JP2019099570A - フラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置 - Google Patents

フラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2019099570A
JP2019099570A JP2018223297A JP2018223297A JP2019099570A JP 2019099570 A JP2019099570 A JP 2019099570A JP 2018223297 A JP2018223297 A JP 2018223297A JP 2018223297 A JP2018223297 A JP 2018223297A JP 2019099570 A JP2019099570 A JP 2019099570A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
unsubstituted
substituted
fullerene
chemical formula
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018223297A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7260288B2 (ja
Inventor
寛政 澁谷
Hiromasa Shibuya
寛政 澁谷
石井 寛人
Hiroto Ishii
寛人 石井
崔 容 碩
Yong-Suk Choi
容 碩 崔
豊 松尾
Yutaka Matsuo
豊 松尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2019099570A publication Critical patent/JP2019099570A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7260288B2 publication Critical patent/JP7260288B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15Nano-sized carbon materials
    • C01B32/152Fullerenes
    • C01B32/156After-treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D307/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom
    • C07D307/77Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D307/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom
    • C07D307/77Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D307/93Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems condensed with a ring other than six-membered
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/06Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing organic luminescent materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14665Imagers using a photoconductor layer
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K30/00Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
    • H10K30/30Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising bulk heterojunctions, e.g. interpenetrating networks of donor and acceptor material domains
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic radiation-sensitive element covered by group H10K30/00
    • H10K39/30Devices controlled by radiation
    • H10K39/32Organic image sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/20Carbon compounds, e.g. carbon nanotubes or fullerenes
    • H10K85/211Fullerenes, e.g. C60
    • H10K85/215Fullerenes, e.g. C60 comprising substituents, e.g. PCBM
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K2211/00Chemical nature of organic luminescent or tenebrescent compounds
    • C09K2211/10Non-macromolecular compounds
    • C09K2211/1003Carbocyclic compounds
    • C09K2211/1011Condensed systems
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K2211/00Chemical nature of organic luminescent or tenebrescent compounds
    • C09K2211/10Non-macromolecular compounds
    • C09K2211/1003Carbocyclic compounds
    • C09K2211/1014Carbocyclic compounds bridged by heteroatoms, e.g. N, P, Si or B
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K2211/00Chemical nature of organic luminescent or tenebrescent compounds
    • C09K2211/10Non-macromolecular compounds
    • C09K2211/1018Heterocyclic compounds
    • C09K2211/1025Heterocyclic compounds characterised by ligands
    • C09K2211/1096Heterocyclic compounds characterised by ligands containing other heteroatoms
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K30/00Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
    • H10K30/20Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising organic-organic junctions, e.g. donor-acceptor junctions
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549Organic PV cells

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Furan Compounds (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

【課題】光電素子に適用できる新規なフラーレン誘導体を提供する。【解決手段】本発明によるフラーレン誘導体は、下記に示す化学式1で表される置換基を含む。【化1】化学式1において、X、Ar、R1〜R3は、明細書に定義されたとおりである。【選択図】 図7

Description

本発明は、フラーレン誘導体、フラーレン誘導体を含む光電素子に関し、特に、良好な光学的特性及び電気的特性を有するフラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置に関する。
フラーレン(fullerene)は、カーボンからなるクローズドケージ(closed−cage)構造の分子で、安定な構造及び良好な電気的特性により多様な分野で使用されている。
近年、フラーレンに置換基が結合した多様なフラーレン誘導体が開発されている。
光電素子は、光電効果を利用して光を電気信号に変換させる素子で、光ダイオード及び光トランジスタなどを含み、イメージセンサなどの電子装置に適用され得る。
そこで、光電素子において、高い吸光特性及び良好な電気的特性を有するフラーレン又はその誘導体を含むことができ、そのような素子の開発が課題となり、進められている。
特開2014−159364号公報
本発明は、上記従来の光電素子における課題に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、光電素子に適用できる新規なフラーレン誘導体を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、前記フラーレン誘導体を含む光電素子、及び前記光電素子を含むイメージセンサを提供することにある。
上記目的を達成するためになされた本発明によるフラーレン誘導体は、下記に示す化学式1で表される置換基を含むことを特徴とする。
Figure 2019099570
(ここで、化学式1において、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、Arは、C6〜C30芳香族環であり、R〜R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、は、フラーレンコアとの連結地点であり、但し、Arがベンゼン環の場合、下記に示す化学式2で表され、
Figure 2019099570
ここで、化学式2において、X、R〜Rは、化学式1で定義したとおりであり、
〜Rの内の少なくとも二つは、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基である。)
前記フラーレン誘導体は、昇華による真空蒸着が可能な化合物であることが好ましい。
1Pa以下で熱重量分析(thermogravimetric analysis)時、前記フラーレン誘導体の初期重量対比10%の重量減少が起こる温度は約450℃以下であり、前記フラーレン誘導体の初期重量対比50%の重量減少が起こる温度は約500℃以下であることが好ましい。
前記フラーレン誘導体は、約3.7〜5.0eVのLUMOエネルギー準位及び約5.8〜7.0eVのHOMOエネルギー準位を有することが好ましい。
前記Arは、ベンゼン環又は融合環であることが好ましい。
前記Arは、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ピレン環、又はトリフェニレン環であることが好ましい。
前記フラーレンコアは、C60、C70、C74、C76、又はC78であること。
前記化学式2のR〜Rの内の少なくとも二つは、イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、イソヘキシル基、イソヘプチル基、イソオクチル基、t−ブチル基、t−ペンチル基、t−ヘキシル基、ネオペンチル基、又はネオヘキシル基であることが好ましい。
前記化学式2で表される置換基は、下記に示す化学式3〜8のいずれか一つで表されることが好ましい。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
(ここで、化学式3〜8において、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、R及びRは、それぞれ独立に、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基であり、R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、は、フラーレンコアとの連結地点である。)
前記化学式1で表される置換基は、下記に示す化学式1A〜1Fのいずれか一つで表されることが好ましい。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
(ここで、化学式1A〜1Fにおいて、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、R〜R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、は、フラーレンコアとの連結地点である。)
上記目的を達成するためになされた本発明による薄膜は、本発明のフラーレン誘導体を含むことを特徴とする。
前記薄膜の450nm波長での吸光係数は、非置換のC60フラーレンを含む薄膜の450nm波長での吸光係数より小さいことが好ましい。
前記薄膜の450nm波長での吸光係数は、非置換のC60フラーレンを含む薄膜の450nm波長での吸光係数の1/2以下であることが好ましい。
上記目的を達成するためになされた本発明による光電素子は、互いに対向する第1電極と第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置される有機層と、を有し、前記有機層は、前記化学式1で表されるフラーレン誘導体を含むことを特徴とする。
前記有機層は活性層を含み、前記活性層は、pn接合を形成するp型半導体とn型半導体を含み、前記n型半導体は、前記フラーレン誘導体を含むことが好ましい。
上記目的を達成するためになされた本発明によるイメージセンサは、本発明の光電素子を含むことを特徴とする。
上記目的を達成するためになされた本発明による電子装置は、本発明のイメージセンサを含むことを特徴とする。
上記目的を達成するためになされた本発明による電子装置は、本発明の光電素子を含む電子装置ことを特徴とする。
本発明に係るフラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置によれば、光学的特性及び電気的特性を満足するフラーレン誘導体を提供することにより、それを含む薄膜、光電素子及びこれを含む電子装置の特性を改善することができる。
本発明の一実施形態に係る光電素子の概略構成を示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る有機CMOSイメージセンサを概略的に示す斜視図である。 図2の有機CMOSイメージセンサの概略構成の一例を示す断面図である。 有機CMOSイメージセンサの他の例を示す断面図である。 本発明のさらに他の実施形態に係る有機CMOSイメージセンサを概略的に示す斜視図である。 図5の有機CMOSイメージセンサの概略構成を示す断面図である。 合成例1、2によるフラーレン誘導体と基準例によるフラーレンの吸光特性を示すグラフである。
次に、本発明に係るフラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置を実施するための形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施形態について本技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。しかし、権利範囲は様々な相異なる形態に具現でき、ここで説明する実施形態に限定されない。
図面において、様々な層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。明細書全体にわたって類似した部分には、同一な図面符号を付けた。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の‘上に’あるとするとき、これは、他の部分の‘直上に’ある場合だけではなく、その中間にさらに他の部分がある場合も含む。反対に、ある部分が他の部分の‘直上に’あるとするときには、中間に他の部分がないことを意味する。
図面において、本実施形態を明確に説明するために、説明に不必要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一又は類似した構成要素については、同一な参照符号を付けた。
以下で‘組み合わせ’とは、2以上の混合及び2以上の積層構造を含む。
本明細書で別途の定義がない限り、‘置換’とは、化合物中の水素原子がハロゲン原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、アミノ基、アジド基、アミジノ基、ヒドラジノ基、ヒドラゾノ基、カルボニル基、カルバモイル基、チオール基、エステル基、カルボキシル基やその塩、スルホン酸基やその塩、燐酸やその塩、C1〜C20アルキル基、C2〜C20アルケニル基、C2〜C20アルキニル基、C6〜C30アリール基、C7〜C30アリールアルキル基、C1〜C30アルコキシ基、C1〜C20ヘテロアルキル基、C3〜C20ヘテロアリールアルキル基、C3〜C30シクロアルキル基、C3〜C15シクロアルケニル基、C6〜C15シクロアルキニル基、C3〜C30ヘテロシクロアルキル基、及びこれらの組み合わせから選択された置換基で置換されることを意味する。
本明細書で別途の定義がない限り、‘ヘテロ’とは、一つの作用基中にN、O、S、P、及びSiからなる群より選択されるヘテロ原子を1〜3個含有し、残りは炭素であるものを意味する。
本明細書で別途の定義がない限り、‘アリール基’とは、炭化水素芳香族モイエティを一つ以上有するグループを総括する概念であり、例えばフェニル基、ナフチル基のように炭化水素芳香族モイエティのすべての元素がp−オービタルを有しながら、これらのp−オービタルが共役(conjugation)を形成している形態、例えばビフェニル基、ターフェニル基又はクォーターフェニル基のように2以上の炭化水素芳香族モイエティがシグマ結合を通じて連結された形態、例えばフルオレニル基のように2以上の炭化水素芳香族モイエティが直接又は間接的に融合された非芳香族融合環を含む。
本明細書で別途の定義がない限り、‘ヘテロ環基(heterocyclic group)’とは、ヘテロアリール基を含む上位概念であり、アリール基、シクロアルキル基、これらの融合環又はこれらの組み合わせのような環に炭素(C)の代わりにヘテロ原子を1個以上含むものを意味し、ここでヘテロ原子は例えばN、O、S、P及び/又はSiであってもよいが、これに限定されるものではない。
ヘテロ環が融合環である場合、ヘテロ環基全体又はそれぞれの環ごとにヘテロ原子を1個以上含むことができる。
本明細書で別途の定義がない限り、‘ヘテロアリール基’とは、アリール基内にヘテロ原子を1個以上含むものを意味し、ここで、ヘテロ原子は、例えばN、O、S、P及び/又はSiであってもよいが、これに限定されるものではない。
2以上のヘテロアリール基は、シグマ結合を通じて直接連結されたり、2以上のヘテロ環が互いに融合されてもよい。
ヘテロアリール基が融合環である場合、それぞれの環ごとにヘテロ原子を1〜3個含むことができる。
以下、本発明の一実施形態に係るフラーレン誘導体について説明する。
本発明の一実施形態に係るフラーレン誘導体は、下記に示す化学式1で表される。
Figure 2019099570
(ここで、化学式1において、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、
Arは、C6〜C30芳香族環であり、
〜R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、
は、フラーレンコアとの連結地点であり、
但し、Arがベンゼン環の場合、下記に示す化学式2で表され、
Figure 2019099570
ここで、化学式2において、
X、R乃至Rは化学式1で定義したとおりであり、
〜Rの内の少なくとも二つは、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基である。)
化学式1及び2において、R〜Rは、Arの置換基であり、Rは、1個又は2個以上であり得る。
フラーレン誘導体は、五角環と芳香族環の融合環に置換される構造を有することによって、非置換のフラーレンと比較して立体障害(steric hindrance)を大きくし、パイ共役系(π−conjugation system)を減少させることができる。
そのために、フラーレン誘導体は、非置換のフラーレンと比較して、蒸着時に凝集(aggregation)を減らして成膜特性を改善させることができ、凝集によって発生できる光学特性の変形を減らすことができる。
特に、化学式2で表されるフラーレン誘導体は、複数の分枝型アルキル基を有することによって昇華温度を低くすることができ、そのため、化合物を分解させずに昇華による真空蒸着が可能となる。
フラーレン誘導体は、真空蒸着されることができ、例えば昇華(sublimation)によって真空蒸着することができる。
昇華による真空蒸着は、熱重量分析(thermogravimetric analysis、TGA)によって確認することができ、約1Pa以下の圧力で熱重量分析時、例えば初期重量対比10%の重量減少が起こる温度は約450℃以下であり、初期重量対比50%の重量減少が起こる温度は約500℃以下である。
例えば、フラーレン誘導体は、約1Pa以下の圧力で熱重量分析時に約300℃〜450℃で初期重量対比10重量%の重量減少が起こり、約380℃〜500℃で初期重量対比50重量%の重量減少が起こる。
上記範囲内で例えば、約310℃〜445℃で初期重量対比10重量%の重量減少が起こり、約420℃〜490℃で初期重量対比50重量%の重量減少が起こり、上記範囲内で例えば、約310℃〜425℃で初期重量対比10重量%の重量減少が起こり、約420℃〜470℃で初期重量対比50重量%の重量減少が起こり、上記範囲内で例えば、約310℃〜410℃で初期重量対比10重量%の重量減少が起こり、約420℃〜460℃で初期重量対比50重量%の重量減少が起こり得る。
フラーレン誘導体は、約3.7〜5.0eVのLUMOエネルギー準位、及び5.8〜7.0eVのHOMOエネルギー準位を有し、上記範囲内で例えば、約3.8〜4.9eVのLUMOエネルギー準位及び約6.0〜6.9eVのHOMOエネルギー準位を有し、上記範囲内で例えば、約3.8〜4.8eVのLUMOエネルギー準位及び約6.0〜6.7eVのHOMOエネルギー準位を有し、上記範囲内で例えば、約3.8〜4.5eVのLUMOエネルギー準位及び約6.0〜6.5eVのHOMOエネルギー準位を有し得る。
フラーレン誘導体は、例えば約2.0〜2.3eVのエネルギーバンドギャップを有する。
上記範囲のエネルギー準位を有することによって、n型半導体として効果的に用いられる。
一例として、Arは、ベンゼン環又は融合環であり得る。
一例として、Arは、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ピレン環、又はトリフェニレン環であり得る。
一例として、Arは、ベンゼン環又はナフタレン環であり得る。
一例として、フラーレンコアは、C60、C70、C74、C76、又はC78であり得る。
一例として、フラーレンコアは、C60であり得る。
一例として、フラーレンコアと化学式1で表される置換基が結合されたフラーレン誘導体は、下記に示す化学式Aで表され得る。
Figure 2019099570
化学式Aにおいて、X、Ar及びR〜Rは、上述のとおりである。
一例として、Arは、ベンゼン環であり得、R〜Rの内の少なくとも一つは、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり得る。
一例として、Arは、ベンゼン環であり得、R〜Rの内の少なくとも二つは、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり得る。
一例として、Arは、ベンゼン環であり得、R〜Rの内の少なくとも一つは、置換もしくは非置換のC3〜C20アルキル基であってもよく、例えばイソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、イソヘキシル基、イソヘプチル基、イソオクチル基、t−ブチル基、t−ペンチル基、t−ヘキシル基、ネオペンチル基、又はネオヘキシル基であり得る。
一例として、Arは、ベンゼン環であり得、R〜Rの内の少なくとも二つは、置換もしくは非置換のC3〜C20アルキル基であってもよく、例えばイソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、イソヘキシル基、イソヘプチル基、イソオクチル基、t−ブチル基、t−ペンチル基、t−ヘキシル基、ネオペンチル基、又はネオヘキシル基であり得る。
一例として、Arは、融合環であり得、例えばナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ピレン環又はトリフェニレン環であり得、R〜Rは、それぞれ水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり得る。
一例として、化学式2のR〜Rの内の少なくとも二つは、置換もしくは非置換のC3〜C20アルキル基であり得、例えば、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基であり得、例えばイソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、イソヘキシル基、イソヘプチル基、イソオクチル基、t−ブチル基、t−ペンチル基、t−ヘキシル基、ネオペンチル基、又はネオヘキシル基であり得る。
一例として、化学式2で表される置換基は、例えば下記に示す化学式3〜8のいずれか一つで表され得る。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
化学式3〜8において、X及びRは、上述のとおりであり、
及びRは、それぞれ独立に、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基であり得る。
一例として、R及びRは、それぞれ独立に、イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、イソヘキシル基、イソヘプチル基、イソオクチル基、t−ブチル基、t−ペンチル基、t−ヘキシル基、ネオペンチル基、又はネオヘキシル基であり得る。
一例として、化学式1で表される置換基は、下記に示す化学式1A〜1Fのいずれか一つで表され得るが、これに限定されるものではない。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
化学式1A〜1Fにおいて、X及びR〜Rは、上述のとおりである。
フラーレン誘導体は、例えばに示すグループ(1−1)〜(1−15)に羅列された化合物から選択される一つであり得るが、これに限定されるものではない。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
グループ(1−1)〜(1−15)において、i−Prはイソプロピル、t−Buはt−ブチル、Prはn−プロピル、Etはエチルである。
フラーレン誘導体は、前述のように昇華による真空蒸着によって薄膜に形成され得る。
薄膜は、フラーレン誘導体の化学結合の壊れ及び/又は変形なしにフラーレン誘導体の固有特性をそのまま維持でき、これによって、非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む薄膜の成膜時に発生する凝集により光学特性が変形するものと比べて、光学特性の変形を減らすことができる。
例えば、フラーレン誘導体を含む薄膜の吸光特性は、非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む薄膜の光吸収特性と異なり、例えば、フラーレン誘導体を含む薄膜は、約400nm〜500nmの可視光線の短波長領域での非正常的な吸光が減少する。
例えば、フラーレン誘導体を含む薄膜の450nm波長での吸光係数は、非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む薄膜の450nm波長での吸光係数より小さく、例えば、フラーレン誘導体を含む薄膜の450nm波長での吸光係数は、非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む薄膜の450nm波長での吸光係数の約1/2以下である。
以下、上述したフラーレン誘導体を含む光電素子について説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る光電素子の概略構成を示す断面図である。
図1を参照すると、本発明の一実施形態に係る光電素子100は、互いに対向する第1電極10と第2電極20、そして第1電極10と第2電極20との間に配置される有機層30を含む。
基板(図示せず)は、第1電極10側に配置してもよく、第2電極20側に配置してもよい。
基板は、例えば、ガラスのような無機物質、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリエーテルスルホン、又はこれらの組み合わせのような有機物質又はシリコンウエハーなどで作られる。
基板は省略してもよい。
第1電極10と第2電極20の内の一つは、アノード(anode)であり、他の一つはカソード(cathode)である。
例えば、第1電極10はアノードであり、第2電極20はカソードである。
第1電極10と第2電極20の内の少なくとも一つは透光電極であり、透光電極は、例えば、インジウムスズ酸化物(indium tin oxide:ITO)、インジウム亜鉛酸化物(indium zinc oxide:IZO)、亜鉛酸化物(ZnO)、スズ酸化物(SnO)、アルミスズ酸化物(AlTO)、及びフッ素ドープされたスズ酸化物(FTO)のような導電性酸化物、又は薄い厚さの単一層又は複数層の金属薄膜で形成され得る。
第1電極10と第2電極20の内の一つが不透光電極の場合、例えば、アルミニウム(Al)、銀(Ag)又は金(Au)のような不透明導電体で形成される。
一例として、第1電極10及び第2電極20は、いずれも透光電極であり得る。
一例として、第2電極20は、光を受ける側に位置する受光電極(light receiving electrode)であってもよい。
有機層30は、活性層(active layer)を含む。
活性層は、p型半導体とn型半導体が、pn接合(pn junction)を形成する層であり、外部から光を受けてエキシトン(exciton)を生成した後、生成されたエキシトンを正孔と電子に分離する。
p型半導体とn型半導体は、それぞれ可視光線領域の光の内の少なくとも一部を吸収する吸光物質であり得、例えば、p型半導体は、約400nm以上500nm未満の波長領域、約500nm〜600nmの波長領域及び/又は約600nm超過700nm以下の波長領域の内のいずれか一つを選択的に主に吸収する吸光物質であり得、n型半導体はフラーレン誘導体であり得る。
一例として、p型半導体は、約400nm以上500nm未満の波長領域、約500nm〜600nmの波長領域、及び約600nm超過700nm以下の波長領域の光の内のいずれか一つを選択的に主に吸収する吸光物質であり得、n型半導体は、フラーレン誘導体であり得る。
一例として、p型半導体は、約500nm〜600nmの波長領域の光を選択的に主に吸収する吸光物質であり得、n型半導体はフラーレン誘導体であり得る。
一例として、p型半導体は、例えば、約3.0〜3.6eVのLUMOエネルギー準位及び約5.1〜5.7eVのHOMOエネルギー準位を有する吸光物質であり得る。
上記範囲内でp型半導体は、例えば、約3.1〜3.5eVのLUMOエネルギー準位及び5.2〜5.6eVのHOMOエネルギー準位を有する吸光物質であり得る。
一例として、p型半導体は、例えば、電子供与モイエティ、パイ共役連結基、及び電子受容モイエティを含むコア構造を有する吸光物質であり得る。
p型半導体は前記コア構造を有する化合物で、例えば下記の化学式9で表される化合物を含むことができるが、これに限定されるものではない。
Figure 2019099570
化学式4において、
Yは、Se、Te、S、SO、SO、又はSiRであり、
EDGは、電子供与基(electron donating group)であり、
EAGは、電子受容基(electron accepting group)であり、
11、R12、R、及びRは、それぞれ独立に、水素又は1価の置換基である。
ここで1価の置換基は、例えば置換もしくは非置換のC1〜C30アルキル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロアリール基、置換もしくは非置換のC1〜C6アルコキシ基、ハロゲン、又はシアノ基であり得るが、これに限定されるものではない。
p型半導体は、例えば、下記に示す化学式9Aで表される吸光物質であり得るが、これに限定されるものではない。
Figure 2019099570
化学式9Aにおいて、
Yは、Se、Te、S、SO、SO、又はSiRであり、
Arは、置換もしくは非置換の五員環、置換もしくは非置換の六員環、又はこれらの内の2つ以上の縮合環であり、
Ar1a及びAr2aは、それぞれ独立に、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基又は置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロアリール基であり、
Ar1a及びAr2aは、それぞれ独立に存在するか又はGをリンカーにして互いに連結されて環を形成することができ、
ここでGは、単一結合、−(CRn2−、−O−、−S−、−Se−、−N=、−NR−、−SiR−、及び−GeR−から選択された一つであり、
ここでn2は、1又は2であり、
1a〜R3a、R〜Rは、それぞれ独立に、水素、置換もしくは非置換のC1〜C30アルキル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロアリール基、置換もしくは非置換のC1〜C6アルコキシ基、ハロゲン又はシアノ基である。
p型半導体は、例えば、下記に示す化学式2A−1〜2A−4のいずれか一つで表される吸光物質であり得るが、これに限定されるものではない。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
化学式2A−1〜2A−4において、
Yは、Se、Te、S、SO、SO、又はSiRであり、
は、O又はCRであり、
は、N又はCRであり、
は、O、S、Se、Te、及びC(R)(CN)から選択された一つであり、
は、O、S、Se、又はTeであり、
は、N又はNR18aであり、
は、CR19a又はC=CR20a(CN)であり、
Ar1a及びAr2aは、それぞれ独立に、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基又は置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロアリール基であり、
Ar1a及びAr2aは、それぞれ独立に存在するか、又は互いに連結されて環を形成し、
1a〜R3a、R11a、R12a、R15a〜R20a、R24a、R25a、R、R、R〜Rは、それぞれ独立に、水素、置換もしくは非置換のC1〜C30アルキル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロアリール基、置換もしくは非置換のC1〜C6アルコキシ基、ハロゲン、又はシアノ基であり、
n1は、0又は1であり、
m1は、0又は1であり、
m2は、0〜4の整数である。
化学式2A−1〜2A−4のいずれか一つで表される吸光物質は、例えば、下記に示すグループ2〜グループ5に羅列された化合物のうちの一つであり得るが、これに限定されるものではない。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
グループ2〜5において、
それぞれの芳香族環に存在する水素は、置換もしくは非置換のC1〜C30アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C30アルコキシ基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC4〜C30ヘテロアリール基、ハロゲン、シアノ基、シアノ含有基、及びこれらの組み合わせから選択される置換基で置換されてもよく、
16、R17、R18、R20は、それぞれ独立に、水素、置換もしくは非置換のC1〜C30アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C30アルコキシ基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC4〜C30ヘテロアリール基、ハロゲン、シアノ基、シアノ含有基、又はこれらの組み合わせであり得る。
n型半導体は、フラーレン誘導体を含む。
フラーレン誘導体は、上述したp型半導体との電気的マッチングに効果的であり、例えば、約3.7〜5.0eVのLUMOエネルギー準位及び5.8〜7.0eVのHOMOエネルギー準位を有する。
上記範囲内で例えば、約3.8〜4.9eVのLUMOエネルギー準位及び約6.0〜6.9eVのHOMOエネルギー準位を有し、上記範囲内で例えば、約3.8〜4.8eVのLUMOエネルギー準位及び約6.0〜6.7eVのHOMOエネルギー準位を有し、上記範囲内で例えば、約3.8〜4.5eVのLUMOエネルギー準位及び約6.0〜6.5eVのHOMOエネルギー準位を有し得る。
フラーレン誘導体は、例えば約2.0〜2.3eVのエネルギーバンドギャップを有し得る。
上記範囲のエネルギー準位を有することによって、上述したp型半導体と共に使用されてn型半導体として効果的に役割を行うことができる。
フラーレン誘導体は、電気的特性を満足する範囲内で設計することができ、フラーレン誘導体の具体的な構造は上述の通りである。
フラーレン誘導体は、前述のように、上述したp型半導体と電気的マッチングに効果的である。
また、フラーレン誘導体は、五角環と芳香族環の融合環に置換される構造を有することによって、非置換のフラーレンと比較して立体障害を大きくし、パイ共役系を減少させることができる。
そのため、フラーレン誘導体は非置換のC60フラーレンと比較して、蒸着時に凝集を減らして成膜特性を改善させることができ、凝集によって発生する可能性がある吸収波長領域の変形のような光学特性の変形を効果的に減らすことができる。
上述したp型半導体及びフラーレン誘導体を含むn型半導体は、昇華による共蒸着によって活性層に形成することができ、共蒸着時にフラーレン誘導体の化学結合の破れ及び/又は変形なしにフラーレン誘導体の固有特性をそのまま維持できる。
例えば、フラーレン誘導体を含む活性層は、非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む活性層の光吸収特性と異なり得、フラーレン誘導体を含む活性層は、例えば約400nm〜500nmの可視光線の短波長領域での非正常的な吸光が減少する。
例えば、フラーレン誘導体を含む活性層の450nm波長での吸光係数は、非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む活性層の450nm波長での吸光係数より小さく、例えば、フラーレン誘導体を含む活性層の450nm波長での吸光係数は、非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む活性層の450nm波長での吸光係数の例えば約1/2以下である。
活性層の吸光特性は、p型半導体による光吸収特性及びn型半導体による光吸収特性の組み合わせで表示することができる。
そのため、一例として、約500nm〜600nmの波長領域の光を選択的に吸収するp型半導体とフラーレン誘導体を含むn型半導体を含む活性層は、約500nm〜600nmの波長領域の光を選択的に吸収するp型半導体と非置換のフラーレン(例えば、C60フラーレン)を含む活性層と比較して吸光ピークの分離が容易で、波長選択性を高めることができる。
したがって、波長選択性が求められる光電素子に効果的に用いられる。
活性層は、上述したp型半導体及びフラーレン誘導体を含むn型半導体が共蒸着された真性層を含むことができ、この時、p型半導体とn型半導体は、約1:9〜9:1の体積比で含まれてもよく、上記範囲内で例えば約2:8〜8:2の体積比で含まれてもよく、上記範囲内で例えば約3:7〜7:3の体積比で含まれてもよく、上記範囲内で例えば約4:6〜6:4の体積比で含まれ、上記範囲内で例えば約5:5の体積比で含まれてもよい。
活性層は、真性層以外に、p型層及び/又はn型層をさらに含むことができる。
p型層は、上述したp型半導体を含むことができ、n型層は、上述したn型半導体を含むことができる。
例えば、p型層/I層、I層/n型層、p型層/I層/n型層など多様な組み合わせで含まれ得る。
有機層30は、第1電極10と活性層の間及び/又は第2電極20と活性層の間に位置する電荷補助層(図示せず)をさらに含むことができる。
電荷補助層は、活性層から分離された正孔と電子の移動を容易にして効率を高めることができる。
電荷補助層は、正孔の注入を容易にする正孔注入層(hole injecting layer:HIL)、正孔の輸送を容易にする正孔輸送層(hole transporting layer:HTL)、電子の移動を阻止する電子遮断層(electron blocking layer:EBL)、電子の注入を容易にする電子注入層(electron injecting layer:EIL)、電子の輸送を容易にする電子輸送層(electron transporting layer:ETL)、及び正孔の移動を阻止する正孔遮断層(hole blocking layer:HBL)から選択される少なくとも一つを含むことができる。
電荷補助層は、例えば有機物、無機物又は有機−無機物を含むことができる。
有機物は、正孔又は電子特性を有する有機化合物であってもよく、無機物は、例えばモリブデン酸化物、タングステン酸化物、ニッケル酸化物のような金属酸化物であってもよい。
電荷補助層は、例えば上述したフラーレン誘導体を含む。
光電素子100は、第1電極10又は第2電極20の一面に反射防止層(図示せず)をさらに含むことができる。
反射防止層は、光が入射する側に配置されて入射光の反射度を低くすることによって、光吸収度をさらに改善することができる。
例えば、第1電極10側に光が入射する場合、反射防止層は第1電極10の一面に配置され、第2電極20側に光が入射する場合、反射防止層は第2電極20の一面に配置される。
反射防止層は、例えば約1.6〜2.5の屈折率を有する物質を含むことができ、例えば、上記範囲の屈折率を有する金属酸化物、金属硫化物及び有機物の内の少なくとも一つを含むことができる。
反射防止層は、例えば、アルミニウム含有酸化物、モリブデン含有酸化物、タングステン含有酸化物、バナジウム含有酸化物、レニウム含有酸化物、ニオブ含有酸化物、タンタル含有酸化物、チタン含有酸化物、ニッケル含有酸化物、銅含有酸化物、コバルト含有酸化物、マンガン含有酸化物、クロム含有酸化物、テルリウム含有酸化物、又はこれらの組み合わせのような金属酸化物、亜鉛スルフィドのような金属硫化物、又はアミン誘導体のような有機物を含み得るが、これに限定されるものではない。
光電素子100は、第1電極10又は第2電極20側から光が入射されて活性層が所定の波長領域の光を吸収すれば、内部でエキシトンが生成される。
エキシトンは、活性層で正孔と電子に分離され、分離された正孔は第1電極10と第2電極20の内の一つであるアノード側に移動し、分離された電子は第1電極10と第2電極20の内の他の一つであるカソード側に移動して電流が流れるようになる。
光電素子100は、太陽電池、イメージセンサ、光検出器、光センサー、及び有機発光ダイオードなどに適用され得るが、これに限定されるものではない。
光電素子は、例えばイメージセンサに適用され得る。
以下、光電素子が適用されたイメージセンサの一例について図面を参照して説明する。 ここではイメージセンサの一例として有機CMOSイメージセンサについて説明する。
図2は、本発明の一実施形態に係る有機CMOSイメージセンサを概略的に示す斜視図であり、図3は、図2の有機CMOSイメージセンサの概略構成の一例を示す断面図である。
図2及び図3を参照すると、本発明の一実施形態に係る有機CMOSイメージセンサ300は、光感知素子(50a、50b)、伝送トランジスタ(図示せず)、及び電荷貯蔵所55が集積されている半導体基板110、下部絶縁層60、色フィルター層70、上部絶縁層80及び光電素子100を含む。
半導体基板110は、シリコン基板であり、光感知素子50a、50b、伝送トランジスタ(図示せず)、及び電荷貯蔵所55が集積されている。
光感知素子(50a、50b)は、光ダイオード(photodiode)であり得る。
光感知素子(50a、50b)、伝送トランジスタ及び/又は電荷貯蔵所55は、各画素ごとに集積されており、一例として図に示すように光感知素子(50a、50b)は青色画素及び赤色画素にそれぞれ含まれ、電荷貯蔵所55は緑色画素に含まれる。
光感知素子(50a、50b)は、光をセンシングし、センシングされた情報は伝送トランジスタにより伝達され、電荷貯蔵所55は後述する光電素子100と電気的に接続されており、電荷貯蔵所55の情報は伝送トランジスタにより伝達される。
半導体基板110の上には、さらに、金属配線(図示せず)及びパッド(図示せず)が形成される。
金属配線及びパッドは、信号遅延を減らすために低い比抵抗を有する金属、例えばアルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、及びこれらの合金で形成されるが、これに限定されるものではない。
しかし、上記構造に限定されず、金属配線及びパッドが、光感知素子(50a、50b)の下部に位置することもできる。
金属配線及びパッドの上には下部絶縁層60が形成される。
下部絶縁層60は、酸化ケイ素及び/又は窒化ケイ素のような無機絶縁物質、又はSiC、SiCOH、SiCO、及びSiOFのような低誘電率(low K)物質で形成される。
下部絶縁層60は、電荷貯蔵所55を露出するトレンチを有する。
トレンチは充填材で満たされ得る。
下部絶縁膜60の上には、色フィルター層70が形成される。
色フィルター層70は、青色画素に形成される青色フィルター70aと、赤色画素に形成される赤色フィルター70bとを含む。
本実施形態では緑色フィルターを備えていない例を説明するが、場合によって緑色フィルターを備えることもできる。
色フィルター層70の上には上部絶縁層80が形成されている。
上部絶縁層80は、色フィルター層70による段差を除去して平坦化する。
上部絶縁層80及び下部絶縁層60は、パッドを露出する接触口(図示せず)と緑色画素の電荷貯蔵所55を露出する貫通口85を有する。
上部絶縁層80の上には前述した光電素子100が形成される。
光電素子100は、前述のように第1電極10、有機層30及び第2電極20を含む。
図においては、第1電極10、有機層30、及び第2電極20が順次に積層された構造を例示的に示したが、これに限定されず、第2電極20、有機層30、及び第1電極10の順に配置することもできる。
第1電極10と第2電極20は、全て透明電極であってもよく、有機層30は前述したとおりである。
有機層30は、例えば、緑色波長領域の光を選択的に吸収することができ、緑色画素の色フィルターを代替する。
第2電極20側から入射された光は、有機層30で緑色波長領域の光が主に吸収されて光電変換され、残りの波長領域の光は、第1電極10を通過して光感知素子(50a、50b)によりセンシングされる。
光電素子100の上には集光レンズ(図示せず)がさらに形成される。
集光レンズは、入射光の方向を制御して光を一つの地点に集める。
集光レンズは、例えば、シリンダー形状又は半球形状であってもよいが、これに限定されるものではない。
上記のように光電素子100が積層された構造を有することによって、イメージセンサの大きさを減らして小型化イメージセンサを具現することができる。
また、前述のように有機層は、光吸収特性が短波長側に移動したフラーレン誘導体を含むことによって、非置換のC60フラーレンを用いた場合と比較して波長選択性を高めることができる。
上記では緑色波長領域の光を選択的に吸収する光電素子が積層された構造を例示的に説明したが、これに限定されず、青色波長領域の光を選択的に吸収する光電素子が積層され、緑色光感知素子と赤色光感知素子が半導体基板110内に集積された構造を有することもでき、赤色波長領域の光を選択的に吸収する光電素子が積層され、緑色光感知素子と青色光感知素子が半導体基板110内に集積された構造を有することもできる。
図4は、有機CMOSイメージセンサの他の例を示す断面図である。
本実施形態に係る有機CMOSイメージセンサ400は、前述した実施形態と同様に、光感知素子(50a、50b)、伝送トランジスタ(図示せず)、及び電荷貯蔵所55が集積される半導体基板110、貫通口85を有する上部絶縁層80、及び光電素子100を含む。
しかし、本実施形態に係る有機CMOSイメージセンサ400は、前述した実施形態とは異なり、光感知素子(50a、50b)が垂直方向に積層されており、色フィルター層70が省略される。
光感知素子(50a、50b)は、電荷貯蔵所(図示せず)と電気的に接続されており、伝送トランジスタにより伝達される。
光感知素子(50a、50b)は、積層深さに応じて各波長領域の光を選択的に吸収することができる。
光電素子100の上には集光レンズ(図示せず)がさらに形成される。
集光レンズは、入射光の方向を制御して光を一つの地点に集められる。
集光レンズは、例えばシリンダー形状又は半球形状であってもよいが、これに限定されるものではない。
上述のように緑色波長領域の光を選択的に吸収する光電素子が積層された構造を有し、赤色光感知素子と青色光感知素子が積層された構造を有することによって、イメージセンサの大きさをさらに減らして小型化イメージセンサを具現することができる。
図4では、緑色波長領域の光を選択的に吸収する光電素子が積層された構造を例示的に説明したが、これに限定されず、青色波長領域の光を選択的に吸収する光電素子が積層され、緑色光感知素子と赤色光感知素子が半導体基板110内に集積された構造を有することもでき、赤色波長領域の光を選択的に吸収する光電素子が積層され、緑色光感知素子と青色光感知素子が半導体基板110内に集積される構造でもよい。
図5は、本発明のさらに他の実施形態に係る有機CMOSイメージセンサを概略的に示す斜視図であり、図6は、図5の有機CMOSイメージセンサの概略構成を示す断面図である。
本実施形態に係る有機CMOSイメージセンサ500は、緑色波長領域の光を選択的に吸収する緑色光電素子と、青色波長領域の光を選択的に吸収する青色光電素子と、赤色波長領域の光を選択的に吸収する赤色光電素子とが積層されている構造である。
本実施形態に係る有機CMOSイメージセンサ500は、半導体基板110、下部絶縁層60、中間絶縁層65、上部絶縁層80、第1光電素子100a、第2光電素子100b、及び第3光電素子100cを含む。
半導体基板110は、シリコン基板であり、伝送トランジスタ(図示せず)及び電荷貯蔵所(55a、55b、55c)が集積される。
半導体基板110の上には、金属配線(図示せず)及びパッド(図示せず)が形成されており、金属配線及びパッドの上には下部絶縁層60が形成される。
下部絶縁層60の上には、第1光電素子100aが形成される。
第1光電素子100aは、互いに対向する第1電極10a、第2電極20a、及び第1電極10aと第2電極20aとの間に配置される有機層30aを含む。
第1電極10a、第2電極20a、及び有機層30aは、前述したとおりであり、有機層30aは、赤色、青色、及び緑色の内のいずれか一つの波長領域の光を選択的に吸収することができる。
例えば、第1光電素子100aは、赤色光電素子であり得る。
図においては、第1電極10a、有機層30a、及び第2電極20aが、順次に積層された構造を例示的に示したが、これに限定されず、第2電極20a、有機層30a、及び第1電極10aの順に配置することもできる。
第1光電素子100aの上には、中間絶縁層65が形成される。
中間絶縁層65の上には、第2光電素子100bが形成される。
第2光電素子100bは、互いに対向する第1電極10b、第2電極20b、及び第1電極10bと第2電極20bとの間に配置される有機層30bを含む。
第1電極10b、第2電極20b、及び有機層30bは、前述したとおりであり、有機層30bは、赤色、青色、及び緑色の内のいずれか一つの波長領域の光を選択的に吸収することができる。
例えば、第2光電素子100bは、青色光電素子であり得る。
図においては、第1電極10b、有機層30b、及び第2電極20bが順次に積層された構造を例示的に示したが、これに限定されず、第2電極20b、有機層30b、及び第1電極10bの順に配置することもできる。
第2光電素子100bの上には、上部絶縁層80が形成される。
下部絶縁層60、中間絶縁層65、及び上部絶縁層80は、電荷貯蔵所(55a、55b、55c)を露出する複数の貫通口を有する。
上部絶縁層80の上には、第3光電素子100cが形成される。
第3光電素子100cは、互いに対向する第1電極10c、第2電極20c、及び第1電極10cと第2電極20cとの間に配置される有機層30cを含む。
第1電極10c、第2電極20c、及び有機層30cは、前述したとおりであり、有機層30cは、赤色、青色、及び緑色の内のいずれか一つの波長領域の光を選択的に吸収することができる。
例えば、第3光電素子100cは、緑色光電素子であり得る。
図においては、第1電極10c、有機層30c、及び第2電極20cが順次に積層された構造を例示的に示したが、これに限定されず、第2電極20c、有機層30c、及び第1電極10cの順に配置することもできる。
光電素子100cの上には、集光レンズ(図示せず)がさらに形成される。
集光レンズは、入射光の方向を制御して光を一つの地点に集めることができる。
集光レンズは、例えばシリンダー形状又は半球形状であってもよいが、これに限定されるものではない。
図においては、第1光電素子100a、第2光電素子100b、及び第3光電素子100cが順次に積層された構造を示したが、これに限定されず、積層順序は多様に変更することができる。
前述のように、互いに異なる波長領域の光を吸収する第1光電素子100aと、第2光電素子100bと、第3光電素子100cとが積層された構造を有することによって、イメージセンサの大きさをさらに減らして小型化イメージセンサを具現することができる。
イメージセンサは、多様な電子装置に適用され、例えばモバイルホン、デジタルカメラなどに適用され得るが、これに限定されるものではない。
以下、実施例を通じて上述した本発明の実施形態をより詳細に説明する。
ただし、下記の実施例は、単に説明の目的のためのものに過ぎず、権利範囲を制限するものではない。
<<合成例>>
〔合成例1〕
Figure 2019099570
窒素雰囲気下で、11mlの1,2−ジクロロベンゼン(1,2−dichlorobenzene:ODCB)に0.1gのN−トシル[1,2]アジリジノ[60]フラーレン(N−tosyl[1,2]aziridino[60]fullerene:C60NTs)、1.5当量の2,4−ジ−t−ブチルフェノール(2,4−di−tert−butylphenol)0.03gを入れて室温で10分間攪拌する。
次に、ここにトリフルオロメタンスルホン酸(trifluoromethane sulfonic acid:TfOH)を1μL入れて100℃で12時間攪拌する。
次いで、室温に冷却後、シリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶媒:CS2)で精製した後、溶液を濃縮する。
次に、トルエンに溶解させてリサイクルHPLC(溶媒はトルエン、カラムはBucky prepを使用)で生成物を分離して上記に示す化学式1aaで表される化合物0.05gを得る。
収率は53%である。
H NMR(500MHz,CS2/CDCl3=7/3):δ7.71(s、1H)、7.45(s,1H)、1.70(s,9H)、1.35(s,9H)。
〔合成例2〕
Figure 2019099570
2,4−ジ−t−ブチルフェノール0.03gの代わりに3,5−ジ−t−ブチルフェノール0.03gを使用したことを除いては合成例1と同様の方法で合成して、上記に示す化学式1abで表される化合物0.05gを得る。
収率は55%である。
H NMR(500MHz,CS2/CDCl3=7/3):δ7.97(s,1H)、7.75(s,1H)、7.43−7.49(m,2H)、7.42(d,1H)、6.88(d,1H)。
H NMR(500MHz,CS2/CDCl3=7/3):δ7.38(s,1H)、6.88(s,1H)、1.70(s,9H)、1.35(s,9H)。
〔合成例3〕
Figure 2019099570
2,4−ジ−t−ブチルフェノール0.03gの代わりに2,5−ジ−t−ブチルフェノール0.03gを使用したことを除いては合成例1と同様の方法で合成して、上記に示す化学式1acで表される化合物0.05gを得る。
収率は57%である。
H NMR(500MHz,CS2/CDCl3=7/3):δ7.56(d,1H)、7.25(d,1H)、1.70(s,9H)、1.35(s,9H)。
〔合成例4〕
Figure 2019099570
2,4−ジ−t−ブチルフェノール0.03gの代わりに1−ナフトール0.03gを使用したことを除いては合成例1と同様の方法で合成して、上記に示す化学式1adで表される化合物0.03gを得る。
収率は30%である。
H NMR(500MHz、CS2/CDCl3=7/3):δ8.38(d、1H)、7.97(d,1H)、7.89(d,1H)、7.69(d,1H)、7.63(dd,2H)。
〔合成例5〕
Figure 2019099570
2,4−ジ−t−ブチルフェノール0.03gの代わりに4−メチル−1−ナフトール0.03gを使用したことを除いては合成例1と同様の方法で合成して、上記に示す化学式1aeで表される化合物0.03gを得る。
収率は30%である。
H NMR(500MHz,CS2/CDCl3=7/3):δ8.38(d,1H)、7.89(s,1H)、7.69(d,1H)、7.63(dd,2H)、2.55(s,3H)。
〔比較合成例1〕
Figure 2019099570
「Org.Biomol.Chem.,2003,1,1764及びJ.Mater.Chem.A,2017,5,2774−2783」の合成法を参照して、クロロフラーレン(chlorofullerenes:C60Cl)0.20gを使用して合成して上記に示す化学式A2で表される化合物0.03gを得る。
収率は23%である。
H NMRのデータは、「Org.Biomol.Chem.,2003,1,1764−1768」に記載されたデータと完全に一致する。
〔比較合成例2〕
Figure 2019099570
2,4−ジ−t−ブチルフェノール0.03gの代わりに4−メトキシフェノール(4−methoxyphenol)0.02gを使用したことを除いては合成例1と同様の方法で合成して、上記に示す化学式Bで表される化合物0.05gを得る。
収率は53%である。
H NMRのデータは、「J.Mater.Chem.A,2017,5,2774−2783」に記載されたデータと完全に一致する。
〔比較合成例3〕
Figure 2019099570
2,4−ジ−t−ブチルフェノール0.03gの代わりに4−t−ブチルフェノール(4−tert−butylphenol)0.03gを使用したことを除いては合成例1と同様の方法で合成して、上記に示す化学式Cで表される化合物0.05gを得る。
収率は45%である。
H NMRのデータは、「J.Am.Chem.Soc.2011,133,2402−2405」に記載されたデータと完全に一致する。
〔比較合成例4〕
Figure 2019099570
2,4−ジ−t−ブチルフェノール0.03gの代わりに4−ブチルアニリン(4−butylaniline)0.03gを使用して100℃で48時間攪拌したことを除いては合成例1と同様の方法で合成して、上記に示す化学式Dで表される化合物0.03gを得る。
収率は37%である。
H NMRのデータは、「J.Am.Chem.Soc.2011,133,2402−2405」に記載されたデータと完全に一致する。
〔比較合成例5〕
Figure 2019099570
上記に示す化学式Eで表される化合物(商品名nanom spectra E102、Frontier Carbon Corporation製造)を購入する。
〔比較合成例6〕
Figure 2019099570
上記に示す化学式Fで表される化合物(商品名nanom spectra Q100、Frontier Carbon Corporation製造)を購入する。
〔比較合成例7〕
Figure 2019099570
窒素雰囲気下で、0.3gのフラーレンC60を使用して、「J.Am.Chem.Soc.133,8086(2011)」に記載された方法と同様にして合成して、上記に示す化学式Gで表される化合物0.2gを得る。
分離収率は64%である。
H NMRのデータは、「J.Am.Chem.Soc.133,8086(2011)」に記載されたデータと完全に一致する。
〔比較合成例8〕
Figure 2019099570
窒素雰囲気下で、0.3gのフラーレンC60を使用して、「J.Org.Chem.58,4799(1993)」に記載された方法と同様にして合成して、上記に示す化学式Hで表される化合物0.2gを得る。
全収率は55%である。
H NMRのデータは、「J.Org.Chem.58,4799(1993)」に記載されたデータと完全に一致する。
〔比較合成例9〕
Figure 2019099570
化学式Hで表される化合物0.2gを一般的な脱酸素フッ素化試薬であるDeoxo−Fluorを使用してヒドロキシ基をフッ素に置換して、上記に示す化学式Iで表される化合物0.2gを得る。
全収率は47%である。
H NMR(500MHz,CS2/CDCl3=2/1):δ2.7(1H)、3.3(1H)、3.4(1H)、3.6(1H)、3.7(1H)、3.8(1H)、5.2(1H)。
<<基準例(C60フラーレン)>>
Figure 2019099570
化学式Kで表される化合物(商品名nanom purple ST、Frontier Carbon Corporation製造)を購入する。
<<評価>>
〔評価I〕
合成例1〜5と比較合成例1〜9で得られたフラーレン誘導体及び基準例によるフラーレンの昇華による真空蒸着の可否を確認する。
評価は、真空度1Pa以下の高真空下で温度を上昇させて昇華有無を判断し、温度上昇により重量減少が発生し、T(℃)(−50wt%)値を有する化合物は昇華可能な構造であると判断できる。
下記に示す表(1−1)〜(1−3)で昇華可能な化合物は‘○’と示し、昇華不可能な化合物は‘X’と示す。
「TGA測定方法」
全ての有機材料は、高真空(0.1〜1.0Pa)下で熱重量分析(TGA)を使用して得られる。この装置は真空TGAと呼ばれる。
試料(5mg)を白金るつぼに加え、装置にセットする。次いで、装置を1Pa以下、例えば0.1Paまで真空にする。
室温で分析を開始し、10℃/minの速度で設定温度に到達させる(Max温度は800℃)。
このシステムでは、−10%の減量と−50%の減量が判定されます。
真空TGAを用いて分析した後、その温度を参照して、昇華装置内の温度を設定する。
Figure 2019099570
Figure 2019099570
Figure 2019099570
(℃)(−10wt%):試料の重量が10wt%減少した時点の温度
(℃)(−50wt%):試料の重量が50wt%減少した時点の温度
表1を参照すると、合成例1〜5によるフラーレン誘導体と基準例によるフラーレンが昇華により蒸着可能な化合物であることが確認できる。
〔評価II〕
ガラス基板上に合成例と基準例によるフラーレン又はフラーレン誘導体を蒸着し、蒸着された薄膜のエネルギー準位を求める。
HOMOエネルギー準位は、光電子分光装置(RIKEN KEIKI Co.Ltd.,AC−3)を用いて測定し、薄膜の光学吸収端をエネルギーバンドギャップ(energy bandgap)といい、エネルギーバンドギャップからHOMOエネルギー準位を減算してLUMOエネルギー準位を求める。
「薄膜の形成」
この薄膜は、超音波洗浄器でイソプロピルアルコール(IPA)及びアセトンで洗浄した乾燥ガラス基板上に、高真空下、0.1〜1.0Å/sの速度で熱蒸発(蒸着)させることによって製造される。
その結果は、下記に示す表2のとおりである。
Figure 2019099570
上記で得られたエネルギー準位に基づいて、下記に示す化学式Xで表されるp型半導体及び下記に示す化学式Yで表されるp型半導体とのエネルギー準位を比較して、n型半導体に適したフラーレン誘導体を確認する。
Figure 2019099570
(HOMOエネルギー準位:5.3eV、LUMOエネルギー準位:3.2eV)
Figure 2019099570
(HOMOエネルギー準位:5.6eV、LUMOエネルギー準位:3.5eV)
このことから、合成例1〜5によるフラーレン誘導体及び基準例によるフラーレンは、p型半導体と比較して深いHOMO、LUMOエネルギー準位を有して、p型半導体の使用時、適合したn型半導体として使用することができることを確認できる。
〔評価III〕
ガラス基板上に合成例と基準例によるフラーレン又はフラーレン誘導体を蒸着し、蒸着された薄膜の吸光特性を評価する。
吸光特性は、UV−Vis分光光度計(Verian Cary 500 Bio spectrophotometer)を用いて紫外可視−近赤外領域波長の吸光度から評価する。
その結果は、下記に示す表3及び図7のとおりである。
図7は、合成例1、2と基準例によるフラーレン又はフラーレン誘導体の吸光特性を示すグラフである。
「薄膜の形成方法」
この薄膜は、超音波洗浄器でイソプロピルアルコール(IPA)及びアセトンで洗浄した乾燥ガラス基板上に、高真空下、0.1〜1.0Å/sの速度で熱蒸発(蒸着)させることによって製造される。
Figure 2019099570
表3及び図7を参照すると、合成例1〜5によるフラーレン誘導体を含む薄膜は、基準例によるフラーレンを含む薄膜と比較して、約450nm付近(青色波長領域)で吸光係数が小さいことが確認できる。
このことから、合成例1〜5によるフラーレン誘導体は、凝集による可視光線短波長領域での非正常的な吸光特性が起こらないことが確認できる。
尚、本発明は、上述の実施形態(実施例)に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
10、10a、10b、10c 第1電極
20、20a、20b、20c 第2電極
30 30a、30b、30c 有機層
50a、50b 光感知素子
55、55a、55b、55c 電荷貯蔵所
60 下部絶縁層
70 色フィルター層
70a 青色フィルター
70b 赤色フィルター
80 上部絶縁層
85 貫通口
100 光電素子
100(a〜c) (第1〜第3)光電素子
110 半導体基板
300、400、500 有機CMOSイメージセンサ

Claims (23)

  1. フラーレン誘導体であって、
    下記に示す化学式1で表される置換基を含むことを特徴とするフラーレン誘導体。
    Figure 2019099570
    (ここで、化学式1において、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、
    Arは、C6〜C30芳香族環であり、
    〜R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、
    はフラーレンコアとの連結地点であり、
    但し、Arがベンゼン環の場合、下記に示す化学式2で表され、
    Figure 2019099570
    ここで、化学式2において、X、R〜Rは、化学式1で定義したとおりであり、
    〜Rの内の少なくとも二つは、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基である。)
  2. 前記フラーレン誘導体は、昇華による真空蒸着が可能な化合物であることを特徴とする請求項1に記載のフラーレン誘導体。
  3. 1Pa以下で熱重量分析(thermogravimetric analysis)時、前記フラーレン誘導体の初期重量対比10%の重量減少が起こる温度は460℃以下であり、前記フラーレン誘導体の初期重量対比50%の重量減少が起こる温度は500℃以下であることを特徴とする請求項2に記載のフラーレン誘導体。
  4. 前記フラーレン誘導体は、3.7〜5.0eVのLUMOエネルギー準位及び5.8〜7.0eVのHOMOエネルギー準位を有することを特徴とする請求項1に記載のフラーレン誘導体。
  5. 前記Arは、ベンゼン環又は融合環であることを特徴とする請求項1に記載のフラーレン誘導体。
  6. 前記Arは、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ピレン環、又はトリフェニレン環であることを特徴とする請求項5に記載のフラーレン誘導体。
  7. 前記フラーレンコアは、C60、C70、C74、C76、又はC78であることを特徴とする請求項1に記載のフラーレン誘導体。
  8. 前記化学式2のR〜Rの内の少なくとも二つは、イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、イソヘキシル基、イソヘプチル基、イソオクチル基、t−ブチル基、t−ペンチル基、t−ヘキシル基、ネオペンチル基、又はネオヘキシル基であることを特徴とする請求項1に記載のフラーレン誘導体。
  9. 前記化学式2で表される置換基は、下記に示す化学式3〜8のいずれか一つで表されることを特徴とする請求項1に記載のフラーレン誘導体。
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    (ここで、化学式3〜8において、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、
    及びRは、それぞれ独立に、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基であり、
    及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、
    は、フラーレンコアとの連結地点である。)
  10. 前記化学式1で表される置換基は、下記に示す化学式1A〜1Fのいずれか一つで表されることを特徴とする請求項1に記載のフラーレン誘導体。
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    (ここで、化学式1A〜1Fにおいて、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、
    〜R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、
    は、フラーレンコアとの連結地点である。)
  11. 薄膜であって、
    前記薄膜は、請求項1乃至10のいずれか一項に記載のフラーレン誘導体を含むことを特徴とする薄膜。
  12. 前記薄膜の450nm波長での吸光係数は、非置換のC60フラーレンを含む薄膜の450nm波長での吸光係数より小さいことを特徴とする請求項11に記載の薄膜。
  13. 前記薄膜の450nm波長での吸光係数は、非置換のC60フラーレンを含む薄膜の450nm波長での吸光係数の1/2以下であることを特徴とする請求項12に記載の薄膜。
  14. 互いに対向する第1電極と第2電極と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に配置される有機層と、を有し、
    前記有機層は、下記に示す化学式1で表されるフラーレン誘導体を含むことを特徴とする光電素子。
    Figure 2019099570
    (ここで、化学式1において、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、
    Arは、C6〜C30芳香族環であり、
    〜R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、
    はフラーレンコアとの連結地点であり、
    但し、Arがベンゼン環の場合、下記に示す化学式2で表され、
    Figure 2019099570
    ここで、化学式2において、X、R〜Rは、化学式1で定義したとおりであり、
    〜Rの内の少なくとも二つは、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基である。)
  15. 前記フラーレンコアは、C60、C70、C74、C76、又はC78であり、
    前記Arは、ベンゼン環又は融合環であることを特徴とする請求項14に記載の光電素子。
  16. 前記Arは、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ピレン環、又はトリフェニレン環であることを特徴とする請求項15に記載の光電素子。
  17. 前記化学式2のR〜Rの内の少なくとも二つは、イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、イソヘキシル基、イソヘプチル基、イソオクチル基、t−ブチル基、t−ペンチル基、t−ヘキシル基、ネオペンチル基、又はネオヘキシル基であることを特徴とする請求項14に記載の光電素子。
  18. 前記化学式2で表される置換基は、下記に示す化学式3〜8のいずれか一つで表されることを特徴とする請求項14に記載の光電素子。
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    (ここで、化学式3〜8において、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、
    及びRは、それぞれ独立に、置換もしくは非置換のC3〜C20分枝型アルキル基であり、
    及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、
    は、フラーレンコアとの連結地点である。)
  19. 前記化学式1で表される置換基は、下記に示す化学式1A〜1Fのいずれか一つで表されることを特徴とする請求項14に記載の光電素子。
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    Figure 2019099570
    (ここで、化学式1A〜1Fにおいて、Xは、O、S、Se、Te、SO、SO、NR、CR、SiR、又はGeRであり、
    〜R及びR〜Rは、それぞれ独立に、水素、重水素、置換もしくは非置換のC1〜C20アルキル基、置換もしくは非置換のC1〜C20ヘテロアルキル基、置換もしくは非置換のC2〜C20アルケニル基、置換もしくは非置換のC2〜C20ヘテロアルケニル基、置換もしくは非置換のC6〜C30アリール基、置換もしくは非置換のC3〜C30ヘテロ環基、ハロゲン、シアノ基、又はこれらの組み合わせであり、
    は、フラーレンコアとの連結地点である。)
  20. 前記有機層は、活性層を含み、
    前記活性層は、pn接合を形成するp型半導体とn型半導体を含み、
    前記n型半導体は、前記フラーレン誘導体を含むことを特徴とする請求項14に記載の光電素子。
  21. イメージセンサであって、
    前記イメージセンサは、請求項14乃至20のいずれか一項に記載の光電素子を含むことを特徴とするイメージセンサ。
  22. 請求項21に記載のイメージセンサを含むことを特徴とする電子装置。
  23. 請求項14乃至20のいずれか一項に記載の光電素子を含むことを特徴とする電子装置。
JP2018223297A 2017-12-04 2018-11-29 フラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置 Active JP7260288B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2017-0165360 2017-12-04
KR1020170165360A KR102573162B1 (ko) 2017-12-04 2017-12-04 플러렌 유도체, 광전 소자 및 이미지 센서

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019099570A true JP2019099570A (ja) 2019-06-24
JP7260288B2 JP7260288B2 (ja) 2023-04-18

Family

ID=64476991

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018223297A Active JP7260288B2 (ja) 2017-12-04 2018-11-29 フラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11094885B2 (ja)
EP (1) EP3492456B1 (ja)
JP (1) JP7260288B2 (ja)
KR (1) KR102573162B1 (ja)
CN (1) CN109942529A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020086458A (ja) * 2018-11-26 2020-06-04 三星エスディアイ株式会社Samsung SDI Co., Ltd. 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性樹脂膜およびカラーフィルタ
WO2021149801A1 (ja) * 2020-01-23 2021-07-29 国立大学法人東海国立大学機構 フラーレン誘導体、フラーレン誘導体の製造方法、蒸着物、膜、及び電子デバイス
WO2022124273A1 (ja) * 2020-12-09 2022-06-16 昭和電工株式会社 フラーレン誘導体およびその製造方法
WO2023085188A1 (ja) * 2021-11-10 2023-05-19 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 有機半導体膜および光電変換素子ならびに撮像装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012015390A (ja) * 2010-07-02 2012-01-19 Konica Minolta Holdings Inc 有機光電変換素子、太陽電池及び光センサアレイ
CN105153182A (zh) * 2015-09-29 2015-12-16 苏州大学 一种5-烷基-2,3-二氢苯并呋喃-c60富勒烯双加成物及其制备方法和用途
JP2017528914A (ja) * 2014-09-01 2017-09-28 メルク パテント ゲーエムベーハー 有機電子デバイスに使用するためのフラーレン混合物

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010040506A (ko) 1998-02-02 2001-05-15 유니액스 코포레이션 유기 반도체로부터 제조한 영상 센서
US7129466B2 (en) 2002-05-08 2006-10-31 Canon Kabushiki Kaisha Color image pickup device and color light-receiving device
DE102005010978A1 (de) 2005-03-04 2006-09-07 Technische Universität Dresden Photoaktives Bauelement mit organischen Schichten
JP4911445B2 (ja) 2005-06-29 2012-04-04 富士フイルム株式会社 有機と無機のハイブリッド光電変換素子
US9039935B2 (en) 2006-05-09 2015-05-26 Japan Science And Technology Agency Photoelectric conversion material containing fullerene derivative
US20070272918A1 (en) 2006-05-25 2007-11-29 Barry Rand Organic photosensitive devices using subphthalocyanine compounds
JP2008258474A (ja) 2007-04-06 2008-10-23 Sony Corp 固体撮像装置および撮像装置
US9231214B2 (en) 2008-04-08 2016-01-05 The Regents Of The University Of California Photovoltaic devices including self-assembling fullerene derivatives for improved efficiencies
JP5114541B2 (ja) 2010-02-25 2013-01-09 富士フイルム株式会社 光センサの製造方法
KR101573611B1 (ko) * 2013-04-17 2015-12-01 주식회사 엘지화학 플러렌 유도체, 이를 이용한 유기 태양 전지 및 이의 제조 방법
JP6546602B2 (ja) * 2014-03-31 2019-07-17 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングMerck Patent Gesellschaft mit beschraenkter Haftung 縮合ビスアリールフラーレン誘導体
CN106458808B (zh) 2014-06-17 2021-04-20 天光材料科技股份有限公司 富勒烯衍生物
EP3070756B9 (en) 2015-03-18 2021-11-03 Raynergy Tek Inc. Semiconductor mixtures comprising nanoparticles
KR102330698B1 (ko) 2015-09-04 2021-11-23 삼성전자주식회사 유기 광전 소자 및 이미지 센서
JP6572075B2 (ja) 2015-09-24 2019-09-04 ラピスセミコンダクタ株式会社 半導体装置及び半導体装置の製造方法
KR102491494B1 (ko) 2015-09-25 2023-01-20 삼성전자주식회사 유기 광전 소자용 화합물 및 이를 포함하는 유기 광전 소자 및 이미지 센서

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012015390A (ja) * 2010-07-02 2012-01-19 Konica Minolta Holdings Inc 有機光電変換素子、太陽電池及び光センサアレイ
JP2017528914A (ja) * 2014-09-01 2017-09-28 メルク パテント ゲーエムベーハー 有機電子デバイスに使用するためのフラーレン混合物
CN105153182A (zh) * 2015-09-29 2015-12-16 苏州大学 一种5-烷基-2,3-二氢苯并呋喃-c60富勒烯双加成物及其制备方法和用途

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
J. MATER. CHEM. A, vol. 5, JPN6022048216, 2017, pages 2774 - 2783, ISSN: 0004919958 *
ORG. BIOMOL. CHEM., vol. 1, JPN6022048213, 2003, pages 1764 - 1768, ISSN: 0004919955 *
ORG. LETT., vol. 15, no. 13, JPN6022048215, 2013, pages 3408 - 3411, ISSN: 0004919957 *
TETRAHEDRON LETTERS, vol. 35, no. 23, JPN6022048214, 1994, pages 3869 - 3872, ISSN: 0004919956 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020086458A (ja) * 2018-11-26 2020-06-04 三星エスディアイ株式会社Samsung SDI Co., Ltd. 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性樹脂膜およびカラーフィルタ
WO2021149801A1 (ja) * 2020-01-23 2021-07-29 国立大学法人東海国立大学機構 フラーレン誘導体、フラーレン誘導体の製造方法、蒸着物、膜、及び電子デバイス
KR20220123107A (ko) 2020-01-23 2022-09-05 고쿠리츠 다이가쿠 호우징 도우카이 고쿠리츠 다이가쿠 기코우 풀러렌 유도체, 풀러렌 유도체의 제조 방법, 증착물, 막, 및 전자 디바이스
WO2022124273A1 (ja) * 2020-12-09 2022-06-16 昭和電工株式会社 フラーレン誘導体およびその製造方法
JPWO2022124273A1 (ja) * 2020-12-09 2022-06-16
JP7212227B2 (ja) 2020-12-09 2023-01-25 昭和電工株式会社 フラーレン誘導体およびその製造方法
KR20230104242A (ko) 2020-12-09 2023-07-07 가부시끼가이샤 레조낙 풀러렌 유도체 및 그 제조 방법
WO2023085188A1 (ja) * 2021-11-10 2023-05-19 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 有機半導体膜および光電変換素子ならびに撮像装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190065819A (ko) 2019-06-12
CN109942529A (zh) 2019-06-28
US11094885B2 (en) 2021-08-17
EP3492456A2 (en) 2019-06-05
EP3492456A3 (en) 2019-06-26
EP3492456B1 (en) 2022-01-05
US20190173015A1 (en) 2019-06-06
JP7260288B2 (ja) 2023-04-18
KR102573162B1 (ko) 2023-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101718165B1 (ko) 광전 변환 소자 및 그 제조방법, 광센서, 촬상소자 및 이들의 구동방법
TWI488847B (zh) 光電變換元件、光電變換元件材料、光感測器以及攝影元件
KR101642546B1 (ko) 광전 변환 소자 및 촬상 디바이스 그리고 그 구동 방법
KR101884021B1 (ko) 광전 변환 소자, 고체 촬상 소자, 촬상 장치, 및 광전 변환 소자의 제조 방법
JP7260288B2 (ja) フラーレン誘導体及びそれを含む薄膜、光電素子並びにイメージセンサ及び電子装置
EP2292586B1 (en) Photoelectric conversion material, film containing the material, photoelectric conversion device, production method thereof, photosensor, imaging device and their use methods
WO2011105624A1 (en) Photoelectric conversion device, imaging device and production methods thereof
TWI683463B (zh) 光電轉換元件及使用其的影像感測器
TWI618699B (zh) 光電轉換材料、光電轉換元件、光感測器及攝像元件
US20170141320A1 (en) Photoelectric conversion element, and image sensor, solar cell, single color detection sensor and flexible sensor each of which uses said photoelectric conversion element
US10937970B2 (en) Compound and photoelectric device, image sensor and electronic device including the same
US20200136063A1 (en) Compound and film and photoelectric diode and organic sensor and electronic device
US11466001B2 (en) Compound and photoelectric device, image sensor and electronic device including the same
US20220216418A1 (en) Compound and photoelectric device, image sensor, and electronic device including the same
US11322688B2 (en) N-type semiconductor composition, and thin film, organic photoelectric device, image sensor, and electronic device including the same
US11145822B2 (en) Compound and photoelectric device, image sensor, and electronic device including the same
JP2020191446A (ja) 光電変換素子とこれを含む有機センサ及び電子装置
KR102490615B1 (ko) 플러렌 유도체, 광전 소자 및 이미지 센서
US11271162B2 (en) Fullerene derivatives, and organic photoelectric device, image sensor, and electronic device including the same
US11713952B2 (en) Organic photoelectric device, image sensor, and electronic device
KR20210053141A (ko) 광전 소자, 센서 및 전자 장치
JP2020088387A (ja) 光電変換素子と有機センサ及び電子装置
WO2014050764A1 (ja) 光電変換素子、撮像素子、光センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221027

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221115

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230215

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230307

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230406

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7260288

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150