JP7102114B2 - 光電変換素子、撮像素子および撮像装置 - Google Patents

光電変換素子、撮像素子および撮像装置 Download PDF

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Description

本発明は、光電変換素子、撮像素子および撮像装置に関する。
近年、有機化合物を光電変換層に用い、信号読み出し用基板上に形成した構造を有する固体撮像素子の開発が進んでいる。
光電変換素子における暗電流を改善するために、様々な構成が知られている。特許文献1には、光電変換層とアノードとの間に電子ブロック層を設け、光電変換層と電子ブロック層とのエネルギー準位の関係および電子ブロック層の層厚を規定することで暗電流を低減する有機光電変換素子が記載されている。
特許文献2には、光電変換層とカソードとの間に正孔ブロック層を設け、光電変換層と正孔ブロック層とのエネルギー準位の関係を規定することで暗電流を低減する有機光電変換素子が記載されている。
特開2010-183060号公報 特開2007-088033号公報
光電変換素子における暗電流には、アノードやカソードから流れ込む電流のほかに、光電変換層内から発生する暗電流が存在する。
特許文献1および2には、光電変換層内のp型有機半導体材料とn型有機半導体材料の間で発生する暗電流は記載も示唆もされておらず、光電変換素子の暗電流の低減が不十分であった。
そこで本発明は、光電変換素子における光電変換層内のp型有機半導体材料とn型有機半導体材料の間で発生する暗電流を低減した有機光電変換素子を提供することを目的とする。
本発明の一態様は、下部電極と、上部電極と、前記下部電極と前記上部電極との間に配置されている光電変換層と、を有する光電変換素子であって、
前記光電変換層は第一の有機化合物と第二の有機化合物とを有し、前記第一の有機化合物の酸化電位は、前記第二の有機化合物の酸化電位よりも小さく、下記式(A)であらわされるΔEが、下記式(B)を満たし、
ΔE=第一の有機化合物の酸化電位-第二の有機化合物の還元電位 (A)
ΔE≧1.5 [V] (B)
前記第一の有機化合物が下記一般式[28]で表される化合物であることを特徴とする光電変換素子を提供する。
Figure 0007102114000001
一般式[28]において、Rは水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基を表す。
391乃至R396は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。R391乃至R396のうちの隣接する2つは、互いに結合して環を形成してもよい。ただし、前記R 394 と前記R 395 とは結合して環を形成している。
はハロゲン原子、シアノ基、置換あるいは無置換のヘテロアリール基または以下の一般式[1-1]乃至[1-9]で表される置換基のいずれかを表す。
一般式[1-1]乃至[1-9]において、R521乃至R588は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。
Figure 0007102114000002
本発明によれば、暗電流が低減された光電変換素子を提供することができる。
本発明に係るΔEを表すエネルギー図である。 本発明に係る光電変換素子の一例を示す断面模式図である。 本発明に係る光電変換素子を有する画素を駆動する回路図の一例である。 本発明に係る光電変換素子を有する撮像素子の周辺回路模式図の一例である。 有機化合物の酸化電位および還元電位を決定するサイクリックボルタモグラムの一例である。 本発明に係る有機化合物を有する光電変換素子の暗電流値のアレニウスプロットを示した図である。 例示化合物を用いた光電変換素子の暗電流に対する活性化エネルギー(E)と当該光電変換素子のΔEの関係を表す図である。
本発明は、有機化合物からなる光電変換層を有する光電変換素子の暗電流の低減に関する。光電変換層が有する2種類の有機化合物のエネルギー差を一定以上とすることで暗電流を低減することができる。
また、光電変換素子の暗電流の活性化エネルギーを一定以上とすることで、暗電流を低減することができる。
熱的な電荷分離による暗電流は、活性化エネルギーが高いほど発生しにくくなる。活性化エネルギーは、第一の有機化合物と、第二の有機化合物とが電荷分離した状態に励起されるためのエネルギーの大きさである。活性化エネルギー以上のエネルギーを熱エネルギーが与えた場合、暗電流の原因となる。
本発明の一態様は、光電変換層における暗電流の活性化エネルギーを0.70eV以上とすることで、暗電流が低減された光電変換素子である。暗電流の活性化エネルギーは、0.75eV以上がより好ましく、0.80eV以上がさらに好ましい。
[光電変換素子の構成]
本実施形態においては、アノードとカソードとの間に有機化合物からなる光電変換層を有する光電変換素子を例に挙げて説明する。
本発明に係る光電変換素子が有する光電変換層は、光を受け、その光量に応じた電荷を発生する層である。光電変換層の機能は、光を吸収することで正孔と電子に電荷分離を行い、光を電気信号に変換することである。光電変換層は、複数種類の有機化合物を有してもよい。光電変換層内に正の電荷を運ぶドナー材料と負の電荷を運ぶアクセプター材料がランダムに混ざった層はバルクヘテロジャンクションと呼ばれる。
光電変換層が複数種類の有機化合物を有する場合、複数種類の有機化合物が1つの層に混合されてもよいし、複数種類の有機化合物が、複数の層に含まれてもよい。
光電変換層は、p型有機半導体又はn型有機半導体を含有した層であることが好ましく、有機p型化合物と、有機n型化合物とを混合したバルクへテロ層を少なくとも一部に含むことがより好ましい。ヘテロ層は混合層と言い換えることもできる。
バルクへテロ層を有する光電変換層は、光電変換効率が高い。さらに、混合比率が適切なバルクへテロ層においては、光電変換層の電子移動度および正孔移動度が高いので、光電変換素子の光応答速度が高い。したがって、最適な混合比率のバルクヘテロ層を有することが好ましい。
[ΔEについて]
ΔEは下記式(A)にて定義されるエネルギーギャップである。
ΔE=第一の有機化合物の酸化電位-第二の有機化合物の還元電位 (A)
またΔEは、下記式(B)を満たす。
ΔE≧1.5 [V] (B)
図1は、ΔEを表すエネルギー図である。第一の有機化合物の酸化電位は第一の有機化合物のHOMOに相当する。また第二の有機化合物の還元電位は第二の有機化合物のLUMOに相当する。酸化還元電位は溶液中の分子と電極間でのポテンシャルエネルギー差であり、分子単独の物性値である。
暗電流は、p型有機半導体材料からn型有機半導体材料へ熱的な電荷分離により発生する場合がある。ΔEは、熱的な電荷分離による暗電流が発生するために必要なエネルギーという意味がある。
式(B)を満たすことで、光励起ではなく、熱励起による電荷分離による、暗電流が発生することを抑制することができる。
それは、ΔEの大きさが、暗電流発生の活性化エネルギーに相関している、より具体的には、ΔEが大きいほど、暗電流の活性化エネルギーが大きくなる傾向があるからである。式(B)を満たすことで、暗電流発生の活性化エネルギーを大きくし、熱励起による暗電流発生を抑えることで暗電流が低減された光電変換素子を得ることができる。
また熱励起による暗電流においては、バルクヘテロジャンクションを形成するp型有機半導体とn型有機半導体の分子同士が接触していることが原因である。
式(B)に加えて、光電変換層が他の分子との接触が抑制された有機化合物または熱電子の発生を抑制する有機化合物を有することで、活性化エネルギーを大きくし、暗電流を低減できる。
本発明に係る光電変換素子は、光電変換層が第一の有機化合物と第二の有機化合物を有し、第一の有機化合物が他分子との接触を抑制する性質または熱電子の発生を抑制する性質を有するため、暗電流が低減された光電変換素子である。
光電変換層は、第一の有機化合物と第二の有機化合物とを有し、第一の有機化合物は電子ドナー材料である。
第一の有機化合物は、光電変換層が有するp型有機半導体である。第一の有機化合物は、ドナー性有機半導体であり、電子を供与しやすい性質がある。具体的には2つの有機化合物のうち酸化電位が小さい方が第一の有機化合物である。つまり第一の有機化合物は電子ドナー材料、第二の有機化合物は電子アクセプター材料である。
第一の有機化合物は、例えば、トリアリールアミン化合物、ピラン化合物、キナクリドン化合物、ベンジジン化合物、ピラゾリン化合物、スチリルアミン化合物、ヒドラゾン化合物、トリフェニルメタン化合物、カルバゾール化合物、ポリシラン化合物、チオフェン化合物、フタロシアニン化合物、シアニン化合物、メロシアニン化合物、オキソノール化合物、ポリアミン化合物、インドール化合物、ピロール化合物、ピラゾール化合物、ポリアリーレン化合物、縮合芳香族炭素環化合物(ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、フルオランテン誘導体)、含窒素ヘテロ環化合物を配位子として有する金属錯体等を用いることができる。中でも、トリアリールアミン化合物、ピラン化合物、キナクリドン化合物、ピロール化合物、フタロシアニン化合物、メロシアニン化合物、縮合芳香族炭素環化合物が好ましい。
フルオランテン誘導体とは、化学構造式中にフルオランテン骨格を有する化合物である。フルオランテン骨格に縮環が付加された化合物も含むものである。すなわち、化学構造式からフルオランテン骨格が見出される化合物を意味する。他のナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体についても同様である。
第一の有機化合物は、吸収波長が450nm以上700nm以下の可視域にあることが好ましい。光電変換層がパンクロマティックな吸収帯を得るためには、吸収ピーク波長が、500nm以上であることが好ましい。特に530nm以上であることが好ましく、530nm以上650nm以下であることがさらに好ましい。当該領域に吸収ピーク波長を有することは、近接する領域である、450nm以上470nm以下の青領域や600nm以上630nm以下の赤領域にも吸収を有するので、パンクロマティック性が向上する。
吸収ピーク波長は、クロロホルム溶液中の吸収スペクトルを測定する等で得ることができる。
また、式(B)を満たすことや暗電流の活性化エネルギーが一定以上であることは、第一の有機化合物の吸収ピーク波長が530nm以上である場合に、特に好ましい。
吸収ピーク波長が530nm以上である有機化合物は、バンドギャップが比較的小さい有機化合物である。バンドギャップが小さい有機化合物は、そのHOMOが第二の有機化合物のLUMOと近くなってしまう傾向がある。すなわち、暗電流が発生しやすくなる。その場合に、式(B)を満たすことや暗電流の活性化エネルギーが一定以上であることを満たすことで特に大きな効果を奏するものである。
光電変換層内における第一の有機化合物の濃度は、第一の有機化合物と第二の有機化合物との合計を100重量%とした場合に、35重量%未満であることが好ましい。より好ましくは27.5重量%以下であることが好ましい。第一の有機化合物の濃度が好ましい範囲にある場合、暗電流をさらに低減できるので好ましい。
第一の有機化合物は、下記一般式[1]乃至[5]のいずれかである。第一の有機化合物は一般式[1]で表される有機化合物であることが特に好ましい。
Figure 0007102114000003
一般式[1]において、Rは水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基を表す。
及びnは0乃至4までの整数を表す。
乃至Xは窒素原子、硫黄原子、酸素原子または炭素原子を表し、当該炭素原子は、置換基を有してもよい。
Ar及びArは置換あるいは無置換のアリール基、または置換あるいは無置換の複素環基からそれぞれ独立に選ばれる。Ar及びArが複数ある場合はそれぞれ同じでも異なってもよく、Ar及びArはXあるいはXが炭素原子の場合、互いに結合して環を形成してもよい。
はハロゲン原子、シアノ基、置換あるいは無置換のヘテロアリール基または以下の一般式[1-1]乃至[1-9]で表される置換基のいずれかを表す。
一般式[1-1]乃至[1-9]において、R521乃至R588は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。
Figure 0007102114000004
一般式[1]で表される有機化合物の中でも、Arが置換あるいは無置換のアリール基、または置換あるいは無置換の複素環基であることが好ましい。当該複素環基の複素原子は窒素であることが好ましい。Xが硫黄または酸素原子であることが好ましい。nは1であり、nは0であることが好ましい。Arはnが0であるため、単結合を表す。
第一の有機化合物は、下記一般式[2]であってもよい。
Figure 0007102114000005
一般式[2]においてR20乃至R29は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。R20乃至R29のうちの隣り合う2つは互いに結合して環を形成してもよい。
第一の有機化合物は、下記一般式[3]乃至[5]のいずれかであってもよい。
Figure 0007102114000006
一般式[3]乃至[5]において、Mは金属原子を表す。当該金属原子は酸素原子またはハロゲン原子を置換基として有してもよい。
乃至Lは金属Mに配位する配位子を表す。当該配位子は、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基からなり、それぞれL乃至Lのうちの隣り合う2つは互いに結合して環を形成してもよい。
ここで環を形成するとは、形成する環構造を限定しない。例えば、5員環を縮環させても、6員環を縮環させても、7員環を縮環させてもよい。縮環する環構造は、芳香環であっても、脂環構造であってもよい。以下本明細書において、環を形成してよいとは、特に言及しない限り同じ意味で用いられる。
一般式[3]乃至[5]において、Mがイリジウムである場合は、6配位錯体であることが好ましい。Mがプラチナ、バナジウム、コバルト、ガリウム、チタンである場合は、4配位錯体であることが好ましい。当該配位数とすることで錯体の安定性が高いためである。
一般式[2]は、より具体的には以下の一般式[11]乃至[27]のいずれかで表わすことができる。
Figure 0007102114000007
Figure 0007102114000008
一般式[11]乃至[27]において、R31乃至R390は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。
上記一般式[1]及び[2]、一般式[1-1]乃至[1-9]、一般式[11]乃至[27]の置換基の具体例を以下に示す。
ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、フッ素原子であることが好ましい。
アルキル基は、炭素原子数1乃至10のアルキル基が好ましい。例えば、メチル基、エチル基、ノルマルプロピル基、イソプロピル基、ノルマルブチル基、ターシャリブチル基、セカンダリブチル基、オクチル基、1-アダマンチル基、2-アダマンチル基などが挙げられる。アルキル基は、炭素原子数1乃至4のアルキル基であってもよい。
アルコキシ基は、炭素原子数1乃至10のアルコキシ基が好ましい。例えば、メトキシ基、エトキシ基、ノルマルプロピオキシ基、イソプロピオキシ基、ノルマルブトキシ基、ターシャリブトキシ基、セカンダリブトキシ基、オクトキシ基などが挙げられる。アルコキシ基は炭素原子数1乃至4のアルコキシ基であってもよい。
アリール基は、炭素原子数6乃至20のアリール基が好ましい。例えば、フェニル基、ナフチル基、インデニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フルオレニル基、アントラセニル基、ピレニル基、フルオランテニル基、ペリレニル基などが挙げられ。特に、フェニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フルオレニル基、ナフチル基が分子量は低く、化合物の昇華性を考慮すると好ましい。
複素環基は、炭素原子数3乃至15の複素環基が好ましい。例えば、ピリジル基、ピラジル基、トリアジル基、チエニル基、フラニル基、ピロリル基、オキサゾリル基、オキサジアゾリル基、チアゾリル基、チアジアゾリル基、カルバゾリル基、アクリジニル基、フェナントロリル基、ベンゾチオフェニル基、ジベンゾチオフェニル基、ベンゾチアゾリル基、ベンゾアゾリル基、ベンゾピロリル基などが挙げられる。複素環基が有する複素原子は、窒素が好ましい。
アミノ基は、アルキル基、アリール基を置換基として有するアミノ基が好ましい。例えば、N-メチルアミノ基、N-エチルアミノ基、N,N-ジメチルアミノ基、N,N-ジエチルアミノ基、N-メチル-N-エチルアミノ基、N-ベンジルアミノ基、N-メチル-N-ベンジルアミノ基、N,N-ジベンジルアミノ基、アニリノ基、N,N-ジフェニルアミノ基、N,N-ジナフチルアミノ基、N,N-ジフルオレニルアミノ基、N-フェニル-N-トリルアミノ基、N,N-ジトリルアミノ基、N-メチル-N-フェニルアミノ基、N,N-ジアニソリルアミノ基、N-メシチル-N-フェニルアミノ基、N,N-ジメシチルアミノ基、N-フェニル-N-(4-ターシャリブチルフェニル)アミノ基、N-フェニル-N-(4-トリフルオロメチルフェニル)アミノ基等が挙げられる。アミノ基が置換基として有するアルキル基やアリール基は、上記の置換基の例示で示された通りである。
一般式[1]及び[2]、一般式[1-1]乃至[1-9]、一般式[11]乃至[27]におけるアルキル基、アリール基、複素環基、アミノ基、ビニル基、アリール基が有する置換基は以下の置換基が挙げられる。当該置換基は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などの炭素原子数1乃至4のアルキル基、ベンジル基などのアラルキル基、フェニル基、ビフェニル基などのアリール基、ピリジル基、ピロリル基などの窒素原子を複素原子とする複素環基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジベンジルアミノ基、ジフェニルアミノ基、ジトリルアミノ基などのアミノ基、メトキシル基、エトキシル基、プロポキシル基、フェノキシル基などのアルコキシル基、1,3-インダンジオニル基、5,-フルオロ-1,3-インダンジオニル基、5,6-ジフルオロ-1,3-インダンジオニル基、5,6-ジシアノ-1,3-インダンジオニル基、5-シアノ-1,3-インダンジオニル基、シクロペンタ[b]ナフタレン-1,3(2H)-ジオニル基、フェナレン-1,3(2H)-ジオニル基、1,3-ジフェニル-2,4,6(1H,3H,5H)-ピリミジントリオニル基などの環状ケトン基、シアノ基、ハロゲン原子などが挙げられる。ハロゲン原子はフッ素、塩素、臭素、ヨウ素などであり、フッ素原子が好ましい。
一般式[3]乃至[5]について配位子L乃至Lの具体例を以下に示す。
配位子L乃至Lは置換あるいは無置換のアリール基と置換あるいは無置換の複素環基から選ばれる置換基を複数結合させた配位子である。
配位子を構成するアリール基として、フェニル基、ナフチル基、インデニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フルオレニル基、アントラセニル基、ピレニル基、フルオランテニル基、ペリレニル基などが挙げられるが、もちろんこれらに限定されるものではない。
配位子を構成する複素環基として、ピリジル基、ピラジル基、トリアジル基、チエニル基、フラニル基、ピロリル基、オキサゾリル基、オキサジアゾリル基、チアゾリル基、チアジアゾリル基、カルバゾリル基、アクリジニル基、フェナントロリル基、ベンゾチオフェニル基、ジベンゾチオフェニル基、ベンゾチアゾリル基、ベンゾアゾリル基、ベンゾピロリル基などが挙げられるが、もちろんこれらに限定されるものではない。
一般式[3]乃至[5]における配位子が有する置換基、即ちアリール基及び複素環基が有する置換基は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などの炭素原子数1乃至4のアルキル基、ベンジル基などのアラルキル基、フェニル基、ビフェニル基などのアリール基、ピリジル基、ピロリル基などの窒素原子を複素原子とする複素環基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジベンジルアミノ基、ジフェニルアミノ基、ジトリルアミノ基などのアミノ基、メトキシル基、エトキシル基、プロポキシル基、フェノキシル基などのアルコキシル基、1,3-インダンジオニル基、5,-フルオロ-1,3-インダンジオニル基、5,6-ジフルオロ-1,3-インダンジオニル基、5,6-ジシアノ-1,3-インダンジオニル基、5-シアノ-1,3-インダンジオニル基、シクロペンタ[b]ナフタレン-1,3(2H)-ジオニル基、フェナレン-1,3(2H)-ジオニル基、1,3-ジフェニル-2,4,6(1H,3H,5H)-ピリミジントリオニル基などの環状ケトン基、シアノ基、ハロゲン原子などが挙げられる。ハロゲン原子はフッ素、塩素、臭素、ヨウ素などであり、フッ素原子が好ましい。
配位子は、ヒドロキシ基やカルボキシル基等を置換基として有し、ヒドロキシ基やカルボキシル基を介して金属原子結合してもよい。
一般式[1]は、下記の一般式[28]で表される構造を有することが好ましい。
Figure 0007102114000009
391乃至R396は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。R391乃至R396のうちの隣接する2つは、互いに結合して環を形成してもよい。特にR394とR395とが結合して環を形成するのが好ましい。
また一般式[28]で表される有機化合物は、吸収ピーク波長が522nm以上600nm以下において強い吸収を持つ材料である。この波長領域に吸収ピークを有するとは、前述の通り、光電変換層がパンクロマティック性を有するために好ましい。
以下に第一の有機化合物の具体例を示す。
Figure 0007102114000010
Figure 0007102114000011
Figure 0007102114000012
Figure 0007102114000013
例示化合物1-1乃至1-24は、含硫黄原子を含む5員環複素環基を中心に持つ化合物群である。当該複素環基を有し、Zが電子吸引性の置換基である化合物は、化合物のHOMO準位が低い化合物である。その結果、ΔEを大きくすることができ、暗電流の原因となる熱電子の発生が抑制される。
例示化合物1-1乃至1-24の中でも、Ar1またはAr2を有する有機化合物は、排除体積が大きくなるので、他の分子との接触の確率が低い。このためアクセプター材料が近づきづらくなり、熱励起による電子の受け渡しが発生しにくい。このため、暗電流を低減できる。
例示化合物2-1乃至2-56は、フルオランテン骨格を中心に持つ化合物群である。フルオランテン骨格は電子吸引性であるので暗電流の原因となる熱電子の発生が抑制されるため、第一の有機化合物として好ましい。
例示化合物3-1乃至3-14は、金属原子を中心とする錯体化合物群である。各配位子には電子吸引性を持つ部位として複素環化合物が含まれることで暗電流の原因となる熱電子の発生が抑制されるため、第一の有機化合物として好ましい。
第一の有機化合物は、酸化電位が0.65V以上であることが好ましい。
光電変換層は、第二の有機化合物としてフラーレンまたはフラーレン誘導体を有してよい。フラーレンまたはフラーレン誘導体はn型有機半導体として機能してよい。
フラーレンまたはフラーレン誘導体分子が光電変換層において連なることで、電子の輸送経路が形成される。そのため、電子輸送性が向上し、光電変換素子の高速応答性が向上する。
フラーレンまたはフラーレン誘導体の含有量は、第一の有機化合物と第二の有機化合物との合計を100重量%とした場合、光電変換効率を考慮すると、40重量%以上85重量%以下であってよい。
フラーレンまたはフラーレン誘導体は、例えば、フラーレンC60、フラーレンC70、フラーレンC76、フラーレンC78、フラーレンC80、フラーレンC82、フラーレンC84、フラーレンC90、フラーレンC96、フラーレンC240、フラーレン540、ミックスドフラーレン、フラーレンナノチューブ等が挙げられる。
フラーレン誘導体は、置換基を有してもよい。この置換基は、アルキル基、アリール基、複素環基が挙げられる。
フラーレン誘導体は、フラーレンC60が好ましい。
光電変換層は、非発光であることが好ましい。非発光とは、可視光領域(波長400nm~730nm)において発光量子効率が1%以下、好ましくは0.5%以下、より好ましくは0.1%以下である。光電変換層の発光量子効率が1%以内であれば、センサや撮像素子に適用した場合であっても、センシング性能又は撮像性能に与える影響が小さいため、撮像素子として好ましい。
本発明に係る光電変換素子は、アノード電極と光電変換層との間にさらに正孔ブロック層を有してもよい。正孔ブロック層は、アノード電極から光電変換層へ正孔が流れ込むことを抑制する層であり、イオン化ポテンシャルが高いことが好ましい。
本発明に係る光電変換素子は、カソード電極と光電変換層との間にさらに電子ブロック層を有してもよい。電子ブロック層は、カソード電極から光電変換層へ電子が流れ込むことを抑制する層であり、電子親和力あるいはLUMO(最低非占有軌道エネルギー)が小さいことが好ましい。
図2は、本実施形態に係る光電変換素子の一例を示す断面模式図である。光電変換素子には、光を電荷に変換する光電変換層1が、一対の電極である、アノード電極4とカソード電極5との間に配置されている。アノード電極の上には保護層7、波長選択部8、マイクロレンズ9が配置されている。カソード電極には、読み出し回路6が接続されている。
一対の電極のうち基板に近い電極を下部電極と呼び、基板から遠い電極を上部電極と呼ぶことがある。下部電極はアノード電極であっても、カソード電極であってもよい。下部電極は、反射率が高い電極であってよい。電極が反射率の高い材料で構成されてもよいし、電極層に加えて反射層を有してもよい。
本発明に係る光電変換素子は、基板を有してよい。基板は、例えば、シリコン基板、ガラス基板、フレキシブル基板等を用いることができる。
本発明に係る光電変換素子が有するカソード電極は、光電変換層で発生した電荷のうちの正孔を捕集する電極である。一方、アノード電極は、光電変換層で発生した電荷のうち電子を捕集する電極である。カソード電極およびアノード電極を構成する材料は導電性が高く、透明性を有していれば制限されない。カソード電極とアノード電極とを構成する材料は同じであっても異なってもよい。
電極の材料は、具体的には、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属硼化物、有機導電性化合物、これらの混合物等が挙げられ、更に具体的には、アンチモンやフッ素等をドープした酸化錫(ATO、FTO)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の導電性金属酸化物、金、銀、クロム、ニッケル、チタン、タングステン、アルミ等の金属及びこれらの金属の酸化物や窒化物などの導電性化合物(一例として窒化チタン(TiN)を挙げる)、更にこれらの金属と導電性金属酸化物との混合物又は積層物、ヨウ化銅、硫化銅などの無機導電性物質、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールなどの有機導電性材料、及びこれらとITO又は窒化チタンとの積層物などが挙げられる。電極として特に好ましい材料は、窒化チタン、窒化モリブデン、窒化タンタル、窒化タングステンが挙げられる。
本発明に係る光電変換素子が有する正孔または電子の捕集電極は、光電変換層で発生した電荷のいずれかを捕集する電極である。下部にある捕集電極は、撮像素子の構成においては画素電極であってよい。画素電極がカソードまたはアノードであることは、素子構成や下地の回路構成によって決められる。例えば基板上に基板/アノード電極/光電変換層/カソード電極の順でもよいし、基板/カソード電極/光電変換層/アノード電極の順でもよい。
電極を形成する方法は、電極材料との適正を考慮して適宜選択することができる。具体的には、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式、CVD、プラズマCVD法等の化学的方式等により形成することができる。
電極がITOの場合、電子ビーム法、スパッタリング法、抵抗加熱蒸着法、化学反応法(ゾルーゲル法など)、酸化インジウムスズの分散物の塗布などの方法で形成することができる。更に、形成されたITOに、UV-オゾン処理、プラズマ処理などを施すことができる。電極がTiNの場合、反応性スパッタリング法をはじめとする各種の方法が用いられ、更にアニール処理、UV-オゾン処理、プラズマ処理などを施すことができる。
薄膜封止層として特に限定されるものではないが、無機材料により構成される。具体的には、酸化シリコン、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、アルミニウム酸化物などが挙げられる。酸化シリコン、窒化シリコン、窒化酸化シリコンは、スパッタリング法、CVD法により形成することができ、アルミニウム酸化物は、ALD法(原子層堆積法)により形成することができる。
封止層の封止性能は、水透過率が、10-5g/m・day以下であればよい。封止層の層厚は特に限定されるものではないが、封止性能の観点から0.5μm以上であることが好ましい。一方で封止性能を保てるならば薄い方がよく、1μm以下であることが特に好ましい。
薄膜封止層が薄い方が好ましい理由は、撮像素子として用いる場合に、光電変換層からのカラーフィルタまでの距離が短いほど混色を低減させる効果があるためである。
光電変換素子を作製する場合は、アニール工程を有することが好ましい。アニール温度は限定されないが、アニール温度の条件は150℃以上190℃以下であってよい。アニール温度は、アニール時間との兼ね合いで適宜決定してされる。
[実施形態に係る撮像素子]
本実施形態に係る撮像素子は、複数の画素を有し、画素は、本発明に係る光電変換素子と、光電変換素子に接続されている読み出しトランジスタを有する。
複数の画素は、複数の行および複数の列を含む行列に配置されてよい。画素は、それぞれ信号処理回路に接続されてよい。信号処理回路は、各画素からの信号を受け取ることで、画像を得ることができる。
読み出しトランジスタは、光電変換素子において生じた電荷に基づく信号を転送するトランジスタである。
信号処理回路は、CMOSセンサやCCDセンサであってよい。
撮像素子は、光フィルタを、例えばカラーフィルタを有してもよい。光電変換素子が、特定の波長の光に対応している場合、光電変換素子に対応したカラーフィルタを有することが好ましい。カラーフィルタは、1つの受光画素に1つのカラーフィルタを設けても、複数の受光画素に1つのカラーフィルタを設けてもよい。
光フィルタは、カラーフィルタの他にも、赤外線以上の波長を透過するローパスフィルタ、紫外線以下の波長を透過するUVカットフィルタ等が挙げられる。
撮像素子は、マイクロレンズ等の光学部材を有してもよい。マイクロレンズは、外部からの光を光電変換部に集光するレンズである。マイクロレンズは、1つの受光画素に1つのマイクロレンズを設けてもよいし、複数の受光画素に対応する1つのマイクロレンズを設けてもよい。受光画素が複数設けられている場合は、複数の受光画素のそれぞれに1つずつマイクロレンズが設けられることが好ましい。
本発明に係る撮像素子は、撮像装置に用いることができる。撮像装置は、複数のレンズを有する撮像光学系と、撮像光学系を通過した光を受光する撮像素子と、を有する。また、撮像装置は、撮像素子と、撮像素子を収容する筐体と、を有し、筐体は撮像光学系と接合可能な接合部を有してよい。撮像装置はより具体的には、デジタルカメラまたはデジタルスチルカメラである。
また、撮像装置は、外部からの信号をする受信部をさらに有してもよい。受信部が受信する信号は、撮像装置の撮像範囲、撮像の開始、撮像の終了の少なくともいずれかを制御する信号である。また、撮像装置は、取得した画像を外部に送信する送信部をさらに有してもよい。取得した画像は例えば、撮像した画像、他の機器から送信された画像が挙げられる。
受信部や送信部を有することで、ネットワークカメラとして用いることができる。
図3は、本発明に係る光電変換装置を含む画素の回路図である。光電変換装置10は、nodeAで共通配線19に接続される。共通配線はグランドに接続されてよい。
画素18は、光電変換素子10と、光電変換部で生じた信号を読み出すための読み出し回路を含んでよい。読み出し回路は、例えば光電変換素子と電気的に接続した転送トランジスタ11、光電変換素子10と電気的に接続されたゲート電極を有する増幅トランジスタ13、情報が読み出される画素を選択する選択トランジスタ14、光電変換素子にリセット電圧を供給するリセットトランジスタ12を含んでよい。
転送トランジスタ11は、pTXでその転送を制御されてよい。リセットトランジスタは、pRESで電圧の供給を制御されてよい。選択トランジスタはpSELで選択または非選択の状態となる。
転送トランジスタ11、リセットトランジスタ12、増幅トランジスタ13は、nodeBで接続されている。構成によっては転送トランジスタを有さなくてもよい。
リセットトランジスタはnodeBの電位をリセットする電圧を供給するトランジスタである。リセットトランジスタのゲートにpRESを印加することで電圧の供給を制御できる。構成によってはリセットトランジスタを有さなくてもよい。
増幅トランジスタは、nodeBの電位に応じた電流を流すトランジスタである。増幅トランジスタは信号を出力する画素を選択する選択トランジスタ14に接続されている。選択トランジスタは、電流源16、列出力部15に接続されており、列出力部15は信号処理部に接続されてよい。
選択トランジスタ14は、垂直出力信号線17に接続されている。垂直出力信号線17は、電流源16、列出力部15に接続されている。
図4は、本発明に係る撮像素子を表わす図である。撮像素子20は、複数の画素が2次元に配置されている撮像領域25と、周辺領域26とを有する。撮像領域以外領域は周辺領域である。周辺領域には、垂直走査回路21、読み出し回路22、水平走査回路23、出力アンプ24を有し、出力アンプは信号処理部27に接続されている。信号処理部は、読み出し回路に読み出された情報により信号処理を行う信号処理部であり、CCD回路、CMOS回路等が挙げられる。
読み出し回路22は、例えば、列アンプ、CDS回路、加算回路等を含み、垂直走査回路21によって選択された行の画素から垂直信号線を介して読み出された信号に対して増幅、加算等を行う。列アンプ、CDS回路、加算回路等は、例えば、画素列又は複数の画素列毎に配置される。水平走査回路23は、読み出し回路22の信号を順番に読み出すための信号を生成する。出力アンプ24は、水平走査回路23によって選択された列の信号を増幅して出力する。
以上の構成は、光電変換装置の一つの構成例に過ぎず、本実施形態は、これに限定されるものではない。読み出し回路22と水平走査回路23と出力アンプ24とは、2系統の出力経路を構成するため、撮像領域25を挟んで上下に1つずつ配置されている。しかし、出力経路は3つ以上設けられていてもよい。各出力アンプから出力された信号は信号処理部で画像信号として合成される。
[第一の有機化合物の酸化電位の測定]
酸化電位などの電気化学特性の評価は、サイクリックボルタンメトリー(CV)によって行うことができる。
CV測定サンプルは、0.1Mテトラブチルアンモニウム過塩素酸塩のオルトジクロロベンゼン溶液10mLに第一の有機化合物を1mg程度溶解させ、窒素による脱気処理を行うことにより調製した。CV測定には三電極法を用い、各電極には、非水溶媒系Ag/Ag参照電極、直径0.5mm、長さ5cmの白金カウンター電極、内径3mmのガラス状カーボン作用電極(いずれもビー・エー・エス株式会社製)を用いた。電気化学測定装置にはALS社製のモデル660C、電気化学アナライザーを用いた。測定の挿引速度は、0.1V/sとした。図5は、化合物の酸化電位および還元電位を決定するサイクリックボルタモグラムの一例である。サイクリックボルタモグラムのピーク値から酸化電位および還元電位を見積もることができる。本明細書においては、酸化電位はEox、還元電位はEredと記す。
表1は、第一の有機化合物の例示化合物の酸化電位である。
Figure 0007102114000014
[実施例1]
本実施例では、ΔE≧1.5Vとなる第一の有機化合物と第二の有機化合物との組み合わせを用いて光電変換素子を作製した。作製した光電変換素子を用いて暗電流を測定した。
本実施例において、Si基板の上に光電変換素子を形成した。光電変換素子は、カソード電極、電子ブロック層、光電変換層、正孔ブロック層、アノード電極が順次形成されている。
本実施例において、光電変換素子は以下の工程により作製した。
まず、配線層、絶縁層、が積層されており各画素に対応する箇所に配線層からコンタクトホールが絶縁層に開口を設けて導通可能なように形成されているSi基板を準備した。このコンタクトホールは、基板端のパッド部と配線によって接続されている。このコンタクトホール部に重なるようにIZO電極をスパッタリング法で形成した。パターニングを行い3mmとなるIZO電極(カソード電極)を形成した。このときIZO電極の膜厚を100nmとした。
上記IZO電極上に、有機化合物層を真空蒸着法で形成した。層構成、層厚は下記表2の通りである。次にアノード電極として、IZOをスパッタリング法で形成した。アノード電極の厚さは30nmとした。
光電変換素子の層構成を表2に示す。
Figure 0007102114000015
なお、表2は、下部電極であるカソードが表の下側になるよう記載したものである。
電子ブロック層には以下の化合物(d-1)を用いた。
Figure 0007102114000016
光電変換層の第一の有機化合物には例示化合物1-1乃至3-14、正孔ブロック層にはフラーレンC60(d-2)、およびC70(d-3)と下記の有機化合物(d-4)のいずれかを用いた。
Figure 0007102114000017
なお、d-2,d-3、d-4の還元電位は表3の通りである。
Figure 0007102114000018
上部電極を形成後、ガラスキャップと紫外線効果樹脂を使って中空封止を行った。このようにして得られた素子は170℃のホットプレート上で封止面を上向きとして1時間程度アニールした。
得られた素子について、光電変換素子の特性を測定・評価した。素子に5V印加時の電流を確認したところ、いずれの素子でも明所での電流値が暗所での電流値の10倍以上の値であるため光電変換素子が機能していることを確認した。
光電変換素子の暗電流の測定においては、60℃の恒温槽内に保持し半導体パラメータアナライザー(Agilent社4155C)に配線されたプロバーを電極にコンタクトさせて測定した。
暗電流評価の基準は以下の通りとした。
A:100pA/cm未満
B:100pA/cm以上1000pA/cm未満
C:1000pA/cm以上2000pA/cm未満
D:2nA/cm以上10nA/cm未満
E:10nA/cm以上
A~Cは良好、D,Eは不良とした。
実施例1の光電変換素子の暗電流評価はCであった。例えば、10μm角の画素とした場合の面積は1.0×10-6cmである。この光電変換素子を撮像素子に用いた場合、低暗電流の撮像素子を得ることができる。この低暗電流特性が撮像素子のノイズの低減につながる。
[実施例2乃至47]
第一の有機化合物及び第二の有機化合物の組み合わせを表4に示す組み合わせとする以外は、実施例1と同様に光電変換素子を作製した。実施例1乃至47の結果を下記表4に示す。
Figure 0007102114000019
[比較例1乃至16]
第一の有機化合物と第二の有機化合物の組み合わせを表5の組み合わせとする以外は実施例1と同様に光電変換素子を作製した。表5の化合物の組み合わせは、ΔE<1.5Vの組み合わせである。作製した光電変換素子を実施例1と同様の測定法で暗電流評価を行った。
Figure 0007102114000020
ΔEが1.5V以上の光電変換素子はいずれの組み合わせの素子の暗電流でも評価C以上結果であり低い暗電流特性が得られた。
[実施例48]
実施例2に用いた例示化合物1-7について、混合濃度を20重量%から30重量%まで2.5重量%ずつ変化させた際の暗電流の変化を表6に示す。
Figure 0007102114000021
表6より、第一の有機化合物の濃度は、35重量%未満が好ましく、27.5重量%以下であることより好ましい。下限濃度については、本発明において限定されるものではなく、たとえば必要な吸収率が得られる濃度であればよい。
[実施例49-52、比較例17]
構成材料および層厚を表7とした以外は、実施例1と同様にして光電変換素子を作製した。第一の有機化合物は、表8に記載の例示化合物、下記の比較化合物(e-1)を用いた。表7では、第一の有機化合物と記載している。それぞれの素子の暗電流を測定し、相対評価を行った。比較化合物(e-1)の構造は下記の通りである。化合物e-1の酸化電位は0.92Vであった。
Figure 0007102114000022
Figure 0007102114000023
Figure 0007102114000024
ΔE≧1.5Vとするのみならず、一般式[1]で表される有機化合物を第一の有機化合物として用いることで暗電流を低減することができる。
[実施例53、比較例18]
一般式[28]で記載の部分構造を有する第一の有機化合物について、下記例示化合物の最大吸収ピーク波長とモル吸光係数を示す。最大吸収ピーク波長は、吸収係数が最も大きいピークの波長を指す。測定は、第一の有機化合物がmol/Lのクロロホルム溶液を作製し、分光光度計(日本分光Ubest-550)にて吸収スペクトルを測定した。測定結果より、最大吸収ピーク波長と吸光度を求め。その吸光度からランベールト・ベール則に従ってモル吸光係数を求めた。
Figure 0007102114000025
実施例53と比較例18より、一般式[28]で示される化合物は、可視域においてパンクロマティックな吸収帯を得るのに適した吸収ピークと、モル吸光係数40000以上の強い吸収が得られることが分かる。強い吸収は、高い外部量子収率につながるため光電変換素子として重要な因子である。
[実施例54]
封止層にCVD法による窒化珪素層を用いた以外は、実施例1と同様にして光電変換素子を作製した。窒化珪素層は1μmの層厚で形成した。この素子に365nmのLED光を1W/cmの強度で24h照射して耐久性を評価した。
形成したSiN(1μm)の365nmの吸収率は75%であった。この素子は24h後においても、暗電流の値は変化しなかった。
一方、実施例1で作製した光電変換素子は、24時間の光照射後に約10%程度暗電流が上昇した。ガラスキャップは紫外線を吸収率がSiNよりも小さいためである。これを考慮すると、紫外線の吸収可能な材質により封止層を設けることが好ましい。
[実施例55]
実施例1において作製した光電変換素子を用いて、暗電流の温度依存性を測定した。図6は、実施例1の光電変換素子のアレニウスプロットである。縦軸は、60℃における暗電流値で規格化した暗電流値である。縦軸の目盛は常用対数である。横軸は絶対温度の逆数である。60℃付近から高温側に向かって傾きの絶対値が大きくなる。この傾きから次式(5)に従い活性化エネルギーを求めた。
Figure 0007102114000026
ここで、T:絶対温度、k:ボルツマン定数、E:活性化エネルギー、J:温度Tでの電流値、J:頻度因子である。この傾きから暗電流の活性化エネルギーは0.84eVと求めた。
[実施例56]
実施例55の方法と同様にして、実施例2、6、12、34、比較例6において作製した光電変換素子について活性化エネルギーを求めて、対応するΔEに対してプロットしたのが図7である。ΔEが大きいほど、活性化エネルギーが大きくなる傾向がわかる。図7より、ΔEが1.5V以上となることで、活性化エネルギーが大きいことがわかる。これは、ΔEが1.5V以上である場合、熱励起による電荷発生確率が低下することを指す。ここで、活性化エネルギーと暗電流の評価との関係を表10に示す。表に示す通り、活性化エネルギーが、0.70eV以上の場合、暗電流の評価がC以上となる。
すなわち、光電変換層における暗電流の活性化エネルギーが0.70eV以上であることが暗電流を低減するために好ましい。
Figure 0007102114000027
以上のことから本発明に係る光電変換素子は、暗電流が低減された光電変換素子である。これを有する撮像素子は、光電変換素子部に由来する暗電流ノイズが少ないので好ましい。
1 光電変換層
2 正孔ブロック層
3 電子ブロック層
4 アノード電極
5 カソード電極
6 読み出し回路
7 保護層
8 カラーフィルタ
9 マイクロレンズ

Claims (13)

  1. 下部電極と、上部電極と、前記下部電極と前記上部電極との間に配置されている光電変換層と、を有する光電変換素子であって、
    前記光電変換層は第一の有機化合物と第二の有機化合物とを有し、前記第一の有機化合物の酸化電位は、前記第二の有機化合物の酸化電位よりも小さく、下記式(A)であらわされるΔEが、下記式(B)を満たし、
    ΔE=第一の有機化合物の酸化電位-第二の有機化合物の還元電位 (A)
    ΔE≧1.5 [V] (B)
    前記第一の有機化合物が下記一般式[28]で表される化合物であることを特徴とする光電変換素子。
    Figure 0007102114000028

    一般式[28]において、Rは水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基を表す。
    391乃至R396は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。R391乃至R396のうちの隣接する2つは、互いに結合して環を形成してもよい。ただし、前記R 394 と前記R 395 とは結合して環を形成している。
    はハロゲン原子、シアノ基、置換あるいは無置換のヘテロアリール基または以下の一般式[1-1]乃至[1-9]で表される置換基のいずれかを表す。
    一般式[1-1]乃至[1-9]において、R521乃至R588は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。
    Figure 0007102114000029
  2. 下部電極と、上部電極と、前記下部電極と前記上部電極との間に配置されている光電変換層と、を有する光電変換素子であって、
    前記光電変換層は第一の有機化合物と第二の有機化合物とを有し、前記第一の有機化合物の酸化電位は、前記第二の有機化合物の酸化電位よりも小さく、下記式(A)であらわされるΔEが、下記式(B)を満たし、
    ΔE=第一の有機化合物の酸化電位-第二の有機化合物の還元電位 (A)
    ΔE≧1.5 [V] (B)
    前記第一の有機化合物が、以下の構造式で表されることを特徴とする光電変換素子。
    Figure 0007102114000030
  3. 前記光電変換層における暗電流の活性化エネルギーが、0.70eV以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換素子。
  4. 前記第一の有機化合物の吸収ピーク波長は、530nm以上であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の光電変換素子。
  5. 前記第一の有機化合物の酸化電位が、0.65V以上であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の光電変換素子。
  6. 前記第二の有機化合物がフラーレン誘導体であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の光電変換素子。
  7. 前記フラーレン誘導体が、フラーレンC60であることを特徴とする請求項に記載の光電変換素子。
  8. 前記上部電極の上に封止層を有することを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の光電変換素子。
  9. 複数の画素と、前記画素に接続されている信号処理回路と、を有する撮像素子であって、
    前記画素は、請求項1乃至のいずれか一項に記載の光電変換素子と、前記光電変換素子に接続されている読み出し回路とを有することを特徴とする撮像素子。
  10. 複数のレンズを有する光学部と、前記光学部を透過した光を受光する撮像素子とを有し、
    前記撮像素子は、請求項に記載の撮像素子であることを特徴とする撮像装置。
  11. 外部からの信号を受信する受信部をさらに有することを特徴とする請求項10に記載の撮像装置。
  12. 前記信号は、前記撮像装置の撮像範囲、撮像の開始、撮像の終了の少なくともいずれかを制御する信号であることを特徴とする請求項11に記載の撮像装置。
  13. 取得した画像を外部に送信する送信部をさらに有することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載の撮像装置。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7224813B2 (ja) * 2018-08-31 2023-02-20 キヤノン株式会社 有機化合物、有機発光素子、表示装置、撮像装置、電子機器、照明装置及び移動体
US20220181568A1 (en) * 2019-03-28 2022-06-09 Sony Group Corporation Solid-state imaging element, method for manufacturing solid-state imaging element, photoelectric conversion element, imaging device, and electronic apparatus
DE112020001564T5 (de) * 2019-03-28 2021-12-16 Sony Group Corporation Festkörper-bildgebungselement, verfahren zum herstellen eines festkörper-bildgebungselements und festkörper-bildgebungseinrichtung
JP2021070676A (ja) * 2019-11-01 2021-05-06 キヤノン株式会社 有機化合物及び有機発光素子
CN112174839A (zh) * 2020-11-05 2021-01-05 四川大学华西医院 一种脂滴特异性标记的荧光探针及其合成方法和应用

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001064640A (ja) 1999-08-30 2001-03-13 Toyo Ink Mfg Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子用材料およびそれを使用した有機エレクトロルミネッセンス素子
US20050110007A1 (en) 2003-11-26 2005-05-26 Forrest Stephen R. Multilayer organic photodetectors with improved performance
JP2009290091A (ja) 2008-05-30 2009-12-10 Idemitsu Kosan Co Ltd 有機薄膜太陽電池用材料及びそれを用いた有機薄膜太陽電池
JP2010147158A (ja) 2008-12-17 2010-07-01 Mitsubishi Electric Corp 半導体受光素子および半導体受光素子の製造方法
JP2010183060A (ja) 2008-10-15 2010-08-19 Fujifilm Corp 光電変換素子及び撮像素子
JP2010219212A (ja) 2009-03-16 2010-09-30 Konica Minolta Holdings Inc 有機エレクトロニクス素子、有機光電変換素子、及び有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2011077198A (ja) 2009-09-29 2011-04-14 Fujifilm Corp 光電変換素子、光電変換素子材料、光センサ、及び撮像素子
JP2012188355A (ja) 2011-03-08 2012-10-04 Canon Inc 新規有機化合物およびそれを有する有機発光素子

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002502120A (ja) * 1998-02-02 2002-01-22 ユニアックス コーポレイション 有機半導体製画像センサ
KR20010040510A (ko) * 1998-02-02 2001-05-15 유니액스 코포레이션 전환가능한 감광성을 가진 유기 다이오드
CN101069298A (zh) * 2004-08-30 2007-11-07 国立大学法人京都大学 有机半导体发光装置以及使用了该发光装置的显示装置
JP2008066402A (ja) * 2006-09-05 2008-03-21 Fujifilm Corp 撮像素子および撮像装置
JP4894921B2 (ja) * 2007-05-24 2012-03-14 コニカミノルタホールディングス株式会社 放射線検出器、放射線検出器の製造方法及び支持基板の製造方法
US8729387B2 (en) * 2008-08-22 2014-05-20 Konica Minolta Holdings, Inc. Organic photoelectric conversion element, solar cell and optical sensor array
JP5556448B2 (ja) * 2010-07-01 2014-07-23 ソニー株式会社 撮像装置
JP2012084300A (ja) * 2010-10-08 2012-04-26 Konica Minolta Business Technologies Inc 光電変換素子および太陽電池
JP5542249B2 (ja) * 2012-03-28 2014-07-09 富士フイルム株式会社 撮像素子及びこれを用いた撮像装置及び撮像方法
WO2014051007A1 (ja) * 2012-09-28 2014-04-03 富士フイルム株式会社 光電変換素子およびその使用方法、光センサ、撮像素子
FR3011548A1 (fr) * 2013-10-07 2015-04-10 Arkema France Compose organique photoactif
CN105742303B (zh) * 2014-12-26 2020-08-25 松下知识产权经营株式会社 摄像装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001064640A (ja) 1999-08-30 2001-03-13 Toyo Ink Mfg Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子用材料およびそれを使用した有機エレクトロルミネッセンス素子
US20050110007A1 (en) 2003-11-26 2005-05-26 Forrest Stephen R. Multilayer organic photodetectors with improved performance
JP2009290091A (ja) 2008-05-30 2009-12-10 Idemitsu Kosan Co Ltd 有機薄膜太陽電池用材料及びそれを用いた有機薄膜太陽電池
JP2010183060A (ja) 2008-10-15 2010-08-19 Fujifilm Corp 光電変換素子及び撮像素子
JP2010147158A (ja) 2008-12-17 2010-07-01 Mitsubishi Electric Corp 半導体受光素子および半導体受光素子の製造方法
JP2010219212A (ja) 2009-03-16 2010-09-30 Konica Minolta Holdings Inc 有機エレクトロニクス素子、有機光電変換素子、及び有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2011077198A (ja) 2009-09-29 2011-04-14 Fujifilm Corp 光電変換素子、光電変換素子材料、光センサ、及び撮像素子
JP2012188355A (ja) 2011-03-08 2012-10-04 Canon Inc 新規有機化合物およびそれを有する有機発光素子

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
HIRADE, M. et al.,Effects of Intramolecular Donor-Acceptor Interactions on Bimolecular Recombination in Small-Molecule Organic Photovoltaic Cells,THE JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C,2013年02月11日,Vol.117,pp.4986-4991
JEUX, V. et al.,Push-Pull Triphenylamine Chromophore Syntheses and Optoelectronic Characterizations,CHEMPLUSCHEM,2015年02月02日,Vol. 80,pp. 697-703
XU, Z. et al.,Improvement of photovoltaic response based on enhancement of spin-orbital coupling and triplet states in organic solar cells,JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2008年02月27日,Vol.103,pp.043909-1 - 043909-8

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