JP7462064B2 - 半導体構造及び半導体構造の製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2020年08月27日に中国特許局に提出された、出願番号が202010878114.1であり、発明の名称が「半導体構造及び半導体構造の製造方法」である中国特許出願の優先権を主張し、その全ての内容が参照により本願に援用される。
基板、ワード線、ビット線コンタクトプラグ及び第1隔離層を備え、
ワード線は基板内に位置し、隣接する2つのワード線の間にビット線コンタクトホールを有し、
ビット線コンタクトプラグはビット線コンタクトホール内に位置し、
第1隔離層は、ビット線コンタクトホールの側壁に位置し、ビット線コンタクトプラグの側壁を覆う。
第2隔離層及びワード線表面層を備え、
第2隔離層はワード線上に位置し、
ワード線表面層は第2隔離層内に位置し、第2隔離層は、ワード線表面層の側壁及び底壁を覆い、
ここで、ビット線コンタクトプラグは、隣接する2つの第2隔離層の間に位置する。
窒化物層を備え、窒化物層は、第2隔離層とワード線との間に位置する。
コンデンサを備え、コンデンサは基板上に位置する。
基板を提供することと、
基板内にワード線を形成し、隣接する2つのワード線の間にビット線コンタクトホールを形成することと、
ビット線コンタクトホールの側壁に第1隔離層を形成することと、
第1隔離層内にビット線コンタクトプラグを形成することであって、第1隔離層は、ビット線コンタクトプラグの側壁を覆うことと、を含む。
第1隔離層内でポリシリコンを覆設することであって、ポリシリコンはビット線コンタクトホールを覆うことと、
ポリシリコンを金属材料で覆うことと、
金属材料をポリシリコンで覆うことと、を含む。
ワード線上で第2隔離層を形成することと、
第2隔離層内でワード線表面層を形成することであって、第2隔離層は、ワード線表面層の側壁及び底壁を覆う、ことと、を更に含む。
第2隔離層を露出するように基板上に開口部を形成することであって、開口部はビット線コンタクトホールとして使用されることと、
開口部の側壁に第1隔離層を形成することと、を含む。
11 ビット線コンタクトホール
12 開口部
20 ワード線
30 ビット線コンタクトプラグ
31 ポリシリコン
32 金属材料
40 第1隔離層
50 ビット線
60 ワード線表面層
70 第2隔離層
80 第3隔離層
90 コンデンサ
Claims (13)
- 半導体構造であって、
基板、ワード線、ビット線コンタクトプラグ及び第1隔離層を備え、
前記ワード線は前記基板内に位置し、隣接する2つの前記ワード線の間にビット線コンタクトホールを有し、
前記ビット線コンタクトプラグは前記ビット線コンタクトホール内に位置し、
前記第1隔離層は、前記ビット線コンタクトホールの側壁に位置し、前記ビット線コンタクトプラグの側壁を覆い、
前記半導体構造は更に、
第2隔離層及びワード線表面層を備え、
前記第2隔離層は前記ワード線上に位置し、
前記ワード線表面層は前記第2隔離層内に位置し、前記第2隔離層は、前記ワード線表面層の側壁及び底壁を覆い、
前記ビット線コンタクトプラグは、隣接する2つの前記第2隔離層の間に位置することを特徴とする、半導体構造。 - 前記第1隔離層は、酸化シリコン層及び窒化シリコン層を備え、前記酸化シリコン層は、前記ビット線コンタクトホールの側壁と接触し、前記窒化シリコン層は、前記ビット線コンタクトプラグと接触することを特徴とする、
請求項1に記載の半導体構造。 - 前記第1隔離層の底端は、前記ビット線コンタクトプラグの底端と面一であり、及び/又は、前記第1隔離層は、前記基板の上面より低くないことを特徴とする、
請求項1に記載の半導体構造。 - 前記ビット線コンタクトプラグは多層構造であり、前記多層構造の材料は、ポリシリコン及び金属材料を含むことを特徴とする、
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の半導体構造。 - 前記ビット線コンタクトプラグは3層構造であり、2層の前記ポリシリコンの間に前記金属材料が介設されることを特徴とする、
請求項4に記載の半導体構造。 - 前記金属材料は前記基板の上面より高くないことを特徴とする、
請求項4に記載の半導体構造。 - 前記ビット線コンタクトプラグはポリシリコンを含むことを特徴とする、
請求項1に記載の半導体構造。 - 前記半導体構造は更に、
窒化物層を備え、前記窒化物層は、前記第2隔離層と前記ワード線との間に位置することを特徴とする、
請求項1に記載の半導体構造。 - 前記第1隔離層の底端は前記第2隔離層の底端より高いことを特徴とする、
請求項1に記載の半導体構造。 - 前記半導体構造は更に、
コンデンサを備え、前記コンデンサは前記基板上に位置することを特徴とする、
請求項1に記載の半導体構造。 - 半導体構造の製造方法であって、
基板を提供することと、
前記基板内にワード線を形成し、隣接する2つの前記ワード線の間にビット線コンタクトホールを形成することと、
前記ビット線コンタクトホールの側壁に第1隔離層を形成することと、
前記第1隔離層内にビット線コンタクトプラグを形成することであって、前記第1隔離層は、前記ビット線コンタクトプラグの側壁を覆うことと、を含み、
第1隔離層を形成する前に、前記半導体構造の製造方法は、
前記ワード線上で第2隔離層を形成することと、
前記第2隔離層内でワード線表面層を形成することであって、前記第2隔離層は、前記ワード線表面層の側壁及び底壁を覆う、ことと、を更に含む、半導体構造の製造方法。 - 前記ビット線コンタクトプラグを形成することは、
前記第1隔離層内でポリシリコンを覆設することであって、前記ポリシリコンは前記ビット線コンタクトホールを覆うことと、
前記ポリシリコンを金属材料で覆うことと、
前記金属材料をポリシリコンで覆うことと、を含むことを特徴とする、
請求項11に記載の半導体構造の製造方法。 - 前記第1隔離層を形成することは、
前記第2隔離層を露出するように前記基板上に開口部を形成することであって、前記開口部は前記ビット線コンタクトホールとして使用されることと、
前記開口部の側壁に前記第1隔離層を形成することと、を含むことを特徴とする、
請求項11に記載の半導体構造の製造方法。
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