JP7283685B2 - フッ素系界面活性剤組成物 - Google Patents
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Description
本発明は、フッ素系界面活性剤組成物及びその用途に関する。
界面活性剤は、組成物で配合することによって表面張力を低下させ、その結果、その組成物の塗布拡散容易性、浸透性などを向上させることができる。
フッ素系界面活性剤は、フッ素特有の低い表面張力、撥水、撥油性などの表面特性を有しており、代表的な表面改質剤及び界面活性剤として使用される。フッ素系界面活性剤の剤形への添加は、例えば、湿潤挙動、平滑化（ｌｅｖｅｌｉｎｇ）特性、並びに、界面張力及び表面張力の数値低下などの剤形の特性を向上させることができる。影響を受ける特定の特性は、各界面活性剤の特定の組成及び特定の剤形に依存する。
特に、半導体剥離液又は洗浄液の場合、集積回路の高密度化によってパターンが微細化及び複雑化されており、その結果、より低い表面張力及び界面張力の数値を有する剥離液又は洗浄液に対する要求が増加している状況である。
フッ素系界面活性剤は、フッ素特有の低い表面張力、撥水、撥油性などの表面特性を有しており、代表的な表面改質剤及び界面活性剤として使用される。フッ素系界面活性剤の剤形への添加は、例えば、湿潤挙動、平滑化（ｌｅｖｅｌｉｎｇ）特性、並びに、界面張力及び表面張力の数値低下などの剤形の特性を向上させることができる。影響を受ける特定の特性は、各界面活性剤の特定の組成及び特定の剤形に依存する。
特に、半導体剥離液又は洗浄液の場合、集積回路の高密度化によってパターンが微細化及び複雑化されており、その結果、より低い表面張力及び界面張力の数値を有する剥離液又は洗浄液に対する要求が増加している状況である。
本発明者等は、前記のような問題を解決するために研究を繰り返えした結果、フッ素系界面活性剤と炭化水素系界面活性剤との組み合わせを通じて著しく低い界面張力の数値及び表面張力の優秀性を有する界面活性剤組成物を提供しようとする。
本発明の一側面は、フッ素系界面活性剤及び炭化水素系界面活性剤、特にリン脂質系界面活性剤を含む界面活性剤組成物を提供しようとする。
本発明の一側面において、前記炭化水素系界面活性剤は、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を含むことができる。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤はジェミニ型界面活性剤であり得る。
本発明の他の側面は、前記界面活性剤組成物の製造方法を提供しようとする。
本発明の目的は、以上で言及した目的に制限されない。本発明の目的は、以下の説明からより明らかになり、特許請求の範囲に記載の手段及びその組み合わせで実現され得る。
本発明の一側面は、フッ素系界面活性剤及び炭化水素系界面活性剤、特にリン脂質系界面活性剤を含む界面活性剤組成物を提供しようとする。
本発明の一側面において、前記炭化水素系界面活性剤は、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を含むことができる。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤はジェミニ型界面活性剤であり得る。
本発明の他の側面は、前記界面活性剤組成物の製造方法を提供しようとする。
本発明の目的は、以上で言及した目的に制限されない。本発明の目的は、以下の説明からより明らかになり、特許請求の範囲に記載の手段及びその組み合わせで実現され得る。
本発明の一側面は、フッ素系界面活性剤；及びリン脂質系界面活性剤；を含む組成物であって、前記組成物は、界面活性剤として使用される組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤はジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤は両親媒性ジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤はジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤は両親媒性ジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記フッ素系界面活性剤は非イオン性界面活性剤である、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記フッ素系界面活性剤は下記の化学式１で表現される、組成物を提供する：
[化学式１]
Ｒｆ－（ＣＨ2）ｙ－（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）ｘ－Ｈ
前記式において、Ｒｆは、直鎖又は側鎖の過フッ化アルキルで、過フッ化された炭素数は、１～１０で、ｘは、１～５０の整数で、ｙは、１～１０の整数である。
本発明の一側面において、前記フッ素系界面活性剤は下記の化学式１で表現される、組成物を提供する：
[化学式１]
Ｒｆ－（ＣＨ2）ｙ－（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）ｘ－Ｈ
前記式において、Ｒｆは、直鎖又は側鎖の過フッ化アルキルで、過フッ化された炭素数は、１～１０で、ｘは、１～５０の整数で、ｙは、１～１０の整数である。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：１～５０の重量比で含まれる、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：２～１５の重量比で含まれる、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：２～１５の重量比で含まれる、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、スルホサクシネート基盤の界面活性剤をさらに含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を１：０．１～３．０：０．１～３．０の重量比で含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を１：０．１～１．０：０．１～２．０の重量比で含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を１：０．１～３．０：０．１～３．０の重量比で含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を１：０．１～１．０：０．１～２．０の重量比で含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤は下記の化学式２で表現される、組成物を提供する：
[化学式２]
前記化学式２において、Ｒ1は、Ｃ１－Ｃ２２の直鎖状又は分岐鎖状の飽和アルキル基で；Ｒ2、Ｒ3、及びＲ4は、互いに同一又は異なるものであって、水素原子、又はＣ１－Ｃ３の飽和アルキル基で；Ｘ-は、ハロゲン陰イオンで；Ｚ+は、アルカリ金属陽イオンである。
[化学式２]
本発明の一側面において、前記スルホサクシネート系界面活性剤は下記の化学式３で表現される、組成物を提供する：
[化学式３]
前記化学式３において、Ｒ1及びＲ2は、互いに同一又は異なるものであって、Ｃ１－Ｃ２２の直鎖状又は分岐鎖状の飽和アルキル基で；Ｚ+は、アルカリ金属陽イオンである。
[化学式３]
本発明の一側面において、前記組成物は、下記の特性のうちいずれか一つ以上を満足する組成物を提供する：
（ａ）組成物の表面張力が２７以下；及び
（ｂ）組成物の界面張力が３以下。
本発明の一側面において、前記組成物は、半導体又はディスプレイ工程で界面活性剤として使用される組成物を提供する。
（ａ）組成物の表面張力が２７以下；及び
（ｂ）組成物の界面張力が３以下。
本発明の一側面において、前記組成物は、半導体又はディスプレイ工程で界面活性剤として使用される組成物を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、界面張力が３以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、界面張力が２．５以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、界面張力が２．０以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、表面張力が２７以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、界面張力が３以下であると同時に、表面張力が２７以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、塗布拡散容易性及び浸透性に優れる。
本発明の一側面に係る組成物は、フッ素特有の低い表面張力、撥水及び撥油性などの表面特性を示す。
本発明の一側面に係る組成物は、表面改質剤又は界面活性剤として使用され得る。
本発明の一側面に係る組成物は、半導体又はディスプレイ工程で使用される剥離液として使用され得る。
本発明の一側面に係る組成物は、半導体又はディスプレイ工程で使用される洗浄液として使用され得る。
本発明の効果は、以上で言及した効果に限定されない。本発明の効果は、以下の説明で推論可能な全ての効果を含むものと理解しなければならない。
本発明の一側面に係る組成物は、界面張力が２．５以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、界面張力が２．０以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、表面張力が２７以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、界面張力が３以下であると同時に、表面張力が２７以下であるという効果を提供する。
本発明の一側面に係る組成物は、塗布拡散容易性及び浸透性に優れる。
本発明の一側面に係る組成物は、フッ素特有の低い表面張力、撥水及び撥油性などの表面特性を示す。
本発明の一側面に係る組成物は、表面改質剤又は界面活性剤として使用され得る。
本発明の一側面に係る組成物は、半導体又はディスプレイ工程で使用される剥離液として使用され得る。
本発明の一側面に係る組成物は、半導体又はディスプレイ工程で使用される洗浄液として使用され得る。
本発明の効果は、以上で言及した効果に限定されない。本発明の効果は、以下の説明で推論可能な全ての効果を含むものと理解しなければならない。
以上の本発明の目的、他の目的、特徴及び利点は、添付の図面と関連した以下の好適な各実施例を通じて容易に理解され得る。しかし、本発明は、ここで説明する各実施例に限定されるものではなく、他の形態に具体化することも可能である。むしろ、ここで紹介する各実施例は、開示された内容が徹底的且つ完全になり得るように、そして、通常の技術者に本発明の思想を十分に伝達するために提供されるものである。
本明細書において、「含む」又は「有する」などの用語は、明細書上に記載した特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらの組み合わせが存在することを指定しようとするものであって、一つ又はそれ以上の他の特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらの組み合わせなどの存在又は付加可能性を予め排除しないものと理解しなければならない。また、層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上に」あるとした場合、これは、他の部分の「直上に」ある場合のみならず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。その反対に、層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「下部に」あるとした場合、これは、他の部分の「直下に」ある場合のみならず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。
本明細書において、「含む」又は「有する」などの用語は、明細書上に記載した特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらの組み合わせが存在することを指定しようとするものであって、一つ又はそれ以上の他の特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらの組み合わせなどの存在又は付加可能性を予め排除しないものと理解しなければならない。また、層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上に」あるとした場合、これは、他の部分の「直上に」ある場合のみならず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。その反対に、層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「下部に」あるとした場合、これは、他の部分の「直下に」ある場合のみならず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。
他の明示がない限り、本明細書で使用された成分、反応条件、ポリマー組成物及び配合物の量を表現する全ての数字、値及び／又は表現は、これらの各数字が本質的に異なるものからこのような値を得るときに発生する測定の多様な不確実性が反映された近似値であるので、全ての場合、「約」という用語によって修飾されるものと理解しなければならない。また、本記載において、数値範囲が開示される場合、このような範囲は連続的であって、他の指摘がない限り、このような範囲の最小値から最大値が含まれた前記最大値までの全ての値を含む。さらに、このような範囲が整数を称する場合、他の指摘がない限り、最小値から最大値が含まれた前記最大値までを含む全ての整数が含まれる。
本明細書において、範囲が変数に対して記載される場合、前記変数は、前記範囲の記載された各終了点を含む記載された範囲内の全ての値を含むものと理解され得る。例えば、「５～１０」の範囲は、５、６、７、８、９、及び１０の値のみならず、６～１０、７～１０、６～９、７～９などの任意の下位範囲を含み、５．５、６．５、７．５、５．５～８．５、及び６．５～９などのように記載された範囲の範疇に妥当な各整数の間の任意の値も含むものと理解され得る。また、例えば、「１０％～３０％」の範囲は、１０％、１１％、１２％、１３％などの値及び３０％までを含む全ての整数のみならず、１０％～１５％、１２％～１８％、２０％～３０％などの任意の下位範囲を含み、１０．５％、１５．５％、２５．５％などのように記載された範囲の範疇内の妥当な各整数の間の任意の値も含むものと理解され得る。
本明細書において、範囲が変数に対して記載される場合、前記変数は、前記範囲の記載された各終了点を含む記載された範囲内の全ての値を含むものと理解され得る。例えば、「５～１０」の範囲は、５、６、７、８、９、及び１０の値のみならず、６～１０、７～１０、６～９、７～９などの任意の下位範囲を含み、５．５、６．５、７．５、５．５～８．５、及び６．５～９などのように記載された範囲の範疇に妥当な各整数の間の任意の値も含むものと理解され得る。また、例えば、「１０％～３０％」の範囲は、１０％、１１％、１２％、１３％などの値及び３０％までを含む全ての整数のみならず、１０％～１５％、１２％～１８％、２０％～３０％などの任意の下位範囲を含み、１０．５％、１５．５％、２５．５％などのように記載された範囲の範疇内の妥当な各整数の間の任意の値も含むものと理解され得る。
以下、本発明に対して詳細に説明する。
界面活性剤、特に、半導体又はディスプレイ製造工程に使用される界面活性剤組成物は、表面張力及び界面張力に優れた物性値を満足しなければならない。具体的に、表面張力は、ＡＳＴＭ Ｄ１３３１に基づいて、０．１％溶液／ＰＧＭＥＡでの測定した表面張力が２７以下であることが好ましい。また、界面張力は、ＡＳＴＭ Ｄ９７１に基づいて、０．１％溶液／シクロヘキサン（Ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅ）での測定した界面張力が３以下であることが好ましい。そこで、本発明の研究者等は、前記表面張力及び界面張力のうちいずれか一つ以上の好適な物性具現が可能な水準の界面活性剤組成物を提供しようとする。
前記物性を具現するために、フッ素系界面活性剤のＥＯ付加物と、本発明の発明者等が製法に対する技術を有しているジェミニ型炭化水素系界面活性剤と、さらに、スルホサクシネートタイプの炭化水素系界面活性剤であるソジウムジオクチルスルホサクシネート（Ｓｏｄｉｕｍ ｄｉｏｃｔｙｌ ｓｕｌｆｏｓｕｃｃｉｎａｔｅ）の成分を含む組成物を提供しようとする。一具現例において、フッ素系界面活性剤、ジェミニ型炭化水素系界面活性剤及びスルホサクシネートタイプの炭化水素系界面活性剤は、４４：９：４７の重量比で含まれ得る。この場合、表面張力のみならず、界面張力の物性具現が可能である。
界面活性剤、特に、半導体又はディスプレイ製造工程に使用される界面活性剤組成物は、表面張力及び界面張力に優れた物性値を満足しなければならない。具体的に、表面張力は、ＡＳＴＭ Ｄ１３３１に基づいて、０．１％溶液／ＰＧＭＥＡでの測定した表面張力が２７以下であることが好ましい。また、界面張力は、ＡＳＴＭ Ｄ９７１に基づいて、０．１％溶液／シクロヘキサン（Ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅ）での測定した界面張力が３以下であることが好ましい。そこで、本発明の研究者等は、前記表面張力及び界面張力のうちいずれか一つ以上の好適な物性具現が可能な水準の界面活性剤組成物を提供しようとする。
前記物性を具現するために、フッ素系界面活性剤のＥＯ付加物と、本発明の発明者等が製法に対する技術を有しているジェミニ型炭化水素系界面活性剤と、さらに、スルホサクシネートタイプの炭化水素系界面活性剤であるソジウムジオクチルスルホサクシネート（Ｓｏｄｉｕｍ ｄｉｏｃｔｙｌ ｓｕｌｆｏｓｕｃｃｉｎａｔｅ）の成分を含む組成物を提供しようとする。一具現例において、フッ素系界面活性剤、ジェミニ型炭化水素系界面活性剤及びスルホサクシネートタイプの炭化水素系界面活性剤は、４４：９：４７の重量比で含まれ得る。この場合、表面張力のみならず、界面張力の物性具現が可能である。
以下、本発明の多様な側面に対して説明する。
本発明の一側面は、フッ素系界面活性剤；及びリン脂質系界面活性剤；を含む組成物であって、前記組成物は、界面活性剤として使用される組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤はジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
ジェミニ型界面活性剤は、水に対する溶解度に優れ、より低い濃度で臨界ミセル形成能力、表面張力の低下能力、分散性などが向上した界面物性を示す。また、ジェミニ型界面活性剤は、構造的特性によって界面活性が変わるが、一般型界面活性剤に適当な連結グループを用いて新しい機能を付与することによって、基礎的な界面物性のみならず、乳化力、分散性、洗浄力、他の化合物との混合物性などを向上させることができる。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤は両親媒性ジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
本発明の一側面は、フッ素系界面活性剤；及びリン脂質系界面活性剤；を含む組成物であって、前記組成物は、界面活性剤として使用される組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤はジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
ジェミニ型界面活性剤は、水に対する溶解度に優れ、より低い濃度で臨界ミセル形成能力、表面張力の低下能力、分散性などが向上した界面物性を示す。また、ジェミニ型界面活性剤は、構造的特性によって界面活性が変わるが、一般型界面活性剤に適当な連結グループを用いて新しい機能を付与することによって、基礎的な界面物性のみならず、乳化力、分散性、洗浄力、他の化合物との混合物性などを向上させることができる。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤は両親媒性ジェミニ型化合物である、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記フッ素系界面活性剤は非イオン性界面活性剤である、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記フッ素系界面活性剤は下記の化学式１で表現される、組成物を提供する：
[化学式１]
Ｒｆ－（ＣＨ2）ｙ－（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）ｘ－Ｈ
前記式において、Ｒｆは、直鎖又は側鎖の過フッ化アルキルで、過フッ化された炭素数は、１～１０で、ｘは、１～５０の整数で、ｙは、１～１０の整数である。
Ｒｆは、フルオロ脂肪族ラジカル又は基である。Ｒｆは、一般に、フッ化された、好ましくは飽和された、炭素原子数３以上の１価の非芳香族ラジカルである。フルオロ脂肪族ラジカルは、線状、分岐状、又は、十分に大きい場合は環状である。完全にフッ化されたラジカルが好ましいが、水素又は塩素原子がラジカル中に存在可能であり、但し、これらのうち、多くても一つの原子が２個の炭素原子ごとに存在する。１個～１２個の炭素原子を含むフルオロ脂肪族ラジカルが最も好ましい。
本発明の一側面において、前記フッ素系界面活性剤は下記の化学式１で表現される、組成物を提供する：
[化学式１]
Ｒｆ－（ＣＨ2）ｙ－（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）ｘ－Ｈ
前記式において、Ｒｆは、直鎖又は側鎖の過フッ化アルキルで、過フッ化された炭素数は、１～１０で、ｘは、１～５０の整数で、ｙは、１～１０の整数である。
Ｒｆは、フルオロ脂肪族ラジカル又は基である。Ｒｆは、一般に、フッ化された、好ましくは飽和された、炭素原子数３以上の１価の非芳香族ラジカルである。フルオロ脂肪族ラジカルは、線状、分岐状、又は、十分に大きい場合は環状である。完全にフッ化されたラジカルが好ましいが、水素又は塩素原子がラジカル中に存在可能であり、但し、これらのうち、多くても一つの原子が２個の炭素原子ごとに存在する。１個～１２個の炭素原子を含むフルオロ脂肪族ラジカルが最も好ましい。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝２であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝４であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝６であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝８であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝１０であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝４であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝６であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝８であり得る。
一具現例において、前記化学式１で表現されるフッ素系界面活性剤は、ｙ＝１及びｘ＝１０であり得る。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：１～５０の重量比で含まれる、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：２～１５の重量比で含まれる、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、スルホサクシネート基盤の界面活性剤をさらに含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：２～１５の重量比で含まれる、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、スルホサクシネート基盤の界面活性剤をさらに含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を１：０．１～３．０：０．１～３．０の重量比で含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を１：０．１～１．０：０．１～２．０の重量比で含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート基盤の界面活性剤を１：０．１～１．０：０．１～２．０の重量比で含む、組成物を提供する。
本発明の一側面において、前記組成物は、組成物の全体重量に対して前記フッ素系界面活性剤を０．０１重量％～９５重量％含むことができる。
本発明の一側面において、前記組成物は、組成物の全体重量に対して前記リン脂質系界面活性剤を０．０１重量％～９５重量％含むことができる。
本発明の一側面において、前記組成物は、組成物の全体重量に対して前記ジェミニ型リン脂質系界面活性剤を０．０１重量％～９５重量％含むことができる。
本発明の一側面において、前記組成物は、組成物の全体重量に対して前記スルホサクシネート基盤の界面活性剤を０．０１重量％～９５重量％含むことができる。
本発明の一側面において、前記組成物は、組成物の全体重量に対して前記リン脂質系界面活性剤を０．０１重量％～９５重量％含むことができる。
本発明の一側面において、前記組成物は、組成物の全体重量に対して前記ジェミニ型リン脂質系界面活性剤を０．０１重量％～９５重量％含むことができる。
本発明の一側面において、前記組成物は、組成物の全体重量に対して前記スルホサクシネート基盤の界面活性剤を０．０１重量％～９５重量％含むことができる。
本発明の一側面において、前記リン脂質系界面活性剤は下記の化学式２で表現される、組成物を提供する：
[化学式２]
前記化学式２において、Ｒ1は、Ｃ１－Ｃ２２の直鎖状又は分岐鎖状の飽和アルキル基で；Ｒ2、Ｒ3、及びＲ4は、互いに同一又は異なるものであって、水素原子、又はＣ１－Ｃ３の飽和アルキル基で；Ｘ-は、ハロゲン陰イオンで；Ｚ+は、アルカリ金属陽イオンである。
[化学式２]
一具現例において、前記化学式２の界面活性剤は、下記の反応式１に示したように、式（２）で表されるリン酸塩化合物と、下記の式（３）で表されるオキシラン化合物とを反応させ、下記の式（４）で表されるビス（３－ハロ－２－ヒドロキシプロピル）リン酸塩化合物を製造する第１過程；及び下記の式（４）で表されるビス（３－ハロ－２－ヒドロキシプロピル）リン酸塩化合物と、下記の式（５）で表されるアミドプロピルアミン化合物とを結合・反応させ、下記の式（１）で表されるリン脂質系界面活性剤を製造する第２過程；を含むリン脂質系界面活性剤の製造方法を提供する。
［反応式１］
前記反応式１において、Ｒ1は、Ｃ１－Ｃ２２の直鎖状又は分岐鎖状の飽和アルキル基で；Ｒ2、Ｒ3、及びＲ4は、互いに同一又は異なるものであって、水素原子、又はＣ１－３の飽和アルキル基で、Ｘ-は、ハロゲン陰イオンで；Ｚ+は、アルカリ金属陽イオンである。
前記製造方法によると、水に対する溶解度に優れ、生分解性、低刺激性などの物理化学的な特性に優れた、前記化学式２で表されるリン脂質系界面活性剤を効率的に合成することができる。
前記化学式２のリン脂質系界面活性剤の製造方法に対してより具体的に説明すると、次の通りである。前記第１過程では、前記式（２）で表されるリン酸塩化合物と、前記式（３）で表されるオキシラン化合物とを反応させ、前記式（４）で表されるビス（３－ハロ－２－ヒドロキシプロピル）リン酸塩化合物を製造する。前記第１過程は、前記式（２）で表されるリン酸塩化合物１モルを基準にして前記式（３）で表されるオキシラン化合物を１：１．５～２．５のモル比範囲で使用し、好ましくは１：１．７～２．１のモル比範囲で使用する。前記式（３）で表されるオキシラン化合物の使用量が過度に多い場合は、未反応物として残留するので、経済的な損失が大きく、前記式（３）で表されるオキシラン化合物の使用量が過度に少ない場合は、未反応のリン酸塩化合物の存在により、人体に対する安定性を害し、最終的に製造された界面活性剤を長期保管するときに分離現象が現れ得る。前記第１過程で使用される反応溶媒としては、水、アルコール類及びグリコール類から選ばれた１種又は２種以上の極性溶媒を使用し、より具体的に説明すると、水、メタノール、エタノールなどの炭素数１～４のアルコール類、及びエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコール類を使用することができる。前記極性溶媒は、前記式（２）で表されるリン酸塩化合物の質量に対して２０重量％～８０重量％の範囲で使用することができる。反応温度は４０℃～１５０℃に維持させ、反応温度が過度に低い場合は、反応が円滑に進められないので多量の未反応物が存在可能であり、反応温度が過度に高い場合は、オキシランの副反応物が生成され得るので、副反応物が最終生成物にも継続して残留することがあり、製品の純度を低下させる原因になり得る。第２過程は、前記式（４）で表されるビス（３－ハロ－２－ヒドロキシプロピル）リン酸塩化合物と、前記式（５）で表されるアミドプロピルアミン化合物とを結合・反応させ、本発明が目的とするリン脂質系生体界面活性剤を製造する。前記第２過程は、前記式（４）で表されるビス（３－ハロ－２－ヒドロキシプロピル）リン酸塩化合物１モルを基準にして、前記式（５）で表されるアミドプロピルアミン化合物を０．５～２．５のモル比範囲で使用し、好ましくは１：０．５～１．５のモル比範囲で使用する。前記式（５）で表されるアミドプロピルアミン化合物の使用量が過度に多い場合は、未反応物として残留するので、経済的な損失が大きく、前記式（５）で表されるアミドプロピルアミン化合物の使用量が過度に少ない場合は、未反応の前記式（４）で表される化合物の存在により、界面活性剤を長期保管するときに分離現象が現れ得る。前記第２過程で使用される反応溶媒は、前記第１過程で使用された極性溶媒から選択して使用し、前記式（４）で表される化合物の質量に対して１０重量％～８０重量％の範囲で使用することができる。反応温度は４０℃～１５０℃に維持させ、反応温度が過度に低い場合は、反応が円滑に進められないので、多量の未反応物が存在することがあり、反応温度が過度に高い場合は、反応物の色が濁り、前記式（４）で表される化合物の副反応物が生成され得るので、副反応物が最終生成物にも継続して残留することがあり、製品の純度を低下させる原因になり得る。一方、前記製造方法で反応物質として使用する前記式（５）で表されるアミドプロピルアミン化合物は、下記の反応式２に示したように、下記の式（６）で表される脂肪酸化合物と、下記の式（７）で表されるジアミン化合物との縮合反応によって製造して使用することができる。
［反応式２］
前記反応式２において、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、及びＲ4は、それぞれ前記で定義した通りである。前記反応式２による製造方法では、前記化学式６で表される脂肪酸化合物１モルを基準にして、前記化学式７で表されるジアミン化合物を０．５～１．５のモル比範囲で使用し、好ましくは１：０．９～１．２のモル比範囲で使用する。前記範囲を過度に逸脱する場合は、反応に使用されていない未反応物が過量で存在することがあり、経済的な損失をもたらし得る。また、前記反応式２による製造方法では、反応触媒をさらに使用することができる。触媒は特に限定されないが、酸触媒としては、パラトルエンスルホン酸、リン酸、次亜リン酸、次亜リン酸ソーダ及び硫酸から選ばれた１種以上を使用することができ、塩基触媒としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物を使用することができ、金属触媒としては、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｓｎ及びＭｎから選ばれた１種以上を使用することができる。触媒の使用量は、前記式（６）で表される脂肪酸化合物の質量に対して、酸触媒の場合は０．１重量％～１．０重量％の範囲で使用することができ、塩基触媒の場合は０．１重量％～１．５重量％の範囲で使用することができ、金属触媒の場合は０．１重量％～１．０重量％の範囲で使用することができる。前記触媒の使用量が前記範囲を逸脱する場合は、未反応の脂肪酸と未反応のアミンが多量存在するという問題がある。反応温度は１５０℃～２５０℃に維持させ、反応温度が過度に低い場合は、反応が円滑に進められないので、多量の未反応物が存在することがあり、 反応温度が過度に高い場合は、脂肪酸による悪臭が発生するという問題がある。以上の製造方法を通じて製造された、前記化学式２で表されるリン脂質系界面活性剤は、固形分の濃度が２０重量％～９０重量％になるように濃縮させて使用することができる。
本発明の一側面において、前記スルホサクシネート系界面活性剤は下記の化学式３で表される、組成物を提供する：
[化学式３]
前記化学式３において、Ｒ1及びＲ2は、互いに同一又は異なるものであって、Ｃ１－Ｃ２２の直鎖状又は分岐鎖状の飽和アルキル基で；Ｚ+は、アルカリ金属陽イオンである。
一具現例において、前記化学式３で表現される界面活性剤は、Ｚ＋がＮａ＋で、Ｒ1が炭素数８のオクチル基で、Ｒ2が炭素数８のオクチル基である。
[化学式３]
一具現例において、前記化学式３で表現される界面活性剤は、Ｚ＋がＮａ＋で、Ｒ1が炭素数８のオクチル基で、Ｒ2が炭素数８のオクチル基である。
一具現例において、前記化学式３で表現される界面活性剤は、下記の化学式４で表現され得る。
[化学式４]
[化学式４]
本発明の一側面において、前記組成物は、下記の特性のうちいずれか一つ以上を満足する組成物を提供する：
（ａ）組成物の表面張力が２７以下；及び
（ｂ）組成物の界面張力が３以下。
本発明の一側面において、前記組成物は、半導体又はディスプレイ工程で界面活性剤として使用される組成物を提供する。
以下、具体的な実施例を通じて本発明をより具体的に説明する。下記の実施例は、本発明の理解を促進するための例示に過ぎなく、本発明の範囲がこれに限定されるのではない。
（ａ）組成物の表面張力が２７以下；及び
（ｂ）組成物の界面張力が３以下。
本発明の一側面において、前記組成物は、半導体又はディスプレイ工程で界面活性剤として使用される組成物を提供する。
以下、具体的な実施例を通じて本発明をより具体的に説明する。下記の実施例は、本発明の理解を促進するための例示に過ぎなく、本発明の範囲がこれに限定されるのではない。
実施例１．フッ素系界面活性剤の製造
実施例１－１．エチレンオキシド（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｏｘｉｄｅ）付加（８モル）型フッ素系界面活性剤の製造
密閉反応器内にフッ素アルコール（Ｐｅｒｆｌｕｏｒｏｈｅｘｙｌｅｔｈｙｌ ａｌｃｏｈｏｌ）３５１ｇ（１モル、分子量３５１、ニッカ株式会社、日本）を投入し、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ、株式会社ユニード、韓国）触媒を０．７ｇ投入する。その後、窒素ガスを投入し、反応器の内部を窒素に置換した後で昇温し、１００℃になると、減圧下（１．３３ｋＰａ以下）で３０分間脱水を進める。その後、反応器の温度が１８０℃に到逹すると、エチレンオキシド３５２．４ｇ（８モル、分子量４４．０５ｇ）を徐々に注入しながら反応を開始する。前記エチレンオキシドガスの注入が完了すると、同一の温度で１時間熟成した後、６０℃まで冷却することによってフッ素系エチレンオキシド付加（８）物を得た。
収得されたフッ素系エチレンオキシド付加物の構造式は、下記の通りである。
実施例１－１．エチレンオキシド（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｏｘｉｄｅ）付加（８モル）型フッ素系界面活性剤の製造
密閉反応器内にフッ素アルコール（Ｐｅｒｆｌｕｏｒｏｈｅｘｙｌｅｔｈｙｌ ａｌｃｏｈｏｌ）３５１ｇ（１モル、分子量３５１、ニッカ株式会社、日本）を投入し、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ、株式会社ユニード、韓国）触媒を０．７ｇ投入する。その後、窒素ガスを投入し、反応器の内部を窒素に置換した後で昇温し、１００℃になると、減圧下（１．３３ｋＰａ以下）で３０分間脱水を進める。その後、反応器の温度が１８０℃に到逹すると、エチレンオキシド３５２．４ｇ（８モル、分子量４４．０５ｇ）を徐々に注入しながら反応を開始する。前記エチレンオキシドガスの注入が完了すると、同一の温度で１時間熟成した後、６０℃まで冷却することによってフッ素系エチレンオキシド付加（８）物を得た。
収得されたフッ素系エチレンオキシド付加物の構造式は、下記の通りである。
実施例１－２．エチレンオキシド付加（１０モル）型フッ素系界面活性剤の製造
実施例１－１に記載のエチレンオキシドを４４０．５ｇ（１０モル、分子量４４．０５ｇ）使用したことを除いては、実施例１－１と同一の方法で合成することによってフッ素系エチレンオキシド付加（１０）物を得た。
収得されたフッ素系エチレンオキシド付加物の構造式は、下記の通りである。
実施例１－１に記載のエチレンオキシドを４４０．５ｇ（１０モル、分子量４４．０５ｇ）使用したことを除いては、実施例１－１と同一の方法で合成することによってフッ素系エチレンオキシド付加（１０）物を得た。
収得されたフッ素系エチレンオキシド付加物の構造式は、下記の通りである。
実施例１－３．エチレンオキシド付加（３０モル）型フッ素系界面活性剤の製造
実施例１－１に記載のエチレンオキシドを１３２１．５ｇ（３０モル、分子量４４．０５ｇ）使用したことを除いては、実施例１－１と同一の方法で合成することによってフッ素系エチレンオキシド付加（３０）物を得た。
収得されたフッ素系エチレンオキシド付加物の構造式は、下記の通りである。
実施例１－１に記載のエチレンオキシドを１３２１．５ｇ（３０モル、分子量４４．０５ｇ）使用したことを除いては、実施例１－１と同一の方法で合成することによってフッ素系エチレンオキシド付加（３０）物を得た。
収得されたフッ素系エチレンオキシド付加物の構造式は、下記の通りである。
実施例２．リン脂質系界面活性剤の製造
ビス（３－ハロ－２－ヒドロキシプロピル）リン酸塩化合物３０５．０３ｇ（１モル、分子量３０５．０３）及び蒸留水６６２．４７７ｇを投入し、これを６０℃で撹拌した。徐々に撹拌しながら、６０℃でアミドプロピルアミン化合物２８４．４８ｇ（１モル、平均分子量２８４．４８）を投入した。アミド化合物の投入が完了すると、反応器の内部温度は６０℃から約９５℃付近に上昇させ、６時間にわたって反応させた。
その結果、常温で液体状態で存在する生成物（固形分３０％）を得た。リン脂質系界面活性剤化合物の生成は、ＮＭＲスペクトル上（ＣＤＣｌ３）の２．６ｐｐｍ（－ＣＨＣＨ2Ｎ－）、３．７ｐｐｍ（－ＣＨＯＨ）で表れるピークによって確認された。
確認の結果、化学構造式は下記の通りであった。
前記Ｒのアルキル組成は、Ｃ８～１８の混合物であって、ラウリル（Ｃ１２）がメインであることが確認された。
ビス（３－ハロ－２－ヒドロキシプロピル）リン酸塩化合物３０５．０３ｇ（１モル、分子量３０５．０３）及び蒸留水６６２．４７７ｇを投入し、これを６０℃で撹拌した。徐々に撹拌しながら、６０℃でアミドプロピルアミン化合物２８４．４８ｇ（１モル、平均分子量２８４．４８）を投入した。アミド化合物の投入が完了すると、反応器の内部温度は６０℃から約９５℃付近に上昇させ、６時間にわたって反応させた。
その結果、常温で液体状態で存在する生成物（固形分３０％）を得た。リン脂質系界面活性剤化合物の生成は、ＮＭＲスペクトル上（ＣＤＣｌ３）の２．６ｐｐｍ（－ＣＨＣＨ2Ｎ－）、３．７ｐｐｍ（－ＣＨＯＨ）で表れるピークによって確認された。
確認の結果、化学構造式は下記の通りであった。
実施例３．スルホサクシネート系列の界面活性剤
実験例に使用したスルホサクシネート界面活性剤（以下、ＤＯＳＳ）としては、ＫＯＲＥＭＵＬ Ｋ－２９０（（株）韓農化成、韓国）製品（固形分６５％）を使用した。化学構造式は、下記の通りであった。
実験例に使用したスルホサクシネート界面活性剤（以下、ＤＯＳＳ）としては、ＫＯＲＥＭＵＬ Ｋ－２９０（（株）韓農化成、韓国）製品（固形分６５％）を使用した。化学構造式は、下記の通りであった。
実施例４．ソジウムラウリルスルフェート系列の界面活性剤
実験例に使用したソジウムラウリルスルフェート（以下、ＳＬＳ）界面活性剤としては、ＡＳＣＯ ３０（ＡＫケミテック株式会社、韓国）製品（固形分３０％）を使用した。
実験例に使用したソジウムラウリルスルフェート（以下、ＳＬＳ）界面活性剤としては、ＡＳＣＯ ３０（ＡＫケミテック株式会社、韓国）製品（固形分３０％）を使用した。
実施例５．ソジウムラウレススルフェート系列の界面活性剤
実験例に使用したソジウムラウレススルフェート（以下、ＳＬＥＳ）界面活性剤としては、ＡＳＣＯ ２４／４－２６（ＡＫケミテック株式会社、韓国）製品（固形分２４％）を使用した。
実験例に使用したソジウムラウレススルフェート（以下、ＳＬＥＳ）界面活性剤としては、ＡＳＣＯ ２４／４－２６（ＡＫケミテック株式会社、韓国）製品（固形分２４％）を使用した。
実施例６．アルファオレフィンスルホネート系列の界面活性剤
実験例に使用したアルファオレフィンスルホネート（以下、ＡＯＳ）界面活性剤としては、ＡＳＣＯ １４１６（ＡＫケミテック株式会社、韓国）製品（固形分９６％）を使用した。
実験例に使用したアルファオレフィンスルホネート（以下、ＡＯＳ）界面活性剤としては、ＡＳＣＯ １４１６（ＡＫケミテック株式会社、韓国）製品（固形分９６％）を使用した。
実施例７．ポリオキシエチレン（２０）ソルビタンモノオレート系列の界面活性剤
実験例に使用したポリオキシエチレン（２０）ソルビタンモノオレート界面活性剤としては、ＴＷＥＥＮ－８０（Ｓａｍｃｈｕｎ Ｐｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実験例に使用したポリオキシエチレン（２０）ソルビタンモノオレート界面活性剤としては、ＴＷＥＥＮ－８０（Ｓａｍｃｈｕｎ Ｐｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実施例８．ポリオキシエチレン（２０）ソルビタンモノラウレ－ト系列の界面活性剤
実験例に使用したポリオキシエチレン（２０）ソルビタンモノラウレート界面活性剤としては、ＴＷＥＥＮ－２０（Ｓａｍｃｈｕｎ Ｐｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実験例に使用したポリオキシエチレン（２０）ソルビタンモノラウレート界面活性剤としては、ＴＷＥＥＮ－２０（Ｓａｍｃｈｕｎ Ｐｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実施例９．ポリオキシエチレン（２０）ソルビタントリオレート系列の界面活性剤
実験例に使用したポリオキシエチレン（２０）ソルビタントリオレート界面活性剤としては、ＴＷＥＥＮ－８５（Ｓａｍｃｈｕｎ Ｐｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実験例に使用したポリオキシエチレン（２０）ソルビタントリオレート界面活性剤としては、ＴＷＥＥＮ－８５（Ｓａｍｃｈｕｎ Ｐｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実施例１０．ポリグリセリン脂肪酸エステル系列の界面活性剤
実験例に使用したポリグリセリン脂肪酸エステル界面活性剤としては、ＡＬＭＡＸ－９２８０（（株）イルシンウェルス、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実験例に使用したポリグリセリン脂肪酸エステル界面活性剤としては、ＡＬＭＡＸ－９２８０（（株）イルシンウェルス、韓国）製品（固形分１００％）を使用した。
実施例１１．ポリオキシエチレン付加型シリコン系列の界面活性剤
実験例に使用したポリオキシエチレン付加型シリコン系界面活性剤としては、ＤＣ－１９３Ｃフルイド（Ｆｌｕｉｄ）（ダウコーニング株式会社、米国）製品（固形分１００％）を使用した。
実験例に使用したポリオキシエチレン付加型シリコン系界面活性剤としては、ＤＣ－１９３Ｃフルイド（Ｆｌｕｉｄ）（ダウコーニング株式会社、米国）製品（固形分１００％）を使用した。
実験例１．表面張力及び界面張力の測定
（１）単一成分フッ素系界面活性剤の界面張力の測定
前記製造又は入手された化合物のうち実施例１－１～１－３の化合物に対する界面張力を下記の方法で測定し、これを下記の表１に示した。
［測定方法］
ＫＲＵＳＳ社のＫ－１００界面張力測定機器を使用し、ＡＳＴＭ Ｄ９７１に基づいて試料０．１％溶液／シクロヘキサン溶液での界面張力を測定する。
（１）単一成分フッ素系界面活性剤の界面張力の測定
前記製造又は入手された化合物のうち実施例１－１～１－３の化合物に対する界面張力を下記の方法で測定し、これを下記の表１に示した。
［測定方法］
ＫＲＵＳＳ社のＫ－１００界面張力測定機器を使用し、ＡＳＴＭ Ｄ９７１に基づいて試料０．１％溶液／シクロヘキサン溶液での界面張力を測定する。
（２）混合組成物の界面張力及び表面張力の測定
次に、前記製造又は入手された化合物を下記の表２のような比率で混合し、界面活性剤組成物を製造した。
下記の表は、適切な陰イオン系界面活性剤を選定するために実行したものであって、前記と同一の方法で界面張力を測定し、これを下記の表２に示した。
次に、前記製造又は入手された化合物を下記の表２のような比率で混合し、界面活性剤組成物を製造した。
下記の表は、適切な陰イオン系界面活性剤を選定するために実行したものであって、前記と同一の方法で界面張力を測定し、これを下記の表２に示した。
次に、前記製造又は入手された化合物を下記の表３のような比率で混合し、界面活性剤組成物を製造した。
下記の表は、適切な非イオン、陽性又は陽イオン系界面活性剤を選定するために実行したものであって、前記と同一の方法で界面張力を測定し、これを下記の表３に示した。
下記の表は、適切な非イオン、陽性又は陽イオン系界面活性剤を選定するために実行したものであって、前記と同一の方法で界面張力を測定し、これを下記の表３に示した。
次に、前記の結果により、実施例１－１の化合物、実施例２の化合物、及び実施例３のＤＯＳＳ化合物を表４のような比率で混合し、界面活性剤組成物を製造した。
下記の表は、表面張力の数値と界面張力の数値を同時に満足する組み合わせを選定するために実行したものであって、前記と同一の方法で界面張力を測定し、下記のような方法で表面張力を測定した後、これを下記の表４に示した。
下記の表は、表面張力の数値と界面張力の数値を同時に満足する組み合わせを選定するために実行したものであって、前記と同一の方法で界面張力を測定し、下記のような方法で表面張力を測定した後、これを下記の表４に示した。
［測定方法］
ＫＲＵＳＳ社のＫ－１００表面張力測定機器を使用し、ＡＳＴＭ Ｄ１３３１に基づいて試料０．１％ ｂｙ ＰＧＭＥＡ（Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅｇｌｙｃｏｌ ｍｅｔｈｙｌ ｅｔｈｅｒ ａｃｅｔａｔｅ）溶液での表面張力を測定する。
ＫＲＵＳＳ社のＫ－１００表面張力測定機器を使用し、ＡＳＴＭ Ｄ１３３１に基づいて試料０．１％ ｂｙ ＰＧＭＥＡ（Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅｇｌｙｃｏｌ ｍｅｔｈｙｌ ｅｔｈｅｒ ａｃｅｔａｔｅ）溶液での表面張力を測定する。
以上、添付の図面を参照して本発明の実施例を説明したが、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明が、その技術的思想や必須的な特徴を変更せずとも、他の具体的な形態で実施可能であることを理解できるだろう。そのため、以上で記述した実施例は、全ての面で例示的なものであって、限定的なものではないことを理解しなければならない。
Claims (10)
- フッ素系界面活性剤；及びリン脂質系界面活性剤；を含む組成物であって、
前記組成物は、界面活性剤として使用され、
前記リン脂質系界面活性剤は、下記の化学式２で表現される、組成物。
[化学式２]
前記化学式２において、
Ｒ 1 は、Ｃ１－Ｃ２２の直鎖状又は分岐鎖状の飽和アルキル基であり；
Ｒ 2 、Ｒ 3 、及びＲ 4 は、互いに同一又は異なるものであって、水素原子、又はＣ１－Ｃ３の飽和アルキル基であり；
Ｘ - は、ハロゲン陰イオンであり；および
Ｚ + は、アルカリ金属陽イオンである。 - 前記フッ素系界面活性剤は非イオン性界面活性剤である、請求項１に記載の組成物。
- 前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：１～５０の重量比で含まれる、請求項１に記載の組成物。
- 前記リン脂質系界面活性剤とフッ素系界面活性剤は１：２～１５の重量比で含まれる、請求項３に記載の組成物。
- 前記組成物は、スルホサクシネート系界面活性剤をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
- 前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート系界面活性剤を１：０．１～３．０：０．１～３．０の重量比で含む、請求項５に記載の組成物。
- 前記組成物は、フッ素系界面活性剤、リン脂質系界面活性剤及びスルホサクシネート系界面活性剤を１：０．１～１．０：０．１～２．０の重量比で含む、請求項６に記載の組成物。
- 前記スルホサクシネート系界面活性剤は下記の化学式３で表現される、請求項５に記載の組成物：
[化学式３]
前記化学式３において、
Ｒ1及びＲ2は、互いに同一又は異なるものであって、Ｃ１－Ｃ２２の直鎖状又は分岐鎖状の飽和アルキル基であり；および
Ｚ+は、アルカリ金属陽イオンである。 - 前記組成物は、下記の特性のうちいずれか一つ以上を満たす、請求項１から８のいずれか１項に記載の組成物：
（ａ）組成物の表面張力が２７以下；及び
（ｂ）組成物の界面張力が３以下。 - 前記組成物は、半導体又はディスプレイ加工で界面活性剤として使用される、請求項１から８のいずれか１項に記載の組成物。
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