JP7176918B2 - 吸着装置 - Google Patents

Description

本発明は、壁面に吸着する吸着装置に関する。

従来、構造物の検査を行うための移動装置として、壁面を走行するロボットが知られている。この種のロボットとしては、本体に設けられた吸着装置が壁面に吸着することにより壁面を走行可能としたものが提案されており、その吸着方式としては、プロペラによる壁面への押し付け、真空ポンプやファンによる減圧吸着、磁力による吸着、また、静電力や分子間力を用いた壁面への吸着などがある。

橋梁の橋脚、箱桁、建物外壁などの構造物の壁面、即ち、コンクリートのような絶縁性の物体に吸着して安定してロボットを移動させる場合、上述の吸着方式のうち、真空ポンプやファンによる減圧吸着が有効である。この減圧吸着は、ロボットと吸着対象の壁面と間において画成された空間の空気を外部へ排出することによって空間を減圧し、この空間内の気圧と大気圧との差圧によりロボットを壁面に吸着させるものである。

このような減圧吸着により壁面を走行する装置として、車両の左右両側に各１式の駆動走行手段を備える走行車両であって、剛性乃至剛性材料から形成された受圧本体と、受圧本体及び走行面と協働して減圧領域を規定する仕切壁と、減圧領域から流体を排出して減圧領域内を減圧するための減圧生成手段とを具備する走行車両、が知られている（特許文献１参照）。

特開２０００－６２６５９号公報

しかしながら、減圧吸着において吸着対象とする壁面には、多くの場合、隙間や凹凸などが存在し、このような壁面に対しては、吸着力が極端に減少して壁面に安定して吸着することができない。これに対し、吸着に際して減圧される減圧空間を包囲するように形成され、壁面に接する仕切部を剛性の低い部材により形成することにより、凹凸に対応することができるが、減圧空間へ仕切部が引き込まれてしまい、安定して吸着することができない、という問題がある。

本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、より安定して壁面に吸着することができる吸着装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決するため、本実施形態に係る吸着装置は、壁面との間に負圧となる減圧空間を画成して前記壁面に吸着する吸着装置であって、前記壁面に対向するように該壁面から離間して設けられる基台であって、該基台と前記壁面との間に生じる前記減圧空間の減圧を行う減圧装置と接続される基台と、前記基台の周縁に設けられ、前記減圧空間の周壁における前記基台側部分を弾性部材により形成する第１仕切部と、前記第１仕切部よりも前記壁面側に設けられ、該壁面側の一端部が前記壁面に接触するように、前記減圧空間の周壁における前記壁面側部分を弾性部材により形成する第２仕切部と、前記第２仕切部より高い剛性を有する部材により前記第２仕切部に対応する枠状に形成され、前記減圧空間が負圧となることにより前記第２仕切部の前記基台側の他端部が前記減圧空間に引き込まれるように変形することを規制するように前記第２仕切部に設けられる第１規制部材とを備える。

本発明によれば、より安定して壁面に吸着することができる。

第１の実施形態に係る移動装置の構成を示す斜視図である。 第１の実施形態に係る吸着装置の構成を示す斜視図である。 第１仕切部の構成を示す斜視図である。 仕切部の構成を示す断面図である。 第２仕切部の構成を示す斜視図である。 規制部材の構成を示す斜視図である。 第１仕切部と第２仕切部との連結を示す断面図である。 凹部を通過する仕切部を示す断面図である。 凸部を通過する仕切部を示す断面図である。 第２の実施形態に係る仕切部の構成を示す斜視図である。 横梁部材の構成を示す断面図である。 第３の実施形態に係る仕切部の構成を示す断面図である。 第４の実施形態に係る仕切部の構成を示す断面図である。 第５の実施形態に係る吸着装置の構成を示す斜視図である。 第６の実施形態に係る仕切部の構成を示す断面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。

＜第１の実施形態＞
（移動装置の構成）
本実施形態に係る移動装置の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る移動装置の構成を示す斜視図である。

図１に示すように、本実施形態に係る移動装置１は、吸着装置１０と走行装置２０とを備える。走行装置２０は、本体部２１と２つの車輪２２ａ，２２ｂとを備え、２つの車輪２２ａ，２２ｂのそれぞれは、軸方向が平行するとともに軸心位置が一致する回転軸２２１ａ，２２１ｂを介して回転可能に本体部２１に設けられる。なお、この走行装置２０においては、回転軸２２１ａ，２２１ｂを回転駆動させる駆動装置が備えられるものとするが、図１においては駆動装置を省略した移動装置１が示される。この走行装置２０によれば、移動装置１は、回転軸２２１ａ，２２１ｂ周りに２つの車輪２２ａ，２２ｂが回転されることによって壁面を走行することができる。

なお、以降の説明において、移動装置１の直進方向を前後方向、回転軸２２１ａ，２２１ｂの軸方向を側方向、前後方向及び側方向に直交する方向、即ち、２つの車輪２２ａ，２２ｂの接地面としての壁面の面内方向に略垂直する方向を垂直方向と称する。また、この垂直方向における接地面側を下側、その逆方側を上側と称する。また、前後方向及び側方向を、垂直方向に直交する方向として直交方向と総称する。

走行装置２０の本体部２１には、吸着装置１０が本体部２１の下方に位置するように取り付けられており、吸着装置１０が壁面に吸着した状態で走行装置２０が走行することによって、移動装置１は壁面を移動することができる。

（吸着装置の構成）
本実施形態に係る吸着装置の構成について説明する。図２は、本実施形態に係る吸着装置の構成を示す斜視図である。

図２に示すように、吸着装置１０は、基台１１と、第１仕切部１２と、第２仕切部１３と、減圧装置１４とを備え、基台１１、第１仕切部１２及び第２仕切部１３によって壁面と協働して垂直方向に所定の大きさに形成された減圧空間が画成され、吸着装置１０は、減圧装置１４により減圧空間が減圧され負圧となることにより壁面に吸着可能に構成される。

基台１１は、減圧空間を挟んで壁面と垂直方向に対向して離間するように設けられて減圧空間を上方から閉鎖する部材であり、直交方向に延在する略平板上の底面部１１０と、この底面部１１０の周縁の全域に渡って形成され、周縁から上方に延在する周壁部１１１とを備え、全体として、上方が開口した箱状に形成される。底面部１１０には、減圧空間と外部と連通させる排気孔（不図示）が形成され、この排気孔を介して減圧空間内を減圧させるように減圧装置１４が設けられる。周壁部１１１には側方に互いに対向するように設けられ、それぞれ上方に延在する２つの取付部１１２ａ，１１２ｂが形成され、２つの取付部１１２ａ，１１２ｂを介して、吸着装置１０が走行装置２０に取り付けられる。

第１仕切部１２と第２仕切部１３は、減圧空間を直交方向から全周に亘って、即ち前後方向及び側方向から包囲して減圧空間と外部とを仕切る仕切部を構成する部材であり、第１仕切部１２は周壁部１１１を包囲するように周壁部１１１に連結される、第２仕切部１３は第１仕切部１２の下方に連結される。また、第１仕切部１２は減圧空間の周壁における基台１１側部分を形成し、第２仕切部１３は減圧空間の周壁における壁面側部分を形成する。

減圧装置１４は、上述したように、排気孔を介して減圧空間内を減圧可能に基台１１の底面部１１０に設けられる。本実施形態において、減圧装置１４は、排気ファンとして構成されるが、減圧空間を減圧可能であればいかなる装置であっても良く、例えば真空ポンプとして構成しても良い。

（第１仕切部の構成）
第１仕切部の構成について説明する。図３は、第１仕切部の構成を示す斜視図である。図４は、仕切部の構成を示す断面図である。

図３に示すように、第１仕切部１２は、減圧空間を直交方向から全周に亘って包囲するように全体として枠状に形成されるとともに、図４に示すように、横断面が上方に開いた略Ｕ字状に形成される。ここで、横断面とは、第１仕切部１２において前後方向または側方向に延在する部分を、その延在方向に直交する平面により切断した面を意味する。第１仕切部１２は、直交方向内方において、減圧空間を直交方向から包囲するように垂直方向に所定距離だけ延在する内方壁部１２１と、直交方向外方において、内方壁部１２１を直交方向から包囲するように垂直方向に所定距離だけ延在する外方壁部１２２と、直交方向に延在して内方壁１２１と外方壁１２２とを下方で接続する底壁部１２３を有する。また、本明細書において、枠状とは、環状の枠状や矩形状の枠状など、所定の空間を取り囲む形状を意味するものとする。

内方壁部１２１、外方壁部１２２及び底壁部１２３は、シート状の弾性部材を折り曲げることにより形成され、本実施形態において、この弾性部材は、０．２ｍｍ厚の薄膜状に形成されたウレタンゴムシートとする。また、第１仕切部１２は、連結部材１２９を介して基台１１に連結される。この連結部材１２９は、図３に示すように、全体として枠状に形成されるとともに、図４に示すように、断面が上方に開口した略Ｕ字状に形成される。

第１仕切部１２は、内方壁部１２１が連結部材１２９と基台１１の周壁部１１１との間に挟まれ、外方壁部１２２が連結部材１２９と長尺の板状に形成された連結プレート１５３（図２参照）との間に挟まれた状態において、円筒状に形成されたスペーサ２０を介してボルト１５により締結される。このボルト１５は、円筒状に形成され、一端に頭部１５２が形成されるとともに他端にねじ部（不図示）が形成され、このねじ部にナット１５１が締め付けられることで、周壁部１１１と第１仕切部１２とが連結される。この連結状態において、第１仕切部１２と周壁部１１１との連結に係る各部材は、直交方向外方（図４においては左側）から頭部１５２、連結プレート１５３、外方壁部１２２、連結部材１２９、内方壁部１２１、周壁部１１１、ナット１５１の順に位置付けられる。

このような第１仕切部１２によれば、弾性部材により形成されているため、垂直方向の剛性を低くすることができ、また、内方壁部１２１、外方壁部１２２が基台１１に連結されることから直交方向の移動が規制されるため、図４に示すような、減圧空間Ｄ内への第１仕切部１２の過度の引き込みを低減することができ、延いては、第１仕切部１２の、特にその内方壁部１２１の減圧空間Ｄ内に配設される部材（不図示）への当接を防ぐことができる。

（第２仕切部の構成）
第２仕切部の構成について説明する。図５は、第２仕切部の構成を示す斜視図である。図６は、規制部材の構成を示す斜視図である。図７は、第１仕切部と第２仕切部との連結を示す断面図である。

図５に示すように、第２仕切部１３は、第１仕切部１２と同様に、減圧空間を直交方向から全周に亘って包囲するように全体として枠状に形成されるとともに、図４に示すように、その横断面が筒状に形成される。第２仕切部１３は、直交方向内方において、減圧空間を直交方向から包囲するように延在する内方壁部１３１と、直交方向外方において、内方壁部１３１を直交方向から包囲するように延在する外方壁部１３２と、直交方向に離間する内方壁１３１と外方壁部１３２とを下方で接続する底壁部１３３と、内方壁１３１と外方壁１３２とを上方で接続する上壁部１３４とを有する。

第２仕切部１３の底壁部１３３は、下方に突出する曲面として形成されており、これによって、第２仕切部１３の壁面に対する接地面積を狭めることができ、延いては、移動装置１の移動において第２仕切部１３に掛かる摩擦力を低減させることができる。

内方壁部１３１、外方壁部１３２、底壁部１３３、上壁部１３４は、シート状の弾性部材を筒状に折り曲げることにより形成され、本実施形態においては、第１仕切部１２と同様に０．２ｍｍ厚のウレタンゴムシートにより形成されるものとする。内方壁部１３１、外方壁部１３２、底壁部１３３、上壁部１３４により画成される内部空間には、図６に示すような規制部材１６が収容される。

規制部材１６は、図６に示すように、全体として第２仕切部１３の内部空間に収容可能な枠体として形成され、直交方向に平行する平面を有する板状に形成された部材であり、その上面において所定の間隔で複数の突出部１６１が設けられる。複数の突出部１６１のそれぞれは、上方に突出する円柱状に形成されてその側面にねじ部が設けられる。

図７には、横断面として、規制部材１６における前後方向または側方向に延在する部分において、突出部１６１が形成された箇所を通り、延在方向に直交する平面により切断した面が示される。この図７に示すように、第１仕切部１２と第２仕切部１３との連結は、規制部材１６の突出部１６１により第２仕切部１３の上壁部１３４と第１仕切部１２の底壁部１２３とを第２仕切部１３の内部空間から貫通させ、ワッシャ１６３と規制部材１６との間に第１仕切部１２の底壁部１２３と第２仕切部１３の上壁部１３４とを挟み込んだ状態で、突出部１６１にナット１６２が締め付けられることによってなされる。この連結状態において、第１仕切部１２と第２仕切部１３との連結に係る各部材は、上方から、ナット１６２、ワッシャ１６３、底壁部１２３、上壁部１３４、規制部材１６の順に位置付けられる。

なお、第１仕切部１２と第２仕切部１３との連結は、他の部材によってなされても良く、規制部材１６は、第２仕切部１３の直交方向への移動を規制するように、第２仕切部１３の上壁部１３４の少なくとも一部と連結されるものであれば良い。このため、規制部材１６は、少なくとも第２仕切部１３よりも剛性が高い材料により形成され、移動装置１の重量を低減させるため、剛性が高く、且つ軽量な材料により形成されることが望ましい。

このような第２仕切部１３によれば、弾性部材により形成されているため、垂直方向の剛性を低くすることができ、また、規制部材１６により第２仕切部１３の直交方向の移動が規制されるとともに、第２仕切部１３の固定位置をより下方に位置付けることができるため、図４に示すような、減圧空間Ｄ内への第２仕切部１３の過度の引き込みを低減することができ、延いては、第２仕切部１３の底壁部１３３が壁面Ｗから離間して吸着装置１０による吸着力の低減を防ぐことができる。

（仕切部の挙動）
壁面における凹凸部分を通過する際の仕切部の挙動について説明する。図８は、凹部を通過する仕切部を示す断面図である。図９は、凸部を通過する仕切部を示す断面図である。

図８に示すように、仕切部が壁面Ｗにおける凹部Ｗ１を通過する場合、第１仕切部１２及び第２仕切部１３の垂直方向の弾性力と負圧とによって、第１仕切部１２、第２仕切部１３が下方に伸びるように変形して第２仕切部１３の底壁部１３３が凹部Ｗ１に当接し、吸着装置１０による吸着力が保たれる。

また、図９に示すように、仕切部が壁面Ｗにおける凸部Ｗ２を通過する場合、凸部Ｗ２に対応して第１仕切部１２、第２仕切部１３が垂直方向に縮小し、これによって、吸着装置１０による吸着力が保たれたまま、移動装置１が凸部Ｗ２を乗り越えることができる。

また、このように、仕切部が凹部Ｗ１や凸部Ｗ２を通過して仕切部が伸縮した場合であっても、基台１１、規制部材１６によって、第１仕切部１２、第２仕切部１３の減圧空間への過度の引き込みが防止される。

＜第２の実施形態＞
第２の実施形態に係る吸着装置について説明する。図１０は、本実施形態に係る仕切部の構成を示す斜視図である。図１１は、横梁部材の構成を示す断面図である。

本実施形態に係る吸着装置１０ａは、横梁部材１７を更に備える点、また横梁部材１７に対応して一部が変形された第１仕切部１２ａを備える点が、第１の実施形態とは異なる。この横梁部材１７は、図１０に示すように、減圧空間を横断するように直交方向における一方向、望ましくは、前後方向または側方向に延在する長尺の板状部材であり、一端が所定の突出部１６１に連結されるとともに、この所定の突出部１６１に対して横梁部材１７の延在方向に対向する突出部１６１に他端が連結される。この横梁部材１７は、規制部材１６と同様に、少なくとも第２仕切部１３よりも剛性が高い材料により形成され、剛性が高く、且つ軽量な材料により形成されることが望ましい。

図１１には、横断面として、規制部材１６における前後方向または側方向に延在する部分において、横梁部材１７が連結される突出部１６１が形成された箇所を通り、延在方向に直交する平面により切断した面が示される。この図１１に示すように、第１仕切部１２ａには、横梁部材１７を直交方向に挿通可能に形成された挿通部１２３ａが形成される。この挿通部１２３ａは、底壁部１２３において、横梁部材１７の両端部が連結される２つの突出部１６１のそれぞれに対応して設けられ、横梁部材１７の垂直方向の厚み、短手方向の幅に合わせて上方に窪んだ凹部として形成される。このため、第１仕切部１２ａは、横梁部材１７が配される部分において他の部分よりも底壁部１２３が高く形成されることとなる。

このように形成された挿通部１２３ａによれば、第２仕切部１３の上壁部１３４と協働して、横梁部材１７が挿通可能な挿通孔が形成され、この挿通孔に横梁部材１７が挿通された状態において規制部材１６と横梁部材１７との連結がなされる。規制部材１６と横梁部材１７との連結は、第１仕切部１２ａと第２仕切部１３との連結と併せてなされ、規制部材１６の突出部１６１により第２仕切部１３の上壁部１３４と、横梁部材１７の両端部のそれぞれに形成された連結孔１７１と、第１仕切部１２の底壁部１２３とを第２仕切部１３の内部空間から貫通させ、ワッシャ１６３と規制部材１６との間に底壁部１２３と横梁部材１７と上壁部１３４とを挟み込んだ状態で、突出部１６１にナット１６２が締め付けられることによってなされる。この連結状態において、規制部材１６と横梁部材１７との連結、第１仕切部１２と第２仕切部１３との連結に係る各部材は、上方から、ナット１６２、ワッシャ１６３、底壁部１２３、横梁部材１７、上壁部１３４、規制部材１６の順に位置付けられる。

このように、横梁部材１７を更に設けることによって、規制部材１６の剛性を高めることができ、延いては、第２仕切部１３の減圧空間への過度の引き込みをより防止することができる。なお、本実施形態においては、１つの横梁部材１７が設けられるものとしたが、互いに平行する複数の横梁部材１７を設けるようにしても良い。

＜第３の実施形態＞
第３の実施形態に係る吸着装置について説明する。図１２は、本実施形態に係る仕切部の構成を示す断面図である。

本実施形態に係る吸着装置１０ｂは、図１２に示すように、仕切部を構成する部材として、第３仕切部１８を更に備える点、これに対応して２つの規制部材１６ａ，１６ｂを備える点が第１の実施形態とは異なる。この第３仕切部１８は、第１仕切部１２と第２仕切部１３との間に位置するように第１仕切部１２、第２仕切部１３とに連結される。第３仕切部１８は、第２仕切部１３と略同様に、減圧空間を直交方向から全周に亘って、即ち前後方向及び側方向から包囲するように全体として枠状に形成されるとともに、その横断面が筒状に形成される。

具体的には、第３仕切部１８は、直交方向内方において、減圧空間を直交方向から包囲するように延在する内方壁部１８１と、直交方向外方において、内方壁部１８１を直交方向から包囲するように延在する外方壁部１８２と、直交方向に離間する内方壁部１８１と外方壁部１８２とを下方で接続する底壁部１８３と、内方壁１８１と外方壁１８２とを上方で接続する上壁部１８４とを有する。また、第３仕切部１８は、第１仕切部１２、第２仕切部１３と同様に０．２ｍｍ厚のウレタンゴムシートにより形成されるものとする。

第３仕切部１８は、その底壁部１８３が第２仕切部１３の上壁部１３４と規制部材１６ａによって連結され、その上壁部１８４が第１仕切部１２の底壁部１２３と規制部材１６ａによって連結される。規制部材１６ａ，１６ｂのそれぞれによる連結方法は、第１の実施形態における規制部材１６による連結と同様であるため説明を省略する。

このように、第１仕切部１２と第２仕切部１３との間に第３仕切部１８を設けることによって、垂直方向の剛性を更に低減させることができ、延いては移動装置１が凹部や凸部を走行する際の抗力を低減することができる。また、第３仕切部１８が、第１仕切部１２、第２仕切部１３のそれぞれと、規制部材１６ａ，１６ｂによって連結されることにより、横方向の剛性を更に高めることができ、また、減圧空間への仕切部の引き込みによって掛かる力を分散することができる。

なお、本実施形態においては、第３仕切部１８を１つ設けるものとしたが、第３仕切部１８を２つ以上設けるようにしても良い。

＜第４の実施形態＞
第４の実施形態に係る吸着装置について説明する。図１３は、本実施形態に係る仕切部の構成を示す断面図である。

本実施形態に掛かる吸着装置１０ｃは、図１３に示すように、第１仕切部１２、第２仕切部１３のそれぞれにより形成される内部空間に、充填部材１９が充填される点が、第１の実施形態とは異なる。ここで、第２仕切部１３の内部空間は、上述したように、内方壁部１３１、外方壁部１３２、底壁部１３３、上壁部１３４により画成される空間であり、第１仕切部１２の内部空間は、内方壁部１２１、外方壁部１２２、底壁部１２３、連結部材１２９の底面により画成される空間である。

充填部材１９は、上述したような内部空間のそれぞれに充填可能な弾性部材であり、望ましくは、第１仕切部１２及び第２仕切部１３以上の弾性を有する部材とすると良く、本実施形態においては、充填部材１９としてスポンジが内部空間に充填されるものとする。

このように内部空間に充填部材１９を充填することによって、移動装置１が運用される壁面における凹凸の程度に応じて、仕切部の垂直方向の剛性を調節することが可能となる。例えば、大きな凹凸がある壁面に対しては充填部材１９の充填量を小さくし、大きな凹凸がない壁面に対しては充填部材１９の充填量を大きくすることによって、仕切部を壁面の状態に対応した抗力とすることができる。

＜第５の実施形態＞
第５の実施形態に係る吸着装置について説明する。図１４は、本実施形態に係る吸着装置の構成を示す斜視図である。なお、図１４においては、説明上、基台の底面部の一部を透過させて示している。

本実施形態に係る吸着装置１０ｄは、図１４に示すように、第１調節部材２０を更に備える点が、第２の実施形態に係る吸着装置１０ａとは異なる。この第１調節部材２０は、減圧空間において、横梁部材１７と基台１１の底面部１１０との間に設けられ、横梁部材１７と底面部１１０とを垂直方向に離間させる弾性力を有し、例えば、押しばねやスポンジ状のゴムにより形成される。

このように、減圧空間内に第１調節部材２０を設けることによって、第１仕切部１２や第２仕切部１３の内部に弾性部材を設けるのと比較して、容易に仕切部の垂直方向の剛性を調節することが可能となる。

＜第６の実施形態＞
第６の実施形態に係る吸着装置について説明する。図１５は、本実施形態に係る仕切部の構成を示す断面図である。

本実施形態に係る吸着装置１０ｅは、図１５に示すように、第２調節部材２１を更に備える点が、第２の実施形態に係る吸着装置１０ａとは異なる。この第２調節部材２１は、連結部材１２９、上方仕切部１２の内方壁部１２１、外方壁部１２２、底壁部１２３により画成される内部空間内において、連結部材１２９と底壁部１２３との間に設けられる。また、第２調節部材２１は、連結部材１２９と底壁部１２３とを垂直方向に離間させる弾性力を有し、例えば、押しばねややスポンジ状のゴムにより形成される。この第２調節部材２１は、下端が規制部材１６の突出部１６１に接続されるとともに、上端が取付具２２を介して連結部材１２９に接続される。

このように、第１仕切部１２における内部空間内に第２調節部材２１を設けることによって、第５の実施形態に係る吸着装置１０ｄのように減圧空間内に第１調節部材２０を設けるのに比較して、より省スペースに仕切部の垂直方向の剛性を調節することが可能となり、また、第２調節部材２１が内部空間の外部の異物に晒されることがないため、耐環境性を向上させることができる。

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ 吸着装置
１１ 基台
１２ 第１仕切部
１３ 第２仕切部
１４ 減圧装置
１６ 規制部材（第１規制部材）

Claims (9)

1. 壁面との間に負圧となる減圧空間を画成して前記壁面に吸着する吸着装置であって、
   前記壁面に対向するように該壁面から離間して設けられる基台であって、該基台と前記壁面との間に生じる前記減圧空間の減圧を行う減圧装置と接続される基台と、
   前記基台の周縁に設けられ、前記減圧空間の周壁における基台側部分を弾性部材により形成する第１仕切部と、
   前記第１仕切部よりも前記壁面側に設けられ、該壁面側の一端部が前記壁面に接触するように、前記減圧空間の周壁における壁面側部分を弾性部材により形成する第２仕切部と、
   前記第２仕切部より高い剛性を有する部材により前記第２仕切部に対応する枠状に形成され、前記減圧空間が負圧となることにより前記第２仕切部の前記基台側の他端部が前記減圧空間に引き込まれるように変形することを規制するように前記第２仕切部に設けられる第１規制部材と、
   前記減圧空間を横断するように延在して長尺に形成され、両端部が前記第１規制部材に連結される横梁部材と
   を備える吸着装置。
2. 前記第１仕切部と前記第２仕切部との間に設けられ、前記減圧空間の周壁を弾性部材により形成する少なくとも１つ以上の第３仕切部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
3. 前記第３仕切部より高い剛性を有する部材により前記第３仕切部に対応する枠状に形成され、前記減圧空間が負圧となることにより前記第３仕切部の前記基台側の他端部が前記減圧空間に引き込まれるように変形することを規制するように前記少なくとも１つ以上の第３仕切部のそれぞれに設けられる第２規制部材を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の吸着装置。
4. 前記減圧空間を横断するように延在して長尺に形成され、両端部が前記第２規制部材に連結される横梁部材を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の吸着装置。
5. 前記第２仕切部は、前記減圧空間を包囲する内部空間を画成するようにシート状の弾性部材により形成されることを特徴とする請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の吸着装置。
6. 前記第２仕切部における前記壁面との接地部分は、前記壁面側に突出する曲面として形成されることを特徴とする請求項５に記載の吸着装置。
7. 前記第２仕切部における内部空間には、弾性部材である充填部材が充填されることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の吸着装置。
8. 前記減圧空間における前記基台と前記横梁部材との間に設けられ、前記基台と前記横梁部材とを離間させる弾性力を有する第１調節部材を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
9. 前記第１仕切部は、前記減圧空間を包囲する内部空間を画成するようにシート状の弾性部材により形成されるとともに、該内部空間を画成するように設けられた連結部材を介して前記基台と連結され、
   前記第１仕切部における内部空間において、前記連結部材と前記第１仕切部の底部との間に設けられ、該底部と前記連結部材とを離間させる弾性力を有する第２調節部材を更に備えることを特徴とする請求項１～請求項７のいずれか一項に記載の吸着装置。

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