JPH1163110A - 制御型除振台の支持装置 - Google Patents
制御型除振台の支持装置Info
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- JPH1163110A JPH1163110A JP23085197A JP23085197A JPH1163110A JP H1163110 A JPH1163110 A JP H1163110A JP 23085197 A JP23085197 A JP 23085197A JP 23085197 A JP23085197 A JP 23085197A JP H1163110 A JPH1163110 A JP H1163110A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大質量の鉛直荷重を安定支持すると同時に、
圧縮ばね剛性の低下により除振領域を低周波数域側に拡
大させて鉛直方向および水平方向の除振性能を著しく向
上できるようにする。 【解決手段】 機器を搭載する除振台１と該除振台１を
接地支持する接地支持台２との間に、ゴム板３ａと金属
板３ｂとの複数枚を交互に積層配置してなる鉛直型縦積
層ゴム体３と、ゴム板４ａと金属板４ｂとの複数枚を交
互に積層してなる剪断型横積層ゴム体４との直列結合体
８を介在させるとともに、接地支持台２と接地面との間
に、外部より駆動制御可能なアクチュエータ７をその駆
動方向が鉛直方向に沿うように配置させている。
圧縮ばね剛性の低下により除振領域を低周波数域側に拡
大させて鉛直方向および水平方向の除振性能を著しく向
上できるようにする。 【解決手段】 機器を搭載する除振台１と該除振台１を
接地支持する接地支持台２との間に、ゴム板３ａと金属
板３ｂとの複数枚を交互に積層配置してなる鉛直型縦積
層ゴム体３と、ゴム板４ａと金属板４ｂとの複数枚を交
互に積層してなる剪断型横積層ゴム体４との直列結合体
８を介在させるとともに、接地支持台２と接地面との間
に、外部より駆動制御可能なアクチュエータ７をその駆
動方向が鉛直方向に沿うように配置させている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は制御型除振台の支持
装置に関し、詳しくは、例えば半導体製造工場やレーザ
ー応用製品製造工場などに設置される各種機器を搭載す
る除振台に地震や自動車の走行などに起因する振動が伝
播されて該除振台が鉛直方向および水平方向に振動する
ことを除去するために、除振台を接地支持する接地支持
台と接地面との間に外部より振動を打ち消すように駆動
制御可能なアクチュエータを設けてなる制御型除振台の
支持装置に関するものである。
装置に関し、詳しくは、例えば半導体製造工場やレーザ
ー応用製品製造工場などに設置される各種機器を搭載す
る除振台に地震や自動車の走行などに起因する振動が伝
播されて該除振台が鉛直方向および水平方向に振動する
ことを除去するために、除振台を接地支持する接地支持
台と接地面との間に外部より振動を打ち消すように駆動
制御可能なアクチュエータを設けてなる制御型除振台の
支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の制御型除振台の支持装置とし
て、従来、特開平５−１４９３７９号公報に開示されて
いるように、機器を搭載する除振台を接地支持する接地
支持台と接地面との間に積層圧電形アクチュエータをそ
の駆動方向が鉛直方向に沿うように配置するとともに、
このアクチュエータと上記除振台との間に、金属板など
の剛性板材と薄肉ゴム板との複数枚を交互に積層配置し
てなる鉛直型積層ゴム体を介在させてなるものが知られ
ている。
て、従来、特開平５−１４９３７９号公報に開示されて
いるように、機器を搭載する除振台を接地支持する接地
支持台と接地面との間に積層圧電形アクチュエータをそ
の駆動方向が鉛直方向に沿うように配置するとともに、
このアクチュエータと上記除振台との間に、金属板など
の剛性板材と薄肉ゴム板との複数枚を交互に積層配置し
てなる鉛直型積層ゴム体を介在させてなるものが知られ
ている。
【０００３】上記した構成の従来の制御型除振台の支持
装置は、組み付け時にアクチュエータの駆動方向に対し
直交する方向において接地支持台と除振台との間に位置
ずれがあった場合、その位置ずれを上記積層ゴム体の薄
肉ゴム板それぞれの微小量づつの弾性変形によって吸収
させる位置ずれ吸収機能と、アクチュエータの駆動方向
に直交する方向にかかる力を吸収させてアクチュエータ
に剪断力が作用することを回避させる剪断力吸収機能と
を発揮するものである。
装置は、組み付け時にアクチュエータの駆動方向に対し
直交する方向において接地支持台と除振台との間に位置
ずれがあった場合、その位置ずれを上記積層ゴム体の薄
肉ゴム板それぞれの微小量づつの弾性変形によって吸収
させる位置ずれ吸収機能と、アクチュエータの駆動方向
に直交する方向にかかる力を吸収させてアクチュエータ
に剪断力が作用することを回避させる剪断力吸収機能と
を発揮するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように鉛直型積
層ゴム体とアクチュエータが直列配置された従来の制御
型除振台の支持装置においては、組み付け時における接
地支持台と除振台との間の位置ずれ吸収機能およびアク
チュエータに対する剪断力吸収機能が、鉛直型積層ゴム
体における薄肉ゴム板のアクチュエータの駆動方向に直
交する方向への弾性変形により発揮されるように構成さ
れたものであるために、それら吸収機能発揮のために鉛
直型積層ゴム体の薄肉ゴム板が弾性変形した状態では該
鉛直型積層ゴム体のアクチュエータ駆動方向（鉛直方
向）の剛性、つまり圧縮ばね剛性が損なわれてしまう。
その上、大質量の鉛直荷重を安定よく支持させるために
は鉛直型積層ゴム体の圧縮ばね剛性を大きくとらざるを
得ず、その結果、アクチュエータを用いて伝達率の増加
している周波数帯域を制御するにしても、支持装置全体
の固有振動数を低く設定することが技術的に非常に難し
いことから、鉛直方向および水平方向のいずれも低周波
領域の振動に対して良好な除振性能を発揮させることが
できず、特に、大質量の鉛直荷重が作用する条件下で使
用される支持装置としては、未だ改善の余地があった。
層ゴム体とアクチュエータが直列配置された従来の制御
型除振台の支持装置においては、組み付け時における接
地支持台と除振台との間の位置ずれ吸収機能およびアク
チュエータに対する剪断力吸収機能が、鉛直型積層ゴム
体における薄肉ゴム板のアクチュエータの駆動方向に直
交する方向への弾性変形により発揮されるように構成さ
れたものであるために、それら吸収機能発揮のために鉛
直型積層ゴム体の薄肉ゴム板が弾性変形した状態では該
鉛直型積層ゴム体のアクチュエータ駆動方向（鉛直方
向）の剛性、つまり圧縮ばね剛性が損なわれてしまう。
その上、大質量の鉛直荷重を安定よく支持させるために
は鉛直型積層ゴム体の圧縮ばね剛性を大きくとらざるを
得ず、その結果、アクチュエータを用いて伝達率の増加
している周波数帯域を制御するにしても、支持装置全体
の固有振動数を低く設定することが技術的に非常に難し
いことから、鉛直方向および水平方向のいずれも低周波
領域の振動に対して良好な除振性能を発揮させることが
できず、特に、大質量の鉛直荷重が作用する条件下で使
用される支持装置としては、未だ改善の余地があった。
【０００５】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、大質量の鉛直荷重を安定よく支持できると同
時に圧縮ばね剛性の低下により除振領域を低周波数域側
に拡大させて鉛直方向および水平方向の除振性能を著し
く向上することができる制御型除振台の支持装置を提供
することを目的としている。
たもので、大質量の鉛直荷重を安定よく支持できると同
時に圧縮ばね剛性の低下により除振領域を低周波数域側
に拡大させて鉛直方向および水平方向の除振性能を著し
く向上することができる制御型除振台の支持装置を提供
することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明に係る制御型除振台の支持装
置は、機器を搭載する除振台と該除振台を接地支持する
接地支持台との間に、ゴム板と金属板との複数枚を交互
に積層配置してなる鉛直型縦積層ゴム体と、ゴム板と金
属板との複数枚を交互に積層してなる剪断型横積層ゴム
体との直列結合体を介在させているとともに、上記接地
支持台と接地面との間には、外部より駆動制御可能なア
クチュエータをその駆動方向が鉛直方向に沿うように配
置していることを特徴とするものである。
に、請求項１に記載の発明に係る制御型除振台の支持装
置は、機器を搭載する除振台と該除振台を接地支持する
接地支持台との間に、ゴム板と金属板との複数枚を交互
に積層配置してなる鉛直型縦積層ゴム体と、ゴム板と金
属板との複数枚を交互に積層してなる剪断型横積層ゴム
体との直列結合体を介在させているとともに、上記接地
支持台と接地面との間には、外部より駆動制御可能なア
クチュエータをその駆動方向が鉛直方向に沿うように配
置していることを特徴とするものである。
【０００７】上記のような構成の請求項１に記載の発明
によれば、主として鉛直荷重を支える鉛直型縦積層ゴム
体と主として剪断荷重を支える剪断型横積層ゴム体との
直列結合体を用いることで、縦積層ゴム体の圧縮ばね剛
性を大質量の鉛直荷重を安定支持するに足りる値に設定
しながら、その圧縮ばね剛性が横積層ゴム体の剪断ばね
剛性により減少されるとともに、横積層ゴム体に加わる
剪断荷重も縦積層ゴム体により逃がされて減少されるこ
とになり、支持装置全体としての圧縮ばね剛性および剪
断ばね剛性を、縦積層ゴム体を単独使用する場合に比べ
て非常に小さくして系全体の固有振動数を低く設定する
ことが可能となる。これによって、除振領域を低周波数
域側に拡大させて、伝達率が増加している低周波数帯域
をアクチュエータの駆動により制御することで、大質量
の鉛直荷重が作用する条件下での使用においても鉛直方
向および水平方向の除振性能の著しい向上が図れる。
によれば、主として鉛直荷重を支える鉛直型縦積層ゴム
体と主として剪断荷重を支える剪断型横積層ゴム体との
直列結合体を用いることで、縦積層ゴム体の圧縮ばね剛
性を大質量の鉛直荷重を安定支持するに足りる値に設定
しながら、その圧縮ばね剛性が横積層ゴム体の剪断ばね
剛性により減少されるとともに、横積層ゴム体に加わる
剪断荷重も縦積層ゴム体により逃がされて減少されるこ
とになり、支持装置全体としての圧縮ばね剛性および剪
断ばね剛性を、縦積層ゴム体を単独使用する場合に比べ
て非常に小さくして系全体の固有振動数を低く設定する
ことが可能となる。これによって、除振領域を低周波数
域側に拡大させて、伝達率が増加している低周波数帯域
をアクチュエータの駆動により制御することで、大質量
の鉛直荷重が作用する条件下での使用においても鉛直方
向および水平方向の除振性能の著しい向上が図れる。
【０００８】上記請求項１に記載の発明に係る制御型除
振台の支持装置において、上記直列結合体における横積
層ゴム体を、請求項２に記載のように、該横積層ゴム体
を構成するゴム板と金属板との積層面が鉛直方向および
水平方向に対して共に傾斜する面に沿う傾斜姿勢に配置
する構成としてもよく、この場合は、搭載機器の質量に
対応して上記横積層ゴム体の積層面の傾斜角度を変更す
ることにより、鉛直方向の剛性、つまり圧縮ばね剛性を
任意に設定することが可能となる。また、接地支持台と
の間に横積層ゴム体を配置する中間支持台と横積層ゴム
体との接着が不完全であったり、不良であったとして
も、中間支持台の抜け落ちがなく、それだけ支持装置全
体の組付けが容易になる。
振台の支持装置において、上記直列結合体における横積
層ゴム体を、請求項２に記載のように、該横積層ゴム体
を構成するゴム板と金属板との積層面が鉛直方向および
水平方向に対して共に傾斜する面に沿う傾斜姿勢に配置
する構成としてもよく、この場合は、搭載機器の質量に
対応して上記横積層ゴム体の積層面の傾斜角度を変更す
ることにより、鉛直方向の剛性、つまり圧縮ばね剛性を
任意に設定することが可能となる。また、接地支持台と
の間に横積層ゴム体を配置する中間支持台と横積層ゴム
体との接着が不完全であったり、不良であったとして
も、中間支持台の抜け落ちがなく、それだけ支持装置全
体の組付けが容易になる。
【０００９】また、上記請求項１または２に記載の発明
に係る制御型除振台の支持装置において、請求項３に記
載したように、上記直列結合体における横積層ゴム体側
に、該横積層ゴム体とは別個の単体ゴムを並列配置して
介在させる構成を採用することによって、単体ゴムの歪
を非常に少なくして支持装置全体の鉛直荷重に対する支
持性能を高めると同時に、除振性能の一層の向上を図る
ことができる。
に係る制御型除振台の支持装置において、請求項３に記
載したように、上記直列結合体における横積層ゴム体側
に、該横積層ゴム体とは別個の単体ゴムを並列配置して
介在させる構成を採用することによって、単体ゴムの歪
を非常に少なくして支持装置全体の鉛直荷重に対する支
持性能を高めると同時に、除振性能の一層の向上を図る
ことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
にもとづいて説明する。図１ないし図３は本発明に係る
制御型除振台の支持装置の第１の実施形態を示す基本的
な構成図で、図１は負荷荷重が付加されていないときの
状態、図２は鉛直荷重、剪断荷重が付加されたときの状
態を示し、図３は概略平面図である。同支持装置Ａは、
機器を搭載する除振台１と該除振台１を接地支持する上
向き開放コ字形の接地支持台２との間に門形の中間支持
台５が配置されており、この中間支持台５の水平部５ａ
と上記除振台１との間に、その積層面を水平姿勢にした
鉛直型縦積層ゴム体３と、該鉛直型縦積層ゴム体３の左
右両側で上記中間支持台５の左右鉛直部５ｂ，５ｂとこ
れらに対向する上記接地支持台２の左右鉛直部２ｂ，２
ｂとの間にそれらの積層面を鉛直姿勢にした剪断型横積
層ゴム体４，４とからなる直列結合体８が介在されてい
るとともに、上記接地支持台２と接地面との間に、外部
より駆動制御可能なアクチュエータ７をその駆動方向が
鉛直方向に沿うように配置されている。
にもとづいて説明する。図１ないし図３は本発明に係る
制御型除振台の支持装置の第１の実施形態を示す基本的
な構成図で、図１は負荷荷重が付加されていないときの
状態、図２は鉛直荷重、剪断荷重が付加されたときの状
態を示し、図３は概略平面図である。同支持装置Ａは、
機器を搭載する除振台１と該除振台１を接地支持する上
向き開放コ字形の接地支持台２との間に門形の中間支持
台５が配置されており、この中間支持台５の水平部５ａ
と上記除振台１との間に、その積層面を水平姿勢にした
鉛直型縦積層ゴム体３と、該鉛直型縦積層ゴム体３の左
右両側で上記中間支持台５の左右鉛直部５ｂ，５ｂとこ
れらに対向する上記接地支持台２の左右鉛直部２ｂ，２
ｂとの間にそれらの積層面を鉛直姿勢にした剪断型横積
層ゴム体４，４とからなる直列結合体８が介在されてい
るとともに、上記接地支持台２と接地面との間に、外部
より駆動制御可能なアクチュエータ７をその駆動方向が
鉛直方向に沿うように配置されている。
【００１１】上記直列結合体８における鉛直型縦積層ゴ
ム体３は、ゴム板３ａと金属板３ｂとの複数枚を交互に
積層配置してなり、上記除振台１に付加される鉛直荷重
Ｗ１を主として支えるものであり、かつ、上記剪断型横
積層ゴム体４，４はそれぞれ、ゴム板４ａと金属板４ｂ
との複数枚を交互に積層してなり、上記除振台１に付加
される剪断荷重Ｗ２を主として支えるものである。ま
た、上記アクチュエータ７としては、積層圧電アクチュ
エータや超磁歪アクチュエータなど外部より矢印ａ方向
に駆動制御可能なものが用いられる。
ム体３は、ゴム板３ａと金属板３ｂとの複数枚を交互に
積層配置してなり、上記除振台１に付加される鉛直荷重
Ｗ１を主として支えるものであり、かつ、上記剪断型横
積層ゴム体４，４はそれぞれ、ゴム板４ａと金属板４ｂ
との複数枚を交互に積層してなり、上記除振台１に付加
される剪断荷重Ｗ２を主として支えるものである。ま
た、上記アクチュエータ７としては、積層圧電アクチュ
エータや超磁歪アクチュエータなど外部より矢印ａ方向
に駆動制御可能なものが用いられる。
【００１２】上記のような構成の制御型除振台の支持装
置Ａは、例えば図４に示すように、隣接する支持装置Ａ
における剪断型横積層ゴム体４，４が水平二次元方向で
互いに直交する姿勢に配置して鉛直方向の支持マウント
として使用される。この使用態様において、除振台１上
に機器を搭載したことにより付加される鉛直荷重Ｗ１は
主として直列結合体８における鉛直型縦積層ゴム体３で
支えられるが、その一部は剪断型横積層ゴム体４，４で
支えられることになる。すなわち、鉛直型縦積層ゴム体
３の圧縮ばね剛性が剪断型横積層ゴム４，４の剪断ばね
剛性により減少され、また、剪断型横積層ゴム体４，４
に付加される剪断荷重Ｗ２の一部は鉛直型縦積層ゴム体
３により逃がされることになるために、支持装置Ａ全体
としての圧縮ばね剛性および剪断ばね剛性が減少される
ことになり、鉛直型縦積層ゴム体を単独使用する場合に
比べて支持装置Ａ全体としての固有振動数を非常に低く
設定することが可能となる。
置Ａは、例えば図４に示すように、隣接する支持装置Ａ
における剪断型横積層ゴム体４，４が水平二次元方向で
互いに直交する姿勢に配置して鉛直方向の支持マウント
として使用される。この使用態様において、除振台１上
に機器を搭載したことにより付加される鉛直荷重Ｗ１は
主として直列結合体８における鉛直型縦積層ゴム体３で
支えられるが、その一部は剪断型横積層ゴム体４，４で
支えられることになる。すなわち、鉛直型縦積層ゴム体
３の圧縮ばね剛性が剪断型横積層ゴム４，４の剪断ばね
剛性により減少され、また、剪断型横積層ゴム体４，４
に付加される剪断荷重Ｗ２の一部は鉛直型縦積層ゴム体
３により逃がされることになるために、支持装置Ａ全体
としての圧縮ばね剛性および剪断ばね剛性が減少される
ことになり、鉛直型縦積層ゴム体を単独使用する場合に
比べて支持装置Ａ全体としての固有振動数を非常に低く
設定することが可能となる。
【００１３】これによって、支持装置Ａ全体において
は、大質量の鉛直荷重Ｗ２を安定支持することが可能で
あると同時に、図５に示すように、鉛直型縦積層ゴム体
を単独使用する場合の除振領域を低周波数域側の除振
領域へ拡大移行させて、伝達率が増加している低周波
数帯域をアクチュエータ７の駆動により制御すること
で、大質量の鉛直荷重が作用する条件下での使用時にお
ける鉛直方向および水平方向の除振性能を著しく向上さ
せることが可能である。
は、大質量の鉛直荷重Ｗ２を安定支持することが可能で
あると同時に、図５に示すように、鉛直型縦積層ゴム体
を単独使用する場合の除振領域を低周波数域側の除振
領域へ拡大移行させて、伝達率が増加している低周波
数帯域をアクチュエータ７の駆動により制御すること
で、大質量の鉛直荷重が作用する条件下での使用時にお
ける鉛直方向および水平方向の除振性能を著しく向上さ
せることが可能である。
【００１４】因みに、上記第１の実施形態で述べたよう
に、鉛直型縦積層ゴム体３を１個、剪断型横積層ゴム体
４を２個使用した支持装置Ａについての圧縮ばね剛性Ｋ
ｐおよび剪断ばね剛性Ｋｓを検討してみると、次のよう
になる。圧縮ばね剛性Ｋｐ：剪断ばね剛性Ｋｓ＝１０：
１の関係にあることから、支持装置Ａ全体の圧縮ばね剛
性Ｋｐｐは、 Ｋｐ＝１０Ｋｓ Ｋｐｐ＝Ｋｐ・２Ｋｓ／２Ｋｓ＋Ｋｐ ＝１０Ｋｓ・２Ｋｓ／２Ｋｓ＋１０Ｋｓ ＝２０Ｋｓ2 ／１２Ｋｓ ＝２０／１２・Ｋｓ ＝１．６６７Ｋｓ となり、該支持装置Ａの圧縮ばね剛性は、縦積層ゴム体
のみの場合に比較して、約１／６になることが理解され
るであろう。
に、鉛直型縦積層ゴム体３を１個、剪断型横積層ゴム体
４を２個使用した支持装置Ａについての圧縮ばね剛性Ｋ
ｐおよび剪断ばね剛性Ｋｓを検討してみると、次のよう
になる。圧縮ばね剛性Ｋｐ：剪断ばね剛性Ｋｓ＝１０：
１の関係にあることから、支持装置Ａ全体の圧縮ばね剛
性Ｋｐｐは、 Ｋｐ＝１０Ｋｓ Ｋｐｐ＝Ｋｐ・２Ｋｓ／２Ｋｓ＋Ｋｐ ＝１０Ｋｓ・２Ｋｓ／２Ｋｓ＋１０Ｋｓ ＝２０Ｋｓ2 ／１２Ｋｓ ＝２０／１２・Ｋｓ ＝１．６６７Ｋｓ となり、該支持装置Ａの圧縮ばね剛性は、縦積層ゴム体
のみの場合に比較して、約１／６になることが理解され
るであろう。
【００１５】また、支持装置Ａの剪断ばね剛性Ｋｓｓは
２通りの剛性になり、 Ｋｓｓ１＝２Ｋｓ・Ｋｓ／Ｋｓ＋２Ｋｓ ＝２Ｋｓ2 ／３Ｋｓ ＝２／３・Ｋｓ ＝０．６６７Ｋｓ Ｋｓｓ２＝２Ｋｐ・Ｋｓ／Ｋｓ＋２Ｋｐ ＝２０Ｋｓ・Ｋｓ／Ｋｓ＋２０Ｋｓ ＝２０Ｋｓ2 ／２１Ｋｓ ＝２０／２１・Ｋｓ ＝０．９５２Ｋｓ となり、剪断ばね剛性も少し減少することが理解される
であろう。
２通りの剛性になり、 Ｋｓｓ１＝２Ｋｓ・Ｋｓ／Ｋｓ＋２Ｋｓ ＝２Ｋｓ2 ／３Ｋｓ ＝２／３・Ｋｓ ＝０．６６７Ｋｓ Ｋｓｓ２＝２Ｋｐ・Ｋｓ／Ｋｓ＋２Ｋｐ ＝２０Ｋｓ・Ｋｓ／Ｋｓ＋２０Ｋｓ ＝２０Ｋｓ2 ／２１Ｋｓ ＝２０／２１・Ｋｓ ＝０．９５２Ｋｓ となり、剪断ばね剛性も少し減少することが理解される
であろう。
【００１６】図６は本発明に係る制御型除振台の支持装
置の第２の実施形態を示す基本的構成図であり、この第
２の実施形態では、接地支持台２を逆Ｔ字形状に形成
し、この接地支持台２の左右鉛直部２ｂ，２ｂとこれに
平行に対向する中間支持台５の左右鉛直部５ｂ，５ｂと
の間にそれぞれ剪断型横積層ゴム体４，４を上下傾斜姿
勢に介在させたものである。また、この第２の実施形態
の変形例として、図７に示すように、中間支持台５を逆
台形状に形成するとともに、接地支持台２側の左右両側
に上記逆台形状の中間支持台５の左右傾斜面５ｃ，５ｃ
と平行な傾斜面２ｃ，２ｃを有する略三角形状の部材２
Ａ，２Ａを固定し、これら略三角形状部材２Ａ，２Ａの
傾斜面２ｃ，２ｃと上記逆台形状の中間支持台５の左右
傾斜面５ｃ，５ｃとの間にそれぞれ剪断型横積層ゴム体
４，４をそれらの積層面が鉛直方向および水平方向に対
して共に傾斜するような傾斜姿勢に配置したり、あるい
は、図８に示すように、接地支持台２側の中央部に台形
状の部材２Ｂを固定するとともに、中間支持台５側の左
右両側に上記台形状部材２Ｂの左右傾斜面２ｄ，２ｄと
平行な傾斜面５ｄ，５ｄを有する略三角形状の部材５
Ａ，５Ａを固定し、これら略三角形状部材５Ａ，５Ａの
傾斜面５ｄ，５ｄと上記接地支持台２側の台形状部材２
Ｂの左右傾斜面２ｄ，２ｄとの間にそれぞれ剪断型横積
層ゴム体４，４をそれらの積層面が鉛直方向および水平
方向に対して共に傾斜するような傾斜姿勢に配置したり
する構成を採用してもよい。なお、この第２の実施形態
およびその変形例において、その他の構成は図１及び図
２に示す第１の実施形態と同一であるため、該当部分に
同一の符号を付して、それらの詳しい説明は省略してい
る。
置の第２の実施形態を示す基本的構成図であり、この第
２の実施形態では、接地支持台２を逆Ｔ字形状に形成
し、この接地支持台２の左右鉛直部２ｂ，２ｂとこれに
平行に対向する中間支持台５の左右鉛直部５ｂ，５ｂと
の間にそれぞれ剪断型横積層ゴム体４，４を上下傾斜姿
勢に介在させたものである。また、この第２の実施形態
の変形例として、図７に示すように、中間支持台５を逆
台形状に形成するとともに、接地支持台２側の左右両側
に上記逆台形状の中間支持台５の左右傾斜面５ｃ，５ｃ
と平行な傾斜面２ｃ，２ｃを有する略三角形状の部材２
Ａ，２Ａを固定し、これら略三角形状部材２Ａ，２Ａの
傾斜面２ｃ，２ｃと上記逆台形状の中間支持台５の左右
傾斜面５ｃ，５ｃとの間にそれぞれ剪断型横積層ゴム体
４，４をそれらの積層面が鉛直方向および水平方向に対
して共に傾斜するような傾斜姿勢に配置したり、あるい
は、図８に示すように、接地支持台２側の中央部に台形
状の部材２Ｂを固定するとともに、中間支持台５側の左
右両側に上記台形状部材２Ｂの左右傾斜面２ｄ，２ｄと
平行な傾斜面５ｄ，５ｄを有する略三角形状の部材５
Ａ，５Ａを固定し、これら略三角形状部材５Ａ，５Ａの
傾斜面５ｄ，５ｄと上記接地支持台２側の台形状部材２
Ｂの左右傾斜面２ｄ，２ｄとの間にそれぞれ剪断型横積
層ゴム体４，４をそれらの積層面が鉛直方向および水平
方向に対して共に傾斜するような傾斜姿勢に配置したり
する構成を採用してもよい。なお、この第２の実施形態
およびその変形例において、その他の構成は図１及び図
２に示す第１の実施形態と同一であるため、該当部分に
同一の符号を付して、それらの詳しい説明は省略してい
る。
【００１７】図６で示す第２の実施形態および図７や図
８で示す変形例による制御型除振台の支持装置の場合
も、上記第１の実施形態の場合と同様に、鉛直型縦積層
ゴム体３の圧縮ばね剛性を剪断型横積層ゴム４，４の剪
断ばね剛性により減少させて支持装置Ａ全体としての圧
縮ばね剛性を非常に小さくするとともに、剪断型横積層
ゴム体４，４に付加される剪断荷重Ｗ２を鉛直型縦積層
ゴム体３により逃がして支持装置Ａ全体としての剪断ば
ね剛性も減少し、支持装置Ａ全体として、大質量の鉛直
荷重Ｗ２の安定支持と同時に固有振動数を低く設定して
鉛直方向および水平方向において優れた除振性能を発揮
させることが可能である他に、搭載機器の質量に対応し
て上記剪断型横積層ゴム体４，４の積層面の傾斜角度θ
を変更することにより、鉛直方向の剛性、つまり圧縮ば
ね剛性を任意に設定することが可能となる。特に、図７
の変形例においては、接地支持台２との間に横積層ゴム
体４，４を配置する中間支持台５と横積層ゴム体４，４
との接着が不完全であったり、不良であったとしても、
中間支持台５が抜け落ちることがなく、それだけ支持装
置全体を容易に組付けることができる。
８で示す変形例による制御型除振台の支持装置の場合
も、上記第１の実施形態の場合と同様に、鉛直型縦積層
ゴム体３の圧縮ばね剛性を剪断型横積層ゴム４，４の剪
断ばね剛性により減少させて支持装置Ａ全体としての圧
縮ばね剛性を非常に小さくするとともに、剪断型横積層
ゴム体４，４に付加される剪断荷重Ｗ２を鉛直型縦積層
ゴム体３により逃がして支持装置Ａ全体としての剪断ば
ね剛性も減少し、支持装置Ａ全体として、大質量の鉛直
荷重Ｗ２の安定支持と同時に固有振動数を低く設定して
鉛直方向および水平方向において優れた除振性能を発揮
させることが可能である他に、搭載機器の質量に対応し
て上記剪断型横積層ゴム体４，４の積層面の傾斜角度θ
を変更することにより、鉛直方向の剛性、つまり圧縮ば
ね剛性を任意に設定することが可能となる。特に、図７
の変形例においては、接地支持台２との間に横積層ゴム
体４，４を配置する中間支持台５と横積層ゴム体４，４
との接着が不完全であったり、不良であったとしても、
中間支持台５が抜け落ちることがなく、それだけ支持装
置全体を容易に組付けることができる。
【００１８】図９は本発明に係る制御型除振台の支持装
置の第３の実施形態を示す基本的構成図であり、この第
３の実施形態では、図６に示す第２の実施形態と同一構
成のものにおいて、中間支持台５と接地支持台２との間
に、上記鉛直型縦積層ゴム体３および剪断型横積層ゴム
体４，４とは別個に単体ゴム６を介在させたものであ
り、この第３の実施形態によれば、単体ゴム６を用いな
がらそれの歪を非常に少なくして支持装置Ａ全体の鉛直
荷重に対する支持性能を高めると同時に、除振性能の一
層の向上を図ることができる。
置の第３の実施形態を示す基本的構成図であり、この第
３の実施形態では、図６に示す第２の実施形態と同一構
成のものにおいて、中間支持台５と接地支持台２との間
に、上記鉛直型縦積層ゴム体３および剪断型横積層ゴム
体４，４とは別個に単体ゴム６を介在させたものであ
り、この第３の実施形態によれば、単体ゴム６を用いな
がらそれの歪を非常に少なくして支持装置Ａ全体の鉛直
荷重に対する支持性能を高めると同時に、除振性能の一
層の向上を図ることができる。
【００１９】なお、上記各実施形態では、剪断型横積層
ゴム体４を鉛直型縦積層ゴム体３の左右両側に二個配置
したもので説明したが、図１０に示すように、鉛直型縦
積層ゴム体３の周りに等間隔で三個の剪断型横積層ゴム
体４を配置したものでも、図１１に示すように、鉛直型
縦積層ゴム体３の周囲に四個の剪断型横積層ゴム体４を
配置したものであってもよい。
ゴム体４を鉛直型縦積層ゴム体３の左右両側に二個配置
したもので説明したが、図１０に示すように、鉛直型縦
積層ゴム体３の周りに等間隔で三個の剪断型横積層ゴム
体４を配置したものでも、図１１に示すように、鉛直型
縦積層ゴム体３の周囲に四個の剪断型横積層ゴム体４を
配置したものであってもよい。
【００２０】また、上記各実施形態では、直列結合体８
として、鉛直型縦積層ゴム体３を上部に、その下部に剪
断型横積層ゴム体４を直列に配置した構成のものについ
て説明し図示したが、それらの上下関係を逆にした直列
結合体であってもよい。
として、鉛直型縦積層ゴム体３を上部に、その下部に剪
断型横積層ゴム体４を直列に配置した構成のものについ
て説明し図示したが、それらの上下関係を逆にした直列
結合体であってもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、請求項１〜請求項３に記
載の発明によれば、主として鉛直荷重を支える鉛直型縦
積層ゴム体と主として剪断荷重を支える剪断型横積層ゴ
ムとの直列結合体をアクチュエータと組み合わせ使用す
ることによって、鉛直型縦積層ゴム体の圧縮ばね剛性を
大質量の鉛直荷重を安定支持するに足りる値に設定しな
がらも、支持装置全体としての圧縮ばね剛性および剪断
ばね剛性を非常に小さくして系全体の固有振動数を低く
設定することができる。したがって、鉛直型縦積層ゴム
体を単独使用してなる制御型除振台の支持装置に比べ
て、大質量の鉛直荷重を安定支持することが可能である
と同時に、除振領域を低周波数域側に拡大させて伝達率
が増加している低周波数帯域をアクチュエータの駆動に
より制御することで、大質量の鉛直荷重が作用する条件
下での使用においても鉛直方向および水平方向の除振性
能を著しく向上することができるという効果を奏する。
載の発明によれば、主として鉛直荷重を支える鉛直型縦
積層ゴム体と主として剪断荷重を支える剪断型横積層ゴ
ムとの直列結合体をアクチュエータと組み合わせ使用す
ることによって、鉛直型縦積層ゴム体の圧縮ばね剛性を
大質量の鉛直荷重を安定支持するに足りる値に設定しな
がらも、支持装置全体としての圧縮ばね剛性および剪断
ばね剛性を非常に小さくして系全体の固有振動数を低く
設定することができる。したがって、鉛直型縦積層ゴム
体を単独使用してなる制御型除振台の支持装置に比べ
て、大質量の鉛直荷重を安定支持することが可能である
と同時に、除振領域を低周波数域側に拡大させて伝達率
が増加している低周波数帯域をアクチュエータの駆動に
より制御することで、大質量の鉛直荷重が作用する条件
下での使用においても鉛直方向および水平方向の除振性
能を著しく向上することができるという効果を奏する。
【００２２】特に、請求項２に記載の発明によれば、上
記の効果に加えて、搭載機器の質量に対応して鉛直方向
の剛性、つまり圧縮ばね剛性を任意に設定することが可
能で適用性を拡大できるとともに、中間支持台と横積層
ゴム体との接着が不完全であったり、不良であったとし
ても、中間支持台の抜け落ちがなく、それだけ支持装置
全体の組付けを容易にすることができる。
記の効果に加えて、搭載機器の質量に対応して鉛直方向
の剛性、つまり圧縮ばね剛性を任意に設定することが可
能で適用性を拡大できるとともに、中間支持台と横積層
ゴム体との接着が不完全であったり、不良であったとし
ても、中間支持台の抜け落ちがなく、それだけ支持装置
全体の組付けを容易にすることができる。
【図１】本発明に係る制御型除振台の支持装置の第１の
実施形態を示す基本的構成図で、負荷荷重が付加されて
いないときの状態図である。
実施形態を示す基本的構成図で、負荷荷重が付加されて
いないときの状態図である。
【図２】同上支持装置に負荷荷重が付加されたときの状
態図である。
態図である。
【図３】同上支持装置の概略平面図である。
【図４】同上支持装置の使用配置図である。
【図５】第１の実施形態による支持装置の効果を説明す
る除振性能図である。
る除振性能図である。
【図６】本発明に係る制御型除振台の支持装置の第２の
実施形態を示す基本的構成図である。
実施形態を示す基本的構成図である。
【図７】第２の実施形態の変形例の一つを示す基本的構
成図である。
成図である。
【図８】第２の実施形態の変形例の他の一つを示す基本
的構成図である。
的構成図である。
【図９】本発明に係る制御除振台の支持装置の第３の実
施形態を示す基本的構成図である。
施形態を示す基本的構成図である。
【図１０】剪断型横積層ゴム体を三個配置した支持装置
の概略平面図である。
の概略平面図である。
【図１１】剪断型横積層ゴム体を四個配置した支持装置
の概略平面図である。
の概略平面図である。
１ 除振台 ２ 接地支持台 ３ 鉛直型縦積層ゴム体 ４ 剪断型横積層ゴム体 ３ａ，４ａ ゴム板 ３ｂ，４ｂ 金属板 ５ 中間支持台 ６ 単体ゴム ７ アクチュエータ ８ 直列結合体
Claims (3)
- 【請求項１】 機器を搭載する除振台と該除振台を接地
支持する接地支持台との間に、ゴム板と金属板との複数
枚を交互に積層配置してなる鉛直型縦積層ゴム体と、ゴ
ム板と金属板との複数枚を交互に積層してなる剪断型横
積層ゴム体との直列結合体を介在させているとともに、 上記接地支持台と接地面との間には、外部より駆動制御
可能なアクチュエータをその駆動方向が鉛直方向に沿う
ように配置していることを特徴とする制御型除振台の支
持装置。 - 【請求項２】 上記直列結合体における横積層ゴム体
は、それを構成するゴム板と金属板との積層面が鉛直方
向および水平方向に対して共に傾斜する面に沿う傾斜姿
勢に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の
制御型除振台の支持装置。 - 【請求項３】 上記直列結合体における横積層ゴム体側
には、該横積層ゴム体とは別個の単体ゴムを並列配置し
て介在されていることを特徴とする請求項１または２に
記載の制御型除振台の支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23085197A JPH1163110A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 制御型除振台の支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23085197A JPH1163110A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 制御型除振台の支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1163110A true JPH1163110A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16914296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23085197A Withdrawn JPH1163110A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 制御型除振台の支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1163110A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6239088B1 (en) | 1999-03-19 | 2001-05-29 | Color Access, Inc. | Nonirritating cleansing composition |
| JP2001317585A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Tokkyokiki Corp | 振動制御装置およびその駆動方法 |
| JP2002035696A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-05 | Tokkyokiki Corp | 振動制御装置およびその駆動方法 |
| JP2005299285A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Nippon Steel Corp | ２方向制振装置とそれを用いた建築構造物の制振装置 |
| WO2013099149A1 (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-04 | 昭和電線デバイステクノロジー株式会社 | 防振ゴム |
| CN110285183A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-27 | 西北工业大学 | 一种分布式低频吸振周期结构 |
-
1997
- 1997-08-27 JP JP23085197A patent/JPH1163110A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6239088B1 (en) | 1999-03-19 | 2001-05-29 | Color Access, Inc. | Nonirritating cleansing composition |
| JP2001317585A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Tokkyokiki Corp | 振動制御装置およびその駆動方法 |
| JP2002035696A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-05 | Tokkyokiki Corp | 振動制御装置およびその駆動方法 |
| JP2005299285A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Nippon Steel Corp | ２方向制振装置とそれを用いた建築構造物の制振装置 |
| JP4514498B2 (ja) * | 2004-04-14 | 2010-07-28 | 新日本製鐵株式会社 | ２方向制振装置とそれを用いた建築構造物の制振装置 |
| WO2013099149A1 (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-04 | 昭和電線デバイステクノロジー株式会社 | 防振ゴム |
| JP2013133848A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Swcc Showa Device Technology Co Ltd | 防振ゴム |
| CN110285183A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-27 | 西北工业大学 | 一种分布式低频吸振周期结构 |
| CN110285183B (zh) * | 2019-06-03 | 2021-05-07 | 西北工业大学 | 一种分布式低频吸振周期结构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041102 |