JP7215882B2 - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents
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Description
複数の図形パターンが形成された基板からストライプ領域単位で光学画像データを取得する光学画像取得機構と、
光学画像データ同士を比較するダイ-ダイ検査処理と、光学画像データと設計パターンデータから作成される参照画像データとを比較するダイ-データベース検査処理と、の一方の処理を行う、並列処理が可能な複数の比較部と、
ストライプ領域毎に、複数の比較部のうちストライプ領域毎に可変に設定される数の比較部にそれぞれ当該ストライプ領域の光学画像データを出力し、光学画像データの出力先の各比較部に対してダイ-ダイ検査処理若しくはダイ-データベース検査処理を行うように制御する検査制御部と、
を備え、
各比較部は、前記処理が終了すると完了通知を出力し、
前記検査制御部は、
ストライプ領域毎に、各比較部から出力される完了通知に基づいて、当該ストライプ領域内で対象ストライプ領域に対して可変に設定される数以上の空き比較部が存在するかどうかを判定し、
ストライプ領域毎に、前記数以上の空き比較部が存在する場合に、前記数の空き比較部に対して、実施する検査の検査モードの識別情報が付加された検査を指示する指示コマンドを出力し、
前記指示コマンドが出力された空き比較部は、前記指示コマンドを入力するも対象ストライプ領域のデータの入力が無い場合に、比較処理を行わずに前記完了通知を前記検査制御部に出力する、
ことを特徴とする。
検査制御部は、面積比率に応じて光学画像データの出力先となるダイ-ダイ検査処理を行う比較部の数とダイ-データベース検査処理を行う比較部の数とを可変に制御すると好適である。
データサイズとデータ量閾値とのデータ量比率を演算するデータ量比率演算部と、
をさらに備え、
検査制御部は、領域毎に、データ量比率に応じて、ダイ-データベース検査処理を行う比較部の数を可変に制御すると好適である。
困難度と困難度閾値との困難度比率を演算する困難度比率演算部と、
をさらに備え、
検査制御部は、領域毎に、困難度比率に応じて、ダイ-データベース検査処理を行う比較部の数を可変に制御するように構成しても好適である。
複数の図形パターンが形成された基板からストライプ領域単位で光学画像データを取得する工程と、
ストライプ領域毎に、光学画像データ同士を比較するダイ-ダイ検査処理と、光学画像データと設計パターンデータから作成される参照画像データとを比較するダイ-データベース検査処理と、の一方の処理を行う、並列処理が可能な複数の比較部のうちストライプ領域毎に可変に設定される数の比較部にそれぞれ当該ストライプ領域の光学画像データを出力する工程と、
光学画像データの出力先の各比較部により、当該ストライプ領域の光学画像データに対してダイ-ダイ検査処理若しくはダイ-データベース検査処理を行い、結果を出力する工程と、
各比較部において前記処理が終了した場合に完了通知を出力する工程と、
ストライプ領域毎に、各比較部から出力される完了通知に基づいて、当該ストライプ領域内で対象ストライプ領域に対して可変に設定される数以上の空き比較部が存在するかどうかを判定する工程と、
ストライプ領域毎に、前記数以上の空き比較部が存在する場合に、前記数の空き比較部に対して、実施する検査の検査モードの識別情報が付加された検査を指示する指示コマンドを出力する工程と、
前記指示コマンドが出力された空き比較部において、前記指示コマンドを入力するも対象ストライプ領域のデータの入力が無い場合に、比較処理を行わずに前記完了通知を出力する工程と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1におけるパターン検査装置の構成を示す構成図である。図1において、検査対象基板、例えばマスクに形成されたパターンの欠陥を検査する検査装置100は、光学画像取得機構150、及び制御系回路160を備えている。
20 検査ストライプ
21a DB領域
21b DD領域
30 フレーム画像
41 DD領域/DB領域判定部
42 面積比率演算部
43 データサイズ演算部
44 データ量比率演算部
45 領域分割部
46 系統数決定部
47 困難度演算部
48 困難度比率演算部
50 判定部
52 指示部
54 判定部
56 割当処理部
58 判定部
70,71,72,76 記憶装置
73 モード判定部
74 フレーム画像生成部
75 領域判定部
77 完了通知出力部
78 位置合わせ部
79 比較処理部
100 検査装置
101 基板
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 フォトダイオードアレイ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111 GUI回路
112 参照画像作成回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 FD
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
123 ストライプパターンメモリ
130 オートローダ
140 結合回路
142 系統データ演算回路
144 割当回路
150 光学画像取得機構
160 制御系回路
170 照明光学系
Claims (6)
- 複数の図形パターンが形成された基板からストライプ領域単位で光学画像データを取得する光学画像取得機構と、
光学画像データ同士を比較するダイ-ダイ検査処理と、光学画像データと設計パターンデータから作成される参照画像データとを比較するダイ-データベース検査処理と、の一方の処理を行う、並列処理が可能な複数の比較部と、
ストライプ領域毎に、前記複数の比較部のうち前記ストライプ領域毎に可変に設定される数の比較部にそれぞれ当該ストライプ領域の光学画像データを出力し、前記光学画像データの出力先の各比較部に対して前記ダイ-ダイ検査処理若しくは前記ダイ-データベース検査処理を行うように制御する検査制御部と、
を備え、
各比較部は、前記処理が終了すると完了通知を出力し、
前記検査制御部は、
ストライプ領域毎に、各比較部から出力される完了通知に基づいて、当該ストライプ領域内で対象ストライプ領域に対して可変に設定される数以上の空き比較部が存在するかどうかを判定し、
ストライプ領域毎に、前記数以上の空き比較部が存在する場合に、前記数の空き比較部に対して、実施する検査の検査モードの識別情報が付加された検査を指示する指示コマンドを出力し、
前記指示コマンドが出力された空き比較部は、前記指示コマンドを入力するも対象ストライプ領域のデータの入力が無い場合に、比較処理を行わずに前記完了通知を前記検査制御部に出力する、
ことを特徴とするパターン検査装置。 - 前記ストライプ領域毎に、当該ストライプ領域内で前記ダイ-ダイ検査処理を行う部分と前記ダイ-データベース検査処理を行う部分との面積比率を演算する面積比率演算部をさらに備え、
前記検査制御部は、前記面積比率に応じて前記光学画像データの出力先となる前記ダイ-ダイ検査処理を行う比較部の数と前記ダイ-データベース検査処理を行う比較部の数とを可変に制御することを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。 - 前記ストライプ領域毎に、当該ストライプ領域の設計パターンデータのデータサイズを演算するデータサイズ演算部と、
前記データサイズとデータ量閾値とのデータ量比率を演算するデータ量比率演算部と、
をさらに備え、
前記検査制御部は、前記ストライプ領域毎に、前記データ量比率に応じて、前記ダイ-データベース検査処理を行う比較部の数を可変に制御することを特徴とする請求項1又は2記載のパターン検査装置。 - 前記ストライプ領域毎に、当該ストライプ領域の設計パターンデータを用いて、当該ストライプ領域の参照画像作成の困難度を演算する困難度演算部と、
前記困難度と困難度閾値との困難度比率を演算する困難度比率演算部と、
をさらに備え、
前記検査制御部は、前記ストライプ領域毎に、前記困難度比率に応じて、前記ダイ-データベース検査処理を行う比較部の数を可変に制御し、
前記困難度の指標として、前記ダイ-データベース検査処理を行う部分内の図形数、パターン密度、及びパターン線幅のうち1つを用いる、
ことを特徴とする請求項1又は2記載のパターン検査装置。 - 複数の図形パターンが形成された基板からストライプ領域単位で光学画像データを取得する工程と、
ストライプ領域毎に、光学画像データ同士を比較するダイ-ダイ検査処理と、光学画像データと設計パターンデータから作成される参照画像データとを比較するダイ-データベース検査処理と、の一方の処理を行う、並列処理が可能な複数の比較部のうち前記ストライプ領域毎に可変に設定される数の比較部にそれぞれ当該ストライプ領域の光学画像データを出力する工程と、
前記光学画像データの出力先の各比較部により、当該ストライプ領域の光学画像データに対して前記ダイ-ダイ検査処理若しくは前記ダイ-データベース検査処理を行い、結果を出力する工程と、
各比較部において前記処理が終了した場合に完了通知を出力する工程と、
ストライプ領域毎に、各比較部から出力される完了通知に基づいて、当該ストライプ領域内で対象ストライプ領域に対して可変に設定される数以上の空き比較部が存在するかどうかを判定する工程と、
ストライプ領域毎に、前記数以上の空き比較部が存在する場合に、前記数の空き比較部に対して、実施する検査の検査モードの識別情報が付加された検査を指示する指示コマンドを出力する工程と、
前記指示コマンドが出力された空き比較部において、前記指示コマンドを入力するも対象ストライプ領域のデータの入力が無い場合に、比較処理を行わずに前記完了通知を出力する工程と、
を備えたことを特徴とするパターン検査方法。 - 参照画像データを作成する複数の参照画像作成部をさらに備え、
前記検査制御部は、対象となるストライプ領域に対して設定された数以上の空き比較部が存在する場合に、次のストライプ領域の光学画像データの取得を前記光学画像取得機構に指示し、
前記光学画像取得機構は、指示に沿って次のストライプ領域の光学画像データの取得を開始し、
前記検査制御部は、次のストライプ領域の前記ダイ-データベース検査処理を行う部分の数の参照画像作成部に次のストライプ領域の参照画像作成を指示する、
ことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
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