JP6951897B2 - 異方導電性シート - Google Patents

Description

本発明は、異方導電性シート、詳しくは、被検査装置と検査装置とを互いに電気的に接続するために用いられる異方導電性シートに関する。

従来より、半導体素子を回路基板に実装する前に、半導体素子や回路基板のそれぞれに対して、正常に機能するか否かの機能検査（導通検査）が実施されている。機能検査では、半導体素子または回路基板などの被検査装置の端子を、プローブテスターなどの検査装置に電気的に接続させる必要があり、そのために、異方導電性シート（コネクター）が用いられている。具体的には、異方導電性シートを被検査装置および検査装置で挟み、異方導電性シートの一方側の接続部を被検査装置の端子に接触させ、他方側の接続部を検査装置のプローブ端子に接触させることにより、これらを電気的に確実に接続している。

このような異方導電性シートとして、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の複合導電性シートは、複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、貫通孔のそれぞれに充填され、さらに絶縁性シートの両面のそれぞれから突出するように配置された剛性導体とを有している。

特開２００７−２２０５３４号公報

ところで、複合導電性シートでは、剛性導体を保護するために、剛性導体の表面にめっき層を設けたり、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部（クッション部）を設けたりすることが検討される。

しかしながら、特許文献１に記載の複合導電性シートでは、剛性導体がシート表面から突出しているため、めっき層や導電性弾性部を形成すると、隣接する剛性導体の間（凹み部分）にめっき層や導電性弾性部が付着しやすい。その結果、隣接する剛性導体同士が、めっき層や導電性弾性部を介して、導通（短絡）しやすい不具合が生じる。

本発明は、隣接する異方導電部の導通を抑制できる異方導電性シートを提供することにある。

本発明［１］は、被検査装置および検査装置を互いに電気的に接続するための異方導電性シートであって、厚み方向に貫通する貫通孔を有する絶縁層と、前記貫通孔に配置される導体部とを有する異方導電部を備え、前記導体部の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第１凹部を区画する、異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、導体部の厚み方向一方面および貫通孔の周側面が第１凹部を区画するため、異方導電部の厚み方向一方面にめっき層や導電性弾性部を配置する際に、めっき層や導電性弾性部を第１凹部内に収容することができる。したがって、めっき層などが絶縁層の厚み方向一方面に付着されにくく、その結果、隣接する異方導電部の導体部同士が導通することを抑制することができる。

本発明［２］は、前記絶縁層は、前記貫通孔において厚み方向に直交する面方向に凹む被嵌合部を有し、前記導体部は、前記被嵌合部に嵌合する嵌合部を有する、［１］に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、導体部は、絶縁層に嵌合しているため、導体部が、嵌合部によって絶縁層に固定されている。したがって、被検査装置の検査時において、被検査装置および検査装置によって導体部が厚み方向両側から内側に向かって加圧されたとしても、導体部の脱落を抑制することができる。その結果、耐久性が優れる。

本発明［３］は、前記導体部は、厚み方向および面方向の両方に交差する交差方向に延びる傾斜部を備える、［２］に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、導体部は、傾斜しているため、より確実に第１凹部を形成することができる。

本発明［４］は、前記導体部は、前記傾斜部の面方向端縁から面方向に延びる端部をさらに備える、［３］に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、導体部が、傾斜部から延びる端部を絶縁層の被嵌合部に嵌合させることができるため、導体部は、より一層強固に絶縁層に固定することができる。その結果、導体部の脱落をより確実に抑制することができる。したがって、耐久性がより一層優れる。

本発明［５］は、前記第１凹部は、厚み方向一方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有する、［１］〜［４］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、被検査装置の検査時において、被検査装置の端子を厚み方向一方側から導体部に容易に電気的に接続させることができる。

本発明［６］は、前記導体部の厚み方向他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面よりも厚み方向一方側に位置し、前記導体部の厚み方向他方面および前記貫通孔の周側面が、第２凹部を区画する、［１］〜［５］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、導体部の厚み方向他方面および貫通孔の周側面が第２凹部を区画するため、導電部の厚み方向他方面にめっき層や導電性弾性部を配置する際に、めっき層や導電性弾性部を第２凹部内に収容することができる。したがって、めっき層などが絶縁層の厚み方向他方面に付着されにくく、その結果、隣接する異方導電部の導体部同士が導通することを抑制することができる。

本発明［７］は、前記第２凹部は、厚み方向他方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有する、［６］に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、被検査装置の検査時において、検査装置の端子を厚み方向他方側から導体部に容易に電気的に接続させることができる。

本発明［８］は、前記異方導電部は、前記導体部の厚み方向一方面および厚み方向他方面に、めっき層をさらに備える、［１］〜［７］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、導体部の酸化を抑制できるため、耐久性が優れる。

本発明［９］は、前記導体部の厚み方向一方側に配置され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部をさらに備える、［１］〜［８］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、第１凹部に導電性弾性部が充填されているため、被検査装置の複数の端子の高さなどに、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置を異方導電性シートに押圧する際に、これらの端子の高さに応じて、導電性弾性部が圧縮または変形することができる。その結果、複数の端子の高さが不均一である場合、確実に検査することができる。

また、導電性弾性部が、被検査装置からの過度の圧力を吸収するとともに、導体部と被検査装置との直接的な接触を回避する。したがって、耐久性が優れる。

本発明［１２］は、前記めっき層の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第３凹部を区画し、前記導電性弾性部の体積割合は、前記第３凹部の体積に対して、２０％以上２００％以下である、［９］に記載の異方導電性シートを含んでいる。

このような異方導電性シートによれば、被検査装置などが備える複数の端子の高さが不均一である場合であっても、より一層確実に検査することができる。また、導電性弾性部が、異方導電部への圧力や衝撃を確実に和らげることができるため、耐久性がより一層優れる。

本発明の異方導電性シートによれば、隣接する異方導電部の導通を抑制することができる。

図１は、本発明の異方導電性シートの第１実施形態の一実施形態の平面図を示す。 図２は、図１のＡ−Ａ線における部分拡大側断面図を示す。 図３は、図１に示す異方導電性シートを使用する際の側断面図を示す。 図４は、図１に示す異方導電性シートを用いためっき層付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図５は、図１に示す異方導電性シートを用いた導電性弾性部付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図６は、図１に示す異方導電性シートの変形例（カバー絶縁層が、鍔部の上面全面を被覆する形態）の側断面図を示す。 図７は、図１に示す異方導電性シートの変形例（第２凹部が、下側に向かうに従って縮径する形態）の側断面図を示す。 図８は、図１に示す異方導電性シートの変形例（第１ベース層を備えず、中央部の下面が第２ベース層の下面と面一である形態）の側断面図を示す。 図９は、図１に示す異方導電性シートの変形例（第１ベース層を備えず、中央部が下側に突出する形態）の側断面図を示す。 図１０は、本発明の異方導電性シートの第２実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１１は、図１０に示す異方導電性シートを用いためっき層付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図１２は、図１０に示す異方導電性シートを用いた弾性部付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図１３は、本発明の異方導電性シートの第３実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１４は、図１３に示す異方導電性シートを用いためっき層付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図１５は、本発明の異方導電性シートの第４実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１６は、本発明の異方導電性シートの第５実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１７は、本発明の異方導電性シートの第６実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。

図１において、紙面紙厚方向は、上下方向（厚み方向、第１方向）であって、紙面手前側が上側（厚み方向一方側、第１方向一方側）、紙面奥側が下側（厚み方向他方側、第１方向他方側）である。また、紙面左右方向は、左右方向（第１方向と直交する第２方向）であって、紙面左側が左側（第２方向一方側）、紙面右側が右側（第２方向他方側）である。また、紙面上下方向は、前後方向（第１方向および第２方向と直交する第３方向）であって、紙面下側が前側（第３方向一方側）、紙面上側が後側（第３方向他方側）である。具体的には、各図の方向矢印に準拠する。

＜第１実施形態＞
１．異方導電性シート
図１〜図３を参照して、本発明の第１実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。

図１に示すように、異方導電性シート１は、面方向（前後方向および左右方向）に延びる平面視略矩形の平板形状を有している。異方導電性シート１は、複数の異方導電部２を備えている。

複数の異方導電部２は、異方導電性シート１の平面視略中央部に、前後方向および左右方向に整列するように隣接配置されている。具体的には、異方導電性シート１は、周端部を除いて、複数の異方導電部２のみから形成されている。すなわち、異方導電性シート１は、連続する複数の異方導電部２から形成されている。

図２に示すように、複数の異方導電部２は、それぞれ、絶縁層３および導体部４を備えている。絶縁層３には、面方向に延びる被嵌合部３２を有する貫通孔１６が形成されており、また、導体部４は、貫通孔１６に配置されており、被嵌合部３２に嵌合している嵌合部３１を備えている。

具体的には、絶縁層３は、ベース絶縁層と、第３絶縁部としてのカバー絶縁層（カバー層）７とを備えている。ベース絶縁層は、第１絶縁部としての第１ベース絶縁層(第１ベース層）５と、第２絶縁部としての第２ベース絶縁層（第２ベース層）６とを一体的に備えている。

第１ベース層５は、絶縁層３の最下部に位置し、導体部４の中央部２１（後述）の下面（厚み方向他方面）よりも下側に配置されている。具体的には、第１ベース層５は、第１ベース層５の上面（厚み方向一方面）が第２ベース層６の下面と連続（接触）するように、第２ベース層６の下面に配置されている。第１ベース層５の下面は、露出している。

第１ベース層５は、第１ベース層５を上下方向に貫通する第１開口部１１を有している。第１開口部１１は、底面視円形状を有し、側断面視において、下側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。すなわち、第１開口部１１は、下側に向かうに従って拡径する略円錐台形状を有している。第１開口部１１は、上側において第２開口部１２と連通している。

第２ベース層６は、絶縁層３の上下方向中間に位置し、第１ベース層５の上側に配置されている。具体的には、第２ベース層６は、第２ベース層６の下面が第１ベース層５の上面と連続し、第２ベース層６の上面がカバー層７の下面と連続するように、第１ベース層５の上面およびカバー層７の下面に配置されている。

第２ベース層６は、第２開口部１２（後述）を区画する傾斜面１７と、傾斜面１７の上端から第２開口部１２の外側に連続する上端面１８とを備えている。第２ベース層６は、導体部４の周側部の下面を被覆している。具体的には、第２ベース層６は、その傾斜面１７が傾斜部２２（後述）の下面全面と接触し、その上端面１８が鍔部２３（後述）の下面全面と接触するように、導体部４の下面を被覆している。

第２ベース層６は、第２ベース層６を上下方向に貫通する第２開口部１２を有している。第２開口部１２は、底面視円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。すなわち、第２開口部１２は、上側に向かうに従って拡径する略円錐台形状を有している。第２開口部１２は、下側において第１開口部１１と連通し、上側において第３下側開口部１４と連通している。第２開口部１２の下端の開口は、第１開口部１１の下端の開口と一致する。

カバー層７は、絶縁層３の最上部に位置し、第２ベース層６の上側に配置されている。具体的には、カバー層７は、カバー層７の下面が第２ベース層６の上面と連続するように、第２ベース層６の上面に配置されている。カバー層７は、導体部４の鍔部２３（後述）の下面よりも上側に配置されている。また、カバー層７の上面は、露出している。カバー層７は、側断面視鉤形状を有し、導体部４の周側面および上面（具体的には、鍔部２３の周側面全面および上面全面）を被覆している。

カバー層７は、カバー層７を上下方向に貫通する第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、第３開口部１３の下側を区画する第３下側開口部１４と、第３開口部１３の上側を区画する第３上側開口部１５とを備えている。

第３下側開口部１４は、平面視略円形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。すなわち、第３下側開口部１４は、略円柱状を有している。第３下側開口部１４は、下側において第２開口部１２と連通し、上側において第３上側開口部１５と連通している。第３下側開口部１４の下端の開口は、第２開口部１２の上端の開口よりも広く、上下方向に投影したときに、第３下側開口部１４は、第２開口部１２を含む。

第３上側開口部１５は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。すなわち、第３上側開口部１５は、上側に向かうに従って拡径する略円錐台形状を有している。第３上側開口部１５は、下側において第３下側開口部１４と連通している。第３上側開口部１５の下端の開口は、第３下側開口部１４の上端の開口よりも狭く、上下方向に投影したときに、第３上側開口部１５は、第３下側開口部１４に含まれる。

第１開口部１１、第２開口部１２および第３開口部１３は、上下方向に連通しており、絶縁層３を上下方向に貫通する貫通孔１６を構成する。

第１ベース層５、第２ベース層６およびカバー層７は、それぞれ、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などの合成樹脂から形成され、好ましくは、ポリイミド樹脂から形成される。

第１開口部１１の下端（貫通孔１６の下端）の開口の直径（面方向長さ）Ｌ１は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１２０μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。

第２開口部１２の下端（第１開口部１１の上端）の開口の直径Ｌ２（すなわち、中央部２１の直径）は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。Ｌ１のＬ２に対する比（Ｌ１／Ｌ２）は、例えば、１．０以上であり、また、例えば、２．０以下、好ましくは、１．５以下である。

第３下側開口部１４の上端または下端の開口の直径Ｌ３（すなわち、導体部４全体の直径）は、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２１μｍ以上であり、また、例えば、１９０μｍ以下、好ましくは、７０μｍ以下である。

第３上側開口部１５の下端の開口の直径Ｌ４は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。

第３上側開口部１５の上端（貫通孔１６の上端）の開口の直径Ｌ５は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。Ｌ５のＬ２に対する比（Ｌ５／Ｌ２）は、例えば、１．０以上であり、また、例えば、３．０以下、好ましくは、２．０以下である。

第２ベース層６が鍔部２３の下面を被覆している面方向長さＬ６（すなわち、鍔部２３の面方向長さ）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、１５μｍ以下である。Ｌ６のＬ３に対する比（Ｌ６／Ｌ３）は、例えば、０．０６以上、好ましくは、０．１以上であり、また、例えば、０．３５以下、好ましくは、０．３０以下である。上記長さＬ６や比が上記範囲であれば、第１ベース層５が鍔部２３を下側から確実に固定できるため、より強固に導体部４を固定できる。

カバー層７が鍔部２３（導体部４）の上面を被覆している径方向長さＬ７は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。上記長さＬ７が上記範囲であれば、第１ベース層５が鍔部２３を上側から確実に固定できるため、より強固に導体部４を固定できる。

第１ベース層５の厚み（上下方向長さ）Ｔ１（すなわち、第１開口部１１の深さ）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、３０μｍ以下である。

第２ベース層６の厚みＴ２（すなわち、第２開口部１２の深さ）は、例えば、２μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。

カバー層７の厚みＴ３（すなわち、第３開口部１３の深さ）は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、６μｍ以上であり、また、例えば、４５μｍ以下、好ましくは、２８μｍ以下である。

カバー層７の鍔部２３の上面における厚みＴ４（すなわち、第３上側開口部１５の深さ）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。

絶縁層３の総厚みＴ５（すなわち、貫通孔１６の深さ）は、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、４０μｍ以下であり、また、例えば、１０μｍ以上である。絶縁層３の厚みが上記上限以下であれば、上下方向に可撓することが容易であるため、被検査装置４１の形状や反りに容易に追従できる。したがって、より低圧での検査が可能となる。

導体部４は、貫通孔１６に配置されている。具体的には、導体部４は、第２開口部１２および第３開口部１３に充填されている。導体部４は、平面視略円形状を有している。導体部４は、導体部４の径方向（面方向中心）に配置される中央部２１と、中央部２１の径方向外側に配置される傾斜部２２と、傾斜部２２の径方向外側に配置される端部としての鍔部２３（フランジ部）とを一体的に備えている。

中央部２１は、第２開口部１２の内部に配置されている。すなわち、中央部２１は、第２開口部１２に充填されている。中央部２１は、平面視略円形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。すなわち、中央部２１は、円板形状を有している。中央部２１の周端縁は、第１開口部１１の上端の開口と一致する。また、中央部２１の上面および下面は、絶縁層３（第２ベース層６）から露出している。

傾斜部２２は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に配置されている。すなわち、傾斜部２２は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に充填されている。傾斜部２２は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。傾斜部２２は、その内端縁が中央部２１の周端縁（面方向端縁）と連続し、その外周端縁が鍔部２３の内周縁と連続するように、中央部２１および鍔部２３と一体的に連続している。傾斜部２２は、側断面視において、中央部２１の周端縁から、上下方向および径方向（面方向）の両方に交差する交差方向に延びるように形成されている。具体的には、傾斜部２２は、中央部２１の周端縁から、径方向外側に向かうに従って上側に傾斜する斜め方向に直線状に延びるように形成されている。

傾斜部２２の内周縁は、第２開口部１２の下端の開口と一致し、傾斜部２２の外周縁は、第２開口部１２の上端の開口と一致する。傾斜部２２の上面は、露出し、傾斜部２２の下面は、第２ベース層６に被覆されている。

鍔部２３は、第３下側開口部１４の内部に配置されている。すなわち、鍔部２３は、第３開口部１３の外周部に充填されている。鍔部２３は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。鍔部２３は、その内端縁が傾斜部２２の外周縁と連続するように、傾斜部２２と一体的に連続している。鍔部２３は、側断面視において、傾斜部２２の外周縁（面方向端縁）から、径方向（面方向）に延びるように形成されている。

鍔部２３の内周縁は、第２開口部１２の上端の開口と一致し、鍔部２３の外周縁は、第３下側開口部１４の開口と一致する。

鍔部２３の上面および外周側面は、カバー層７に被覆され、鍔部２３の下面は、第２ベース層６に被覆されている。具体的には、鍔部２３の上面の一部（外側部）、および、鍔部２３の外周側面の全部は、カバー層７と接触し、鍔部２３の下面全面は、第２ベース層６の全面と接触している。このため、鍔部２３は、第２ベース層６およびカバー層７によって区画され、面方向に凹む第３下側開口部１４の外周部に嵌合している。すなわち、鍔部２３は、嵌合部３１を構成し、第３下側開口部１４の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。

中央部２１の厚みＴ６、および、鍔部２３の厚みＴ７は、それぞれ、例えば、２μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。

中央部２１に対する傾斜部２２の傾斜角θ（すなわち、第２ベース層６における下面と傾斜面１７とがなす角）は、例えば、３０°以上、好ましくは、４５°以上であり、また、例えば、８０°以下、好ましくは、６５°以下である。

異方導電部２では、導体部４の上面および貫通孔１６の周側面が、第１凹部３３を区画している。具体的には、中央部２１および傾斜部２２の上面、ならびに、第３上側開口部１５の周側面が、第１凹部３３を区画している。

第１凹部３３は、異方導電部２の上面を下側に向かって凹むように形成されている。第１凹部３３は、その底面（中央部２１の上面）から上側に向かうに従って、開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。

また、導体部４の下面は、第１ベース層５の下面よりも上側に位置しており、導体部４の下面および貫通孔１６の周側面が、第２凹部３４を区画している。具体的には、中央部２１の下面および第１開口部１１の周側面が、第２凹部３４を区画している。

第２凹部３４は、異方導電部２の下面を上側に向かって凹むように形成されている。第２凹部３４は、その底面（中央部２１の下面）から下側に向かうに従って、開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。

第１凹部３３の深さ（上下方向長さ）Ｄ１および第２凹部３４の深さＤ２は、それぞれ、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、４０μｍ以下、好ましくは、２５μｍ以下である。

導体部４の材料としては、例えば、銅、銀、金、ニッケルまたはそれらを含む合金などの金属材料が挙げられ、好ましくは、銅が挙げられる。

この異方導電性シート１は、例えば、ベース絶縁層を形成するベース絶縁層形成工程、導体部４を形成する導体部形成工程、カバー層７を形成するカバー層形成工程、および、第１開口部１１を形成する開口形成工程を順次実施することにより得られる。

ベース絶縁層形成工程では、例えば、感光性のワニスを基材に塗布し、乾燥した後、第２開口部１２に対応する凹部を有するパターンで露光および現像する。その後、必要により、加熱硬化を実施し、基材を除去する。これにより、第１開口部１１を有しない第１ベース層５および第２開口部１２（凹部）を有する第２ベース層６を備えるベース絶縁層を得る。

導体部形成工程では、例えば、アディティブ法、サブトラクティブ法などの公知の配線を形成するパターニング法により、ベース絶縁層の凹部およびその周辺に導体部４を形成する。

カバー層形成工程では、例えば、感光性のワニスを第２ベース層６および導体部４の上面に塗布し、乾燥した後、第３開口部１３を有するパターンで露光および現像し。その後、必要により、加熱硬化させてからカバー層７を形成する。

開口形成工程では、例えば、ベース絶縁層の下面（第１ベース層６）に対し、公知のエッチングなどにより、第１開口部１１を形成する。

異方導電部２は、側断面図において、導体部４の中央部２１の径方向の中心点を上下方向に通過する軸（図２に示す仮想線）にして対称である。換言すると、異方導電部２は、側断面図において左右対称である。

一の導体部４（中央部２１）の径方向中心点と、隣接する他の導体部４の径方向中心点との距離Ｌ８（導体部間ピッチ）は、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、４０μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、８０μｍ以下、より好ましくは、６０μｍ以下である。導体部間ピッチＬ８が上記範囲内であれば、導体部４同士の間隔が十分に狭いため、より微細化した被検査装置４１の検査が可能となる。

異方導電性シート１の厚みＴ８、すなわち、異方導電部２の上端から下端までの上下方向長さは、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、４０μｍ以下であり、また、例えば、１０μｍ以上である。異方導電性シート１の厚みが上記上限以下であれば、上下方向に可撓することが容易であるため、被検査装置４１の形状や反りに容易に追従できる。したがって、より低圧での検査が可能となる。

そして、この異方導電性シート１は、被検査装置４１および検査装置４２を互いに電気的に接続するために用いられる。

具体的には、図３に示すように、複数の端子４３を備える被検査装置４１、および、複数の検査プローブ４４を備える検査装置４２を用意する。被検査装置４１としては、半導体素子、プリント回路基板などが挙げられる。検査装置４２としては、プローブテスター、プリント基板検査装置などの公知または市販の検査装置が挙げられる。

次いで、被検査装置４１の端子４３を、導体部４の上面、すなわち、中央部２１の上面と接触させる一方、検査装置４２の検査プローブ４４を、導体部４の下面、すなわち、中央部２１の下面と接触させる。

その後、検査装置４２の作動によって、被検査装置４１に対して導通検査などの機能検査を実施することができる。

なお、異方導電性シート１は、被検査装置４１および検査装置４２を含まず、異方導電性シート１そのものが、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。また、この異方導電性シートは、後述するめっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０の一部品としても使用することができる。

そして、この異方導電性シート１は、上下方向に貫通する貫通孔１６を有する絶縁層３と、貫通孔１６に配置される導体部４とを有する異方導電部２を備えており、導体部４の上面および貫通孔１６の周側面が、第１凹部３３を区画している。

そのため、異方導電部２の上面にめっき層５１、５２（後述）や導電性弾性部６１（後述）を配置する際に、めっき層５１や導電性弾性部６１を第１凹部３３内に収容することができる。したがって、めっき層５１などがカバー層７の上面に付着されにくい。その結果、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制することができる。

また、被検査装置４１の端子４３の先端が、目的とする接触点（第１凹部３３内の導体部）から僅かにずれた場合であっても、被検査装置４１の端子４３の先端を第１凹部３３内に誘導して取り込むことができる。よって、被検査装置４１の端子４３が導体部４に容易にかつ確実に接触することができ、導通信頼性が向上する。

また、この異方導電性シート１は、導体部４（中央部２１、傾斜部２２、鍔部２３）を公知の微細配線などを形成するパターニング方法により形成することができるため、導体部間ピッチＬ８を狭くすることができる。よって、より微細な被検査装置４１を検査することができる。

また、絶縁層３は、貫通孔１６において面方向に凹む被嵌合部３２（第３下側開口部１４の外周部）を有し、導体部４は、被嵌合部３２に嵌合する嵌合部３１（鍔部２３）を有している。

そのため、導体部４が、鍔部２３および第３下側開口部１４の嵌合によって絶縁層３に固定されている。したがって、被検査装置４１の検査時において、導体部４が、被検査装置４１の端子４３および検査装置４２および検査プローブ４４によって上側や下側から加圧されたとしても、導体部４が貫通孔１６から脱落することを抑制できる。その結果、耐久性が優れる。

また、導体部４は、中央部２１と、斜め方向（特に、径方向外側に向かうに従って上側に向かう方向）に延びる傾斜部２２を備えている。

そのため、中央部２１を貫通孔１６の下方に配置することができ、より確実に異方導電部２に第１凹部３３を形成することができる。

また、導体部４は、傾斜部２２の外周端縁から径方向外側に延びる鍔部２３をさらに備えている。

そのため、鍔部２３を絶縁層３の被嵌合部３２に嵌合させることができる。これにより、鍔部２３の上面、下面および外周側面のそれぞれが、絶縁層３（第１ベース層５および第２ベース層６）に固定されている。したがって、被検査装置４１の端子４３による上側からの加圧、検査装置４２の検査プローブ４４による下側からの加圧、および、これらによる面方向への応力のいずれに対しても、導体部４が強固に固定され、位置ずれが生じにくい。その結果、導体部４の脱落をより確実に抑制することができる。したがって、耐久性がより一層優れる。

また、第１凹部３３は、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。

そのため、被検査装置４１の検査時において、被検査装置４１の端子４３を上側から中央部２１の上面に容易に電気的に接続させることができる。特に、被検査装置４１の端子４３の先端が、目的とする接触点（第１凹部３３内の導体部）から僅かにずれた場合であっても、被検査装置４１の端子４３の先端を第１凹部３３内に、よりスムーズに誘導して取り込むことができる。よって、導通信頼性がさらに向上する。

また、導体部４の下面は、第１ベース層５の下面よりも上側に位置し、導体部４の下面および貫通孔１６の周側面が、第２凹部３４を区画している。

そのため、導体部４の下面に第２めっき層５２や導電性弾性部６１を配置する際に、第２めっき層５２や導電性弾性部６１を第２凹部３４内に収容することができる。したがって、第２めっき層５２などが第１ベース層５の下面に付着されにくく、その結果、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制することができる。

また、第２凹部３４は、下側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。

そのため、被検査装置４１の検査時において、検査装置４２の検査プローブ４４を下側から中央部２１の下面に容易に電気的に接続させることができる。特に、検査装置４２の検査プローブ４４の先端が、目的とする接触点（第２凹部３４内の導体部）から僅かにずれた場合であっても、検査装置４２の検査プローブ４４の先端を第２凹部３４内に、よりスムーズに誘導して取り込むことができる。よって、導通信頼性がさらに向上する。

２．めっき層付き異方導電性シート
異方導電性シート１は、めっき層をさらに備えることができる。具体的には、図４に示すめっき層付き異方導電性シート５０は、導体部４の上面（厚み方向一方面）に配置される第１めっき層５１と、導体部４の下面（厚み方向他方面）に配置される第２めっき層５２をさらに備えている。

第１めっき層５１は、導体部４の上面全面およびカバー層７の側面（傾斜面）の一部を被覆するように、導体部４の上面に配置されている。

第１めっき層５１は、第１内側めっき層５３および第１外側めっき層５４を備えている。

第１内側めっき層５３は、導体部４の上面全面およびカバー層７の側面の一部を被覆するように、導体部４の上面に配置されている。

第１外側めっき層５４は、第１内側めっき層５３の上面全面を被覆するように、第１内側めっき層５３の上面に配置されている。

第１めっき層５１の材料としては、例えば、金、銀、銅、ニッケルなどの金属材料が挙げられる。

第１内側めっき層５３としては、好ましくは、ニッケルめっき層が挙げられ、第１外側めっき層としては、好ましくは、金めっき層が挙げられる。これにより、導電性がより一層優れるため、検査感度を向上させたり、導体部間ピッチＬ８を狭くすることができる。

第２めっき層５２は、導体部４の下面全面および第１ベース層５の側面（傾斜面）の一部を被覆するように、導体部４の下面に配置されている。

第２めっき層５２は、第２内側めっき層５５および第２外側めっき層５６を備えている。

第２内側めっき層５５は、導体部４の下面全面および第１ベース層５の側面の一部を被覆するように、導体部４の下面に配置されている。

第２外側めっき層５６は、第２内側めっき層５５の下面全面を被覆するように、第２内側めっき層５５の下面に配置されている。

第２めっき層５２の材料としては、例えば、金、銀、銅、ニッケルなどの金属材料が挙げられる。

第２内側めっき層５５としては、好ましくは、ニッケルめっき層が挙げられ、第２外側めっき層としては、好ましくは、金めっき層が挙げられる。これにより、導電性がより一層優れるため、検査感度を向上させたり、導体部間ピッチＬ８を狭くすることができる。

各めっき層の厚み（５３、５４，５５、５６）は、それぞれ、例えば、０．０１μｍ以上、好ましくは、０．０５μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、１２μｍ以下、より好ましくは、８μｍ以下である。

めっき層５１、５２を設ける方法としては、例えば、電解めっき法、無電解めっき法などの公知のめっき方法が挙げられる。

第１めっき層５１の上面および貫通孔１６の周側面が、第３凹部５７を区画し、第２めっき層５２の下面および貫通孔１６の周側面が、第４凹部５８を区画する。具体的には、第１外側めっき層５４の上面および第３上側開口部１５の周側面が、第３凹部５７を区画し、第２外側めっき層５６の下面および第１開口部１１の周側面が、第４凹部５８を区画している。

第３凹部５７の底面の直径Ｌ９および第４凹部５８の底面の直径Ｌ１０は、それぞれ、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、８０μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。

第３凹部５７の深さＤ３および第４凹部５８の深さＤ４は、それぞれ、例えば、５μｍ以上、好ましくは、８μｍ以上であり、また、例えば、６０μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。

めっき層付き異方導電性シート５９は、めっき層５１、５２を備えている。そのため、導体部４の酸化を抑制でき、耐久性がより一層優れる。

３．弾性部付き異方導電性シート
異方導電性シート１は、導電性弾性部６１をさらに備えることができる。具体的には、図５に示す弾性部付き異方導電性シート６０は、異方導電部２において、導体部４の上側に配置される導電性弾性部６１をさらに備えている。

異方導電部２は、導体部４、めっき層（第１めっき層５１、第２めっき層５２）、および、導電性弾性部６１を備えている。

導電性弾性部６１は、異方導電部２において、第３凹部５７内に配置されている。すなわち、導電性弾性部６１は、第３凹部５７内に充填されている。導電性弾性部６１の形状は、第３凹部５７の形状と一致しており、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って平断面積が大きくなるテーパ形状を有している。

導電性弾性部６１の上面は、カバー層７の上面と面一となるように、形成されている。

導電性弾性部６１は、導電性粒子６２および樹脂を含有する導電性樹脂組成物から形成されている。

導電性粒子６２の材料としては、例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、銀、銅、パラジウム、ロジウムおよびこれらの合金などの金属などが挙げられる。

導電性粒子６２は、上記金属である金属粒子であってもよい。また、導電性粒子は、例えば、コア材としての非導電性粒子（ポリマー粒子、ガラスビーズなど）と、そのコア材表面に上記金属であるシェル部とを備えるコアシェル型粒子であってもよい。

導電性粒子６２の平均粒子径は、例えば、１μｍ以上、１０μｍ以下である。

樹脂としては、例えば、ゴムなどの弾性材料、絶縁層３を形成する樹脂などが挙げられ、好ましくは、ゴムが挙げられる。

ゴムとしては、例えば、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、クロロプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、例えば、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。

導電性弾性部６１の硬度は、例えば、３０Ｈｓ以上、好ましくは、４０Ｈｓ以上であり、また、例えば、７０Ｈｓ以下、好ましくは、６０Ｈｓ以下である。導電性弾性部６１の硬度を上記範囲内とすることにより、複数の端子４３に対応して導電性弾性部６１がより一層柔軟に変形することができる。硬度は、例えば、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に記載の方法により測定することができる。

弾性部付き異方導電性シート６０は、例えば、異方導電性シート１の上面全面に、導電性粒子６２および樹脂を含有する組成物を塗布し、次いで、スキージで異方導電性シート１の上面をこすり、組成物を第３凹部５７に移動させることによって、製造することができる。具体的には、特開２０１５−２６５８４号公報に記載の製造方法を参照することができる。

弾性部付き異方導電性シート６０は、第３凹部５７内に導電性弾性部６１を備えている。そのため、被検査装置４１の複数の端子４３の高さに、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置４１を弾性部付き異方導電性シート６０に押圧する際に、これらの端子４３の個々の高さに応じて、導電性弾性部６１が下側に圧縮することができる。特に、導電性弾性部６１は、その厚みに応じて圧縮され、例えば、数μｍの厚みを圧縮することができる。その結果、複数の端子４３の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。

また、導電性弾性部６１が、被検査装置４１からの圧力を吸収するとともに、導体部４と端子４３との直接的な接触を回避する。そのため、耐久性がより一層優れる。

なお、図５に示す実施形態では、導電性弾性部６１は、その上面が、カバー層７の上面と面一となるように、形成されている。すなわち、導電性弾性部６１は、その体積割合が、第３凹部５７の体積に対して、１００％となるように充填されている。しかし、例えば、図示しないが、導電性弾性部６１は、その上面が、カバー層７の上面よりも上側または下側となるように、形成されていてもよい。そのような場合、導電性弾性部６１の体積割合は、第３凹部５７の体積に対して、例えば、２０％以上、好ましくは、５０％以上であり、また、例えば、２００％以下、好ましくは、１５０％以下である。

導電性弾性部６１の体積割合が上記範囲内であれば、被検査装置４１の複数の端子４３の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。また、導電性弾性部６１が、異方導電部２への圧力や衝撃を確実に和らげることができるため、耐久性がより一層優れる。

４．変形例
図６〜図９を参照して、第１実施形態の異方導電性シート１の変形例について説明する。なお、変形例において、上記した図２などに示す実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。

（１）図２に示す実施形態では、カバー層７が、鍔部２３の上面の一部のみを被覆しているが、例えば、図６に示すように、カバー層７が、鍔部２３の上面全面を被覆していてもよい。

図６に示す実施形態では、カバー層７の傾斜面は、導体部４の傾斜面１７の上面と、導体部４の傾斜面１７が延びる方向において、面一となるように形成されている。

図６に示す異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

（２）図２に示す実施形態では、第１開口部１１が、下側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有しているが、例えば、図７に示すように、第１開口部１１は、下側に向かうに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状を有していてもよく、また、図示しないが、第１開口部１１は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有していてもよい。

さらに、図７に示す実施形態では、第３開口部１３は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有している。

図７に示す異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。好ましくは、検査装置４２の検査プローブ４４や被検査装置４１の端子４３における接続容易性から、図２に示す実施形態が挙げられる。

（３）図２に示す実施形態では、異方導電部２は、第１ベース層５を備えているが、例えば、図８および図９に示すように、異方導電部２は、第１ベース層５を備えなくてもよい。

図８および図９に示す実施形態では、絶縁層３は、第２ベース層６およびカバー層７のみを備えており、第２ベース層６の下面は、露出している。また、絶縁層３は、第１開口部１１を備えず、第２開口部１２および第３開口部１３が貫通孔１６を構成している。異方導電部２は、第２凹部３４を有しない。

図８に示す実施形態では、中央部２１の下面は、第２ベース層６の下面と面一となるに形成されている。

図９に示す実施形態では、中央部２１の下面は、第２ベース層６の下面よりも下側に位置している。すなわち、中央部２１は、絶縁層３の下面よりも下側に突出している。また、傾斜部２２の下面の一部は、第２ベース層６から露出している。

図８および図９に示す異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。好ましくは、第２めっき層５２などを配置する際に、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制できる観点から、図２に示す実施形態が挙げられる。

（４）図６〜図９に示す異方導電性シート１についても、図４に示すめっき層付き異方導電性シート５０および図５に示す弾性部付き異方導電性シート６０に参照されるように、めっき層５１、５２および導電性弾性部６１を備えることができる。

（５）図２〜図９において、第１ベース層５、第２ベース層６およびカバー層７が、互いに同種の材料（例えば、ポリイミド樹脂）から形成される場合、第１ベース層５と第２ベース層６との境界、および、第２ベース層６とカバー層７との境界（各図面における絶縁層３内の破線）は存在せず、第１ベース層５、第２ベース層６およびカバー層７は一体的に形成される。なお、これは、後述する図１０〜図１５に示す実施形態およびその変形例についても同様である。

＜第２実施形態＞
１．異方導電性シート
図１０を参照して、本発明における第２実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第２実施形態において、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を備えているが、第２実施形態の異方導電性シート１では、図１０に示すように、導体部４は、中央部２１および傾斜部２２のみを備えており、鍔部２３を備えていなくてもよい。

また、第２実施形態の異方導電性シート１では、絶縁層３は、第２ベース層６およびカバー層７のみを備えており、第１ベース層５を備えていない。

第２ベース層６は、絶縁層３の最下部に位置し、第２開口部１２を有している。第２開口部１２は、底面視円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第２開口部１２は、上側において、第３内側開口部１９および第３外側開口部２０およびと連通している。第２開口部１２の上端の開口は、第３外側開口部２０（後述）の下端の開口と一致する。

カバー層７は、絶縁層３の最上部に位置し、第２ベース層６の上側に配置されている。具体的には、カバー層７は、カバー層７の下面が第２ベース層６の上面と連続するように、第２ベース層６の上面に配置されている。カバー層７の上面は、露出している。

カバー層７は、第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、第３開口部１３の内側を区画する第３内側開口部１９と、第３内側開口部１９の外側を区画する第３外側開口部２０とを備えている。

第３内側開口部１９は、カバー層７を上下方向に貫通している。第３内側開口部１９は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第３内側開口部１９は、下側において、第２開口部１２の内側と連通している。

第３外側開口部２０は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略三角形状を有している。第３外側開口部２０は、下側において第２開口部１２の外側と連通している。

第１開口部１１および第３開口部１３は、上下方向に互いに連通しており、絶縁層３を上下方向に貫通する貫通孔１６を構成する。

導体部４は、中央部２１および傾斜部２２のみを備えており、鍔部２３を備えていない。

中央部２１の下面は、第２ベース層６の下面よりも、下側に位置している。すなわち、中央部２１は、第２ベース層６の下面よりも下側に突出している。このため、中央部２１の全面および傾斜部２２の下面の一部（下部）は、第２ベース層６から露出している。

傾斜部２２の上面および外周側面は、カバー層７に被覆され、傾斜部２２の下面は、第２ベース層６に被覆されている。具体的には、傾斜部２２の上面の全面、および、傾斜部２２の外周側面の全面は、カバー層７と接触し、傾斜部２２の下面の一部（上部）は、第２ベース層６の傾斜面１７と接触している。このため、傾斜部２２は、第２ベース層６およびカバー層７によって区画され、面方向（特に斜め方向）に凹む第３外側開口部２０および第２開口部１２に嵌合している。すなわち、傾斜部２２は、嵌合部３１を構成し、第３外側開口部２０、および、第２開口部１２の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。

第２実施形態の異方導電性シート１においても、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。

特に、第２実施形態では、斜め方向に延びる傾斜部２２が嵌合部３１を構成し、斜め方向に凹む被嵌合部３２（第３外側開口部２０および第２開口部１２）に嵌合されている。そのため、導体部４は、より確実に絶縁層３に固定されている。したがって、被検査装置４１の端子４３による上側からの加圧、検査装置４２の端子による下側からの加圧、および、両端子による面方向への応力のいずれに対しても、導体部４が強固に固定され、位置ずれが生じにくい。その結果、導体部４が貫通孔１６から脱落することを抑制することができる。したがって、耐久性が優れる。

また、鍔部２３を備えていないため、導体部４の面方向長さを短縮できる。その結果、導体部間ピッチＬ８をより微細化することができる。

また、第１ベース層５を備えていないため、異方導電性シート１の薄膜化を図ることができる。また、可撓性に優れ、被検査装置４１の形状や反りに容易に追従できるため、より低圧での検査が可能となり、その結果、耐久性がさらに優れる。

２．めっき層付き異方導電性シート、および、弾性部付き異方導電性シート
第２実施形態の異方導電性シート１は、図１１および図１２に示すように、めっき層５１、５２および導電性弾性部６１の少なくとも一方をさらに備えることができる。めっき層５１、５２および導電性弾性部６１は、第１実施形態に示すめっき層５１、５２および導電性弾性部６１と同様である。

第２実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０、および、弾性部付き異方導電性シート６０についても、第１実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０、および、弾性部付き異方導電性シート６０と同様の作用効果を奏することができる。

３．変形例
第２実施形態の異方導電性シート１の変形例について説明する。なお、変形例において、上記した図２などに示す実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。

（１）図１０に示す実施形態では、カバー層７は、傾斜部２２の上面の全部を被覆しているが、例えば、図示しないが、カバー層７は、傾斜部２２の上面の一部（上部）のみを被覆してもよい。この異方導電性シート１においても、図１０に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

（２）図１０に示す実施形態では、絶縁層３は、第１ベース層５を備えていないが、例えば、図示しないが、絶縁層３は、第２ベース層６の下面に配置される第１ベース層５を備えていてもよい。

第１ベース層５は、第１開口部１１を有している。これにより、中央部２１および第１開口部１１が、第２凹部３４を区画する。第１開口部１１は、図２および図７に参照されるように、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるまたは小さくなるテーパ形状を有してもよく、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有していてもよい。

この異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。薄膜化および低圧での検査の観点からは、好ましくは、図１０に示す実施形態が挙げられる。

＜第３実施形態＞
１．異方導電性シート
図１３を参照して、本発明における第３実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第３実施形態において、上記した第１〜２実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を備えているが、第３実施形態の異方導電性シート１では、図１３に示すように、導体部４は、中央部２１および鍔部２３のみを備えており、傾斜部２２を備えなくてもよい。

また、第３実施形態では、絶縁層３は、第２ベース層６およびカバー層７のみを備えており、第１ベース層５を備えていない。

第２ベース層６は、絶縁層３の最下部に位置している。具体的には、第２ベース層６は、第２ベース層６の上面がカバー層７の下面と連続するように、カバー層７の下面に配置されている。第２ベース層６の下面は、露出している。

第２ベース層６は、第２開口部１２を有している。第２開口部１２は、底面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第２開口部１２は、上側において、第３下側開口部１４と連通している。第２開口部１２の上端の開口は、第３下側開口部１４の下端の開口と一致する。

カバー層７は、絶縁層３の最上部に位置し、第２ベース層６の上側に配置されている。具体的には、カバー層７は、その下面が第２ベース層６の上面と連続するように、第２ベース層６の上面に配置されている。カバー層７の上面は、露出している。

カバー層７は、第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、第３開口部１３の下側を区画する第３下側開口部１４と、第３開口部１３の上側を区画する第３上側開口部１５とを備えている。

第３下側開口部１４は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状を有している。第３下側開口部１４は、下側において第２開口部１２と連通し、上側において第３上側開口部１５と連通している。第３下側開口部１４の下端の開口は、第２開口部１２の上端の開口と一致する。

第３上側開口部１５は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第３上側開口部１５は、下側において第３下側開口部１４と連通している。第３上側開口部１５の下端の開口は、第３下側開口部１４の上端の開口よりも狭く、上下方向に投影したときに、第３上側開口部１５は、第３下側開口部１４に含まれる。

第１開口部１１、第２開口部１２および第３開口部１３は、上下方向に互いに連通しており、絶縁層３を上下方向に貫通する貫通孔１６を構成する。

導体部４は、中央部２１および鍔部２３を備えている。

中央部２１は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に配置されている。中央部２１の上面の一部（中央部）は、カバー層７から露出している。中央部２１の下面全面は、第２ベース層６から露出しており、第２ベース層６の下面と面一となるように形成されている。

鍔部２３は、中央部２１の外周端縁から面方向に延びるように形成されている。鍔部２３は、平面視略円環形状を有し、かつ、側断面視において、外側に向かうに従って開口断面積が小さくなる略三角形状を有している。

鍔部２３の上面（傾斜面）は、カバー層７に被覆され、鍔部２３の下面（傾斜面）は、第２ベース層６に被覆されている。具体的には、鍔部２３の上面全面は、カバー層７と接触し、鍔部２３の下面全面は、第２ベース層６の傾斜面１７と接触している。このため、鍔部２３は、第２ベース層６およびカバー層７によって区画され、面方向に凹む第２開口部１２および第３下側開口部１４の外周部に嵌合している。すなわち、鍔部２３は、嵌合部３１を構成し、第２開口部１２および第３下側開口部１４の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。

異方導電部２では、中央部２１の上面および第３上側開口部１５の周側面が、第１凹部３３を区画している。

第３実施形態の異方導電性シート１においても、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。

特に、第３実施形態では、導体部４が、第２開口部１２および第３下側開口部１４に配置されているため、その厚みを厚くすることができる。そのため、耐久性がより一層優れる。また、被検査装置４１の端子４３からの押圧に対して、異方導電性シート１が上下方向に撓みにくく、複数の端子４３に対して均等に異方導電部２が接触することができる。

２．めっき層付き異方導電性シート
第３実施形態の異方導電性シート１は、図１４に示すように、めっき層５１，５２をさらに備えることができる。

第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０では、第１内側めっき層５３は、第１凹部３３を完全に充填するように形成されている。具体的は、第１内側めっき層５３は、カバー層７の上面よりも上側に突出するように、形成されている。

第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０においても、第１実施形態のめっき層付き異方導電性シート１０と同様の作用効果を奏することができる。

また、第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０では、第１内側めっき層５３、ひいては、第１めっき層５１が厚くなるように形成されている。そのため、第１めっき層５１によって、導体部４をより確実に保護することができ、導体部４の酸化をより一層抑制することができる。

特に、第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート１は、第１凹部３３を有する異方導電性シート１から得られるため、第１内側めっき層５３の厚み、ひいては、第１めっき層５１の厚みを厚くしても、第１内側めっき層５３は、カバー層７の上面全面に流出しにくい。そのため、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制しながら、導体部４をより確実に保護することができる。

＜第４実施形態＞
図１５を参照して、本発明における第４実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第４実施形態において、上記した第１〜３実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

図８に示す第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を一体的に備えているが、第４実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、図１５に示すように、中央部２１、傾斜部２２、鍔部２３および充填部２４を一体的に備えることもできる。

充填部２４は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に配置されている。充填部２４は、図１５の破線に示すように、略円錐台形状を有している。充填部２４は、その下面が中央部２１および傾斜部２２と連続するように、中央部２１および傾斜部２２と一体的に連続している。また、充填部２４の上面は、鍔部２３の上面と面一となるように、形成されている。すなわち、導体部４の上面は、平坦面となっている。

異方導電部２では、充填部２４および傾斜部２２の周側面が、第１凹部３３を区画している。

第４実施形態の異方導電性シート１０も、第１実施形態の異方導電性シート１０と同様の作用効果を奏することができる。

異方導電性シート１を用いためっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０も、上記した第１〜３実施形態と同様である。また、上記した第１〜３実施形態の変形例も、第４実施形態に同様に適用することができる。

＜第５実施形態＞
図１６を参照して、本発明における第５実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第５実施形態において、上記した第１〜４実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を一体的に備え、絶縁層３が、第２ベース層６およびカバー層７を備えているが、第５実施形態の異方導電性シート１では、図１６に示すように、導体部４は、中央部２１および鍔部２３のみを一体的に備え、絶縁層３は、カバー層７のみを備えることもできる。

絶縁層３は、カバー層７のみを備えており、第１ベース層５および第２ベース層６を備えてない。カバー層７は、第３下側開口部１４および第３上側開口部１５を有する。

導体部４において、鍔部２３は、中央部２１の周端縁から径方向外側に延びるように形成されている。鍔部２３は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。鍔部２３の上面および下面は、それぞれ、中央部２１の上面および下面と面一となるように形成されている。

鍔部２３の上面および周側面は、カバー層７に被覆されている。具体的には、鍔部２３の上面全面および外周側面全面は、カバー層７と接触する。このため、鍔部２３は、カバー層７によって区画され、面方向に凹む第３下側開口部１４の外周部に嵌合している。すなわち、鍔部２３は、嵌合部３１を構成し、第３下側開口部１４の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。なお、鍔部２３（嵌合部３１）の下面は、絶縁層３から露出されている。

異方導電部２では、中央部２１の上面および第３上側開口部１５の周側面が、第１凹部３３を区画している。

第５実施形態の異方導電性シート１においても、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。

好ましくは、絶縁層３が第２ベース層６を備え、嵌合部３１の下面が第２ベース層６によって被覆されている第１〜４実施形態が挙げられる。第１〜４実施形態では、被検査装置４１の端子４３による上側からの加圧、検査装置４２の端子による下側からの加圧、および、両端子による面方向への応力のいずれに対しても、貫通孔１６内の導体部４の位置ずれを抑制できる。特に、上側からの加圧に対しても、貫通孔１６内の導体部４の位置ずれを抑制できる。その結果、導体部４が貫通孔１６から脱落することを効果的に抑制することができ、耐久性が優れる。

異方導電性シート１を用いためっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０も、上記した第１〜３実施形態と同様である。また、上記した第１〜３実施形態の変形例も、第５実施形態に同様に適用することができる。

＜第６実施形態＞
図１７を参照して、本発明における第６実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第６実施形態において、上記した第１〜５実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

第５実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１および鍔部２３を一体的に備えているが、第６実施形態の異方導電性シート１では、図１７に示すように、導体部４は、中央部２１のみを備えることもできる。

第６実施形態の異方導電性シート１では、カバー層７は、第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有している。

導体部４において、中央部２１の外周側面は、第３開口部１３（貫通孔１６）の周側面と接触している。このため、第６実施形態の異方導電性シート１は、嵌合部および被嵌合部を備えていない。

異方導電部２では、中央部２１の上面および第３開口部１３の周側面が、第１凹部３３を区画している。

第６実施形態の異方導電性シート１においても、第１〜５実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。

好ましくは、導体部４が嵌合部３１を有し、絶縁層３が被嵌合部３２を有する第１〜５実施形態が挙げられる。第１〜５実施形態では、検査装置４２の検査プローブ４４による下側からの加圧に対しても、貫通孔１６内での導体部４の上方への位置ずれを抑制できる。その結果、導体部４が貫通孔１６から脱落することを抑制することができ、耐久性が優れる。

異方導電性シート１を用いためっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０も、上記した第１〜３実施形態と同様である。また、上記した第１〜３実施形態の変形例も、第６実施形態に同様に適用することができる。

１ 異方導電性シート
２ 異方導電部
３ 絶縁層
４ 導体部
１６ 貫通孔
２２ 傾斜部
２３ 鍔部
３１ 嵌合部
３２ 被嵌合部
３３ 第１凹部
３４ 第２凹部
４１ 被検査装置
４２ 検査装置
５１ 第１めっき層
５２ 第２めっき層
６１ 導電性弾性部
６２ 導電性粒子

Claims (10)

1. 被検査装置および検査装置を互いに電気的に接続するための異方導電性シートであって、
   厚み方向に貫通する貫通孔を有する絶縁層と、前記貫通孔に配置される導体部とを有する異方導電部を備え、
   前記導体部の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第１凹部を区画することを特徴とする、異方導電性シート。
2. 前記絶縁層は、前記貫通孔において厚み方向に直交する面方向に凹む被嵌合部を有し、前記導体部は、前記被嵌合部に嵌合する嵌合部を有することを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。
3. 前記導体部は、厚み方向および面方向の両方に交差する交差方向に延びる傾斜部を備えることを特徴とする、請求項２に記載の異方導電性シート。
4. 前記導体部は、前記傾斜部の面方向端縁から面方向に延びる端部をさらに備えることを特徴とする、請求項３に記載の異方導電性シート。
5. 前記第１凹部は、厚み方向一方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
6. 前記導体部の厚み方向他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面よりも厚み方向一方側に位置し、
   前記導体部の厚み方向他方面および前記貫通孔の周側面が、第２凹部を区画することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
7. 前記第２凹部は、厚み方向他方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有することを特徴とする、請求項６に記載の異方導電性シート。
8. 前記異方導電部は、前記導体部の厚み方向一方面および厚み方向他方面に、めっき層をさらに備えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の異方導電性シート。
9. 前記導体部の厚み方向一方側に配置され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部をさらに備えることを特徴とする、請求項８に記載の異方導電性シート。
10. 前記めっき層の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第３凹部を区画し、
    前記導電性弾性部の体積割合は、前記第３凹部の体積に対して、２０％以上２００％以下であることを特徴とする、請求項９に記載の異方導電性シート。

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