JPH09291969A - 能動型除振装置の支持装置 - Google Patents
能動型除振装置の支持装置Info
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- JPH09291969A JPH09291969A JP10501696A JP10501696A JPH09291969A JP H09291969 A JPH09291969 A JP H09291969A JP 10501696 A JP10501696 A JP 10501696A JP 10501696 A JP10501696 A JP 10501696A JP H09291969 A JPH09291969 A JP H09291969A
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 系全体の剛性を低下させて除振性能の向上を
図りながら、搭載機器の重量が大きい場合でも歪の発生
による性能劣化等を招くことなく、所定の除振性能を長
期に亘って安定よく維持することができるようにする。 【解決手段】 下部架台１とこれに対向する機器搭載台
２との間に、ピエゾアクチュエータ５および該ピエゾア
クチュエータ５の駆動方向の少なくとも一端面に配設さ
れた剪断力吸収部材６からなる支持マウント３と、膨張
収縮可能な可撓材製袋状体９内に加圧空気を封入してな
る空気ばね４とを併設させている。
図りながら、搭載機器の重量が大きい場合でも歪の発生
による性能劣化等を招くことなく、所定の除振性能を長
期に亘って安定よく維持することができるようにする。 【解決手段】 下部架台１とこれに対向する機器搭載台
２との間に、ピエゾアクチュエータ５および該ピエゾア
クチュエータ５の駆動方向の少なくとも一端面に配設さ
れた剪断力吸収部材６からなる支持マウント３と、膨張
収縮可能な可撓材製袋状体９内に加圧空気を封入してな
る空気ばね４とを併設させている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
工場やレーザー応用製品製造工場などに設置される各種
機器を搭載した機器搭載台に地震や自動車の走行などに
起因する振動が伝播されて該機器搭載台が振動すること
を除去する除振装置で、詳しくは、機器搭載台と下部架
台との間に介在させたピエゾアクチュエータを、機器搭
載台の振動に対して干渉するように動作させることによ
り搭載機器の励起振動や低周波数領域の振動など受動型
除振装置では除去できない振動も除去可能としている能
動型除振装置の支持装置に関するものである。
工場やレーザー応用製品製造工場などに設置される各種
機器を搭載した機器搭載台に地震や自動車の走行などに
起因する振動が伝播されて該機器搭載台が振動すること
を除去する除振装置で、詳しくは、機器搭載台と下部架
台との間に介在させたピエゾアクチュエータを、機器搭
載台の振動に対して干渉するように動作させることによ
り搭載機器の励起振動や低周波数領域の振動など受動型
除振装置では除去できない振動も除去可能としている能
動型除振装置の支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の従来の能動型除振装置の支持装
置としては、図９に示すように、下部架台０１とこれに
対向する機器搭載台０２との間に、ピエゾアクチュエー
タ０３および該ピエゾアクチュエータ０３の駆動方向の
少なくとも一端面（駆動方向の両端面の場合もあるが、
ここでは、一端面で示す）に配設された剪断力吸収部材
０４からなる支持マウント０５を介在させたものが一般
的である。
置としては、図９に示すように、下部架台０１とこれに
対向する機器搭載台０２との間に、ピエゾアクチュエー
タ０３および該ピエゾアクチュエータ０３の駆動方向の
少なくとも一端面（駆動方向の両端面の場合もあるが、
ここでは、一端面で示す）に配設された剪断力吸収部材
０４からなる支持マウント０５を介在させたものが一般
的である。
【０００３】そして、上記支持マウント０５における剪
断力吸収部材０４としては、例えば特開平２−２４６３
８２号公報や特開平５−１４９３７９号公報などでみら
れるように、薄肉弾性ゴムと金属板などの剛性板材とを
三層以上に積層して構成されたものと、弾性ゴム単体か
ら構成されたものとが知られている。
断力吸収部材０４としては、例えば特開平２−２４６３
８２号公報や特開平５−１４９３７９号公報などでみら
れるように、薄肉弾性ゴムと金属板などの剛性板材とを
三層以上に積層して構成されたものと、弾性ゴム単体か
ら構成されたものとが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の能動型除振装置の支持装置において、剪断力吸
収部材０４として薄肉弾性ゴムと剛性板材とが積層され
た構成のものを使用する場合は、該剪断力吸収部材０４
全体の剛性が大きくてばね定数が高くなるために、所定
の除振性能を発揮させるための制御系の設計が困難にな
るという問題がある一方、剪断力吸収部材０４として弾
性ゴム単体から構成されたものを使用する場合は、該剪
断力吸収部材０４全体の剛性を低くすることが可能であ
る反面、搭載機器の重量が大きいと、その重量によって
弾性ゴムに大きな歪を生じて該弾性ゴムの劣化が早まる
ばかりでなく、機器搭載台に回転など搭載機器の動作に
伴って発生する振動が大きくなり、これら歪や振動がピ
エゾアクチュエータの駆動範囲を制限したり、ピエゾア
クチュエータの駆動による制御力と干渉したりして、所
定の除振性能を発揮できる振動範囲および搭載機器の重
量範囲が制約されるという問題があった。
た従来の能動型除振装置の支持装置において、剪断力吸
収部材０４として薄肉弾性ゴムと剛性板材とが積層され
た構成のものを使用する場合は、該剪断力吸収部材０４
全体の剛性が大きくてばね定数が高くなるために、所定
の除振性能を発揮させるための制御系の設計が困難にな
るという問題がある一方、剪断力吸収部材０４として弾
性ゴム単体から構成されたものを使用する場合は、該剪
断力吸収部材０４全体の剛性を低くすることが可能であ
る反面、搭載機器の重量が大きいと、その重量によって
弾性ゴムに大きな歪を生じて該弾性ゴムの劣化が早まる
ばかりでなく、機器搭載台に回転など搭載機器の動作に
伴って発生する振動が大きくなり、これら歪や振動がピ
エゾアクチュエータの駆動範囲を制限したり、ピエゾア
クチュエータの駆動による制御力と干渉したりして、所
定の除振性能を発揮できる振動範囲および搭載機器の重
量範囲が制約されるという問題があった。
【０００５】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、系全体の剛性を低下させて除振性能の向上を
図ることができるものでありながら、搭載機器の重量が
大きい場合でも歪の発生による性能劣化等を招くことな
く、低周波数領域の振動に対する所定の除振性能を長期
に亘って安定よく維持することができる能動型除振装置
の支持装置を提供することを目的としている。
たもので、系全体の剛性を低下させて除振性能の向上を
図ることができるものでありながら、搭載機器の重量が
大きい場合でも歪の発生による性能劣化等を招くことな
く、低周波数領域の振動に対する所定の除振性能を長期
に亘って安定よく維持することができる能動型除振装置
の支持装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明に係る能動型除振装置の支持
装置は、下部架台とこれに対向する機器搭載台との間
に、ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエー
タの駆動方向の少なくとも一端面に配設された剪断力吸
収部材からなる支持マウントと、膨張収縮可能な可撓材
製袋状体内に加圧空気を封入してなる空気ばねとを併設
したことを特徴とするものである。
に、請求項１に記載の発明に係る能動型除振装置の支持
装置は、下部架台とこれに対向する機器搭載台との間
に、ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエー
タの駆動方向の少なくとも一端面に配設された剪断力吸
収部材からなる支持マウントと、膨張収縮可能な可撓材
製袋状体内に加圧空気を封入してなる空気ばねとを併設
したことを特徴とするものである。
【０００７】上記のような構成の請求項１に記載の発明
によれば、剪断力吸収部材およびピエゾアクチュエータ
からなる支持マウントと空気ばねとを併用することで、
支持装置全体の剛性が低下されて低周波数領域の振動に
対して除振性能を発揮させるための制御系の設計が容易
になる。また、搭載機器の重量を支持マウントと空気ば
ねの両方で受止め支持することにより、搭載機器の重量
が大きい場合でも、支持マウントの剪断力吸収部材が負
担する重量割合が小さくなり、該剪断力吸収部材の構成
要素である弾性ゴムの歪による性能劣化および搭載機器
の回転等の動作に伴い発生する振動によるピエゾアクチ
ュエータの駆動範囲の制限や制御力の干渉という不都合
を解消することが可能で、所定の除振性能を長期に亘っ
て保持することができる。さらに、空気ばねにおける封
入空気圧の調整によって機器搭載台の姿勢および位置を
任意に設定変更することが可能である。
によれば、剪断力吸収部材およびピエゾアクチュエータ
からなる支持マウントと空気ばねとを併用することで、
支持装置全体の剛性が低下されて低周波数領域の振動に
対して除振性能を発揮させるための制御系の設計が容易
になる。また、搭載機器の重量を支持マウントと空気ば
ねの両方で受止め支持することにより、搭載機器の重量
が大きい場合でも、支持マウントの剪断力吸収部材が負
担する重量割合が小さくなり、該剪断力吸収部材の構成
要素である弾性ゴムの歪による性能劣化および搭載機器
の回転等の動作に伴い発生する振動によるピエゾアクチ
ュエータの駆動範囲の制限や制御力の干渉という不都合
を解消することが可能で、所定の除振性能を長期に亘っ
て保持することができる。さらに、空気ばねにおける封
入空気圧の調整によって機器搭載台の姿勢および位置を
任意に設定変更することが可能である。
【０００８】上記のような能動型除振装置の支持装置に
おける上記支持マウントと空気ばねとの併設手段として
は、請求項２に記載のように、下部架台と機器搭載台と
の間で互いに適宜間隔を隔ててそれぞれ独立して配置し
た構成であっても、請求項３に記載のように、空気ばね
を構成する可撓材製袋状体内の中央部に支持マウントが
収容されるように複合一体化した構成であってもよく、
これらは機器搭載台の大きさや搭載機器の動作条件等に
応じて適宜に選択使用されるものであるが、特に複合一
体化したものは設置作業性に優れているとともに、ユニ
ット化への対応が容易である。
おける上記支持マウントと空気ばねとの併設手段として
は、請求項２に記載のように、下部架台と機器搭載台と
の間で互いに適宜間隔を隔ててそれぞれ独立して配置し
た構成であっても、請求項３に記載のように、空気ばね
を構成する可撓材製袋状体内の中央部に支持マウントが
収容されるように複合一体化した構成であってもよく、
これらは機器搭載台の大きさや搭載機器の動作条件等に
応じて適宜に選択使用されるものであるが、特に複合一
体化したものは設置作業性に優れているとともに、ユニ
ット化への対応が容易である。
【０００９】また、上記能動型除振装置の支持装置にお
ける上記支持マウントの剪断力吸収部材としては、請求
項４に記載のように、薄肉弾性ゴムと剛性板材とを三層
以上に積層して構成したものであっても、請求項５に記
載のように、弾性ゴム単体から構成したものであっても
よい。
ける上記支持マウントの剪断力吸収部材としては、請求
項４に記載のように、薄肉弾性ゴムと剛性板材とを三層
以上に積層して構成したものであっても、請求項５に記
載のように、弾性ゴム単体から構成したものであっても
よい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
にもとづいて説明する。図１は本発明に係る能動型除振
装置の支持装置の第１の実施形態を示す全体概略斜視図
であり、高さ調整可能な支持脚（図示省略する）を介し
て床面に水平姿勢で載置される平面視が正方形状の下部
架台１とこの下部架台１の上部に対向配置された機器搭
載台２との間の４隅部にはそれぞれ、支持マウント３…
が配置されているとともに、上記下部架台１と機器搭載
台２との間の中央部には単一の空気ばね４が配置されて
いる。
にもとづいて説明する。図１は本発明に係る能動型除振
装置の支持装置の第１の実施形態を示す全体概略斜視図
であり、高さ調整可能な支持脚（図示省略する）を介し
て床面に水平姿勢で載置される平面視が正方形状の下部
架台１とこの下部架台１の上部に対向配置された機器搭
載台２との間の４隅部にはそれぞれ、支持マウント３…
が配置されているとともに、上記下部架台１と機器搭載
台２との間の中央部には単一の空気ばね４が配置されて
いる。
【００１１】上記各支持マウント３…は、図２に明示す
るように、積層形ピエゾ素子などのピエゾアクチュエー
タ５と該ピエゾアクチュエータ５の駆動方向（矢印ｘ方
向）の一端面に配設された剪断力吸収部材６と上記ピエ
ゾアクチュエータ５を収納する筒状ケース１３とから構
成されており、かつ、上記剪断力吸収部材６は、薄肉弾
性ゴム７と金属製薄板などの剛性板材８とを三層以上の
複数層に積層して構成されている。なお、上記薄肉弾性
ゴム７と剛性板材８の積層段数や大きさは、搭載機器の
大きさや重量などに応じて適宜に設定される。
るように、積層形ピエゾ素子などのピエゾアクチュエー
タ５と該ピエゾアクチュエータ５の駆動方向（矢印ｘ方
向）の一端面に配設された剪断力吸収部材６と上記ピエ
ゾアクチュエータ５を収納する筒状ケース１３とから構
成されており、かつ、上記剪断力吸収部材６は、薄肉弾
性ゴム７と金属製薄板などの剛性板材８とを三層以上の
複数層に積層して構成されている。なお、上記薄肉弾性
ゴム７と剛性板材８の積層段数や大きさは、搭載機器の
大きさや重量などに応じて適宜に設定される。
【００１２】上記空気ばね４は、図３に明示するよう
に、例えば内外のゴム層間に補強用ビードワイヤーを挟
在させてなるプライコードなどの膨張収縮可能な可撓材
製袋状体９内に加圧空気ｐａを封入してなるもので、そ
のばね定数は、搭載機器の重量や動作条件などに対応し
て封入空気圧を調整することによって適宜に設定変更可
能とされている。
に、例えば内外のゴム層間に補強用ビードワイヤーを挟
在させてなるプライコードなどの膨張収縮可能な可撓材
製袋状体９内に加圧空気ｐａを封入してなるもので、そ
のばね定数は、搭載機器の重量や動作条件などに対応し
て封入空気圧を調整することによって適宜に設定変更可
能とされている。
【００１３】上記機器搭載台２の下面には、図４に示す
ように、振動センサ１０が取り付けられており、この振
動センサ１０による振動検出信号Ｓ１が制御装置１１に
入力される。この制御装置１１は、上記振動センサ１０
からの検出信号Ｓ１に基づいて機器搭載台２を静止させ
るに必要なピエゾアクチュエータ５の伸び量、即ち、ピ
エゾアクチュエータ５に印加すべき電圧信号を演算する
とともに、その電圧信号Ｓ２を上記各支持マウント３…
におけるピエゾアクチュエータ５…にそれぞれ出力して
機器搭載台１の振動を制御する。なお、上記制御装置１
１は、ＣＰＵとＲＡＭ、ＲＯＭ等を有するマイクロコン
ピュータからなり、上記振動センサ１０およびピエゾア
クチュエータ５…にそれぞれ入力インターフェイスおよ
び出力インターフェイスを介して接続されているが、こ
れらは周知であるため、図示は省略する。
ように、振動センサ１０が取り付けられており、この振
動センサ１０による振動検出信号Ｓ１が制御装置１１に
入力される。この制御装置１１は、上記振動センサ１０
からの検出信号Ｓ１に基づいて機器搭載台２を静止させ
るに必要なピエゾアクチュエータ５の伸び量、即ち、ピ
エゾアクチュエータ５に印加すべき電圧信号を演算する
とともに、その電圧信号Ｓ２を上記各支持マウント３…
におけるピエゾアクチュエータ５…にそれぞれ出力して
機器搭載台１の振動を制御する。なお、上記制御装置１
１は、ＣＰＵとＲＡＭ、ＲＯＭ等を有するマイクロコン
ピュータからなり、上記振動センサ１０およびピエゾア
クチュエータ５…にそれぞれ入力インターフェイスおよ
び出力インターフェイスを介して接続されているが、こ
れらは周知であるため、図示は省略する。
【００１４】上記のような構成の能動型除振装置の支持
装置においては、搭載機器および機器搭載台２の重量が
支持マウント３…と空気ばね４とに分担支持されるため
に、該支持装置全体としての剛性は低下され、共振周波
数が低周波数領域に移動して除振性能が改善される。ま
た、搭載機器の重量が大きい場合でも、支持マウント３
…の剪断力吸収部材６が負担する重量割合が小さくな
り、該剪断力吸収部材６の構成要素である薄肉弾性ゴム
７の歪が非常に小さくて性能劣化を抑制できるととも
に、搭載機器の回転等の動作に伴い発生する振動によっ
てピエゾアクチュエータ５の駆動範囲が制限されたり、
該ピエゾアクチュエータ５による制御力が干渉されたり
することを解消することが可能で、所定の除振性能を長
期に亘って保持することができる。
装置においては、搭載機器および機器搭載台２の重量が
支持マウント３…と空気ばね４とに分担支持されるため
に、該支持装置全体としての剛性は低下され、共振周波
数が低周波数領域に移動して除振性能が改善される。ま
た、搭載機器の重量が大きい場合でも、支持マウント３
…の剪断力吸収部材６が負担する重量割合が小さくな
り、該剪断力吸収部材６の構成要素である薄肉弾性ゴム
７の歪が非常に小さくて性能劣化を抑制できるととも
に、搭載機器の回転等の動作に伴い発生する振動によっ
てピエゾアクチュエータ５の駆動範囲が制限されたり、
該ピエゾアクチュエータ５による制御力が干渉されたり
することを解消することが可能で、所定の除振性能を長
期に亘って保持することができる。
【００１５】図５は本発明に係る能動型除振装置の支持
装置の第２の実施形態を示す全体概略斜視図であり、下
部架台１と機器搭載台２との間の各辺の中央位置にはそ
れぞれ支持マウント３…が配置されているとともに、４
隅部にはそれぞれ空気ばね４…が配置されたものであ
り、それら支持マウント３…の構成、剪断力吸収部材６
の構成および空気ばね４…の構成は、図２および図３に
示す上記第１の実施形態と同一であるため、それらの詳
細説明は省略する。
装置の第２の実施形態を示す全体概略斜視図であり、下
部架台１と機器搭載台２との間の各辺の中央位置にはそ
れぞれ支持マウント３…が配置されているとともに、４
隅部にはそれぞれ空気ばね４…が配置されたものであ
り、それら支持マウント３…の構成、剪断力吸収部材６
の構成および空気ばね４…の構成は、図２および図３に
示す上記第１の実施形態と同一であるため、それらの詳
細説明は省略する。
【００１６】図５で示す第２の実施形態による能動型除
振装置の支持装置の場合は、上記の実施形態の場合と同
様な除振性能を確保できるのはもとより、搭載機器がそ
の動作時に重心位置を変動するようなものであっても、
除振効果の変動を抑制できるとともに、搭載機器を水平
姿勢に安定よく保持できるという機能を併せ有してい
る。
振装置の支持装置の場合は、上記の実施形態の場合と同
様な除振性能を確保できるのはもとより、搭載機器がそ
の動作時に重心位置を変動するようなものであっても、
除振効果の変動を抑制できるとともに、搭載機器を水平
姿勢に安定よく保持できるという機能を併せ有してい
る。
【００１７】図６は本発明に係る能動型除振装置の支持
装置の第３の実施形態を示す要部の拡大断面図であり、
上記第１および第２の実施形態で詳しく説明したような
構成からなる支持マウント３を、空気ばね４を構成する
可撓材製袋状体９内の中央部に収容させて両者３，４を
複合一体化してなるものであり、このような複合タイプ
のものは、支持マウント３と空気ばね４とが１対１の関
係にある全く新しいマウントユニットであり、上記第１
および第２の実施形態で述べた独立タイプのものに比し
て取扱い性や設置作業性に優れているとともに適用性の
拡充を図りやすい。
装置の第３の実施形態を示す要部の拡大断面図であり、
上記第１および第２の実施形態で詳しく説明したような
構成からなる支持マウント３を、空気ばね４を構成する
可撓材製袋状体９内の中央部に収容させて両者３，４を
複合一体化してなるものであり、このような複合タイプ
のものは、支持マウント３と空気ばね４とが１対１の関
係にある全く新しいマウントユニットであり、上記第１
および第２の実施形態で述べた独立タイプのものに比し
て取扱い性や設置作業性に優れているとともに適用性の
拡充を図りやすい。
【００１８】図７は本発明に係る能動型除振装置の支持
装置の第４の実施形態で、複合タイプの他の例を示す概
略斜視図であり、上記第１および第２の実施形態で詳し
く説明したような構成からなる単一の支持マウント３を
取り囲むように複数個（図面上では３個で示すが、４個
以上であってもよい）の空気ばね４…を配置し、これら
を一つの筒状ケース１２内に収納し複合一体化してなる
ものであり、図６に示す複合タイプのものと同様に全く
新しいマウントユニットであって、独立タイプのものに
比して取扱い性や設置作業性に優れているばかりでな
く、複数個の空気ばね４…それぞれの封入空気圧の調整
によってばね定数の設定変更範囲を広くとれるととも
に、機器搭載台２の水平姿勢の微調整も可能で、適用性
を一層拡大することができる。
装置の第４の実施形態で、複合タイプの他の例を示す概
略斜視図であり、上記第１および第２の実施形態で詳し
く説明したような構成からなる単一の支持マウント３を
取り囲むように複数個（図面上では３個で示すが、４個
以上であってもよい）の空気ばね４…を配置し、これら
を一つの筒状ケース１２内に収納し複合一体化してなる
ものであり、図６に示す複合タイプのものと同様に全く
新しいマウントユニットであって、独立タイプのものに
比して取扱い性や設置作業性に優れているばかりでな
く、複数個の空気ばね４…それぞれの封入空気圧の調整
によってばね定数の設定変更範囲を広くとれるととも
に、機器搭載台２の水平姿勢の微調整も可能で、適用性
を一層拡大することができる。
【００１９】なお、上記の各実施形態では、上記支持マ
ウント３における剪断力吸収部材６として、図２に明示
されたような薄肉弾性ゴム７と剛性板材８との積層構造
のものを使用した例について説明したが、図８に明示す
るように、厚肉の弾性ゴム単体１４を使用した構成のも
のであってもよい。
ウント３における剪断力吸収部材６として、図２に明示
されたような薄肉弾性ゴム７と剛性板材８との積層構造
のものを使用した例について説明したが、図８に明示す
るように、厚肉の弾性ゴム単体１４を使用した構成のも
のであってもよい。
【００２０】また、上記の実施形態では、上記支持マウ
ント３をそのピエゾアクチュエータ５の駆動方向が図４
の矢印ｘで示した鉛直方向になるように、下部架台１と
機器搭載台２との間に配設した使用例について説明した
が、下部架台１と機器搭載台２との間に、水平二次元方
向に駆動可能な支持マウントおよび鉛直方向に駆動可能
な支持マウントを配設して、機器搭載台２の三次元的な
振動を制御するように使用してもよいこともちろんであ
る。
ント３をそのピエゾアクチュエータ５の駆動方向が図４
の矢印ｘで示した鉛直方向になるように、下部架台１と
機器搭載台２との間に配設した使用例について説明した
が、下部架台１と機器搭載台２との間に、水平二次元方
向に駆動可能な支持マウントおよび鉛直方向に駆動可能
な支持マウントを配設して、機器搭載台２の三次元的な
振動を制御するように使用してもよいこともちろんであ
る。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、請求項１に記載の発明に
よれば、剪断力吸収部材およびピエゾアクチュエータか
らなる支持マウントと空気ばねとを併用することで、支
持装置全体の剛性を低下させて共振周波数を低周波数領
域に移行させ除振性能の著しい向上を図ることができ
る。しかも、搭載機器の重量が大きい場合でも、支持マ
ウントにおける剪断力吸収部材の負担重量を小さくし
て、該剪断力吸収部材の構成要素である弾性ゴムの歪に
よる性能劣化および搭載機器の回転等の動作に伴い発生
する振動によるピエゾアクチュエータの駆動範囲の制限
や制御力の干渉という不都合を解消することが可能で、
所定の除振性能を長期に亘って安定よく保持することが
できる。また、空気ばねにおける封入空気圧の調整によ
って機器搭載台の姿勢、位置および支持装置全体の剛性
を任意に設定変更することが可能で、所定の除振性能を
発揮できる振動範囲および搭載機器の重量範囲を広く
し、適用性の拡充を図ることができるという効果を奏す
る。
よれば、剪断力吸収部材およびピエゾアクチュエータか
らなる支持マウントと空気ばねとを併用することで、支
持装置全体の剛性を低下させて共振周波数を低周波数領
域に移行させ除振性能の著しい向上を図ることができ
る。しかも、搭載機器の重量が大きい場合でも、支持マ
ウントにおける剪断力吸収部材の負担重量を小さくし
て、該剪断力吸収部材の構成要素である弾性ゴムの歪に
よる性能劣化および搭載機器の回転等の動作に伴い発生
する振動によるピエゾアクチュエータの駆動範囲の制限
や制御力の干渉という不都合を解消することが可能で、
所定の除振性能を長期に亘って安定よく保持することが
できる。また、空気ばねにおける封入空気圧の調整によ
って機器搭載台の姿勢、位置および支持装置全体の剛性
を任意に設定変更することが可能で、所定の除振性能を
発揮できる振動範囲および搭載機器の重量範囲を広く
し、適用性の拡充を図ることができるという効果を奏す
る。
【００２２】また、請求項３に記載の発明のように、上
記支持マウントと空気ばねとを複合一体化した構成とす
る場合は、取扱い性および設置作業性に優れているとと
もに、ユニット化への対応が容易となる。
記支持マウントと空気ばねとを複合一体化した構成とす
る場合は、取扱い性および設置作業性に優れているとと
もに、ユニット化への対応が容易となる。
【図１】本発明に係る能動型除振装置の支持装置の第１
の実施形態を示す全体概略斜視図である。
の実施形態を示す全体概略斜視図である。
【図２】支持マウントの拡大側面図である。
【図３】空気ばねの拡大縦断面図である。
【図４】能動型除振装置全体の側面図である。
【図５】本発明に係る能動型除振装置の支持装置の第２
の実施形態を示す全体概略斜視図である。
の実施形態を示す全体概略斜視図である。
【図６】本発明に係る能動型除振装置の支持装置の第３
の実施形態を示す要部の拡大断面図である。
の実施形態を示す要部の拡大断面図である。
【図７】本発明に係る能動型除振装置の支持装置の第４
の実施形態で、複合タイプの他の例を示す概略斜視図で
ある。
の実施形態で、複合タイプの他の例を示す概略斜視図で
ある。
【図８】支持マウントの他の構成を示す拡大側面図であ
る。
る。
【図９】従来の能動型除振装置の支持装置を示す要部の
拡大側面図である。
拡大側面図である。
１ 下部架台 ２ 機器搭載台 ３ 支持マウント ４ 空気ばね ５ ピエゾアクチュエータ ６ 剪断力吸収部材 ７ 薄肉弾性ゴム ８ 剛性板材 ９ 可撓材製袋状体 １４ 弾性ゴム単体
Claims (5)
- 【請求項１】 下部架台とこれに対向する機器搭載台と
の間に、ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュ
エータの駆動方向の少なくとも一端面に配設された剪断
力吸収部材からなる支持マウントと、膨張収縮可能な可
撓材製袋状体内に加圧空気を封入してなる空気ばねとを
併設したことを特徴とする能動型除振装置の支持装置。 - 【請求項２】 上記支持マウントと空気ばねとが、上記
下部架台と機器搭載台との間で互いに適宜間隔を隔てて
それぞれ独立して配置されている請求項１に記載の能動
型除振装置の支持装置。 - 【請求項３】 上記支持マウントと空気ばねとが、空気
ばねを構成する可撓材製袋状体内の中央部に支持マウン
トが収容されるように複合一体化されている請求項１に
記載の能動型除振装置の支持装置。 - 【請求項４】 上記支持マウントにおける剪断力吸収部
材が、薄肉弾性ゴムと剛性板材とを三層以上に積層して
構成されたものである請求項１ないし３のいずれかに記
載の能動型除振装置の支持装置。 - 【請求項５】 上記支持マウントにおける剪断力吸収部
材が、弾性ゴム単体から構成されたものである請求項１
ないし３のいずれかに記載の能動型除振装置の支持装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10501696A JPH09291969A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 能動型除振装置の支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10501696A JPH09291969A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 能動型除振装置の支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09291969A true JPH09291969A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=14396276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10501696A Pending JPH09291969A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 能動型除振装置の支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09291969A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11257419A (ja) * | 1998-03-12 | 1999-09-21 | Fujita Corp | アクティブ型除振装置 |
| JP2000249185A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Fujita Corp | アクティブ型除振装置 |
| EP1253346A1 (de) * | 2001-04-24 | 2002-10-30 | Peter Heiland | Vorrichtung und Verfahren zur schwingungsisolierenden Aufnahme von Lasten |
| JP2005127460A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 免震除振床システム |
| WO2009093501A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 除振装置 |
| CN102563330A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 上海微电子装备有限公司 | 工件台安全保护装置 |
| CN103090161A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-05-08 | 哈尔滨工业大学 | 基于空气弹簧零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台 |
| CN109323103A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-02-12 | 安徽金寨金鸿诺科技有限公司 | 一种方管内胎模具制作支撑垫 |
| CN109853747A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-06-07 | 中国人民解放军军事科学院国防工程研究院 | 一种抗爆消能组合支座 |
| CN110748598A (zh) * | 2019-09-23 | 2020-02-04 | 苏州佳世达光电有限公司 | 投影装置 |
| CN111623067A (zh) * | 2020-04-23 | 2020-09-04 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉 |
| KR20220146106A (ko) * | 2021-04-23 | 2022-11-01 | 한국세라믹기술원 | 단위 압전 구조체 및 단위 커버 필름을 이용한 압전 스택 구조체 및 이를 이용한 발판형 압전 발전 모듈 |
| WO2024021782A1 (zh) * | 2022-07-25 | 2024-02-01 | 安徽辰宇机械科技有限公司 | 具备高应力支撑结构的谷物干燥机主机底架 |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP10501696A patent/JPH09291969A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11257419A (ja) * | 1998-03-12 | 1999-09-21 | Fujita Corp | アクティブ型除振装置 |
| JP2000249185A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Fujita Corp | アクティブ型除振装置 |
| EP1253346A1 (de) * | 2001-04-24 | 2002-10-30 | Peter Heiland | Vorrichtung und Verfahren zur schwingungsisolierenden Aufnahme von Lasten |
| JP2005127460A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 免震除振床システム |
| WO2009093501A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 除振装置 |
| CN102563330A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 上海微电子装备有限公司 | 工件台安全保护装置 |
| CN103090161A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-05-08 | 哈尔滨工业大学 | 基于空气弹簧零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台 |
| CN109323103A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-02-12 | 安徽金寨金鸿诺科技有限公司 | 一种方管内胎模具制作支撑垫 |
| CN109853747A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-06-07 | 中国人民解放军军事科学院国防工程研究院 | 一种抗爆消能组合支座 |
| CN110748598A (zh) * | 2019-09-23 | 2020-02-04 | 苏州佳世达光电有限公司 | 投影装置 |
| CN110748598B (zh) * | 2019-09-23 | 2021-06-15 | 苏州佳世达光电有限公司 | 投影装置 |
| CN111623067A (zh) * | 2020-04-23 | 2020-09-04 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉 |
| WO2021212862A1 (zh) * | 2020-04-23 | 2021-10-28 | 山东天岳先进科技股份有限公司 | 用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉 |
| KR20220146106A (ko) * | 2021-04-23 | 2022-11-01 | 한국세라믹기술원 | 단위 압전 구조체 및 단위 커버 필름을 이용한 압전 스택 구조체 및 이를 이용한 발판형 압전 발전 모듈 |
| WO2024021782A1 (zh) * | 2022-07-25 | 2024-02-01 | 安徽辰宇机械科技有限公司 | 具备高应力支撑结构的谷物干燥机主机底架 |
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