JP7237687B2 - 配線基板、電子装置及び電子モジュール - Google Patents
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Description
SiC基板と、
前記SiC基板にオーミック接合され、多孔質構造を有するNiSi層と、
該NiSi層に接続された導体層と、
を備え、
前記多孔質構造の空孔内にカーボンが含まれており、
前記NiSi層の中央と、前記NiSi層および前記導体層の界面側との間に位置しており、前記NiSi層および前記導体層の界面側よりもカーボンの分布量が多い空孔を有する構成とした。
本開示に係るもう一つの態様の配線基板は、
SiC基板と、
前記SiC基板にオーミック接合され、多孔質構造を有するNiSi層と、
該NiSi層に接続された導体層と、
を備え、
前記多孔質構造の空孔内にカーボンが含まれており、
前記NiSi層の中央と、前記NiSi層および前記導体層の界面との間に位置しており、前記NiSi層の空孔外よりもカーボンの分布量が多い空孔を有する構成とした。
上記の配線基板と、
前記配線基板に搭載された電子部品と、
を備える構成とした。
上記の電子装置と、
前記電子装置が搭載されたモジュール用基板と、
を備える構成とした。
図3は、実施形態の配線基板の製造方法の一例を説明する図である。
図6は、本開示の実施形態に係る電子装置及び電子モジュールを示す断面図である。
10 SiC基板
11 NiSi層
20 導体膜
21 密着層
22 バリア層
23 導体層
25 接合剤パターン
Ly1 第1層
Ly2 第2層
Ly3 第3層
Ly4 カーボン低濃度層
D 空孔
50 電子部品
60 電子装置
100 電子モジュール
110 モジュール用基板
Claims (7)
- SiC基板と、
前記SiC基板にオーミック接合され、多孔質構造を有するNiSi層と、
該NiSi層に接続された導体層と、
を備え、
前記多孔質構造の空孔内にカーボンが含まれており、
前記NiSi層の中央と、前記NiSi層および前記導体層の界面側との間に位置しており、前記NiSi層および前記導体層の界面側よりもカーボンの分布量が多い空孔を有する、
配線基板。 - SiC基板と、
前記SiC基板にオーミック接合され、多孔質構造を有するNiSi層と、
該NiSi層に接続された導体層と、
を備え、
前記多孔質構造の空孔内にカーボンが含まれており、
前記NiSi層の中央と、前記NiSi層および前記導体層の界面との間に位置しており、前記NiSi層の空孔外よりもカーボンの分布量が多い空孔を有する、
配線基板。 - 前記NiSi層および前記導体層の界面側におけるカーボンの分布量が、前記NiSi層の中央におけるカーボンの分布量よりも少ない、
請求項1又は請求項2記載の配線基板。 - 前記NiSi層の多孔質構造は、空孔が他の層よりも多く分布する複数の特定層を有する、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の配線基板。 - 前記SiC基板に近い前記特定層に含まれる空孔の径の平均値が、前記SiC基板から遠い前記特定層に含まれる空孔の径の平均値よりも大きい、
請求項4記載の配線基板。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の配線基板と、
前記配線基板に搭載された電子部品と、
を備える電子装置。 - 請求項6記載の電子装置と、
前記電子装置が搭載されたモジュール用基板と、
を備える電子モジュール。
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