JP6958762B1 - 磁気記録アレイ - Google Patents
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Abstract
Description
Access Memory)、ReRAM(Resistance Randome
Access Memory)、PCRAM(Phase Change Random Access Memory)等が次世代の不揮発性メモリとして知られている。
図1は、第1実施形態にかかる磁気記録アレイ200の回路図である。磁気記録アレイ200は、集積領域IAと周辺領域PAとを有する。
図5は、第2実施形態にかかる磁気記録アレイ201の回路図である。第2実施形態にかかる磁気記録アレイ201は、集積領域IA1内の磁気抵抗効果素子100の一部が第1リファレンス素子101と第2リファレンス素子102である点が、第1実施形態にかかる磁気記録アレイ200と異なる。第2実施形態において、第1実施形態と同様の構成については説明を省く。
図6は、第3実施形態にかかる磁気記録アレイ202の回路図である。第3実施形態にかかる磁気記録アレイ202は、隣接する第1配線L1が短絡トランジスタTr5を介して接続されている点が、第1実施形態にかかる磁気記録アレイ200と異なる。第3実施形態において、第1実施形態と同様の構成については説明を省く。
図7は、第4実施形態に係る磁化回転素子110の断面図である。図7は、配線20のy方向の幅の中心を通るxz平面で磁化回転素子110を切断した断面である。第4実施形態に係る磁化回転素子110は、非磁性層3及び第2強磁性層2を有さない点が、第1実施形態に係る磁気抵抗効果素子100と異なる。その他の構成は、第1実施形態に係る磁気抵抗効果素子100と同様であり、説明を省く。
図8は、第5実施形態に係る磁気抵抗効果素子120の断面図である。図8は、配線40のy方向の幅の中心を通るxz平面で磁気抵抗効果素子120を切断した断面である。磁気抵抗効果素子120は、積層体11が配線40に近い側から非磁性層5及び第1強磁性層4からなる点が、磁気抵抗効果素子100と異なる。磁気抵抗効果素子100と同様の構成は、同様の符号を付し、説明を省く。
2 第2強磁性層
3、5 非磁性層
4 第1強磁性層
10、11 積層体
20、40 配線
100 磁気抵抗効果素子
100A 第1磁気抵抗効果素子
100B 第1磁気抵抗効果素子
101 第1リファレンス素子
102 第2リファレンス素子
200、201、202 磁気記録アレイ
A1 第1領域
A2 第2領域
A3 第3領域
DW 磁壁
G1 第1ゲート
G2 第2ゲート
GL1 第1ゲート配線
GL2 第2ゲート配線
L1 第1配線
L2 第2配線
STr 共有トランジスタ
STr1 第1共有トランジスタ
STr2 第2共有トランジスタ
STr3 第3共有トランジスタ
Tr3 第1配線制御トランジスタ
Tr4 第2配線制御トランジスタ
Tr5 短絡トランジスタ
Claims (17)
- 複数のスピン素子と、隣接する第1スピン素子と第2スピン素子に接続された共有トランジスタと、を備え、
前記複数のスピン素子のそれぞれは、配線と、前記配線に積層された第1強磁性層を含む積層体と、を有し、
前記共有トランジスタは、第1ゲートと、第2ゲートと、第1領域と、第2領域と、第3領域と、を有し、
前記積層体の積層方向からの平面視で、
前記第1領域は、前記第1ゲートと前記第2ゲートとに挟まれ、
前記第2領域は、前記第1領域と前記第1ゲートを挟み、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2ゲートを挟み、
前記第2領域と第3領域とのうちの一方は、前記第1スピン素子に接続され、他方は、前記第2スピン素子に接続され、
前記共有トランジスタを複数有し、
複数の前記共有トランジスタの前記第1領域に亘って接続された第1配線を複数備え、
隣接する前記第1配線は、短絡トランジスタを介して接続されている、磁気記録アレイ。 - 複数のスピン素子と、隣接する第1スピン素子と第2スピン素子に接続された共有トランジスタと、を備え、
前記複数のスピン素子のそれぞれは、配線と、前記配線に積層された第1強磁性層を含む積層体と、を有し、
前記共有トランジスタは、第1ゲートと、第2ゲートと、第1領域と、第2領域と、第3領域と、を有し、
前記積層体の積層方向からの平面視で、
前記第1領域は、前記第1ゲートと前記第2ゲートとに挟まれ、
前記第2領域は、前記第1領域と前記第1ゲートを挟み、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2ゲートを挟み、
前記第2領域と第3領域とのうちの一方は、前記第1スピン素子に接続され、他方は、前記第2スピン素子に接続され、
前記第1ゲートに接続された第1ゲート配線と、前記第2ゲートに接続された第2ゲート配線と、をさらに備え、
前記第1ゲート配線と前記第2ゲート配線とが異なる高さにある、磁気記録アレイ。 - 複数のスピン素子と、隣接する第1スピン素子と第2スピン素子に接続された共有トランジスタと、を備え、
前記複数のスピン素子のそれぞれは、配線と、前記配線に積層された第1強磁性層を含む積層体と、を有し、
前記共有トランジスタは、第1ゲートと、第2ゲートと、第1領域と、第2領域と、第3領域と、を有し、
前記積層体の積層方向からの平面視で、
前記第1領域は、前記第1ゲートと前記第2ゲートとに挟まれ、
前記第2領域は、前記第1領域と前記第1ゲートを挟み、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2ゲートを挟み、
前記第2領域と第3領域とのうちの一方は、前記第1スピン素子に接続され、他方は、前記第2スピン素子に接続され、
前記共有トランジスタは、第1共有トランジスタ、第2共有トランジスタ及び第3共有トランジスタを有し、
前記第1スピン素子は、前記第1共有トランジスタ及び前記第2共有トランジスタの前記第2領域に接続され、
前記第2スピン素子は、前記第2共有トランジスタ及び前記第3共有トランジスタの前記第3領域に接続されている、磁気記録アレイ。 - 複数のスピン素子と、隣接する第1スピン素子と第2スピン素子に接続された共有トランジスタと、を備え、
前記複数のスピン素子のそれぞれは、配線と、前記配線に積層された第1強磁性層を含む積層体と、を有し、
前記共有トランジスタは、第1ゲートと、第2ゲートと、第1領域と、第2領域と、第3領域と、を有し、
前記積層体の積層方向からの平面視で、
前記第1領域は、前記第1ゲートと前記第2ゲートとに挟まれ、
前記第2領域は、前記第1領域と前記第1ゲートを挟み、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2ゲートを挟み、
前記第2領域と第3領域とのうちの一方は、前記第1スピン素子に接続され、他方は、前記第2スピン素子に接続され、
前記複数のスピン素子のうちの少なくとも一つは、他のスピン素子より前記配線の電気抵抗が高い第1リファレンス素子であり、
前記複数のスピン素子のうちの少なくとも一つは、他のスピン素子より前記配線の電気抵抗が低い第2リファレンス素子である、磁気記録アレイ。 - 前記第1リファレンス素子の前記配線の配線幅は、他のスピン素子の配線幅より狭く、
前記第2リファレンス素子の前記配線の配線幅は、他のスピン素子の配線幅より広い、請求項4に記載の磁気記録アレイ。 - 複数のスピン素子と、隣接する第1スピン素子と第2スピン素子に接続された共有トランジスタと、を備え、
前記複数のスピン素子のそれぞれは、配線と、前記配線に積層された第1強磁性層を含む積層体と、を有し、
前記共有トランジスタは、第1ゲートと、第2ゲートと、第1領域と、第2領域と、第3領域と、を有し、
前記積層体の積層方向からの平面視で、
前記第1領域は、前記第1ゲートと前記第2ゲートとに挟まれ、
前記第2領域は、前記第1領域と前記第1ゲートを挟み、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2ゲートを挟み、
前記第2領域と第3領域とのうちの一方は、前記第1スピン素子に接続され、他方は、前記第2スピン素子に接続され、
前記積層体は、前記配線に近い側から非磁性層と前記第1強磁性層とを有し、
前記配線は、内部に磁壁を有することができる強磁性層である、磁気記録アレイ。 - 前記共有トランジスタを複数有し、
複数の前記共有トランジスタの前記第1領域に亘って接続された第1配線をさらに備える、請求項2〜6のいずれか一項に記載の磁気記録アレイ。 - 前記第1配線に接続された第1配線制御トランジスタをさらに備える、請求項1又は7に記載の磁気記録アレイ。
- 前記第1配線を複数有し、
隣接する前記第1配線は、短絡トランジスタを介して接続されている、請求項7に記載の磁気記録アレイ。 - 複数のスピン素子の前記積層体に亘って接続された第2配線をさらに備える、請求項1〜9のいずれか一項に記載の磁気記録アレイ。
- 前記第2配線に接続された第2配線制御トランジスタをさらに備える、請求項10に記載の磁気記録アレイ。
- 前記第1ゲートに接続された第1ゲート配線と、前記第2ゲートに接続された第2ゲート配線と、をさらに備える、請求項1、3〜6のいずれか一項に記載の磁気記録アレイ。
- 前記第1ゲート配線と前記第2ゲート配線とが異なる高さにある、請求項12に記載の磁気記録アレイ。
- 前記共有トランジスタは、第1共有トランジスタ、第2共有トランジスタ及び第3共有トランジスタを有し、
前記第1スピン素子は、前記第1共有トランジスタ及び前記第2共有トランジスタの前記第2領域に接続され、
前記第2スピン素子は、前記第2共有トランジスタ及び前記第3共有トランジスタの前記第3領域に接続されている、請求項1、2、4〜6のいずれか一項に記載の磁気記録アレイ。 - 前記複数のスピン素子のうちの少なくとも一つは、他のスピン素子より前記配線の電気抵抗が高い第1リファレンス素子であり、
前記複数のスピン素子のうちの少なくとも一つは、他のスピン素子より前記配線の電気抵抗が低い第2リファレンス素子である、請求項1〜3、6〜9のいずれか一項に記載の磁気記録アレイ。 - 前記第1リファレンス素子の前記配線の配線幅は、他のスピン素子の配線幅より狭く、
前記第2リファレンス素子の前記配線の配線幅は、他のスピン素子の配線幅より広い、請求項15のいずれか一項に記載の磁気記録アレイ。 - 前記積層体は、前記配線に近い側から前記第1強磁性層と非磁性層と第2強磁性層とを有し、
前記配線は、電流が流れる際のスピンホール効果によってスピン流を発生させる機能を有する金属、合金、金属間化合物、金属硼化物、金属炭化物、金属珪化物、金属燐化物のいずれかである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気記録アレイ。
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