JP2010147158A - 半導体受光素子および半導体受光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】p型領域と高抵抗半導体層の間にi型層を有することで埋め込み界面を流れる表面リーク電流を低減する事ができ、暗電流の少ない受光素子半導体受光素子を提供することができる。
【選択図】 図1
Description
上記した欠点を改善する技術として、基板上に形成したpn接合を含むメサの周囲に適当な濃度の不純物を含む高抵抗半導体結晶からなる埋め込み層を形成し、この埋め込み層でpn接合を被うことによって、表面準位や表面欠陥を低減して表面リーク電流を低くする構造が提案されている(例えば、特許文献1、2 参照)。
しかし、上記文献に示されているようにpn接合フォトダイオードの外周に高抵抗半導体層を形成した構造では、再成長界面とp型層もしくはn型層が直接、接触する構造となっている。高抵抗半導体層でメサ側壁の欠陥や界面順位が低減されていても、完全に除去することは難しくリークパスの要因になる。また、p型層やn型層中の不純物と高抵抗半導体層中の不純物が高抵抗半導体層の再成長中に相互に拡散し、高抵抗半導体層が所望の抵抗値よりも低くなるといったことも暗電流増加の一因となる。これらの事象により、結果としてプレーナ型構造と比較して暗電流、特にその中でも表面リーク電流が高いといった問題があった。
図1は、実施の形態1に係る半導体受光素子の断面図である。n型InP(n−InP、以下n型をn−、p型をp−と示し、さらに意図して不純物をドーピングしていない、あるいはキャリア濃度が1x1016/cm以下であるものをi型とし、i−と示す)基板101上にn−InGaAs導電層103(不純物濃度1x1018/cm、層厚0.5μm)、n−InPクラッド層105(不純物濃度1x1018/cm、層厚1μm)、i−InGaAs光吸収層107(不純物濃度1x1015/cm、層厚2μm)が形成され、その上に、InP窓層109が形成される。InP窓層109には、周囲がi型領域117(不純物濃度1x1015/cm、層厚1μm)に囲まれ、Znが拡散されたp型領域115(層厚1μm)が形成されている。p型領域115の上にはp−InGaAsコンタクト層111(層厚0.5μm)が形成される。n−InPクラッド層105、i−InGaAs光吸収層107、InP窓層109は周囲をエッチングされてメサ構造となっている。メサ外周は、i−InGaAs光吸収層107よりバンドギャップが大きい埋め込み層としてFeをドープしたInP(Fe−InP)ブロック層113(不純物濃度5x1016/cm、層厚約3μm)が形成されている。p−InGaAsコンタクト層111が形成された部分を除いて上面にSiNパッシベーション膜119が形成されている。また、p−InGaAsコンタクト層111の上にはp電極121が形成されており、裏面にはn電極123が形成されている。
Id∝exp[−qEg/nkT] (式1)
ここで、qは素電荷1.60x10−19C、Egは空乏層のバンドギャップ、kはボルツマン定数8.62x10−5eV/K、nは、拡散電流と発生再結合電流の比率で1〜2の範囲で変化する係数、Tは絶対温度である。
しかしながらメサ構造の場合、露出面に形成された表面準位や表面欠陥による表面リーク電流が発生す場合が多い。一般的に表面リーク電流は下記式で表される。
Is=qni√πA・WsS (式2)
ここでniは真性キャリア濃度、Aはpn接合面積、Wsは空乏層幅、Sは表面再結合速度である。
この式2からわかるように、表面リーク電流の式には温度の係数が含まれていないことから、温度を変化させても表面リーク電流はほとんど変化しない。対して、式1は、その式の中に温度の係数が含まれており、温度に対して暗電流が大きく変化する。従って、表面リーク電流成分を考慮した暗電流の式としては、
Id∝exp[−qEa/kT] (式3)
と表すことができる。ここで、Eaは活性化エネルギーである。この活性化エネルギーを求め、Ea=Egの場合には、空乏層域外からの拡散電流が、Ea=1/2Egの場合には、発生再結合電流が支配的と評価させる。さらに、Ea<1/2Egの場合は、表面リーク電流が含まれると考えられ、Eaが小さくなるほど表面リーク電流成分が多いことになる。
図10は本発明の他の実施の形態の半導体受光素子の断面図を示す。本実施の形態は、本発明を超高速受信用pin−PDに適用したものである。
図11は本発明の他の実施の形態の半導体受光素子の断面図を示す。本実施の形態3に係る半導体受光素子は、Fe−InPブロック層113およびInP窓層109のi型領域117上にi型あるいはn型あるいはFeドープのInP層301を形成したものである。p型領域115は、InP窓層109の上にi型あるいはn型あるいはFeドープのInP層301を形成した後、Znを拡散させてInP窓層109およびInP層301の所定の領域をp型化して形成する。その他の構成は実施の形態1と同様である。
図12は本発明の他の実施の形態の半導体受光素子の断面図を示す。
図13は本発明の他の実施の形態の半導体受光素子の断面図を示す。本実施の形態は、本発明をAlInAsを増倍層に用いた埋め込み型APDに適用したものである。
103 n型InGaAs導電層
105 n型InPクラッド層
107 i型InGaAs光吸収層
109 InP窓層
113 FeドープInPブロック層
115 p型領域
117 i型領域
Claims (5)
- 半導体基板上にn型導電型の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に位置する光吸収層と、
前記光吸収層の上に位置する第2の半導体層を有し、
前記光吸収層および第2の半導体層の周囲が前記光吸収層よりバンドギャップが大きい埋め込み層で埋め込まれたメサ構造を有する半導体受光素子であって、
前記第2の半導体層が、p型導電型の第1の領域と、該第1の領域と前記埋め込み層との間にi型あるいはn型導電型の第2の領域を有することを特徴とする半導体受光素子。 - 前記光吸収層がInGaAs層を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体受光素子。
- 前記第2の半導体層がInP層あるいはAlInAs層を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体受光素子。
- 半導体基板上にn型導電型の第1の半導体層を形成する第1の工程と、
前記第1の半導体層の上に光吸収層を形成する第2の工程と、
前記光吸収層の上にi型あるいはn型導電型の第2の半導体層を形成する第3の工程と、
前記光吸収層および前記第2の半導体層をエッチングしてメサ構造を形成するメサ構造形成工程と、
前記メサ構造の周囲を前記光吸収層よりバンドギャップが大きい層で埋め込む埋め込み層形成工程と、
前記第2の半導体層の一部にp型不純物をドーピングして、前記埋め込み層との間にi型あるいはn型導電型の領域が残るようにp型導電型の領域を形成するp型領域形成工程を有することを特徴とする半導体受光素子の製造方法。 - 前記p型不純物のドーピングに熱拡散法を用いることを特徴とする請求項4に記載の半導体受光素子の製造方法。
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