JPWO2021220941A5 - - Google Patents

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  1. 第1の開口を有する枠状部と、前記第1の開口の内側に配置され、第2の開口を有する振動部と、前記振動部を前記枠状部に支持する支持部とを含む振動部材と、
    前記第2の開口の内側に配置され、第1の端部と第2の端部とを有し、電圧が印加されることにより前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ第1の方向に伸縮する圧電部材と、
    前記圧電部材の前記第1の端部と、前記枠状部とを接続する第1の接続部材と、
    前記圧電部材の前記第2の端部と、前記振動部とを接続する第2の接続部材とを備え、
    少なくとも前記第1の接続部材は、弾性体であり、
    前記第1の接続部材は、前記圧電部材と接続される第1の板状部と、前記枠状部と接続される第2の板状部と、前記第1の板状部と前記第2の板状部とを連結し、屈曲部が設けられている連結部とを含む、振動構造。
  2. 前記第1の接続部材は、前記圧電部材と接続される第1の板状部と、前記枠状部と接続される第2の板状部と、前記第1の方向に沿って前記第1の板状部と前記第2の板状部とを連結し、屈曲部が設けられている連結部とを含む、請求項1に記載の振動構造。
  3. 第1の開口を有する枠状部と、前記第1の開口の内側に配置され、第2の開口を有する振動部と、前記振動部を前記枠状部に支持する支持部とを含む振動部材と、
    前記第2の開口の内側に配置され、第1の端部と第2の端部とを有し、電圧が印加されることにより前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ第1の方向に伸縮する圧電部材と、
    前記圧電部材の前記第1の端部と、前記枠状部とを接続する第1の接続部材と、
    前記圧電部材の前記第2の端部と、前記振動部とを接続する第2の接続部材とを備え、
    少なくとも前記第1の接続部材は、弾性体であり、
    前記第1の接続部材は、前記圧電部材と接続される第1の板状部と、前記第1の方向に直交する第2の方向に沿って延び、前記枠状部と接続される第2の板状部と、前記第1の板状部と前記第2の板状部とを連結する連結部とを含み、
    前記枠状部は、第3の開口を有しており、
    前記第2の板状部は、前記枠状部における前記第3の開口の周囲に両持ち梁となるように接続されている、振動構造。
  4. 前記第2の板状部は、前記連結部との接続箇所の両側にそれぞれ屈曲部を有する、請求項に記載の振動構造。
  5. 第1の開口を有する枠状部と、前記第1の開口の内側に配置され、第2の開口を有する振動部と、前記振動部を前記枠状部に支持する支持部とを含む振動部材と、
    前記第2の開口の内側に配置され、第1の端部と第2の端部とを有し、電圧が印加されることにより前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ第1の方向に伸縮する圧電部材と、
    前記圧電部材の前記第1の端部と、前記枠状部とを接続する第1の接続部材と、
    前記圧電部材の前記第2の端部と、前記振動部とを接続する第2の接続部材とを備え、
    少なくとも前記第1の接続部材は、弾性体であり、
    前記第1の接続部材は、前記枠状部と接続されている部分から前記圧電部材と接続されている部分の間に第1の段差を有する、振動構造。
  6. 第1の開口を有する枠状部と、前記第1の開口の内側に配置され、第2の開口を有する振動部と、前記振動部を前記枠状部に支持する支持部とを含む振動部材と、
    前記第2の開口の内側に配置され、第1の端部と第2の端部とを有し、電圧が印加されることにより前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ第1の方向に伸縮する圧電部材と、
    前記圧電部材の前記第1の端部と、前記枠状部とを接続する第1の接続部材と、
    前記圧電部材の前記第2の端部と、前記振動部とを接続する第2の接続部材とを備え、
    少なくとも前記第1の接続部材は、弾性体であり、
    前記圧電部材は、第1の主面と第2の主面とを有し、
    前記第1の接続部材は、第1の部分と、前記第1の部分と前記圧電部材を挟んで互いに対向する第2の部分とを含み、
    前記第1の接続部材の第1の部分は、前記圧電部材の第1の主面の端部と前記枠状部とを接続し、
    前記第1の接続部材の第2の部分は、前記圧電部材の第2の主面の端部と前記枠状部とを接続しており、
    前記振動部は、前記第1の開口と前記第2の開口とを隔てる第1の梁部を有する、振動構造。
  7. 第1の開口を有する枠状部と、前記第1の開口の内側に配置され、第2の開口を有する振動部と、前記振動部を前記枠状部に支持する支持部とを含む振動部材と、
    前記第2の開口の内側に配置され、第1の端部と第2の端部とを有し、電圧が印加されることにより前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ第1の方向に伸縮する圧電部材と、
    前記圧電部材の前記第1の端部と、前記枠状部とを接続する第1の接続部材と、
    前記圧電部材の前記第2の端部と、前記振動部とを接続する第2の接続部材とを備え、
    少なくとも前記第1の接続部材は、弾性体であり、
    前記圧電部材の表面の少なくとも一部を、前記圧電部材と間隔をおいて被覆するように前記振動部に接続された第1の被覆部材を備える、振動構造。
  8. 前記振動部は、第1の主面と第2の主面とを有し、
    前記第1の被覆部材は、前記振動部の第1の主面に接続された第1の部分と、前記振動部の第2の主面に接続された第2の部分とを含む、請求項に記載の振動構造。
  9. 前記第1の被覆部材は、少なくとも前記圧電部材と前記第1の接続部材との接続箇所から前記圧電部材と前記第2の接続部材との接続箇所までを被覆している、請求項またはに記載の振動構造。
  10. 前記圧電部材と前記第1の被覆部材との間に第1の緩衝部材が挿入されている、請求項またはに記載の振動構造。
  11. 前記圧電部材は、第1の主面と第2の主面とを有し、
    前記第1の緩衝部材は、第1の部分と第2の部分とを含み、
    前記圧電部材の第1の主面と前記第1の被覆部材の第1の部分との間に前記第1の緩衝部材の第1の部分が挿入され、
    前記圧電部材の第2の主面と前記第1の被覆部材の第2の部分との間に前記第1の緩衝部材の第2の部分が挿入されている、請求項10に記載の振動構造。
  12. 前記振動部は、それぞれ前記第1の主面と前記第2の主面とを接続し、前記第1の方向に沿った枠状部と対向する第1の側面と第2の側面とを有し、
    前記振動部の第1の側面と前記第1の主面との稜線部と前記振動部の第1の側面および前記第2の主面との稜線部の少なくとも一方を、前記振動部と間隔をおいて被覆する第2の被覆部材と、
    前記振動部の第2の側面と前記第1の主面との稜線部と前記振動部の第2の側面および前記第2の主面との稜線部の少なくとも一方を、前記振動部と間隔をおいて被覆する第3の被覆部材とを備える、請求項に記載の振動構造。
  13. 前記枠状部は、第3の開口を有しており、
    前記振動部は、第4の開口を有しており、
    前記第2の被覆部材および前記第3の被覆部材は、それぞれ第1の部分と第2の部分とを含み、
    前記枠状部を構成する第1の部分枠状部と、前記振動部を構成する第1の部分振動部と、前記支持部を構成する第1の部分支持部とが一体に形成され、前記枠状部に前記第3の開口を構成する第1の部分開口を有し、前記振動部に前記第4の開口を構成する第2の部分開口を有する前記振動部材と、
    前記枠状部を構成する第2の部分枠状部と、前記振動部を構成する第2の部分振動部と、前記支持部を構成する第2の部分支持部と、前記第1の段差を有する第1の接続部材の第1の部分と、前記第2の段差を有する前記第2の接続部材の第1の部分と、前記第1の被覆部材の第1の部分と、前記第2の被覆部材の第1の部分と、前記第3の被覆部材の第1の部分とが一体に形成され、前記第3の開口を構成する第3の部分開口および前記第4の開口を構成する第4の部分開口を有する第1の複合部材と、
    前記枠状部を構成する第3の部分枠状部と、前記振動部を構成する第3の部分振動部と、前記支持部を構成する第3の部分支持部と、前記第1の段差を有する第1の接続部材の第2の部分と、前記第2の段差を有する前記第2の接続部材の第2の部分と、前記第1の被覆部材の第2の部分と、前記第2の被覆部材の第2の部分と、前記第3の被覆部材の第2の部分とが一体に形成され、前記第3の開口を構成する第5の部分開口および前記第4の開口を構成する第6の部分開口を有する第2の複合部材と備え、
    前記振動部材は、前記第1の複合部材と前記第2の複合部材とにより挟まれている、請求項12に記載の振動構造。
  14. 前記第1の複合部材は、前記第2の部分振動部と、前記第1の被覆部材の第1の部分、前記第2の被覆部材の第1の部分および前記第3の被覆部材の第1の部分との間に第3の段差を有し、前記第3の段差による前記圧電部材と前記第1の被覆部材との間の空間に、第1の緩衝部材の第1の部分が挿入されており、
    前記第2の複合部材は、前記第3の部分振動部と、前記第1の被覆部材の第2の部分、前記第2の被覆部材の第2の部分および前記第3の被覆部材の第2の部分との間に第4の段差を有し、前記第4の段差による前記圧電部材と前記第2の被覆部材との間の空間に、第1の緩衝部材の第2の部分が挿入されている、請求項13に記載の振動構造。
  15. 前記第1の接続部材および前記第2の接続部材の第1の板状部の前記第2の方向における幅は、前記圧電部材の幅より広く、
    前記第1の接続部材の第1の部分および第2の部分における第1の板状部には、前記第1の段差が形成され、
    前記第2の接続部材の第1の部分および第2の部分における第1の板状部には、前記第2の段差が形成されており、
    前記第1の段差による前記第1の部分振動部と前記第1の接続部材の第1の部分との間の空間に、第2の緩衝部材の第1の部分が挿入され、
    前記第1の段差による前記第1の部分振動部と前記第1の接続部材の第2の部分との間の空間に、第2の緩衝部材の第2の部分が挿入され、
    前記第2の段差による前記第1の部分振動部と前記第2の接続部材の第1の部分との間の空間に、第3の緩衝部材の第1の部分が挿入され、
    前記第2の段差による前記第1の部分振動部と前記第2の接続部材の第2の部分との間の空間に、第3の緩衝部材の第2の部分が挿入されている、請求項14に記載の振動構造。
  16. 前記第1の接続部材の第2の板状部が、前記第1の方向に沿って枠状部と接続しており、前記第1の接続部材の屈曲部が前記第1の方向に沿って配置されている、請求項に記載の振動構造。
  17. 前記第1の接続部材の第2の板状部が、前記第1の方向に沿って枠状部と接続しており、前記第1の接続部材の屈曲部が前記第1の方向に沿った部分と前記第1の方向にほぼ直交する方向に沿った部分とを含む、請求項に記載の振動構造。
  18. 前記第1の接続部材の第2の板状部が、前記第1の方向に沿って枠状部と接続しており、前記第1の接続部材の屈曲部が前記第1の方向に沿った部分と前記第1の方向にほぼ直交する方向に沿った部分とを含む、請求項17に記載の振動構造。
  19. 前記支持部は、屈曲部を有する、請求項1から18のいずれか1項に記載の振動構造。
  20. 前記圧電部材は、圧電セラミックスを含む、請求項1から19のいずれか1項に記載の振動構造。
  21. 請求項1から20のいずれか1項に記載の振動構造と、
    前記圧電部材に電圧を印加する駆動回路とを備える、振動装置。
  22. 請求項21に記載の振動装置と、
    前記振動部に対する加圧を検出する加圧検出部とを備え、
    前記駆動回路は、前記加圧検出部で前記加圧を検出した場合に、前記圧電部材に電圧を印加する、触覚提示装置。
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