JP7465547B2 - 固体電解コンデンサおよび固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

固体電解コンデンサおよび固体電解コンデンサの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、固体電解コンデンサおよびその製造方法に関する。
固体電解コンデンサは、デカップリング回路や電源回路において一般的なコンデンサとして用いられるばかりでなく、高周波ノイズを除去するノイズフィルタとしても有利に用いられる。
固体電解コンデンサの一例として、特許文献1には、陽極導出線がコンデンサ素子の端面に引き出され、陽極導出線と接続されるように、コンデンサ素子の端面に外部電極を形成した構造を有する固体電解コンデンサが記載されている。外部電極は、陽極導出線の端面と接続されている。
特開2009-94475号公報
しかしながら、特許文献1に記載の固体電解コンデンサでは、陽極導出線と外部電極との接続面積が小さいため、接続抵抗が大きくなり、ESR(等価直列抵抗)が大きいという問題が生じる。
本発明は、上記課題を解決するものであり、ESRを低減した固体電解コンデンサ、および、そのような固体電解コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。
本発明の固体電解コンデンサは、
弁機能を有する柱状の金属芯材と、
前記金属芯材の一方側端面と他方側端面のそれぞれに接続された第1の外部端子と、
前記第1の外部端子とは極性の異なる第2の外部端子と、
を備え、
前記金属芯材の端面の面積は、前記金属芯材の長さ方向における中央部の、軸方向に直交する方向の断面の面積よりも大きく、
前記金属芯材の表面の一部に酸化膜を備えた多孔質層が配置され、
前記多孔質層は、導電性高分子を含む導電体層である陰極層を介して前記第2の外部端子と接続されている、
ことを特徴とする。
前記金属芯材の端面の面積は、前記中央部の断面の面積より1%以上大きくてもよい。
前記金属芯材の表面のうち、前記多孔質層が設けられていない部分にレジスト膜が配置されていてもよい。
前記レジスト膜は、ポリイミドおよびエポキシの少なくとも一方を含む樹脂であってもよい。
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、
弁機能を有する柱状の金属芯材を準備する工程と、
前記金属芯材の表面にレジスト膜を配置する工程と、
前記金属芯材の長さ方向において、所定間隔ごとに前記レジスト膜が配置される態様で前記レジスト膜を除去する工程と、
前記金属芯材の表面のうち、前記レジスト膜が配置されていない部分に多孔質層を形成する工程と、
前記多孔質層を化成処理する工程と、
前記化成処理後の前記金属芯材の表面に、導電性高分子を含む材料を塗工して導電性高分子層を形成する工程と、
前記金属芯材を前記レジスト膜が配置されている位置で分割して個片化する工程と、
個片化された個体ごとに、前記金属芯材の両端面に外部端子を設ける工程と、
を備えることを特徴とする。
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、
弁機能を有する柱状の金属芯材を準備する工程と、
前記金属芯材の表面に、長さ方向において所定間隔ごとにレジスト膜を配置する工程と、
前記金属芯材の表面のうち、前記レジスト膜が配置されていない部分に多孔質層を形成する工程と、
前記多孔質層を化成処理する工程と、
前記化成処理後の前記金属芯材の表面に、導電性高分子を含む材料を塗工して導電性高分子層を形成する工程と、
前記金属芯材を前記レジスト膜が配置されている位置で分割して個片化する工程と、
個片化された個体ごとに、前記金属芯材の両端面に外部端子を設ける工程と、
を備えることを特徴とする。
前記レジスト膜は、ポリイミドおよびエポキシの少なくとも一方を含む樹脂であってもよい。
上記固体電解コンデンサの製造方法は、
前記導電性高分子層の上にカーボン層を形成する工程と、
前記カーボン層の上に銀層を形成する工程と、
をさらに備えていてもよい。
本発明の固体電解コンデンサによれば、金属芯材の両端面に第1の外部端子が接続される構成であって、金属芯材の端面の面積は、金属芯材の長さ方向における中央部の断面の面積よりも大きいので、金属芯材と第1の外部端子との接続面積を大きくすることができる。そのような構成により、ESRを低減することができる。
本発明の固体電解コンデンサの製造方法では、金属芯材の表面にレジスト膜を配置した後、所定間隔ごとにレジスト膜が配置される態様でレジスト膜を除去し、金属芯材の表面のうち、レジスト膜が配置されていない部分に多孔質層を形成する。そして、レジスト膜が配置されている位置で金属芯材を分割して個片化し、個片化された個体ごとに、金属芯材の両端面に外部端子を設ける。これにより、金属芯材の端面の面積は、長さ方向における中央部の断面の面積よりも大きくなるので、金属芯材と第1の外部端子との接続面積を大きくすることができ、ESRを低減することができる。
また、本発明の固体電解コンデンサの製造方法では、金属芯材の表面に、長さ方向において所定間隔ごとにレジスト膜を配置し、金属芯材の表面のうち、レジスト膜が配置されていない部分に多孔質層を形成する。そして、レジスト膜が配置されている位置で金属芯材を分割して個片化し、個片化された個体ごとに、金属芯材の両端面に外部端子を設ける。これにより、金属芯材の端面の面積は、長さ方向における中央部の断面の面積よりも大きくなるので、金属芯材と第1の外部端子との接続面積を大きくすることができ、ESRを低減することができる。
一実施形態における固体電解コンデンサの外観を示す斜視図である。 図1に示す固体電解コンデンサを切断線II-IIで切断した場合の断面図である。 図2に示す固体電解コンデンサを切断線III-IIIで切断した場合の断面図である。 図1に示す固体電解コンデンサの底面図である。 図2の部分Vを拡大して模式的に示す断面図である。 一実施形態における固体電解コンデンサの製造工程を示すフローチャートである。 固体電解コンデンサの製造方法を説明するための図である。
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところを具体的に説明する。
図1は、一実施形態における固体電解コンデンサ100の外観を示す斜視図である。図2は、図1に示す固体電解コンデンサ100を切断線II-IIで切断した場合の断面図であり、図3は、図2に示す固体電解コンデンサ100を切断線III-IIIで切断した場合の断面図である。また、図4は、図1に示す固体電解コンデンサ100の底面図である。
一実施形態における固体電解コンデンサ100は、直方体形状の本体10と、本体10の一方側の端面11に配置された第1の陽極端子14、および、他方側の端面12に配置された第2の陽極端子15と、本体10の底面13に配置された陰極端子16とを備える。第1の陽極端子14および第2の陽極端子15は、第1の外部端子を構成し、陰極端子16は、第2の外部端子を構成する。
本体10は、コンデンサ素子18と、コンデンサ素子18を覆う封止材17とを備える。
コンデンサ素子18は、弁機能を有する柱状の金属芯材19を備える。金属芯材19を構成する弁作用金属として、例えば、アルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン、またはこれらの少なくとも1種を含む合金が用いられる。
金属芯材19は、この実施形態では、円柱状である。ただし、金属芯材19の形状が円柱状に限定されることはなく、例えば四角柱であってもよい。安価で入手が容易な点で、好ましくは、金属芯材19として、アルミニウムワイヤが用いられる。
金属芯材19は、当該金属芯材19の軸線方向に延びる芯部19aと、芯部19aの表面の一部に設けられた多孔質状の多孔質層19bと、からなる。
多孔質層19bは、例えば、アルミニウムワイヤからなる金属芯材19の表面にエッチング処理を施し、それによって表面が粗面化されることにより形成される。
多孔質層19bには、図5に模式的に示すように、外方に向く開口を有する多数の細孔20が形成されている。多孔質層19bの孔径は、例えば0.01μm以上100μm以下である。なお、図3において、多孔質層19bは、点線で挟まれた、網掛けを施した領域である。
本実施形態では、金属芯材19の端面の面積C1は、金属芯材19の長さ方向における中央部の、軸方向に直交する方向の断面の面積C2よりも大きい(図2参照)。好ましくは、金属芯材19の端面の面積C1は、金属芯材19の長さ方向における中央部の断面の面積C2よりも1%以上大きい。金属芯材19の端面の面積C1が中央部の断面の面積C2よりも大きいことにより、金属芯材19と第1の陽極端子14との間、および、金属芯材19と第2の陽極端子15との間の接続面積が大きくなるので、ESRを低減することができる。また、金属芯材19の端面の面積C1が中央部の断面の面積C2より1%以上大きいことにより、効果的にESRを低減することができる。
図5に示すように、多孔質層19bの表面には、酸化膜である誘電体層21が設けられている。より詳しくは、誘電体層21は、多孔質層19bの細孔20の内周面に沿って形成されている。なお、図5において、誘電体層21は太線で示されている。
誘電体層21は、例えば、多孔質層19bが形成された金属芯材19の表面を酸化することによって形成される。誘電体層21を構成する酸化膜の厚みは、例えば0.003μm以上5μm以下である。
コンデンサ素子18は、さらに、誘電体層21上にある陰極層22を備えている。導電体層である陰極層22は、固体電解質としての導電性高分子層23、導電性高分子層23の上のカーボン層24、およびカーボン層24の上の銀層25を備える。
導電性高分子層23に含まれる導電性高分子としては、π共役系導電性高分子を使用することができる。π共役系導電性高分子としては、置換または無置換の、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリアセチレン、ポリ(p-フェニレン)、ポリ(p-フェニレンビニレン)およびポリ(チエニレンビニレン)、並びにそれらの誘導体などが挙げられる。
置換基としては、水素原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ニトロ基、フェニル基、ビニル基、ハロゲン原子、アシル基、アミノ基、スルホン酸基、スルホニル基、カルボン酸エステル基、スルホン酸エステル基、アルコキシル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、これらの置換基を有してもよいC1~C18のアルキル基、これらの置換基を有してもよいC5~C12のシクロアルキル基、これらの置換基を有してもよいC6~C14のアリール基、これらの置換基を有してもよいC7~C18のアラルキル基などが挙げられる。
この中でも、導電性高分子としては、ポリピロール、ポリチオフェンおよびポリアニリン、並びにそれらの誘導体からなる群から選択される少なくとも一種を含む導電性高分子であることが好ましい。また、導電性高分子は、熱安定性の観点から、3,4-エチレンジオキシチオフェンまたはその誘導体の繰り返し単位を含むことがより好ましい。導電性高分子は、単独重合体でもよいし、共重合体でもよい。また、これらの導電性高分子は、1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
導電性高分子層23の厚みに特に制約はないが、例えば低抵抗が求められる場合には、各層の体積抵抗の観点から薄膜の方が好ましく、適宜求められる特性よって、任意の厚みに調整することが好ましい。
導電性高分子層23は、図5に示すように、多孔質層19bの細孔20の少なくとも一部を充填するように設けられている。導電性高分子層23は、多孔質層19bの全周面を覆っている必要はないが、全周面を覆うことにより、導電性高分子層23と誘電体層21とを広い面積で接触させることができる。なお、後述するレジスト膜30上に付着した導電性高分子は、レーザ等により除去されるか、または、マスクなどを配置することで、導電性高分子がレジスト膜30上に塗布されないようにしてもよい。これにより、陽極端子14、15と陰極端子16との間の絶縁性が担保される。
なお、陰極層22のうちカーボン層24と銀層25とは、コンデンサ素子18の陰極層として機能する。陰極層は、導電性を有する層であればよい。本実施形態では、陰極層はカーボン層24と銀層25の複数層としているが、陰極層は、銀層25だけで構成されていてもよい。
多孔質層19bは、陰極層22を介して、陰極端子16と電気的に接続される。陰極層22、より特定的には、銀層25は、導電性接着剤26(図3参照)を介して、陰極端子16と接続されている。
金属芯材19の芯部19aの両端面は、封止材17から露出している。金属芯材19の一方側端面は、第1の陽極端子14と接続されており、他方側端面は、第2の陽極端子15と接続されている。
第1の陽極端子14および第2の陽極端子15は、金属芯材19の芯部19aの端面上に形成されためっき膜または導電性樹脂膜により構成される。めっき膜は、例えばニッケル、亜鉛、銅、錫、金、銀、パラジウムまたは鉛などの金属、あるいはこれら金属の少なくとも1種を含有する合金を含む。導電性樹脂膜は、エポキシなどの樹脂内に、例えば銀、銅、ニッケル、錫およびパラジウムの少なくとも1種の金属粒子を導電成分として含む。
第1の陽極端子14および第2の陽極端子15は、めっき膜と導電性樹脂膜とを含む多層構造とされていてもよい。例えば、第1の陽極端子14および第2の陽極端子15は、二層のめっき層とこれらめっき層の間にある導電性樹脂層とを備えていてもよい。
金属芯材19の表面であって、多孔質層19bが設けられていない領域には、電気絶縁性樹脂からなるレジスト膜30が配置されている。レジスト膜30は、例えば、ポリイミドおよびエポキシの少なくとも一方を含む樹脂である。なお、レジスト膜30と陰極層22との間に段差は必須ではない。陰極層22の厚みがレジスト膜30より厚くてもよい。また、レジスト膜30の一部が陰極層22を覆っていてもよい。
封止材17は、樹脂を含む。封止材17は樹脂に加えて、アルミナやシリカ等のフィラーや、磁性材料を含んでいてもよい。封止材17が上述したフィラーを含むことによって、封止材17の機械的強度や加工性を調節することができる。また、所望の線膨張係数を有するフィラーを選択することによって、熱収縮性を調節することができる。
封止材17が磁性材料を含む場合、コンデンサのインピーダンスを意図的に高めることができる。例えば、インピーダンスの低いコンデンサを複数並列実装して用いる場合に反共振が発生する可能性がある。このとき、封止材が磁性材料を含むと、反共振を抑制することができる。磁性材料としては、例えば、鉄の粉、鉄を含む合金の粉、あるいは、フェライトの粉などの磁性粉が用いられる。磁性材料は、異なる粒径の、あるいは、異なる組成の2種以上の粉の混合物であってもよい。封止材17は、上述したように、要求機能に応じて、所望のフィラーや磁性材料を選択して用いることが好ましい。
(固体電解コンデンサの製造方法)
上述した構成を有する固体電解コンデンサ100の製造方法について、図6および図7を参照しながら説明する。
弁機能を有する柱状の金属芯材19として、アルミワイヤを準備する(図6のステップS1)。アルミワイヤの直径は、例えば0.02mm以上5.0mm以下である。上述したように、アルミワイヤの形状に特に制約はなく、円柱状でもよいし、四角柱状でもよい。
続いて、図7(a)に示すように、金属芯材19であるアルミワイヤの長さ方向に沿って、所定間隔L1ごとにレジスト膜30を配置する(図6のステップS2)。レジスト膜30として、例えば、ポリイミド樹脂およびエポキシ樹脂のうちの一方の樹脂を用いることができる。これにより、アルミワイヤの表面に、所定間隔L1ごとに、所定領域にレジスト膜30が配置される。
ここで、所定間隔L1は、例えば0.1mm以上3.0mm以下である。また、レジスト膜30が配置される所定領域の長さは、例えば0.1mm以上3.0mm以下である。
なお、図6のステップS2の工程の代わりに、金属芯材19であるアルミワイヤの全表面にレジスト膜30を配置する工程と、アルミワイヤの長さ方向において、所定間隔L1ごとに所定領域のレジスト膜30を残す態様でレジスト膜30を除去する工程と、を設けるようにしてもよい。
続いて、アルミワイヤの表面に対してエッチング処理を施すことによって、多孔質層19bを形成する(図6のステップS3)。図7(b)に示すように、多孔質層19bは、レジスト膜30が配置されていない領域に形成される。エッチング処理として、例えば交流電解エッチング、直流電解エッチング、化学的に行う腐食などの方法を用いることができる。
上述したように、アルミワイヤの表面に対してエッチング処理を施すことによって、レジスト膜30が配置されていない領域に多孔質層19bが形成される。後の工程で、アルミワイヤは、レジスト膜30が配置されている位置で分割されて個片化されるため、最終的に作製される固体電解コンデンサにおいて、レジスト膜30が配置されている位置は、金属芯材19の端部となる。したがって、上述した工程により、金属芯材19の端面の面積C1は、中央部の断面の面積C2よりも大きくなる。
続いて、化成処理により、アルミワイヤの表面に誘電体層21を形成する(図6のステップS4)。化成処理では、化成液として、例えばアジピン酸アンモニウムを用いる。すなわち、アジピン酸アンモニウムの水溶液中でアルミワイヤの表面を電気化学的に酸化させて、誘電体層21を構成する酸化膜を形成する。レジスト膜30が配置されている領域は、化成液に触れていないので、酸化膜は形成されない。
なお、レジスト膜30をレーザなどで除去してから、化成処理を行うようにしてもよい。その場合、レジスト膜30が配置されていた領域に形成される酸化膜をレーザなどで除去してもよいし、除去せずにそのまま残しておいてもよい。
続いて、アルミワイヤの表面に導電性高分子を含む材料を塗工する(図6のステップS5)。具体的には、固体電解質として、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)が分散した導電性高分子溶液を多孔質層19bに浸透させながら塗布し、その後乾燥させることによって、導電性高分子層23を形成する(図7(c)参照)
ここでは、多孔質層19bの細孔20に導電性高分子を含む材料を充填させるため、アルミワイヤを導電性高分子溶液に浸漬する。アルミワイヤの表面のうち、レジスト膜30が配置されている領域には、導電性高分子層23は形成されない。
なお、多孔質層19b上に、導電性高分子溶液を選択的に塗布するようにしてもよい。
また、金属芯材19の表面のうち、多孔質層19bが形成されていない領域に導電性高分子を含む材料が付着した場合、付着した導電性高分子を含む材料をレーザなどにより除去するようにしてもよい。
続いて、導電性高分子層23の上にカーボン層24を形成する(図6のステップS6)。カーボン層24は、例えばカーボンペーストを用いて、塗布、浸漬、印刷、転写などの方法により形成することができる。
続いて、カーボン層24の上に、銀層25を形成する(図6のステップS7)。銀層25は、例えば銀ペーストを用いて、塗布、浸漬、印刷、転写などの方法により形成することができる。
上述したように、導電性高分子層23、カーボン層24および銀層25が陰極層22を構成する(図5参照)。
続いて、陰極端子16となる電極が配置された基板を準備し、陰極端子16となる電極と、陰極層22とを、導電性接着剤26を用いて接着する(図6のステップS8)。
そして、陰極端子16の外側に向く面、および、金属芯材19の両端面が露出するような態様で、金属芯材19の周囲を樹脂でモールドする(図6のステップS9)。この樹脂が封止材17を構成する。
続いて、アルミワイヤを、レジスト膜30が配置されている位置で分割して個片化する(図6のステップS10)。より具体的には、アルミワイヤを、図7(c)の破線で示す、長さ方向におけるレジスト膜30の中央の位置で分割することによって、個片化する(図7(d)参照)。個片化は、例えば、ダイシング、押し切り、または表面に切れ目を入れて分割する方法など、任意の方法で行うことができる。
続いて、個片化された固体ごとに、封止材17から露出する、金属芯材19の両端面に接続されるように、第1の陽極端子14および第2の陽極端子15を形成する(図6のステップS11)。第1の陽極端子14および第2の陽極端子15は、例えば、金属芯材19の両端面にめっき処理を施すことによって形成する。めっき処理は、例えば電解めっきまたは無電解めっきにより行うことができる。
ここで、アルミニウムは容易に酸化膜を形成する性質を有しているが、酸化膜は、めっき膜の密着を阻害する要因となる。本実施形態では、金属芯材19としてアルミワイヤを用いているので、密着性の高いめっき膜を形成するために、ジンケート処理を行ってからめっき処理を行う。具体的には、金属芯材19に、Pdを含んだ溶液を塗布し、ジンケート処理によりNiを置換反応にて析出させて、Niめっきの上にSnめっきを施す。
上述した工程により、固体電解コンデンサ100を製造することができる(図7(e)参照)。
(ESRの測定)
上述した方法によって、金属芯材19の中央部の断面の面積C2に対する端面の面積C1の割合Kが異なる複数種類の固体電解コンデンサを作製した。そして、KEY SIGHT TECHNOLOGIES社製の測定器(E4980A)を用いて、作製した複数種類の固体電解コンデンサのESRを測定した。
また、ESRの測定後に、金属芯材19の中央部の断面の面積C2に対する端面の面積C1の割合K(K=C1/C2)を求めた。
ここでは、上記割合Kが異なる複数種類の固体電解コンデンサごとに、10個の固体電解コンデンサを用意してそれぞれのESRおよび上記割合Kを求め、10個の固体電解コンデンサのESRの平均値および割合Kの平均値を求めた。
金属芯材19の中央部の断面の面積C2に対する端面の面積C1の割合Kと、ESRとの関係を表1に示す。
Figure 0007465547000001
表1に示すように、金属芯材19の中央部の断面の面積C2と端面の面積C1とが同じ場合、すなわち、上記割合Kが1の場合を基準とすると、割合Kが1より大きくなると、ESRが低くなった。例えば、割合Kが1の場合のESRは270mΩであるが、割合Kが1.01の場合、すなわち、金属芯材19の端面の面積C1が中央部の断面の面積C2より1%大きい場合のESRは253mΩとなった。また、割合Kが大きくなるほど、すなわち、金属芯材19の中央部の断面の面積C2に対する端面の面積C1が大きくなるほど、ESRは低くなった。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
10 本体
11 本体の一方側の端面
12 本体の他方側の端面
13 本体の底面
14 第1の陽極端子
15 第2の陽極端子
16 陰極端子
17 封止材
18 コンデンサ素子
19 金属芯材
19a 芯部
19b 多孔質層
20 細孔
21 誘電体層
22 陰極層
23 導電性高分子層
24 カーボン層
25 銀層
26 導電性接着剤
30 レジスト膜
100 固体電解コンデンサ

Claims (8)

  1. 弁機能を有し、軸方向に延びる柱状の金属芯材と、
    前記金属芯材の一方側端面と他方側端面のそれぞれを覆うように設けられた第1の外部端子と、
    前記第1の外部端子とは極性の異なる第2の外部端子と、
    を備え、
    前記金属芯材の前記一方側端面および前記他方側端面の各々の面積は、前記金属芯材の長さ方向における中央部の、前記軸方向に直交する方向の断面の面積よりも大きく、
    前記金属芯材の表面の一部に酸化膜を備えた多孔質層が配置され、
    前記多孔質層は、前記金属芯材の前記表面の前記長さ方向における前記中央部を含むように設けられており、
    前記多孔質層は、導電性高分子を含む導電体層である陰極層を介して前記第2の外部端子と接続されている、
    ことを特徴とする固体電解コンデンサ。
  2. 前記金属芯材の端面の面積は、前記中央部の断面の面積より1%以上大きいことを特徴とする請求項1に記載の固体電解コンデンサ。
  3. 前記金属芯材の表面のうち、前記多孔質層が設けられていないすべての部分にレジスト膜が配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の固体電解コンデンサ。
  4. 前記レジスト膜は、ポリイミドおよびエポキシの少なくとも一方を含む樹脂であることを特徴とする請求項3に記載の固体電解コンデンサ。
  5. 弁機能を有し、軸方向に延びる柱状の金属芯材を準備する工程と、
    前記金属芯材の表面にレジスト膜を配置する工程と、
    前記金属芯材の長さ方向において、所定間隔ごとに前記レジスト膜が配置される態様で前記レジスト膜を除去する工程と、
    前記金属芯材の表面のうち、前記レジスト膜が配置されていない部分にエッチング処理を施すことによって、多孔質層を形成する工程と、
    前記多孔質層を化成処理する工程と、
    前記化成処理後の前記金属芯材の表面に、導電性高分子を含む材料を塗工して導電性高分子層を形成する工程と、
    前記金属芯材を前記レジスト膜が配置されている位置で分割して個片化する工程と、
    個片化された個体ごとに、前記金属芯材の両端面のそれぞれを覆うように外部端子を設ける工程と、
    を備え、
    前記個片化する工程で個片化された前記金属芯材において、前記エッチング処理により、前記金属芯材の前記両端面の各々の面積は、前記金属芯材の長さ方向における中央部の、前記軸方向に直交する方向の断面の面積よりも大きく、前記多孔質層は、前記金属芯材の前記表面の前記長さ方向における前記中央部を含むように設けられていることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
  6. 弁機能を有し、軸方向に延びる柱状の金属芯材を準備する工程と、
    前記金属芯材の表面に、長さ方向において所定間隔ごとにレジスト膜を配置する工程と、
    前記金属芯材の表面のうち、前記レジスト膜が配置されていない部分にエッチング処理を施すことによって、多孔質層を形成する工程と、
    前記多孔質層を化成処理する工程と、
    前記化成処理後の前記金属芯材の表面に、導電性高分子を含む材料を塗工して導電性高分子層を形成する工程と、
    前記金属芯材を前記レジスト膜が配置されている位置で分割して個片化する工程と、
    個片化された個体ごとに、前記金属芯材の両端面のそれぞれを覆うように外部端子を設ける工程と、
    を備え、
    前記個片化する工程で個片化された前記金属芯材において、前記エッチング処理により、前記金属芯材の前記両端面の各々の面積は、前記金属芯材の長さ方向における中央部の、前記軸方向に直交する方向の断面の面積よりも大きく、前記多孔質層は、前記金属芯材の前記表面の前記長さ方向における前記中央部を含むように設けられていることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
  7. 前記レジスト膜は、ポリイミドおよびエポキシの少なくとも一方を含む樹脂であることを特徴とする請求項5または6に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
  8. 前記導電性高分子層の上にカーボン層を形成する工程と、
    前記カーボン層の上に銀層を形成する工程と、
    をさらに備えることを特徴とする請求項5~7のいずれか1項に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
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