JP6368081B2 - 計測装置 - Google Patents
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Description
被検査試料の検査領域がスキャン幅で短冊状に分割された複数のストライプ領域に対してストライプ領域毎に走査してストライプ領域サイズの図形パターンの光学画像データを取得する光学画像取得部と、前記パターンの設計データから前記光学画像データと比較するための前記ストライプ領域サイズよりも小さいフレーム領域サイズの参照画像データを作成する参照画像作成部と、前記ストライプ領域サイズの光学画像を前記フレーム領域サイズの複数のフレーム画像に分割し、対応するフレーム画像と参照画像とを比較する比較回路とを有し、前記被検査試料に形成されたパターンの欠陥を検査するパターン検査装置とは独立して配置される計測装置であって、
パターン検査装置が被検査試料の検査領域がスキャン幅で短冊状に分割された前記ストライプ領域毎に走査した場合に得られる図形パターンの光学画像データであって前記パターン検査装置内での前記比較回路への前記光学画像データの出力とは別に前記パターン検査装置から出力される前記光学画像データを入力する光学画像入力部と、
被検査試料に形成されたパターンの設計データを入力する設計データ入力部と、
設計データを画像展開して、光学画像データと比較するための参照画像データを作成する参照画像作成部と、
前記パターン検査装置から得られた前記ストライプ領域サイズの前記光学画像データを前記参照画像データと同様のサイズに分割する分割部と、
前記パターン検査装置から得られた前記光学画像データと、作成された前記参照画像データとを用いて、前記被検査試料のパターンの位置ずれ量を計測して、位置ずれ量分布を作成する位置ずれ量分布作成部と、
算出された被検査試料のパターンの位置ずれ分布を出力する出力部と、
を備えたことを特徴とする。
位置ずれ量分布作成部は、さらに、入力された光学画像データの位置データを用いて位置ずれ量分布を作成すると好適である。
位置ずれ量分布作成部は、座標校正データを用いて校正された位置データを用いて位置ずれ量分布を作成すると好適である。
図1は、実施の形態1におけるパターン検査装置の構成を示す構成図である。図1において、試料、例えばマスクに形成されたパターンの欠陥を検査する検査装置100は、光学画像取得部150、及び制御系回路160(制御部)を備えている。
(1) x=f(x1,y1)+g(x2,y2,t)
y=f’(x1,y1)+g’(x2,y2,t)
20 検査ストライプ
30 フレーム領域
50,52,54,56,58,59,76 記憶装置
60,74 入力部
61 フレーム分割部
62 位置合わせ部
63 座標変換部
64 位置ずれ量分布作成部
70 位置ずれ量マップ作成部
72 出力部
73 メモリ
78 参照画像作成部
100 検査装置
101 試料
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 フォトダイオードアレイ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111 展開回路
112 参照回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 FD
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
123 ストライプパターンメモリ
124 リニアスケール測長システム
150 光学画像取得部
160 制御系回路
170 照明光学系
200 計測装置
300 記憶装置
Claims (5)
- 被検査試料の検査領域がスキャン幅で短冊状に分割された複数のストライプ領域に対してストライプ領域毎に走査してストライプ領域サイズの図形パターンの光学画像データを取得する光学画像取得部と、前記パターンの設計データから前記光学画像データと比較するための前記ストライプ領域サイズよりも小さいフレーム領域サイズの参照画像データを作成する参照画像作成部と、前記ストライプ領域サイズの光学画像を前記フレーム領域サイズの複数のフレーム画像に分割し、対応するフレーム画像と参照画像とを画素毎に比較する比較回路とを有し、前記被検査試料に形成されたパターンの欠陥を検査するパターン検査装置とは独立して配置される計測装置であって、
前記パターン検査装置が前記被検査試料の検査領域がスキャン幅で短冊状に分割された前記ストライプ領域毎に走査した場合に得られる図形パターンの光学画像データであって前記パターン検査装置内での前記比較回路への前記光学画像データの出力とは別に前記パターン検査装置から出力される前記光学画像データを入力する光学画像入力部と、
前記被検査試料に形成されたパターンの設計データを入力する設計データ入力部と、
前記設計データを画像展開して、前記光学画像データと比較するための参照画像データを作成する参照画像作成部と、
前記パターン検査装置から得られた前記ストライプ領域サイズの前記光学画像データを前記参照画像データと同様のサイズに分割する分割部と、
前記パターン検査装置から得られた前記光学画像データと、作成された前記参照画像データとを用いて、前記被検査試料のパターンの位置ずれ量を計測して、位置ずれ量分布を作成する位置ずれ量分布作成部と、
算出された前記被検査試料のパターンの位置ずれ分布を出力する出力部と、
を備えたことを特徴とする計測装置。 - 前記光学画像入力部は、さらに、前記光学画像データの位置データを入力し、
前記位置ずれ量分布作成部は、さらに、入力された前記光学画像データの位置データを用いて前記位置ずれ量分布を作成することを特徴とする請求項1記載の計測装置。 - 前記光学画像データの位置データとして、複数の座標系の位置データが用いられることを特徴とする請求項1又は2記載の計測装置。
- 前記光学画像入力部は、さらに、前記複数の座標系を校正する座標校正データを入力し、
前記位置ずれ量分布作成部は、前記座標校正データを用いて校正された位置データを用いて前記位置ずれ量分布を作成することを特徴とする請求項3記載の計測装置。 - 前記位置ずれ量分布作成部は、前記パターン検査装置の検査動作に連動して、前記位置ずれ量を計測することを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の計測装置。
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