JP7245303B2 - Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット及びその製造方法 - Google Patents

Description

ここに開示された技術は、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット及びその製造方法に関し、特に、磁気記録媒体のためのＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット及びその製造方法に関する。

磁気記録媒体の記録容量増大の要求が高まっているので、磁気記録媒体の記録密度を高める方法は、関連分野における研究の主眼となっている。

一般に、垂直磁気記録（ＰＭＲ）媒体は、底から上面に向かって、基板と、接着層と、軟質下部層と、シード層と、中間層と、磁気記録層と、カバー層と、潤滑層とを備え、磁気記録層は、通常、コバルト－クロム－白金系（Ｃｏ－Ｃｒ－Ｐｔ系）を主成分として採用する。しかしながら、ＰＭＲ媒体の発展が徐々に成熟するにつれて、Ｃｏ－Ｃｒ－Ｐｔ系磁気記録層を採用するＰＭＲ媒体も、記録密度の限界に近付いている。

したがって、ＰＭＲ媒体のさらなる記憶密度を追求するために、熱アシスト磁気記録（ＨＡＭＲ）媒体に適した磁気記憶層の形成に鉄－白金系（Ｆｅ－Ｐｔ系）が採用される。簡単に言うと、ＨＡＭＲシステムにおいては、記憶中、記録ビットの磁性粒子が磁性粒子のキュリー温度を超えた温度まで加熱され、それにより、磁性粒子の保持力が一時的に低減でき、それによりデータ記録が達成される。

しかしながら、記憶層の材料は、Ｆｅ-Ｐｔ系合金によって形成されるので、規則構造を有する記録層のＦｅ－Ｐｔ系合金を形成するために高温の焼きなましが必要になる。しかし、熱処理の後に、Ｆｅ－Ｐｔ系合金粒子は、集合して大きな粒子となり、それにより、記憶層の磁気特性を要求に合わなくさせる。したがって、記憶層の秩序化温度を低減するために、銀が従来のＦｅ－Ｐｔ系に追加的に加えられる。

しかしながら、銀は、Ｆｅ－Ｐｔ系において容易に堆積する。そのため、銀をＦｅ－Ｐｔ系に直接加えると、銀が多く集合した大きな領域がＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属組織において観測され、それにより、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度の不足につながる。そのうえ、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのスパッタリング中に、大量の落下粒子が生成され、磁気記録層の表面に落下し、磁気記録層の品質及び歩留まりに不利に影響を与える。さらに、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、耐酸化性が低いので、適当でない条件下に置かれたときに変色しやすくなり、それにより、生成された記録層の次の適用が厳しく制限される。

特開２０２０－１８０３６５号公報

従来技術の欠点を解消するために、本発明の目的は、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度を高め、スパッタリング中の落下粒子の数を低減し、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの耐酸化性能を同時に向上させ、それにより、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのから生成される磁気記録層の品質及び歩留まりを簡単に維持及び改善できるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットを生成することにある。

前述の目的を達成するために、本発明は、鉄（Ｆｅ）と白金（Ｐｔ）と銀（Ａｇ）と非磁性成分とを含むＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットを提供する。前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、Ｐｔの含有量は、５原子％（ａｔ％）以上で且つ４０ａｔ％以下であり、Ａｇの含有量は、１ａｔ％以上で且つ１５ａｔ％以下であり、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの硫黄（Ｓ）の含有量は、５０百万分率（ｐｐｍ）より小さい。前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相（silver phase）の最大面積は、１０μｍ^２よりも小さい。

前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、以下の技術的特徴を有している。（Ｉ）Ｐｔの含有量は、５ａｔ％以上で且つ４０ａｔ％であり、（II）Ａｇの含有量は、１ａｔ％以上で且つ１５ａｔ％以下であり、（III）Ｓの含有量は、５０ｐｐｍであり、（IV）金属微細組織における銀相の最大面積は、１０μｍ^２よりも小さい。この技術的特徴によれば、ＡｇがＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット中に均一に分散し、Ａｇが多く集合した大きな領域が回避される。さらに、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、相対密度だけでなく耐酸化性も改善され、スパッタリング中の落下粒子を少量しか生成しない。

本発明によれば、「銀相の最大面積」は、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織中に分散した複数の銀相のうち最大の銀相の個別の面積を示す。

本発明によれば、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、Ｆｅの含有量は、５ａｔ％以上で且つ８５ａｔ％以下である。好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、Ｆｅの含有量は、２０ａｔ％以上で且つ８５ａｔ％以下である。より好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、Ｆｅの含有量は、２５ａｔ％以上で且つ８４ａｔ％以下である。

好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、４０ｐｐｍより小さい。より好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、３６ｐｐｍより小さい。さらに好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、２０ｐｐｍより小さい。

一実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、０．１ｐｐｍ以上で且つ５０ｐｐｍより小さい。別の実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、０．１ｐｐｍ以上で且つ４０ｐｐｍより小さい。別の実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、０．１ｐｐｍ以上で且つ３６ｐｐｍより小さい。別の実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、０．１ｐｐｍ以上で且つ２０ｐｐｍより小さい。

好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、９μｍ^２よりも小さい。より好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、８．７μｍ^２よりも小さい。さらに好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、４μｍ^２よりも小さい。さらに一層好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、３．５μｍ^２よりも小さい。

一実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、０．１μｍ^２以上で且つ１０μｍ^２よりも小さい。別の実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、０．１μｍ^２以上で且つ９μｍ^２よりも小さい。別の実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、０．１μｍ^２以上で且つ８．７μｍ^２よりも小さい。別の実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、０．１μｍ^２以上で且つ４μｍ^２よりも小さい。別の実施形態では、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの前記金属微細組織における銀相の最大面積は、０．１μｍ^２以上で且つ３．５μｍ^２よりも小さい。

好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、非磁性成分の含有量は、５ａｔ％以上で且つ４０ａｔ％以下である。

好ましくは、非磁性成分は、炭素（Ｃ）、カーバイド、窒化物、酸化物、及び、それらの混合物からなる群から選択され得る。前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、Ｃの含有量は、１ａｔ％以上で且つ４０ａｔ％以下であり、カーバイドの含有量は、２ａｔ％以上で且つ３０ａｔ％以下であり、窒化物の含有量は、１ａｔ％以上で且つ４０ａｔ％以下であり、酸化物の含有量は、１ａｔ％以上で且つ３５ａｔ％以下である。より好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、Ｃの含有量は、８ａｔ％以上で且つ３０ａｔ％以下であり、カーバイドの含有量は、３ａｔ％以上で且つ２０ａｔ％以下であり、窒化物の含有量は、２ａｔ％以上で且つ３２ａｔ％以下であり、酸化物の含有量は、２ａｔ％以上で且つ３０ａｔ％以下である。

一実施形態では、カーバイドは、それに限定されないが、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、炭化ホウ素（Ｂ_４Ｃ）、炭化チタン（ＴｉＣ）、炭化タングステン（ＷＣ）、炭化タンタル（ＴａＣ）、炭化ハフニウム（ＨｆＣ）、炭化ジルコニウム（ＺｒＣ）、炭化バナジウム（ＶＣ）、炭化ニオブ（ＮｂＣ）、炭化クロム（Ｃｒ_３Ｃ_２）、炭窒化チタン（ＴｉＣＮ）又はそれらの混合物であり得る。別の実施形態では、窒化物は、それらに限定されないが、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、窒化クロム（ＣｒＮ）、窒化ジルコニウム（ＺｒＮ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、窒化ハフニウム（ＨｆＮ）、窒化ケイ素（Ｓｉ_３Ｎ_４）、炭窒化チタン（ＴｉＣＮ）、窒化タングステン（ＷＮ）、窒化バナジウム（ＶＮ）又はそれらの混合物であり得る。別の実施形態では、酸化物は、それらには限定されないが、酸化ケイ素（IV）（ＳｉＯ_２）、酸化チタン（IV）（ＴｉＯ_２）、酸化クロム（III）（Ｃｒ_２Ｏ_３）、酸化タンタル（Ｖ）（Ｔａ_２Ｏ_５）、酸化コバルト（II）（ＣｏＯ）、酸化マンガン（III）（Ｍｎ_２Ｏ_３）、酸化ホウ素（III）（Ｂ_２Ｏ_３）、酸化ハフニウム（IV）（ＨｆＯ_２）、酸化マグネシウム（II）（ＭｇＯ）、酸化アルミニウム（III）（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化ジルコニウム（IV）（ＺｒＯ_２）、酸化ニオブ（Ｖ）（Ｎｂ_２Ｏ_５）、酸化バナジウム（Ｖ）（Ｖ_２Ｏ_５）、酸化タングステン（VI）（ＷＯ_３）、酸化鉄（III）（Ｆｅ_２Ｏ_３）、酸化亜鉛（II）（ＺｎＯ）又はそれらの混合物であり得る。

好ましくは、非磁性成分は、Ｃ、ＳｉＣ、Ｂ_４Ｃ、ＴｉＣ、ＷＣ、ＴａＣ、ＨｆＣ、ＺｒＣ、ＶＣ、ＮｂＣ、Ｃｒ_３Ｃ_２、ＢＮ、ＡｌＮ、ＴｉＮ、ＣｒＮ、ＺｒＮ、ＴａＮ、ＨｆＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＴｉＣＮ、ＷＮ、ＶＮ、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、Ｔａ_２Ｏ_５、ＣｏＯ、Ｍｎ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３、ＨｆＯ_２、ＭｇＯ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、Ｎｂ_２Ｏ_５、Ｖ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、Ｆｅ_２Ｏ_３、ＺｎＯ又はそれらの混合物である。

好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度は、９８％以上である。

それに加えて、本発明は、Ｐｔの原材料及びＡｇの原材料でＰｔ－Ａｇ予合金化原材料を製造する工程であって、Ｐｔの前記原材料のＳの含有量が５０ｐｐｍより小さい工程（ａ）と、前記Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料と、Ｆｅの原材料と、非磁性成分の原材料とを混合して混合物を得る工程（ｂ）と、前記混合物に熱処理を施して、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料を得る工程（ｃ）と、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料を焼結させてＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットを得る工程（ｄ）とを含むＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法をさらに提供する。前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料の全原子数に基づいて、Ｐｔの前記原材料の含有量は、５ａｔ％以上で且つ４０ａｔ％以下であり、Ａｇの前記原材料の含有量は、１ａｔ％以上で且つ１５ａｔ％以下であり、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットにおけるＳの含有量は、５０ｐｐｍよりも小さい。そのうえ、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積は、１０μｍ^２よりも小さい。

したがって、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法は、次の技術的手段を採用している。（１）Ｐｔの前記原材料及びＡｇの前記原材料の含有量を制御すること、（２）Ｐｔの前記原材料中のＳの含有量を制御すること、（３）Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料を製造すること、（４）焼結の前に熱処理を実施すること。そのため、この方法によって製造されたＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、Ｓの含有量がより少なく、そこに含まれるＡｇが均一に分散して、大きな銀相の集合が防止される。一方、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、耐酸化性と同様に相対密度が改善されるだけでなく、スパッタリング中に落下する粒子をほとんど生成しない。

Ａｇ、Ｆｅ、又は非磁性成分の前記原材料中のＳの含有量は、通常、２０ｐｐｍより小さい、又は、１０ｐｐｍよりも小さい一方で、Ｐｔの前記原材料中のＳの含有量は、通常、より大きいと考えられている。そのため、ＰｔのＳの含有量を前述の特定範囲である５０ｐｐｍより小さく制御することによって、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット中のＳの含有量を前述の特定範囲である５０ｐｐｍより小さく効果的に制御することができる。

本発明によれば、原材料を均一に混合できる任意の方法が工程（ｂ）に採用され得る。例えば、それに限定されないが、原材料は、均一に原材料を混合するために１時間から４時間の間、高速粉砕機に入れられてもよい。

本発明によれば、工程（ｃ）において、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料が得られた後にプリプレス工程が実施されてもよい。前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料を一定の形状にプレスできる任意の方法が採用され得る。例えば、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料は、それに限定されないが、約１００ｂａｒから２００ｂａｒの圧力下でプレスするために油圧プレスに入れられてもよい。

好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料の全原子数に基づいて、前記非磁性成分の前記原材料の含有量は、５ａｔ％以上で且つ４０ａｔ％以下である。

本発明によれば、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料の全原子数に基づいて、Ｆｅの前記原材料の含有量は、５ａｔ％以上で且つ８５ａｔ％以下である。好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料の全原子数に基づいて、Ｆｅの前記原材料の含有量は、２０ａｔ％以上で且つ８５ａｔ％以下である。より好ましくは、前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料の全原子数に基づいて、Ｆｅの前記原材料の含有量は、２５ａｔ％以上で且つ８４ａｔ％以下である。

好ましくは、前記非磁性成分の前記原材料は、Ｃの原材料、カーバイドの原材料、窒化物の原材料、酸化物の原材料、及び、それらの混合物からなる群から選択されてもよい。カーバイドの前記原材料は、それに限定されないが、ＳｉＣの原材料、Ｂ_４Ｃの原材料、ＴｉＣの原材料、ＷＣの原材料、ＴａＣの原材料、ＨｆＣの原材料、ＺｒＣの原材料、ＶＣの原材料、ＮｂＣの原材料、Ｃｒ_３Ｃ_２の原材料、ＴｉＣＮの原材料、又は、それらの混合物であり得る。窒化物の前記原材料は、それに限定されないが、ＢＮの原材料、ＡｌＮの原材料、ＴｉＮの原材料、ＣｒＮの原材料、ＺｒＮの原材料、ＴａＮの原材料、ＨｆＮの原材料、Ｓｉ_３Ｎ_４の原材料、ＴｉＣＮの原材料、ＷＮの原材料、ＶＮの原材料、又は、それらの混合物であり得る。酸化物の前記原材料は、それに限定されないが、ＳｉＯ_２の原材料、ＴｉＯ_２の原材料、Ｃｒ_２Ｏ_３の原材料、Ｔａ_２Ｏ_５の原材料、ＣｏＯの原材料、Ｍｎ_２Ｏ_３の原材料、Ｂ_２Ｏ_３の原材料、ＨｆＯ_２の原材料、ＭｇＯの原材料、Ａｌ_２Ｏ_３の原材料、ＺｒＯ_２の原材料、Ｎｂ_２Ｏ_５の原材料、Ｖ_２Ｏ_５の原材料、ＷＯ_３の原材料、Ｆｅ_２Ｏ_３の原材料、ＺｎＯの原材料、又は、それらの混合物であり得る。

好ましくは、前記非磁性成分の前記原材料は、Ｃの原材料、ＳｉＣの原材料、Ｂ_４Ｃの原材料、ＴｉＣの原材料、ＷＣの原材料、ＴａＣの原材料、ＨｆＣの原材料、ＺｒＣの原材料、ＶＣの原材料、ＮｂＣの原材料、Ｃｒ_３Ｃ_２の原材料、ＢＮの原材料、ＡｌＮの原材料、ＴｉＮの原材料、ＣｒＮの原材料、ＺｒＮの原材料、ＴａＮの原材料、ＨｆＮの原材料、Ｓｉ_３Ｎ_４の原材料、ＴｉＣＮの原材料、ＷＮの原材料、ＶＮの原材料、ＳｉＯ_２の原材料、ＴｉＯ_２の原材料、Ｃｒ_２Ｏ_３の原材料、Ｔａ_２Ｏ_５の原材料、ＣｏＯの原材料、Ｍｎ_２Ｏ_３の原材料、Ｂ_２Ｏ_３の原材料、ＨｆＯ_２の原材料、ＭｇＯの原材料、Ａｌ_２Ｏ_３の原材料、ＺｒＯ_２の原材料、Ｎｂ_２Ｏ_５の原材料、Ｖ_２Ｏ_５の原材料、ＷＯ_３の原材料、Ｆｅ_２Ｏ_３の原材料、ＺｎＯの原材料、又は、それらの混合物を含んでいる。

好ましくは、工程（ａ）において、前記Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料は、Ｐｔの前記原材料とＡｇの前記原材料とで粉砕又は原子化することによって製造される。前記粉砕は、異なる金属材料の粒子をそれぞれ衝突させるための高速粉砕によって、異なる金属材料の粒子の原子が互いに拡散して、予合金化原材料を形成することを意味する。例えば、Ｐｔの前記原材料及びＡｇの前記原材料は、それに限定されないが、Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料を形成するために１時間から５時間の間、高速粉砕機に入れられ得る。前記原子化は、異なる金属材料が原子化の温度まで加熱された後、前記予合金化原材料を得るための原子化が行われることを意味する。例えば、Ｐｔの前記原材料及びＡｇの前記原材料は、それに限定されないが、１０^―５ｂａｒから１０^－４ｂａｒの圧力の真空雰囲気又はアルゴン雰囲気下に置かれ、１５００℃から２０００℃の原子化温度で加熱された後、前記予合金化原材料を得るための原子化が行われる。

好ましくは、工程（ｃ）では、前記熱処理は、水素雰囲気下で実施される。例えば、工程（ｃ）では、前記混合物は、それに限定されないが、水素雰囲気を伴う環境下に置かれ、６００℃から８００℃で２時間から４時間加熱され、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料が得られる。

好ましくは、工程（ｄ）では、焼結温度は、６００℃以上で且つ１２００℃以下であり、焼結圧力は、３５０ｂａｒ以上で且つ１８００ｂａｒ以下である。

本発明によれば、前記焼結は、ホットプレス焼結（ＨＰ）、放電プラズマ焼結（ＳＰＳ）又は熱間等方圧加圧焼結（ＨＩＰ）であってもよい。例えば、前記焼結がＨＰによって実施される場合は、焼結温度は、それに限定されないが、８００℃から１２００℃の範囲であってもよく、焼結圧力は、それに限定されないが、３５０ｂａｒから４００ｂａｒの範囲であってもよく、焼結時間は、それに限定されないが、１時間から４時間の範囲であってもよい。前記焼結がＳＰＳによって実施される場合は、焼結温度は、それに限定されないが、７００℃から１２００℃の範囲であってもよく、焼結圧力は、それに限定されないが、１１００ｂａｒから１２００ｂａｒの範囲であってもよく、焼結時間は、それに限定されないが、５分から１時間の範囲であってもよい。前記焼結がＨＩＰによって実施される場合は、焼結温度は、それに限定されないが、７００℃から１２００℃の範囲であってもよく、焼結圧力は、それに限定されないが、１７００ｂａｒから１８００ｂａｒの範囲であってもよく、焼結時間は、それに限定されないが、１時間から４時間の範囲であってもよい。

本明細書では、「下限値から上限値」と表現される範囲は、特段の断りがない場合は、該範囲は、下限値以上で且つ上限値以下であることを示す。例えば、１時間から４時間の粉砕は、粉砕時間が、「１時間以上で且つ４時間以下」であることを示す。

本発明のその他の目的、効果、及び新規な特徴は、添付図面と併せて考慮して、下記の詳細の説明からより明らかになるだろう。

図１は、実施例１のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの２０００倍の倍率で走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって得られた金属組織画像である。 図２は、比較例３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの２０００倍の倍率でＳＥＭによって得られた金属組織画像である。 図３Ａは、実施例１のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの外観図である。 図３Ｂは、実施例１のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの１００倍の倍率で光学顕微鏡（ＯＭ）によって得られた画像である。 図４Ａは、９６時間の耐酸化性実験を行った後の実施例１のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの外観図である。 図４Ｂは、９６時間の耐酸化性実験を行った後の実施例１のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの１００倍の倍率で光学顕微鏡（ＯＭ）によって得られた画像である。 図５Ａは、比較例２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの外観図である。 図５Ｂは、比較例２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの１００倍の倍率でＯＭによって得られた画像である。 図６Ａは、２４時間の耐酸化性実験を行った後の比較例２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの外観図である。 図６Ｂは、２４時間の耐酸化性実験を行った後の比較例２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの１００倍の倍率でＯＭによって得られた画像である。 図７Ａは、比較例３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの外観図である。 図７Ｂは、比較例３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの１００倍の倍率でＯＭによって得られた画像である。 図８Ａは、１３時間の耐酸化性実験を行った後の比較例３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの外観図である。 図８Ｂは、１３時間の耐酸化性実験を行った後の比較例３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの１００倍の倍率でＯＭによって得られた画像である。

Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの構成物がＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積に与える影響を確かめるために、いくつかのＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが例として以下に提供され、本発明の実施が説明される。当業者は、本明細書の内容に従って、本発明の利点及び効果を容易に実現できる。本発明の本質及び範囲から逸脱しないように本発明を実行又は提供するために様々な変更及び変化がなされ得る。

〈実施例１～１５（Ｅ１～Ｅ１５）：Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット〉
表１に記載されたＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの構成物によれば、Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末を形成するために、適量の平均粒子サイズ１５ミクロン（μｍ）未満のＰｔ粉末及び平均粒子サイズ２０μｍ未満のＡｇ粉末が採用された。種々の実施例におけるＰｔ粉末に含まれるＳの含有量が表１に記載され、種々の実施例におけるＡｇ粉末に含まれるＳの含有量は全て１０ｐｐｍより小さかった。Ｅ１～Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７～Ｅ９，Ｅ１３は、Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末を得るために粉砕を採用した。詳しくは、Ｐｔ粉末及びＡｇ粉末は、高速粉砕機に入れられ、粉砕媒体と材料の比が１：３で４００ｒｐｍから９００ｒｐｍの回転速度で１時間から５時間、粉砕され、Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末が得られた。Ｅ４，Ｅ６，Ｅ１０～Ｅ１２，Ｅ１４，Ｅ１５は、Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末を得るために原子化を採用した。詳しくは、Ｐｔ粉末及びＡｇ粉末は、１５００℃から２０００℃の原子化温度で原子化され、Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末が得られた。

次に、表１に記載されたＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの構成物によれば、適量の平均粒子サイズ２５０μｍ未満のＦｅ粉末と平均粒子サイズ１０μｍ未満の非磁性成分粉末が採用された。採用されたＦｅ粉末に含まれるＳの含有量は、全て３０ｐｐｍより小さく、採用された非磁性成分粉末に含まれるＳの含有量も、全て３０ｐｐｍより小さかった。そして、Ｆｅ粉末、非磁性成分粉末及びＰｔ－Ａｇ予合金化粉末は、高速粉砕機に入れられた後、粉砕媒体と材料の比が１：３で４００ｒｐｍから９００ｒｐｍの回転速度で１時間から４時間、均一に混合され、粉末混合物が得られた。その後、粉末混合物は、水素雰囲気で且つ７００℃で３時間加熱され、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ－混合粉末が得られた。

次に、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ－混合粉末は、油圧プレスによって約１０３ｂａｒの圧力でプリプレスされた後、焼結され、Ｅ１～Ｅ１５のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが得られた。焼結方法及び焼結温度は、表１に記載されている。焼結がＨＰによって実施された場合は、焼結圧力は３８０ｂａｒで、焼結時間は約１時間から４時間であった。焼結がＳＰＳによって実施された場合は、焼結圧力は１１８８ｂａｒで、焼結時間は約５分から６０分であった。焼結がＨＩＰによって実施された場合は、焼結圧力は１７５０ｂａｒで、焼結時間は約１時間から４時間であった。

表１では、Ｅ１～Ｅ１５のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット（以下「ターゲット」と称する）の構成物は、一般式「ａＦｅ－ｂＰｔ－ｃＡｇ－ｄ１Ｃ－ｄ２ＴｉＣＮ－ｅ１Ｃｒ_３Ｃ_２－ｅ２Ｂ_４Ｃ－ｅ３ＳｉＣ－ｅ４ＴａＣ－ｅ５ＮｂＣ－ｅ６ＷＣ－ｅ７ＶＣ－ｅ８ＴｉＣ－ｆ１ＢＮ－ｆ２ＡｌＮ－ｆ３ＶＮ－ｆ４ＺｒＮ－ｆ５ＨｆＮ－ｆ６ＣｒＮ－ｆ７Ｓｉ_３Ｎ_４－ｇ１ＴｉＯ_２－ｇ２ＭｇＯ－ｇ３ＨｆＯ_２－ｇ４ＳｉＯ_２－ｇ５Ｃｒ_２Ｏ_３－ｇ６ＣｏＯ－ｇ７Ｔａ_２Ｏ_５－ｇ８ＷＯ_３－ｇ９Ａｌ_２Ｏ_３－ｇ１０Ｂ_２Ｏ_３－ｇ１１ＺｒＯ_２－ｇ１２Ｆｅ_２Ｏ_３－ｇ１３ＺｎＯ」によって表現することができる。ここで、「ａ」は、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＦｅの含有量を表す。「ｂ」は、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＰｔの含有量を表す。「ｃ」は、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＡｇの含有量を表す。「ｄ１」は、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＣの含有量を表す。「ｄ２」は、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＴｉＣＮの含有量を表す。「ｅ１」、「ｅ２」、「ｅ３」、「ｅ４」、「ｅ５」、「ｅ６」、「ｅ７」及び「ｅ８」はそれぞれ、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＣｒ_３Ｃ_２、Ｂ_４Ｃ、ＳｉＣ、ＴａＣ、ＮｂＣ、ＷＣ、ＶＣ及びＴｉＣの含有量を表す。「ｆ１」、「ｆ２」、「ｆ３」、「ｆ４」、「ｆ５」、「ｆ６」及び「ｆ７」はそれぞれ、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＢＮ、ＡｌＮ、ＶＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ、ＣｒＮ及びＳｉ_３Ｎ_４の含有量を表す。「ｇ１」、「ｇ２」、「ｇ３」、「ｇ４」、「ｇ５」、「ｇ６」、「ｇ７」、「ｇ８」、「ｇ９」、「ｇ１０」、「ｇ１１」、「ｇ１２」及び「ｇ１３」はそれぞれ、ターゲットの全原子数に対する原子百分率におけるＴｉＯ_２、ＭｇＯ、ＨｆＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｏＯ、Ｔａ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、Ｆｅ_２Ｏ_３及びＺｎＯの含有量を表す。

〈比較例１及び２（ＣＥ１及びＣＥ２）：Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット〉
ＣＥ１及びＣＥ２の製造方法は、実施例と同様である。つまり、表１に記載されたＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの構成物によれば、適量の異なる種類の粉末が採用され、Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末がそれぞれ製造された。Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末は、ＣＥ１では粉砕によって得られ、ＣＥ２では原子化によって得られた。その後、実施例と同様の製造工程が実行され、ＣＥ１及びＣＥ２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが得られた。ＣＥ１及びＣＥ２と実施例との主な違いは、ＣＥ１及びＣＥ２では、Ｐｔ粉末に含まれるＳの含有量が同時に調整されておらず、粉末混合物に加熱処理がなされていないことである。ＣＥ１及びＣＥ２のＰｔ粉末に含まれるＳの含有量、焼結方法及び焼結温度は、表１に記載されている。

〈比較例３～１２（ＣＥ３～ＣＥ１２）：Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット〉
ＣＥ３～ＣＥ１２の製造方法は、ＣＥ１及びＣＥ２と同様である。主な違いは、ＣＥ３～ＣＥ１２では、Ｐｔ－Ａｇ予合金化粉末は製造されず、その一方で、Ｆｅ粉末、Ｐｔ粉末、Ａｇ粉末及び非磁性成分粉末は、均一に混合するために１時間から４時間、拘束粉砕機に入れられ、粉末混合物が得られた。その後、ＣＥ１及びＣＥ２と同様の製造方法が実行され、ＣＥ３～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが得られた。ＣＥ３～ＣＥ１２のＰｔ粉末に含まれるＳの含有量、焼結方法及び焼結温度は、表１に記載されている。

ＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの構成物、及び、ＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの各成分の原子百分率での含有量は、表１に記載されている。ＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットも、実施例で示されたように一般式で表すことができ、一般式における各成分の含有量の表現は、実施例の定義と同じである。

本明細書において、「非磁性成分の含有量」は、「ｄ１」、「ｄ２」、「ｅ１」～「ｅ８」、「ｆ１」～「ｆ７」及び「ｇ１」～「ｇ１３」の合計で示される。

〈分析１：金属微細組織における銀相の最大面積〉
Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、さらにワイヤカット及び研磨が施され、外径２０９ｍｍで厚さ６ｍｍのディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが得られた。その後、Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのそれぞれの半径の半分の位置から１０ｍｍ×１０ｍｍの試料が取り出された。

次に、試料の金属組織画像がそれぞれＳＥＭ（製造メーカー：ＨＩＴＡＣＨＩ、モデル：ＳＥ－３４００）によって２０００倍の倍率で取得され、それから、「マッピング」と呼ばれる元素分布を分析するためにＳＥＭに組み込まれた機能によって画像が分析され、各試料の金属組織画像における銀相の分布が得られた。それから、分析された各試料の金属組織画像が、「面積」と呼ばれる面積を測定するためのＩａｍｇｅ Ｊという組み込まれた機能によってさらに分析され、銀相の面積の複数のデータが取得され、複数のデータのうちの最大値が採用され、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積を表す。Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２の最大面積の結果は、表２に記載されている。

また、実施例と比較例との違いを示すために、Ｅ１及びＣＥ３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属組織画像が例示の説明のために選ばれ、図１及び図２にそれぞれ示されている。図１及び図２の結果を比較すると、Ｅ１のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属組織画像には、Ａｇの集合の堆積による銀相の大きな領域は、観測されない。しかしながら、ＣＥ３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属組織画像には、銀相の大きな領域が明らかに観測され、これは、ＣＥ３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットにおいて明らかなＡｇの集合の堆積が発生していることを示す。

〈分析２：Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量〉
Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、外径２１０ｍｍのディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットへワイヤカットが施される。その後、ワイヤカットによって炭化した領域を取り除くために研磨が実施され、ディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットを切断することによって、０．２ｇを超える重さのＥ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの試料が得られた。その後、Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２の試料が赤外線炭素硫黄分析器（製造メーカー：ＬＥＣＯ、モデル：ＣＳ－６００）に入れられ、Ｓの含有量が測定された。測定されたＥ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＳの含有量は、表２に記載されている。

〈分析３：Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度〉
Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、さらにワイヤカット及び研磨が施され、外径２０９ｍｍで厚さ６ｍｍのディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが得られた。その後、Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度がアルキメデスの原理によって求められ、その結果が表２に記載されている。

〈分析４：Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのスパッタリング中の品質〉
Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、さらにワイヤカット及び研磨が施され、外径２０９ｍｍで厚さ６ｍｍのディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが得られた。それから、ターゲットは、磁気スパッタ装置（製造メーカー：Kao Duen Technology Corporation）に入れられ、磁気スパッタ装置は、５０ｓｃｃｍ（Standard Cubic Centimeter per Minute）でアルゴンが継続的に供給され、０．００１ｔｏｒｒから０．０１ｔｏｒｒの圧力の真空環境を有していた。その後、ターゲットは、ターゲットの表面からゴミを除去するために２００Ｗの出力で６００秒間、プレスパッタされ、スパッタリング中の品質を評価するための準備が整った清浄なターゲットが提供された。

次に、清浄なターゲットが０．００１ｔｏｒｒから０．０１ｔｏｒｒのスパッタリング環境に置かれ、５０ｓｃｃｍでアルゴンが継続的に供給され、その後、１０００Ｗの出力で３００秒スパッタされた。スパッタリング中、０．５μｍより大きな粒子サイズを有する落下粒子がKLA-Tencor Surfsacn 6420によって検出され、該サイズの落下粒子の個数が計測され、表２に記載されている。

〈分析５：Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの耐酸化性能〉
Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、さらにワイヤカット及び研磨が施され、外径２０９ｍｍで厚さ６ｍｍのディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットが得られた。それから、再びワイヤカットが施され、５ｃｍ×５ｃｍの試料がＥ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２のディスク形状のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのそれぞれから取り出された。

次に、Ｅ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２の試料は、温度６０℃で相対密度９０％の高温且つ高湿環境に置かれた。耐酸化性を評価するために試料の表面の外観が毎時間繰り返し視覚的に観察された。試料の表面に目立つ変色が現れ、視覚的にひとたび観察されると、開始から変色が観測されるまでの期間が「変色出現時間」として記録された。変色出現時間が長いほど、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの耐酸化性能が高く、変色出現時間が短いほど、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの耐酸化性能が低い。高温高湿でのＥ１～Ｅ１５及びＣＥ１～ＣＥ１２の変色出現時間は、表２に記載されている。

それに加えて、酸化によって生じた、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの表面の変色状態を詳しく示すために、耐酸性実験前に、Ｅ１、ＣＥ２及びＣＥ３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの試料の外観画像が取得され、図３Ａ、５Ａ及び７Ａに示される。それらの試料の画像は、１００倍の倍率でＯＭによっても取得され、図３Ｂ、５Ｂ及び７Ｂに示される。図３Ａ、３Ｂ、５Ａ、５Ｂ、７Ａ及び７Ｂにおいて、耐酸化性実験前は、Ｅ１、ＣＥ２及びＣＥ３の試料の表面は同様であり、変色は観測されていなかった。

それから、前述の耐酸化性実験に従って、Ｅ１、ＣＥ２及びＣＥ３の試料がそれぞれ９６時間、２４時間及び１３時間、耐酸化性実験を受け、それらの試料の表面は視覚的に観測可能な変色を示した。Ｅ１、ＣＥ２及びＣＥ３の試料の外観画像が取得され、図４Ａ、６Ａ及び８Ａに示され、ＯＭによって１００倍の倍率で取得された、それらの試料の画像が図４Ｂ、６Ｂ及び８Ｂに示される。Ｅ１の変色出現時間は、ＣＥ２及びＣＥ３の変色出現時間よりも明らかに長かった。言い換えると、ＣＥ２及びＣＥ３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットと比較すると、Ｅ１のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、より高い耐酸化性を明らかに有している。

〈実験結果の検討〉
実施例の製造方法及び表２に記載された結果によれば、（１）Ｐｔ及びＡｇの原材料の含有量を制御すること、（２）Ｐｔの原材料のＳの含有量を制御すること、（３）Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料を製造すること、（４）焼結前に熱処理を施すことという技術的手段を適用することによって、製造されたＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、（Ｉ）Ｐｔの含有量が５ａｔ％以上で且つ４０ａｔ％であること、（II）Ａｇの含有量が１ａｔ％以上で且つ１５ａｔ％であること、（III）Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量が５０ｐｐｍ未満であること、（IV）Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積が１０μｍ^２未満であることという技術的特徴を同時に有することができる。それに対し、ＣＥ１～ＣＥ１２は、技術的手段（１）～（４）を同時に採用しておらず、そのため、製造されたＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、技術的特徴（Ｉ）～（IV）のそれぞれを同時に有していない。したがって、ＣＥ１～ＣＥ１２と比較すると、Ｅ１～Ｅ１５のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、９８％以上の相対密度、同一のスパッタリング条件で２００個未満の落下粒子、及び、４８時間以上の変色出現時間を有することができる。そのため、本発明によって提供される技術的手段は、相対密度を向上させ、落下粒子を減少させ、耐酸化性能を向上させるという有利な効果を同時に満たすことができる。

さらに、Ｅ１及びＣＥ３の結果を参照すると、Ｅ１及びＣＥ３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの構成物は同じであるが、ＣＥ３のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積及びＳの含有量は、それぞれ１０μｍ^２未満という特定範囲内及び５０ｐｐｍ未満という特定範囲内に制御できていない。そのため、Ｅ１の相対密度（９９．１４％）、落下粒子（９６個）の軽減又は変色の遅い出現（９６時間）は全てＣＥ３のそれら（相対密度が９５．９２％、落下粒子の個数が７４２個、変色出現時間が１３時間）よりも優れている。したがって、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積及びＳの含有量を特定範囲内に制御することは、実際にＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度を向上させ、落下粒子の個数を低減し、耐酸化性能を向上させることができる。

さらに、ＣＥ２及びＣＥ１２の結果を参照すると、ＣＥ２及びＣＥ１２のＰｔ及びＡｇの含有量及び銀相の最大面積が全て特定範囲内であるのに、ＣＥ２及びＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量は、それぞれ６５ｐｐｍ及び１０６ｐｐｍであり、５０ｐｐｍという特定範囲内に制御できていない。そのため、ＣＥ２及びＣＥ１２において、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度は、それぞれ９７．９９％及び９８．７２％であり、落下粒子の個数は、それぞれ７４個及び１１２個であり、変色出現時間は、それぞれ２４時間及び１１時間である。つまり、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＳの含有量だけが特定範囲内でないが、ＣＥ２及びＣＥ１２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、相対密度が９８％であり、落下粒子が２０個未満であり、変色出現時間が４８時間以上であるという効果を同時に有することはできない。

さらに、ＣＥ１０の結果を参照すると、ＣＥ１０のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＰｔ、Ａｇ及びＳの含有量は、全て特定範囲内である一方、ＣＥ１０の銀相の最大面積は、１６．２１５μｍ^２であり、上限（１０μｍ^２）よりも明らかに大きい。つまり、ＣＥ１０のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度は、９７．３１％であり、落下粒子の個数は、８５４個に及んでいる。したがって、銀相の最大面積が本発明の制限に従っていないだけなのに、ＣＥ１０のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、やはり高い相対密度、少ない落下粒子、及び改良された耐酸化性能という効果を同時に有することはできない。

また、ＣＥ１及びＣＥ２の結果をさらに参照すると、ＣＥ１及びＣＥ２は、Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料を製造するという技術的手段を採用しているけれども、ＣＥ１及びＣＥ２は、Ｐｔ及びＡｇの原材料の含有量、並びに、Ｐｔの原材料のＳの含有量をさらに制御しておらず、焼結前の熱処理も実施していない。そのため、ＣＥ１及びＣＥ２のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、やはり高い相対密度、少ない落下粒子、及び改良された耐酸化性能という効果を同時に有することはできない。

さらに、ＣＥ３～ＣＥ１２の結果を参照すると、ＣＥ３～ＣＥ１２は、Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料を製造する、及び、焼結前に熱処理を実施するという技術的手段を採用することも、Ｐｔ及びＡｇの原材料の含有量並びにＰｔの原材料のＳの含有量を制御することも行っていない。そのため、ＣＥ３～ＣＥ１２は、高い相対密度、少ない落下粒子、及び改良された耐酸化性能を同時に有することはできない。

結論として、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットのＰｔ、Ａｇ及びＳの含有量、並びに、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積を特定範囲内に制御することによって、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度を向上させ、スパッタリング中の落下粒子の個数を低減させ、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの耐酸化性能を向上させることが同時にできる。そのため、本発明によって提供されたＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットは、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットから形成された磁気記録層の品質及び歩留まりを改善するだけでなく、酸化によって容易に変色する問題を回避し、それにより、産業における価値を高めることができる。

本発明の多数の特質及び利点を、本発明の詳細な構造及び特徴と共に、前述の詳細な説明において説明してきたけれども、本開示は例示に過ぎない。添付の請求の範囲が表現されている、用語の広い一般的な意味によって示される本発明の原理の全範囲内で、特に寸法等の詳細において変更がなされ得る。

Claims (11)

1. 鉄と白金と銀と非磁性成分とを含むＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットであって、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、
   白金の含有量は、５原子％以上で且つ４０原子％以下であり、
   銀の含有量は、１原子％以上で且つ１５原子％以下であり、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの硫黄の含有量は、５０ｐｐｍより小さく、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積は、１０μｍ^２よりも小さいＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット。
2. 請求項１に記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットにおいて、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの全原子数に基づいて、
   前記非磁性成分の含有量は、５原子％以上で且つ４０原子％以下であるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット。
3. 請求項１又は２に記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットにおいて、
   前記非磁性成分は、炭素、カーバイド、窒化物、酸化物、及び、それらの混合物からなる群から選択されるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット。
4. 請求項１又は２に記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットにおいて、
   前記非磁性成分は、炭素ケイ素、炭化ホウ素、炭化チタン、炭化タングステン、炭化タンタル、炭化ハフニウム、炭化ジルコニウム、炭化バナジウム、炭化ニオブ、炭化クロム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化チタン、窒化クロム、窒化ジルコニウム、窒化タンタル、窒化ハフニウム、窒化ケイ素、炭窒化チタン、窒化タングステン、窒化バナジウム、酸化ケイ素（IV）、酸化チタン（IV）、酸化クロム（III）、酸化タンタル（Ｖ）、酸化コバルト（II）、酸化マンガン（III）、酸化ホウ素（III）、酸化ハフニウム（IV）、酸化マグネシウム（II）、酸化アルミニウム（III）、酸化ジルコニウム（IV）、酸化ニオブ（Ｖ）、酸化バナジウム（Ｖ）、酸化タングステン（VI）、酸化鉄（III）、酸化亜鉛（II）又はそれらの混合物を含むＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット。
5. 請求項１乃至４の何れか１つに記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットにおいて、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの相対密度は、９８％以上であるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲット。
6. Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法であって、
   白金の原材料及び銀の原材料でＰｔ－Ａｇ予合金化原材料を製造する工程であって、白金の前記原材料の硫黄の含有量が５０ｐｐｍより小さい工程（ａ）と、
   前記Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料と、鉄の原材料と、非磁性成分の原材料とを混合して混合物を得る工程（ｂ）と、
   前記混合物に熱処理を施して、Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料を得る工程（ｃ）と、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料を焼結させてＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットを得る工程（ｄ）とを含み、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料の全原子数に基づいて、
   白金の前記原材料の含有量は、５原子％以上で且つ４０原子％以下であり、
   銀の前記原材料の含有量は、１原子％以上で且つ１５原子％以下であり、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの硫黄の含有量は、５０ｐｐｍより小さく、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの金属微細組織における銀相の最大面積は、１０μｍ^２よりも小さいＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法。
7. 請求項６に記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法において、
   前記Ｆｅ－Ｐｔ－Ａｇ混合原材料の全原子数に基づいて、前記非磁性成分の前記原材料の含有量は、５原子％以上で且つ４０原子％以下であるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法。
8. 請求項６又は７に記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法において、
   前記非磁性成分の前記原材料は、炭素の原材料、カーバイドの原材料、窒化物の原材料、酸化物の原材料、及び、それらの混合物からなる群から選択されるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法。
9. 請求項６乃至８の何れか１つに記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法において、
   前記工程（ａ）において、前記Ｐｔ－Ａｇ予合金化原材料は、粉砕又は原子化によって、白金の前記原材料及び銀の前記原材料で製造されるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法。
10. 請求項６乃至９の何れか１つに記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法において、
    前記工程（ｃ）において、前記熱処理は、水素雰囲気下で実施されるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法。
11. 請求項６乃至１０の何れか１つに記載のＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法において、
    前記工程（ｄ）において、
    焼結温度は、６００℃以上で且つ１２００℃以下であり、
    焼結圧力は、３５０ｂａｒ以上で且つ１８００ｂａｒ以下であるＦｅ－Ｐｔ－Ａｇ系ターゲットの製造方法。

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