KR102469858B1 - 이방 도전성 시트 - Google Patents

Abstract

이방 도전성 시트는, 피검사 장치 및 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위한 이방 도전성 시트로서, 이방성 도전부를 구비하고, 이방성 도전부는, 두께 방향으로 관통하는 개구부를 갖는 절연층과, 개구부에 배치되는 접속부를 구비하고, 절연층은, 접속부의 두께 방향 한쪽 면의 일부 및 두께 방향에 직교하는 직교 방향 측면을 피복한다.

Description

이방 도전성 시트

본 발명은, 이방 도전성 시트, 자세하게는, 피검사 장치와 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위해 이용되는 이방 도전성 시트에 관한 것이다.

종래로부터, 반도체 소자를 회로 기판에 실장하기 전에, 반도체 소자나 회로 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 기능하는지 여부의 기능 검사(도통 검사)가 실시되고 있다. 기능 검사에서는, 반도체 소자 또는 회로 기판 등의 피검사 장치의 단자를, 프로브 테스터 등의 검사 장치에 전기적으로 접속시킬 필요가 있고, 그 때문에, 이방 도전성 시트(커넥터)가 이용되고 있다. 구체적으로는, 이방 도전성 시트를 피검사 장치 및 검사 장치의 사이에 두고, 이방 도전성 시트의 한쪽의 접속부를 피검사 장치의 단자에 접촉시키고, 다른 쪽의 접속부를 검사 장치의 프로브 단자에 접촉시키는 것에 의해, 이들을 전기적으로 확실히 접속하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트로서, 예컨대, 특허문헌 1의 복합 도전성 시트가 알려져 있다. 특허문헌 1의 복합 도전성 시트는, 복수의 관통 구멍이 형성된 절연성 시트와, 관통 구멍의 각각에 충전되고, 또한 절연성 시트의 양면의 각각으로부터 돌출하도록 배치된 강성 도체를 갖고 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 2007-220534호 공보

그런데, 이방 도전성 시트는, 기능 검사에 있어서, 피검사 대상 및 검사 대상에 의해, 양측으로부터 가압된다. 특히, 피검사 장치에 휘어짐이나 변형이 있으면, 피검사 장치의 일부가, 이방 도전성 시트와 접촉하지 않을 우려가 있기 때문에, 접촉을 확실히 하기 위해, 가압을 강하게 하는 경우가 있다.

그리고, 이방 도전성 시트는, 반복하여 재이용되기 때문에, 가압에 의해, 이방 도전성 시트의 접속부에 가해지는 손상이 커지고, 그 결과, 접속부가 변형하거나, 탈락하는 문제가 생긴다.

특허문헌 1의 복합 도전성 시트에 의하면, 강성 도체가 절연 시트로부터 탈락하는 일 없이, 취급을 용이하게 하고 있다.

그렇지만, 특허문헌 1의 복합 도전성 시트에 있어서도, 가압의 반복에 의한 탈락에 대한 내구성은 불충분하고, 새로운 개량이 요구되고 있다.

그 때문에, 본 발명의 과제는, 내구성이 우수한 이방 도전성 시트를 제공하는 것에 있다.

본 발명 [1]은, 피검사 장치 및 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위한 이방 도전성 시트로서, 이방성 도전부를 구비하고, 상기 이방성 도전부는, 두께 방향으로 관통하는 개구부를 갖는 절연층과, 상기 개구부에 배치되는 접속부를 구비하고, 상기 절연층은, 상기 접속부의 두께 방향 한쪽 면의 일부 및 상기 두께 방향에 직교하는 직교 방향 측면을 피복하는, 이방 도전성 시트를 구비하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 절연층은, 접속부의 두께 방향 한쪽 면의 일부 및 직교 방향 측면을 피복하고 있기 때문에, 접속부는, 절연층에 의해 고정되어 있다. 따라서, 피검사 장치의 검사시에 있어서, 피검사 장치 및 검사 장치에 의해, 접속부가 두께 방향 양측으로부터 안쪽으로 향해 가압되었다고 하더라도, 접속부의 탈락을 억제할 수 있다. 그 결과, 내구성이 우수하다.

본 발명 [2]는, 상기 절연층은, 두께 방향 다른 쪽 면을 노출하는 제 1 절연부와, 상기 제 1 절연부의 두께 방향 한쪽에 배치되고, 두께 방향 한쪽 면을 노출하는 제 2 절연부를 구비하고, 상기 제 2 절연부가, 상기 접속부의 상기 두께 방향 한쪽 면의 일부 및 상기 직교 방향 측면을 피복하는, [1]에 기재된 이방 도전성 시트를 구비하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 1 절연부의 두께 방향 한쪽에 배치되는 제 2 절연부가, 접속부의 두께 방향 한쪽 면의 일부 및 직교 방향 측면을 피복하고 있다. 그 때문에, 접속부는, 제 1 절연부 및 제 2 절연부에 의해 고정되고, 두께 방향 양측으로부터 고정되어 있다. 따라서, 접속부의 탈락을 보다 확실히 억제할 수 있다.

본 발명 [3]은, 상기 제 1 절연부는, 제 1 개구부를 갖고, 상기 제 2 절연부는, 상기 제 1 개구부와 연통하는 제 2 개구부를 갖고, 상기 접속부는, 제 1 개구부에 충전되는 제 1 도체부와, 상기 제 1 도체부와 두께 방향으로 연속하고, 제 2 개구부에 충전되는 제 2 도체부와, 상기 제 2 도체부와 두께 방향과 직교하는 직교 방향으로 연속하고, 제 2 개구부에 충전되는 제 3 도체부를 구비하고, 상기 제 2 절연부가, 상기 접속부에 있어서의 상기 제 3 도체부의 상기 두께 방향 한쪽 면 및 상기 직교 방향 측면을 피복하는, [2]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 1 도체부, 제 2 도체부 및 제 3 도체부가, 연속하고 있고, 제 3 도체부의 두께 방향 한쪽 면 및 직교 방향 측면이, 제 2 절연부로 피복되어 있기 때문에, 제 3 도체부가, 제 2 절연부에 의해 고정되어 있다. 따라서, 피검사 장치의 검사시에 있어서, 피검사 장치 및 검사 장치에 의해 접속부(구체적으로는, 제 1 도체부 및 제 2 도체부)가 두께 방향 양측으로부터 안쪽으로 향해 가압되었다고 하더라도, 접속부의 탈락을 억제할 수 있다. 또한, 피검사 장치 및 검사 장치를 접속부(구체적으로는, 제 1 도체부 및 제 2 도체부)에 확실히 접촉할 수 있다. 이들의 결과, 확실히 피검사 장치의 검사를 가능하게 하면서, 이방 도전성 시트의 내구성이 우수하다.

본 발명 [4]는, 상기 제 1 개구부가, 상기 두께 방향 한쪽으로부터 두께 방향 다른 쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상을 갖는, [3]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 1 개구부가, 두께 방향 다른 쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지기 때문에, 제 1 도체부는, 제 1 개구부로부터 두께 방향 다른 쪽으로 향해 탈락하기 어렵다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

본 발명 [5]는, 상기 제 2 도체부의 두께 방향 한쪽 면은, 상기 제 2 절연부의 두께 방향 한쪽 면보다, 두께 방향 다른 쪽에 위치하는, [3] 또는 [4]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 2 도체부는, 제 2 절연부의 내부에 완전하게 수용되어 있기 때문에, 제 2 절연부로부터 탈락하기 어렵다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

본 발명 [6]은, 상기 이방성 도전부가, 측단면도에 있어서, 상기 제 1 개구부의 상기 직교 방향 중심점을 두께 방향으로 통과하는 축에 대하여 대칭인, [3]~[5]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 1 도체부의 직교 방향 중심점과, 제 2 도체부의 직교 방향 중심점이, 직교 방향에 있어서, 동일 위치에 있다. 따라서, 피검사 장치의 단자와, 그에 대응하는 검사 장치의 프로브를 검사할 때에, 서로의 위치 조정이 용이해진다.

본 발명 [7]은, 상기 제 2 절연부가 상기 접속부의 두께 방향 한쪽 면을 피복하고 있는 직교 방향 길이가, 3㎛ 이상인, [3]~[6]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 2 절연부가, 접속부를 보다 확실히 고정하고 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

본 발명 [8]은, 상기 이방성 도전부가, 복수 배치되고, 서로 인접하는 이방성 도전부에 있어서, 하나의 이방성 도전부의 제 1 개구부의 직교 방향 중심점과, 상기 하나의 이방성 도전부와 인접하는 다른 이방성 도전부의 제 1 개구부의 직교 방향 중심점의 거리가, 30㎛ 이상, 200㎛ 이하인, [3]~[7]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 인접하는 제 1 개구부의 직교 방향 중심간 거리(접속부 사이의 피치)가 좁기 때문에, 보다 미세화한 피검사 장치의 검사가 가능하게 된다.

본 발명 [9]는, 상기 접속부가, 상기 제 1 도체부의 두께 방향 다른 쪽에 마련되는 제 1 범프와, 상기 제 2 도체부의 두께 방향 한쪽에 배치되는 제 2 범프를 더 구비하는, [3]~[8]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 피검사 장치 및 검사 장치에, 제 1 범프 및 제 2 범프를 접촉시키는 것에 의해, 검사를 실시할 수 있다. 따라서, 보다 간단하고 쉬운 검사를 가능하게 한다.

본 발명 [10]은, 상기 접속부가, 두께 방향 한쪽 면 및 두께 방향 다른 쪽 면에, Au층 또는 NiAu층을 더 구비하는, [1]~[9]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 접속부의 산화를 억제할 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

본 발명 [11]은, 상기 접속부가, 금속으로 형성되어 있는, [1]~[10]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 도전성이 우수하기 때문에, 검사 감도를 향상시키거나, 접속부 사이의 피치를 좁게 할 수 있다.

본 발명 [12]는, 두께가, 100㎛ 이하인, [1]~[11]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 두께 방향으로 휘는 것이 용이하기 때문에, 피검사 장치의 형태나 휘어짐에 용이하게 추종할 수 있다. 따라서, 보다 저압에서의 검사가 가능하게 된다.

본 발명 [13]은, 상기 이방성 도전부의 두께 방향 한쪽 및 두께 방향 다른 쪽의 적어도 어느 한쪽에 배치되는 탄성층을 더 구비하고, 상기 탄성층은, 두께 방향으로 관통하는 제 3 개구부를 갖는 절연성 탄성부와, 상기 제 3 개구부에 충전되고, 도전성 입자 및 수지를 함유하는 도전성 탄성부를 구비하는, [1]~[12]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 피검사 장치의 복수의 단자의 높이 등에, 격차가 생겨 있는 경우에도, 피검사 장치를 이방 도전성 시트에 가압할 때에, 이들 단자의 높이에 따라, 탄성층이 압축 또는 변형될 수 있다. 그 결과, 복수의 단자의 높이가 불균일한 경우에도, 확실히 검사할 수 있다.

또한, 탄성층이, 피검사 장치로부터의 과도한 압력을 흡수함과 아울러, 접속부와 피검사 장치의 직접적인 접촉을 회피한다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

본 발명 [14]는, 상기 접속부의 두께 방향 한쪽 면에, 제 1 오목부가 형성되어 있고, 상기 제 1 오목부에 충전되고, 도전성 입자 및 수지를 함유하는 도전성 탄성부를 더 구비하는, [1]~[12]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 1 오목부에 도전성 탄성부가 충전되어 있기 때문에, 피검사 장치의 복수의 단자의 높이 등에, 격차가 생겨 있는 경우에도, 피검사 장치를 이방 도전성 시트에 가압할 때에, 이들 단자의 높이에 따라, 도전성 탄성부가 압축 또는 변형될 수 있다. 그 결과, 복수의 단자의 높이가 불균일한 경우, 확실히 검사할 수 있다.

또한, 도전성 탄성부가, 피검사 장치로부터의 과도한 압력을 흡수함과 아울러, 접속부와 피검사 장치의 직접적인 접촉을 회피한다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

본 발명 [15]는, 상기 도전성 탄성부의 체적 비율은, 상기 이방성 도전부의 두께 방향 한쪽 면에 형성되는 제 2 오목부의 체적에 대하여, 20% 이상 200% 이하인, [14]에 기재된 이방 도전성 시트를 구비하고 있다.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 피검사 장치 등이 구비하는 복수의 단자의 높이가 불균일한 경우에도, 보다 한층 확실히 검사할 수 있다. 또한, 도전성 탄성부가, 이방성 도전부로의 압력이나 충격을 확실히 완화시킬 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

본 발명의 이방 도전성 시트에 의하면, 반복하여 사용하더라도 접속부의 탈락을 억제할 수 있기 때문에, 내구성이 우수하다.

도 1은 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 1 실시 형태의 일 실시 형태의 평면도를 나타낸다.
도 2는 도 1의 A-A선에 있어서의 부분 확대 측단면도를 나타낸다.
도 3은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트를 사용할 때의 측단면도를 나타낸다.
도 4는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(베이스 개구부가 원기둥 형상인 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 5는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 1 도체부가 베이스 개구부의 일부를 충전하고 있는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 6은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(금속 도체부의 상면에 오목부가 형성되어 있는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 7은 도 6에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(베이스 개구부가, 위쪽 베이스 개구부 및 아래쪽 베이스 개구부를 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 8은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(위쪽 커버 개구부가, 테이퍼 형상으로 형성되어 있는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 9는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(금속 접속부의 하면 및 상면이, 각각 베이스 절연층의 하면 및 커버 절연층의 상면과 단차가 없는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 10은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(도금층이 2층을 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 11은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(도금층이 2층을 갖고, 금속 접속 오목부가 형성되어 있는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 12는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(도금층이 2층을 갖고, 베이스 개구부가 2개의 테이퍼 형상을 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 13은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(도금층이 2층을 갖고, 베이스 개구부가 2개의 테이퍼 형상을 갖고, 위쪽 커버 개구부가 테이퍼 형상을 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 14는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(도금층이 2층을 갖고, 제 2 도체부가 커버 절연층에 의해 피복되어 있는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 15는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(도금층이 2층을 갖고, 제 2 도체부가 커버 절연층에 의해 피복되고, 베이스 개구부가 원기둥 형상을 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 16은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(도금층이 2층을 갖고, 제 2 도체부가 원통 형상인 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 17은 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 2 실시 형태의 일 실시 형태의 측단면도를 나타낸다.
도 18은 도 17에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 2 탄성층을 구비하는 실시 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 19는 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 3 실시 형태의 일 실시 형태의 측단면도를 나타낸다.
도 20은 도 19에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(베이스 개구부가 2개의 테이퍼 형상을 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 21은 도 19에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(베이스 개구부가 2개의 테이퍼 형상을 갖고, 위쪽 커버 개구부가 테이퍼 형상을 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 22는 도 19에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 2 도체부가 커버 절연층에 의해 피복되어 있는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 23은 도 19에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 2 도체부가 커버 절연층에 의해 피복되고, 베이스 개구부가 원기둥 형상을 갖는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 24는 도 19에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 2 도체부가 원통 형상인 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 25는 실시예 및 비교예에서 이용한 이방 도전성 시트의 비교예를 나타낸다.

도 1에 있어서, 지면 상하 방향은, 전후 방향(제 1 방향)으로서, 지면 아래쪽이 앞쪽(제 1 방향 한쪽), 지면 위쪽이 뒤쪽(제 1 방향 다른 쪽)이다. 또한, 지면 좌우 방향은, 좌우 방향(제 2 방향)으로서, 지면 좌측이 좌측(제 2 방향 한쪽), 지면 우측이 우측(제 2 방향 다른 쪽)이다. 또한, 지면 종이 두께 방향은, 상하 방향(두께 방향, 제 3 방향)으로서, 지면 앞쪽이 위쪽(두께 방향 한쪽, 제 3 방향 한쪽), 지면 안쪽이 아래쪽(두께 방향 다른 쪽, 제 3 방향 다른 쪽)이다. 구체적으로는, 각 도면의 방향 화살표에 준거한다.

<제 1 실시 형태>

도 1~도 3을 참조하여, 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 1 실시 형태인 이방 도전성 시트(1)에 대하여 설명한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 이방 도전성 시트(1)는, 면 방향(전후 방향 및 좌우 방향)으로 연장되는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 평판 형상을 갖고 있다. 이방 도전성 시트(1)는, 복수의 이방성 도전부(2)를 구비하고 있다.

복수의 이방성 도전부(2)는, 이방 도전성 시트(1)의 평면에서 볼 때 대략 중앙부에, 전후 방향 및 좌우 방향으로 정렬하도록 인접 배치되어 있다. 구체적으로는, 이방 도전성 시트(1)는, 둘레 단부를 제외하고, 복수의 이방성 도전부(2)만으로 형성되어 있다. 바꾸어 말하면, 이방 도전성 시트(1)는, 연속하는 복수의 이방성 도전부(2)로 형성되어 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 복수의 이방성 도전부(2)는, 각각, 절연층(50)과, 접속부로서의 금속 접속부(5)를 구비하고 있다. 절연층(50)은, 절연층(50)을 상하 방향(두께 방향)으로 관통하는 개구부(후술하는 베이스 개구부(6) 및 커버 개구부(7))를 갖고 있다. 금속 접속부(5)는, 절연층(50)의 개구부에 배치되어 있고, 금속 접속부(5)의 상면(두께 방향 한쪽 면)의 일부(둘레 단면) 및 둘레 측면은, 절연층(50)에 의해 피복되어 있다.

구체적으로는, 절연층(50)은, 제 1 절연부로서의 베이스 절연층(3)과, 제 2 절연부로서의 커버 절연층(4)을 구비하고 있다.

베이스 절연층(3)은, 평면에서 볼 때 대략 직사각형 형상의 평판 형상을 갖고, 이방성 도전부(2)의 아래쪽에 배치되어 있다. 베이스 절연층(3)의 하면(두께 방향 다른 쪽 면)은, 노출되어 있다. 베이스 절연층(3)은, 제 1 개구부로서의 베이스 개구부(6)를 구비하고 있다.

베이스 개구부(6)는, 베이스 절연층(3)을 상하 방향으로 관통하고 있고, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상으로 형성되어 있다. 베이스 개구부(6)는, 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 즉, 베이스 개구부(6)는, 아래쪽으로 향해 지름이 축소되고 있다.

베이스 절연층(3)은, 예컨대, 폴리이미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 아크릴 수지, 폴리에테르 수지, 니트릴 수지, 폴리에테르설폰 수지, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리에틸렌 나프탈레이트 수지, 폴리염화비닐 수지 등의 합성수지로 형성되고, 바람직하게는, 폴리이미드 수지로 형성된다.

베이스 개구부(6)의 하단의 개구의 직경 L1은, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 15㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하이다.

베이스 절연층(3)의 하면과, 베이스 개구부(6)의 사면(斜面)(테이퍼면)이 이루는 각도(테이퍼각 θ)는, 예컨대, 30° 이상, 바람직하게는, 45° 이상이고, 또한, 예컨대, 80° 이하, 바람직하게는, 65° 이하이다. 테이퍼각 θ가 상기 범위이면, 내구성이 보다 한층 우수하다. 또한, 접속부 사이의 피치(후술)를 보다 미세화할 수 있다.

베이스 절연층(3)의 두께(상하 방향 길이) T1은, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 30㎛ 이하, 바람직하게는, 18㎛ 이하이다.

커버 절연층(4)은, 평면에서 볼 때 대략 직사각형 형상의 평판 형상을 갖고, 베이스 절연층(3)의 위쪽에 배치되어 있다. 즉, 커버 절연층(4)은, 그 하면이 베이스 절연층(3)의 상면과 접촉하도록, 베이스 절연층(3)의 상면에 배치되어 있다. 커버 절연층(4)의 상면은, 노출되어 있다.

커버 절연층(4)은, 제 2 개구부로서의 커버 개구부(7)를 구비하고 있다. 커버 개구부(7)는, 커버 절연층(4)을 상하 방향으로 관통하고 있고, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상으로 형성되어 있다.

커버 개구부(7)는, 커버 개구부(7)의 위쪽을 구획하는 위쪽 커버 개구부(8)와, 커버 개구부(7)의 아래쪽을 구획하는 아래쪽 커버 개구부(9)를 구비하고 있다.

위쪽 커버 개구부(8)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상으로 형성되고, 평면에서 볼 때 대략 원형, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 즉, 위쪽 커버 개구부(8)는, 대략 원기둥 형상으로 형성되어 있다.

아래쪽 커버 개구부(9)는, 평면에서 볼 때 대략 원형, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 즉, 아래쪽 커버 개구부(9)는, 대략 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 아래쪽 커버 개구부(9)는, 아래쪽에 있어서 위쪽 커버 개구부(8)와 연통하고, 아래쪽에 있어서 베이스 개구부(6)와 연통하고 있다. 아래쪽 커버 개구부(9)의 상단의 개구는, 위쪽 커버 개구부(8)의 하단의 개구보다 크고, 아래쪽 커버 개구부(9)의 하단의 개구는, 위쪽 커버 개구부(8)의 상단 및 하단의 개구, 및, 베이스 개구부(6)의 상단의 개구보다 크다. 아래쪽 커버 개구부(9)의 상하 방향 길이는, 위쪽 커버 개구부(8)의 상하 방향 길이보다 길다.

커버 절연층(4)은, 베이스 절연층(3)에서 상기한 합성수지와 마찬가지의 합성수지로 형성되고, 바람직하게는, 폴리이미드 수지로 형성된다.

위쪽 커버 개구부(8)의 상단 또는 하단의 개구의 직경 L2는, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 15㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하이다. 위쪽 커버 개구부(8)의 상하 방향 길이 T3은, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 3㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 20㎛ 이하, 바람직하게는, 10㎛ 이하이다.

아래쪽 커버 개구부(9)의 상단 또는 하단의 개구의 직경(즉, 금속 도체부(10)의 직경) L3은, 예컨대, 15㎛ 이상, 바람직하게는, 21㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 190㎛ 이하, 바람직하게는, 180㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 70㎛ 이하, 더 바람직하게는, 56㎛ 이하이다. 아래쪽 커버 개구부(9)의 상하 방향 길이 T4는, 예컨대, 2㎛ 이상, 바람직하게는, 3㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 25㎛ 이하, 바람직하게는, 18㎛ 이하이다.

커버 절연층(4)의 두께 T2는, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 6㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 45㎛ 이하, 바람직하게는, 28㎛ 이하이다.

금속 접속부(5)는, 베이스 개구부(6) 및 커버 개구부(7)에 배치되어 있다. 금속 접속부(5)는, 금속 도체부(10)와, 범프부(11)와, 도금층(12)을 구비하고 있다.

금속 도체부(10)는, 베이스 개구부(6) 및 커버 개구부(7)의 내부에 배치되어 있다. 금속 도체부(10)는, 제 1 도체부(13)와, 제 2 도체부(14)와, 제 3 도체부(15)를 구비하고 있다.

제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)에 충전되어 있다. 구체적으로는, 제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)의 전체를 매설하도록, 베이스 개구부(6)에 충전되어 있다. 제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)의 외형과 동일하게 되도록 형성되어 있고, 제 1 도체부(13)의 하면은, 베이스 절연층(3)의 하면과 단차가 없다.

제 2 도체부(14)는, 제 1 도체부(13)의 위쪽에 배치되고, 또한, 커버 개구부(7)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 제 2 도체부(14)는, 커버 개구부(7)에 충전되어 있다. 구체적으로는, 제 2 도체부(14)는, 아래쪽 커버 개구부(9)의 평면에서 볼 때 대략 중앙부를 매설하도록, 커버 개구부(7)에 충전되어 있는 한편, 위쪽 커버 개구부(8)에는 충전되어 있지 않다.

제 2 도체부(14)는, 대략 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 그 평면에서 볼 때 외형은, 제 1 도체부(13)의 상면의 평면에서 볼 때 외형, 즉, 베이스 개구부(6)의 상단의 개구의 평면에서 볼 때 외형과 일치한다. 또한, 제 2 도체부(14)의 상하 방향 길이는, 아래쪽 커버 개구부(9)의 상하 방향 길이와 일치한다.

제 2 도체부(14)는, 제 2 도체부(14)의 하단 가장자리가 제 1 도체부(13)의 상단 가장자리와 연속하도록, 상하 방향에 있어서, 제 1 도체부(13)와 일체적으로 연속하고 있다.

제 3 도체부(15)는, 제 2 도체부(14)의 둘레 옆쪽에 배치되고, 또한, 커버 개구부(7)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 제 3 도체부(15)는, 커버 개구부(7)에 충전되어 있다. 구체적으로는, 제 3 도체부(15)는, 아래쪽 커버 개구부(9)의 평면에서 볼 때 외주연(外周緣)을 매설하도록, 커버 개구부(7)에 충전되어 있는 한편, 위쪽 커버 개구부(8)에는 충전되어 있지 않다. 또한, 제 3 도체부(15)는, 제 2 도체부(14)와 함께, 아래쪽 커버 개구부(7)의 전체를 매설하도록, 커버 개구부(7)에 충전되어 있다.

제 3 도체부(15)는, 평면에서 볼 때 대략 고리 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 제 3 도체부(15)는, 제 3 도체부(15)의 내주연(內周緣)이 제 2 도체부(14)의 주연과 연속하도록, 지름 방향(전후 방향 및 좌우 방향)에 있어서, 제 2 도체부(14)와 일체적으로 연속하고 있다. 제 3 도체부(15)의 내주연은, 평면에서 볼 때, 베이스 개구부(6)의 상단의 개구와 일치하고, 제 3 도체부(15)의 외주연은, 평면에서 볼 때, 아래쪽 커버 개구부(9)와 일치한다. 또한, 제 3 도체부(15)의 하면은, 베이스 절연층(3)의 상면과 접촉한다.

금속 도체부(10)에 있어서, 커버 절연층(4)은, 금속 도체부(10)의 상면(두께 방향 한쪽 면) 및 둘레 측면(지름 방향 측면, 직교 방향 측면)을 피복하고 있다. 구체적으로는, 커버 절연층(4)은, 제 3 도체부(15)의 상면의 전부, 및, 제 3 도체부(15)의 외주 측면의 전부를 피복하고 있다. 또한, 베이스 절연층(3)은, 제 3 도체부(15)의 하면(두께 방향 다른 쪽 면)의 전면 및 제 1 도체부(13)의 둘레 측면(사면)의 전면을 피복하고 있다.

커버 절연층(4)이 금속 도체부(10)의 상면을 피복하고 있는 지름 방향 길이(직교 방향 길이) L4는, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 3㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 20㎛ 이하, 바람직하게는, 10㎛ 이하이다. 상기 길이 L4가 상기 범위이면, 커버 절연층(4)이 제 2 도체부(14) 및 제 3 도체부(15)를 보다 확실히 고정할 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

베이스 절연층(3)이 제 3 도체부(15)의 하면을 피복하고 있는 지름 방향 길이(즉, 제 3 도체부(15)의 지름 방향 길이) L5는, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 50㎛ 이하, 바람직하게는, 15㎛ 이하이다. 상기 길이 L5가 상기 범위이면, 베이스 절연층(3)이 제 3 도체부(15)를 보다 확실히 지지할 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

금속 도체부(10)의 재료로서는, 예컨대, 구리, 은, 금, 니켈 또는 그들을 포함하는 합금 등의 금속 재료를 들 수 있고, 바람직하게는, 구리를 들 수 있다.

범프부(돌기부)(11)는, 제 1 범프(16)와, 제 2 범프(17)를 구비하고 있다.

제 1 범프(16)는, 금속 접속부(5)의 아래쪽에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제 1 범프(16)는, 제 1 도체부(13)의 하면의 전면 및 베이스 절연층(3)의 하면의 일부를 피복하도록, 제 1 도체부(13) 및 베이스 절연층(3)의 아래쪽에 배치되어 있다. 이것에 의해, 제 1 범프(16)는, 베이스 개구부(6)의 하단을 막고, 제 1 도체부(13)의 하면을 보호한다.

제 1 범프(16)의 하면은, 아래쪽으로 볼록한 단면 원호 형상으로 돌출하도록 형성되고, 제 1 범프(16)의 상면은, 평탄하게 되도록 형성되어 있다.

제 2 범프(17)는, 금속 접속부(5)의 위쪽에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제 2 범프(17)는, 제 2 도체부(14)의 상면 전부를 피복하도록, 제 2 도체부(14) 및 커버 절연층(4)의 위쪽에 배치되어 있다. 이것에 의해, 제 2 범프(17)는, 커버 개구부(7)의 상단을 막고, 제 2 도체부(14)의 상면을 보호한다.

제 2 범프(17)의 상면은, 위쪽으로 볼록한 단면 원호 형상으로 돌출하도록 형성되고, 제 2 범프(17)의 하면은, 평탄하게 되도록 형성되어 있다.

범프부(11)의 재료로서는, 예컨대, 구리, 은, 금, 니켈 또는 그들을 포함하는 합금, 땜납 등의 금속 재료를 들 수 있다.

도금층(12)은, 제 1 도금층(18)과, 제 2 도금층(19)을 구비하고 있다.

제 1 도금층(18)은, 제 1 범프(16)에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제 1 도금층(18)은, 제 1 범프(16)의 하면 전면을 피복하도록, 제 1 범프(16)의 아래쪽에 배치되어 있다.

제 2 도금층(19)은, 제 2 범프(17)에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제 2 도금층(19)은, 제 2 범프(17)의 상면 전면을 피복하도록, 제 2 범프(17)의 위쪽에 배치되어 있다.

제 1 도금층(18) 및 제 2 도금층(19)은, 각각, 단층이더라도 좋고, 2층 이상의 복층이더라도 좋다.

도금층(12)으로서는, 예컨대, Au층(단층의 경우), NiAu층(2층의 경우) 등을 들 수 있다. 이것에 의해, 금속 접속부(5)의 산화를 억제할 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

도금층(12)의 두께(단층마다)는, 각각, 예컨대, 0.01㎛ 이상, 바람직하게는, 0.05㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 70㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 12㎛ 이하, 더 바람직하게는, 8㎛ 이하이다.

이방성 도전부(2)는, 측단면도에 있어서, 베이스 개구부(6)의 지름 방향의 중심점을 상하 방향으로 통과하는 축(도 2에 나타내는 가상선)에 대하여 대칭이다. 바꾸어 말하면, 이방성 도전부(2)는, 측단면도에 있어서 좌우 대칭이다.

하나의 이방성 도전부(2)의 베이스 개구부(6)의 직교 방향 중심점과, 인접하는 다른 이방성 도전부(2)의 베이스 개구부(6)의 지름 방향 중심점의 거리 L6(접속부 사이의 피치)이, 예컨대, 30㎛ 이상, 바람직하게는, 40㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 200㎛ 이하, 바람직하게는, 80㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 60㎛ 이하이다. 접속부 사이의 피치 L6이 상기 범위 내이면, 금속 접속부(5)끼리의 간격이 충분히 좁기 때문에, 보다 미세화한 피검사 장치(20)의 검사가 가능하게 된다.

이방 도전성 시트(1)의 두께 T5, 즉, 이방성 도전부(2)의 최상단으로부터 최하단까지의 상하 방향 길이는, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 40㎛ 이하이고, 또한, 예컨대, 10㎛ 이상이다. 이방 도전성 시트(1)의 두께가 상기 상한 이하이면, 상하 방향으로 휘는 것이 용이하기 때문에, 피검사 장치의 형상이나 휘어짐에 용이하게 추종할 수 있다. 따라서, 보다 저압에서의 검사가 가능하게 된다.

이 이방 도전성 시트(1)는, 예컨대, 베이스 개구부(6)를 갖는 베이스 절연층(3)을 형성하는 베이스 형성 공정, 금속 접속부(5)를 형성하는 접속부 형성 공정, 커버 개구부(7)를 갖는 커버 절연층(4)을 형성하는 커버 형성 공정, 범프부(11)를 형성하는 범프 형성 공정, 및, 도금층(12)을 형성하는 도금 공정을 순차적으로 실시하는 것에 의해 얻을 수 있다.

베이스 형성 공정에서는, 예컨대, 감광성의 바니시를 도포하고, 건조한 후, 베이스 개구부(6)를 갖는 패턴으로 노광 및 현상한다. 그 후, 필요에 따라, 가열 경화를 실시한다.

금속부 형성 공정에서는, 예컨대, 애디티브법, 서브트랙티브법 등의 공지의 배선을 형성하는 패터닝법에 의해, 금속 접속부(5)를 형성한다.

커버 형성 공정에서는, 예컨대, 감광성의 바니시를 도포하고, 건조한 후, 커버 개구부(7)를 갖는 패턴으로 노광 및 현상한다. 그 후, 필요에 따라, 가열 경화를 실시한다.

범프 형성 공정으로서는, 예컨대, 전해 도금법, 무전해 도금법, 땜납볼을 배치하는 방법, 땜납 페이스트 인쇄법, 인젝션법 등의 공지의 방법을 들 수 있다.

도금 공정으로서는, 예컨대, 전해 도금법, 무전해 도금법 등의 공지의 도금 방법을 들 수 있다.

그리고, 이 이방 도전성 시트(1)는, 피검사 장치(20) 및 검사 장치(21)를 서로 전기적으로 접속하기 위해 이용된다.

구체적으로는, 복수의 단자(22)를 구비하는 피검사 장치(20), 및, 복수의 검사 프로브(23)를 구비하는 검사 장치(21)를 준비한다. 피검사 장치(20)로서는, 반도체 소자, 프린트 회로 기판 등을 들 수 있다. 검사 장치(21)로서는, 프로브 테스터, 프린트 기판 검사 장치 등의 공지 또는 시판의 검사 장치를 들 수 있다.

그 다음에, 도 3에 나타내는 바와 같이, 피검사 장치(20)의 단자(22)를, 금속 접속부(5)의 상면, 즉, 제 2 범프(17)의 상면과 접촉시키는 한편, 검사 장치(21)의 검사 프로브(23)를, 금속 접속부(5)의 하면, 즉, 제 1 범프(16)의 하면과 접촉시킨다.

그 후, 검사 장치(21)의 작동에 의해, 피검사 장치(20)에 대하여 도통 검사 등의 기능 검사를 실시할 수 있다.

또, 이방 도전성 시트(1)는, 피검사 장치(20) 및 검사 장치(21)를 포함하지 않고, 이방 도전성 시트(1) 그 자체가, 부품 단독으로 유통되고, 산업상 이용 가능한 디바이스이다.

그리고, 이 이방 도전성 시트(1)는, 복수의 이방성 도전부(2)를 구비하고 있고, 복수의 이방성 도전부(2)의 각각은, 베이스 개구부(6)를 갖는 베이스 절연층(3)과, 커버 개구부(7)를 갖고, 베이스 절연층(3)의 위쪽에 배치되는 커버 절연층(4)과, 금속 접속부(5)를 구비하고 있다. 또한, 금속 접속부(5)는, 베이스 개구부(6)에 충전되는 제 1 도체부(13)와, 제 1 도체부(13)의 위쪽에 연속하고, 커버 개구부(7)에 충전되는 제 2 도체부(14)와, 제 2 도체부(14)와 지름 방향으로 연속하고, 커버 개구부(7)에 충전되는 제 3 도체부(15)를 구비하고 있다. 또한, 커버 절연층(4)은, 제 3 도체부(15)의 상면 및 외주 측면을 피복하고 있다.

따라서, 제 1 도체부(13), 제 2 도체부(14) 및 제 3 도체부(15)가 연속하고 있고, 제 3 도체부(15)의 상면 및 외주 측면이, 커버 절연층(4)으로 피복되어 있다. 따라서, 제 3 도체부(15)가, 커버 절연층(4)에 의해 고정되어 있다. 피검사 장치(20)의 검사시에 있어서, 피검사 장치(20) 및 검사 장치(21)에 의해, 제 1 도체부(13) 및 제 2 도체부(14)가 상하 방향 양측으로부터 안쪽으로 향해 가압되었다고 하더라도, 금속 접속부(5)의 탈락을 억제할 수 있다. 그 결과, 내구성이 우수하다.

또한, 이 이방 도전성 시트(1)는, 금속 접속부(5)(제 1 도체부(13), 제 2 도체부(14), 제 3 도체부(15))를 공지의 미세 배선 등을 형성하는 패터닝 방법에 의해 형성할 수 있기 때문에, 접속부 사이의 피치 L6을 좁게 할 수 있다. 따라서, 보다 미세한 피검사 장치(20)를 검사할 수 있다.

또한, 베이스 개구부(6)가, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상이다.

따라서, 제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)로부터 아래쪽으로 탈락하기 어렵다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

또한, 제 2 도체부(14)의 상면은, 커버 절연층(4)의 상면보다, 아래쪽에 위치한다.

따라서, 제 2 도체부(14)는, 커버 절연층(4)의 내부에 완전하게 수용되어 있기 때문에, 커버 절연층(4)으로부터 탈락하기 어렵다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

또한, 이방성 도전부(2)가, 측단면도에 있어서, 베이스 개구부(6)의 지름 방향 중심점을 상하 방향으로 통과하는 축에 대하여 대칭이다.

따라서, 제 1 도체부(13)의 지름 방향 중심점과, 제 2 도체부(14)의 지름 방향 중심점이, 지름 방향에 있어서, 동일 위치에 있다. 따라서, 피검사 장치(20)의 단자(22)와, 그에 대응하는 검사 장치(21)의 검사 프로브(23)를 검사할 때에, 서로의 위치 조정이 용이해진다.

또한, 금속 접속부(5)가, 제 1 도체부(13)의 아래쪽에 마련되는 제 1 범프(16)와, 제 2 도체부(14)의 위쪽에 배치되는 제 2 범프(17)를 더 구비하고 있다.

따라서, 피검사 장치(20) 및 검사 장치(21)에, 제 1 범프(16) 및 제 2 범프(17)를 접촉시키는 것에 의해, 검사를 실시할 수 있다. 그 때문에, 보다 간단하고 쉬운 검사를 가능하게 한다.

또한, 금속 접속부(5)가, 금속으로 형성되어 있다. 즉, 금속 도체부(10), 범프부(11) 및 도금층(12)이, 금속으로 형성되어 있다.

따라서, 도전성이 우수하기 때문에, 검사 감도를 향상시키거나, 접속부 사이의 피치를 좁게 할 수 있다.

<제 1 실시 형태의 변형예>

도 4~도 9를 참조하여, 이방 도전성 시트(1)의 제 1 실시 형태의 변형예에 대하여 설명한다. 또, 변형예에 있어서, 상기한 도 2 등에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 부재에는, 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

(1) 도 2에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 개구부(6)는, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있지만, 예컨대, 도 4에 나타내는 바와 같이, 베이스 개구부(6)는, 상하 방향에 있어서, 개구 단면적이 균일한 원기둥 형상으로 형성되어 있더라도 좋다.

즉, 도 4에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 개구부(6)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상으로 형성되어 있다.

도 4에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 금속 도체부(10)가 보다 한층 탈락하기 어렵고, 내구성이 우수한 관점으로부터, 바람직하게는, 도 2에 나타내는 일 실시 형태를 들 수 있다.

(2) 도 2에 나타내는 실시 형태에서는, 제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)의 전체를 매설하도록, 베이스 개구부(6)에 충전되어 있지만, 예컨대, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)의 일부만을 매설하도록, 베이스 개구부(6)에 충전되어 있더라도 좋다.

즉, 도 5에 나타내는 실시 형태에서는, 제 1 도체부(13)의 하면은, 베이스 절연층(3)의 하면보다 위쪽에 위치하고 있다.

도 5에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 금속 도체부(10)가 보다 한층 탈락하기 어렵고, 내구성이 우수한 관점으로부터, 바람직하게는, 도 2에 나타내는 일 실시 형태를 들 수 있다.

(3) 도 2에 나타내는 실시 형태에서는, 금속 도체부(10)의 상면은, 평탄하지만, 예컨대, 도 6에 나타내는 바와 같이, 금속 도체부(10)의 상면에는, 금속 도체 오목부(30)가 형성되어 있더라도 좋다.

즉, 도 6에 나타내는 실시 형태에서는, 제 2 도체부(14)는, 그 상면에 아래쪽으로 향해 우묵한 금속 도체 오목부(30)를 갖고 있다. 금속 도체 오목부(30)의 저면은, 대략 평면에서 볼 때 대략 직사각형 형상이고, 평탄하게 되도록 형성되어 있다.

도 6에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

(4) 도 6에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 개구부(6)는, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있지만, 예컨대, 도 7에 나타내는 바와 같이, 베이스 개구부(6)는, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지고, 그 상하 방향 도중에서, 아래쪽으로부터 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있더라도 좋다.

즉, 도 7에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 개구부(6)는, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있는 위쪽 베이스 개구부(31)와, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있는 아래쪽 베이스 개구부(32)를 구비하고 있다.

도 7에 나타내는 실시 형태에 있어서, 베이스 개구부(6)의 가장 개구 단면적이 작은 개소에 있어서의 개구의 직경 L7은, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 10㎛ 이상, 보다 바람직하게는, 15㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하이다.

또한, 도 7에 나타내는 실시 형태에서는, 가상선에 나타내어지는 바와 같이, 베이스 절연층(3)은, 위쪽 베이스 개구부(31)를 갖는 위쪽 베이스 절연부와, 아래쪽 베이스 개구부(32)를 갖는 아래쪽 베이스 절연부를 구비하고 있더라도 좋다.

도 7에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2 또는 도 6에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

(5) 도 2에 나타내는 실시 형태에서는, 위쪽 커버 개구부(8)는, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상으로 형성되어 있지만, 예컨대, 도 8에 나타내는 바와 같이, 위쪽 커버 개구부(8)는, 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있더라도 좋다. 즉, 위쪽 커버 개구부(8)는, 위쪽 커버 개구부(8)는, 아래쪽으로 향해 지름이 축소되고 있다.

도 8에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

(6) 도 2, 도 4~도 8에 나타내는 실시 형태에서는, 금속 접속부(5)의 최하부 또는 최상부는, 측면에서 볼 때, 베이스 절연층(3)의 하면 또는 커버 절연층(4)의 상면보다, 돌출하고 있지만, 예컨대, 도 9에 나타내는 바와 같이, 금속 접속부(5)의 하면 또는 상면은, 측면에서 볼 때, 베이스 절연층(3)의 하면 또는 커버 절연층(4)의 상면과 단차가 없도록 할 수도 있다.

즉, 도 9에 나타내는 실시 형태에서는, 제 1 범프(16) 및 제 1 도금층(18)은, 베이스 개구부(6)에 충전되고, 제 1 도금층(18)의 하면은, 베이스 절연층(3)의 하면과 단차가 없도록 되어 있다. 또한, 제 2 범프(17) 및 제 2 도금층(19)은, 커버 개구부(7)에 충전되고, 제 2 도금층(19)의 상면은, 커버 절연층(4)의 상면과 단차가 없도록 되어 있다.

도 9에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2, 도 4~도 8에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 범프에 의한 피검사 장치(20) 및 검사 장치(21)에 대한 접촉(도통)의 용이함으로부터, 바람직하게는, 도 2, 도 4~도 8에 나타내는 실시 형태를 들 수 있다.

(7) 도 2, 도 4~도 9에 나타내는 실시 형태에서는, 금속 접속부(5)는, 범프부(11)를 구비하고 있지만, 예컨대, 도 10~도 16에 나타내는 바와 같이, 금속 접속부(5)는, 범프부(11)를 구비하고 있지 않더라도 좋다.

도 10~도 16에 나타내는 실시 형태에서는, 도금층(12)에 있어서, 제 1 도금층(18) 및 제 2 도금층(19)은, 각각, 2층으로 구성되어 있다.

즉, 제 1 도금층(18)은, 금속 도체부(10)의 하면에 배치되는 제 1 안쪽 도금층(18a)과, 제 1 안쪽 도금층(18a)의 하면에 배치되는 제 1 바깥쪽 도금층(18b)을 구비하고 있다. 제 2 도금층(19)은, 금속 도체부(10)의 상면에 배치되는 제 2 안쪽 도금층(19a)과, 제 2 안쪽 도금층(19a)의 상면에 배치되는 제 2 바깥쪽 도금층(19b)을 구비하고 있다.

각 도금층(18a, 18b, 19a, 19b)으로서는, 예컨대, Au층, Ni층 등을 들 수 있다. 바람직하게는, 제 1 안쪽 도금층(18a) 및 제 2 안쪽 도금층(19a)이, Ni층이고, 제 1 바깥쪽 도금층(18b) 및 제 2 바깥쪽 도금층(19b)이, Au층이다. 이것에 의해, Au층과 복수의 단자(22)의 도통성을 높임과 아울러, Au층과 금속 도체부(10)의 확산을 억제할 수 있다. 따라서, 금속 도체부(10)의 산화를 보다 한층 장기적으로 억제할 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

각 도금층(18a, 18b, 19a, 19b)의 두께는, 각각, 예컨대, 0.01㎛ 이상, 바람직하게는, 0.05㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 70㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 12㎛ 이하, 더 바람직하게는, 8㎛ 이하이다.

이들 중, 특히, 도 11~도 16에 나타내는 실시 형태에서는, 금속 접속부(5)의 상면에는, 제 1 오목부로서의 금속 접속 오목부(35)가 형성되어 있다. 즉, 금속 접속부(5)는, 그 상면에 아래쪽으로 향해 우묵한 금속 접속 오목부(35)를 갖고 있다. 금속 접속 오목부(35)의 저면은, 대략 평면에서 볼 때 대략 직사각형 형상이고, 평탄하게 되도록 형성되어 있다.

이것에 의해, 이방성 도전부(2)의 상면에, 제 2 오목부로서의 시트 오목부(36)가 형성되어 있다. 시트 오목부(36)는, 금속 접속 오목부(35)를 포함하고, 또한, 금속 접속 오목부(35)의 위쪽으로 연통하는 커버 절연층(4)의 개구부를 포함한다.

금속 접속 오목부(35)의 저면의 직경 L8은, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 80㎛ 이하, 바람직하게는, 40㎛ 이하이다.

금속 접속 오목부(35)의 깊이(상하 방향 길이) D1은, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 30㎛ 이하, 바람직하게는, 20㎛ 이하이다.

시트 오목부(36)의 깊이 D2는, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 8㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 60㎛ 이하, 바람직하게는, 40㎛ 이하이다.

특히, 도 12~13에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 개구부(6)는, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지고, 그 상하 방향 도중에서, 아래쪽으로부터 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있다.

즉, 도 12~13에 나타내는 실시 형태에서는, 도 7이 참조되는 바와 같이, 베이스 개구부(6)는, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있는 위쪽 베이스 개구부(31)와, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있는 아래쪽 베이스 개구부(32)를 구비하고 있다. 즉, 베이스 개구부(6)는, 복수(2개)의 테이퍼 형상을 갖는다.

이방성 도전부(2)의 하면에는, 아래쪽 시트 오목부(37)가 형성되어 있고, 아래쪽 시트 오목부(37)의 깊이 D3은, 시트 오목부(36)의 깊이 D2와 마찬가지이다.

도 12에 나타내는 실시 형태에서는, 위쪽 커버 개구부(8)는, 개구 단면적이 균일한 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 도 13에 나타내는 실시 형태에서는, 위쪽 커버 개구부(8)는, 아래쪽으로부터 위쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있다.

특히, 도 14~도 15에 나타내는 실시 형태에서는, 커버 절연층(4)은, 제 2 도체부(14) 및 제 3 도체부(15)를 피복하고 있다. 구체적으로는, 커버 절연층(4)은, 제 2 도체부(14)의 상면의 둘레 단부(경사면), 제 3 도체부(15)의 상면, 및, 제 3 도체부(15)의 외주 측면을 전체적으로 피복하고 있다.

도 14에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 개구부(6)는, 위쪽으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있고, 도 15에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 개구부(6)는, 상하 방향에 있어서, 개구 단면적이 균일한 원기둥 형상으로 형성되어 있다.

특히, 도 16에 나타내는 실시 형태에서는, 제 1 도체부(13)는, 베이스 개구부(6)의 일부(하부)에 매설되도록, 베이스 개구부(6)에 충전되어 있다. 구체적으로는, 제 1 도체부(13)의 중앙부의 상면은, 베이스 절연층(3)의 상면보다 아래쪽에 위치하고 있는 한편, 제 1 도체부(13)의 하면은, 베이스 절연층(3)의 하면과 단차가 없다. 제 2 도체부(14)는, 내부가 공동인 대략 원통 형상으로 형성되어 있다.

도 10~도 16에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2, 도 4~도 8에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 범프에 의한 피검사 장치(20) 및 검사 장치(21)에 대한 접촉(도통)의 용이함으로부터, 바람직하게는, 도 2, 도 4~도 8에 나타내는 실시 형태를 들 수 있다.

(8) 도 2, 도 4~도 16에 나타내는 실시 형태에서는, 금속 접속부(5)는, 범프부(11) 및 도금층(12)의 적어도 1개를 구비하고 있지만, 예컨대, 도시하지 않지만, 금속 접속부(5)는, 범프부(11) 및 도금층(12)의 양쪽을 구비하고 있지 않더라도 좋다.

즉, 금속 접속부(5)는, 금속 도체부(10)로 구성되어 있더라도 좋다.

이 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2, 도 4~도 16에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 피검사 장치(20) 및 검사 장치(21)에 대한 접촉(도통)의 용이함, 및, 내구성의 관점으로부터, 바람직하게는, 도 2, 도 4~도 16에 나타내는 실시 형태를 들 수 있다.

(9) 도 2, 도 4~도 16에 나타내는 실시 형태에서는, 베이스 절연층(3)과 커버 절연층(4)의 경계가 도시되어 있지만, 예컨대, 베이스 절연층(3) 및 커버 절연층(4)이, 서로 동종의 재료(예컨대, 폴리이미드 수지)로 형성되는 경우, 베이스 절연층(3)(제 1 절연부)과 커버 절연층(4)(제 2 절연부)의 경계는 존재하지 않고, 베이스 절연층(3) 및 커버 절연층(4)은 일체적으로 형성된다. 도 7 등에 나타내는 베이스 절연층(3) 내부의 경계(파선)에 대해서도, 마찬가지이다. 또, 이것은, 후술하는 도 17~도 24에 나타내는 제 2~제 3 실시 형태 및 그 변형예에 대해서도 마찬가지이다.

<제 2 실시 형태>

도 17을 참조하여, 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 2 실시 형태인 이방 도전성 시트(1)에 대하여 설명한다. 또, 제 2 실시 형태에 있어서, 제 1 실시 형태와 마찬가지의 부재에는, 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

도 17에 나타내는 바와 같이, 제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)는, 복수의 이방성 도전부(2)와, 복수의 이방성 도전부(2)의 위쪽에 배치되는 제 1 탄성층(40)을 구비하고 있다.

제 1 탄성층(40)은, 면 방향으로 연장되는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 평판 형상을 갖고 있다. 제 1 탄성층(40)은, 절연성 탄성부(41)와, 복수의 도전성 탄성부(42)를 구비하고 있다.

절연성 탄성부(41)는, 면 방향으로 연장되는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 평판 형상을 갖고 있다. 절연성 탄성부(41)는, 복수의 이방성 도전부(2)에 면 방향으로 걸치도록, 복수의 이방성 도전부(2)의 위에 배치되어 있다. 구체적으로는, 절연성 탄성부(41)는, 그 하면이, 금속 접속부(5)의 상면(제 2 도금층(19)의 상면) 및 커버 절연층(4)의 상면에 접촉하도록 배치되어 있다.

절연성 탄성부(41)는, 제 3 개구부로서의 탄성층 개구부(43)를 복수 구비하고 있다.

복수의 탄성층 개구부(43)는, 복수의 이방성 도전부(2)의 금속 접속부(5)에 대응하여 형성되어 있다. 즉, 복수의 탄성층 개구부(43)는, 복수의 금속 접속부(5)와 1대1 대응하도록 전후 방향 및 좌우 방향으로 정렬하도록 인접 배치되어 있고, 상하 방향으로 투영했을 때에, 탄성층 개구부(43)는, 금속 접속부(5)에 포함된다. 탄성층 개구부(43)는, 제 1 탄성층(40)을 상하 방향으로 관통하고 있고, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상의 원통 형상으로 형성되어 있다.

절연성 탄성부(41)의 경도는, 예컨대, 25Hs 이상, 바람직하게는, 35Hs 이상이고, 또한, 예컨대, 65Hs 이하, 바람직하게는, 55Hs 이하이다. 절연성 탄성부(41)의 경도를 상기 범위 내로 하는 것에 의해, 복수의 단자(22)에 대응하여 제 1 탄성층(40)이 보다 한층 유연하게 변형될 수 있다.

경도는, 예컨대, JIS K 6253에 기재된 방법에 의해 측정할 수 있다.

절연성 탄성부(41)는, 예컨대, 고무 등의 탄성 재료로 형성되어 있다. 고무로서는, 예컨대, 천연 고무, 폴리부타디엔 고무, 폴리이소프렌 고무, 클로로프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 예컨대, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.

도전성 탄성부(42)는, 탄성층 개구부(43) 내에 배치되어 있다. 즉, 도전성 탄성부(42)는, 탄성층 개구부(43)에 충전되어 있다. 도전성 탄성부(42)는, 그 하면이 금속 접속부(5)의 상면의 대략 중앙부에 접촉하도록 배치되어 있다. 도전성 탄성부(42)의 하면은, 금속 접속부(5)의 상면을 따르도록, 위쪽으로 볼록한 형상이 되도록, 형성되어 있다. 또한, 도전성 탄성부(42)의 상면은, 절연성 탄성부(41)의 상면과 단차가 없도록, 형성되어 있다.

도전성 탄성부(42)의 경도는, 예컨대, 30Hs 이상, 바람직하게는, 40Hs 이상이고, 또한, 예컨대, 70Hs 이하, 바람직하게는, 60Hs 이하이다. 도전성 탄성부(42)의 경도를 상기 범위 내로 하는 것에 의해, 복수의 단자(22)에 대응하여 제 1 탄성층(40)이 보다 한층 유연하게 변형될 수 있다.

도전성 탄성부(42)는, 도전성 입자(44) 및 수지를 함유하는 도전성 수지 조성물로 형성되어 있다.

도전성 입자(44)의 재료로서는, 예컨대, 철, 코발트, 니켈, 금, 은, 구리, 팔라듐, 로듐 및 이들의 합금 등의 금속 등을 들 수 있다.

도전성 입자(44)는, 상기 금속인 금속 입자이더라도 좋다. 또한, 도전성 입자는, 예컨대, 코어재로서의 비도전성 입자(폴리머 입자, 유리 비즈 등)와, 그 코어재 표면에 상기 금속인 셸부를 구비하는 코어셸형 입자이더라도 좋다.

도전성 입자(44)의 평균 입자 지름은, 예컨대, 1㎛ 이상, 10㎛ 이하이다.

수지로서는, 예컨대, 절연성 탄성부(41)를 형성하는 탄성 재료, 베이스 절연층(3)을 형성하는 수지 등을 들 수 있고, 바람직하게는, 고무를 들 수 있다.

도전성 탄성부(42)의 직경(즉, 탄성층 개구부(43)의 직경) L9는, 예컨대, 30㎛ 이상, 바람직하게는, 40㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 200㎛ 이하, 바람직하게는, 100㎛ 이하이다.

제 1 탄성층(40)의 두께 T6(절연성 탄성부(41)의 최하면으로부터 최상면까지의 상하 방향 길이)은, 예컨대, 50㎛ 이상, 바람직하게는, 100㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 2000㎛ 이하, 바람직하게는, 1000㎛ 이하이다.

제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)는, 예컨대, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)의 상면에 대하여, 제 1 탄성층(40)을, 열압착, 또는, 접착제를 사이에 두고 압착하는 것에 의해, 제조할 수 있다. 또한, 예컨대, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)의 상면에, 탄성층 개구부(43)를 갖는 절연성 탄성부(41)를, 도포법 등에 의해 형성하고, 그 다음에, 탄성층 개구부(43)에 도전성 탄성부(42)를 충전할 수도 있다.

제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)도, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 제 2 실시 형태에서는, 이방 도전성 시트(1)가, 이방성 도전부(2)의 위쪽에, 절연성 탄성부(41)와 도전성 탄성부(42)를 갖는 제 1 탄성층(40)을 구비하고 있다. 그 때문에, 피검사 장치(20)의 복수의 단자(22)의 높이(상하 방향 위치)에, 격차가 생겨 있는 경우에도, 피검사 장치(20)를 이방 도전성 시트(1)에 가압할 때에, 이들 단자(22)의 개개의 높이에 따라, 절연성 탄성부(41) 및 복수의 도전성 탄성부(42)가 압축 또는 변형될 수 있다. 즉, 두께가 부분적으로 변화한다. 특히, 제 1 탄성층(40)의 두께에 따라 변화할 수 있고, 예컨대, 제 1 탄성층(40)의 두께가 1000㎛ 이상인 경우는, 수백 ㎛의 두께가 변화할 수 있다. 그 결과, 복수의 단자(22)의 높이가 과도하게 불균일한 경우에도, 확실히 검사할 수 있다.

또한, 절연성 탄성부(41) 및 도전성 탄성부(42)가, 피검사 장치(20)로부터의 과도한 압력을 흡수함과 아울러, 도전성 탄성부(42)가, 금속 접속부(5)와 단자(22)의 직접적인 접촉을 회피한다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

<제 2 실시 형태의 변형예>

도 18을 참조하여, 이방 도전성 시트(1)의 제 2 실시 형태의 변형예에 대하여 설명한다. 또, 변형예에 있어서, 상기한 도 17에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 부재에는, 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

도 17에 나타내는 실시 형태에서는, 탄성층은, 이방성 도전부(2)의 위쪽에만 배치되어 있지만, 예컨대, 도 18에 나타내는 바와 같이, 탄성층은, 이방성 도전부(2)의 위쪽 및 아래쪽에 배치할 수도 있다. 즉, 도 18에 나타내는 이방 도전성 시트(1)는, 복수의 이방성 도전부(2)와, 복수의 이방성 도전부(2)의 위쪽에 배치되는 제 1 탄성층(40)과, 복수의 이방성 도전부의 아래쪽에 배치되는 제 2 탄성층(45)을 구비하고 있다.

제 2 탄성층(45)은, 면 방향으로 연장되는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 평판 형상을 갖고, 절연성 탄성부(41)와, 복수의 도전성 탄성부(42)를 구비하고 있다. 제 2 탄성층(45)에 있어서의 절연성 탄성부(41) 및 도전성 탄성부(42)는, 배치되는 위치를 제외하고, 제 1 탄성층(40)에 있어서의 절연성 탄성부(41) 및 도전성 탄성부(42)와 마찬가지이다.

제 2 탄성층(45)에 있어서의 절연성 탄성부(41)는, 복수의 이방성 도전부(2)에 면 방향으로 걸치도록, 복수의 이방성 도전부(2)의 아래에 배치되어 있다. 구체적으로는, 절연성 탄성부(41)는, 그 상면이, 금속 접속부(5)의 하면(제 1 도금층(18)의 하면) 및 커버 절연층(4)의 하면에 접촉하도록 배치되어 있다. 또한, 절연성 탄성부(41)는, 탄성층 개구부(43)를 복수 구비하고 있다.

제 2 탄성층(45)에 있어서의 도전성 탄성부(42)는, 탄성층 개구부(43) 내에 배치되어 있다. 즉, 도전성 탄성부(42)는, 탄성층 개구부(43)에 충전되어 있다. 도전성 탄성부(42)는, 그 상면이 금속 접속부(5)의 하면의 대략 중앙부에 접촉하도록 배치되어 있다. 도전성 탄성부(42)의 상면은, 금속 접속부(5)의 하면을 따르도록, 오목한 형상이 되도록, 형성되어 있다. 또한, 도전성 탄성부(42)의 하면은, 절연성 탄성부(41)의 하면과 단차가 없도록, 형성되어 있다.

도 18에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 17에 나타내는 일 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

특히, 도 18에 나타내는 이방 도전성 시트(1)는, 이방성 도전부(2)의 아래쪽에, 제 2 탄성층(45)을 더 구비하고 있다. 그 때문에, 검사 장치(21)의 복수의 검사 프로브(23)의 높이에, 격차가 생겨 있는 경우에도, 검사 장치(21)를 이방 도전성 시트에 가압할 때에, 이들 검사 프로브(23)의 개개의 높이에 따라, 절연성 탄성부(41) 및 복수의 도전성 탄성부(42)가 상하 방향으로 압축될 수 있다. 특히, 제 2 탄성층(45)의 두께 T6에 따라 두께가 변화할 수 있고, 예컨대, 제 2 탄성층(45)의 두께가 1000㎛ 이상인 경우는, 수백 ㎛의 두께를 압축할 수 있다. 그 결과, 검사 프로브(23)의 높이가 불균일한 경우에도, 확실히 검사할 수 있다.

또한, 제 2 탄성층(45)의 절연성 탄성부(41) 및 도전성 탄성부(42)가, 검사 장치(21)로부터의 과도한 압력을 흡수함과 아울러, 도전성 탄성부(42)가, 금속 접속부(5)와 검사 프로브(23)의 직접적인 접촉을 회피한다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

또한, 도 17 및 도 18에 나타내는 실시 형태에서는, 제 1 탄성층(40) 및 제 2 탄성층(45)의 도전성 탄성부(42)는, 금속 접속부(5)와 1대1 대응하도록, 배치되어 있지만, 예컨대, 도시하지 않지만, 제 1 탄성층(40) 및 제 2 탄성층(45)의 각각에 있어서, 복수의 도전성 탄성부(42)가, 1개의 금속 접속부(5)에 대응하도록, 배치할 수도 있다. 즉, 1개의 금속 접속부(5)의 상면에, 복수의 도전성 탄성부(42)가 배치되고, 한편으로는, 1개의 금속 접속부(5)의 하면에, 복수의 도전성 탄성부(42)가 배치된다.

<제 3 실시 형태>

도 19~도 24를 참조하여, 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 3 실시 형태의 일 실시 형태인 이방 도전성 시트(1)에 대하여 설명한다. 또, 제 3 실시 형태에 있어서, 제 1 실시 형태 및 제 2 실시 형태와 마찬가지의 부재에는, 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

도 19~도 24에 나타내는 바와 같이, 제 3 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)는, 복수의 이방성 도전부(2)와, 복수의 이방성 도전부(2)의 위쪽에 배치되는 복수의 도전성 탄성부(42)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 도 19에 나타내는 실시 형태는, 도 11에 나타내는 이방 도전성 시트(1)가, 도전성 탄성부(42)를 더 구비하는 실시 형태이고, 도 20에 나타내는 실시 형태는, 도 12에 나타내는 이방 도전성 시트(1)가, 도전성 탄성부(42)를 더 구비하는 실시 형태이고, 도 21에 나타내는 실시 형태는, 도 13에 나타내는 이방 도전성 시트(1)가, 도전성 탄성부(42)를 더 구비하는 형태이고, 도 22에 나타내는 실시 형태는, 도 14에 나타내는 이방 도전성 시트(1)가, 도전성 탄성부(42)를 더 구비하는 실시 형태이고, 도 23에 나타내는 실시 형태는, 도 15에 나타내는 이방 도전성 시트(1)가, 도전성 탄성부(42)를 더 구비하는 실시 형태이고, 도 24에 나타내는 실시 형태는, 도 16에 나타내는 이방 도전성 시트(1)가, 도전성 탄성부(42)를 더 구비하는 실시 형태이다.

복수의 이방성 도전부(2)에서는, 금속 접속부(5)는, 각각, 금속 도체부(10)와, 도금층(12)(제 1 도금층(18) 및 제 2 도금층(19))을 구비하고, 제 1 도금층(18) 및 제 2 도금층(19)은, 2층 구성이다. 즉, 제 1 도금층(18)은, 제 1 안쪽 도금층(18a)과, 제 1 바깥쪽 도금층(18b)을 구비하고, 제 2 도금층(19)은, 제 2 안쪽 도금층(19a)과, 제 2 바깥쪽 도금층(19b)을 구비하고 있다.

또한, 이방성 도전부(2)의 상면에, 시트 오목부(36)가 형성되어 있고, 시트 오목부(36)에 있어서, 금속 접속부(5)의 상면에, 금속 접속 오목부(35)가 형성되어 있다.

제 3 실시 형태에 있어서, 도전성 탄성부(42)는, 시트 오목부(36)(나아가서는, 금속 접속 오목부(35)) 내에 배치되어 있다. 즉, 도전성 탄성부(42)는, 시트 오목부(36)(나아가서는, 금속 접속 오목부(35)) 내에 충전되어 있다. 도전성 탄성부(42)의 상면은, 커버 절연층(4)의 상면과 단차가 없도록, 형성되어 있다.

도전성 탄성부(42)의 두께는, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 2㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 120㎛ 이하, 바람직하게는, 90㎛ 이하이다.

도전성 탄성부(42)의 경도는, 예컨대, 30Hs 이상, 바람직하게는, 40Hs 이상이고, 또한, 예컨대, 70Hs 이하, 바람직하게는, 60Hs 이하이다. 도전성 탄성부(42)의 경도를 상기 범위 내로 하는 것에 의해, 복수의 단자(22)에 대응하여 도전성 탄성부(42)가 보다 한층 유연하게 변형될 수 있다.

제 3 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)는, 예컨대, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)의 상면 전면에, 도전성 입자(44) 및 수지를 함유하는 조성물을 도포하고, 그 다음에, 스퀴지로 이방 도전성 시트(1)의 상면을 문질러, 조성물을 시트 오목부(36)에 이동시키는 것에 의해, 제조할 수 있다. 구체적으로는, 일본 특허 공개 2015-26584호 공보에 기재된 제조 방법을 참조할 수 있다.

제 3 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)도, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 제 3 실시 형태에서는, 금속 접속 오목부(35)에, 도전성 탄성부(42)가 충전되어 있다. 그 때문에, 피검사 장치(20)의 복수의 단자(22)의 높이에, 격차가 생겨 있는 경우에도, 피검사 장치(20)를 이방 도전성 시트(1)에 가압할 때에, 이들 단자(22)의 개개의 높이에 따라, 도전성 탄성부(42)가 상하 방향으로 압축될 수 있다. 특히, 도전성 탄성부(42)는, 그 두께에 따라 압축되고, 예컨대, 수 ㎛의 두께를 압축할 수 있다. 그 결과, 복수의 단자(22)의 높이가 불균일한 경우에도, 확실히 검사할 수 있다.

또한, 도전성 탄성부(42)가, 피검사 장치(20)로부터의 압력을 흡수함과 아울러, 금속 접속부(5)와 단자(22)의 직접적인 접촉을 회피한다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

또한, 도 19~도 24에 나타내는 실시 형태에서는, 도전성 탄성부(42)는, 그 상면이, 커버 절연층(4)의 상면과 단차가 없도록, 형성되어 있다. 즉, 도전성 탄성부(42)는, 그 체적 비율이, 시트 오목부(36)의 체적에 대하여, 100%가 되도록 충전되어 있다. 그러나, 예컨대, 도시하지 않지만, 도전성 탄성부(42)는, 그 상면이, 커버 절연층(4)의 상면보다 위쪽 또는 아래쪽이 되도록, 형성되어 있더라도 좋다. 그와 같은 경우, 도전성 탄성부(42)의 체적 비율은, 시트 오목부(36)의 체적에 대하여, 예컨대, 20% 이상, 바람직하게는, 50% 이상이고, 또한, 예컨대, 200% 이하, 바람직하게는, 150% 이하이다.

도전성 탄성부(42)의 체적 비율이 상기 범위 내이면, 피검사 장치(20)의 복수의 단자(22)의 높이가 불균일한 경우에도, 확실히 검사할 수 있다. 또한, 도전성 탄성부(42)가, 이방성 도전부(2)로의 압력이나 충격을 확실히 완화시킬 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.

(실시예)

이하에 실시예 및 비교예를 나타내고, 본 발명을 더 구체적으로 설명한다. 또, 본 발명은, 조금도 실시예 및 비교예로 한정되지 않는다. 이하의 기재에 있어서 이용되는 배합 비율(함유 비율), 물성치, 파라미터 등의 구체적 수치는, 상기의 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용"에 있어서 기재되어 있는, 그것들에 대응하는 배합 비율(함유 비율), 물성치, 파라미터 등 해당 기재의 상한치("이하", "미만"으로서 정의되어 있는 수치) 또는 하한치("이상", "초과"로서 정의되어 있는 수치)로 대체할 수 있다.

실시예 1

도 1 및 도 2에 나타내는 이방 도전성 시트를 제작했다.

단, 이방성 도전부(2)는, 전후 방향으로 100열, 좌우 방향으로 100열로 정렬 배치하고, 그 수는, 합계 10,000개로 했다. 베이스 절연층 및 커버 절연층의 재료로서, 폴리이미드 수지를 이용하고, 금속 도체부의 재료로서, 구리를 이용하고, 범프부의 재료로서, Ni를 이용하고, 도금 재료로서, Au를 이용했다.

또한, 도 2에 있어서, L1을 20㎛, L2를 30㎛, L3을 40㎛, L4를 5㎛, L5를 5㎛, 테이퍼각 θ를 60°, 접속부 사이의 피치 L6을 50㎛로 했다.

실시예 2

도 2에 있어서, L2를 36㎛, L4를 2㎛로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이방 도전성 시트를 제조했다.

실시예 3

도 2에 있어서, L1을 30㎛, L5를 5㎛, 테이퍼각 θ를 30°로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이방 도전성 시트를 제조했다. 이때, 인접하는 2개의 이방성 도전부(금속 도체부(10))의 거리를 실시예 1과 동일한 정도로 하기 위해, 접속부 사이의 피치 L6을 80㎛로 했다.

실시예 4

도 4에 나타내는 이방 도전성 시트를 제조했다. 즉, 베이스 개구부(6)에 있어서, 측단면에서 볼 때 대략 테이퍼 형상으로 하지 않고, 원기둥 형상으로 형성한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이방 도전성 시트를 제조했다. 또한, L1을 30㎛, L5를 5㎛로 했다.

비교예 1

커버 절연층을 형성하지 않은 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이방 도전성 시트를 제조했다(도 25 참조).

비교예 2

커버 절연층을 금속 접속부(5)의 상면과 단차가 없게 되는 높이까지 형성한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이방 도전성 시트를 제조했다(가상선이 나타내는 도 25 참조).

(내구성 시험)

각 이방성 도전부(2)에 30g의 하중이 인가되도록, 샘플용 측정 대상을 이방성 도전부의 상면(제 2 도금층)에 반복하여, 가압했다.

실시예 1의 이방 도전성 시트에서는, 가압을 50,000회 반복하더라도, 이방성 도전부는 1개도 탈락하지 않았다.

실시예 3의 이방 도전성 시트에서는, 가압을 10,000~50,000회 반복한 경우에, 이방성 도전부가 적어도 1개 탈락했다.

실시예 2 및 4의 이방 도전성 시트에서는, 가압을 1,000~10,000회 반복한 경우에, 이방성 도전부가 적어도 1개 탈락했다.

비교예 1~2의 이방성 도전부의 이방성 도전부에서는, 가압 횟수가 1,000회 이하인 경우에 있어서, 이방성 도전부가 적어도 1개 탈락했다.

(도전성 시험)

이방성 도전부의 상면 및 하면의 각각에 저항 측정계의 프로브를 대고, 저항치를 측정했다. 그 결과, 각 실시예 및 각 비교예의 저항치는, 모두, 1×10^-4Ω 이하이고, 도전성이 우수한 것을 알 수 있었다.

또, 상기 발명은, 본 발명의 예시의 실시 형태로서 제공했지만, 이것은 단순한 예시에 지나지 않고, 한정적으로 해석해서는 안 된다. 당해 기술 분야의 당업자에 의해 분명한 본 발명의 변형예는, 후기 청구의 범위에 포함된다.

(산업상 이용가능성)

본 발명의 이방 도전성 필름은, 각종 공업 제품에 적용할 수 있고, 예컨대, 반도체 소자나 회로 기판에 대한 도통 검사 등에 적합하게 이용된다.

1 : 이방 도전성 시트
2 : 이방성 도전부
3 : 베이스 절연층
4 : 커버 절연층
5 : 금속 접속부
6 : 베이스 개구부
7 : 커버 개구부
11 : 범프부
12 : 도금층
13 : 제 1 도체부
14 : 제 2 도체부
15 : 제 3 도체부
20 : 피검사 장치
21 : 검사 장치
35 : 금속 접속 오목부
36 : 시트 오목부
40 : 제 1 탄성층
41 : 절연성 탄성부
42 : 도전성 탄성부
43 : 탄성층 개구부
44 : 도전성 입자
45 : 제 2 탄성층
50 : 절연층

Claims (15)

1. 피검사 장치 및 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위한 이방 도전성 시트로서,
   이방성 도전부를 구비하고,
   상기 이방성 도전부는,
   두께 방향으로 관통하는 관통 개구부를 갖는 절연층과,
   상기 관통 개구부에 배치되는 접속부
   를 구비하고,
   상기 절연층은,
   두께 방향 다른 쪽 면을 노출하는 제 1 절연부와,
   상기 제 1 절연부의 두께 방향 한쪽에 배치되고, 두께 방향 한쪽 면을 노출하는 제 2 절연부를 구비하고,
   상기 제 1 절연부는 제 1 개구부를 갖고, 상기 제 2 절연부는 상기 제 1 개구부와 연통하는 제 2 개구부를 갖고, 상기 제 1 개구부와 상기 제 2 개구부는 상기 관통 개구부를 형성하고,
   상기 접속부는,
   상기 제 1 개구부에 충전되는 제 1 도체부와,
   상기 제 1 도체부와 두께 방향으로 연속하고, 상기 제 2 개구부에 충전되는 제 2 도체부와,
   상기 제 2 도체부와 두께 방향과 직교하는 직교 방향으로 연속하고, 상기 제 2 개구부에 충전되는 제 3 도체부를 구비하고,
   상기 제 2 절연부가, 상기 접속부에 있어서의 상기 제 3 도체부의 상기 두께 방향 한쪽 면 및 상기 직교 방향의 측면을 피복하는
   것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 개구부는, 상기 두께 방향 한쪽으로부터 두께 방향 다른 쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
   
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 2 도체부의 상기 두께 방향 한쪽 면은, 상기 제 2 절연부의 상기 두께 방향 한쪽 면보다, 두께 방향 다른 쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 이방성 도전부는, 측단면도에 있어서, 상기 제 1 개구부의 직교 방향 중심점을 두께 방향으로 통과하는 축에 대하여 대칭인 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 2 절연부가 상기 접속부의 상기 두께 방향 한쪽 면을 피복하고 있는 직교 방향 길이는, 3㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
   
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 이방성 도전부가, 복수 배치되고,
   서로 인접하는 이방성 도전부에 있어서, 하나의 이방성 도전부의 제 1 개구부의 직교 방향 중심점과, 상기 하나의 이방성 도전부와 인접하는 다른 이방성 도전부의 제 1 개구부의 직교 방향 중심점의 거리가, 30㎛ 이상, 200㎛ 이하인
   것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
   
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 접속부는, 상기 제 1 도체부의 두께 방향 다른 쪽에 마련되는 제 1 범프와, 상기 제 2 도체부의 상기 두께 방향 한쪽에 배치되는 제 2 범프를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
   
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 접속부는, 상기 두께 방향 한쪽 면 및 상기 두께 방향 다른 쪽 면에, Au층 또는 NiAu층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
    
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 접속부는, 금속으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
    
12. 제 1 항에 있어서,
    두께는, 100㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
    
13. 제 1 항에 있어서,
    상기 이방성 도전부의 상기 두께 방향 한쪽 및 두께 방향 다른 쪽의 적어도 어느 한쪽에 배치되는 탄성층을 더 구비하고,
    상기 탄성층은,
    두께 방향으로 관통하는 제 3 개구부를 갖는 절연성 탄성부와,
    상기 제 3 개구부에 충전되고, 도전성 입자 및 수지를 함유하는 도전성 탄성부
    를 구비하는
    것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
    
14. 제 1 항에 있어서,
    상기 접속부의 상기 두께 방향 한쪽 면에, 제 1 오목부가 형성되어 있고,
    상기 제 1 오목부에 충전되고, 도전성 입자 및 수지를 함유하는 도전성 탄성부를 더 구비하는
    것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
    
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 도전성 탄성부의 체적 비율은, 상기 이방성 도전부의 상기 두께 방향 한쪽 면에 형성되는 제 2 오목부의 체적에 대하여, 20% 이상 200% 이하인 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.

Images