JP7093149B2 - 表面被覆切削工具 - Google Patents
表面被覆切削工具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7093149B2 JP7093149B2 JP2020507140A JP2020507140A JP7093149B2 JP 7093149 B2 JP7093149 B2 JP 7093149B2 JP 2020507140 A JP2020507140 A JP 2020507140A JP 2020507140 A JP2020507140 A JP 2020507140A JP 7093149 B2 JP7093149 B2 JP 7093149B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- tool
- cutting
- peak
- cutting tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 107
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 19
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 104
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 103
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 53
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 22
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 16
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 16
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- -1 sialon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 22
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 8
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical group [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000002345 surface coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
- B23B27/148—Composition of the cutting inserts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/597—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon oxynitride, e.g. SIALONS
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/02—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
- C04B37/023—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5063—Aluminium nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5068—Titanium nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0617—AIII BV compounds, where A is Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/301—AIII BV compounds, where A is Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C23C16/303—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23B2228/10—Coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3817—Carbides
- C04B2235/3839—Refractory metal carbides
- C04B2235/3847—Tungsten carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
- C04B2235/3873—Silicon nitrides, e.g. silicon carbonitride, silicon oxynitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3895—Non-oxides with a defined oxygen content, e.g. SiOC, TiON
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/343—Alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/36—Non-oxidic
- C04B2237/368—Silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/40—Metallic
- C04B2237/401—Cermets
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
Description
下記特許文献2では、超硬合金の基体を、Al、Ti、Cr、N、Oを含有する硬質皮膜で被覆する技術が開示されている。硬質皮膜がNaCl型の結晶構造を有し、(200)面回折強度が(111)面回折強度より強い場合、優れた耐酸化性、耐摩耗性を発揮する、と記載されている。
また、特許文献2のように、硬質皮膜が立方晶単一相の場合、硬質皮膜の耐熱性が十分ではなく、高速領域での切削熱により、硬質皮膜の酸化反応が進行するおそれがある。硬質皮膜が酸化すると、硬質皮膜の硬度が低下し、切削工具の摩耗が進行することが懸念される。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、高速領域での切削加工における耐摩耗性に優れ、工具寿命が長い表面被覆切削工具を提供することを目的とし、以下の形態として実現することが可能である。
前記複合窒化物は、
組成式:TiaAlbVcN
で表した場合に、
0.25≦a≦0.35
0.64≦b≦0.74
0<c≦0.06
a+b+c=1
(但し、a、b、cはいずれも原子比)を満足し、
前記被覆層は、X線回折において、六方晶に由来するピークと立方晶に由来するピークとが観察されることを特徴とする表面被覆切削工具。
さらに、WC結晶粒子と絶縁性粒子とを含む工具基体を、六方晶を含む被覆層で被覆するから、六方晶による熱伝導率向上の作用により、刃先の温度上昇が抑制される。このため、表面被覆切削工具の長寿命化を図ることができる。
また、被覆層に六方晶と立方晶が混在することで、被覆層の耐酸化温度(酸化開始温度)が立方晶単一相と比較して高くなる。このため、高速領域での切削熱による被覆層の酸化反応が抑制され、高速領域での切削加工における被覆層の耐摩耗性が向上する。
この構成の表面被覆切削工具では、WC結晶粒子と絶縁性粒子とを含む工具基体の表面に特定の組成式のTiとAlとVの複合窒化物からなる被覆層を有するから、六方晶と立方晶がバランスよく混在(分散)して、六方晶の特性による効果と、立方晶の特性による効果を両立させることができる。
前記六方晶の(100)面のピーク強度をIAとし、
前記立方晶の(200)面のピーク強度をIBとした際に、
ピーク強度比(IA/IB)の値が0.43以上0.86以下であることを特徴とする〔1〕に記載の表面被覆切削工具。
表面被覆切削工具は、WC結晶粒子と絶縁性粒子とを含む工具基体の表面に、TiとAlとVの複合窒化物からなる被覆層を有する。複合窒化物は、組成式:TiaAlbVcNで表した場合に、
0.25≦a≦0.35
0.64≦b≦0.74
0<c≦0.06
a+b+c=1
(但し、a、b、cはいずれも原子比)を満足する。
被覆層は、X線回折において、六方晶に由来するピークと立方晶に由来するピークとが観察される。
工具基体は、WC(炭化タングステン)結晶粒子と絶縁性粒子とを含んでいる。工具基体は、WC結晶粒子と絶縁性粒子とから実質的になるセラミックス焼結体であり、高温で軟化する成分を実質的に含まない。ここでいう高温で軟化する成分とは、高速領域での切削加工を想定して、融点がおおむね1600℃以下のCo、Fe、Ni等の金属を例示することができる。なお、セラミックス焼結体には、製造上不可避的に不純物が混入することがある。実質的に含まないとは、全く含まなくてもよいし、工具基体の作用効果に影響を与えない程度の微量(例えば不可避的不純物に相当する量)を含んでいてもよい。
表面被覆切削工具における被覆層は、工具基体の表面に形成されている。被覆層は、TiとAlとVの複合窒化物からなる。複合窒化物は、組成式:TiaAlbVcNで表した場合に、下記の関係式を満たしている。
0.25≦a≦0.35
0.64≦b≦0.74
0<c≦0.06
a+b+c=1
なお、被覆層は、実質、同一の元素により構成された単層の被覆層であり、SEM(走査型電子顕微鏡)による観察で、構成元素の違いを伴う界面が観察されない。
例えば、上記組成式においてbの値が小さくなると被覆層における六方晶の比率が小さくなり(六方晶の生成が確認されない場合を含む)、bの値が大きくなると被覆層における六方晶の比率が大きくなる傾向にある。よって、bの値を上記範囲内とすることで、被覆層に立方晶及び六方晶を適度に混在させて、立方晶と六方晶双方の特性を兼ね備えた被覆層とすることができる。なお、立方晶と六方晶双方の特性の詳細は後述する。
被覆層の厚みは、表面被覆切削工具を切断し、その断面をSEMにより観察して測定することができる。
・立方晶の(111)面のピーク…37.7°
・立方晶の(200)面のピーク…43.8°
・六方晶の(100)面のピーク…32.6°
ピーク強度比(IA/IB)の値は、立方晶に対する六方晶の存在比率を表し、0.43以上0.86以下であることが好ましい。上述したWC結晶粒子と絶縁性粒子とから実質的になる工具基材は、硬度に優れる一方で、超硬合金等に比較して工具基体自体の放熱性に劣り、刃先が高温となりやすい。そのため、被覆層の熱伝導率を高くすることが効果的である。ピーク強度比(IA/IB)の値が0.43未満では立方晶の影響が支配的となり、被覆層の硬度は上昇するが、熱伝導率が十分に確保されないので、被覆層の耐酸化性が低下する。すると、高速領域での切削熱による被覆層の酸化反応が促進され、高速領域での切削加工における被覆層の耐摩耗性が低下するおそれがある。
他方、ピーク強度比(IA/IB)の値が0.86より大きいと、六方晶の影響が支配的となり、被覆層の熱伝導率が向上するが、被覆層の硬度が低下して、被覆層の耐摩耗性が低下するおそれがある。
ピーク強度比(IA/IB)の値が上記の範囲内であれば、六方晶の特性による効果と、立方晶の特性による効果を効果的に両立させることができる。
本実施形態の表面被覆切削工具には、TiとAlとVの複合窒化物からなる単層の被覆層以外の被覆層(以下、「他の被覆層」という)を有していてもよい。
他の被覆層としては、特に限定されないが、例えば、CrAlNが好適に例示される。他の被覆層の厚みは、特に限定されない。他の被覆層は、TiとAlとVの複合窒化物からなる単層の被覆層よりも、内側(工具基体側)に位置してもよいし、外側に位置してもよい。また、他の被覆層の数は特に限定されず、単層、複層のいずれであってもよい。また、他の被覆層が複層である場合には、同一組成の層が積層されていてもよいし、異なる組成の層が積層されていてもよい。
表面被覆切削工具は、切削加工に用いられる従来公知の様々な切削工具に適用することができる。表面被覆切削工具として、旋削加工用又はフライス加工用刃先交換型チップ(切削インサート、スローアウェイチップ)、ドリル、エンドミル、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップを好適に例示できる。なお、本発明の切削工具は、広義の切削工具であり、旋削加工、フライス加工などを行う工具全般を言う。
本実施形態の表面被覆切削工具は、例えば、合金鋼の高速加工に使用する切削工具として好適に用いることができる。
本実施形態の表面被覆切削工具では、工具基体を高温で軟化する成分を実質的に含まないものとすることで、高速領域での切削熱による工具損傷を抑制することができる。
さらに、WC結晶粒子と絶縁性粒子とを含む工具基体を、六方晶を含む被覆層で被覆するから、刃先の温度上昇が抑制され、表面被覆切削工具の長寿命化を図ることができる。一般的に熱伝導率が低い絶縁性粒子を含む工具基体では、超硬合金等に比較して工具基体自体の放熱性に劣り、刃先が高温となりやすい。本実施形態では、被覆層に六方晶と立方晶が混在するから、立方晶単一相の被覆層の場合と比較して、被覆層の熱伝導率が高くなり、被覆層からの放熱が促進される。このため、絶縁性粒子を含む工具基体を採用した場合であっても、六方晶を含む被覆層とすることで、刃先温度の上昇が抑制されたものと考えられる。そして、刃先温度の上昇が抑制されることで、工具基体の酸化が抑制され、高速領域での切削加工における耐摩耗性が向上したものと推測される。
また、被覆層に六方晶と立方晶が混在することで、立方晶単一相と比較して被覆層の耐酸化温度(酸化開始温度)が高くなる。このため、高速領域での切削熱による被覆層の酸化反応が抑制され、高速領域での切削加工における被覆層の耐摩耗性が向上する。
本実施形態では、WC結晶粒子と絶縁性粒子とを含む工具基体の表面に特定の組成式のTiとAlとVの複合窒化物からなる被覆層を有するから、六方晶と立方晶がバランスよく混在(分散)して、六方晶の特性による効果と、立方晶の特性による効果を両立させることができる。
これらの結果、本実施形態では、高速領域での切削加工における耐摩耗性に優れ、工具寿命が長い表面被覆切削工具を提供することができる。
工具基体が超硬合金で構成された台座に接合されている場合には、例えば、工具基体よりも材料費の低い台座に工具基体を接合することによって、上述の切削特性を確保しつつコスト低減を実現できる。
表面被覆切削工具の製造方法は特に限定されない。例えば、アークイオンプレーティング蒸発法により、工具基体の表面に、TiとAlとVの複合窒化物からなる単層の被覆層を形成することができる。この製造方法において、表面被覆の形成条件を制御することによって所望の表面被覆切削工具を得ることができる。本実施形態では、工具基体の表面に形成される、TiとAlとVの複合窒化物からなる被覆層が単層である場合には、この被覆層の形成には1種類のターゲット(蒸発源)が用いられる。ターゲットとしては、Al、Ti、及びVを含有する合金製ターゲットを用い、反応ガスとして窒素ガスを用いる。
なお、合金製ターゲットのAl、Ti、及びVの含有割合を調整することにより、表面の被覆層の組成及び結晶相の存在比率を調整することができる。
実施例1~6及び比較例1~4,6では、工具基体として表1の基体組成(vol%)のセラミックス焼結体を用いた。比較例5では、工具基体として表1の基体組成(vol%)の超硬合金を用いた。各実施例及び比較例において、チップ形状はISO SNGN120408 Z02025とした。工具基体を、カソードアークイオンプレーティング装置に設置した。
真空ポンプによりチャンバー内を減圧するとともに、装置内に設置されたヒーターにより工具基体を温度550℃に加熱し、チャンバー内の圧力が3.0×10-3Paとなるまで真空引きを行った。次に、アルゴンガスを導入してチャンバー内の圧力を1.0Paに保持し、基体バイアス電源の電圧を徐々に上げながら、-200Vとし、工具基体の表面のクリーニングを15分間行った。その後、アルゴンガスを排気した。
次いで、上記装置にAl、Ti、及びVを含有する合金製ターゲットをセットし、反応ガスとして窒素ガスを導入しながら、基体温度550℃、反応ガス圧1.0Pa、基体バイアス電圧を-100Vに維持したまま、カソード電極に100Aのアーク電流を供給し、アーク式蒸発源から金属イオンを発生させ、刃先に1.5μmの被覆層を形成した。本発明には磁力線が被処理体まで伸び、被処理体近傍における成膜ガスのプラズマ密度が従来の蒸発源に比べ格段に高いことを特徴とする蒸発源を用いた。このような蒸発源を用いることで表面に「マクロパーティクル」と呼ばれる溶融したターゲット物質の付着が少なくなり、表面粗度が改善され、切削特性の向上につながる。従って、被覆層の成膜には本蒸発源を用いることが有効である。
このようにして、下記表1に示す、実施例1~6、比較例1~6の表面被覆切削工具を得た。得られた表面被覆切削工具の被覆層を、Cu-Kα線を用いたX線回折装置(リガク製のRINT-TTR3)にて測定した。
なお、実施例1~6、比較例1~6では、合金製ターゲットのAl、Ti、及びVの含有割合を調整することにより、表面の被覆層の組成及び結晶相の存在比率が下記の表1のようになった。
各表面被覆切削工具を用いて、以下の条件による突切り加工を行い、30pass加工後の刃先の摩耗幅を測定した。切削条件は、被削材をSCM415とし、切削速度250m/min、送り量0.03mm/rev、切込み0.2mmとした。この条件において、摩耗幅が60μm以下のものを本発明の表面被覆切削工具とすることができる。
試験結果を表1に示す。表中、「六方晶なし」は、X線回折装置による測定で、六方晶に由来するピークが観察されないことを表している(比較例3の測定結果を示す図3(B)参照)。
比較例1は、被覆層のAlの含有量が多いため、六方晶の影響が強くなり、立方晶の特性を発揮できず、摩耗が進行したと考えられる。また、比較例1は、最強ピークが立方晶の(111)面のピークとなり、被覆層の耐摩耗性が低下し、摩耗が進行したと考えられる。
比較例2は、被覆層のVの含有量が多いため、V2O5による被覆層の硬度及び耐熱性の低下の作用が支配的となり、摩耗が進行したと考えられる。
比較例3は、被覆層のAlの含有量が少ないため、六方晶が生成せず、立方晶単一相となった。このため、六方晶の特性を発揮できないことから摩耗が進行したと考えられる。
比較例4は、被覆層のAlの含有量が多く、かつ、Vの含有量が多いため、六方晶の影響が強く、かつ、V2O5の効果が支配的となり、摩耗が進行したと考えられる。
比較例5は、工具基体として超硬合金を用いたため、工具基体に含まれるCoが高温で軟化して摩耗が進行したと考えられる。また、比較例5では、工具基体として超硬合金を用いたため、六方晶が十分に生成されず、摩耗が進行したと考えられる。
比較例6は、被覆層にVを含まないTiAlNからなる被覆層の場合を示している。比較例6では、Vが含有されておらず、V2O5による被覆層と被削材の滑りを良好に保つ効果が発揮できないことから、摩耗が進行したと考えられる。
他方、比較例1、4は、ピーク強度比(IA/IB)が0.86を超える。比較例2、5は、ピーク強度比(IA/IB)の値が0.43未満となり、比較例3、6は、六方晶の生成が確認されない。いずれの比較例においても、実施例より摩耗幅が大きいことが確認された。
以上の結果から、ピーク強度比(IA/IB)の値が0.43以上0.86以下の場合には、高速領域での切削加工における耐摩耗性が向上することが確認された。
他方、比較例1は、最もピーク強度が高いピークが立方晶の(111)面のピークとなっており、実施例1~6より摩耗幅が大きい。
以上の結果から、最もピーク強度が高いピークが立方晶の(200)面のピークである場合には、高速領域での切削加工における耐摩耗性が向上することが確認された。
本実施例によれば、切削速度250m/minという高速領域での切削加工における耐摩耗性を向上することができ、工具寿命の長い表面被覆切削工具を提供することができる。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。
2…外径加工用ホルダー
3…押さえ金
11…工具基体
13…台座
13A…頂点
Claims (4)
- WC結晶粒子と絶縁性粒子とを含む工具基体の表面に、TiとAlとVの複合窒化物からなる被覆層を有する表面被覆切削工具であって、
前記複合窒化物は、
組成式:TiaAlbVcN
で表した場合に、
0.25≦a≦0.35
0.64≦b≦0.74
0<c≦0.06
a+b+c=1
(但し、a、b、cはいずれも原子比)を満足し、
前記被覆層は、X線回折において、六方晶に由来するピークと立方晶に由来するピークとが観察され、
前記被覆層をX線回折で測定し、
前記六方晶の(100)面のピーク強度をIAとし、
前記立方晶の(200)面のピーク強度をIBとした際に、
ピーク強度比(IA/IB)の値が0.43以上0.86以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記被覆層のX線回折における最もピーク強度が高いピークは、立方晶の(200)面のピークであることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 前記絶縁性粒子はAl2O3、サイアロン、及び窒化珪素からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表面被覆切削工具。
- 前記工具基体はロウ材を介して台座に接合され、前記台座は超硬合金で構成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の表面被覆切削工具。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018243984 | 2018-12-27 | ||
JP2018243984 | 2018-12-27 | ||
PCT/JP2019/046411 WO2020137325A1 (ja) | 2018-12-27 | 2019-11-27 | 表面被覆切削工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020137325A1 JPWO2020137325A1 (ja) | 2021-02-18 |
JP7093149B2 true JP7093149B2 (ja) | 2022-06-29 |
Family
ID=71125809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020507140A Active JP7093149B2 (ja) | 2018-12-27 | 2019-11-27 | 表面被覆切削工具 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11623284B2 (ja) |
EP (1) | EP3903975B1 (ja) |
JP (1) | JP7093149B2 (ja) |
KR (1) | KR102534906B1 (ja) |
CN (1) | CN113260475B (ja) |
WO (1) | WO2020137325A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023190000A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000326111A (ja) | 1999-05-18 | 2000-11-28 | Mitsubishi Materials Corp | スローアウェイチップ |
JP2004058270A (ja) | 2002-07-01 | 2004-02-26 | Seco Tools Ab | 切削工具インサート |
JP2007075911A (ja) | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Mitsubishi Materials Corp | 難削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製切削工具 |
JP2009050997A (ja) | 2006-09-27 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | 切削工具 |
JP2009202244A (ja) | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Tungaloy Corp | 超高圧焼結体工具 |
JP2011224686A (ja) | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2012157938A (ja) | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2015104757A (ja) | 2013-11-28 | 2015-06-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性と耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2015163424A (ja) | 2014-01-29 | 2015-09-10 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2016113320A (ja) | 2014-12-15 | 2016-06-23 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック部材および切削工具 |
JP2017080883A (ja) | 2015-10-30 | 2017-05-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2018094670A (ja) | 2016-12-13 | 2018-06-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐摩耗性と耐欠損性を両立した表面被覆立方晶窒化ホウ素焼結体工具 |
JP2018161739A (ja) | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が優れた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4842710A (en) * | 1987-03-23 | 1989-06-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of making mixed nitride films with at least two metals |
JP3020765B2 (ja) | 1993-05-28 | 2000-03-15 | 京セラ株式会社 | 表面被覆炭化タングステン−アルミナ質焼結体 |
JPH08134629A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-05-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 超微粒積層膜と、それを有する工具用複合高硬度材料 |
EP0846784B1 (en) * | 1996-12-04 | 2004-09-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coated tool and method of manufacturing the same |
JP4528373B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2010-08-18 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 被覆工具およびその製造方法 |
JP4062582B2 (ja) | 2001-07-23 | 2008-03-19 | 株式会社神戸製鋼所 | 切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット |
DE10233222B4 (de) | 2001-07-23 | 2007-03-01 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe | Harte verschleissfeste Schicht, Verfahren zum Bilden derselben und Verwendung |
JP2003165003A (ja) | 2001-11-28 | 2003-06-10 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆部材 |
US10141690B2 (en) * | 2014-08-04 | 2018-11-27 | Vaios Nikolaos Bozikis | Electrical plug and socket securement system |
CN108136509B (zh) * | 2015-10-07 | 2020-02-14 | 株式会社泰珂洛 | 被覆切削工具 |
WO2017170603A1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
-
2019
- 2019-11-27 WO PCT/JP2019/046411 patent/WO2020137325A1/ja unknown
- 2019-11-27 JP JP2020507140A patent/JP7093149B2/ja active Active
- 2019-11-27 KR KR1020217013991A patent/KR102534906B1/ko active IP Right Grant
- 2019-11-27 EP EP19903383.8A patent/EP3903975B1/en active Active
- 2019-11-27 US US17/297,658 patent/US11623284B2/en active Active
- 2019-11-27 CN CN201980086054.5A patent/CN113260475B/zh active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000326111A (ja) | 1999-05-18 | 2000-11-28 | Mitsubishi Materials Corp | スローアウェイチップ |
JP2004058270A (ja) | 2002-07-01 | 2004-02-26 | Seco Tools Ab | 切削工具インサート |
JP2007075911A (ja) | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Mitsubishi Materials Corp | 難削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製切削工具 |
JP2009050997A (ja) | 2006-09-27 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | 切削工具 |
JP2009202244A (ja) | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Tungaloy Corp | 超高圧焼結体工具 |
JP2011224686A (ja) | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2012157938A (ja) | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2015104757A (ja) | 2013-11-28 | 2015-06-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性と耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2015163424A (ja) | 2014-01-29 | 2015-09-10 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2016113320A (ja) | 2014-12-15 | 2016-06-23 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック部材および切削工具 |
JP2017080883A (ja) | 2015-10-30 | 2017-05-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2018094670A (ja) | 2016-12-13 | 2018-06-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐摩耗性と耐欠損性を両立した表面被覆立方晶窒化ホウ素焼結体工具 |
JP2018161739A (ja) | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が優れた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3903975B1 (en) | 2024-02-21 |
KR20210063427A (ko) | 2021-06-01 |
WO2020137325A1 (ja) | 2020-07-02 |
CN113260475A (zh) | 2021-08-13 |
US20220001457A1 (en) | 2022-01-06 |
KR102534906B1 (ko) | 2023-05-26 |
EP3903975A4 (en) | 2022-09-14 |
JPWO2020137325A1 (ja) | 2021-02-18 |
EP3903975A1 (en) | 2021-11-03 |
US11623284B2 (en) | 2023-04-11 |
EP3903975C0 (en) | 2024-02-21 |
CN113260475B (zh) | 2023-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6634647B2 (ja) | 耐チッピング性、耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
US20070275268A1 (en) | Cutting tool made of surface-coated cubic boron nitride-based ultra-high-pressure sintered material | |
JP5835307B2 (ja) | 超硬合金およびこれを用いた表面被覆切削工具 | |
JP6830410B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
WO2016084939A1 (ja) | 耐チッピング性、耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JP7093149B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP6102617B2 (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JP7453613B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5835308B2 (ja) | 超硬合金およびこれを用いた表面被覆切削工具 | |
JP4853121B2 (ja) | 硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP2007136655A (ja) | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 | |
JP2007152542A (ja) | 高硬度鋼の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 | |
JP2010284759A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP3948010B2 (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐熱性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
JP2016064470A (ja) | 耐チッピング性、耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JP4569862B2 (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP5835305B2 (ja) | 超硬合金およびこれを用いた表面被覆切削工具 | |
JP4569861B2 (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP2007136653A (ja) | 高硬度鋼の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 | |
JP3972776B2 (ja) | 高速切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮するスローアウエイ式表面被覆超硬合金製切削チップ | |
JP2020110853A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP4748444B2 (ja) | 難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP2005205582A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP2005279907A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP2002326101A (ja) | 高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製スローアウエイ式切削チップ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220615 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7093149 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |