JP4528373B2

JP4528373B2 - 被覆工具およびその製造方法

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Publication number: JP4528373B2
Application number: JP03656797A
Authority: JP
Inventors: 久典大原; 信行北川; 和男野口
Original assignee: Sumitomo Electric Hardmetal Corp
Current assignee: Sumitomo Electric Hardmetal Corp
Priority date: 1997-02-20
Filing date: 1997-02-20
Publication date: 2010-08-18
Anticipated expiration: 2017-02-20
Also published as: JPH10237628A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、工具の表面に耐摩耗性被膜を形成した、いわゆる被覆工具に関し、特に、フライス加工、旋削加工、穿孔加工等に用いられる被覆工具（被覆切削工具）と、金属の鍛造、打抜き、プレス加工等に用いられる被覆工具（被覆金型）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
近年、加工の高能率化・高精度化の要求を満たすために、新しい工具材料が次々と開発されている。このような材料開発の流れの中で、各種工具素材へセラミックをコーティングして、いわゆる被覆工具を製造する技術は欠かせないものとなっている。また、最近の動向として、加工能率をより一層向上させるために、加工速度がより高速になりつつある。そのため、工具の表面のセラミック被膜の摩耗はますます激しくなる傾向にある。
【０００３】
このような摩耗を抑えるために、たとえば、切削工具ではセラミックコーティング膜の成分として、炭化チタン（ＴｉＣ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、炭窒化チタン（Ｔｉ（Ｃ，Ｎ））といったチタン系セラミックスが最もよく使われている。さらに、チタン系セラミックス材料の中にアルミニウムを添加することでセラミックコーティング膜の耐摩耗性と耐酸化性を向上させる方法も開発されている。そのため、セラミックコーティング膜として窒化チタンアルミニウム（（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ）も普及しつつある。
【０００４】
しかし、このような被膜を、被覆切削工具に形成すると切削される材料（以下、被削材と称する）が工具の切刃近傍においてセラミックコーティング膜に溶着し、切刃の欠けを誘発するという、いわゆる「溶着欠損」が生ずるという問題がある。このような溶着欠損が生じるのは、耐摩耗性被膜としてのセラミックコーティング膜と、溶着物との密着力が高く、刃先で溶着物が成長し、この成長した溶着物が切刃先端部で大規模な欠損等の現象を引起こすためと考えられる。
【０００５】
また、穿孔加工において、セラミックコーティング膜が形成されたドリルでは、特に深い孔を形成する際に切屑の流出抵抗が増大し、ドリルが折れるという問題も生じていた。
【０００６】
これらの問題を解決するために、二硫化モリブデンなどの層状化合物からなる潤滑性被膜を耐摩耗性被膜の上に積層した工具も提案され、かつ市販されている。これらの工具では、二硫化モリブデンなどの層状化合物は機械的強度が低いために摩耗しやすい。そのため、切削開始直後には二硫化モリブデンの潤滑作用により溶着欠損や流出抵抗の増大という問題が発生しにくい。しかしながら、切削を進めていくうちにつれて、二硫化モリブデンが減少するため、溶着欠損や切屑の流出抵抗の増大という問題が生じやすくなる。
【０００７】
そのため、このような溶着欠損や切屑の流出抵抗の増大現象を抑えるためには、切削中に大量の切削油剤を用いることが一般的である。しかしながら、切削油剤を使用することは環境問題として取上げられている。また、ドリルを用いて深い孔を加工する際には切刃の先端部へ切削油剤を送り込むことは困難である。そこで、切削油剤を用いずに高速度の切削加工に耐えられる工具が必要とされている。
【０００８】
一方、金型においても、金型の基材上へセラミックをコーティングする技術が欠かせないものとなっている。また、最近の動向として加工精度の向上や潤滑剤被覆工程の削減などを実現するため、温間または熱間鍛造が広まりつつある。したがって、金型材の摩耗がますます激しくなる傾向にある。
【０００９】
このような摩耗を抑えるために、セラミックコーティング膜の成分として切削工具の場合と同様のものが現在広く用いられている。しかし、このようなセラミックコーティング膜は耐摩耗性向上のためには有効であるが潤滑性が少ない。したがってこの膜の上にさらにボンデライト処理膜を形成したり、さらに加工中に潤滑油、黒鉛またはホウ酸系潤滑剤を用いる技術が採用されている。
【００１０】
ここで、ボンデライト処理とは、被加工材表面にリン酸亜鉛被膜を形成することである。これにより、冷間鍛造中における被加工材と金型材との、いわゆる齧り現象を抑えることができる。しかしながら、ボンデライト処理の前工程において金型材表面を酸で洗浄することが必要であるため、排液が多量に発生するという問題があった。また、冷間鍛造した後の被加工材は硬化するため、冷間鍛造のたびに被加工材を焼鈍する必要がある。この際に、被加工材表面のリン酸亜鉛被膜が被加工材から外れるため、焼鈍が終了した後にさらにボンデライト処理をしなければならないという問題があった。
【００１１】
冷間鍛造におけるこれらの問題点を解決するために、温間または熱間鍛造が広く行なわれるようになっている。被加工材の温度を高く（たとえば鉄系材料の鍛造においては温度５００℃以上）することで被加工材の変形抵抗を下げ、金型に対する機械的応力負荷を下げることができる。さらに、鍛造のたびに被加工材を焼鈍・ボンデライト処理する必要はないという利点がある。
【００１２】
しかしながら、温間または熱間鍛造においては、ボンデライト処理に代わる信頼性の高い潤滑方法がないという問題がある。黒鉛系やホウ酸系の固体潤滑剤を用いる方法も採用されているが、この方法では十分な潤滑性が得られず、金型の表面が激しく摩耗するという問題が生じている。そのため、冷間、温間および熱間鍛造において、摩耗しにくい金型が求められている。
【００１３】
そこで、この発明は、上述のような問題を解決するためになされたものである。
【００１４】
すなわち、この発明の１つの目的は、被覆膜の摩耗が少ない被覆工具を提供することである。
【００１５】
また、この発明の別の目的は、溶着欠損や切屑の流出抵抗の増大という問題が発生せず、被覆膜の摩耗が少ない被覆切削工具を提供することである。
【００１６】
この発明のさらなる別の目的は、冷間、温間および熱間鍛造において、被覆膜が減少しにくい被覆金型を提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明に従った被覆工具は基材と耐摩耗性被膜とを備える。耐摩耗性被膜は、基材の上に形成されて、少なくとも第一の膜を含む。耐摩耗性被膜全体における各成分の組成は（Ｔｉ_x，Ａｌ_y，Ｖ_z）（Ｃ_u，Ｎ_v，Ｏ_w）（ここで、添字ｘ、ｙ、ｚ、ｕ、ｖおよびｗは、それぞれ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｖ、Ｃ、ＮおよびＯの原子比率を示す）で表わされ、ｘ、ｙ、ｚ、ｕ、ｖおよびｗの間にはｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｕ＋ｖ＋ｗ＝１、０．２＜ｘ＜１、０＜ｙ＜０．８、０．０２≦ｚ＜０．６、０≦ｕ＜０．７、０．３＜ｖ≦１および０≦ｗ＜０．５で示す関係が成立する。耐摩耗性被膜の厚さは０．５μｍ以上１５μｍ以下である。
【００１８】
このように構成されたこの発明の被覆工具においては、耐摩耗性被膜がチタン系セラミックスであるため硬度が高くなる。さらに、耐摩耗性被膜と、被削材の成分と、大気中の酸素とが反応することにより耐摩耗性被膜の表面に温度１０００℃以下の融点を有する複合酸化物が生じる。具体的には、被加工物をクロムやニッケルを含む鉄合金とした場合、融点が温度６９０℃である五酸化二バナジウム（Ｖ₂ Ｏ₅ ）と、鉄、クロムまたはニッケルの酸化物とのバナジウム酸塩が複合酸化物となる。このバナジウム酸塩として、融点が温度８６０℃であるＦｅ₂ Ｏ₃ ・Ｖ₂ Ｏ₅ 、融点が温度８５０℃であるＣｒ₂ Ｏ₃ ・Ｖ₂ Ｏ₅ または融点が温度９００℃である３ＮｉＯ・Ｖ₂ Ｏ₅ がある。このような低融点酸化物の生成現象は、一般にバナジウムアタックとも呼ばれており、高温・高速の燃焼ガス雰囲気における鉄基構造材料の損耗を加速する有害な現象として知られている。しかしながら、このような現象を切削加工における潤滑性向上を目的として利用された例は全く知られていない。したがって、潤滑性被膜としての低融点酸化物の作用により、耐摩耗性被膜の摩耗が少なくなり、膜の摩耗量が減少する。しかも、仮に耐摩耗性被膜の表面に潤滑性被膜がなくなったとしても、耐摩耗性被膜と大気中の酸素と被加工物とが反応して耐摩耗性被膜の表面に新たな潤滑性被膜が生じる。この点で、この潤滑性被膜は損耗・再生を繰返すため「自己修復性」を有しているといえる。したがって従来の二硫化モリブデンコーティングのように潤滑膜がなくなった後には潤滑効果が得られないという問題がない。言い換えれば、この発明では、加工中に耐摩耗性被膜が存在する限りその表面には潤滑性被膜が生じる。その結果、耐摩耗性被膜の摩耗をさらに少なくすることができる。
【００１９】
また、耐摩耗性被膜中の元素の原子比率を制限したのは以下の理由による。
チタンの原子比率ｘについて、０．２＜ｘとしたのはｘが０．２以下であれば耐摩耗性被膜の硬度が低下するからである。アルミニウムの原子比率ｙについて、ｙ＜０．８としたのはｙが０．８以上となれば耐摩耗性被膜の結晶構造が面心立方構造（ｆｃｃ）から六方細密充填構造（ｈｃｐ）に変化し、膜の硬度が極端に低下するからである。バナジウムの原子比率ｚについて、０．０２≦ｚとしたのは、ｚが０．０２未満であればバナジウム添加の効果が得られず潤滑性を有する複合酸化物が十分に生じないからである。また、ｚ＜０．６としたのはｚが０．６以上となると耐摩耗性被膜の硬度が低下するからである。炭素の原子比率ｕについて、ｕ＜０．７としたのはｕが０．７以上になると耐摩耗性被膜中に遊離した炭素が混入し、耐摩耗性被膜が脆くなるからである。窒素の原子比率ｖについて０．３＜ｖとしたのは、ｖが０．３以下であれば耐摩耗性被膜が脆くなるからである。酸素の原子比率ｗについて、ｗ＜０．５としたのは、ｗが０．５以上となると耐摩耗性被膜中に不安定なチタン酸化物が生成し、耐摩耗性被膜の強度が低下するためである。
【００２０】
耐摩耗性被膜の膜厚は０．５μｍ以上である必要がある。膜厚が０．５μｍ未満であれば被膜自体の強度が低下し、被膜の耐摩耗性が発揮できないからである。また耐摩耗性被膜の厚さは１５μｍ以下である必要がある。膜厚が１５μｍを超えると耐摩耗性被膜が剥離したり欠けやすくなるからである。
【００２１】
耐摩耗性被膜は２種類の異なる膜で形成された複数の第１の膜を含む。第１の膜の各々の組成は（（Ｔｉ_a，Ａｌ_b，Ｖ_c）（Ｃ_d，Ｎ_e，Ｏ_f）である。添字ａ、b、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは、それぞれ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｖ、Ｃ、ＮおよびＯの原子比率を示す。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの間にはａ＋ｂ＋ｃ＝１、ｄ＋ｅ＋ｆ＝１、０．２＜ａ＜１、０＜ｂ＜０．８、０＜ｃ＜０．６、０≦ｄ＜０．７、０．３＜ｅ≦１および０≦ｆ＜０．５で示す関係が成立する。この場合、積層された複数の第１の膜の界面で膜の破壊の進行が阻止されるという効果が得られるため耐摩耗性被膜の摩耗を減少させることができる。また、構成元素の原子比率ａ、ｂ、ｄ、ｅおよびｆを一定範囲に制限したのは原子比率ｘ、ｙ、ｕ、ｖおよびｗを制限したのと同様の理由による。また、ｃを０超としたのは、耐摩耗性被膜全体でのバナジウムの原子比率ｚが０．０２以上であれば潤滑性被膜としての複合酸化物が必要量生じ、複合酸化物の生成量とｃとの間には特に関連がないからである。
【００２２】
また、第１の膜の各々の厚みは０．５ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。各々の第１の膜の厚さを０．５ｎｍ以上としたのは、第１の膜の厚さが０．５ｎｍ以上であれば第１の膜を構成する元素が固溶した状態とならず、正しい原子配置となり膜質が向上するからである。また、各々の第１の膜の厚さを５００ｎｍ以下としたのは、厚さが５００ｎｍ以下であれば、膜の多層化によって耐摩耗性被膜の破壊が第１の膜の界面で阻止されるという効果がさらに大きくなるからである。
【００２３】
また、第１の膜の各々の厚みは０．５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。第１の膜の厚さを５０ｎｍ以下としたのは第１の膜の厚さが５０ｎｍ以下であればそれぞれの単層膜の持つ硬度を上回る高い硬度が得られるからである。
【００２４】
また、第１の膜の各々の組成および厚さは互いに異なる。この場合は第１の膜の厚さと組成がほぼ同一の場合に比べて第１の膜の界面で耐摩耗性被膜の破壊の進行が阻止されるという効果が大きくなり耐摩耗性被膜の摩耗が少なくなる。
【００２５】
また、耐摩耗性被膜は、複数の積層された第１の膜と第２の膜とを含み、第２の膜は窒化バナジウム（ＶＮ）、炭化バナジウム（ＶＣ）、炭窒化バナジウム（Ｖ（Ｃ，Ｎ））、炭酸化バナジウム（Ｖ（Ｃ，Ｏ））、酸窒化バナジウム（Ｖ（Ｎ，Ｏ））または炭酸窒化バナジウム（Ｖ（Ｃ，Ｎ，Ｏ））の１種または２種以上を含むことが好ましい。この場合、バナジウムを含む合金層としての第１の膜と、独立したバナジウム層としての第２の膜とを積層することにより容易に積層構造を形成することができる。また、第１および第２の膜の各々の厚さは０．５ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。ここで、第２の膜の厚さを０．５ｎｍ以上５００ｎｍ以下としたのは第１の膜の厚さを０．５ｎｍ以上５００ｎｍ以下としたのと同様の理由によるものである。
【００２６】
また、第１および第２の膜の各々の厚さは０．５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることがさらに好ましい。ここで、第２の膜の厚さを５０ｎｍ以下としたのは第１の膜の厚さを５０ｎｍ以下としたのと同様の理由によるものである。
【００２７】
また、第１の膜と第２の膜とは交互に積層されていることが好ましい。
耐摩耗性被膜は複数の積層された第１の膜と第３の膜とを含み、第３の膜は窒化アルミニウム（ＡｌＮ）と、炭窒化アルミニウム（Ａｌ（Ｃ，Ｎ））との一方または両方を含み、さらに第３の膜の厚さは０．５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。この場合、アルミニウムを含む合金層としての第１層と、独立したアルミニウム層としての第３層とを積層することにより、容易に積層構造を形成することができる。また、第３の膜の厚さを０．５ｎｍ以上としたのは、厚さが０．５ｎｍ未満であればそれぞれの成分が固溶した状態となる。そのため薄膜を積層したような構造とはならず、結果的に耐摩耗性被膜の膜質が低下するからである。また、第３の膜の厚さを５０ｎｍ以下としたのは、厚さが５０ｎｍを超えると耐摩耗性被膜の硬度が上昇しないからである。
【００２８】
また、第１の膜と第３の膜とは交互に積層されていることが好ましい。
また、耐摩耗性被膜はＴｉＮからなる密着層を含み、その密着層は基材と接することが好ましい。この場合、基材と耐摩耗性被膜との密着性が向上するため、耐摩耗性被膜が基材から剥離しにくくなる。その結果、被覆工具の寿命が向上するという効果がある。
【００２９】
また、基材として、セラミックス、超硬合金、サーメット、高速度鋼、ダイス鋼、プレハードン鋼または析出硬化型ステンレス鋼を用いることが好ましい。
【００３０】
耐摩耗性被膜は面心立方構造を有し、耐摩耗性被膜の結晶構造をθ−２θ法によるＸ線回折法で調べれば耐摩耗性被膜に由来する回折線のうち、（１１１）面からの回折線が相対的に最高強度を示す。この場合、耐摩耗性被膜が面心立方構造を有することにより耐摩耗性が向上する。また、耐摩耗性被膜が（１１１）面に配向していることにより原子密度が最も高い結晶面が基材の表面と平行に配置され、さらに耐摩耗性が向上する。
【００３１】
また、耐摩耗性被膜の結晶構造をθ−２θ法によるＸ線回折法で調べれば、回折パターンは、１種類の面心立方構造に由来する回折線のみから構成され、かつ面心立方構造を有する耐摩耗性被膜に由来する回折線のうち（１１１）面からの回折線が相対的に最高強度を示すことが好ましい。この場合、積層された第１〜第３の層はほぼ同一の構造を有しているといえる。この現象は２種類の異なる組成の物質を積層する際に層の厚さを５０ｎｍより薄くするとお互いの膜の結晶格子の面間隔が近づき合うという「歪み整合」という現象として把握される。この歪み整合が起こった場合には、たとえば常温常圧下で存在する六方晶の窒化アルミニウムは超高圧下にあるかのような作用を受け、面心立方晶の窒化アルミニウムに変化する。面心立方晶の窒化アルミニウムは六方晶の窒化アルミニウムに比べて硬度が著しく高い。そのため、耐摩耗性被膜内で歪み整合が生じた場合には、耐摩耗性被膜の硬度がさらに上昇する。
【００３２】
また、被覆工具は被覆切削工具であることが好ましい。この場合、被覆切削工具の表面が大気中の酸素と被削材と反応して被覆切削工具の表面に低融点の酸化物被膜が形成されるため溶着欠損や切屑の流出抵抗の増大という問題が発生せず、被覆膜の摩耗が少ない切削工具を得ることができる。
【００３３】
また、被覆工具は被覆金型であることが好ましい。この場合、被覆金型の表面が大気中の酸素と被加工物と反応して被覆金型の表面に低融点の酸化物被膜が生成する。この低融点の酸化物の潤滑作用により冷間、温間および熱間鍛造を行なった場合にも被覆膜が減少しにくい被覆金型を得ることができる。
【００３４】
この発明に従った被覆工具の製造方法はＴｉ、ＡｌまたはＶのうちの１種以上を含む膜原料を蒸着法またはスパッタリング法により基材上に供給し、窒素、炭素または酸素の１種以上を含むガスと膜原料とを反応させるＰＶＤ法により耐摩耗性被膜を形成するものである。このような製造方法においては、製造しようとする膜と同一成分の材料を用意し、この材料をターゲットとして蒸着法等により膜原料を供給することにより容易に耐摩耗性被膜を形成することができる。
【００３５】
ＰＶＤ法の例として、カソードアークイオンプレーティング法や反応性スパッタリング法がある。
【００３６】
カソードアークイオンプレーティング法、反応性スパッタリング法のいずれの場合においてもコーティングを行なう反応容器の内側に蒸発源を取付ける。反応容器の中心部に位置する、垂直な回転軸を持った基材支持治具に基材をセットする。治具を回転させることにより、工具基材の表面に耐摩耗性被膜を形成する。蒸発源としては、被膜と同一組成を有するＴｉ−Ａｌ−Ｖ合金を用いる。炭素源としては炭化水素ガスを、窒素源としては窒素ガスまたはアンモニアガスを、酸素源としては二酸化炭素ガスを用いることができる。異なる組成の膜を積層する場合には、それぞれの膜を同一組成を有する２種類のＴｉ−Ａｌ−Ｖ合金を蒸発源として用いる。反応容器の内側の向かい合う２面に蒸発源を配置する。基材支持治具に基材をセットし、治具を回転させることにより、基材上に耐摩耗性被膜が形成される。４面に蒸発源を取付け可能な装置では、向かい合う面に同じ蒸発源を取り、治具を回転させることで耐摩耗性被膜が形成される。いずれの場合であっても膜形成速度と治具の回転数を調整することにより、所定の積層周期とすることが可能である。また、各層の厚みや積層周期が比較的大きい場合（たとえば厚さが５０ｎｍ以上）には、個々の蒸発源を用いて所定の厚さの膜を形成した後蒸発を停止させ、基板を移動させた後、別の蒸発源を用いて膜を積層することも可能である。
【００３７】
【実施例】
（実施例１）
図１はこの発明の実施例１で用いた被膜製造装置の上面図である。図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿って見た断面を示す図である。図１および図２を参照して、被膜製造装置は、反応槽１と、基材支持具３と、原料ガス供給ノズル４と、直流電源５、６ａ、６ｂと、ヒータ７と、金属蒸発源８、９とを備えている。
【００３８】
反応槽１は真空ポンプと連結されており、反応槽１内の圧力を変化させることが可能である。反応槽１内に基材支持具３と原料供給用ノズル４と、ヒータ７と、金属蒸発源８、９が設けられている。基材支持具３は矢印Ｒで示す方向に回転可能である。基材支持具３は直流電源５と電気的に接続されている。直流電源５の正極がアースされ、負極が基材支持具３と接続されている。金属蒸発源８は直流電源６ａと電気的に接続されている。直流電源６ａの正極はアースされかつ反応槽１に接続されている。直流電源６ａの負極は金属蒸発源８に接続されている。金属蒸発源９は直流電源６ｂの負極と電気的に接続されている。金属蒸発源８、９は、基材支持具３を介して互いに向かい合うように配置されている。
【００３９】
このような装置を用いて、まず、有機溶剤等の洗浄液で洗浄した基材２を基材支持具３に固定した。金属蒸発源８には金属チタンをセットした。金属蒸発源９にはＴｉ、Ａｌ、Ｖが所望の比率である合金をセットした。
【００４０】
真空ポンプにより反応槽１の内圧を１×１０^-3Ｐａ以下とした。原料ガス供給ノズル４からアルゴンガスを流しながらヒータ７により基材２を加熱した。基材が高速度鋼の場合は基材の温度を３００〜４５０℃とした。基材が超硬合金、サーメットおよびセラミックスの場合は基材を温度を４００〜６００℃とした。基材２の温度が所定の温度になると反応槽１内の圧力が２．７Ｐａ（２０ｍＴｏｒｒ）となるようにアルゴンガスの流量を調節した。直流電源５により基材支持具３および基材２の電位を−１０００Ｖとし、反応槽１の内部にアルゴンプラズマを発生させて基材２の表面をプラズマクリーニングした。この操作によって、基材２の表面の軽度の汚れが除去された。
【００４１】
次に、反応槽１内の圧力が０．７Ｐａ（５ｍＴｏｒｒ）になるようにアルゴンガスの流量を調節した。直流電源６ａから金属蒸発源８へ−３０Ｖ、１００Ａの電力を供給し、金属蒸発源８からチタンイオンを発生させた。これにより、チタンイオンが基材２の表面をスパッタクリーニングし基材２の表面の強固な汚れや酸化膜が完全に除去された。
【００４２】
この状態のまま、まず反応槽１内の圧力が４．０Ｐａ（３０ｍＴｏｒｒ）になるように原料ガス供給ノズル４から窒素ガスを導入し金属蒸発源８の電位を−２００Ｖとした。すると、基材２の表面においてＴｉＮ膜の形成が始まりＴｉＮ膜が所定の厚みに達するまでこの状態を維持した。
【００４３】
ＴｉＮ膜の形成が終了すると直流電源６ｂから金属蒸発源９へ−３０Ｖ、１００Ａの電力を供給して金属蒸発源９からチタンイオン、アルミニウムイオン、バナジウムイオンを発生させた。すると、このチタンイオン、アルミニウムイオン、バナジウムイオンが反応槽１内の窒素と反応して基材２の表面に所望の原子比率を有するＴｉ、Ａｌ、Ｖからなる合金の窒化膜が形成され、目標とする（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）Ｎ膜が得られた。（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）Ｎ膜の形成が終了したら金属蒸発源９への電力の供給を停止した。次に窒素ガスおよびアルゴンガスの導入を停止する。その後基材支持具３の電位を０Ｖとした。ヒータなどによる加熱を停止した。基材２の温度が１００℃以下となったことを確認して基材２を反応槽１から取出した。これにより、耐摩耗性被膜を得た。
【００４４】
また、上述の（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）Ｎ膜形成とほぼ同様の手順とし、膜形成の際に窒素ガスに加えてメタンガスと二酸化炭素ガスを所定の流量添加して（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）（Ｃ，Ｎ，Ｏ）膜を形成した。
【００４５】
さらに、金属蒸発源９にセットする合金中のＴｉ、Ａｌ、Ｖの原子比率を変てＴｉ、Ａｌ、Ｖの比率が異なる膜を形成した。たとえば（Ｔｉ_0.5 、Ａｌ_0.4 、Ｖ_0.1 ）Ｎ膜を形成する場合は、金属蒸発源９にセットする合金中のチタンとアルミニウムとバナジウムの原子比率を５０％と、４０％と、１０％とした。
【００４６】
上述のような手順により、基材上に耐摩耗性被膜が形成された被覆切削工具を作製した。また、ダイヤモンド圧子を用いた引っかき試験を行ない、被覆切削工具の耐摩耗性被膜の密着強度を評価した。その結果を表１に示す。
【００４７】
【表１】

【００４８】
表１中「高速度鋼」とは、基材としてグレードがＪＩＳＳＫＨ５１の高速度鋼を用いたことを示す。また、「超硬合金」とは、基材としてグレードがＪＩＳＰ３０の超硬合金を用いたことを示す。「サーメット」とは、基材として炭窒化チタン基サーメットを用いたことを示す。「セラミック」とは、基材としてＴｉＣ−Ａｌ₂ Ｏ₃ 系セラミックを用いたことを示す。また、表１中「スクラッチ臨界荷重」とは、耐摩耗性被膜が剥離する際のダイヤモンド圧子に加えた荷重を示す。表１からわかるように、ＴｉＮ膜が存在するサンプルＮｏ．１０１〜１０４の方がＴｉＮ膜のないサンプルＮｏ．１０５〜１０８よりも耐摩耗性被膜の密着性が高いことがわかる。
【００４９】
（実施例２）
図３は実施例２で用いた被膜製造装置の上面図である。図４は、図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿って見た面を示す図である。図１および図２で示す被膜製造装置では、金属蒸発源が２つであったのに対して、図３および図４で示す装置では、金属蒸発源を４つとした。金属蒸発源８、１０には、金属チタン、金属バナジウムをセットした。金属蒸発源９、１１には、所望の比率の（Ｔｉ、Ａｌ、Ｖ）からなる合金をセットした。金属蒸発源８〜１１は直流電源に接続した。さらに、ヒータ７の配置を変えた。それ以外の点では図１および２で示す被膜製造装置と図３および４で示す被膜製造装置とは同一である。
【００５０】
このような装置を用いて実施例１と同様の手順で基材上に膜厚、組成、積層構造の異なる複数のサンプルを製造した。これらのサンプルに対してダイヤモンド圧子を使った引っかけ試験を行ない耐摩耗性被膜の密着強度を評価した。また、耐摩耗性被膜のヌープ硬度（測定荷重２０ｇ）を測定した。その結果を表２および表３に示す。
【００５１】
【表２】

【００５２】
【表３】

【００５３】
表２中「アークＩＰ」とはアークイオンプレーティング法により耐摩耗性被膜を製造したことを示す。また、「スパッタ」とは、スパッタリング法により耐摩耗性被膜を製造したことを示す。また、「膜組成」とは、膜中のそれぞれの成分の原子比率を示す。また、表３中において「膜全体における各成分の組成比率」とは、膜全体における各成分の原子比率を示す。
【００５４】
図２および図３から、本発明品のうちＴｉＮ層が存在するサンプルＮｏ．２０１〜２１６ではＴｉＮ膜が存在しないサンプルＮｏ．２１７〜２２８に比べてスクラッチ臨界荷重が小さいことがわかる。また、サンプルＮｏ．２２９〜２３４は、膜を構成する成分の原子比率が本発明の範囲外であるため、または全体の厚みが本発明の範囲外であるためスクラッチ臨界荷重は低かった。
【００５５】
サンプルＮｏ．２０１、２０２、２０４〜２０７、２０９〜２１４、２１６、２１７、２１９〜２２１では被膜硬度が特に高くなっている。これは、構成膜を薄くすることにより、いわゆる歪み整合現象が生じているからだと考えられる。
【００５６】
このように、本発明品では、比較例に比べて耐摩耗性被膜の密着性と硬度が高いことがわかる。
【００５７】
（実施例３）
実施例１で示した手順によりさまざまな組成の被膜を有するエンドミルを作製した。エンドミルの基材はＪＩＳ規格Ｐ３０超硬合金とした。この被膜の構造をθ−２θ法によるＸ線回折で調べた。また、このエンドミルを用いて切削性能試験を行なった。切削条件は以下のとおりであった。
【００５８】
エンドミル：φ６ｍｍ、２枚刃、ＪＩＳＰ３０超硬合金
被削材：チタン合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）
切削方法：側面加工ダウンカット
切削速度：８０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．０３ｍｍ／刃
送り込み：Ｒｄ１ｍｍ×Ａｄ７ｍｍ
条件：乾式エアブロー
評価：切削長２０ｍでの外周の逃げ面摩耗幅
これらの結果を表４および表５に示す。
【００５９】
【表４】

【００６０】
【表５】

【００６１】
表４および表５から、本発明品のうち、密着層としてのＴｉＮ膜がないサンプル（サンプルＮｏ．３０８および３０９）と（１１１）面に配向していないサンプル（サンプルＮｏ．３１０〜３１２）では、膜が剥離しやすくなるため、または膜の硬度が低いため逃げ面摩耗幅がやや大きい。また、各成分の組成が本発明の範囲外のサンプル（サンプルＮｏ．３１３〜３１８）と、被膜の厚さが本発明の範囲外であるサンプル（サンプルＮｏ．３１９、３２０）では、逃げ面摩耗幅が極端に大きくなることがわかる。また、すべてのサンプルについて切れ刃の摩耗状態を詳細に観察した。その結果、サンプルＮｏ．３１３〜３２０では、溶着しやすいチタン合金を切削したため構成刃先の成長と脱落により切れ刃先端部で微小な欠けが蓄積し、これが原因で逃げ面摩耗幅が大きいことがわかった。
【００６２】
（実施例４）
実施例２と同様の手順でさまざまな組成の耐摩耗性被膜を形成し、ドリルを作製した。ドリルの基材は高速度鋼ＪＩＳ規格ＳＫＨ５１とした。このドリルを用いて穴あけ加工における切削性能試験を行なった。切削条件は以下のとおりであった。
【００６３】
ドリル：φ１０ｍｍ、高速度鋼ＳＫＨ５１
被削材：ＳＳ４１
切削速度：３０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．１５ｍｍ／回転
切削長さ：３０ｍｍ（貫通孔）
切削油：乾式
寿命判定：穴径が基準値（１０±０．０５ｍｍ）を超えた時点での加工穴数
耐摩耗性被膜の組成、厚さ、構造、試験結果を表６〜８に示す。
【００６４】
【表６】

【００６５】
【表７】

【００６６】
【表８】

【００６７】
Ｘ線回折では、組成Ｎｏ．［２１］〜［２９］については、（１１１）面による１本の大きなピークが得られた。表６〜表８より、Ａ膜およびＢ膜の厚さが０．５ｎｍ〜５０ｎｍであるサンプル（サンプルＮｏ．４０１〜４０８）では、加工穴数が特に多かった。これは、Ａ層およびＢ層がいわゆる歪み整合現象により完全に面心立方構造となっているからだと考えられる。一方、サンプルＮｏ．４０９については膜厚は好ましい範囲であるが密着層としてのＴｉＮ層がないために加工穴数が若干少なくなったと考えられる。また、サンプルＮｏ．４１０、４１１では、ＴｉＮ膜がないため加工穴数が少なくなったと考えられる。サンプルＮｏ．４１２〜４１４では、Ａ膜およびＢ膜の厚さが０．５〜５０ｎｍの範囲外となったため、サンプルＮｏ．４１５および４１６では、Ａ膜またはＢ膜の厚さが０．５〜５００ｎｍの範囲から外れたため加工穴数が少なくなったと考えられる。また、サンプルＮｏ．４１７〜４１８では膜中にｆｃｃ構造以外の構造が存在するため、サンプルＮｏ．４１９〜４２２では、（１１１）面に配向していないため、それぞれ加工穴数が少なくなったと考えられる。一方、サンプルＮｏ．４２３〜４３２では、膜の組成または膜厚が本発明の範囲外であったため加工穴数が著しく少なくなったと考えられる。
【００６８】
（実施例５）
実施例４で示された組成Ｎｏ．［２１］〜［５２］の耐摩耗性被膜を実施例２と同様の手順でアークイオンプレーティング法により形成し、フライス加工用のチップを製造した。チップの基材は炭窒化チタン基サーメットとした。このチップを用いてフライス加工における切削性能試験を行なった。切削条件は以下のとおりであった。
【００６９】
チップ：ＳＤＫＮ４２、ＪＩＳＰ１０炭窒化チタン基サーメット
被削材：ＳＳ４１
切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．１５ｍｍ／刃
切り込み：７．０ｍｍ
切削油：乾式
寿命判定：切削長３０ｍでの逃げ面摩耗幅
試験結果を表９に示す。
【００７０】
【表９】

【００７１】
表９より本発明によるフライス加工用チップ（サンプルＮｏ．５０１〜５２２）は、本発明外のフライス加工用チップ（サンプルＮｏ．５２３〜５３０）や、従来品（サンプルＮｏ．５３１、５３２）に比べて逃げ面摩耗幅が小さく寿命が長いことが確認された。
【００７２】
（実施例６）
実施例４で示された組成Ｎｏ．［２１］〜［５２］の耐摩耗性被膜を実施例２と同様の手順でスパッタリング法により形成し、旋削加工用チップを作製した。チップの基材はＡｌ₂ Ｏ₃ −ＴｉＣ系セラミックとした。このチップを用いて連続旋削加工における切削性能試験を行なった。切削条件は以下のとおりであった。
【００７３】
チップ：ＣＮＭＮ４３３、ＪＩＳＫ０１Ａｌ₂ Ｏ₃ −ＴｉＣ系セラミック
被削材：ＦＣＤ４５
切削速度：３００、２３０、１８０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．１ｍｍ／回転
切り込み：０．３ｍｍ
切削油：乾式
寿命判定：切削長５０ｍでの逃げ面摩耗幅
試験結果を表１０に示す。
【００７４】
【表１０】

【００７５】
表１０より、本発明によるチップ（サンプルＮｏ．６０１〜６２２）は、本発明外のチップ（サンプルＮｏ．６２３〜６３０）や、従来品（サンプルＮｏ．６３１、６３２）に比べて逃げ面摩耗幅が小さく寿命が長いことが確認できた。
【００７６】
（実施例７）
実施例２と同様の手順でさまざまな組成の耐摩耗性被膜を有するドリルをアークイオンプレーティング法により作製した。ドリルの基材はＪＩＳＫ１０の超硬合金とした。また比較のため本発明品のドリル基材と同一材料・形状のドリル基材にバナジウムを含まない耐摩耗性被膜を被覆したドリルを作製した。また、その耐摩耗性被膜上に二硫化モリブデンをコーティングしたドリルを作製した。なお二硫化モリブデンはスパッタリング法により形成した。これらのドリルにより穴あけ加工における切削性能試験を行なった。切削条件は以下のとおりであった。
【００７７】
工具：φ１０ｍｍ、ツイストドリル、ＪＩＳＫ１０超硬合金
被削材：Ｓ５０Ｃ
切削速度：７０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．３ｍｍ／回転
穴深さ：３２ｍｍ（とまり穴）
切削油：乾式
寿命判定：加工可能な穴数
その他評価：加工された穴の内径寸法の変化と、加工可能な穴数
試験結果を表１１に示す。
【００７８】
【表１１】

【００７９】
表１１より本発明によるドリル（サンプルＮｏ．７０１〜７０５）は、加工可能な穴数だけでなく加工された穴の内径寸法の精度も高いことが確認された。また、サンプルＮｏ．７０５では、密着層としてのＴｉＮ層がないため、他の発明品（サンプルＮｏ．７０１〜７０４）に比べて若干加工可能な穴数が小さく精度も劣ることがわかった。一方、比較例であるサンプルＮｏ．７０６、７０７では、５００個の穴を加工する前にドリルが破損した。そのため、５００穴加工時の穴の内径寸法精度を測定できなかった。また、比較例であるサンプルＮｏ．７０８、７０９では、加工穴数が１００個までは穴内径寸法精度は高かった。しかし、それ以上の穴数になると切屑が異常に延びて試験を継続するのが危険な状態になったため試験を中止した。この原因は、潤滑膜である二硫化モリブデンコーティング膜が摩耗により失われ潤滑効果がなくなったからであるということが試験後のドリルの表面状態の検査でわかった。
【００８０】
（実施例８）
実施例１と同様の手順でダイス鋼からなる基材上にさまざまな組成の耐摩耗性被膜を形成した。この耐摩耗性被膜の密着強度を、ダイヤモンド圧子を使った引っかき試験により測定した。その結果を表１２に示す。
【００８１】
【表１２】

【００８２】
表１２より、密着層としてのＴｉＮ層が存在するサンプル（サンプルＮｏ．８０１〜８０３）は、ＴｉＮ層が存在しないサンプル（サンプルＮｏ．８０４）に対して高い密着強度を有することがわかった。
【００８３】
（実施例９）
実施例２と同様の手順でダイス鋼からなる基材の上にさまざまな組成を有する耐摩耗性被膜を形成した。これらの耐摩耗性被膜の密着強度を、ダイヤモンド圧子を使った引っかき試験で測定した。また、耐摩耗性被膜のヌープ硬度（測定荷重２５ｇ）を測定した。これらの結果を表１３に示す。
【００８４】
【表１３】

【００８５】
表１３よりＡ膜およびＢ膜の厚さが０．５〜５０ｎｍの範囲のサンプル（サンプルＮｏ．９０１〜９０５）では、被膜の硬度が特に高いことがわかる。これはＡ膜およびＢ膜でいわゆる歪み整合現象が生じているためであると考えられる。また、Ａ膜またはＢ膜の厚さが０．５〜５００ｎｍの範囲外のサンプル（サンプルＮｏ．９０６〜９０８）では、被膜硬度はサンプルＮｏ．９０１〜９０５に比べて若干低かった。また、Ａ膜およびＢ膜の厚さが０．５〜５０ｎｍの範囲内のサンプル（サンプルＮｏ．９０１〜９０５）において、密着層としてのＴｉＮ層が存在するサンプル（サンプルＮｏ．９０１〜９０４）は、ＴｉＮ層が存在しないサンプル（サンプルＮｏ．９０５）よりも膜の密着性が高かった。
【００８６】
（実施例１０）
実施例１と同様の手順で超硬合金からなる基材上に組成Ｎｏ．［１］〜［２０］の耐摩耗性被膜をアークイオンプレーティング法により形成して冷間鍛造用パンチを製造した。このパンチを用いて冷間鍛造における寿命評価試験を行なった。試験条件は以下のとおりであった。
【００８７】
パンチ形状：先端φ１５ｍｍ、ＪＩＳＶ４０超硬合金
被加工材：Ｃｒ−Ｖ鋼のロッド切断体
部品名：ソケットレンチヘッド
鍛造スピード：５０サイクル／分
使用マシン：２００トンプレス
加工物の潤滑：なし
ダイス：ＪＩＳＶ４０超硬合金＋鋼ケースに焼きばめ
評価：焼付きまでの加工可能数量
試験結果を表１４に示す。
【００８８】
【表１４】

【００８９】
表１４から密着層としてのＴｉＮ層が存在し、被膜の組成および厚さが本発明の範囲であり、さらにＸ線回折の最高強度面が（１１１）面であるサンプル（サンプルＮｏ．１００１〜１００７）が特に優れた結果を示した。またＴｉＮ膜がないサンプル（サンプルＮｏ．１００８、１１０９）や、被膜が（１１１）面に配向していないサンプル（サンプルＮｏ．１０１０〜１０１３）は、サンプルＮｏ．１００１〜１００７に対して若干加工可能数量が少なくなった。一方サンプルＮｏ．１０１３〜１０１８は膜の組成が本発明の範囲外であるため、サンプルＮｏ．１０１９、１０２１は膜の厚さが本発明の範囲外であるためいずれも加工可能数量が著しく少なくなった。
【００９０】
サンプルＮｏ．１０１７〜１０２０についてパンチの摩耗状態を詳細に観察したところ、潤滑剤がない状態で鍛造を実施したため、これらのサンプルについてはパンチの先端部で溶着物の成長と脱落により欠けが生じていることがわかった。
【００９１】
（実施例１１）
熱間ダイス鋼からなる基材上に実施例４で示した組成Ｎｏ．［２１］〜［５３］の耐摩耗性被膜を実施例２と同様の手順でスパッタリング法により形成して温間鍛造用パンチを作製した。このパンチを用いて温間鍛造における寿命評価試験を行なった。試験条件は以下のとおりであった。
【００９２】
パンチ形状：先端φ８０ｍｍ、熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１
被加工材：Ｓ４５Ｃ
部品名：等速ボールジョイントのアウタレース
鍛造時温度：８００℃
鍛造スピード：５０サイクル／分
使用マシン：１０００トンプレス
加工物の潤滑：硼酸系潤滑剤使用
ダイス：熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１
評価：焼付きまでの加工可能数量
試験結果を表１５に示す。
【００９３】
【表１５】

【００９４】
表１５から、本発明によるサンプル（サンプルＮｏ．１１０１〜１１２２）は、本発明外のサンプル（サンプルＮｏ．１１２３〜１１３０）や、従来品（サンプルＮｏ．１１３１、１１３２）に比べて加工可能数が多いことがわかった。
【００９５】
サンプルＮｏ．１１２３〜１１３２のパンチの摩耗状態を詳細に観察したところ、潤滑が完全ではない硼酸系潤滑剤を使用して鍛造したことにより溶着物の成長と脱落によってパンチ先端部に破損が生じていることがわかった。このことが、サンプルＮｏ．１１２３〜１１３２が短寿命であった原因と考えられる。
【００９６】
（実施例１２）
熱間ダイス鋼からなる基材上に実施例４で示した組成Ｎｏ．［２１］〜［５２］の耐摩耗性被膜を実施例２と同様の手順でアークイオンプレーティング法により形成し熱間鍛造用パンチを作製した。このパンチを使用して実際の熱間打抜き加工における寿命評価試験を行なった。試験の条件は以下のとおりであった。
【００９７】
パンチ形状：先端φ４０ｍｍ、熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１
被加工材：ＳＵＪ２
部品名：ボールベアリングのアウタレース
鍛造時の温度：９００℃
加工スピード：６０回／分
使用マシン：２００トンプレス
加工物の潤滑：硼酸系潤滑剤使用
ダイス：熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１
評価：焼付きまでの加工可能数量
試験結果を表１６に示す。
【００９８】
【表１６】

【００９９】
表１６から、本発明のサンプル（サンプルＮｏ．１２０１〜１２２２）は、本発明外のサンプル（サンプルＮｏ．１２２３〜１２３０）や、従来品（サンプルＮｏ．１２３１、１２３２）に比べて加工可能数が多いことがわかった。
【０１００】
（実施例１３）
高速度鋼からなる基材上に実施例４で示した組成Ｎｏ．［２１］〜［５２］の耐摩耗性被膜を実施例２と同様の手順でスパッタリング法により形成し金型を作製した。この金型の冷間打抜き加工における寿命評価試験を行なった。試験の条件は以下のとおりであった。
【０１０１】
パンチ形状：先端φ３０ｍｍ、高速度鋼ＳＫＨ９
被加工材：ＳＳ４１（６ｍｍ厚み）
部品名：変圧器容器
加工スピード：１２０回／分
使用マシン：５０トンＮＣプレス
加工物の潤滑：極圧添加剤入りプレス油
ダイス：高速度鋼ＳＫＨ９
評価：焼付きまでの加工可能数量
試験結果を表１７に示す。
【０１０２】
【表１７】

【０１０３】
表１７から本発明品であるサンプル（サンプルＮｏ．１３０１〜１３２２）は、本発明外のサンプル（サンプルＮｏ．１３２３〜１３３０）や、従来品（サンプルＮｏ．１３３１、１３３２）に比べて加工可能数が多いことがわかった。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１で用いた被膜製造装置の上面図である。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿って見た面を示す図である。
【図３】実施例２で用いた被膜製造装置の上面図である。
【図４】図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿って見た面を示す図である。

Claims

基材と、
その基材の上に形成された少なくとも第一の膜を含む耐摩耗性被膜とを備え、
その耐摩耗性被膜全体における各成分の組成は（Ｔｉ_x，Ａｌ_y，Ｖ_z）（Ｃ_u，Ｎ_v，Ｏ_w）（ここで、添字ｘ、ｙ、ｚ、ｕ、ｖおよびｗは、それぞれ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｖ、Ｃ、ＮおよびＯの原子比率を示す）で表わされ、ｘ、ｙ、ｚ、ｕ、ｖおよびｗの間にはｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｕ＋ｖ＋ｗ＝１、０．２＜ｘ＜１、０＜ｙ＜０．８、０．０２≦ｚ＜０．６、０≦ｕ＜０．７、０．３＜ｖ≦１および０≦ｗ＜０．５で示す関係が成立し、前記耐摩耗性被膜の厚さは０．５μｍ以上１５μｍ以下であり、前記耐摩耗性被膜は、その組成と膜厚がそれぞれ異なる２種類の膜で形成された第１の膜を含み、その第１の膜の各々の組成は（（Ｔｉ_a，Ａｌ_b，Ｖ_c）（Ｃ_d，Ｎ_e，Ｏ_f）（ここで、添字ａ、b、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは、それぞれ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｖ、Ｃ、ＮおよびＯの原子比率を示す）で表わされ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの間にはａ＋ｂ＋ｃ＝１、ｄ＋ｅ＋ｆ＝１、０．２＜ａ＜１、０＜ｂ＜０．８、０＜ｃ＜０．６、０≦ｄ＜０．７、０．３＜ｅ≦１および０≦ｆ＜０．５で示す関係が成立し、前記耐摩耗性被膜は面心立方構造を有し、前記耐摩耗性被膜の結晶構造をθ−２θ法によるｘ線回折法で調べれば、前記耐摩耗性被膜に由来する回折線のうち、（１１１）面からの回折線が相対的に最高強度を示すことを特徴とする、被覆工具。
前記第１の膜の各々の厚みは０．５ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の被覆工具。
前記第１の膜の各々の厚みは０．５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項２に記載の被覆工具。
前記耐摩耗性被膜は、複数の積層された前記第１の膜と第２の膜とを含み、前記第２の膜は窒化バナジウム、炭化バナジウム、炭窒化バナジウム、炭酸化バナジウム、酸窒化バナジウムおよび炭酸窒化バナジウムからなる群より選ばれた少なくとも１種を含むことを特徴とする、請求項１に記載の被覆工具。
前記第１および第２の膜の各々の厚さは０．５ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項４に記載の被覆工具。
前記第１および第２の膜の各々の厚さは０．５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項５に記載の被覆工具。
前記第１の膜と前記第２の膜とは交互に積層されていることを特徴とする、請求項４〜６のいずれか１項に記載の被覆工具。
前記耐摩耗性被膜は、複数の積層された前記第１の膜と第３の膜とを含み、前記第３の膜は窒化アルミニウムおよび炭窒化アルミニウムからなる群より選ばれた少なくとも１種を含み、前記第３の膜の厚さは０．５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の被覆工具。
前記第１の膜と前記第３の膜とは交互に積層されていることを特徴とする、請求項８に記載の被覆工具。
前記耐摩耗性被膜は、ＴｉＮからなる密着層をさらに含み、その密着層は前記基材と接することを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の被覆工具。
前記基材は、セラミックス、超硬合金、サーメット、高速度鋼、ダイス鋼、プレハードン鋼および析出硬化型ステンレス鋼からなる群より選ばれた少なくとも１種を含むことを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の被覆工具。
前記耐摩耗性被膜の結晶構造をθ−２θ法によるｘ線回折法で調べれば、回折パターンは、１種類の面心立方構造に由来する回折線のみから構成され、かつ面心立方構造を有する前記耐摩耗性被膜に由来する回折線のうち（１１１）面からの回折線が相対的に最高強度を示すことを特徴とする、請求項３、６または８に記載の被覆工具。
前記被覆工具は、被覆切削工具であることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の被覆工具。
前記被覆工具は、被覆金型であることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の被覆工具。
Ｔｉ、ＡｌおよびＶからなる群より選ばれた少なくとも１種を含む膜原料を蒸着法またはスパッタリング法により前記基材の上に供給し、窒素、酸素および炭素からなる群より選ばれた少なくとも１種を含むガスを前記膜原料と反応させるＰＶＤ法により請求項１〜１２のいずれか１項に記載の耐摩耗性被膜を形成することを特徴とする、被覆工具の製造方法。