CN111192836B - 图案检查装置以及图案检查方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及图案检查装置以及图案检查方法。本发明的一方式的图案检查装置具备：光学图像取得机构，从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据；多个比较处理电路，进行裸片－裸片检查处理与裸片－数据库检查处理中的一方的处理，该裸片－裸片检查处理将光学图像数据彼此进行比较，该裸片－数据库检查处理将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较；以及检查处理电路，以如下方式进行控制，按多个区域的每个区域，分别将该区域的光学图像数据向多个比较处理电路中的按每个区域可变地设定的数量的比较处理电路输出，对光学图像数据的输出目的地的各比较处理电路进行裸片－裸片检查处理或裸片－数据库检查处理。

Description

图案检查装置以及图案检查方法
技术领域
本发明涉及图案检查装置以及图案检查方法。例如，涉及对成为用于半导体制造的试样的物体的图案缺陷进行检查的图案检查技术，涉及对制作半导体元件、液晶显示器(LCD)时所使用的光掩模、晶片、或液晶基板等的极小的图案的缺陷进行检查的方法。
背景技术
近年，伴随着大规模集成电路(LSI)的高集成化以及大容量化，半导体元件所要求的电路线宽越来越窄。这些半导体元件通过如下方式来制造：使用形成有电路图案的原图图案(也称为掩模或中间掩膜。以下，统称为掩模)，通过所谓的被称作步进曝光装置的缩小投影曝光装置将图案曝光转印到晶片上而形成电路。因此，在制造用于将该微细的电路图案转印于晶片的掩模时，采用使用了能够描绘微细的电路图案的电子束的图案描绘装置。有时也使用该图案描绘装置直接在晶片上描绘图案电路。或者，除了电子束以外还尝试开发使用激光束进行描绘的激光束描绘装置。
而且，对耗费高昂的制造成本的该LSI的制造而言，成品率的提高是必不可少的。但是，如1千兆位级的DRAM(随机读取存储器)所代表的那样，构成LSI的图案要从亚微米变成纳米的量级。作为使成品率降低的主要因素之一，可列举出利用光刻技术在半导体晶片上曝光、转印出超微细图案时所使用的掩模的图案缺陷。近年，伴随着形成于半导体晶片的LSI图案尺寸的微细化，必须检测为图案缺陷的尺寸也变得极小。因此，检查LSI制造中所使用的转印用掩模的缺陷的图案检查装置的高精度化变得必要。
作为检查方法，已知有如下方法：通过将使用放大光学系统以规定的倍率拍摄了形成于光刻掩模等试样上的图案而得到的光学图像与设计数据、或拍摄了试样上的同一图案而得到的光学图像进行比较来进行检查。例如，作为图案检查方法，有将拍摄了同一掩模上的不同地方的同一图案而得到的光学图像数据彼此进行比较的“die to die(裸片—裸片)检查”、对检查装置输入将经图案设计的CAD数据转换为在掩模上描绘图案时用于描绘装置输入的装置输入格式而得到的描绘数据(设计数据)，在此基础上生成设计图像(参照图像)，并将该设计图像与拍摄了图案而得到的成为测定数据的光学图像进行比较的“dieto data base(裸片—数据库)检查”。在该检查装置的检查方法中，试样被载置于台架上，通过台架移动使得光束在试样上扫描，而进行检查。通过光源以及照明光学系统对试样照射光束。透射试样或在试样反射后的光经由光学系统在传感器上成像。由传感器拍摄到的图像作为测定数据被向比较电路发送。在比较电路中，在图像彼此对位后，按照适当的算法将测定数据与参照数据进行比较，在不落入许可范围内的情况下，判定为有图案缺陷。
在此，上述的裸片－裸片(DD)检查与裸片－数据库(DB)检查独立地动作。因此，在检查一张基板时，在希望进行上述的裸片－裸片检查的区域与希望进行裸片－数据库检查的区域混合存在的情况下，需要特意实施两次检查。因此，在进行两次检查的情况下，需要进行两次的扫描动作与两次的设置动作，存在检查时间长期化的问题。
在此，公开了如下技术：配置能够进行裸片－裸片检查与裸片－数据库检查这两者的多个检查比较部，针对由一次拍摄所得的图像数据，在相同的检查比较部内，首先进行裸片－数据库检查，然后，在判断为没有缺陷的情况下，判断为该图像数据为ok，接着，在相同的检查比较部内，在成为ok的图像数据与其他图像数据之间进行裸片－裸片检查，在判定为有缺陷的情况下，判断为该其他图像数据有缺陷(例如，参照日本特开2005－134347号公报)。但是，该技术只不过是通过裸片－数据库检查来寻找成为能够用于裸片－裸片检查的母片(master)的裸片的图像数据。
发明内容
本发明的一方式提供一种即使在希望进行裸片－裸片检查的区域与希望进行裸片－数据库检查的区域混合存在的情况下，也能够高效地进行检查处理的图案检查装置以及图案检查方法。
本发明的一方式的图案检查装置具备：
光学图像取得机构，从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据；
多个比较处理电路，进行裸片－裸片检查处理与裸片－数据库检查处理中的一方的处理，该裸片－裸片检查处理将光学图像数据彼此进行比较，该裸片－数据库检查处理将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较；以及
检查处理电路，以如下方式进行控制，按多个区域的每个区域，将该区域的光学图像数据分别向多个比较处理电路中的按每个区域可变地设定的数量的比较处理电路输出，对光学图像数据的输出目的地的各比较处理电路进行裸片－裸片检查处理或裸片－数据库检查处理。
本发明的一方式的图案检查方法为，
从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据，
按多个区域的每个区域，将该区域的光学图像数据分别向多个比较处理电路中的按每个区域可变地设定的数量的比较处理电路输出，该多个比较处理电路进行将光学图像数据彼此进行比较的裸片－裸片检查处理与将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较的裸片－数据库检查处理中的一方的处理，
通过光学图像数据的输出目的地的各比较处理电路，对该区域的光学图像数据进行裸片－裸片检查处理或裸片－数据库检查处理，并输出结果。
附图说明
图1是表示实施方式一中的图案检查装置的构成的构成图。
图2是用于说明实施方式一中的检查区域的概念图。
图3是表示实施方式一中的检查方法的主要部分工序的流程图。
图4是表示实施方式一中的比较电路种运算电路的内部构成的一例的图。
图5是表示实施方式一中的裸片－裸片(DD)区域/裸片－数据库(DB)区域的一例的图。
图6是用于说明实施方式一中的基于数据量的不同而产生的区域分割数的图。
图7是用于说明实施方式一中的基于图形数的不同而产生的区域分割数的图。
图8是用于说明实施方式一中的基于图案密度的不同而产生的区域分割数的图。
图9是用于说明实施方式一中的基于图案线宽的不同而产生的区域分割数的图。
图10是表示实施方式一中的分配电路的内部构成的一例的图。
图11是表示实施方式一中的分配处理工序的内部工序的一例的流程图。
图12是用于说明实施方式一中的滤波处理的图。
图13是表示实施方式一中的各比较电路的内部构成的图。
图14是表示实施方式一中的分配区域与检查时间的关系的一例的图。
具体实施方式
以下，在实施方式中，对即使存在希望进行裸片－裸片检查的区域与希望进行裸片－数据库检查的区域混合存在的情况，也能够高效地进行检查处理的检查装置以及方法进行说明。
实施方式一.
图1是表示实施方式一中的图案检查装置的构成的构成图。在图1中，对形成于检查对象基板例如掩模的图案的缺陷进行检查的检查装置100具备光学图像取得机构150、以及控制系统电路160。
光学图像取得机构150具有光源103、照明光学系统170、以能够移动的方式配置的XYθ工作台102、放大光学系统104、光电二极管阵列105(传感器的一例)、传感器电路106、条带图案存储器123、激光测长系统122、以及自动装载器130。在XYθ工作台102上配置有从自动装载器130输送的基板101。作为基板101，例如包括将图案转印到晶片等半导体基板的曝光用的光掩模。另外，在该光掩模上形成有成为检查对象的多个图形图案。基板101例如将图案形成面朝向下侧而配置于XYθ工作台102。
在控制系统电路160中，对检查装置100整体进行控制的控制计算机110经由总线120与位置电路107、多个比较电路108(108a～108n)、多个参照图像制作电路112(112a～112m)、自动装载器控制电路113、工作台控制电路114、结合电路140、比较电路种运算电路142、分配电路144、磁盘装置109、图形用户界面(GUI)电路111、磁带装置115、软盘装置(FD)116、CRT117、图案监视器118、以及打印机119连接。另外，传感器电路106连接于条带图案存储器123，条带图案存储器123连接于多个比较电路108a～108n。另外，XYθ工作台102由X轴马达、Y轴马达、θ轴马达来驱动。XYθ工作台102为台架的一例。
另外，位置电路107、多个比较电路108(108a～108n)、多个参照图像制作电路112(112a～112m)、自动装载器控制电路113、工作台控制电路114、结合电路140、比较电路种运算电路142、以及分配电路144这一系列的“～电路”具有处理电路(processing circuit)。该处理电路包括电气电路、计算机、处理器、电路基板、量子电路、或半导体装置等。另外，各“～电路”也可以使用共用的处理电路(相同的处理电路)。或者，也可以使用不同的处理电路(单独的处理电路)。例如，位置电路107、多个比较电路108(108a～108n)、多个参照图像制作电路112(112a～112m)、自动装载器控制电路113、工作台控制电路114、结合电路140、比较电路种运算电路142、以及分配电路144这一系列的“～电路”也可以由控制计算机110构成并执行。使处理器等执行的程序只要记录在磁盘装置109、磁带装置115、FD116、或ROM(只读存储器)等记录介质中即可。
多个比较电路108a～108n也可以以进行DD检查用、DB检查用的某一个的方式预先进行区分。或者，也可以不特别区分，构成为无论哪个处理都能够应对。另外，n、m优选为2以上的整数、例如10左右。
在检查装置100中，由光源103、XYθ工作台102、照明光学系统170、放大光学系统104、光电二极管阵列105、以及传感器电路106构成高倍率的检查光学系统。另外，XYθ工作台102在控制计算机110的控制下由工作台控制电路114来驱动。能够通过在X方向、Y方向、θ方向上驱动的3轴(X－Y－θ)马达这样的驱动系统进行移动。这些X马达、Y马达、θ马达例如能够使用步进马达。XYθ工作台102通过XYθ各轴的马达能够在水平方向以及旋转方向上移动。而且，配置于XYθ工作台102上的基板101的移动位置通过激光测长系统122来测定，并被供给至位置电路107。另外，从自动装载器130向XYθ工作台102的基板101的输送、以及从XYθ工作台102向自动装载器130的基板101的输送处理由自动装载器控制电路113来控制。
成为被检查基板101的图案形成的基础的描绘数据(设计数据)从检查装置100的外部输入，并被储存于磁盘装置109。在描绘数据中，定义多个图形图案，各图形图案通常由多个要素图形的组合构成。另外，也可以有由一个图形构成的图形图案。在被检查基板101上，基于该描绘数据所定义的各图形图案，分别形成有对应的图案。
在此，在图1中，记载有说明实施方式一时所需的构成部分。当然，对于检查装置100而言，通常也可以包括所需的其他构成。
图2是用于说明实施方式一中的检查区域的概念图。如图2所示，基板101的检查区域10(检查区域整体)例如朝向Y方向地被虚拟地分割为扫描宽度W的长条状的多个检查条带20。而且，在检查装置100中，按每个检查条带20来取得图像(条带区域图像)。针对每个检查条带20，使用激光朝向该条带区域的长度方向(X方向)地拍摄配置于该条带区域内的图形图案的图像。另外，为了防止图像的漏取，多个检查条带20优选被设定为，相邻的检查条带20彼此间以规定的边缘宽度重叠。
通过XYθ工作台102的移动，光电二极管阵列105一边在X方向上相对地连续移动一边取得光学图像。在光电二极管阵列105中，连续地拍摄到如图2所示那样的扫描宽度W的光学图像。换言之，成为传感器的一例的光电二极管阵列105，一边与XYθ工作台102(台架)相对移动一边使用检查光来拍摄形成于基板101的图形图案的光学图像。在实施方式一中，在拍摄到一个检查条带20中的光学图像之后，沿Y方向移动到下一个检查条带20的位置，此次一边在相反方向上移动一边同样地连续地拍摄扫描宽度W的光学图像。即，在去路与归路间以朝向相反方向的前进(FWD)－向后前进(BWD)的方向重复进行拍摄。
另外，在进行实际的检查时，各检查条带20的条带区域图像如图2所示那样，例如被分割为扫描宽度的1/2的尺寸的矩形的多个帧图像30。然后，按每个帧图像30进行检查。各检查条带20的条带区域被分割为该帧图像30的尺寸而成的区域成为帧区域。换言之，如图2所示，各检查条带20的条带区域，例如被分割为扫描宽度的1/2的尺寸的矩形的多个帧区域。例如，被分割为512×512像素的尺寸。由此，与帧图像30进行比较的参照图像也同样按每个帧区域来制作。另外，为了防止图像的漏取，多个帧图像30优选被设定为，相邻的帧图像30彼此间以规定的边缘宽度重叠。
在此，拍摄的方向并不限定于前进(FWD)－向后前进(BWD)的重复。也可以从一个方向进行拍摄。例如，也可以进行FWD－FWD的重复。或者，也可以进行BWD－BWD的重复。
图3是表示实施方式一中的检查方法的主要部分工序的流程图。在图3中，实施方式一的检查方法，实施裸片－裸片(DD)区域/裸片－数据库(DB)区域判定工序(S102)、面积比率运算工序(S104)、数据量比率运算工序(S106)、区域分割工序(S107)、系统数决定工序(S108)、分配处理工序(S110)、条带图像取得工序(S120)、参照图像制作工序(S130)、并行的多个检查工序(S140a～S140d)、以及结合工序(S160)这一系列的工序。各检查工序(S140a～S140d)作为内部工序，实施模式判定工序(S202)、区域判定工序(S204)、帧图像制作工序(S206)、对位工序(S208)、以及比较处理工序(S210)这一系列的工序。在图3的例子中，示出了在两个检查工序(S140a、140b)中实施DD检查的情况，并示出了在两个检查工序(S140c、140d)中实施DB检查的情况。
图4是表示实施方式一中的比较电路种运算电路的内部构成的一例的图。在图4中，在比较电路种运算电路142内配置裸片－裸片(DD)区域/裸片－数据库(DB)区域判定部41、面积比率运算部42、数据量运算部43、数据量比率运算部44、区域分割部45、系统数决定部46、困难度运算部47、以及困难度比率运算部48。数据量运算部43及数据量比率运算部44的组合、以及困难度运算部47及困难度比率运算部48的组合，也可以省略一方。DD区域/DB区域判定部41、面积比率运算部42、数据量运算部43、数据量比率运算部44、区域分割部45、系统数决定部46、困难度运算部47、以及困难度比率运算部48这一系列的“～部”具有处理电路。该处理电路包括电气电路、计算机、处理器、电路基板、量子电路、或半导体装置等含。另外，各“～部”也可以使用共用的处理电路(相同的处理电路)。或者，也可以使用不同的处理电路(单独的处理电路)。DD区域/DB区域判定部41、面积比率运算部42、数据量运算部43、数据量比率运算部44、区域分割部45、系统数决定部46、困难度运算部47、以及困难度比率运算部48所需的输入数据或运算出的结果每次都被存储于未图示的存储器。
图5是表示实施方式一中的裸片－裸片(DD)区域/裸片－数据库(DB)区域的一例的图。如上述那样，在检查一张基板101时，有时希望进行裸片－裸片(DD)检查的区域与希望进行裸片－数据库(DB)检查的区域混合存在。在图5的例子中，将基板101的检查区域10中的右半面的从中央部起上方的部分表示为希望进行DD检查的区域，将其他部分表示为希望进行DB检查的区域。例如，对于形成线与间隔图案等重复图案的区域，优选DD检查。除此以外，在配置相同的图案布局的两个区域间，也优选DD检查。另外，在配置不重复的个别图案的区域，优选DB检查。在图5的例子中，将希望进行DD检查的区域的左半部分表示为裸片1、将右半部分表示为裸片2。另一方面，检查条带20与希望进行DD检查的区域和希望进行DB检查的区域无关地、将基板101的检查区域10分割并设定为长条状。因此，在各检查条带20内有仅存在希望进行DD检查的区域与希望进行DB检查的区域的一方的情况、或两方混合存在的情况。而且，在检查条带20间，希望进行DD检查的区域与希望进行DB检查的区域的位置、尺寸可以各不相同。因此，在实施方式一中，对希望进行DD检查的区域进行DD检查，对希望进行DB检查的区域进行DB检查。为此，首先，让用户从GUI电路111输入希望进行DD检查的区域(DD区域)与希望进行DB检查的区域(DB区域)，并将该DD区域/DB区域信息登记于磁盘装置109等。
作为DD区域/DB区域判定工序(S102)，DD区域/DB区域判定部41按每个检查条带20(区域)，判定该检查条带20内进行裸片－裸片(DD)检查处理的区域部分与进行裸片－数据库(DB)检查处理的区域部分。具体而言，如以下那样动作。DD区域/DB区域判定部41读出储存于磁盘装置109的DD区域/DB区域信息，按每个检查条带20，对检查条带20内判定DD区域与DB区域。在图5的例子中，例如，对于检查条带20a，全部的区域被判定为DB区域。另一方面，例如，对于检查条带20b，左半部分的区域被判定为DB区域21a、右半部分的区域被判定为DD区域21b。在形成于DD区域21b内的图案不是单纯的重复图案的情况下，若预先指定(登记)了配置相同的图案布局的两个区域，则DD区域/DB区域判定部41只要将DD区域21b内进一步分成两个区域来进行判定即可。
作为面积比率运算工序(S104)，面积比率运算部42按每个检查条带20(区域)，运算该检查条带20内进行裸片－裸片(DD)检查处理的部分与进行裸片－数据库(DB)检查处理的部分的面积比率。在图5的例子中，对于检查条带20a，DD区域运算为0％(或0)，DB区域运算为100％(或1)。或者，运算为DD区域/DB区域＝0。对于检查条带20b，DD区域运算为50％(或0.5)，DB区域运算为50％(或0.5)。或者，运算为DD区域/DB区域＝0.5。
在DD区域21b与DB区域21a混合存在的检查条带20中，在DD区域21b中，为了在裸片1与裸片2之间进行比较，检查所需的区域进一步变为1/2左右。由此，与对相同的尺寸的DB区域21a进行DB检查相比，处理更快地结束。换言之，DB区域21a的DB检查与DD区域21b的DD检查相比，处理时间长。例如，在DD区域21b与DB区域21a的面积比为1：1的情况下，DB检查与DD检查相比，例如耗费2倍的时间。如后述那样，在实施方式一中，使进行DD检查的比较电路108与进行DB检查的比较电路108并行地执行。因此，即使仅一方的比较电路较早地结束处理，在另一方的比较电路的处理结束之前，成为对象的检查条带20的检查也不结束。因此，好不容易较早地结束处理的一方的比较电路成为待机状态直到另一方的比较电路中的处理结束为止，效率低。因此，如上述那样，通过运算DD区域21b与DB区域21a的面积比率，能够调整由一个比较电路处理的检查条带20内的区域，以使DD检查与DB检查中的一方尽可能处理不迟于另一方。在图5的例子中，将DB区域21a分割为DB区域21－1a与DB区域21－2a。
作为DB检查耗时的其他因素，可列举出根据设计图案数据制作参照图像所用的耗时长。在DB检查中，需要在直到基于扫描动作取得成为对象的检查条带20的光学图像为止的期间，制作成为对象的检查条带20的参照图像。若参照图像的制作相对于光学图像的取得延迟，则在此期间使检查处理待机。因此，进行以下的运算，以避免产生参照图像制作的延迟。
作为数据量比率运算工序(S106)，数据量运算部43按每个检查条带20，运算该检查条带20的设计图案数据的数据尺寸。具体而言，数据量运算部43从磁盘装置109读出描绘数据，运算在成为对象的检查条带20的DB区域21a内配置的图形图案的图案数据的数据尺寸。然后，接下来，数据量比率运算部44按每个检查条带20，运算数据尺寸与数据量阈值Th’的数据量比率。关于数据量阈值Th’，只要预先设定希望的值即可。例如，优选设定为能够在检查条带20的扫描时间内进行图像展开的数据量。
图6是用于说明实施方式一中的基于数据量的不同而产生的区域分割数的图。在图6中，在配置于DB区域21a的图形图案的数据量小于数据量阈值Th’的情况下，由一个参照图像制作电路112制作DB区域21a整体的参照图像即可。与此相对，在配置于DB区域21a的图形图案的数据量大于数据量阈值Th’的情况下，将DB区域21a分割为DB区域21－1a与DB区域21－2a这两个区域，若两个参照图像制作电路112间不进行并行处理，则也有可能发生赶不上比较处理的定时的情况。因此，如上述那样，通过运算数据尺寸的比率能够进行调整，以不产生参照图像制作的延迟。
在此，也可以代替数据量比率运算工序(S106)，而实施困难度比率运算工序(未图示)。换言之，也可以代替运算DB区域21a内的设计图案数据的数据尺寸的比率，而运算困难度的比率。在该情况下，困难度运算部47按每个检查条带20，使用该检查条带20的设计图案数据来运算该检查条带20的参照图像制作的困难度。作为困难度的指标，优选使用DB区域21a内的图形数、图案密度、或图案线宽。若图形数多，则用于制作参照图像的图像展开耗时。同样，若图案密度大，则用于制作参照图像的图像展开耗时。另外，若图案线宽较细，则用于制作参照图像的图像展开耗时。然后，接下来，困难度比率运算部48按每个检查条带20，运算困难度与困难度阈值之间的困难度比率。
图7是用于说明实施方式一中的基于图形数的不同而产生的区域分割数的图。在图7中，在配置于DB区域21a的图形图案的图形数(困难度的一例)小于图形数阈值Th”1(困难度阈值的一例)的情况下，只要由一个参照图像制作电路112制作DB区域21a整体的参照图像即可。与此相对，在配置于DB区域21a的图形图案的图形数大于图形数阈值Th”1的情况下，将DB区域21a分割为DB区域21－1a与DB区域21－2a这两个区域，若在两个参照图像制作电路112间不进行并行处理，则也有可能发生赶不上比较处理的定时的情况。因此，如上述那样，通过运算困难度比率，能够进行调整，以不产生参照图像制作的延迟。关于图形数阈值Th”1，只要预先设定希望的值即可。例如，优选设定为能够在检查条带20的扫描时间内进行图像展开的图形数。
图8是用于说明实施方式一中的基于图案密度的不同而产生的区域分割数的图。在图8中，在配置于DB区域21a的图形图案的图案密度(困难度的一例)小于图案密度阈值Th”2(困难度阈值的其他一例)的情况下，只要由一个参照图像制作电路112制作DB区域21a整体的参照图像即可。与此相对，在配置于DB区域21a的图形图案的图案密度大于图案密度阈值Th”2的情况下，将DB区域21a分割为DB区域21－1a与DB区域21－2a这两个区域，若在两个参照图像制作电路112间不进行并行处理，则也有可能发生赶不上比较处理的定时的情况。因此，如上述那样，通过运算困难度比率，能够进行调整，以不产生参照图像制作的延迟。关于图案密度阈值Th”2，只要预先设定希望的值即可。例如，优选设定为能够在检查条带20的扫描时间内进行图像展开的图案密度。
图9是用于说明实施方式一中的基于图案线宽的不同而产生的区域分割数的图。在图9中，在配置于DB区域21a的图形图案的图案线宽(困难度的一例)比图案线宽阈值Th”3(困难度阈值的其他一例)宽(大)的情况下，只要由一个参照图像制作电路112制作DB区域21a整体的参照图像即可。与此相对，在配置于DB区域21a的图形图案的图案线宽比图案线宽阈值Th”3窄(小)的情况下，将DB区域21a分割为DB区域21－1a与DB区域21－2a这两个区域，若在两个参照图像制作电路112间不进行并行处理，则也有可能发生赶不上比较处理的定时的情况。因此，如上述那样，通过运算困难度比率，能够进行调整，以不产生参照图像制作的延迟。关于图案线宽阈值Th”3，只要预先设定希望的值即可。例如，优选设定为在检查条带20的扫描时间内能够进行图像展开的图案线宽。
作为区域分割工序(S107)，区域分割部45根据DD区域与DB区域的面积比率，将检查处理时间耗时较长的一方的区域(例如，DB区域21a)分割为多个小区域(例如，DB区域21－1a、DB区域21－2a)。另外，区域分割部45对于DB区域21a，根据上述的数据量比率或困难度比率，分割为多个小区域21－1a、21－2a。
例如，若DD区域/DB区域(面积比率)＝1(全部为DD区域21b)，则原样保持一个区域而不进行分割。由于全部为DD区域21b，因此不存在数据量比率(或困难度比率)。或者为零。
例如，若DD区域/DB区域(面积比率)＝0.7，则暂时决定为，DD区域21b与DB区域21a保持原样地各维持为一个区域。而且，若数据量比率(或困难度比率)为1以下，则各为一个区域地保持原样而不进行分割。在该情况下，对象检查条带20合计为两个区域。若数据量比率(或困难度比率)为大于1且为2以下，则将DB区域21a分割为两个区域。在该情况下，对象检查条带20合计为三个区域。若在数据量比率(或困难度比率)大于2的情况下，则将DB区域21a分割为三个区域。在该情况下，对象检查条带20合计为四个区域。
例如，若DD区域/DB区域(面积比率)＝0.5，则DD区域21b保持原样地维持为一个区域，将DB区域21a暂时决定为两个小区域。而且，若数据量比率(或困难度比率)为2以下，则保持原样地、使DD区域21b为一个区域并将DB区域21a分割为两个区域。在该情况下，对象检查条带20合计为三个区域。若在数据量比率(或困难度比率)大于2的情况下，则使DD区域21b为一个区域，并将DB区域21a分割为三个区域。在该情况下，对象检查条带20合计为四个区域。
例如，若DD区域/DB区域(面积比率)＝0(全部为DB区域21a)，则将DB区域21a暂时决定为一个区域。而且，若数据量比率(或困难度比率)为1以下，则原样地保持一个区域而不进行分割。若数据量比率(或困难度比率)大于1且为大2以下，则将DB区域21a分割为两个区域。在该情况下，对象检查条带20合计为三个区域。若在数据量比率(或困难度比率)大于2的情况下，将DB区域21a分割为三个区域。在该情况下，对象检查条带20合计为四个区域。
作为系统数决定工序(S108)，系统数决定部46(决定部)按每个检查条带20，根据面积比率可变地决定成为光学图像数据的输出目的地的进行DD检查处理的比较电路108的数量与进行DB检查处理的比较电路108的数量。同样，系统数决定部46按每个检查条带20，根据数据量比率或困难度比率，可变地决定成为光学图像数据的输出目的地的进行DB检查处理的比较电路108的数量。换言之，系统数决定部46根据数据量比率或困难度比率，以使进行DB检查处理的比较电路108的数量比与面积比率对应的数量增多的方式来决定。具体而言，系统数决定部46将系统数决定为由区域分割工序(S107)的结果而获得的区域数。
例如，若DD区域/DB区域(面积比率)＝0.5、且数据量比率(或困难度比率)为2以下，则在DD检查中决定为一个系统，在DB检查中决定为两个系统。若在数据量比率(或困难度比率)大于2的情况下，则在DD检查中决定为一个系统，在DB检查中决定为三个系统。
例如，若DD区域/DB区域(面积比率)＝0(全部为DB区域21a)、且数据量比率(或困难度比率)为1以下，则在DD检查中暂时决定为零个系统，在DB检查中暂时决定为一个系统。若数据量比率(或困难度比率)大于1且为2以下，则在DD检查中决定为零个系统，在DB检查中决定为两个系统。若在数据量比率(或困难度比率)大于2的情况下，则在DD检查中决定为零个系统，在DB检查中决定为三个系统。
作为分配处理工序(S110)，分配电路144(检查控制部)进行指示，以便按照多个检查条带20的每个检查条带20，分别向多个比较电路108中的按每个检查条带20可变地设定的数量的比较电路108输出该检查条带20的光学图像数据，并对光学图像数据的输出目的地的各比较电路108进行DD检查处理或DB检查处理。分配电路144按每个检查条带20，根据上述的面积比率可变地控制成为光学图像数据的输出目的地的进行DD检查处理的比较电路108的数量与进行DB检查处理的比较电路108的数量。另外，分配电路144按每个检查条带20，根据上述的数据量比率，可变地控制进行DB检查处理的比较电路108的数量。或者，分配电路144按每个检查条带20，根据上述的困难度比率，可变地控制进行DB检查处理的比较电路108的数量。以下，对具体的动作进行说明。另外，以下说明的分配电路144的处理也可以由内容控制计算机110来实施。
图10是表示实施方式一中的分配电路的内部构成的一例的图。在图10中，在分配电路144内配置判定部50、指示部52、判定部54、分配处理部56、以及判定部58。判定部50、指示部52、判定部54、分配处理部56、以及判定部58这一系列的“～部”具有处理电路。该处理电路包括电气电路、计算机、处理器、电路基板、量子电路、或半导体装置等。另外，各“～电路”也可以使用共用的处理电路(相同的处理电路)。或者，也可以使用不同的处理电路(单独的处理电路)。判定部50、指示部52、判定部54、分配处理部56、以及判定部58所需的输入数据或运算出的结果每次都被存储于未图示的存储器。
图11是表示实施方式一中的分配处理工序的内部工序的一例的流程图。在图11中，分配处理工序(S110)作为内部工序，实施空闲比较电路数判定工序(S10)、扫描以及参照图像制作指示工序(S12)、DD/DB判定工序(S14)、分配处理工序(S16)、分配处理工序(S18)、条带处理判定工序(S20)这一系列的工序。
作为空闲比较电路数判定工序(S10)，判定部50按每个检查条带20，根据面积比率、数据量比率、或困难度比率针对对象检查条带20判定是否存在可变地决定的系统数a以上的空闲比较电路108。当处理结束时，从各比较电路108向分配电路144输出完成通知。通过该完成通知，能够判定哪个比较电路空闲(等待处理)。在并不存在所决定的系统数a以上的空闲比较电路108的情况下，待机至所决定的系统数a以上的比较电路108的处理空闲为止。
作为扫描以及参照图像制作指示工序(S12)，指示部52在存在针对成为对象的检查条带20所决定的系统数a以上的空闲比较电路108的情况下，经由控制计算机110向光学图像取得机构150指示下一个检查条带20的扫描。如后述那样，光学图像取得机构150按照指示开始下一个检查条带20的扫描。通过使下一个检查条带20的扫描动作待机至所需的系统数的比较电路108空闲为止，能够实现不需要配置数据容量大的缓冲器。另外，指示部52将下一个检查条带20的参照图像制作与负责的区域信息一起，指示给下一个检查条带20的DB区域21a的数量的参照图像制作电路112。如后述那样，参照图像制作电路112按照指示开始下一个检查条带20的参照图像制作。若对成为对象的检查条带20，例如以并行地进行扫描动作与参照图像制作处理、并且在扫描动作过程中结束参照图像制作的方式进行动作，则如果是能够进行下一个扫描动作的状态，则同时也是能够由多个参照图像制作电路112进行参照图像制作的状态。由此，能够同时输出扫描指示和参照图像制作指示。
在被指示了扫描动作的检查条带20中实施扫描。
作为条带图像取得工序(S120)，光学图像取得机构150从形成有多个图形图案的基板101取得多个检查条带20(区域)的光学图像数据。具体而言，对被指示了扫描动作的检查条带20，按每个检查条带20，取得光学图像数据。具体而言，如以下那样动作。使XYθ工作台102移动至能够拍摄成为对象的检查条带20的位置。从适当的光源103经由照明光学系统170向形成于基板101的图案照射成为检查光的紫外线区域以下的波长的激光(例如，DUV光)。透射了基板101的光经由放大光学系统104而在光电二极管阵列105(传感器的一例)成像为光学像，并入射。
成像于光电二极管阵列105上的图案的像，通过光电二极管阵列105的各受光元件进行光电转换，进而通过传感器电路106进行A/D(模拟·数字)转换。然后，在条带图案存储器123中储存测定对象的检查条带20的像素数据。在拍摄该像素数据(条带区域图像)时，光电二极管阵列105的动态范围例如使用将照明光的光量入射了60％的情况设为最大灰度的动态范围。测定数据(像素数据)例如是8位的无符号数据，表现各像素的明亮度的灰度(光量)。
作为参照图像制作工序(S130)，参照图像制作电路112a～112m(参照图像制作部)制作与多个检查条带20(区域)的条带图像(光学图像)对应的多个参照图像。在实施方式一中，作为每个检查条带20的参照图像，以与帧图像30对应的方式，按每个帧区域来制作参照图像。但是，并不限定于此。也可以是按每个检查条带20来制作参照图像的情况。具体而言，如以下那样动作。参照图像制作电路112a～112m输入制作指示，针对成为对象的检查条带20的指定的DB区域21a，从存储装置109中通过控制计算机110读出描绘数据(设计图案数据)，并将所读出的设计图案数据中所定义的各图形图案转换为2值或多值的图像数据。
设计图案数据中所定义的图形以例如长方形、三角形为基本图形，例如储存有以图形的基准位置中的坐标(x、y)、边的长度、成为用于区分长方形或三角形等图形种类的识别符的图形码这些信息来定义各图案图形的形状、大小、位置等的图形数据。
若作为该图形数据的设计图案数据被输入至参照图像制作电路112a～112m，则展开至每个图形的数据为止，并对该图形数据的表示图形形状的图形码、图形尺寸等进行解释。然后，作为配置于以规定的量子化尺寸的栅格为单位的网格内的图案，展开为2值或多值的设计图案图像数据，并输出。换言之，读入设计数据，按将帧区域虚拟分割为以规定的尺寸为单位的网格而成的每个网格，运算设计图案中图形所占的占有率，并输出n位的占有率数据(设计图像数据)。例如，优选将一个网格设定为一个像素。然后，若使一个像素具有1/28(＝1/256)的分辨率，则以配置于像素内的图形的区域量分配1/256的小区域并运算像素内的占有率。然后，制作为8位的占有率数据。该网格(检查像素)只要与测定数据的像素一致即可。
接下来，参照图像制作电路112a～112m使用滤波函数对作为图形的图像数据的设计图案的设计图像数据实施滤波处理。
图12是用于说明实施方式一中的滤波处理的图。从基板101拍摄的光学图像的像素数据处于通过在拍摄中使用的光学系统的析像特性等而滤波器发挥了作用后的状态、即连续变化的模拟状态，因此例如如图12所示那样、图像强度(浓淡值)与数字值的展开图像(设计图像)不同。因此，参照图像制作电路112对展开图像实施图像加工(滤波处理)而制作接近光学图像的参照图像。由此，能够使图像强度(浓淡值)为数字值的设计侧的图像数据的设计图像数据与测定数据(光学图像)的像生成特性一致。
如以上那样，取得成为对象的检查条带20的光学图像(条带数据)，并制作其参照图像。接下来，将这些图像数据分配给多个比较电路108a～108n。
在将多个比较电路108a～108n预先区分为DD检查用和DB检查用的情况下，实施以下的工序。
作为DD/DB判定工序(S14)，判定部54按每个检查条带20来判定对于对象检查条带20是仅进行DD检查与DB检查的一方、还是进行两方。
作为分配处理工序(S16)，分配处理部56以如下方式进行控制：在对每个检查条带20实施DD检查与DB检查这两方的情况下，对所决定的系统数的比较电路108分配比较处理，分别输出附加有所实施的检查的检查模式的识别信息的指示检查的指示指令和所检查的区域的信息，并且从条带图案存储器123输出条带数据(条带区域图像)。在输出条带数据的情况下，将从位置电路107输出的表示XYθ工作台102上的基板101的位置的数据一并输出。另外，在实施DB检查的情况下，以使实施DB检查的比较电路输出对应的DB区域的参照图像的方式控制参照图像制作电路112。
作为分配处理工序(S18)，分配处理部56以如下方式进行控制：在对每个检查条带20仅实施DD检查与DB检查中的一方的情况下，对所决定的系统数的比较电路108分配比较处理，输出附加有所实施的检查的检查模式的识别信息的指示检查的指示指令和所检查的区域的信息，并且从条带图案存储器123输出条带数据(条带区域图像)。在输出条带数据的情况下，将从位置电路107输出的表示XYθ工作台102上的基板101的位置的数据一并输出。另外，以使实施DB检查的比较电路输出对应的DB区域的参照图像方式控制参照图像制作电路112。对于不实施检查的另一方，将指示指令输出至预定进行不实施的另一方的检查的比较电路108。在即使输入了指示指令也没有条带数据的输入的比较电路108中，不进行比较处理而向分配电路144输出完成通知。或者，也可以设为对不实施检查的另一方不输出指示指令。在该情况下，预定进行不实施的另一方的检查的比较电路108单纯维持待机状态。
在将多个比较电路108a～108n设为并不预先区分为DD检查用、DB检查用、无论哪个都能够应对的构成的情况下，省略DD/DB判定工序(S14)与分配处理工序(S18)，只要实施分配处理工序(S16)即可。
作为条带处理判定工序(S20)，判定部58判定是否全部的检查条带20的检查已结束。若存在检查还未结束的检查条带20，则返回至空闲比较电路数判定工序(S10)，重复从空闲比较电路数判定工序(S10)至条带处理判定工序(S20)的各工序直到全部的检查条带20的检查结束为止。在全部的检查条带20的检查已结束的情况下，分配处理工序(S110)结束。
如以上那样，对所决定的系统数a的各比较电路108输出成为对象的条带数据、指示指令以及所检查的区域的信息。另外，对所决定的系统数的比较电路108中的实施DB检查的比较电路108，进一步输出对应的DB区域21a的参照图像。例如，第一个检查条带20的条带图像数据被输出至比较电路108a～108c。第二个检查条带20的条带图像数据被输出至比较电路108d～108g。第三个检查条带20的条带图像数据被输出至比较电路108h～108j。若存在系统数a的空闲比较电路，则第四个检查条带20的条带图像数据被再次输出至比较电路108a～108c等。以下，依次输出条带图像数据。
图13是表示实施方式一中的各比较电路的内部构成的图。在图13中，在多个比较电路108a～108n的各比较电路内配置有磁盘装置等存储装置70、71、72、76、模式判定部73、帧图像制作部74、区域判定部75、完成通知输出部77、对位部78、以及比较处理部79。模式判定部73、帧图像制作部74、区域判定部75、完成通知输出部77、对位部78、以及比较处理部79这一系列的“～部”具有处理电路。该处理电路包括电气电路、计算机、处理器、电路基板、量子电路、或半导体装置等。另外，各“～电路”也可以使用共用的处理电路(相同的处理电路)。或者，也可以使用不同的处理电路(单独的处理电路)。模式判定部73、帧图像制作部74、区域判定部75、完成通知输出部77、对位部78、以及比较处理部79所需的输入数据或运算出的结果每次都被存储于未图示的存储器。
被输入至各比较电路108(例如，若为三个系统，则例如是108a、108b、108c)的条带数据(光学图像数据)、指示指令以及所检查的区域信息分别被储存于存储装置70。另外，输入至实施DB检查的各比较电路108(例如，若为三个系统中由两个系统进行DB检查的情况，则例如是108a、108b)的参照图像数据被储存于存储装置72。
作为并行的多个检查工序(S140a～S140d)，各比较电路108(比较部)进行将光学图像数据彼此进行比较的裸片－裸片(DD)检查处理、以及将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较的裸片－数据库(DB)检查处理中的一方的处理。各比较电路108进行并行处理。例如，如果对第一个检查条带20分配三个系统的比较电路108a、108b、108c、且DD检查为一个系统、DB检查为两个系统，则三个系统的检查工序(S140a、S140c、S140D)被并行地实施。以下，针对多个比较电路108a～108n中的实施DD检查的一个与实施DB检查的一个，对其处理内容进行说明。实施同种类检查的各比较电路108a～108n的处理内容也可以相同。
作为模式判定工序(S202)，模式判定部73按每个检查条带20，从存储装置70读出指示指令，根据附加的识别信息来判定指示指令所指示的检查模式为DD检查、还是DB检查。
作为区域判定工序(S204)，区域判定部75按每个检查条带20，从存储装置70中读出区域信息，判定对象检查条带20中的负责的区域。在模式判定的结果为实施DD检查的情况下，判定DD区域21b的位置。在实施DB检查的情况下，判定DB区域21a的位置。例如，在DB区域21a被进一步细分的情况下，判定所负责的例如DB区域21－1a的位置。
作为帧图像制作工序(S206)，帧图像制作部74按每个检查条带20，从存储装置70中读出条带数据，针对负责的区域，制作图2所示的每个帧区域的帧图像30。例如，制作512×512像素的帧图像。多个帧图像30以相邻的帧图像30彼此间以规定的边缘宽度重叠的方式被制作。通过该处理，取得与多个帧区域对应的多个帧图像30(光学图像)。多个帧图像30被储存于存储装置76。通过以上，生成了为了检查而进行比较的一方的图像(被测定的图像)数据。
作为对位工序(S208)，在被指示了DB检查的情况下，对位部78从存储装置76中读出成为比较对象的帧图像30(光学图像)，同样地从存储装置72中读出成为比较对象的参照图像。然后，以规定的算法进行对位。例如，使用最小二乘法来进行对位。在被指示了DD检查的情况下，对位部78从存储装置76中读出配置与检查对象的帧图像30(裸片1)相同的图案的另一帧图像30(裸片2)。然后，以规定的算法进行对位。例如，使用最小二乘法进行对位。
作为比较处理工序(S210)，在被指示了DB检查的情况下，比较处理部79(比较部)按每个帧区域(检查单位区域)，比较光学图像与参照图像。换言之，比较处理部79按照多个帧区域(小区域)中的每个帧区域，将该帧区域的帧图像30(光学图像)与和该帧图像30对应的参照图像按每个像素进行比较，而检查图案的缺陷。比较处理部79按照规定的判定条件，按每个像素将两者进行比较，判定例如形状缺陷这一缺陷的有无。作为判定条件，例如，按照规定的算法，按每个像素将两者进行比较，并判定缺陷的有无。例如，按每个像素运算从参照图像的像素值减去帧图像30的像素值而得的差分值，在差分值大于阈值Th的情况下，判定为缺陷。然后，将比较结果输出至存储装置71。
在被指示了DD检查的情况下，比较处理部79(比较部)按配置相同的图案的裸片1的帧图像30与裸片2的帧图像30的每个组合，将光学图像彼此进行比较。换言之，比较处理部79按裸片1、2的对应的帧区域(小区域)彼此的每个组合，将裸片1的帧图像30(光学图像)与裸片2的帧图像30(光学图像)按每个像素进行比较，检查图案的缺陷。比较处理部79按照规定的判定条件，按每个像素将两者进行比较，判定例如形状缺陷这一缺陷的有无。作为判定条件，例如，按照规定的算法，按每个像素将两者进行比较，判定缺陷的有无。例如，按每个像素，运算从光学图像的一方的像素值减去另一方的像素值而得的差分值，在差分值大于阈值Th的情况下，判定为缺陷。然后，将比较结果输出至存储装置71。
在此，包含比较的结果是判定为缺陷的缺陷位置的帧图像30的数据，作为缺陷图像数据被暂时储存于存储装置71。另外，缺陷位置的例如坐标数据(缺陷特定数据)被暂时储存于存储装置71。若存在多个缺陷，则按每个缺陷，包含缺陷位置的帧图像30的数据作为缺陷图像数据被暂时储存于存储装置71。另外，同样地，按每个缺陷，缺陷位置的例如坐标数据(缺陷特定数据)被暂时储存于存储装置71。这些缺陷图像数据与缺陷特定数据被转送至结合电路140。然后，在已转送的时刻，完成通知输出部77将表示该比较电路108中的处理已完成的完成通知输出至分配电路144。另外，储存于存储装置71的各数据在转送后覆盖下一个检查条带20的数据。
图14是表示实施方式一中的分配区域与检查时间之间的关系的一例的图。在图14的例子中，示出了例如由DB检查为两个系统、DD检查为一个系统的共三个系统的比较电路108进行检查的情况。如以上那样，由于并行并同时地检查DB区域21a(在此，为DB区域21－1a与DB区域21－2a)与DD区域21b，因此能够缩短检查时间。另外，对于呈现检查时间变长的趋势的DB区域21a通过进一步进行区域的细分，能够使其与DD区域21b的检查同时结束。由此，能够进行高效的检查。而且，通过使扫描动作待机直至出现所决定的系统数a的空闲比较电路为止，从而能够实现缓冲器的小型化，并且能够防止存储器溢出的情况，能够抑制存储器的互换动作等产生。由此，能够抑制产生了互换动作等的情况下的由运算处理延迟等引起的检查时间的增大。
作为结合工序(S160)，结合电路140接受包含比较的结果是判定为缺陷的缺陷图像数据的缺陷转送用数据的转送，并根据所转送的数据，生成缺陷信息。在图1的例子中，示出了一个结合电路140，但并不限定于此。只要配置至少一个结合电路140即可。结合电路140根据所转送的坐标数据，判定重复的缺陷图像数据。若按每个缺陷存在重复的多个缺陷图像数据(帧图像30)，则结合电路140制作使其中的一个与缺陷坐标结合而成的缺陷信息。作为缺陷信息，例如，生成在缺陷图像数据上的缺陷坐标位置叠加了缺陷坐标的图像。另外，在相同的缺陷图像数据内存在多个缺陷的情况下，也可以生成在一个缺陷图像数据(帧图像30)上叠加了多个缺陷的缺陷坐标的图像。关于所制作的缺陷信息，只要被输出至磁盘装置109、磁带装置115、软盘装置(FD)116、CRT117、图案监视器118、或从打印机119输出即可。
如以上那样，根据实施方式一，能够通过一次扫描来实施裸片－裸片检查与裸片－数据库检查这两方。由此，即使在希望进行裸片－裸片检查的区域与希望进行裸片－数据库检查的区域混合存在的情况下，也能够高效地进行检查处理。
以上，参照具体例对实施方式进行了说明。但是，本发明并不限定于这些具体例。例如，在实施方式中，作为照明光学系统170，示出了使用了透射光的透射照明光学系统，但并不限定于此。例如，也可以是使用了反射光的反射照明光学系统。或者，也可以将透射照明光学系统与反射照明光学系统组合而同时使用透射光与反射光。另外，光源103并不限定于紫外线(光)的光源，也可以是电子束的发射源。
另外，关于装置构成、控制方法等本发明的说明中不直接需要的部分等，省略了记载，但能够适当选择所需的装置构成、控制方法来使用。例如，关于控制检查装置100的控制部构成省略了记载，但当然可以适当地选择所需的控制部构成来使用。
此外，具备本发明的要素、本领域技术人员能够适当进行设计变更的全部的图案检查装置以及图案检查方法包含在本发明的范围内。
对本发明的几个实施方式进行了说明，但这些实施方式是作为例子而提示的，并不意图限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式来实施，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围、主旨内，并且包含在权利要求书所记载的发明及其等价的范围内。

Claims (10)

1.一种图案检查装置，具备：
光学图像取得机构，从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据；
多个比较处理电路，进行裸片－裸片检查处理与裸片－数据库检查处理中的一方的处理，该裸片－裸片检查处理将光学图像数据彼此进行比较，该裸片－数据库检查处理将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较；以及
检查处理电路，以如下方式进行控制，按所述多个区域的每个区域，将该区域的光学图像数据分别向所述多个比较处理电路中的按每个所述区域可变地设定的数量的比较处理电路输出，对所述光学图像数据的输出目的地的各比较处理电路进行所述裸片－裸片检查处理或所述裸片－数据库检查处理。
2.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置还具备面积比率运算处理电路，该面积比率运算处理电路按每个所述区域，运算该区域内进行所述裸片－裸片检查处理的区域部分与进行所述裸片－数据库检查处理的区域部分的面积比率，
所述检查处理电路，根据所述面积比率，可变地控制作为所述光学图像数据的输出目的地的进行所述裸片－裸片检查处理的比较处理电路的数量与进行所述裸片－数据库检查处理的比较处理电路的数量。
3.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置还具备：
数据尺寸运算处理电路，按每个所述区域，运算该区域的设计图案数据的数据尺寸；以及
数据量比率运算处理电路，运算所述数据尺寸与数据量阈值之间的数据量比率，
所述检查处理电路，按每个所述区域，根据所述数据量比率，可变地控制进行所述裸片－数据库检查处理的比较处理电路的数量。
4.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置，还具备：
困难度运算处理电路，按每个所述区域，使用该区域的设计图案数据来运算该区域的参照图像制作的困难度；以及
困难度比率运算处理电路，运算所述困难度与困难度阈值之间的困难度比率，
所述检查处理电路，按每个所述区域，根据所述困难度比率，可变地控制进行所述裸片－数据库检查处理的比较处理电路的数量，
作为所述困难度的指标，使用所述区域的图形数、图案密度或图案线宽。
5.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置还具备区域判定处理电路，该区域判定处理电路按每个所述区域，判定该区域内进行所述裸片－裸片检查处理的部分与进行所述裸片－数据库检查处理的部分。
6.如权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置还具备区域分割处理电路，该区域分割处理电路按每个所述区域，根据所述面积比率，将进行所述裸片－裸片检查处理的区域部分与进行所述裸片－数据库检查处理的区域部分中的检查处理时间耗时较长的一方的区域分割为多个小区域。
7.如权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置还具备决定处理电路，该决定处理电路按每个所述区域，根据所述面积比率，可变地决定进行所述裸片－裸片检查处理的比较处理电路的数量与进行所述裸片－数据库检查处理的比较处理电路的数量。
8.如权利要求7所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置还具备：
数据尺寸运算处理电路，按每个所述区域，运算该区域的设计图案数据的数据尺寸，以及
数据量比率运算处理电路，运算所述数据尺寸与数据量阈值之间的数据量比率，
所述决定处理电路，根据所述数据量比率，将进行所述裸片－数据库检查处理的比较处理电路的数量决定为比与所述面积比率对应的数量多。
9.如权利要求7所述的图案检查装置，其特征在于，
所述图案检查装置还具备：
困难度运算处理电路，按每个所述区域，使用该区域的设计图案数据来运算该区域的参照图像制作的困难度；以及
困难度比率运算处理电路，运算所述困难度与困难度阈值之间的困难度比率，
所述决定处理电路，根据所述困难度比率，将进行所述裸片－数据库检查处理的比较处理电路的数量决定为比与所述面积比率对应的数量多。
10.一种图案检查方法，
从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据，
按所述多个区域的每个区域，将该区域的光学图像数据分别向多个比较处理电路中的按每个所述区域可变地设定的数量的比较处理电路输出，该多个比较处理电路进行将光学图像数据彼此进行比较的裸片－裸片检查处理以及将光学图像数据与根据设计图案数据制作的参照图像数据进行比较的裸片－数据库检查处理中的一方的处理，
通过所述光学图像数据的输出目的地的各比较处理电路，对该区域的光学图像数据进行所述裸片－裸片检查处理或所述裸片－数据库检查处理，并输出结果。
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