JP2008229781A - 硬質被膜および硬質被膜被覆工具 - Google Patents
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Abstract
【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル10のボディ16に設けられた硬質被膜26は、工具基材22の表面に設けられたDLC層26と、そのDLC層26の上に設けられた窒素含有量が3〜40at%のCN(窒化炭素)層28とから成り、それ等のDLC層26とCN層28とが交互に4層以上の偶数層積層され、そのCN層28によって外表面が構成されているとともに、全体の膜厚Dが0.01〜2μmの範囲内とされているため、最上層のCN層28により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、工具基材22の表面にはDLC層26が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。
【選択図】図1
【解決手段】ドリル10のボディ16に設けられた硬質被膜26は、工具基材22の表面に設けられたDLC層26と、そのDLC層26の上に設けられた窒素含有量が3〜40at%のCN(窒化炭素)層28とから成り、それ等のDLC層26とCN層28とが交互に4層以上の偶数層積層され、そのCN層28によって外表面が構成されているとともに、全体の膜厚Dが0.01〜2μmの範囲内とされているため、最上層のCN層28により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、工具基材22の表面にはDLC層26が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。
【選択図】図1
Description
本発明は硬質被膜に係り、特に、耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに高い付着強度が得られ、工具や耐摩耗性部品等に好適に用いられる硬質被膜に関するものである。
ドリルやエンドミル、フライス、バイト等の切削工具、盛上げタップ、転造工具、プレス金型等の非切削工具などの種々の加工工具、或いは耐摩耗性が要求される摩擦部品など、種々の部材において、基材の表面に硬質被膜をコーティングすることにより、耐摩耗性や耐久性を向上させることが提案されている。特許文献1には、硬質被膜としてDLC(Diamond Like Carbon ;ダイヤモンド状カーボン)が設けられた工具が記載されている。DLCは緻密なアモルファス構造で、結晶学的にはダイヤモンドと異なるが、TiAlN、CrN等の化合物被膜に比較して高い硬度を有する。また、特許文献2および3には、硬質被膜として窒化炭素を用いることや、その窒化炭素膜の製造方法について記載されている。窒化炭素は、摩擦係数が小さいとともに面が平滑で硬度も高く、優れた耐摩耗性や耐溶着性、耐熱性が得られる。
特開2005−22073号公報
特開2002−38269号公報
特開2006−69856号公報
しかしながら、上記DLCは、耐熱性および耐摩耗性の点で必ずしも十分に満足できるものではなく、例えば潤滑油剤を全く使わないエアブローによるドライ加工や、最少量の潤滑油剤を使用するミスト噴霧により切削加工を行うセミドライ加工では、十分な耐久性が得られないとともに、C(炭素)の未結合手が被削材と結合して溶着を生じ易く、特に鉄系材料に対して不向きであった。Cの未結合手にH(水素)を添加することで、被削材との結合を防ぐことが提案されているが、靱性の低下等の別の問題が発生する。一方、窒化炭素は、上記DLCの問題点であるCの未接合手にN(窒素)を結合した構造で、優れた耐溶着性が得られるが、DLCに比較して付着強度が弱くて剥離し易く、切削工具等においては必ずしも十分な耐久性が得られないという問題があった。
本発明は以上の事情を背景として為されたもので、その目的とするところは、耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られ、切削工具等においても優れた耐久性が得られる高寿命の硬質被膜を提供することにある。
かかる目的を達成するために、第1発明は、所定の基材の表面に設けられる硬質被膜であって、(a) 前記基材の表面に設けられるDLC層と、(b) そのDLC層の上に設けられる窒素含有量が3〜40at%の範囲内の窒化炭素層と、を有し、(c) その窒化炭素層が外表面を構成するようにそのDLC層と窒化炭素層とが交互に4層以上の偶数層積層されている一方、(d) 全体の膜厚が0.01〜3μmの範囲内であることを特徴とする。
第2発明は、第1発明の硬質被膜において、前記DLC層のナノインデンテーション硬さは40〜50GPaの範囲内で、前記窒化炭素層のナノインデンテーション硬さは15〜55GPaの範囲内であることを特徴とする。
2に記載の硬質被膜。
2に記載の硬質被膜。
第3発明は、第1発明または第2発明の硬質被膜において、前記窒化炭素層は、単結合および2重結合の窒化炭素を共に含んでいることを特徴とする。
第4発明は、第1発明〜第3発明の何れかの硬質被膜において、前記DLC層および前記窒化炭素層の単一の膜厚は、何れも0.005〜1μmの範囲内であることを特徴とする。
第5発明は、基材の表面に硬質被膜が設けられている硬質被膜被覆工具であって、その硬質被膜は、第1発明〜第4発明の何れかの硬質被膜であることを特徴とする。
第1発明の硬質被膜においては、基材の表面にDLC層が設けられるとともに、そのDLC層と窒素含有量が3〜40at%の窒化炭素層とが交互に4層以上の偶数層積層され、その窒化炭素層によって外表面が構成されており、且つ、全体の膜厚が0.01〜3μmの範囲内とされているため、最上層の窒化炭素層により優れた耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性が得られる一方、基材の表面にはDLC層が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、切削工具等の硬質被膜として用いる場合でも優れたに耐久性が得られる。これにより、例えば第5発明のように硬質被膜被覆工具の硬質被膜として好適に用いられ、溶着が生じ易い環境下(真空中など)での加工の耐溶着性が向上するとともに、鉄系材料に対する加工が可能になり、優れた工具寿命が得られる一方、アルミニウム合金等の非鉄系材料に対してはドライ加工やセミドライ加工が可能となる。
また、DLC層と窒化炭素層とを交互に4層以上積層することにより、耐剥離性を損なうことなく全体の膜厚を3μm程度まで厚くすることが可能で、被膜の耐久性が一層向上する。すなわち、DLC層や窒化炭素層を単一の被膜で1μm以上の厚さにすると、剥離し易くなって耐久性が低下するが、個々の膜厚を1μm程度以下に維持しながら多層とした場合には、剥離やクラックの進行が上層部の一部の層の剥離等でくい止められるとともに、薄膜化で内部応力が緩和されるため、所定の耐剥離性を維持しながら全体の膜厚を3μm程度まで厚くすることができるのであり、且つ、各層の薄膜化によって緻密な構造になるため、硬さが一層高くなって耐摩耗性が更に向上する。
また、上記DLC層および窒化炭素層は、何れも成膜条件を変更することにより容易に硬さ調整を行うことができるため、硬質被膜を設ける対象物や目的等に応じて硬さや靱性などの被膜特性を適宜設定できる。第2発明のように、DLC層のナノインデンテーション硬さを40〜50GPaの範囲内とし、窒化炭素層のナノインデンテーション硬さを15〜55GPaの範囲内とすれば、優れた耐摩耗性が得られ、切削工具の硬質被膜に好適に適用される。
第3発明では、単結合および2重結合の窒化炭素を共に含んで窒化炭素層が構成されているため、成膜条件を変更してそれ等の割合を変更することにより、窒化炭素層の硬さを調整することができる。すなわち、単結合の窒化炭素は2重結合の窒化炭素よりも高硬度であるため、その単結合の窒化炭素の割合が高くなるように成膜条件を設定すれば、窒化炭素層全体の硬さを高くすることができる一方、2重結合の窒化炭素の割合を高くすれば靱性を向上させることができる。なお、窒化炭素には3重結合が存在するが、結合の終端を担うのみで機械的な性質には関係しない。
第4発明では、DLC層および窒化炭素層の厚さが、何れも0.005〜1μmの範囲内であるため、DLC層の存在で窒化炭素層の付着強度を向上させつつ、その窒化炭素層により優れた耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性が得られる。
第5発明の硬質被膜被覆工具は、上記第1発明〜第4発明の何れかの硬質被膜で被覆されているため、実質的に第1発明〜第4発明と同様の作用効果が得られる。
本発明は、ドリルやフライス等の回転切削工具、バイト等の非回転の切削工具、或いは盛上げタップ、転造工具、プレス金型等の非切削工具など、種々の硬質被膜被覆工具に好適に適用されるが、このような加工工具以外でも軸受部材など耐摩耗性や耐久性が要求される種々の部材の硬質被膜に適用され得る。
DLC層および窒化炭素層は、何れもアークイオンプレーティング法やイオンビーム支援蒸着法、スパッタリング法等のPVD法によって好適に成膜できるが、他の成膜法を採用することもできる。
窒化炭素層の窒素含有量は、成膜条件を変更することによって調整することが可能で、例えばアークイオンプレーティング法では窒素ガス流量の制御で調整でき、イオンビーム支援蒸着法の場合はプラズマ濃度を制御することによって調整できる。この窒素含有量が3at%未満では、窒素をC(炭素)の未結合手に結合して耐溶着性を向上させる効果が十分に得られない一方、40at%を越えると、単結合の窒化炭素が多くなって脆くなるため、3〜40at%の範囲内で設定することが望ましく、特に5〜35at%の範囲内が適当である。
全体の膜厚は、0.01μm未満であると硬質被膜としての機能が十分に得られない一方、3μmを越えると、4層以上の積層被膜であっても剥離したり欠けたりし易くなるため、0.01〜3μmの範囲内で設定することが望ましい。
第2発明では、DLC層のナノインデンテーション硬さが40〜50GPaの範囲内で、窒化炭素層のナノインデンテーション硬さが15〜55GPaの範囲内であり、切削工具の硬質被膜に好適に適用されるが、それ等の硬さは、硬質被膜を設ける対象物や目的等に応じて適宜変更できる。
第3発明では、単結合(sp3結合)および2重結合(sp2結合)の窒化炭素を共に含んで窒化炭素層が構成されているが、他に3重結合の窒化炭素を含んでいても差し支えない。このような窒化炭素層は、規則的な結晶構造を持たないアモルファスである。なお、他の発明の実施に際しては、単結合および3重結合から成る窒化炭素層、或いは2重結合および3重結合から成る窒化炭素層など、他の構造の窒化炭素層を採用することもできる。
第4発明では、DLC層および窒化炭素層の厚さが何れも0.005〜1μmの範囲内であるが、0.01〜0.5μm程度の範囲内が望ましい。他の発明の実施に際しては、DLC層や窒化炭素層の厚さが0.005μm未満であったり1μmを越えていたりしても良い。複数ずつのDLC層、窒化炭素層の膜厚は、それぞれ同じ膜厚であっても良いが、上層へ向かうに従って連続的に厚くしたり薄くしたりするなど異なる膜厚とすることも可能である。
第5発明の硬質被膜被覆工具の基材としては、超硬合金や高速度工具鋼が好適に用いられるが、サーメット、セラミックス、多結晶ダイヤモンド、単結晶ダイヤモンド、多結晶CBN、単結晶CBNなど、種々の工具材料を採用できる。
以下、本発明の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1は、本発明の硬質被膜被覆工具の一例であるドリル10を示す図で、(a) は軸心Oと直角な方向から見た正面図、(b) は切れ刃12が設けられた先端側から見た拡大底面図である。このドリル10は、2枚刃のツイストドリルで、シャンク14およびボデー16を軸方向に一体に備えており、ボデー16には軸心Oの右まわりにねじれた一対の溝18が形成されている。ボデー16の先端には、溝18に対応して一対の切れ刃12が設けられており、シャンク14側から見て軸心Oの右まわりに回転駆動されることにより切れ刃12によって穴を切削加工するとともに、切屑が溝18を通ってシャンク14側へ排出される。
図1は、本発明の硬質被膜被覆工具の一例であるドリル10を示す図で、(a) は軸心Oと直角な方向から見た正面図、(b) は切れ刃12が設けられた先端側から見た拡大底面図である。このドリル10は、2枚刃のツイストドリルで、シャンク14およびボデー16を軸方向に一体に備えており、ボデー16には軸心Oの右まわりにねじれた一対の溝18が形成されている。ボデー16の先端には、溝18に対応して一対の切れ刃12が設けられており、シャンク14側から見て軸心Oの右まわりに回転駆動されることにより切れ刃12によって穴を切削加工するとともに、切屑が溝18を通ってシャンク14側へ排出される。
図1の(c) は、ボデー16における表面付近の拡大断面図で、超硬合金製の工具基材22の表面には硬質被膜24がコーティングされている。硬質被膜24は、工具基材22の表面に設けられたDLC層26と、そのDLC層26の上に設けられたCN(窒化炭素)層28とを有し、それ等のDLC層26およびCN層28が交互に4層以上の偶数層積層され、外表面を構成する最上層はCN層28にて構成されている。CN層28は、窒素含有量が3〜40at%の範囲内で、単結合(sp3)および2重結合(sp2)のCNを共に含んで構成されており、そのナノインデンテーション硬さは15〜55GPaの範囲内である。上記DLC層26のナノインデンテーション硬さは40〜50GPaの範囲内である。また、硬質被膜24の全体の膜厚Dは0.01〜3μmの範囲内であれば良いが、本実施例では、DLC層26単独の膜厚D1およびCN層28単独の膜厚D2が何れも0.005〜1μmの範囲内で、且つ、それぞれ略一定の膜厚とされており、全体の膜厚Dは実質的に0.02μm以上である。なお、図1(a) において斜線を付した領域は、硬質被膜24のコーティング範囲を表している。
図2の(a) は、上記CN層28の結合構造の模式図で、Cは炭素原子、Nは窒素原子を表しており、(b) に示す単結合(sp3)および(c) に示す2重結合(sp2)がランダムに分布しているアモルファス構造である。また、図3は、CN層28のラマンスペクトルの一例で、「D−peak」は単結合のCNによるもので、「G−peak」は2重結合のCNによるものであり、両ピークを有することにより、単結合および2重結合の両方を含んでいることが分かる。そして、それ等の結合の割合によって硬さ等の被膜特性を制御することが可能で、例えば高硬度の単結合の割合が大きくなるようにすればCN層28の硬度が高くなり、2重結合の割合が大きくなるようにすればCN層28の靱性が向上する。
また、上記CN(単結合+2重結合)、DLC、およびTiNの3種類の硬質被膜で被覆したテストピースを用意し、図4に示すピンオンディスク式試験装置を用いて以下の試験条件で摩擦摩耗試験を行ったところ、図5および図6に示す結果が得られた。この場合のCNは、図8の本発明品におけるNo10のCN層28と略同じで、窒素含有量は約20at%、ナノインデンテーション硬さは約29GPaであり、テストピースの基材(超硬合金)上に直接コーティングしたものである。
(試験条件)
・相手材:SUS304(ステンレス鋼)
・荷重:0.5N
・線速度:25mm/s
・時間:500秒
・試験環境:大気
・室温:25℃
・湿度:60%
(試験条件)
・相手材:SUS304(ステンレス鋼)
・荷重:0.5N
・線速度:25mm/s
・時間:500秒
・試験環境:大気
・室温:25℃
・湿度:60%
図5は、上記試験から摩擦係数を求めた結果で、CNは約0.09、DLCは約0.08、TiNは約0.27であり、CNはDLCと同様に摩擦係数が極めて小さい。DLCとCNの値が極めて近いため、図5ではそれ等のグラフが略重なっている。また、図6は、CNおよびDLCのテストピースの先端の摩耗痕を示す写真で、(a) はCNに生じた摩耗痕、(b) はDLCに生じた摩耗痕である。それぞれに相手材の溶着が観察された。CNに対するFeの溶着量とDLCに対するFeの溶着量との比は約3:10程度で、CNはDLCに比べて鉄に対して格段に優れた耐溶着性を有する。
一方、前記DLC層26およびCN層28は、アークイオンプレーティング法やイオンビーム支援蒸着法、スパッタリング法等のPVD法によって好適に成膜される。図7は、アークイオンプレーティング装置30を説明する概略構成図(模式図)で、多数のワークすなわち硬質被膜24を被覆する前の切れ刃12、溝18等が形成された工具基材22を保持しているワーク保持具32、そのワーク保持具32を略垂直な回転中心まわりに回転駆動する回転装置34、工具基材22に負のバイアス電圧を印加するバイアス電源36、工具基材22などを内部に収容している処理容器としてのチャンバ38、チャンバ38内に所定の反応ガスを供給する反応ガス供給装置40、チャンバ38内の気体を真空ポンプなどで排出して減圧する排気装置42、第1アーク電源44、第2アーク電源46等を備えている。ワーク保持具32は、上記回転中心を中心とする円筒形状或いは多角柱形状を成しており、先端が略水平に外側へ突き出す姿勢で多数の工具基材22を放射状に保持している。また、反応ガス供給装置40は、アルゴンガス(Ar)および窒素ガス(N2 )のタンクを備えており、DLC層26を形成する時にはアルゴンガスのみを供給し、CN層28を形成する時にはアルゴンガスおよび窒素ガスを所定の割合で供給する。
第1アーク電源44および第2アーク電源46は、何れも炭素(C)から成る第1蒸発源48、第2蒸発源52をカソードとして、アノード50、54との間に所定のアーク電流を通電してアーク放電させることにより、それ等の蒸発源48、52から炭素を蒸発させるもので、蒸発した炭素は正イオンになって負(−)のバイアス電圧が印加されている工具基材22に付着させられる。これにより、アルゴンガスのみを供給した時にはDLC層26が形成され、アルゴンガスおよび窒素ガスの両方を供給した時にはCN層28が形成される。その場合に、所定の硬さや組成のDLC層26、CN層28が得られるように、それぞれアーク電流やバイアス電圧等の成膜条件が定められる。また、膜厚については、成膜時間で調整できる。
CN層28を形成する際には、単結合(sp3)および2重結合(sp2)を共に含むように成膜条件が定められ、処理温度は20〜250℃の範囲内で例えば150℃程度、バイアス電圧は15〜300Vの範囲内で例えば100V程度に設定される。また、窒素ガスの供給流量は、CN層28内の窒素含有量が3〜40at%の範囲内となるように定められる。
図8は、上記のように構成された本発明品(No8〜No14)と比較品(No1〜No7)とを用いて、以下の加工条件で穴明け加工を行い、耐久性を調べた結果を説明する図である。比較品において網掛けを付した欄は、本発明(請求項1)の要件から外れている項目である。なお、DLC層26のナノインデンテーション硬さは、本発明品、比較品共に40〜50GPaの範囲内とされている。
(加工条件)
・工具形状:φ8超硬ツイストドリル
・被削材:A5052(アルミニウム合金)
・切削速度:80m/min
・送り速度:0.14mm/rev
・加工深さ:24mm貫通穴
・切削油:ミスト
・ステップ量:ノンステップ
(加工条件)
・工具形状:φ8超硬ツイストドリル
・被削材:A5052(アルミニウム合金)
・切削速度:80m/min
・送り速度:0.14mm/rev
・加工深さ:24mm貫通穴
・切削油:ミスト
・ステップ量:ノンステップ
図8の試験結果から明らかなように、DLC層26のみを設けた比較品のNo1、No2では、1000穴加工時の切れ刃12の逃げ面摩耗幅がそれぞれ0.32mm、0.35mmであるのに対し、本発明品は何れも合格判定基準である0.2mmよりも小さい。また、DLC層26の上にCN層28を設けた2層構造で、各膜厚D1、D2が1.5μm、全体の膜厚Dが3μmの比較品No3は、剥離等により摩耗が促進される。DLC層26およびCN層28を繰り返し積層した多層構造の比較品No4〜No7については、硬質被膜24全体の膜厚Dが4μmの比較品No4では、剥離等により摩耗が促進され、その膜厚Dが0.006μmの比較品No5では、硬質被膜24による耐摩耗性の向上効果が十分に得られない。CN層28の窒素含有量が44at%の比較品No6の場合、そのCN層28の被膜硬さ(ナノインデンテーション硬さ)が高くなり過ぎて脆くなり、欠けや剥離等により摩耗が促進される一方、窒素含有量が1at%の比較品No7では、被膜硬さ(ナノインデンテーション硬さ)が低くて摩耗が促進される。
このように、本実施例のドリル10の硬質被膜24は、工具基材22の表面にDLC層26が設けられるとともに、そのDLC層26と窒素含有量が3〜40at%のCN層28とが交互に4層以上の偶数層積層され、そのCN層28によって外表面が構成されており、且つ、全体の膜厚Dが0.01〜3μmの範囲内とされているため、最上層のCN層28により優れた耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性が得られる。また、工具基材22の表面にはDLC層26が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。これにより、溶着が生じ易い環境下(真空中など)での加工の耐溶着性が向上するとともに、鉄系材料に対する加工が可能になり、優れた工具寿命が得られる一方、アルミニウム合金等の非鉄系材料に対してはドライ加工やセミドライ加工(ミスト加工)が可能となる。
また、DLC層26とCN層28とを交互に4層以上積層することにより、耐剥離性を損なうことなく全体の膜厚Dを3μm程度まで厚くすることが可能で、硬質被膜24の耐久性が一層向上する。すなわち、DLC層26やCN層28を単一の被膜で1μm以上の厚さにすると、剥離し易くなって耐久性が低下するが、個々の膜厚を1μm程度以下に維持しながら多層とした場合には、剥離やクラックの進行が上層部の一部の層の剥離等でくい止められるとともに、薄膜化で内部応力が緩和されるため、所定の耐剥離性を維持しながら全体の膜厚Dを3μm程度まで厚くすることができるのであり、且つ、各層の薄膜化によって緻密な構造になるため、硬さが一層高くなって耐摩耗性が更に向上する。
また、DLC層26およびCN層28は、何れも成膜条件を変更することにより容易に硬さ調整を行うことが可能で、本実施例ではDLC層26のナノインデンテーション硬さが40〜50GPaの範囲内とされ、CN層28のナノインデンテーション硬さが15〜55GPaの範囲内とされているため、優れた耐摩耗性が得られ、ドリル10の耐久性が向上する。
また、本実施例では単結合および2重結合のCNを共に含んでCN層28が構成されているため、成膜条件を変更してそれ等の割合を変更することにより、CN層28の硬さを調整することができる。すなわち、単結合のCNは2重結合のCNよりも高硬度であるため、その単結合のCNの割合が高くなるようにバイアス電圧やアーク電流等の成膜条件を設定すれば、CN層28全体の硬さを高くすることができる一方、2重結合のCNの割合が高くなるようにすれば靱性を向上させることができる。
また、本実施例ではDLC層26およびCN層28の厚さが、何れも0.005〜1μmの範囲内であるため、DLC層26の存在で付着強度を向上させつつ、CN層28により優れた耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性が得られる。
以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、これ等はあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更,改良を加えた態様で実施することができる。
10:ドリル(硬質被膜被覆工具) 22:工具基材(基材) 24:硬質被膜 26:DLC層 28:CN層(窒化炭素層)
Claims (5)
- 所定の基材の表面に設けられる硬質被膜であって、
前記基材の表面に設けられるDLC層と、
該DLC層の上に設けられる窒素含有量が3〜40at%の範囲内の窒化炭素層と、
を有し、該窒化炭素層が外表面を構成するように該DLC層と該窒化炭素層とが交互に4層以上の偶数層積層されている一方、
全体の膜厚が0.01〜3μmの範囲内である
ことを特徴とする硬質被膜。 - 前記DLC層のナノインデンテーション硬さは40〜50GPaの範囲内で、前記窒化炭素層のナノインデンテーション硬さは15〜55GPaの範囲内である
ことを特徴とする請求項1に記載の硬質被膜。 - 前記窒化炭素層は、単結合および2重結合の窒化炭素を共に含んでいる
ことを特徴とする請求項1または2に記載の硬質被膜。 - 前記DLC層および前記窒化炭素層の単一の膜厚は、何れも0.005〜1μmの範囲内である
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の硬質被膜。 - 基材の表面に硬質被膜が設けられている硬質被膜被覆工具であって、
前記硬質被膜は、請求項1〜4の何れか1項に記載の硬質被膜である
ことを特徴とする硬質被膜被覆工具。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
WO2012063735A1 (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-18 | 株式会社ニコン | カーボン薄膜、光学素子成形用金型及び光学素子の製造方法 |
CN107354439A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-11-17 | 浙江工业大学 | 一种低内应力高硬度的DLC/a‑CNx纳米多层膜的制备方法 |
CN107868936A (zh) * | 2016-09-28 | 2018-04-03 | 丰田自动车株式会社 | 滑动构件及其制造方法 |
JPWO2018131166A1 (ja) * | 2017-01-16 | 2019-11-07 | オーエスジー株式会社 | 工具 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1025565A (ja) * | 1996-07-12 | 1998-01-27 | Osamu Takai | 硬質薄膜の製造方法および硬質薄膜 |
JPH11291103A (ja) * | 1998-04-08 | 1999-10-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆切削工具 |
JP2002020870A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ダイヤモンド状炭素膜の形成方法 |
JP2002038269A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-06 | Nachi Fujikoshi Corp | 硬質窒化炭素膜の合成方法 |
-
2007
- 2007-03-20 JP JP2007073718A patent/JP2008229781A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1025565A (ja) * | 1996-07-12 | 1998-01-27 | Osamu Takai | 硬質薄膜の製造方法および硬質薄膜 |
JPH11291103A (ja) * | 1998-04-08 | 1999-10-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆切削工具 |
JP2002020870A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ダイヤモンド状炭素膜の形成方法 |
JP2002038269A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-06 | Nachi Fujikoshi Corp | 硬質窒化炭素膜の合成方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012063735A1 (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-18 | 株式会社ニコン | カーボン薄膜、光学素子成形用金型及び光学素子の製造方法 |
CN107868936A (zh) * | 2016-09-28 | 2018-04-03 | 丰田自动车株式会社 | 滑动构件及其制造方法 |
JP2018053307A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | トヨタ自動車株式会社 | 摺動部材およびその製造方法 |
CN107868936B (zh) * | 2016-09-28 | 2019-12-13 | 丰田自动车株式会社 | 滑动构件及其制造方法 |
JPWO2018131166A1 (ja) * | 2017-01-16 | 2019-11-07 | オーエスジー株式会社 | 工具 |
US11292066B2 (en) | 2017-01-16 | 2022-04-05 | Osg Corporation | Tool having a boron doped diamond coating |
CN107354439A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-11-17 | 浙江工业大学 | 一种低内应力高硬度的DLC/a‑CNx纳米多层膜的制备方法 |
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