狀態判斷步驟S12。所述乾燥氣體例如可以是潔淨乾燥氣體(CLEAN DRY AIR, CDA)，但不以此為限。

在較佳的實施例中，於調整步驟S16中，處理器31還可以是判斷移載裝置5當前的運作狀態，而處理器31可以是在移載裝置5當前或是於預設時間(例如5分鐘，但不以此為限)內，沒有被安排進行任何待倉儲物的移入或移出作業時，控制移載裝置5於倉儲空間11內作動(例如上下移動、左右擺動等)，以通過移載裝置5的動作，而使乾燥空氣更快地流動至倉儲空間11的各區域。需說明的是，在實務中，為了節省能源，處理器31在控制移載裝置5作動前，還可以是判斷移載裝置5於30～60分鐘內，是否曾經作動過，若是移載裝置於30～60分鐘內曾經運作過，則處理器31當下可以不再控制移載裝置5作動。換句話說，在實務中，處理器31可以是在判定移載裝置5在前30～60分鐘內都沒有運作過，且移載裝置5在接下來的5分鐘內，都沒有被安排有任何作業，才控制移載裝置5運作。

在其中一個實際應用中，各個預測方程式321的依變數為一倉內環境數值，各個預測方程式321的自變數至少包含：位於異常感測器的周圍的其中至少一個處於正常狀態的感測器2的感測值21、乾燥氣體的一氣體狀態數值、及倉儲設備所處環境的一倉外環境數值；其中，倉內環境數值、氣體狀態數值及倉外環境數值皆為濕度，或者，倉內環境數值、氣體狀態數值及倉外環境數值皆為溫度。

舉例來說，其中一個預測方程式例如是：Y=C ₁*X+C ₂*ΔH+C ₃*H _CDA+C ₄，Y為其中一個異常感測器所對應的預測濕度(即預測值及倉內環境數值)，X為鄰近於此異常感測器的其中一個正常感測器所產生的濕度值(即感測值)，ΔH為乾燥氣體的濕度(即氣體狀態數值)與倉儲設備100所處環境(例如是無塵室)的濕度(即倉外環境數值)的差值，H _CDA為乾燥氣體的濕度。其中，係數C ₁、C ₂、C ₃、C ₄可以是通過大量地收集所有的感測器處於正常狀態下所產生的感測值，並利用線性迴歸等演算法計算所得。

在上述舉例中，是以利用位於異常感測器的周圍的正常感測器的感測值，配合乾燥氣體的濕度與倉儲設備100所處環境的濕度的差值，及乾燥氣體的濕度，來預測出異常感測器若是處於正常狀態時，可能對應產生的預測值，但，預測方程式所包含的自變數，不侷限於僅可包含單一個正常感測器的感測值，在不同的實施例中，預測方程式也可以是包含有位於異常感測器的周圍的至少兩個正常感測器所對應產生的兩個感測值。另外，在不同的實施例中，各個預測方程式321的自變數還可以包含有倉儲空間11的尺寸、乾燥氣體供給設備單位時間提供的乾燥氣體的流量中的至少一個。

在實際應用中，處理裝置3執行監控程序的過程中，或者，處理裝置3執行監控程序後，處理裝置3可以是產生並傳遞一監控資訊312至一顯示裝置(圖未示，例如是各式螢幕)，監控資訊312例如可以是包含各個感測器2的一狀態資料3121、感測值21或預測值311及至少一倉儲設備狀態資料3122，倉儲設備狀態資料3122例如可以是倉儲設備的一入料門的啟閉狀態、倉儲空間11的氧氣濃度及倉儲空間11的氣壓值中的至少一個。舉例來說，相關人員可以由顯示有監控資訊312的顯示裝置，觀看到類似：感測器A：正常(即狀態資料3121)/溫度25°C(即感測值21)、感測器B：異常/預測溫度28°C、感測器C：正常/預測濕度20%、感測器D：正常/預測濕度23%、倉儲空間狀態：入料門關閉(即運作狀態資料3121)/氣壓：10PA(即壓力值)/氧氣濃度：5% v/v。在實際應用中，顯示裝置顯示運作狀態資料3121時，相關人員例如可以是觀看到類似：「入料門開啟中」、「入料門關閉」、「物品入倉中」、「物品出倉中」、「乾燥氣體供應中」、「氧濃度提升中」、「氧濃度低」等文字或圖樣。

值得一提的是，本發明的倉儲設備100的處理裝置3，在沒有執行調整步驟S16時，可以是不控制乾燥空氣供給設備輸入乾燥空氣至倉儲空間11內，而處理裝置3僅會於倉儲空間11內的溫度、濕度等環境條件不符合預期時，才會控制乾燥氣體供給設備作動，如此，將可以進一步降低倉儲設備100的運作成本。

依上所述，本發明的倉儲設備通過使監控程序包含狀態判斷步驟S12及預測值生成步驟S15等設計，讓處理裝置是利用處於正常狀態的感測器的感測值及異常感測器的預測值進行數值判斷步驟S13及調整步驟S16，如此，當感測器發生異常時，處理裝置不會直接利用該異常感測器所產生的相關數值，進行數值判斷步驟S13，而倉儲設備將相對不容易發生，處理器判斷倉儲空間內的溫度、濕度等環境條件不符合預期，而處理器使乾燥氣體供給設備持續地將乾燥氣體輸入至倉儲空間內的問題。

也就是說，處理裝置在數值判斷步驟S13前，已經先通過狀態判斷步驟S12，來篩選出不是處於正常狀態的感測器，而於數值判斷步驟S13中，處理裝置將不會利用不是處於正常狀態的感測器所產生的數值，如此，將可以有效避免降低處理器發生誤判的情況。

現有常見的倉儲設備，並不存在有上述本發明的狀態判斷步驟S12及預測值生成步驟S15等設計，因此，現有常見的倉儲設備的處理裝置，在判斷倉儲設備內的環境條件是否符合預期時，會將不是處於正常狀態的感測器所產生的數值，作為其中一個判斷標準，為此，導致處理裝置容易發生判斷錯誤的問題。

請參閱圖5，其顯示為本發明的倉儲設備的處理器所執行的監控程序的第二實施例的流程示意圖。本實施例與前述實施例的不同之處在於：在狀態判斷步驟S12後，若處理器判定不是所有的感測器都處於正常狀態，則處理器於執行預測值生成步驟S15前，是先執行一異常數量判斷步驟S21：判斷所有的異常感測器的一異常總數量，是否超過所有感測器的總數的一預定比例，並判斷所述異常總數量是否等於所有感測器的總數。

若判定異常總數量超過所有感測器的總數的預定比例，或者，若判定異常總數量等於所有感測器的總數(即所有的感測器都不是處於正常狀態)，則執行一警示步驟S22：停止執行監控程序，並發出相應的一警示資訊。

舉例來說，當處理器判定所有的感測器都不是處於正常狀態時，處理器可以是控制處理器所連接的顯示裝置顯示警示資訊，而相關人員則可以於顯示裝置中，看到類似「當前所有感測器，都被判定處於異常狀態，請立即進行檢修」等文字。相似地，當處理器判定異常總數量超過感測器的總數的預定比例，而處理器控制顯示裝置顯示相對應的警示資訊時，相關人員例如可以是於顯示裝置中，觀看到類似「當前有超過50%的感測器，被判定處於異常狀態，請立即進行檢修」等文字。

在不同的實施例中，處理器還可以是傳遞警示資訊至遠端伺服器，據以通過遠端伺服器，將警示資訊傳遞至相關電子裝置(例如智慧型手機等)，如此，不在廠房內的相關人員亦可通過相關電子裝置，瞭解倉儲設備當前的狀態。另外，處理器也可以是將其產生的警示資訊，傳遞至相關警示裝置，據以使警示裝置發出預設的光束、聲音等，來提醒相關人員。

相對地，在異常數量判斷步驟S21後，若處理器判定異常總數量沒有超過所有感測器的總數的預定比例，則處理器將接續執行預測值生成步驟S15及數值判斷步驟S13。

舉例來說，假設倉儲空間內設置有20個感測器，且預定比例為30%，則處理器於異常數量判斷步驟S21中，若判定其中7個感測器不處於正常狀態，則處理器將會執行警示步驟S22；相反地，若處理器於異常數量判斷步驟S21，判定僅有5個感測器不處於正常狀態，則處理器將不會執行警示步驟S22，且處理器會執行預測值生成步驟S15。

值得一提的是，在較佳的應用中，處理器執行預測值生成步驟S15中，或者，處理器執行完預測值生成步驟S15後，處理器還可以是判斷每一個異常感測器所對應的預測值是否都已經被計算出來，若處理器判斷任一個異常感測器的預測值沒有被計算出來，則處理器可以是不接續執行數值判斷步驟S13，而處理器是執行所述警示步驟S22。

舉例來說，假設倉儲空間內的其中一個感測器A所對應的預測方程式E的其中一個自變數是感測器B的感測值，則若處理器執行狀態判斷步驟S12後，判斷感測器A、B不是處於正常狀態，而後，處理器執行預測值生成步驟S15時，處理器將會因為感測器B沒有處於正常狀態，而無法利用預測方程式E，來計算出感測器A的預測值，因此，處理器將會執行警示步驟S22，而處理器不會接續執行數值判斷步驟S13，而後，顯示裝置顯示所述警示資訊時，相關人員例如可以是於顯示裝置上觀看到類似「感測器A被判定處於異常狀態，且其感測值無法被預測，請安排進行檢修」等文字。

依上所述，為了避免處理器容易遇到無法計算出異常感測器的預測值的情況，在較佳的實施例中，儲存器中可以是儲存有多個預測方程式，而每一個感測器的預測值，可以是被至少兩個預測方程式計算所得，且每一個感測器對應的各個預測方程式所包含的自變數，是對應為處於正常狀態的不同的感測器所產生的感測值。

舉例來說，假設儲存器中儲存有兩個預測方程式E1、E2能用來計算出能夠代表感測器A的感測值的預測值，則預測方程式E1例如可以是利用處於正常狀態的感測器B的感測值，配合其他相關數值，以計算出感測器A的預測值，預測方程式E2則可以是利用處於正常狀態的感測器C，配合其他相關數值，以計算出感測器A的預測值，如此，除非在感測器A、B、C都同時壞掉的情況下，處理器才會無法計算出不是處於正常狀態的感測器A所對應的預測值。

本實施例與前述實施例的另一不同之處在於：於調整步驟S16前，還包含一次數判斷步驟S23：判斷調整步驟S16被執行過的次數是否超過一預定次數(例如3次，但不以此為限)；若判定收集步驟S11被執行過的次數超過預定次數，則執行前述警示步驟S22；相反地，若判定收集步驟S11被執行過的次數，沒有超過預定次數，則接續執行調整步驟S16。舉例來說，假設乾燥氣體供給設備運作70分鐘，即可使倉儲空間內充滿乾燥氣體，且處理器每一次執行調整步驟S16，是控制乾燥氣體供給設備運作30分鐘，則所述預定次數可以是3次；亦即，處理器執行3次調整步驟S16後，代表乾燥氣體供給設備已經連續90分鐘輸入乾燥氣體至倉儲空間內，在此狀態下，按理整個倉儲空間應該可以充滿乾燥氣體，而所有感測器的感測值或預測值，應該都是位於容許範圍內，但若處理器仍然判定有感測值或預測值不位於相對應的容許範圍，顯然表示某一個設備可能發生故障(例如乾燥氣體供給設備沒有輸出預定容量的乾燥氣體至倉儲空間中)，為此，處理器將執行警示步驟S22，而不再執行調整步驟S16。

值得一提的是，倉儲設備還可以包含至少一氣壓感測器，氣壓感測器電性連接處理器，氣壓感測器位於倉儲空間中。當處理器執行調整步驟S16時，處理器將通過氣壓感測器，偵測倉儲空間內的氣壓，且若處理器判定倉儲空間內的氣壓，超過一預定氣壓值時，處理器將控制倉體的一排氣門開啟，以使倉儲空間能通過排氣門與外連通，據以使倉儲空間內的空氣能向外流動，在此同時，處理器將持續地通過氣壓感測器取得倉儲空間內的氣壓，而處理器將在倉儲空間內的氣壓不超過預定氣壓值時，控制排氣門關閉。

請參閱圖6，其顯示為本發明的倉儲設備的處理器所執行的監控程序的第三實施例的流程示意圖。本實施例與前述第一實施例的不同之處在於：儲存器32中儲存有至少兩個預測方程式，於預測值生成步驟S15A前還包含一區域查詢步驟S31：利用異常感測器的一識別資料，於儲存器中查詢出異常感測器是否位於一變化區；若處理器判定異常感測器位於變化區，則接續執行預測值生成步驟S15A，且於預測值生成步驟S15A中，是利用相對應的預測方程式及位於變化區的至少一個正常感測器所產生的感測值，計算出異常感測器的預測值。

於區域查詢步驟S31中，若處理器查出感測器不是位於變化區，則處理器將判定感測器位於一穩定區，而後，處理器將是接續執行另一預測值生成步驟S15B：利用位於穩定區的其餘的正常感測器的感測值的平均，作為異常感測器的預測值。

在不同的實施例中，若處理器判定感測器是位於穩定區，處理器也可以是利用另一預測方程式，及位於穩定區的至少一個正常感測器所產生的感測值，計算出異常感測的預測值。

所述變化區是指倉儲空間中，溫度、濕度容易有相對大幅度變化的區域，而穩定區則是指倉儲空間中，溫度、濕度相對不容易發生大幅度變化的區域。具體來說，當倉體的入料門被控制開啟，以進行相關待倉儲物的入倉、出倉作業時，倉儲空間中鄰近於倉體的入料門的區域的溫度、濕度，將相對於倉儲空間的其餘區域，有相對明顯的變化，因此，於倉儲空間中鄰近於入料門的區域，可以是被定義為所述變化區，而倉儲空間中遠離入料門的區域，則可以是被定義為所述穩定區。

依上所述，簡單來說，位於變化區的異常感測器的預測值，及位於穩定區的異常感測器的預測值，是分別利用不同的預測方程式或預測方式計算所得，如此，將可以確保每一個異常感測器的預測值的準確性。

在較佳的實施例中，於區域查詢步驟S31中，還可以是利用識別資料，於儲存器中查詢出異常感測器是否位於所述變化區的一上游區，或是，位於所述變化區的一下游區。

若處理器判定異常感測器位於上游區，則利用相對應的預測方程式，配合位於上游區的至少一個正常感測器所產生的感測值及位於下游區的至少一個正常感測器所產生的感測值中的至少一個，計算出異常感測器的預測值。

若異常感測器位於下游區，則利用相對應的預測方程式，配合位於上游區的至少一個正常感測器所產生的感測值及位於下游區的至少一個正常感測器所產生的感測值中的至少一個，計算出異常感測器的預測值。

也就是說，處理器是利用不同的兩個預測方程式，來計算出用來代表位於變化區的上游區及下游區的異常感測器的感測值的預測值，且處理器可以是依據需求，利用位於變化區的上游區或下游區的至少一個處於正常狀態的感測器的感測值，來計算出用來代表位於變化區的上游區的異常感測器的感測值的預測值；相同地，處理器可以是依據需求，利用位於變化區的上游區或下游區的至少一個處於正常狀態的感測器的感測值，來計算出用來代表位於變化區的下游區的異常感測器的感測值的預測值。

具體來說，在倉儲空間的垂直方向的空間相對較大的實施例中，變化區中鄰近於入料口的區域的溫度、濕度的變化，可能是大於變化區的其他區域的溫度、濕度的變化，因此，變化區還可以被區分為上游區及下游區，上游區例如是靠近入料口的區域，而下游區則是相對遠離入料口的區域。通過上游區、下游區的區分，可以更精確地計算出位於上游區、下游區的異常感測器的預測值。

請參閱圖7，其顯示為本發明的倉儲設備的處理器所執行的監控程序的第四實施例的流程示意圖。本實施例與前述實施例的不同之處在於：於預測值生成步驟S15C中，處理器31是依據倉儲設備的一當前狀態及一狀態維持時間，決定利用對應於異常感測器的哪一個預測方程式321計算出預測值311；當前狀態至少包含一開門狀態及一閉門狀態。其中，用來計算出用來代表同一個感測器的感測值的預測值的多個預測方程式所包含的自變數不完全相同。

舉例來說，儲存器中可以是儲存有用來計算出代表感測器A的感測值的預測值的2個預測方程式E1、E2，當處理器判定感測器A不是處於正常狀態，且入料門剛被開啟，而入料門預計被持續開啟5分鐘時，處理器則可以是利用預測方程式E1，計算出感測器A的預測值，相對地，若入料門處於關閉狀態，且入料門已經關閉超過30分鐘時，處理器則可以是利用預測方程式E2，計算出感測器A的預測值。

更進一步來說，假設異常感測器位於鄰近入料門的位置，則入料門被開啟時，異常感測器周圍的溫度、濕度的變化將相對較大，此時，處理器例如可以是利用鄰近於入料門的至少一個處於正常狀態的感測器的感測值，配合其他相關數值，來計算出所述異常感測器的預測值。相對地，當入料門被關閉相對較長的時間時，倉儲空間中的各區域的溫度、濕度，將相對趨近一致，此時，處理器則可以利用不同的預測方程式，來計算出所述異常感測器的預測值，或者，也可以是，利用位於異常感測器周圍的正常感測器的感測值的平均，作為異常感測器的預測值。

通過上述設計，倉儲設備的處理器，可以在倉儲設備處於不同的狀態中，都能相對精準地計算出各個異常感測器的預測值，藉此，將可以大幅地降低處理器執行數值判斷步驟S13時，發生誤判的問題。

值得一提的是，在不同的實施例中，本實施例所舉的流程，可以是與前述第三實施例一同混合為新的實施例。也就是說，處理器判定感測器A不是處於正常狀態時，處理器可以是依據倉儲設備的當前狀態，以及此感測器A所處區域，來決定利用哪一個預測方程式及哪一些正常正常感測器所產生的感測值，來計算出異常感測器的預測值。

承上，舉例來說，當倉儲設備的入料門剛被開啟，且異常感測器位於變化區，則處理器可以是利用位於異常感測器的周圍且位於相同變化區內的正常感測器的感測值，配合一第一預測方程式，產生相對應的預測值；當倉儲設備的入料門關閉一預定時間，且異常感測器位於變化區，則處理器可以是利用位於異常感測器的周圍且位於相同變化區內的正常感測器的感測值，配合一第二預測方程式，產生相對應的預測值；當倉儲設備的入料門剛被開啟，且異常感測器不是位於變化區，則處理器可以是利用位於異常感測器的周圍且同樣不是位於變化區內的正常感測器的感測值，配合一第三預測方程式，產生相對應的預測值；當倉儲設備的入料門已經關閉一段時間，且異常感測器不是位於變化區，則處理器可以是利用位於異常感測器的周圍且同樣不是位於變化區內的所有正常感測器的感測值的平均，作為異常感測器的預測值。

請一併參閱圖1、圖3及圖8，倉儲空間11還可以是連接一抽氣裝置200，處理裝置3電性連接抽氣裝置200。倉體1包含一進氣通道(圖未示)、一維修門6、一門鎖機構7及一氧濃度偵測器8，進氣通道具有一進氣門(圖未示，例如是各式電動氣閥)。處理器31產生所述警示資訊後，若處理器31接收到一維修請求，則處理器31將執行一維修程序。

如圖8所示，其顯示為處理器31執行維修程序時的流程示意圖，維修程序包含以下步驟：

一停止步驟S41：控制乾燥氣體供給設備停止運作；

一抽氣步驟S42：控制抽氣裝置200運作，以使倉儲空間11內的壓力，低於倉儲空間11外的壓力；

一開啟步驟S43：開啟倉體1的進氣門，以使倉體1外的空氣能通過進氣通道進入倉儲空間11；

一偵測步驟S44：依據氧濃度偵測器8的一偵測值，判斷倉儲空間11內的一氧濃度值，是否達到一預定氧濃度值；

若判定倉儲空間11內的氧濃度值，達到預定氧濃度值，則執行一解鎖步驟S45：控制門鎖機構7作動，而使維修門6由一上鎖狀態轉換為一解鎖狀態；其中，門鎖機構7未被控制而作動時，維修門6呈上鎖狀態；若判定倉儲空間11內的氧濃度值，未達到預定氧濃度值，則重複執行維修程序。

具體來說，倉儲設備100應用為儲存半導體相關物料時，倉儲空間11內，常會填充氮氣或相關惰性氣體，而倉儲空間11內的氧氣濃度是處於不利於人類呼吸的狀態，因此，相關人員若是貿然開啟維修門6，進入倉儲空間11內，則可能發生缺氧的問題。是以，在實際應用中，維修門6是保持常關且上鎖的狀態，當相關人員欲進入倉儲空間11內進行相關檢修作業時，相關人員則必需通過操作相關裝置，以向處理器發出維修請求，據以使處理器31執行所述維修程序，如此，在倉儲空間11的氧濃度到達預定氧濃度值時，維修門6才會轉換為解鎖狀態。

請參閱圖9，其顯示為本發明的倉儲設備的監控方法的流程示意圖。本發明的倉儲設備的監控方法適用於一倉儲設備，倉儲設備的監控方法包含以下步驟：

一初始步驟SX0：控制設置於倉儲設備的一倉儲空間內的多個感測器運作；

一收集步驟SX1：收集每一個感測器於一預定感測時間內產生的感測值；

一狀態判斷步驟SX2：判斷所有的感測器是否都處於一正常狀態；其中，被判定處於所述正常狀態的感測器定義為一正常感測器，被判定不是處於所述正常狀態的感測器則定義為一異常感測器；

若所有的感測器都處於正常狀態，則執行一數值判斷步驟SX3：判斷所有正常感測器的感測值是否都位於相對應的一容許範圍內；

若判定所有的正常感測器的感測值都位於相對應的容許範圍，則執行一結束步驟SX4：結束倉儲設備的監控方法的流程。

若判定不是所有的感測器都處於正常狀態，則於執行數值判斷步驟SX3前，執行至少一次預測值生成步驟SX5，以計算出每一個所述異常感測器的一預測值，各個所述預測值用來代表所述異常感測器為正常狀態時所產生的感測值。

本實施例所指的收集步驟SX1、狀態判斷步驟SX2、數值判斷步驟SX3、結束步驟SX4、預測值生成步驟SX5及調整步驟SX6，與前述實施例中所指的收集步驟S11、狀態判斷步驟S12、數值判斷步驟S13、結束步驟S14、預測值生成步驟S15、調整步驟S16相同，相關詳細說明，請參閱前述實施例，於此不再贅述。另外，前述實施例所舉的監控程序的各種變化實施例，都可以直接應用於本實施例的倉儲設備的監控方法中，相關詳細說明，請參閱前述實施例，於此不再贅述。

綜上所述，本發明的倉儲設備及倉儲設備的監控方法，通過狀態判斷步驟、預測值生成步驟等設計，在感測器發生異常，但其感測值仍然可以被其他處於正常狀態的感測器的感測值所預測時，倉儲設備將不會立即地停止運作或是相關維修狀態(例如是提升倉儲空間內的氧濃度、使倉儲空間的壓力與倉儲設備所處環境的壓力趨近一致等)，而相關人員將可以依據人力配置的狀況，擇日安排相關人員進入倉儲空間中，對異常感測器進行相關檢修作業。

以上所述僅為本發明的較佳可行實施例，非因此侷限本發明的專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的保護範圍內。

100:倉儲設備 1:倉體 11:倉儲空間 2:感測器 21:感測值 3:處理裝置 31:處理器 311:預測值 312:監控資訊 3121:狀態資料 3122:倉儲設備狀態資料 32:儲存器 321:預測方程式 4:承載架 5:移載裝置 6:維修門 7:門鎖機構 8:氧濃度偵測器 200:抽氣裝置 S11～S16、S21～S23、S31:程序步驟 S15A、S15B、S15C、S41～S45:程序步驟 SX0～SX6:方法步驟

圖1為本發明的倉儲設備的示意圖。

圖2為本發明的倉儲設備的內部示意圖。

圖3為本發明的倉儲設備的方塊示意圖。

圖4為本發明的倉儲設備的處理器執行監控程序的第一實施例的流程示意圖。

圖5為本發明的倉儲設備的處理器執行監控程序的第二實施例的流程示意圖。

圖6為本發明的倉儲設備的處理器執行監控程序的第三實施例的流程示意圖。

圖7為本發明的倉儲設備的處理器執行監控程序的第四實施例的流程示意圖。

圖8為本發明的倉儲設備的處理器執行維修程序的流程示意圖。

圖9為本發明的倉儲設備的監控方法的流程示意圖。

S11~S16:程序步驟

Claims

一種倉儲設備，其包含：一倉體，其內部具有一倉儲空間；多個感測器，其設置於所述倉儲空間中，各個所述感測器用以感測其周圍環境，以產生一感測值；一處理裝置，其包含一處理器及一儲存器，所述儲存器內儲存有多個預測方程式，各個所述預測方程式用以利用至少一個所述感測器的所述感測值計算出一預測值，所述預測值用來代表另一個所述感測器的所述感測值；其中，所述處理器能執行一監控程序，其包含以下步驟：一收集步驟：收集每一個所述感測器於一預定感測時間內產生的所述感測值；一狀態判斷步驟：判斷所有的所述感測器是否都處於一正常狀態；其中，被判定處於所述正常狀態的所述感測器定義為一正常感測器；被判定不是處於所述正常狀態的所述感測器定義為一異常感測器；若所有的所述感測器都處於所述正常狀態，則執行一數值判斷步驟；若不是所有的所述感測器都處於所述正常狀態，則於執行所述數值判斷步驟前，執行至少一次預測值生成步驟，以計算出每一個所述異常感測器的所述預測值，各個所述預測值用來代表所述異常感測器為所述正常狀態時所產生的所述感測值；所述預測值生成步驟為：利用其中一個所述預測方程式及位於所述異常感測器周圍的至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值，計算出相對應的所述預測值；所述數值判斷步驟為：判斷所有的所述正常感測器的所述感測值及所有所述預測值，是否都位於相對應的一容許範圍內；若判定任一個所述感測值或任一個所述預測值超出相對應的所述容許範圍，則執行一調整步驟：先控制一乾燥氣體供給設備運作一預定供氣時間，以將一乾燥氣體輸入所述倉儲空間，再重新執行所述收集步驟及所述狀態判斷步驟；若判定所有的所述感測值及所有的所述預測值都位於相對應的所述容許範圍內，則結束所述監控程序。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，所述處理裝置執行所述監控程序的過程中，或者，所述處理裝置執行所述監控程序後，所述處理裝置能傳遞一監控資訊至一顯示裝置，所述監控資訊包含各個所述感測器的一狀態資料、各個所述感測器的所述感測值或所述預測值，及一倉儲設備狀態資料，所述倉儲設備狀態資料為所述倉儲設備的一入料門的啟閉狀態、所述倉儲空間的一氧氣濃度及所述倉儲空間的一氣壓值中的至少一個。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，各個所述預測方程式的依變數為一倉內環境數值，各個所述預測方程式的自變數至少包含：位於所述異常感測器的周圍的其中至少一個處於所述正常狀態的所述感測器的所述感測值、所述乾燥氣體的一氣體狀態數值、及所述倉儲設備所處環境的一倉外環境數值；其中，所述倉內環境數值、所述氣體狀態數值及所述倉外環境數值皆為濕度，或者，所述倉內環境數值、所述氣體狀態數值及所述倉外環境數值皆為溫度。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，各個所述預測方程式的自變數還包含所述倉儲空間的尺寸、所述乾燥氣體供給設備單位時間提供的所述乾燥氣體的流量中的至少一個。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，於所述狀態判斷步驟中，所述處理器是先控制所有的所述感測器作動，並於各個所述感測器作動所述預定感測時間後，將沒有回傳所述感測值的所述感測器判定為所述異常感測器，且所述處理器還會依據各個所述感測器所回傳的所述感測值，來決定各個所述感測器是所述正常感測器或是所述異常感測器；若所述感測器所回傳的所述感測值大於一預設上限值，或者，所述感測器所回傳的所述感測值小於一預設下限值，則所述處理器將判定所述感測器為所述異常感測器。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，各個所述感測器每間隔一預定時間，將回傳其所感測的所述感測值至所述處理器；於所述狀態判斷步驟中，所述處理器是判斷每一個所述感測器當前傳遞的所述感測值，與前一次傳遞的所述感測值的時間差，是否超過一預設時間差，若任一個所述感測器當前傳遞的所述感測值，與前一次傳遞的所述感測值的時間差，被所述處理器判斷為超過所述預設時間差，則所述處理器將判定所述感測器為所述異常感測器。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，所述處理器執行所述狀態判斷步驟後，若判定所有的所述感測器都不是處於所述正常狀態，則結束所述監控程序，並發出相應的一警示資訊；於所述調整步驟前，還包含一次數判斷步驟：判斷所述調整步驟被執行過的次數是否超過一預定次數，若超過所述預定次數，則結束所述監控程序，並發出相對應的一警示資訊；於所述預測值生成步驟中，若所有的所述異常感測器的所述預測值皆能被計算出來，則執行所述數值判斷步驟；若任一個所述異常感測器的所述預測值無法被計算出來，則結束所述監控程序，並發出相應的一警示資訊。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，於所述狀態判斷步驟後，若任一個所述感測器不是處於所述正常狀態，則於執行所述預測值生成步驟前，是先執行一異常數量判斷步驟：判斷所有的所述異常感測器的一異常總數量，是否超過所有感測器的總數的一預定比例，並判斷所述異常總數量是否等於所有感測器的總數；若判定所述異常總數量超過所有所述感測器的所述總數的所述預定比例，或者，若判定所述異常總數量等於所有所述感測器的所述總數，則停止執行所述監控程序，並發出相應的一警示資訊；若所述異常總數量沒有超過所述總數的所述預定比例，則執行所述預測值生成步驟。
如請求項7或8所述的倉儲設備，其中，所述倉儲空間11還連接一抽氣裝置，所述處理裝置電性連接所述抽氣裝置；所述倉體包含一進氣通道、一維修門、一門鎖機構及一氧濃度偵測器，所述進氣通道具有一進氣門；所述處理器發出所述警示資訊後，若所述處理器接收到一維修請求，則所述處理器執行一維修程序，其包含以下步驟：控制所述乾燥氣體供給設備停止運作；控制所述抽氣裝置運作，以使所述倉儲空間內的壓力，低於所述倉儲空間外的壓力；開啟所述倉體的所述進氣門，以使所述倉體外的空氣能通過所述進氣通道進入所述倉儲空間；利用所述氧濃度偵測器的一偵測值，判斷所述倉儲空間內的一氧濃度值，是否達到一預定氧濃度值；若判定所述倉儲空間內的所述氧濃度值，達到所述預定氧濃度值，則控制所述門鎖機構作動，而使所述維修門由一上鎖狀態轉換為一解鎖狀態；其中，所述門鎖機構未被控制而作動時，所述維修門呈所述上鎖狀態；若判定所述倉儲空間內的所述氧濃度值，未達到所述預定氧濃度值，則重複執行所述維修程序。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，所述儲存器中儲存有至少兩個所述預測方程式；於所述預測值生成步驟前還包含一區域查詢步驟：利用所述異常感測器的一識別資料，於所述儲存器中查詢出所述異常感測器是否位於一變化區；若判定所述異常感測器位於所述變化區，則利用相對應的所述預測方程式，及位於所述變化區的至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值，計算出所述異常感測器的所述預測值。
如請求項10所述的倉儲設備，其中，於所述區域查詢步驟中，是利用所述識別資料，於所述儲存器中查詢出所述異常感測器是否位於所述變化區的一上游區或所述變化區的一下游區；若判定所述異常感測器位於所述上游區，則利用相對應的所述預測方程式，配合位於所述上游區的至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值及位於所述下游區中至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值中的至少一個，計算出所述異常感測器的所述預測值；若判定所述異常感測器位於所述下游區，則利用相對應的所述預測方程式，配合位於所述上游區的至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值及位於所述下游區的至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值中的至少一個，計算出所述異常感測器的所述預測值。
如請求項10所述的倉儲設備，其中，於所述區域查詢步驟中，若查出所述感測器不是位於所述變化區，則判定所述感測器位於一穩定區，並利用位於所述穩定區的其餘的所述正常感測器的所述感測值的平均，作為所述異常感測器的所述預測值，或者，利用另一所述預測方程式及位於所述穩定區的至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值，計算出所述異常感測的所述預測值。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，所述倉儲設備包含多個承載架及一移載裝置，各個所述承載架與所述倉體相連接，且多個所述承載架是上下間隔地設置於所述倉儲空間中，各個所述承載架環繞所述移載裝置設置，各個所述承載架用以承載多個待倉儲物；每一個所述承載架的周圍設置有多個所述感測器；所述移載裝置用以將所述待倉儲物移入或移出所述倉儲空間；鄰近於各個所述承載架的多個所述感測器，是以所述移載裝置為中心，平均地分散設置於所述承載架的周圍；於所述調整步驟中，所述處理裝置還會控制所述移載裝置運作。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，所述倉儲設備還包含至少一氣壓感測器，所述氣壓感測器電性連接所述處理裝置，所述氣壓感測器位於所述倉儲空間中；當所述處理裝置執行所述調整步驟時，所述處理裝置將通過所述氣壓感測器，偵測所述倉儲空間內的氣壓，且若所述處理裝置判定所述倉儲空間內的氣壓，超過一預定氣壓值時，所述處理裝置將控制所述倉體的一排氣門開啟，以使所述倉儲空間能通過所述排氣門與外連通，直到所述處理裝置判定所述倉儲空間內的氣壓，不超過所述預定氣壓值，所述處理裝置才控制所述排氣門關閉。
如請求項1所述的倉儲設備，其中，於所述儲存器中，每一個所述感測器的所述預測值，能被至少兩個所述預測方程式計算得到，於所述預測值生成步驟中，是依據所述倉儲設備的一當前狀態及一狀態維持時間，決定利用對應於所述異常感測器的哪一個所述預測方程式計算出所述預測值；所述當前狀態至少包含一開門狀態及一閉門狀態。
一種倉儲設備的監控方法，其適用於一倉儲設備，所述倉儲設備的監控方法包含以下步驟：一初始步驟：控制設置於所述倉儲設備的一倉儲空間內的多個感測器運作；一收集步驟：收集每一個所述感測器於一預定感測時間內產生的一感測值；一狀態判斷步驟：判斷所有的所述感測器是否都處於一正常狀態；其中，被判定處於所述正常狀態的所述感測器定義為一正常感測器；被判定不是處於所述正常狀態的所述感測器定義為一異常感測器；若所有的所述感測器都處於所述正常狀態，則執行一數值判斷步驟；若不是所有的所述感測器都處於所述正常狀態，則於執行所述數值判斷步驟前，執行至少一次預測值生成步驟，以計算出每一個所述異常感測器的一預測值，各個所述預測值用來代表所述異常感測器為所述正常狀態時所產生的所述感測值；所述預測值生成步驟為：利用一預測方程式及位於所述異常感測器周圍的至少一個所述正常感測器所產生的所述感測值，計算出相對應的所述預測值；所述數值判斷步驟為：判斷所有的所述正常感測器的所述感測值及所有所述預測值，是否都位於相對應的一容許範圍內；若判定任一個所述感測值或任一個所述預測值超出相對應的所述容許範圍，則執行一調整步驟：先控制一乾燥氣體供給設備運作一預定供氣時間，以將一乾燥氣體輸入所述倉儲空間，再重新執行所述收集步驟及所述狀態判斷步驟；若判定所有的所述感測值及所有的所述預測值都位於相對應的所述容許範圍，則結束所述倉儲設備的監控方法。