JP7284613B2 - アクティブマトリクス基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
複数の画素領域を含む表示領域と、前記表示領域以外の非表示領域とを有し、
基板と、
前記基板に支持され、かつ、第1の導電膜を用いて形成された複数のソースバスラインと、
前記複数のソースバスラインを覆う下部絶縁層と、
前記複数の画素領域のそれぞれに配置された酸化物半導体TFTであって、前記下部絶縁層上に配置された酸化物半導体層と、前記酸化物半導体層の一部上にゲート絶縁層を介して配置されたゲート電極とを含む、酸化物半導体TFTと、
前記複数の画素領域のそれぞれに配置された画素電極と、
前記ゲート電極と同じ第2の導電膜を用いて形成された複数のゲートバスラインと、
前記基板に支持された複数の配線接続部であって、前記非表示領域に配置された複数の端子部を含む、複数の配線接続部と、を備え、
前記酸化物半導体TFTの前記酸化物半導体層は、チャネル領域と、前記チャネル領域の両側にそれぞれ位置し、前記チャネル領域よりも比抵抗の低い第1領域および第2領域とを含み、
前記ゲート電極は、前記複数のゲートバスラインの1つに電気的に接続され、
前記酸化物半導体層は、前記下部絶縁層上、および、前記下部絶縁層に形成されたソース用開口部内に配置され、前記酸化物半導体層の前記第1領域は、前記ソース用開口部内で、前記第1の導電膜を用いて形成されたソース電極または前記複数のソースバスラインの1つに電気的に接続され、前記第2領域は、前記画素電極に電気的に接続され、
前記複数の配線接続部のそれぞれは、
前記第1の導電膜を用いて形成された下部導電部と、
前記下部導電部上に延設された前記下部絶縁層であって、前記下部導電部の一部を露出する下部開口部を有する、前記下部絶縁層と、
前記酸化物半導体層と同じ酸化物膜を用いて形成され、かつ、前記酸化物半導体層とは分離して配置された酸化物接続層であって、前記下部絶縁層上および前記下部開口部内に配置され、前記下部開口部内で前記下部導電部に電気的に接続された、酸化物接続層と、
前記酸化物接続層を覆う絶縁層であって、前記酸化物接続層の一部を露出する上部開口部を有する、絶縁層と、
前記絶縁層上および前記上部開口部内に配置され、前記上部開口部内で前記酸化物接続層に電気的に接続された上部導電部と、を含み、
前記酸化物接続層は、前記酸化物半導体層の前記チャネル領域よりも低い比抵抗を有する領域を含む、アクティブマトリクス基板。
[項目2]
前記複数の端子部の前記上部導電部は、前記画素電極と同じ導電膜を用いて形成され、かつ、前記画素電極と分離している、項目1に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目3]
前記複数のソースバスラインと、前記複数の配線接続部における前記下部導電部とは、Cu、MoまたはAlを含む金属層を含み、
前記複数の配線接続部において、前記酸化物接続層は、前記下部開口部内で前記下部導電部の前記金属層と直接接している、項目1または2に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目4]
前記金属層は、Cu層またはAl層である、項目3に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目5]
前記複数のソースバスラインと、前記複数の配線接続部における前記下部導電部とは、導電性の酸化物層を含み、
前記複数の配線接続部において、前記酸化物接続層は、前記下部開口部内で前記下部導電部の前記酸化物層と直接接している、項目1または2に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目6]
前記酸化物層は、In-Zn-O層またはIn-Ga-Zn-O層である、項目5に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目7]
前記基板の法線方向からみたとき、前記複数の端子部における前記下部開口部と前記上部開口部とは少なくとも部分的に重なっている、項目1から6のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
[項目8]
前記複数の配線接続部は、前記非表示領域に配置された複数のソース-ゲート接続部をさらに含み、
前記複数のソース-ゲート接続部のそれぞれは、
前記下部絶縁層上に延設された前記ゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に、前記第2の導電膜を用いて形成されたゲート導電部と
をさらに備え、
前記複数のソース-ゲート接続部のそれぞれにおいて、
前記ゲート絶縁層は、前記酸化物接続層の前記下部開口部によって露出された部分のうちの第1部分のみを覆い、第2部分を覆っておらず、
前記ゲート導電部は、前記下部開口部内において、前記酸化物接続層の前記第1部分上に前記ゲート絶縁層を介して配置され、
前記絶縁層は、前記ゲート導電部および前記酸化物接続層上に延設され、前記絶縁層の前記上部開口部は、前記酸化物接続層の前記第2部分の少なくとも一部および前記ゲート導電部の一部を露出するように配置され、
前記上部導電部は、前記上部開口部内で、前記酸化物接続層の前記第2部分の前記少なくとも一部および前記ゲート導電部の前記一部と接しており、
前記酸化物接続層の前記第2部分は、前記酸化物接続層の前記第1部分よりも低い比抵抗を有する、項目1から7のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
[項目9]
前記酸化物半導体TFTは、前記第1の導電膜を用いて形成された他のゲート電極をさらに備え、
前記複数の配線接続部は、前記酸化物半導体TFTの前記他のゲート電極を前記複数のゲートバスラインの前記1つに接続するゲートコンタクト部を含む、項目1から7のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
[項目10]
前記ゲートコンタクト部は、
前記下部絶縁層上に延設された前記ゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に、前記第2の導電膜を用いて形成されたゲート導電部と
をさらに備え、
前記ゲートコンタクト部において、
前記ゲート絶縁層は、前記酸化物接続層の前記下部開口部によって露出された部分のうちの第3部分のみを覆い、第4部分を覆っておらず、
前記ゲート導電部は、前記下部開口部内において、前記酸化物接続層の前記第3部分上に前記ゲート絶縁層を介して配置され、
前記絶縁層は、前記ゲート導電部および前記酸化物接続層上に延設され、前記絶縁層の前記上部開口部は、前記酸化物接続層の前記第4部分の少なくとも一部および前記ゲート導電部の一部を露出するように配置され、
前記上部導電部は、前記上部開口部内で、前記酸化物接続層の前記第4部分の前記少なくとも一部および前記ゲート導電部の前記一部と接しており、
前記酸化物接続層の前記第4部分は、前記酸化物接続層の前記第3部分よりも低い比抵抗を有する、項目9に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目11]
前記ゲートコンタクト部において、
前記下部導電部は、前記他のゲート電極と繋がっており、
前記酸化物接続層上に前記ゲート絶縁層が延設され、前記ゲート絶縁層は、前記酸化物接続層の前記一部を露出する前記上部開口部を有しており、
前記上部導電部は、前記第2の導電膜を用いて形成され、かつ、前記複数のゲートバスラインの前記1つと繋がっている、項目9に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目12]
前記基板の法線方向から見たとき、前記ゲートコンタクト部の前記酸化物接続層の少なくとも一部は、前記複数のゲートバスラインの前記1つと重なっている、項目10または11に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目13]
複数の画素領域のそれぞれは、前記第1の導電膜から形成された遮光層をさらに備え、前記遮光層は、前記ソース電極と繋がっている、項目1から8のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
[項目14]
前記酸化物半導体TFTを覆う保護絶縁層をさらに備え、
前記保護絶縁層は、前記酸化物半導体層を還元し得る還元性の絶縁層であり、前記酸化物半導体層の前記第1領域、前記第2領域および前記酸化物接続層に直接接し、かつ、前記チャネル領域には接していない、項目1から13のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
[項目15]
前記画素電極は、前記酸化物半導体層と前記画素電極との間に位置する絶縁層に形成された画素コンタクトホール内で、前記酸化物半導体層の前記第2領域に直接接している、項目1から14のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
[項目16]
前記酸化物半導体層は、In-Ga-Zn-O系半導体を含む、項目1から15のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
[項目17]
前記In-Ga-Zn-O系半導体は結晶質部分を含む、項目16に記載のアクティブマトリクス基板。
[項目18]
複数の画素領域を含む表示領域と、前記表示領域以外の非表示領域とを有し、
複数のソースバスラインおよび複数のゲートバスラインと、各画素領域に配置された酸化物半導体TFTおよび画素電極と、複数の端子部とを備えるアクティブマトリクス基板の製造方法であって、
(a)基板上に、第1の導電膜を用いて、複数のソースバスラインと、各端子部の下部導電部とを含むソースメタル層を形成する工程と、
(b)前記ソースメタル層を覆う下部絶縁層を形成する工程と、
(c)前記下部絶縁層に、前記酸化物半導体TFTを前記複数のソースバスラインの1つに接続するためのソース用開口部と、前記下部導電部の一部を露出する下部開口部を形成する工程と、
(d)前記下部絶縁層上、前記ソース用開口部内および前記下部開口部内に、酸化物半導体膜を形成し、前記酸化物半導体膜のパターニングを行うことにより、前記下部絶縁層上および前記ソース用開口部内に位置し、前記酸化物半導体TFTの活性層となる第1半導体部と、前記下部開口部内で前記下部導電部の前記一部に接続される第2半導体部とを形成する工程と、
(e)前記第1半導体部および前記第2半導体部を覆うように、ゲート絶縁膜および第2の導電膜をこの順で形成し、パターニングを行うことにより、前記ゲート絶縁膜から前記第1半導体部を部分的に覆い、かつ、前記第2半導体部を覆わないゲート絶縁層を形成し、前記第2の導電膜から前記複数のゲートバスラインおよび前記酸化物半導体TFTのゲート電極を含むゲートメタル層を形成する工程と、
(f)前記第1半導体部および前記第2半導体部のうち前記ゲート絶縁層から露出した部分の比抵抗を、前記第1半導体部の前記ゲート絶縁層で覆われた部分よりも低くする低抵抗化処理を行う工程であって、これにより、前記第1半導体部から前記酸化物半導体TFTの酸化物半導体層を形成し、前記第2半導体部から前記各端子部の酸化物接続層を形成する、工程と、
(g)前記ゲートメタル層および前記酸化物接続層を覆う絶縁層を形成する工程と、
(h)前記絶縁層に、前記酸化物接続層の一部を露出する上部開口部を形成する工程と、
(i)前記絶縁層上および前記上部開口部内に、前記各端子部の上部導電部を形成する工程であって、前記上部導電部は、前記上部開口部内で前記酸化物接続層の前記一部に電気的に接続される工程と、
を包含するアクティブマトリクス基板の製造方法。
[項目19]
複数の画素領域を含む表示領域と、前記表示領域以外の非表示領域とを有し、
複数のソースバスラインおよび複数のゲートバスラインと、各画素領域に配置された酸化物半導体TFTおよび画素電極と、複数のゲートコンタクト部とを備えるアクティブマトリクス基板の製造方法であって、
(a)基板上に、第1の導電膜を用いて、複数のソースバスラインと、各ゲートコンタクト部の下部導電部とを含むソースメタル層を形成する工程と、
(b)前記ソースメタル層を覆う下部絶縁層を形成する工程と、
(c)前記下部絶縁層に、前記酸化物半導体TFTを前記複数のソースバスラインの1つに接続するためのソース用開口部と、前記下部導電部の一部を露出する下部開口部を形成する工程と、
(d)前記下部絶縁層上、前記ソース用開口部内および前記下部開口部内に、酸化物半導体膜を形成し、前記酸化物半導体膜のパターニングを行うことにより、前記下部絶縁層上および前記ソース用開口部内に位置し、前記酸化物半導体TFTの活性層となる半導体部と、前記下部開口部内で前記下部導電部の前記一部に接続される他の半導体部とを形成する工程と、
(e)前記半導体部の一部上および前記他の半導体部上にゲート絶縁層を形成する工程であって、前記ゲート絶縁層は、前記他の半導体部の一部を露出する上部開口部を有する、工程と、
(f)前記半導体部および前記他の半導体部のうち前記ゲート絶縁層から露出した部分の比抵抗を、前記ゲート絶縁層で覆われた部分よりも低くする低抵抗化処理を行う工程であって、これにより、前記半導体部から前記酸化物半導体TFTの酸化物半導体層を形成し、前記他の半導体部から前記各ゲートコンタクト部の酸化物接続層を形成する、工程と、
(g)前記ゲート絶縁層上に配置されたゲートメタル層を形成する工程であって、前記ゲートメタル層は、前記複数のゲートバスラインと前記酸化物半導体TFTのゲート電極と前記各ゲートコンタクト部の上部導電部とを含み、前記上部導電部は前記上部開口部内で前記酸化物接続層の前記一部と接する、工程と、
を包含するアクティブマトリクス基板の製造方法。
[項目20]
前記第1の導電膜は、Cu、AlまたはMoを含む金属膜を含み、
前記工程(c)において、前記下部開口部を、前記金属膜の表面を露出するように形成し、
前記工程(d)において、前記酸化物半導体膜のパターニングを、燐酸、硝酸および酢酸を含むPAN系エッチング液を用いて行う、項目18または19に記載の製造方法。
[項目21]
前記第1の導電膜は、導電性の金属酸化物膜を含み、
前記工程(c)において、前記下部開口部を、前記金属酸化物膜の表面を露出するように形成し、
前記工程(d)において、前記酸化物半導体膜のパターニングを、燐酸、硝酸および酢酸を含むPAN系エッチング液を用いて行う、項目18または19に記載の製造方法。
[項目22]
前記酸化物半導体膜は、In-Ga-Zn-O系半導体を含む、項目18から21のいずれかに記載の製造方法。
[項目23]
前記In-Ga-Zn-O系半導体は結晶質部分を含む、項目22に記載の製造方法。
以下、図面を参照しながら、第1の実施形態のアクティブマトリクス基板を説明する。
以下、図面を参照しながら、FFSモードの表示装置に適用されるアクティブマトリクス基板を例に、本実施形態のアクティブマトリクス基板の画素領域Pの構造を説明する。FFSモードは、一方の基板に一対の電極を設けて、液晶分子に、基板面に平行な方向(横方向)に電界を印加する横方向電界方式のモードである。
次いで、端子部を例に、本実施形態における配線接続部の構造を説明する。
図3Aは、ソース端子部Tsおよび/またはゲート端子部Tg(以下、「端子部T」と総称する)を例示する平面図である。図3Bは、端子部Tを横切るIIIb-IIIb’線に沿った断面図である。
アクティブマトリクス基板100は、配線接続部として、端子部Tに加えて、ソース-ゲート接続部SGをさらに有していてもよい。
次に、図面を参照しながら、アクティブマトリクス基板100の製造方法の一例を説明する。
基板1上に、例えばスパッタリング法で、第1の導電膜(厚さ:例えば50nm以上500nm以下)を形成する。次いで、公知のフォトリソ工程により、第1の導電膜のパターニングを行う。これにより、図5(a)~図5(d)に示すように、ソースバスラインSL、TFT10のソース電極SE、TFT10の遮光層3a、第1下部導電部3t、ソース接続配線3w、第2下部導電部3sg(不図示)を含むソースメタル層M1を形成する。
次いで、図6(a)~図6(d)に示すように、ソースメタル層M1を覆うように、下部絶縁層5(厚さ:例えば200nm以上600nm以下)を形成する。
続いて、下部絶縁層5の上に酸化物半導体膜を形成する。この後、酸化物半導体膜のアニール処理を行ってもよい。酸化物半導体膜の厚さは、例えば15nm以上200nm以下であってもよい。厚さが15nm以上であれば、下部絶縁層5の第1下部開口部5qおよび第2下部開口部5r(不図示)によって露出されたソースメタル層M1の表面をより確実に保護することができる。
次いで、図8(a)~図8(d)に示すように、金属酸化物層OSを覆うように、ゲート絶縁層となる絶縁膜(厚さ:例えば80nm以上250nm以下)90と、第2の導電膜(厚さ:例えば50nm以上500nm以下)80とをこの順で堆積する。
次に、公知のフォトリソ工程により、第2の導電膜80をパターニングすることによって、ゲートバスラインGL、ゲート電極GE、ソース-ゲート接続部SGのゲート導電部8sg(不図示)などを含むゲートメタル層M2を形成する。ここでは、第2の導電膜80上にレジスト層(不図示)を形成し、レジスト層をマスクとして、例えばウェットエッチングによって第2の導電膜80のパターニングを行ってもよい。
この後、図10(a)~図10(d)に示すように、絶縁膜90のパターニングを行い、ゲート絶縁層9を得る。ゲート絶縁層9は、第1半導体部の一部のみを覆い、かつ、第2半導体部を覆っていなくてもよい。
次に、図11(a)~図11(d)に示すように、ゲートメタル層M2を覆うように上部絶縁層13を形成する。ここでは、上部絶縁層13として、保護絶縁層11(厚さ:例えば100nm以上500nm以下)および有機絶縁層12(厚さ:例えば1~3μm、好ましくは2~3μm)をこの順で形成する。なお、有機絶縁層12を形成しなくてもよい。
続いて、図12(a)~図12(d)に示すように、上部絶縁層13上に、共通電極CEを含む共通電極層TCを形成する。
次いで、図13(a)~図13(d)に示すように、共通電極層TCを覆うように誘電体層(厚さ:50~500nm)17を形成し、誘電体層17および保護絶縁層11のパターニングを行う。
次いで、画素電極PEを含む画素電極層TPを形成する。
以下、図面を参照しながら、第2の実施形態のアクティブマトリクス基板を説明する。ここでは、前述の実施形態と異なる点を主に説明し、同様の構成については適宜説明を省略する。
以下、図面を参照しながら、第3の実施形態のアクティブマトリクス基板を説明する。ここでは、前述の実施形態と異なる点を主に説明し、同様の構成については適宜説明を省略する。
以下、アクティブマトリクス基板の変形例を説明する。以下の説明では、アクティブマトリクス基板100と異なる点を主に説明する。アクティブマトリクス基板100と同様の構成要素には同じ参照符号を付し、適宜説明を省略する。各構成要素の材料や形成プロセスなどは、上記と同様であってもよい。
図17Aは、変形例1のアクティブマトリクス基板101における画素領域Pを示す平面図である。図17Bは、変形例1のTFT10を横切るXVIIb-XVIIb’線に沿った断面図である。
図18Aおよび図18Bは、変形例2のアクティブマトリクス基板102における画素領域Pおよび端子部Tを例示する断面図である。
図19Aおよび図19Bは、変形例3のアクティブマトリクス基板103における画素領域Pおよび端子部Tを例示する断面図である。図示するように、変形例3では、第1上部導電部21tは、共通電極層TC内に(すなわち共通電極CEと同じ導電膜を用いて)形成されていてもよい。
図20Aおよび図20Bは、変形例4のアクティブマトリクス基板104における画素領域Pおよび端子部Tを例示する断面図である。
酸化物半導体層7aに含まれる酸化物半導体は、アモルファス酸化物半導体であってもよいし、結晶質部分を有する結晶質酸化物半導体であってもよい。結晶質酸化物半導体としては、多結晶酸化物半導体、微結晶酸化物半導体、c軸が層面に概ね垂直に配向した結晶質酸化物半導体などが挙げられる。
3a 遮光層
3t 第1下部導電部
3sg 第2下部導電部
3gc 第3下部導電部
3w ソース接続配線
5 下部絶縁層
5p ソース用開口部
5q 第1下部開口部
5r 第2下部開口部
5u 第3下部開口部
7a 酸化物半導体層
7c チャネル領域
7s 第1領域
7d 第2領域|
7t 第1酸化物接続層
7sg 第2酸化物接続層
7gc 第3酸化物接続層
8sg ゲート導電部
9 ゲート絶縁層
9r 下部開口部
11 保護絶縁層
11p、11q、11r、11t、11u 開口部
12 有機絶縁層
12p、12u 開口部
13 上部絶縁層
15p 共通電極の開口部
17 誘電体層
17p、17q、17r、17u 開口部
21t 第1上部導電部
21sg 第2上部導電部
21gc 第3上部導電部
71 第1半導体部
72 第2半導体部
80 第2の導電膜
100、101、102、103、104、200、300 アクティブマトリクス基板
GE ゲート電極
GE1 上部ゲート電極
GE2 下部ゲート電極
SE ソース電極
PE 画素電極
CE 共通電極
GL ゲートバスライン
GC ゲートコンタクト部
SG ソース-ゲート接続部
T 端子部
Ts ソース端子部
Tg ゲート端子部
CHgc GCコンタクトホール
CHp 画素コンタクトホール
CHsg SGコンタクトホール
CHt 端子部コンタクトホール
M1 ソースメタル層
M2 ゲートメタル層
OS 金属酸化物層
TC 共通電極層
TP 画素電極層
Claims (17)
- 複数の画素領域を含む表示領域と、前記表示領域以外の非表示領域とを有し、
基板と、
前記基板に支持され、かつ、第1の導電膜を用いて形成された複数のソースバスラインと、
前記複数のソースバスラインを覆う下部絶縁層と、
前記複数の画素領域のそれぞれに配置された酸化物半導体TFTであって、前記下部絶縁層上に配置された酸化物半導体層と、前記酸化物半導体層の一部上にゲート絶縁層を介して配置されたゲート電極とを含む、酸化物半導体TFTと、
前記複数の画素領域のそれぞれに配置された画素電極と、
前記ゲート電極と同じ第2の導電膜を用いて形成された複数のゲートバスラインと、
前記基板に支持された複数の配線接続部であって、前記非表示領域に配置された複数の端子部を含む、複数の配線接続部と、を備え、
前記酸化物半導体TFTの前記酸化物半導体層は、チャネル領域と、前記チャネル領域の両側にそれぞれ位置し、前記チャネル領域よりも比抵抗の低い第1領域および第2領域とを含み、
前記酸化物半導体層の第1領域は、前記下部絶縁層に形成されたソース用開口部を介して、前記第1の導電膜を用いて形成されたソース電極または前記複数のソースバスラインの1つに電気的に接続され、前記酸化物半導体層の前記第2領域は、前記画素電極に電気的に接続され、
前記複数の配線接続部のそれぞれは、
前記第1の導電膜を用いて形成された下部導電部と、
前記下部導電部上に延設された前記下部絶縁層であって、前記下部導電部の一部を露出する下部開口部を有する、前記下部絶縁層と、
前記酸化物半導体層と同じ酸化物膜を用いて形成され、かつ、前記酸化物半導体層とは分離して配置された酸化物接続層であって、前記下部絶縁層上および前記下部開口部内に配置され、前記下部開口部内で前記下部導電部に電気的に接続された、酸化物接続層と、
前記酸化物接続層を覆う絶縁層であって、前記酸化物接続層の一部を露出する上部開口部を有する、絶縁層と、
前記絶縁層上および前記上部開口部内に配置され、前記上部開口部内で前記酸化物接続層に電気的に接続された上部導電部と、を含み、
前記酸化物接続層は、前記酸化物半導体層の前記チャネル領域よりも低い比抵抗を有する領域を含む、アクティブマトリクス基板。 - 前記複数の端子部の前記上部導電部は、前記画素電極と同じ導電膜を用いて形成され、かつ、前記画素電極と分離している、請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記複数のソースバスラインと、前記複数の配線接続部における前記下部導電部とは、Cu、MoまたはAlを含む金属層を含み、
前記複数の配線接続部において、前記酸化物接続層は、前記下部開口部内で前記下部導電部の前記金属層と直接接している、請求項1または2に記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記金属層は、Cu層またはAl層である、請求項3に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記複数のソースバスラインと、前記複数の配線接続部における前記下部導電部とは、
導電性の酸化物層を含み、
前記複数の配線接続部において、前記酸化物接続層は、前記下部開口部内で前記下部導電部の前記酸化物層と直接接している、請求項1または2に記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記酸化物層は、In-Zn-O層またはIn-Ga-Zn-O層である、請求項5に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記基板の法線方向からみたとき、前記複数の端子部における前記下部開口部と前記上部開口部とは少なくとも部分的に重なっている、請求項1から6のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記複数の配線接続部は、前記非表示領域に配置された複数のソース-ゲート接続部をさらに含み、
前記複数のソース-ゲート接続部のそれぞれは、
前記下部絶縁層上に延設された前記ゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に、前記第2の導電膜を用いて形成されたゲート導電部と
をさらに備え、
前記複数のソース-ゲート接続部のそれぞれにおいて、
前記ゲート絶縁層は、前記酸化物接続層の前記下部開口部によって露出された部分のうちの第1部分のみを覆い、第2部分を覆っておらず、
前記ゲート導電部は、前記下部開口部内において、前記酸化物接続層の前記第1部分上に前記ゲート絶縁層を介して配置され、
前記絶縁層は、前記ゲート導電部および前記酸化物接続層上に延設され、前記絶縁層の前記上部開口部は、前記酸化物接続層の前記第2部分の少なくとも一部および前記ゲート導電部の一部を露出するように配置され、
前記上部導電部は、前記上部開口部内で、前記酸化物接続層の前記第2部分の前記少なくとも一部および前記ゲート導電部の前記一部と接しており、
前記酸化物接続層の前記第2部分は、前記酸化物接続層の前記第1部分よりも低い比抵抗を有する、請求項1から7のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記酸化物半導体TFTは、前記第1の導電膜を用いて形成された他のゲート電極をさらに備える、請求項1から7のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記ゲート電極は、前記複数のゲートバスラインの1つに電気的に接続され、
前記複数の配線接続部は、前記酸化物半導体TFTの前記他のゲート電極を前記複数のゲートバスラインの前記1つに接続するゲートコンタクト部を含み、
前記ゲートコンタクト部は、
前記下部絶縁層上に延設された前記ゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に、前記第2の導電膜を用いて形成されたゲート導電部と
をさらに備え、
前記ゲートコンタクト部において、
前記ゲート絶縁層は、前記酸化物接続層の前記下部開口部によって露出された部分のうちの第3部分のみを覆い、第4部分を覆っておらず、
前記ゲート導電部は、前記下部開口部内において、前記酸化物接続層の前記第3部分上に前記ゲート絶縁層を介して配置され、
前記絶縁層は、前記ゲート導電部および前記酸化物接続層上に延設され、前記絶縁層の前記上部開口部は、前記酸化物接続層の前記第4部分の少なくとも一部および前記ゲート導電部の一部を露出するように配置され、
前記上部導電部は、前記上部開口部内で、前記酸化物接続層の前記第4部分の前記少
なくとも一部および前記ゲート導電部の前記一部と接しており、
前記酸化物接続層の前記第4部分は、前記酸化物接続層の前記第3部分よりも低い比抵抗を有する、請求項9に記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記ゲート電極は、前記複数のゲートバスラインの1つに電気的に接続され、
前記複数の配線接続部は、前記酸化物半導体TFTの前記他のゲート電極を前記複数のゲートバスラインの前記1つに接続するゲートコンタクト部を含み、
前記ゲートコンタクト部において、
前記下部導電部は、前記他のゲート電極と繋がっており、
前記酸化物接続層上に前記ゲート絶縁層が延設され、前記ゲート絶縁層は、前記酸化物接続層の前記一部を露出する前記上部開口部を有しており、
前記上部導電部は、前記第2の導電膜を用いて形成され、かつ、前記複数のゲートバスラインの前記1つと繋がっている、請求項9に記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記基板の法線方向から見たとき、前記ゲートコンタクト部の前記酸化物接続層の少なくとも一部は、前記複数のゲートバスラインの前記1つと重なっている、請求項10または11に記載のアクティブマトリクス基板。
- 複数の画素領域のそれぞれは、前記第1の導電膜から形成された遮光層をさらに備え、前記遮光層は、前記ソース電極と繋がっている、請求項1から8のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記酸化物半導体TFTを覆う保護絶縁層をさらに備え、
前記保護絶縁層は、前記酸化物半導体層を還元し得る還元性の絶縁層であり、前記酸化物半導体層の前記第1領域、前記第2領域および前記酸化物接続層に直接接し、かつ、前記チャネル領域には接していない、請求項1から13のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記画素電極は、前記酸化物半導体層と前記画素電極との間に位置する絶縁層に形成された画素コンタクトホール内で、前記酸化物半導体層の前記第2領域に直接接している、請求項1から14のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記酸化物半導体層は、In-Ga-Zn-O系半導体を含む、請求項1から15のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記In-Ga-Zn-O系半導体は結晶質部分を含む、請求項16に記載のアクティブマトリクス基板。
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