JP2005134347A - レチクル検査装置及びレチクル検査方法 - Google Patents
レチクル検査装置及びレチクル検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 検査装置内にレチクルを配置し(S1)、このレチクルに関する情報の入力、プレートアライメント及びライトキャリブレーション等の検査セットアップを行う(S2)。レチクルのパターンを撮像し(S3)、その画像データを複数のフレーム画像データに分割し(S4)、同じパターンが形成されているフレーム画像データ群の中のフレーム画像データ同士を比較すると共にフレーム画像データと参照画像との比較して欠陥の有無を判定する(S5)。検出した欠陥の情報及び撮像した画像データを基にオペレータが欠陥であるか否かを最終的に判断するレビューを行い(S6)、レチクルを検査装置から取り出す(S7)。
【選択図】 図3
Description
2;フレーム分配部
3;CADデータ蓄積部
4;参照画像作成部
5;画像比較部
6;検査結果制御部
7;レーザ光
12;重複部分
10、11、110、111;ダイ
100;パターン
101;欠陥
A1〜A8;検査領域
FR1〜FR8;フレーム
Claims (6)
- 1つの撮像光学系が設けられレチクルのパターンを撮像して画像データを作成する画像入力部と、前記画像データを複数個のフレーム画像データに分割して同じパターンが形成されているフレーム画像データを選ぶ分配部と、前記レチクルのパターンの設計データから得られた参照画像と前記分配部で選ばれたフレーム画像データの中の一のフレーム画像データとを比較して、これらが一致しなかった場合はこのフレーム画像データには欠陥があると判定し、これらが一致した場合は前記一のフレーム画像データと分配部で選ばれたフレーム画像データの中の他のフレーム画像データとを夫々比較してこれらが一致した場合は共に欠陥無しと判定し、一致しなかった場合は他のフレーム画像データに欠陥があると判定する比較部と、を有することを特徴とするレチクル検査装置。
- 前記比較部は複数個設けられており、各比較部には前記分配部で選ばれたフレーム画像データ群が順に分配され、複数個の比較部で欠陥の有無の判定が並行して行われることを特徴とする請求項1に記載のレチクル検査装置。
- 前記比較部にて判定された結果を外部に出力する検査結果制御部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のレチクル検査装置。
- 画像入力部に設けられた1つの撮像光学系によりレチクルのパターンを撮像して画像データを作成する撮像工程と、画像データを複数個のフレーム画像データに分割して同じパターンが形成されているフレーム画像データを選び、この選ばれたフレーム画像データ群を比較部に分配する分配工程と、前記比較部において前記レチクルのパターンの設計データから得られた参照画像と前記フレーム画像データ群の中の一のフレーム画像データとを比較して、これらが一致しなかった場合はこのフレーム画像データには欠陥があると判定し、これらが一致した場合は前記一のフレーム画像データと前記フレーム画像データ群の中の他のフレーム画像データとを夫々比較してこれらが一致した場合は共に欠陥無しと判定し、一致しなかった場合は他のフレーム画像データに欠陥があると判定する比較工程と、を有することを特徴とするレチクル検査方法。
- 前記比較部に同じパターンが形成されている第1及び第2のフレーム画像データが分配された場合、前記比較工程では、先ず前記第1のフレーム画像データと前記参照画像とを比較し、これらが一致したときは、次に前記第1のフレーム画像データと前記第2のフレーム画像データとを比較し、これらも一致したときは前記第1及び第2のフレーム画像データ共に欠陥無しと判定し、一致しなかったときは前記第1のフレーム画像データは欠陥無しであるが前記第2のフレーム画像データには欠陥があると判定し、一方、前記第1のフレーム画像データと前記参照画像とが一致しなかったときは、次に前記第2のフレーム画像データと前記参照画像とを比較し、これらが一致したときは前記第1のフレーム画像データには欠陥があるが前記第2のフレーム画像データには欠陥が無いと判定し、一致しなかったときは第1及び第2のフレーム画像データ共に欠陥があると判定することを特徴とする請求項4に記載のレチクル検査方法。
- 前記比較部が複数個設けられており、前記分配工程では前記フレーム画像データ群を選ばれた順に各比較部に分配し、前記複数個の比較部において前記比較工程を並行して実施することを特徴とする請求項4又は5に記載のレチクル検査方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100735027B1 (ko) | 2006-01-03 | 2007-07-03 | 삼성전자주식회사 | 레티클 식별장치와 이를 구비한 노광설비 및 노광방법 |
US8213703B2 (en) | 2008-10-20 | 2012-07-03 | Nuflare Technology, Inc. | Method and apparatus for reviewing defects on mask |
JP2014519598A (ja) * | 2011-04-26 | 2014-08-14 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | ハイブリッドレチクル検査のための方法及びシステム |
JP2017096943A (ja) * | 2011-04-26 | 2017-06-01 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 検査装置、コンピュータ装置および検査方法 |
US11145050B2 (en) | 2018-11-15 | 2021-10-12 | Nuflare Technology, Inc. | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method |
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2003
- 2003-10-31 JP JP2003373602A patent/JP2005134347A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100735027B1 (ko) | 2006-01-03 | 2007-07-03 | 삼성전자주식회사 | 레티클 식별장치와 이를 구비한 노광설비 및 노광방법 |
US7689027B2 (en) | 2006-01-03 | 2010-03-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Reticle discerning device, exposure equipment comprising the same and exposure method |
US8213703B2 (en) | 2008-10-20 | 2012-07-03 | Nuflare Technology, Inc. | Method and apparatus for reviewing defects on mask |
JP2014519598A (ja) * | 2011-04-26 | 2014-08-14 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | ハイブリッドレチクル検査のための方法及びシステム |
JP2017096943A (ja) * | 2011-04-26 | 2017-06-01 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 検査装置、コンピュータ装置および検査方法 |
US11145050B2 (en) | 2018-11-15 | 2021-10-12 | Nuflare Technology, Inc. | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method |
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