WO2018066541A1 - 異方導電性シート - Google Patents

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WO2018066541A1
WO2018066541A1 PCT/JP2017/035928 JP2017035928W WO2018066541A1 WO 2018066541 A1 WO2018066541 A1 WO 2018066541A1 JP 2017035928 W JP2017035928 W JP 2017035928W WO 2018066541 A1 WO2018066541 A1 WO 2018066541A1
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WO
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anisotropic conductive
conductive sheet
opening
conductor
layer
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/035928
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English (en)
French (fr)
Inventor
隼人 高倉
周作 柴田
誉大 ▲高▼野
Original Assignee
日東電工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Application filed by 日東電工株式会社 filed Critical 日東電工株式会社
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R11/00—Individual connecting elements providing two or more spaced connecting locations for conductive members which are, or may be, thereby interconnected, e.g. end pieces for wires or cables supported by the wire or cable and having means for facilitating electrical connection to some other wire, terminal, or conductive member, blocks of binding posts
    • H01R11/01—Individual connecting elements providing two or more spaced connecting locations for conductive members which are, or may be, thereby interconnected, e.g. end pieces for wires or cables supported by the wire or cable and having means for facilitating electrical connection to some other wire, terminal, or conductive member, blocks of binding posts characterised by the form or arrangement of the conductive interconnection between the connecting locations

Definitions

  • the present invention relates to an anisotropic conductive sheet, and more particularly, to an anisotropic conductive sheet used for electrically connecting a device to be inspected and an inspection device to each other.
  • a function test continuous test
  • anisotropic conductive sheets connectors
  • the anisotropic conductive sheet is sandwiched between the inspection apparatus and the inspection apparatus, the connection portion on one side of the anisotropic conductive sheet is brought into contact with the terminal of the inspection apparatus, and the connection section on the other side is connected to the inspection apparatus. By bringing them into contact with the probe terminals, they are securely connected electrically.
  • Patent Document 1 discloses such an anisotropic conductive sheet.
  • the composite conductive sheet described in Patent Document 1 is filled with each of the insulating sheet in which a plurality of through holes are formed, and the rigidity is arranged so as to protrude from both sides of the insulating sheet. And a conductor.
  • the composite conductive sheet in order to protect the rigid conductor, it is considered to provide a plating layer on the surface of the rigid conductor or to provide a conductive elastic part (cushion part) containing conductive particles and resin. Is done.
  • This invention is providing the anisotropic conductive sheet which can suppress conduction
  • the present invention is an anisotropic conductive sheet for electrically connecting a device to be inspected and an inspection device to each other, and is disposed in the insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction, and the through hole.
  • An anisotropic conductive portion having a conductive portion, and one side in the thickness direction of the conductor portion and a peripheral side surface of the through hole include an anisotropic conductive sheet that defines a first recess.
  • the plating layer or conductive elasticity is provided on one side in the thickness direction of the anisotropic conductive portion.
  • the plating layer and the conductive elastic part can be accommodated in the first recess. Therefore, a plating layer or the like is hardly attached to one surface in the thickness direction of the insulating layer, and as a result, it is possible to suppress conduction between conductor portions of adjacent anisotropic conductive portions.
  • the insulating layer has a fitted portion that is recessed in the surface direction orthogonal to the thickness direction in the through hole, and the conductor portion is a fitted portion that fits into the fitted portion.
  • the anisotropic conductive sheet according to [1] is included.
  • This invention [3] contains the anisotropic conductive sheet as described in [2] in which the said conductor part is provided with the inclination part extended in the crossing direction which cross
  • the first concave portion can be formed more reliably.
  • This invention [4] contains the anisotropic conductive sheet as described in [3] in which the said conductor part is further provided with the edge part extended in a surface direction from the surface direction edge of the said inclination part.
  • the conductor portion can fit the end portion extending from the inclined portion to the fitted portion of the insulating layer, the conductor portion is more firmly formed on the insulating layer. Can be fixed. As a result, the conductor part can be more reliably prevented from falling off. Therefore, the durability is further improved.
  • the anisotropic conductivity according to any one of [1] to [4], wherein the first recess has a tapered shape in which an opening cross-sectional area increases toward one side in the thickness direction. includes a sheet.
  • the terminal of the device to be inspected can be easily electrically connected to the conductor portion from one side in the thickness direction during the inspection of the device to be inspected.
  • the other surface in the thickness direction of the conductor portion is located on one side in the thickness direction than the other surface in the thickness direction of the insulating layer, and the other side surface in the thickness direction of the conductor portion and the peripheral side surface of the through hole Includes the anisotropic conductive sheet according to any one of [1] to [5], which defines the second recess.
  • the plating layer or the conductive elastic portion is provided on the other side surface in the thickness direction of the conductive portion.
  • positioning a plating layer and a conductive elastic part can be accommodated in a 2nd recessed part. Accordingly, the plating layer or the like is hardly attached to the other surface in the thickness direction of the insulating layer, and as a result, it is possible to suppress conduction between the conductor portions of adjacent anisotropic conductive portions.
  • the present invention includes the anisotropic conductive sheet according to [6], wherein the second recess has a tapered shape in which an opening cross-sectional area increases toward the other side in the thickness direction.
  • the terminal of the inspection device can be easily electrically connected to the conductor portion from the other side in the thickness direction when the inspection target device is inspected.
  • the invention [8] is the anisotropic conductive portion according to any one of [1] to [7], wherein the anisotropic conductive portion further includes a plating layer on one surface in the thickness direction and the other surface in the thickness direction of the conductor portion.
  • An anisotropic conductive sheet is included.
  • Such an anisotropic conductive sheet is excellent in durability because the oxidation of the conductor portion can be suppressed.
  • the present invention [9] according to any one of [1] to [8], further comprising a conductive elastic portion that is disposed on one side in the thickness direction of the conductor portion and contains conductive particles and a resin.
  • An anisotropic conductive sheet is included.
  • the conductive elastic portion is filled in the first recess, even if the height of the plurality of terminals of the device to be inspected varies.
  • the conductive elastic portion can be compressed or deformed depending on the height of these terminals.
  • the inspection can be reliably performed.
  • the conductive elastic part absorbs excessive pressure from the device under test and avoids direct contact between the conductor part and the device under test. Therefore, durability is excellent.
  • the thickness direction one surface of the said plating layer and the surrounding side surface of the said through-hole partition the 3rd recessed part,
  • the volume ratio of the said electroconductive elastic part is with respect to the volume of the said 3rd recessed part.
  • the anisotropic conductive sheet according to [9] which is 20% or more and 200% or less.
  • an anisotropic conductive sheet even when the heights of a plurality of terminals provided in the device to be inspected are non-uniform, it can be more reliably inspected. Further, since the conductive elastic portion can surely relieve pressure and impact on the anisotropic conductive portion, the durability is further improved.
  • anisotropic conductive sheet of the present invention conduction between adjacent anisotropic conductive portions can be suppressed.
  • FIG. 1 shows the top view of one Embodiment of 1st Embodiment of the anisotropically conductive sheet of this invention.
  • FIG. 2 is a partially enlarged side sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 3 is a sectional side view when the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 1 is used.
  • 4 shows a sectional side view of an anisotropic conductive sheet with a plating layer using the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
  • FIG. 5 is a side sectional view of an anisotropic conductive sheet with a conductive elastic part using the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
  • FIG. 6 shows a side sectional view of a modified example of the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
  • FIG. 7 shows a side cross-sectional view of a modified example of the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 1 (a configuration in which the second concave portion is reduced in diameter toward the lower side).
  • FIG. 8 shows a side cross-sectional view of a modified example of the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 1 (the first base layer is not provided, and the lower surface of the central portion is flush with the lower surface of the second base layer).
  • FIG. 9 shows a side cross-sectional view of a modified example of the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 1 (the first base layer is not provided and the central portion protrudes downward).
  • FIG. 10 shows the partial expanded side sectional view of one Embodiment of 2nd Embodiment of the anisotropic conductive sheet of this invention.
  • FIG. 11 shows a side cross-sectional view of an anisotropic conductive sheet with a plating layer using the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
  • FIG. 12 is a side sectional view of an anisotropic conductive sheet with an elastic portion using the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
  • FIG. 13 shows the partial expanded side sectional view of one Embodiment of 3rd Embodiment of the anisotropically conductive sheet of this invention.
  • 14 shows a side sectional view of an anisotropic conductive sheet with a plating layer using the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
  • FIG. 11 shows a side cross-sectional view of an anisotropic conductive sheet with a plating layer using the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
  • FIG. 12 is a side sectional view of an anis
  • FIG. 15 shows the partial expanded side sectional view of one Embodiment of 4th Embodiment of the anisotropically conductive sheet of this invention.
  • FIG. 16 shows the partial expanded side sectional view of one Embodiment of 5th Embodiment of the anisotropically conductive sheet of this invention.
  • FIG. 17 shows the partial expanded side sectional view of one Embodiment of 6th Embodiment of the anisotropically conductive sheet of this invention.
  • the paper thickness direction is the vertical direction (thickness direction, first direction)
  • the front side of the paper is the upper side (thickness direction one side, the first direction one side)
  • the back side of the paper surface is the lower side (the other in the thickness direction).
  • Side the other side in the first direction).
  • the left and right direction on the paper surface is the left and right direction (second direction orthogonal to the first direction)
  • the left side of the paper surface is the left side (one side in the second direction)
  • the right side of the paper surface is the right side (the other side in the second direction).
  • the vertical direction of the paper surface is the front-rear direction (a third direction orthogonal to the first direction and the second direction), the lower side of the paper surface is the front side (the third direction one side), and the upper side of the paper surface is the rear side (the other in the third direction). Side). Specifically, it conforms to the direction arrow in each figure.
  • the anisotropic conductive sheet 1 has a substantially rectangular flat plate shape in plan view extending in the surface direction (front-rear direction and left-right direction).
  • the anisotropic conductive sheet 1 includes a plurality of anisotropic conductive portions 2.
  • the plurality of anisotropic conductive portions 2 are disposed adjacent to the substantially central portion in plan view of the anisotropic conductive sheet 1 so as to be aligned in the front-rear direction and the left-right direction.
  • the anisotropic conductive sheet 1 is formed of only a plurality of anisotropic conductive portions 2 except for the peripheral end portion. That is, the anisotropic conductive sheet 1 is formed from a plurality of continuous anisotropic conductive portions 2.
  • each of the plurality of anisotropic conductive portions 2 includes an insulating layer 3 and a conductor portion 4.
  • the insulating layer 3 is formed with a through hole 16 having a fitted portion 32 extending in the surface direction, and the conductor portion 4 is disposed in the through hole 16 and is fitted to the fitted portion 32.
  • the fitting part 31 is provided.
  • the insulating layer 3 includes a base insulating layer and a cover insulating layer (cover layer) 7 as a third insulating portion.
  • the base insulating layer integrally includes a first base insulating layer (first base layer) 5 as a first insulating portion and a second base insulating layer (second base layer) 6 as a second insulating portion. Yes.
  • the first base layer 5 is located at the lowermost part of the insulating layer 3 and is disposed below the lower surface (the other surface in the thickness direction) of the central portion 21 (described later) of the conductor portion 4. Specifically, the first base layer 5 is formed on the lower surface of the second base layer 6 so that the upper surface (one surface in the thickness direction) of the first base layer 5 is continuous (contacted) with the lower surface of the second base layer 6. Has been placed. The lower surface of the first base layer 5 is exposed.
  • the first base layer 5 has a first opening 11 that penetrates the first base layer 5 in the vertical direction.
  • the first opening 11 has a circular shape in a bottom view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases as it goes downward in a side cross-sectional view.
  • the first opening 11 has a substantially truncated cone shape that increases in diameter toward the lower side.
  • the first opening 11 communicates with the second opening 12 on the upper side.
  • the second base layer 6 is located in the middle in the vertical direction of the insulating layer 3 and is disposed on the upper side of the first base layer 5. Specifically, the second base layer 6 is such that the lower surface of the second base layer 6 is continuous with the upper surface of the first base layer 5 and the upper surface of the second base layer 6 is continuous with the lower surface of the cover layer 7. It is disposed on the upper surface of the first base layer 5 and the lower surface of the cover layer 7.
  • the second base layer 6 includes an inclined surface 17 that defines a second opening 12 (described later) and an upper end surface 18 that continues from the upper end of the inclined surface 17 to the outside of the second opening 12.
  • the second base layer 6 covers the lower surface of the peripheral side portion of the conductor portion 4. Specifically, the second base layer 6 has its inclined surface 17 in contact with the entire lower surface of the inclined portion 22 (described later) and its upper end surface 18 in contact with the entire lower surface of the flange portion 23 (described later). The lower surface of the conductor part 4 is covered.
  • the second base layer 6 has a second opening 12 that penetrates the second base layer 6 in the vertical direction.
  • the second opening 12 has a circular shape in a bottom view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases as it goes upward in a side sectional view. That is, the second opening 12 has a substantially truncated cone shape that increases in diameter as it goes upward.
  • the second opening 12 communicates with the first opening 11 on the lower side, and communicates with the third lower opening 14 on the upper side.
  • the opening at the lower end of the second opening 12 coincides with the opening at the lower end of the first opening 11.
  • the cover layer 7 is located on the uppermost part of the insulating layer 3 and is arranged on the upper side of the second base layer 6. Specifically, the cover layer 7 is disposed on the upper surface of the second base layer 6 so that the lower surface of the cover layer 7 is continuous with the upper surface of the second base layer 6. The cover layer 7 is disposed above the lower surface of the flange portion 23 (described later) of the conductor portion 4. Further, the upper surface of the cover layer 7 is exposed.
  • the cover layer 7 has a side cross-sectional shape and covers the peripheral side surface and the top surface of the conductor portion 4 (specifically, the entire peripheral side surface and the entire top surface of the flange portion 23).
  • the cover layer 7 has the 3rd opening part 13 which penetrates the cover layer 7 to an up-down direction.
  • the third opening 13 includes a third lower opening 14 that defines the lower side of the third opening 13 and a third upper opening 15 that defines the upper side of the third opening 13.
  • the third lower opening 14 has a substantially circular shape in plan view and a substantially rectangular shape in side sectional view. That is, the third lower opening 14 has a substantially cylindrical shape.
  • the third lower opening 14 communicates with the second opening 12 on the lower side, and communicates with the third upper opening 15 on the upper side.
  • the opening at the lower end of the third lower opening 14 is wider than the opening at the upper end of the second opening 12, and the third lower opening 14 includes the second opening 12 when projected in the vertical direction. .
  • the third upper opening 15 has a substantially circular shape in plan view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases toward the upper side in a side sectional view. That is, the third upper opening 15 has a substantially truncated cone shape that increases in diameter toward the upper side.
  • the third upper opening 15 communicates with the third lower opening 14 on the lower side.
  • the opening at the lower end of the third upper opening 15 is narrower than the opening at the upper end of the third lower opening 14, and when projected in the vertical direction, the third upper opening 15 becomes the third lower opening 14.
  • the first opening portion 11, the second opening portion 12, and the third opening portion 13 communicate with each other in the vertical direction, and form a through hole 16 that penetrates the insulating layer 3 in the vertical direction.
  • the first base layer 5, the second base layer 6 and the cover layer 7 are respectively made of, for example, polyimide resin, polyamideimide resin, acrylic resin, polyether resin, nitrile resin, polyethersulfone resin, polyethylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate. It is formed from a synthetic resin such as a resin or polyvinyl chloride resin, and is preferably formed from a polyimide resin.
  • the diameter (surface direction length) L1 of the opening at the lower end of the first opening 11 (the lower end of the through hole 16) is, for example, 5 ⁇ m or more, preferably 15 ⁇ m or more, and for example, 120 ⁇ m or less, preferably 50 ⁇ m or less.
  • the diameter L2 of the opening at the lower end of the second opening 12 (the upper end of the first opening 11) is, for example, 5 ⁇ m or more, preferably 15 ⁇ m or more, and for example, 100 ⁇ m. Hereinafter, it is preferably 50 ⁇ m or less.
  • the ratio of L1 to L2 (L1 / L2) is, for example, 1.0 or more, and for example, 2.0 or less, preferably 1.5 or less.
  • the diameter L3 of the opening at the upper end or the lower end of the third lower opening 14 (that is, the diameter of the entire conductor portion 4) is, for example, 15 ⁇ m or more, preferably 21 ⁇ m or more, and for example, 190 ⁇ m or less, preferably 70 ⁇ m or less.
  • the diameter L4 of the opening at the lower end of the third upper opening 15 is, for example, 5 ⁇ m or more, preferably 15 ⁇ m or more, and for example, 100 ⁇ m or less, preferably 50 ⁇ m or less.
  • the diameter L5 of the opening at the upper end of the third upper opening 15 is, for example, 5 ⁇ m or more, preferably 15 ⁇ m or more, and for example, 100 ⁇ m or less, preferably 50 ⁇ m or less.
  • the ratio of L5 to L2 is, for example, 1.0 or more, and is, for example, 3.0 or less, preferably 2.0 or less.
  • the length L6 in the surface direction in which the second base layer 6 covers the lower surface of the flange 23 is, for example, 1 ⁇ m or more, preferably 5 ⁇ m or more. For example, it is 50 ⁇ m or less, preferably 15 ⁇ m or less.
  • the ratio of L6 to L3 is, for example, 0.06 or more, preferably 0.1 or more, and for example, 0.35 or less, preferably 0.30 or less. If the length L6 and the ratio are within the above ranges, the first base layer 5 can securely fix the flange portion 23 from below, so that the conductor portion 4 can be more firmly fixed.
  • the radial length L7 that the cover layer 7 covers the upper surface of the flange portion 23 (conductor portion 4) is, for example, 1 ⁇ m or more, preferably 3 ⁇ m or more, and for example, 20 ⁇ m or less, preferably 10 ⁇ m. It is as follows. If the length L7 is in the above range, the first base layer 5 can reliably fix the flange 23 from above, and thus the conductor 4 can be more firmly fixed.
  • the thickness (length in the vertical direction) T1 of the first base layer 5 (that is, the depth of the first opening 11) is, for example, 1 ⁇ m or more, preferably 5 ⁇ m or more, and for example, 50 ⁇ m or less, preferably 30 ⁇ m or less.
  • the thickness T2 of the second base layer 6 (that is, the depth of the second opening 12) is, for example, 2 ⁇ m or more, preferably 3 ⁇ m or more, and for example, 25 ⁇ m or less, preferably 18 ⁇ m or less.
  • the thickness T3 of the cover layer 7 (that is, the depth of the third opening 13) is, for example, 3 ⁇ m or more, preferably 6 ⁇ m or more, and for example, 45 ⁇ m or less, preferably 28 ⁇ m or less.
  • the thickness T4 (that is, the depth of the third upper opening 15) on the upper surface of the flange portion 23 of the cover layer 7 is, for example, 1 ⁇ m or more, preferably 3 ⁇ m or more, and for example, 20 ⁇ m or less, preferably 10 ⁇ m or less.
  • the total thickness T5 of the insulating layer 3 (that is, the depth of the through hole 16) is, for example, 100 ⁇ m or less, preferably 50 ⁇ m or less, more preferably 40 ⁇ m or less, and for example, 10 ⁇ m or more. If the thickness of the insulating layer 3 is less than or equal to the above upper limit, it is easy to flex in the vertical direction, so that the shape and warpage of the device under test 41 can be easily followed. Therefore, inspection at a lower pressure is possible.
  • the conductor portion 4 is disposed in the through hole 16. Specifically, the conductor 4 is filled in the second opening 12 and the third opening 13.
  • the conductor part 4 has a substantially circular shape in plan view.
  • the conductor portion 4 is disposed at the central portion 21 disposed in the radial direction (surface direction center) of the conductor portion 4, the inclined portion 22 disposed on the radially outer side of the central portion 21, and the radially outer side of the inclined portion 22. And a flange portion 23 (flange portion) as an end portion.
  • the central portion 21 is disposed inside the second opening 12. That is, the central portion 21 is filled in the second opening 12.
  • the central part 21 has a substantially circular shape in plan view and a substantially rectangular shape in side sectional view. That is, the center part 21 has a disk shape.
  • the peripheral edge of the central portion 21 coincides with the opening at the upper end of the first opening 11. Further, the upper surface and the lower surface of the central portion 21 are exposed from the insulating layer 3 (second base layer 6).
  • the inclined portion 22 is disposed inside the second opening 12 and the third lower opening 14. That is, the inclined portion 22 is filled in the second opening 12 and the third lower opening 14.
  • the inclined portion 22 has a substantially annular shape in plan view and a substantially rectangular shape in side sectional view.
  • the inclined portion 22 has an inner edge that is continuous with the peripheral edge (surface direction edge) of the central portion 21, and an outer peripheral edge that is continuous with the inner peripheral edge of the flange portion 23. 23 is integrated continuously.
  • the inclined portion 22 is formed so as to extend from the peripheral edge of the central portion 21 in a crossing direction that intersects both the vertical direction and the radial direction (plane direction) in a side sectional view. Specifically, the inclined portion 22 is formed so as to extend linearly from the peripheral edge of the central portion 21 in an oblique direction inclined upward as it goes radially outward.
  • the inner peripheral edge of the inclined portion 22 coincides with the opening at the lower end of the second opening portion 12, and the outer peripheral edge of the inclined portion 22 coincides with the opening at the upper end of the second opening portion 12.
  • the upper surface of the inclined portion 22 is exposed, and the lower surface of the inclined portion 22 is covered with the second base layer 6.
  • the flange 23 is disposed inside the third lower opening 14. That is, the flange portion 23 is filled in the outer peripheral portion of the third opening portion 13.
  • the flange 23 has a substantially annular shape in plan view and a substantially rectangular shape in side sectional view.
  • the flange portion 23 is integrally continuous with the inclined portion 22 such that the inner edge thereof is continuous with the outer peripheral edge of the inclined portion 22.
  • the collar portion 23 is formed so as to extend in the radial direction (surface direction) from the outer peripheral edge (surface direction edge) of the inclined portion 22 in a side sectional view.
  • the inner peripheral edge of the flange 23 coincides with the opening at the upper end of the second opening 12, and the outer peripheral edge of the flange 23 coincides with the opening of the third lower opening 14.
  • the upper surface and outer peripheral side surface of the flange portion 23 are covered with the cover layer 7, and the lower surface of the flange portion 23 is covered with the second base layer 6. Specifically, a part of the upper surface (outer portion) of the flange portion 23 and the entire outer peripheral side surface of the flange portion 23 are in contact with the cover layer 7, and the entire lower surface of the flange portion 23 is the second base layer 6. In contact with the entire surface. For this reason, the collar part 23 is divided by the 2nd base layer 6 and the cover layer 7, and is fitted in the outer peripheral part of the 3rd lower side opening part 14 dented in a surface direction. That is, the flange portion 23 constitutes the fitting portion 31, and the outer peripheral portion of the third lower opening portion 14 constitutes the fitted portion 32 into which the fitting portion 31 is fitted.
  • the thickness T6 of the central portion 21 and the thickness T7 of the flange portion 23 are each 2 ⁇ m or more, preferably 3 ⁇ m or more, for example, 25 ⁇ m or less, preferably 18 ⁇ m or less.
  • the inclination angle ⁇ of the inclined portion 22 with respect to the central portion 21 is, for example, 30 ° or more, preferably 45 ° or more. , 80 ° or less, preferably 65 ° or less.
  • the upper surface of the conductor portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 define the first recess 33.
  • the upper surface of the central portion 21 and the inclined portion 22 and the peripheral side surface of the third upper opening 15 define the first recess 33.
  • the first concave portion 33 is formed so as to dent the upper surface of the anisotropic conductive portion 2 downward.
  • the first recess 33 has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases from the bottom surface (the upper surface of the central portion 21) toward the upper side.
  • the lower surface of the conductor portion 4 is located above the lower surface of the first base layer 5, and the lower surface of the conductor portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 define the second recess 34. Specifically, the lower surface of the central portion 21 and the peripheral side surface of the first opening 11 define the second recess 34.
  • the second concave portion 34 is formed so as to dent the lower surface of the anisotropic conductive portion 2 toward the upper side.
  • the second recess 34 has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases from the bottom surface (the lower surface of the central portion 21) toward the lower side.
  • the depth (vertical length) D1 of the first recess 33 and the depth D2 of the second recess 34 are each 3 ⁇ m or more, preferably 5 ⁇ m or more, for example, 40 ⁇ m or less, preferably 25 ⁇ m or less.
  • Examples of the material of the conductor part 4 include metal materials such as copper, silver, gold, nickel, and alloys containing them, and preferably copper.
  • the anisotropic conductive sheet 1 includes, for example, a base insulating layer forming step for forming a base insulating layer, a conductor portion forming step for forming the conductor portion 4, a cover layer forming step for forming the cover layer 7, and a first opening. It can be obtained by sequentially performing the opening forming process for forming the portion 11.
  • a photosensitive varnish is applied to the substrate, dried, and then exposed and developed with a pattern having a recess corresponding to the second opening 12. Thereafter, if necessary, heat curing is performed to remove the substrate. Thereby, a base insulating layer including the first base layer 5 not having the first opening 11 and the second base layer 6 having the second opening 12 (concave portion) is obtained.
  • the conductor portion 4 is formed in the concave portion of the base insulating layer and the periphery thereof by, for example, a patterning method for forming a known wiring such as an additive method or a subtractive method.
  • cover layer forming step for example, a photosensitive varnish is applied to the upper surfaces of the second base layer 6 and the conductor portion 4, dried, and then exposed and developed with a pattern having the third opening 13. Thereafter, if necessary, the cover layer 7 is formed after heat curing.
  • the first opening 11 is formed on the lower surface (first base layer 6) of the base insulating layer by known etching or the like.
  • the anisotropic conductive portion 2 is symmetric with respect to an axis (an imaginary line shown in FIG. 2) passing through the center point in the radial direction of the central portion 21 of the conductor portion 4 in the vertical direction.
  • the anisotropic conductive portion 2 is bilaterally symmetric in the side sectional view.
  • the distance L8 (pitch between conductor parts) between the radial center point of one conductor part 4 (center part 21) and the radial center point of another adjacent conductor part 4 is, for example, 30 ⁇ m or more, preferably 40 ⁇ m. For example, it is 200 ⁇ m or less, preferably 80 ⁇ m or less, and more preferably 60 ⁇ m or less. If the pitch L8 between the conductors is within the above range, the distance between the conductors 4 is sufficiently narrow, so that it is possible to inspect the device 41 to be further miniaturized.
  • the thickness T8 of the anisotropic conductive sheet 1, that is, the vertical length from the upper end to the lower end of the anisotropic conductive portion 2, is, for example, 100 ⁇ m or less, preferably 50 ⁇ m or less, more preferably 40 ⁇ m or less. For example, it is 10 ⁇ m or more. If the anisotropic conductive sheet 1 has a thickness equal to or less than the above upper limit, it is easy to flex in the vertical direction, and therefore the shape and warpage of the device under test 41 can be easily followed. Therefore, inspection at a lower pressure is possible.
  • the anisotropic conductive sheet 1 is used to electrically connect the device under inspection 41 and the inspection device 42 to each other.
  • an inspected apparatus 41 having a plurality of terminals 43 and an inspection apparatus 42 having a plurality of inspection probes 44 are prepared.
  • the device under test 41 include a semiconductor element and a printed circuit board.
  • the inspection device 42 include known or commercially available inspection devices such as a probe tester and a printed circuit board inspection device.
  • the terminal 43 of the device under test 41 is brought into contact with the upper surface of the conductor portion 4, that is, the upper surface of the central portion 21, while the inspection probe 44 of the inspection device 42 is brought into contact with the lower surface of the conductor portion 4, ie, the central portion 21. Make contact with the bottom surface.
  • the inspection device 42 can be operated to perform a function test such as a continuity test on the device under test 41.
  • the anisotropic conductive sheet 1 does not include the inspected apparatus 41 and the inspection apparatus 42, and the anisotropic conductive sheet 1 itself is a device that can be used industrially because it is distributed alone as a component. Moreover, this anisotropic conductive sheet can be used also as one part of the anisotropic conductive sheet 50 with a plating layer mentioned later and the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic part.
  • this anisotropically conductive sheet 1 is provided with the anisotropic conductive part 2 which has the insulating layer 3 which has the through-hole 16 penetrated to an up-down direction, and the conductor part 4 arrange
  • the upper surface of the portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 define the first recess 33.
  • the plating layers 51 and 52 (described later) and the conductive elastic portion 61 (described later) are arranged on the upper surface of the anisotropic conductive portion 2, the plating layer 51 and the conductive elastic portion 61 are accommodated in the first recess 33. can do. Therefore, the plating layer 51 or the like is hardly attached to the upper surface of the cover layer 7. As a result, it is possible to suppress conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropic conductive portions 2.
  • the tip of the terminal 43 of the device under test 41 is slightly displaced from the target contact point (the conductor portion in the first recess 33), the tip of the terminal 43 of the device under test 41 is not changed. 1 can be guided and taken into the recess 33. Therefore, the terminal 43 of the device under test 41 can easily and reliably come into contact with the conductor portion 4 and the conduction reliability is improved.
  • this anisotropic conductive sheet 1 can form the conductor part 4 (the center part 21, the inclined part 22, the collar part 23) by the patterning method which forms a well-known fine wiring etc., it is the pitch between conductor parts. L8 can be narrowed. Therefore, it is possible to inspect a finer device under test 41.
  • the insulating layer 3 has a fitted portion 32 (an outer peripheral portion of the third lower opening 14) that is recessed in the surface direction in the through-hole 16, and the conductor portion 4 is fitted to the fitted portion 32. It has a fitting part 31 (a collar part 23).
  • the conductor portion 4 is fixed to the insulating layer 3 by the fitting of the flange portion 23 and the third lower opening portion 14. Therefore, even when the conductor portion 4 is pressed from above or below by the terminal 43, the inspection device 42, and the inspection probe 44 of the device under test 41 during the inspection of the device under inspection 41, the conductor portion 4 is not inserted into the through hole. It can suppress falling off from 16. As a result, durability is excellent.
  • the conductor portion 4 includes a central portion 21 and an inclined portion 22 that extends in an oblique direction (particularly, a direction that goes upward as it goes outward in the radial direction).
  • the central portion 21 can be disposed below the through hole 16, and the first concave portion 33 can be more reliably formed in the anisotropic conductive portion 2.
  • the conductor portion 4 further includes a flange portion 23 that extends radially outward from the outer peripheral edge of the inclined portion 22.
  • the flange 23 can be fitted to the fitted portion 32 of the insulating layer 3.
  • each of the upper surface, the lower surface, and the outer peripheral side surface of the flange portion 23 is fixed to the insulating layer 3 (the first base layer 5 and the second base layer 6). Therefore, the conductor portion 4 can be applied to any one of pressurization from the upper side by the terminal 43 of the device under test 41, pressurization from the lower side by the test probe 44 of the test device 42, and stress in the surface direction by these. Is firmly fixed and misalignment hardly occurs. As a result, it is possible to more reliably suppress the conductor part 4 from falling off. Therefore, the durability is further improved.
  • the first recess 33 has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases toward the upper side.
  • the terminal 43 of the device under test 41 can be easily electrically connected from the upper side to the upper surface of the central portion 21.
  • the tip of the terminal 43 of the device under test 41 is slightly displaced from the target contact point (the conductor portion in the first recess 33)
  • the tip of the terminal 43 of the device under test 41 is not changed. 1 can be guided and taken into the recess 33 more smoothly. Therefore, the conduction reliability is further improved.
  • the lower surface of the conductor portion 4 is located above the lower surface of the first base layer 5, and the lower surface of the conductor portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 define the second recess 34.
  • the second plating layer 52 and the conductive elastic portion 61 are disposed on the lower surface of the conductor portion 4, the second plating layer 52 and the conductive elastic portion 61 can be accommodated in the second recess 34. Therefore, the second plating layer 52 and the like are hardly attached to the lower surface of the first base layer 5, and as a result, it is possible to suppress conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropic conductive portions 2.
  • the second recess 34 has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases toward the lower side.
  • the inspection probe 44 of the inspection device 42 can be easily electrically connected from the lower side to the lower surface of the central portion 21.
  • the tip of the inspection probe 44 of the inspection device 42 is slightly displaced from the target contact point (the conductor portion in the second recess 34)
  • the tip of the inspection probe 44 of the inspection device 42 is moved to the first position. 2 It is possible to guide and take in the recess 34 more smoothly. Therefore, the conduction reliability is further improved.
  • Anisotropic conductive sheet with plating layer may further include a plating layer.
  • an anisotropic conductive sheet 50 with a plating layer shown in FIG. 4 includes a first plating layer 51 disposed on the upper surface (one surface in the thickness direction) of the conductor portion 4 and the lower surface (thickness direction) of the conductor portion 4.
  • a second plating layer 52 is further provided on the other surface.
  • the first plating layer 51 is disposed on the upper surface of the conductor portion 4 so as to cover the entire upper surface of the conductor portion 4 and part of the side surface (inclined surface) of the cover layer 7.
  • the first plating layer 51 includes a first inner plating layer 53 and a first outer plating layer 54.
  • the first inner plating layer 53 is disposed on the upper surface of the conductor portion 4 so as to cover the entire upper surface of the conductor portion 4 and part of the side surface of the cover layer 7.
  • the first outer plating layer 54 is disposed on the upper surface of the first inner plating layer 53 so as to cover the entire upper surface of the first inner plating layer 53.
  • Examples of the material of the first plating layer 51 include metal materials such as gold, silver, copper, and nickel.
  • the first inner plating layer 53 is preferably a nickel plating layer, and the first outer plating layer is preferably a gold plating layer.
  • the second plating layer 52 is disposed on the lower surface of the conductor portion 4 so as to cover the entire lower surface of the conductor portion 4 and part of the side surface (inclined surface) of the first base layer 5.
  • the second plating layer 52 includes a second inner plating layer 55 and a second outer plating layer 56.
  • the second inner plating layer 55 is disposed on the lower surface of the conductor portion 4 so as to cover the entire lower surface of the conductor portion 4 and part of the side surface of the first base layer 5.
  • the second outer plating layer 56 is disposed on the lower surface of the second inner plating layer 55 so as to cover the entire lower surface of the second inner plating layer 55.
  • Examples of the material of the second plating layer 52 include metal materials such as gold, silver, copper, and nickel.
  • the second inner plating layer 55 is preferably a nickel plating layer, and the second outer plating layer is preferably a gold plating layer.
  • each plating layer is, for example, 0.01 ⁇ m or more, preferably 0.05 ⁇ m or more, and, for example, 50 ⁇ m or less, preferably 12 ⁇ m or less, more preferably. Is 8 ⁇ m or less.
  • Examples of the method for providing the plating layers 51 and 52 include known plating methods such as an electrolytic plating method and an electroless plating method.
  • the upper surface of the first plating layer 51 and the peripheral side surface of the through hole 16 define the third recess 57
  • the lower surface of the second plating layer 52 and the peripheral side surface of the through hole 16 define the fourth recess 58.
  • the upper surface of the first outer plating layer 54 and the peripheral side surface of the third upper opening 15 define the third recess 57
  • the fourth recess 58 is partitioned.
  • the diameter L9 of the bottom surface of the third recess 57 and the diameter L10 of the bottom surface of the fourth recess 58 are, for example, 3 ⁇ m or more, preferably 5 ⁇ m or more, and for example, 80 ⁇ m or less, preferably 40 ⁇ m or less. .
  • the depth D3 of the third recess 57 and the depth D4 of the fourth recess 58 are, for example, 5 ⁇ m or more, preferably 8 ⁇ m or more, and for example, 60 ⁇ m or less, preferably 40 ⁇ m or less.
  • the anisotropic conductive sheet 59 with a plating layer includes plating layers 51 and 52. Therefore, the oxidation of the conductor part 4 can be suppressed and the durability is further improved.
  • the anisotropic conductive sheet 1 can further include a conductive elastic part 61.
  • the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic portion shown in FIG. 5 further includes a conductive elastic portion 61 arranged above the conductor portion 4 in the anisotropic conductive portion 2.
  • the anisotropic conductive portion 2 includes a conductor portion 4, a plating layer (first plating layer 51, second plating layer 52), and a conductive elastic portion 61.
  • the conductive elastic portion 61 is disposed in the third recess 57 in the anisotropic conductive portion 2. That is, the conductive elastic portion 61 is filled in the third recess 57.
  • the shape of the conductive elastic portion 61 is the same as the shape of the third recess 57, has a substantially circular shape in plan view, and has a tapered shape in which the cross-sectional area increases toward the upper side in a side cross-sectional view. ing.
  • the upper surface of the conductive elastic portion 61 is formed so as to be flush with the upper surface of the cover layer 7.
  • the conductive elastic part 61 is formed from a conductive resin composition containing conductive particles 62 and a resin.
  • Examples of the material of the conductive particles 62 include metals such as iron, cobalt, nickel, gold, silver, copper, palladium, rhodium, and alloys thereof.
  • the conductive particles 62 may be metal particles that are the above metals.
  • the conductive particles may be, for example, core-shell type particles including non-conductive particles (polymer particles, glass beads, etc.) as a core material and a shell portion that is the above metal on the surface of the core material.
  • the average particle diameter of the conductive particles 62 is, for example, 1 ⁇ m or more and 10 ⁇ m or less.
  • the resin examples include an elastic material such as rubber, a resin forming the insulating layer 3, and the like, and preferably rubber.
  • Examples of rubber include natural rubber, polybutadiene rubber, polyisoprene rubber, chloroprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer rubber, styrene-butadiene-diene block copolymer rubber, and styrene-isoprene block.
  • Conjugated diene rubbers such as copolymers and hydrogenated products thereof, such as urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber, etc. Can be mentioned.
  • the hardness of the conductive elastic portion 61 is, for example, 30 Hs or more, preferably 40 Hs or more, and for example, 70 Hs or less, preferably 60 Hs or less.
  • the hardness can be measured by, for example, the method described in JIS K 6253.
  • the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic portion is formed by applying a composition containing the conductive particles 62 and a resin to the entire upper surface of the anisotropic conductive sheet 1 and then applying the composition of the anisotropic conductive sheet 1 with a squeegee. It can be manufactured by rubbing the upper surface and moving the composition to the third recess 57.
  • the production method described in JP-A-2015-26584 can be referred to.
  • the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic part includes a conductive elastic part 61 in the third recess 57. Therefore, even if the height of the plurality of terminals 43 of the device under test 41 varies, when the device under test 41 is pressed against the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic portion, these terminals are used.
  • the conductive elastic portion 61 can be compressed downward according to the individual heights of 43. In particular, the conductive elastic portion 61 is compressed according to its thickness, and can compress a thickness of several ⁇ m, for example. As a result, even when the heights of the plurality of terminals 43 are not uniform, the inspection can be reliably performed.
  • the conductive elastic part 61 absorbs the pressure from the device under test 41 and avoids direct contact between the conductor part 4 and the terminal 43. Therefore, the durability is further improved.
  • the conductive elastic portion 61 is formed so that the upper surface thereof is flush with the upper surface of the cover layer 7. That is, the conductive elastic portion 61 is filled so that the volume ratio is 100% with respect to the volume of the third recess 57.
  • the conductive elastic portion 61 may be formed such that its upper surface is above or below the upper surface of the cover layer 7. In such a case, the volume ratio of the conductive elastic portion 61 is, for example, 20% or more, preferably 50% or more, and, for example, 200% or less, preferably with respect to the volume of the third recess 57. 150% or less.
  • the volume ratio of the conductive elastic portion 61 is within the above range, even if the heights of the plurality of terminals 43 of the device under test 41 are not uniform, the inspection can be reliably performed. Moreover, since the electroconductive elastic part 61 can relieve
  • the cover layer 7 covers only a part of the upper surface of the flange 23.
  • the entire upper surface may be covered.
  • the inclined surface of the cover layer 7 is formed to be flush with the upper surface of the inclined surface 17 of the conductor portion 4 in the direction in which the inclined surface 17 of the conductor portion 4 extends.
  • the first opening 11 has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases toward the lower side.
  • the portion 11 may have a tapered shape in which the opening cross-sectional area decreases toward the lower side.
  • the first opening 11 is a cylinder having a uniform opening cross-sectional area in the vertical direction. You may have a shape.
  • the third opening 13 has a cylindrical shape having a uniform opening cross-sectional area in the vertical direction.
  • the same effects as those of the embodiment shown in FIG. 2 can be obtained.
  • the embodiment shown in FIG. 2 is preferable because of the ease of connection at the inspection probe 44 of the inspection device 42 and the terminal 43 of the device under inspection 41.
  • the anisotropic conductive portion 2 includes the first base layer 5.
  • the anisotropic conductive portion 2 includes the first base layer 5.
  • the base layer 5 may not be provided.
  • the insulating layer 3 includes only the second base layer 6 and the cover layer 7, and the lower surface of the second base layer 6 is exposed. Further, the insulating layer 3 does not include the first opening 11, and the second opening 12 and the third opening 13 form the through hole 16.
  • the anisotropic conductive part 2 does not have the second recess 34.
  • the lower surface of the central portion 21 is formed to be flush with the lower surface of the second base layer 6.
  • the lower surface of the central portion 21 is located below the lower surface of the second base layer 6. That is, the central portion 21 protrudes below the lower surface of the insulating layer 3. Further, a part of the lower surface of the inclined portion 22 is exposed from the second base layer 6.
  • the same effect as the embodiment shown in FIG. 2 can be obtained.
  • the embodiment shown in FIG. 2 can be cited from the viewpoint of suppressing conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropic conductive portions 2.
  • the anisotropic conductive sheet 1 shown in FIGS. 6 to 9 is also referred to the anisotropic conductive sheet 50 with a plating layer shown in FIG. 4 and the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic part shown in FIG. As described above, the plating layers 51 and 52 and the conductive elastic portion 61 can be provided.
  • Second Embodiment 1 Anisotropic Conductive Sheet
  • FIG. 10 an embodiment of the anisotropic conductive sheet of the second embodiment of the present invention will be described.
  • members similar to those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
  • the conductor portion 4 includes the central portion 21, the inclined portion 22, and the flange portion 23, but in the anisotropic conductive sheet 1 of the second embodiment, FIG. As shown in FIG. 4, the conductor portion 4 includes only the central portion 21 and the inclined portion 22 and may not include the flange portion 23.
  • the insulating layer 3 includes only the second base layer 6 and the cover layer 7 and does not include the first base layer 5.
  • the second base layer 6 is located at the lowermost part of the insulating layer 3 and has a second opening 12.
  • the second opening 12 has a circular shape in a bottom view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases as it goes upward in a side sectional view.
  • the second opening 12 communicates with the third inner opening 19 and the third outer opening 20 on the upper side.
  • the opening at the upper end of the second opening 12 coincides with the opening at the lower end of the third outer opening 20 (described later).
  • the cover layer 7 is located on the uppermost part of the insulating layer 3 and is arranged on the upper side of the second base layer 6. Specifically, the cover layer 7 is disposed on the upper surface of the second base layer 6 so that the lower surface of the cover layer 7 is continuous with the upper surface of the second base layer 6. The upper surface of the cover layer 7 is exposed.
  • the cover layer 7 has a third opening 13.
  • the third opening 13 includes a third inner opening 19 that defines the inner side of the third opening 13 and a third outer opening 20 that defines the outer side of the third inner opening 19.
  • the third inner opening 19 penetrates the cover layer 7 in the vertical direction.
  • the third inner opening 19 has a substantially circular shape in plan view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases toward the upper side in a side sectional view.
  • the third inner opening 19 communicates with the inner side of the second opening 12 on the lower side.
  • the third outer opening 20 has a substantially annular shape in plan view and a substantially triangular shape in side sectional view.
  • the third outer opening 20 communicates with the outer side of the second opening 12 on the lower side.
  • the first opening 11 and the third opening 13 communicate with each other in the vertical direction, and form a through hole 16 that penetrates the insulating layer 3 in the vertical direction.
  • the conductor portion 4 includes only the central portion 21 and the inclined portion 22 and does not include the flange portion 23.
  • the lower surface of the central portion 21 is located below the lower surface of the second base layer 6. That is, the central portion 21 protrudes below the lower surface of the second base layer 6. For this reason, the entire surface of the central portion 21 and a part (lower portion) of the lower surface of the inclined portion 22 are exposed from the second base layer 6.
  • the upper surface and outer peripheral side surface of the inclined portion 22 are covered with the cover layer 7, and the lower surface of the inclined portion 22 is covered with the second base layer 6. Specifically, the entire upper surface of the inclined portion 22 and the entire outer peripheral side surface of the inclined portion 22 are in contact with the cover layer 7, and a part of the lower surface (upper portion) of the inclined portion 22 is the second base layer 6. In contact with the inclined surface 17.
  • the inclined portion 22 is defined by the second base layer 6 and the cover layer 7, and is fitted to the third outer opening 20 and the second opening 12 that are recessed in the surface direction (particularly the oblique direction). That is, the inclined part 22 constitutes the fitting part 31, and the outer peripheral part of the third outer opening 20 and the second opening part 12 constitutes the fitted part 32 that fits the fitting part 31. ing.
  • anisotropic conductive sheet 1 of the second embodiment the same effects as the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment can be achieved.
  • the inclined portion 22 extending in the oblique direction constitutes the fitting portion 31, and is fitted into the fitted portion 32 (the third outer opening 20 and the second opening 12) that is recessed in the oblique direction.
  • the conductor part 4 is fixed to the insulating layer 3 more reliably. Therefore, the conductor 4 is not affected by any of the pressure from the upper side by the terminal 43 of the device under test 41, the pressure from the lower side by the terminal of the inspection device 42, and the stress in the surface direction by both terminals. It is firmly fixed and misalignment is unlikely to occur. As a result, it is possible to suppress the conductor portion 4 from dropping from the through hole 16. Therefore, durability is excellent.
  • the flange portion 23 is not provided, the length of the conductor portion 4 in the surface direction can be shortened. As a result, the pitch L8 between the conductor portions can be further miniaturized.
  • the anisotropic conductive sheet 1 can be thinned. Moreover, since it is excellent in flexibility and can easily follow the shape and warpage of the device under test 41, inspection at a lower pressure is possible, and as a result, durability is further improved.
  • the anisotropic conductive sheet 1 of the second embodiment includes plating layers 51 and 52 and conductive properties. At least one of the elastic portions 61 can be further provided.
  • the plating layers 51 and 52 and the conductive elastic portion 61 are the same as the plating layers 51 and 52 and the conductive elastic portion 61 shown in the first embodiment.
  • the anisotropic conductive sheet 50 with plating layer and the anisotropic conductive sheet 60 with elastic portion of the second embodiment are also different from the anisotropic conductive sheet 50 with plating layer and the elastic portion with elastic portion of the first embodiment.
  • the same effect as that of the directionally conductive sheet 60 can be obtained.
  • the cover layer 7 covers the entire upper surface of the inclined portion 22.
  • the cover layer 7 is a part of the upper surface of the inclined portion 22 ( Only the upper part may be covered. Also in this anisotropic conductive sheet 1, the same operational effects as the embodiment shown in FIG. 10 can be obtained.
  • the insulating layer 3 does not include the first base layer 5.
  • the insulating layer 3 is disposed on the lower surface of the second base layer 6.
  • One base layer 5 may be provided.
  • the first base layer 5 has a first opening 11.
  • the center part 21 and the 1st opening part 11 demarcate the 2nd recessed part 34.
  • the same effect as the embodiment shown in FIG. 2 can be obtained.
  • the embodiment shown in FIG. 10 is preferable.
  • the conductor portion 4 includes the central portion 21, the inclined portion 22, and the flange portion 23, but in the anisotropic conductive sheet 1 of the third embodiment, FIG. As shown in FIG. 3, the conductor portion 4 includes only the central portion 21 and the flange portion 23 and does not need to include the inclined portion 22.
  • the insulating layer 3 includes only the second base layer 6 and the cover layer 7 and does not include the first base layer 5.
  • the second base layer 6 is located at the lowermost part of the insulating layer 3. Specifically, the second base layer 6 is disposed on the lower surface of the cover layer 7 so that the upper surface of the second base layer 6 is continuous with the lower surface of the cover layer 7. The lower surface of the second base layer 6 is exposed.
  • the second base layer 6 has a second opening 12.
  • the second opening 12 has a substantially circular shape in a bottom view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases as it goes upward in a side sectional view.
  • the second opening 12 communicates with the third lower opening 14 on the upper side.
  • the opening at the upper end of the second opening 12 coincides with the opening at the lower end of the third lower opening 14.
  • the cover layer 7 is located on the uppermost part of the insulating layer 3 and is arranged on the upper side of the second base layer 6. Specifically, the cover layer 7 is disposed on the upper surface of the second base layer 6 so that the lower surface thereof is continuous with the upper surface of the second base layer 6. The upper surface of the cover layer 7 is exposed.
  • the cover layer 7 has a third opening 13.
  • the third opening 13 includes a third lower opening 14 that defines the lower side of the third opening 13 and a third upper opening 15 that defines the upper side of the third opening 13.
  • the third lower opening 14 has a substantially circular shape in a plan view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area becomes smaller toward the upper side in a side sectional view.
  • the third lower opening 14 communicates with the second opening 12 on the lower side, and communicates with the third upper opening 15 on the upper side.
  • the opening at the lower end of the third lower opening 14 coincides with the opening at the upper end of the second opening 12.
  • the third upper opening 15 has a substantially circular shape in plan view, and has a tapered shape in which the opening cross-sectional area increases toward the upper side in a side sectional view.
  • the third upper opening 15 communicates with the third lower opening 14 on the lower side.
  • the opening at the lower end of the third upper opening 15 is narrower than the opening at the upper end of the third lower opening 14, and when projected in the vertical direction, the third upper opening 15 becomes the third lower opening 14.
  • the first opening 11, the second opening 12, and the third opening 13 are in communication with each other in the vertical direction, and form a through hole 16 that penetrates the insulating layer 3 in the vertical direction.
  • the conductor portion 4 includes a central portion 21 and a flange portion 23.
  • the central portion 21 is disposed inside the second opening 12 and the third lower opening 14. A part of the upper surface (center portion) of the center portion 21 is exposed from the cover layer 7. The entire lower surface of the central portion 21 is exposed from the second base layer 6 and is formed to be flush with the lower surface of the second base layer 6.
  • the collar portion 23 is formed so as to extend in the surface direction from the outer peripheral edge of the central portion 21.
  • the flange portion 23 has a substantially annular shape in a plan view, and has a substantially triangular shape in which an opening cross-sectional area becomes smaller toward the outside in a side sectional view.
  • the upper surface (inclined surface) of the flange 23 is covered with the cover layer 7, and the lower surface (inclined surface) of the flange 23 is covered with the second base layer 6. Specifically, the entire upper surface of the flange portion 23 is in contact with the cover layer 7, and the entire lower surface of the flange portion 23 is in contact with the inclined surface 17 of the second base layer 6. For this reason, the flange 23 is defined by the second base layer 6 and the cover layer 7 and is fitted to the outer peripheral portions of the second opening 12 and the third lower opening 14 that are recessed in the surface direction. That is, the flange portion 23 constitutes the fitting portion 31, and the outer peripheral portions of the second opening portion 12 and the third lower opening portion 14 constitute the fitted portion 32 that fits the fitting portion 31. Yes.
  • the upper surface of the central portion 21 and the peripheral side surface of the third upper opening 15 define the first recess 33.
  • anisotropic conductive sheet 1 of the third embodiment the same effects as the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment can be achieved.
  • the conductor portion 4 is disposed in the second opening 12 and the third lower opening 14, the thickness can be increased. Therefore, the durability is further improved. Further, the anisotropic conductive sheet 1 is difficult to bend in the vertical direction with respect to the pressure from the terminal 43 of the device under test 41, and the anisotropic conductive portion 2 can be evenly contacted with the plurality of terminals 43.
  • anisotropic Conductive Sheet with Plating Layer The anisotropic conductive sheet 1 of the third embodiment can further include plating layers 51 and 52 as shown in FIG.
  • the first inner plating layer 53 is formed so as to completely fill the first recess 33. Specifically, the first inner plating layer 53 is formed so as to protrude above the upper surface of the cover layer 7.
  • anisotropic conductive sheet 50 with a plating layer of the third embodiment the same effects as the anisotropic conductive sheet 10 with a plating layer of the first embodiment can be achieved.
  • the first inner plating layer 53 and, consequently, the first plating layer 51 are formed to be thick. Therefore, the conductor part 4 can be more reliably protected by the first plating layer 51, and oxidation of the conductor part 4 can be further suppressed.
  • the anisotropic conductive sheet 1 with a plating layer according to the third embodiment is obtained from the anisotropic conductive sheet 1 having the first recess 33, the thickness of the first inner plating layer 53, and hence the first plating layer. Even if the thickness of 51 is increased, the first inner plating layer 53 does not easily flow out to the entire upper surface of the cover layer 7. Therefore, it is possible to more reliably protect the conductor portion 4 while suppressing conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropic conductive portions 2.
  • the conductor portion 4 is integrally provided with the central portion 21, the inclined portion 22 and the flange portion 23, but the anisotropic conductive member of the fourth embodiment.
  • the conductor portion 4 can integrally include a central portion 21, an inclined portion 22, a flange portion 23, and a filling portion 24 as shown in FIG. 15.
  • the filling portion 24 is disposed inside the second opening 12 and the third lower opening 14.
  • the filling portion 24 has a substantially truncated cone shape as indicated by a broken line in FIG.
  • the filling portion 24 is integrally continuous with the central portion 21 and the inclined portion 22 such that the lower surface thereof is continuous with the central portion 21 and the inclined portion 22.
  • the upper surface of the filling portion 24 is formed so as to be flush with the upper surface of the flange portion 23. That is, the upper surface of the conductor part 4 is a flat surface.
  • the peripheral side surfaces of the filling portion 24 and the inclined portion 22 define the first concave portion 33.
  • the anisotropic conductive sheet 10 of 4th Embodiment can also have the same effect as the anisotropic conductive sheet 10 of 1st Embodiment.
  • the anisotropic conductive sheet 50 with a plating layer and the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic part using the anisotropic conductive sheet 1 are the same as in the first to third embodiments. Further, the above-described modifications of the first to third embodiments can be similarly applied to the fourth embodiment.
  • the conductor portion 4 is integrally provided with a central portion 21, an inclined portion 22 and a flange portion 23, and the insulating layer 3 includes the second base layer 6 and the cover layer 7.
  • the conductor portion 4 is integrally provided with only the central portion 21 and the flange portion 23, and the insulating layer 3 is a cover. Only layer 7 can be provided.
  • the insulating layer 3 includes only the cover layer 7 and does not include the first base layer 5 and the second base layer 6.
  • the cover layer 7 has a third lower opening 14 and a third upper opening 15.
  • the flange part 23 is formed so as to extend radially outward from the peripheral edge of the central part 21.
  • the flange 23 has a substantially annular shape in plan view and a substantially rectangular shape in side sectional view.
  • the upper surface and the lower surface of the flange portion 23 are formed so as to be flush with the upper surface and the lower surface of the central portion 21, respectively.
  • the upper surface and peripheral side surface of the flange 23 are covered with the cover layer 7. Specifically, the entire upper surface and the entire outer peripheral side surface of the flange 23 are in contact with the cover layer 7. For this reason, the collar part 23 is defined by the cover layer 7 and is fitted to the outer peripheral part of the third lower opening 14 that is recessed in the surface direction. That is, the flange portion 23 constitutes the fitting portion 31, and the outer peripheral portion of the third lower opening portion 14 constitutes the fitted portion 32 into which the fitting portion 31 is fitted. Note that the lower surface of the flange 23 (the fitting portion 31) is exposed from the insulating layer 3.
  • the upper surface of the central portion 21 and the peripheral side surface of the third upper opening 15 define the first recess 33.
  • anisotropic conductive sheet 1 of the fifth embodiment the same effects as the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment can be achieved.
  • the first to fourth embodiments in which the insulating layer 3 includes the second base layer 6 and the lower surface of the fitting portion 31 is covered with the second base layer 6 can be mentioned.
  • any of pressurization from the upper side by the terminal 43 of the device under test 41, pressurization from the lower side by the terminal of the inspection device 42, and stress in the surface direction by both terminals can be suppressed.
  • the displacement of the conductor portion 4 in the through hole 16 can be suppressed even when pressure is applied from above. As a result, it is possible to effectively prevent the conductor portion 4 from dropping from the through hole 16, and the durability is excellent.
  • the anisotropic conductive sheet 50 with a plating layer and the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic part using the anisotropic conductive sheet 1 are the same as in the first to third embodiments. Further, the above-described modifications of the first to third embodiments can be similarly applied to the fifth embodiment.
  • the conductor portion 4 is integrally provided with the central portion 21 and the flange portion 23, but in the anisotropic conductive sheet 1 of the sixth embodiment, FIG. As shown, the conductor part 4 can also comprise only the central part 21.
  • the cover layer 7 has a third opening 13.
  • the third opening 13 has a cylindrical shape with a uniform opening cross-sectional area in the vertical direction.
  • the outer peripheral side surface of the central portion 21 is in contact with the peripheral side surface of the third opening 13 (through hole 16). For this reason, the anisotropic conductive sheet 1 of 6th Embodiment is not provided with the fitting part and the to-be-fitted part.
  • the upper surface of the central portion 21 and the peripheral side surface of the third opening 13 define the first recess 33.
  • anisotropic conductive sheet 1 of the sixth embodiment the same effects as the anisotropic conductive sheet 1 of the first to fifth embodiments can be obtained.
  • the first to fifth embodiments in which the conductor portion 4 has a fitting portion 31 and the insulating layer 3 has a fitting portion 32 can be mentioned.
  • the first to fifth embodiments even when pressure is applied from below by the inspection probe 44 of the inspection device 42, it is possible to suppress the positional displacement of the conductor portion 4 in the through hole 16 upward. As a result, it is possible to suppress the conductor portion 4 from dropping from the through hole 16, and the durability is excellent.
  • the anisotropic conductive sheet 50 with a plating layer and the anisotropic conductive sheet 60 with an elastic part using the anisotropic conductive sheet 1 are the same as in the first to third embodiments. Further, the above-described modifications of the first to third embodiments can be similarly applied to the sixth embodiment.
  • the anisotropic conductive film of the present invention can be applied to various industrial products, and is suitably used for, for example, continuity inspection for semiconductor elements and circuit boards.

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Abstract

異方導電性シートは、被検査装置および検査装置を互いに電気的に接続するための異方導電性シートであって、厚み方向に貫通する貫通孔を有する絶縁層と、貫通孔に配置される導体部とを有する異方導電部を備え、導体部の厚み方向一方面および貫通孔の周側面が、第１凹部を区画する。

Description

異方導電性シート
　本発明は、異方導電性シート、詳しくは、被検査装置と検査装置とを互いに電気的に接続するために用いられる異方導電性シートに関する。
　従来より、半導体素子を回路基板に実装する前に、半導体素子や回路基板のそれぞれに対して、正常に機能するか否かの機能検査（導通検査）が実施されている。機能検査では、半導体素子または回路基板などの被検査装置の端子を、プローブテスターなどの検査装置に電気的に接続させる必要があり、そのために、異方導電性シート（コネクター）が用いられている。具体的には、異方導電性シートを被検査装置および検査装置で挟み、異方導電性シートの一方側の接続部を被検査装置の端子に接触させ、他方側の接続部を検査装置のプローブ端子に接触させることにより、これらを電気的に確実に接続している。
　このような異方導電性シートとして、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の複合導電性シートは、複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、貫通孔のそれぞれに充填され、さらに絶縁性シートの両面のそれぞれから突出するように配置された剛性導体とを有している。
特開２００７－２２０５３４号公報
　ところで、複合導電性シートでは、剛性導体を保護するために、剛性導体の表面にめっき層を設けたり、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部（クッション部）を設けたりすることが検討される。
　しかしながら、特許文献１に記載の複合導電性シートでは、剛性導体がシート表面から突出しているため、めっき層や導電性弾性部を形成すると、隣接する剛性導体の間（凹み部分）にめっき層や導電性弾性部が付着しやすい。その結果、隣接する剛性導体同士が、めっき層や導電性弾性部を介して、導通（短絡）しやすい不具合が生じる。
　本発明は、隣接する異方導電部の導通を抑制できる異方導電性シートを提供することにある。
　本発明［１］は、被検査装置および検査装置を互いに電気的に接続するための異方導電性シートであって、厚み方向に貫通する貫通孔を有する絶縁層と、前記貫通孔に配置される導体部とを有する異方導電部を備え、前記導体部の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第１凹部を区画する、異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、導体部の厚み方向一方面および貫通孔の周側面が第１凹部を区画するため、異方導電部の厚み方向一方面にめっき層や導電性弾性部を配置する際に、めっき層や導電性弾性部を第１凹部内に収容することができる。したがって、めっき層などが絶縁層の厚み方向一方面に付着されにくく、その結果、隣接する異方導電部の導体部同士が導通することを抑制することができる。
　本発明［２］は、前記絶縁層は、前記貫通孔において厚み方向に直交する面方向に凹む被嵌合部を有し、前記導体部は、前記被嵌合部に嵌合する嵌合部を有する、［１］に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、導体部は、絶縁層に嵌合しているため、導体部が、嵌合部によって絶縁層に固定されている。したがって、被検査装置の検査時において、被検査装置および検査装置によって導体部が厚み方向両側から内側に向かって加圧されたとしても、導体部の脱落を抑制することができる。その結果、耐久性が優れる。
　本発明［３］は、前記導体部は、厚み方向および面方向の両方に交差する交差方向に延びる傾斜部を備える、［２］に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、導体部は、傾斜しているため、より確実に第１凹部を形成することができる。
　本発明［４］は、前記導体部は、前記傾斜部の面方向端縁から面方向に延びる端部をさらに備える、［３］に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、導体部が、傾斜部から延びる端部を絶縁層の被嵌合部に嵌合させることができるため、導体部は、より一層強固に絶縁層に固定することができる。その結果、導体部の脱落をより確実に抑制することができる。したがって、耐久性がより一層優れる。
　本発明［５］は、前記第１凹部は、厚み方向一方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有する、［１］～［４］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、被検査装置の検査時において、被検査装置の端子を厚み方向一方側から導体部に容易に電気的に接続させることができる。
　本発明［６］は、前記導体部の厚み方向他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面よりも厚み方向一方側に位置し、前記導体部の厚み方向他方面および前記貫通孔の周側面が、第２凹部を区画する、［１］～［５］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、導体部の厚み方向他方面および貫通孔の周側面が第２凹部を区画するため、導電部の厚み方向他方面にめっき層や導電性弾性部を配置する際に、めっき層や導電性弾性部を第２凹部内に収容することができる。したがって、めっき層などが絶縁層の厚み方向他方面に付着されにくく、その結果、隣接する異方導電部の導体部同士が導通することを抑制することができる。
　本発明［７］は、前記第２凹部は、厚み方向他方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有する、［６］に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、被検査装置の検査時において、検査装置の端子を厚み方向他方側から導体部に容易に電気的に接続させることができる。
　本発明［８］は、前記異方導電部は、前記導体部の厚み方向一方面および厚み方向他方面に、めっき層をさらに備える、［１］～［７］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、導体部の酸化を抑制できるため、耐久性が優れる。
　本発明［９］は、前記導体部の厚み方向一方側に配置され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部をさらに備える、［１］～［８］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、第１凹部に導電性弾性部が充填されているため、被検査装置の複数の端子の高さなどに、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置を異方導電性シートに押圧する際に、これらの端子の高さに応じて、導電性弾性部が圧縮または変形することができる。その結果、複数の端子の高さが不均一である場合、確実に検査することができる。
　また、導電性弾性部が、被検査装置からの過度の圧力を吸収するとともに、導体部と被検査装置との直接的な接触を回避する。したがって、耐久性が優れる。
　本発明［１２］は、前記めっき層の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第３凹部を区画し、前記導電性弾性部の体積割合は、前記第３凹部の体積に対して、２０％以上２００％以下である、［９］に記載の異方導電性シートを含んでいる。
　このような異方導電性シートによれば、被検査装置などが備える複数の端子の高さが不均一である場合であっても、より一層確実に検査することができる。また、導電性弾性部が、異方導電部への圧力や衝撃を確実に和らげることができるため、耐久性がより一層優れる。
　本発明の異方導電性シートによれば、隣接する異方導電部の導通を抑制することができる。
図１は、本発明の異方導電性シートの第１実施形態の一実施形態の平面図を示す。 図２は、図１のＡ－Ａ線における部分拡大側断面図を示す。 図３は、図１に示す異方導電性シートを使用する際の側断面図を示す。 図４は、図１に示す異方導電性シートを用いためっき層付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図５は、図１に示す異方導電性シートを用いた導電性弾性部付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図６は、図１に示す異方導電性シートの変形例（カバー絶縁層が、鍔部の上面全面を被覆する形態）の側断面図を示す。 図７は、図１に示す異方導電性シートの変形例（第２凹部が、下側に向かうに従って縮径する形態）の側断面図を示す。 図８は、図１に示す異方導電性シートの変形例（第１ベース層を備えず、中央部の下面が第２ベース層の下面と面一である形態）の側断面図を示す。 図９は、図１に示す異方導電性シートの変形例（第１ベース層を備えず、中央部が下側に突出する形態）の側断面図を示す。 図１０は、本発明の異方導電性シートの第２実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１１は、図１０に示す異方導電性シートを用いためっき層付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図１２は、図１０に示す異方導電性シートを用いた弾性部付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図１３は、本発明の異方導電性シートの第３実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１４は、図１３に示す異方導電性シートを用いためっき層付き異方導電性シートの側断面図を示す。 図１５は、本発明の異方導電性シートの第４実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１６は、本発明の異方導電性シートの第５実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。 図１７は、本発明の異方導電性シートの第６実施形態の一実施形態の部分拡大側断面図を示す。
　図１において、紙面紙厚方向は、上下方向（厚み方向、第１方向）であって、紙面手前側が上側（厚み方向一方側、第１方向一方側）、紙面奥側が下側（厚み方向他方側、第１方向他方側）である。また、紙面左右方向は、左右方向（第１方向と直交する第２方向）であって、紙面左側が左側（第２方向一方側）、紙面右側が右側（第２方向他方側）である。また、紙面上下方向は、前後方向（第１方向および第２方向と直交する第３方向）であって、紙面下側が前側（第３方向一方側）、紙面上側が後側（第３方向他方側）である。具体的には、各図の方向矢印に準拠する。
　　＜第１実施形態＞
　１．異方導電性シート
　図１～図３を参照して、本発明の第１実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。
　図１に示すように、異方導電性シート１は、面方向（前後方向および左右方向）に延びる平面視略矩形の平板形状を有している。異方導電性シート１は、複数の異方導電部２を備えている。
　複数の異方導電部２は、異方導電性シート１の平面視略中央部に、前後方向および左右方向に整列するように隣接配置されている。具体的には、異方導電性シート１は、周端部を除いて、複数の異方導電部２のみから形成されている。すなわち、異方導電性シート１は、連続する複数の異方導電部２から形成されている。
　図２に示すように、複数の異方導電部２は、それぞれ、絶縁層３および導体部４を備えている。絶縁層３には、面方向に延びる被嵌合部３２を有する貫通孔１６が形成されており、また、導体部４は、貫通孔１６に配置されており、被嵌合部３２に嵌合している嵌合部３１を備えている。
　具体的には、絶縁層３は、ベース絶縁層と、第３絶縁部としてのカバー絶縁層（カバー層）７とを備えている。ベース絶縁層は、第１絶縁部としての第１ベース絶縁層(第１ベース層）５と、第２絶縁部としての第２ベース絶縁層（第２ベース層）６とを一体的に備えている。
　第１ベース層５は、絶縁層３の最下部に位置し、導体部４の中央部２１（後述）の下面（厚み方向他方面）よりも下側に配置されている。具体的には、第１ベース層５は、第１ベース層５の上面（厚み方向一方面）が第２ベース層６の下面と連続（接触）するように、第２ベース層６の下面に配置されている。第１ベース層５の下面は、露出している。
　第１ベース層５は、第１ベース層５を上下方向に貫通する第１開口部１１を有している。第１開口部１１は、底面視円形状を有し、側断面視において、下側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。すなわち、第１開口部１１は、下側に向かうに従って拡径する略円錐台形状を有している。第１開口部１１は、上側において第２開口部１２と連通している。
　第２ベース層６は、絶縁層３の上下方向中間に位置し、第１ベース層５の上側に配置されている。具体的には、第２ベース層６は、第２ベース層６の下面が第１ベース層５の上面と連続し、第２ベース層６の上面がカバー層７の下面と連続するように、第１ベース層５の上面およびカバー層７の下面に配置されている。
　第２ベース層６は、第２開口部１２（後述）を区画する傾斜面１７と、傾斜面１７の上端から第２開口部１２の外側に連続する上端面１８とを備えている。第２ベース層６は、導体部４の周側部の下面を被覆している。具体的には、第２ベース層６は、その傾斜面１７が傾斜部２２（後述）の下面全面と接触し、その上端面１８が鍔部２３（後述）の下面全面と接触するように、導体部４の下面を被覆している。
　第２ベース層６は、第２ベース層６を上下方向に貫通する第２開口部１２を有している。第２開口部１２は、底面視円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。すなわち、第２開口部１２は、上側に向かうに従って拡径する略円錐台形状を有している。第２開口部１２は、下側において第１開口部１１と連通し、上側において第３下側開口部１４と連通している。第２開口部１２の下端の開口は、第１開口部１１の下端の開口と一致する。
　カバー層７は、絶縁層３の最上部に位置し、第２ベース層６の上側に配置されている。具体的には、カバー層７は、カバー層７の下面が第２ベース層６の上面と連続するように、第２ベース層６の上面に配置されている。カバー層７は、導体部４の鍔部２３（後述）の下面よりも上側に配置されている。また、カバー層７の上面は、露出している。カバー層７は、側断面視鉤形状を有し、導体部４の周側面および上面（具体的には、鍔部２３の周側面全面および上面全面）を被覆している。
　カバー層７は、カバー層７を上下方向に貫通する第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、第３開口部１３の下側を区画する第３下側開口部１４と、第３開口部１３の上側を区画する第３上側開口部１５とを備えている。
　第３下側開口部１４は、平面視略円形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。すなわち、第３下側開口部１４は、略円柱状を有している。第３下側開口部１４は、下側において第２開口部１２と連通し、上側において第３上側開口部１５と連通している。第３下側開口部１４の下端の開口は、第２開口部１２の上端の開口よりも広く、上下方向に投影したときに、第３下側開口部１４は、第２開口部１２を含む。
　第３上側開口部１５は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。すなわち、第３上側開口部１５は、上側に向かうに従って拡径する略円錐台形状を有している。第３上側開口部１５は、下側において第３下側開口部１４と連通している。第３上側開口部１５の下端の開口は、第３下側開口部１４の上端の開口よりも狭く、上下方向に投影したときに、第３上側開口部１５は、第３下側開口部１４に含まれる。
　第１開口部１１、第２開口部１２および第３開口部１３は、上下方向に連通しており、絶縁層３を上下方向に貫通する貫通孔１６を構成する。
　第１ベース層５、第２ベース層６およびカバー層７は、それぞれ、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などの合成樹脂から形成され、好ましくは、ポリイミド樹脂から形成される。
　第１開口部１１の下端（貫通孔１６の下端）の開口の直径（面方向長さ）Ｌ１は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１２０μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
　第２開口部１２の下端（第１開口部１１の上端）の開口の直径Ｌ２（すなわち、中央部２１の直径）は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。Ｌ１のＬ２に対する比（Ｌ１／Ｌ２）は、例えば、１．０以上であり、また、例えば、２．０以下、好ましくは、１．５以下である。
　第３下側開口部１４の上端または下端の開口の直径Ｌ３（すなわち、導体部４全体の直径）は、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２１μｍ以上であり、また、例えば、１９０μｍ以下、好ましくは、７０μｍ以下である。
　第３上側開口部１５の下端の開口の直径Ｌ４は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
　第３上側開口部１５の上端（貫通孔１６の上端）の開口の直径Ｌ５は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。Ｌ５のＬ２に対する比（Ｌ５／Ｌ２）は、例えば、１．０以上であり、また、例えば、３．０以下、好ましくは、２．０以下である。
　第２ベース層６が鍔部２３の下面を被覆している面方向長さＬ６（すなわち、鍔部２３の面方向長さ）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、１５μｍ以下である。Ｌ６のＬ３に対する比（Ｌ６／Ｌ３）は、例えば、０．０６以上、好ましくは、０．１以上であり、また、例えば、０．３５以下、好ましくは、０．３０以下である。上記長さＬ６や比が上記範囲であれば、第１ベース層５が鍔部２３を下側から確実に固定できるため、より強固に導体部４を固定できる。
　カバー層７が鍔部２３（導体部４）の上面を被覆している径方向長さＬ７は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。上記長さＬ７が上記範囲であれば、第１ベース層５が鍔部２３を上側から確実に固定できるため、より強固に導体部４を固定できる。
　第１ベース層５の厚み（上下方向長さ）Ｔ１（すなわち、第１開口部１１の深さ）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、３０μｍ以下である。
　第２ベース層６の厚みＴ２（すなわち、第２開口部１２の深さ）は、例えば、２μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。
　カバー層７の厚みＴ３（すなわち、第３開口部１３の深さ）は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、６μｍ以上であり、また、例えば、４５μｍ以下、好ましくは、２８μｍ以下である。
　カバー層７の鍔部２３の上面における厚みＴ４（すなわち、第３上側開口部１５の深さ）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。
　絶縁層３の総厚みＴ５（すなわち、貫通孔１６の深さ）は、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、４０μｍ以下であり、また、例えば、１０μｍ以上である。絶縁層３の厚みが上記上限以下であれば、上下方向に可撓することが容易であるため、被検査装置４１の形状や反りに容易に追従できる。したがって、より低圧での検査が可能となる。
　導体部４は、貫通孔１６に配置されている。具体的には、導体部４は、第２開口部１２および第３開口部１３に充填されている。導体部４は、平面視略円形状を有している。導体部４は、導体部４の径方向（面方向中心）に配置される中央部２１と、中央部２１の径方向外側に配置される傾斜部２２と、傾斜部２２の径方向外側に配置される端部としての鍔部２３（フランジ部）とを一体的に備えている。
　中央部２１は、第２開口部１２の内部に配置されている。すなわち、中央部２１は、第２開口部１２に充填されている。中央部２１は、平面視略円形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。すなわち、中央部２１は、円板形状を有している。中央部２１の周端縁は、第１開口部１１の上端の開口と一致する。また、中央部２１の上面および下面は、絶縁層３（第２ベース層６）から露出している。
　傾斜部２２は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に配置されている。すなわち、傾斜部２２は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に充填されている。傾斜部２２は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。傾斜部２２は、その内端縁が中央部２１の周端縁（面方向端縁）と連続し、その外周端縁が鍔部２３の内周縁と連続するように、中央部２１および鍔部２３と一体的に連続している。傾斜部２２は、側断面視において、中央部２１の周端縁から、上下方向および径方向（面方向）の両方に交差する交差方向に延びるように形成されている。具体的には、傾斜部２２は、中央部２１の周端縁から、径方向外側に向かうに従って上側に傾斜する斜め方向に直線状に延びるように形成されている。
　傾斜部２２の内周縁は、第２開口部１２の下端の開口と一致し、傾斜部２２の外周縁は、第２開口部１２の上端の開口と一致する。傾斜部２２の上面は、露出し、傾斜部２２の下面は、第２ベース層６に被覆されている。
　鍔部２３は、第３下側開口部１４の内部に配置されている。すなわち、鍔部２３は、第３開口部１３の外周部に充填されている。鍔部２３は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。鍔部２３は、その内端縁が傾斜部２２の外周縁と連続するように、傾斜部２２と一体的に連続している。鍔部２３は、側断面視において、傾斜部２２の外周縁（面方向端縁）から、径方向（面方向）に延びるように形成されている。
　鍔部２３の内周縁は、第２開口部１２の上端の開口と一致し、鍔部２３の外周縁は、第３下側開口部１４の開口と一致する。
　鍔部２３の上面および外周側面は、カバー層７に被覆され、鍔部２３の下面は、第２ベース層６に被覆されている。具体的には、鍔部２３の上面の一部（外側部）、および、鍔部２３の外周側面の全部は、カバー層７と接触し、鍔部２３の下面全面は、第２ベース層６の全面と接触している。このため、鍔部２３は、第２ベース層６およびカバー層７によって区画され、面方向に凹む第３下側開口部１４の外周部に嵌合している。すなわち、鍔部２３は、嵌合部３１を構成し、第３下側開口部１４の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。
　中央部２１の厚みＴ６、および、鍔部２３の厚みＴ７は、それぞれ、例えば、２μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。
　中央部２１に対する傾斜部２２の傾斜角θ（すなわち、第２ベース層６における下面と傾斜面１７とがなす角）は、例えば、３０°以上、好ましくは、４５°以上であり、また、例えば、８０°以下、好ましくは、６５°以下である。
　異方導電部２では、導体部４の上面および貫通孔１６の周側面が、第１凹部３３を区画している。具体的には、中央部２１および傾斜部２２の上面、ならびに、第３上側開口部１５の周側面が、第１凹部３３を区画している。
　第１凹部３３は、異方導電部２の上面を下側に向かって凹むように形成されている。第１凹部３３は、その底面（中央部２１の上面）から上側に向かうに従って、開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。
　また、導体部４の下面は、第１ベース層５の下面よりも上側に位置しており、導体部４の下面および貫通孔１６の周側面が、第２凹部３４を区画している。具体的には、中央部２１の下面および第１開口部１１の周側面が、第２凹部３４を区画している。
　第２凹部３４は、異方導電部２の下面を上側に向かって凹むように形成されている。第２凹部３４は、その底面（中央部２１の下面）から下側に向かうに従って、開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。
　第１凹部３３の深さ（上下方向長さ）Ｄ１および第２凹部３４の深さＤ２は、それぞれ、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、４０μｍ以下、好ましくは、２５μｍ以下である。
　導体部４の材料としては、例えば、銅、銀、金、ニッケルまたはそれらを含む合金などの金属材料が挙げられ、好ましくは、銅が挙げられる。
　この異方導電性シート１は、例えば、ベース絶縁層を形成するベース絶縁層形成工程、導体部４を形成する導体部形成工程、カバー層７を形成するカバー層形成工程、および、第１開口部１１を形成する開口形成工程を順次実施することにより得られる。
　ベース絶縁層形成工程では、例えば、感光性のワニスを基材に塗布し、乾燥した後、第２開口部１２に対応する凹部を有するパターンで露光および現像する。その後、必要により、加熱硬化を実施し、基材を除去する。これにより、第１開口部１１を有しない第１ベース層５および第２開口部１２（凹部）を有する第２ベース層６を備えるベース絶縁層を得る。
　導体部形成工程では、例えば、アディティブ法、サブトラクティブ法などの公知の配線を形成するパターニング法により、ベース絶縁層の凹部およびその周辺に導体部４を形成する。
　カバー層形成工程では、例えば、感光性のワニスを第２ベース層６および導体部４の上面に塗布し、乾燥した後、第３開口部１３を有するパターンで露光および現像し。その後、必要により、加熱硬化させてからカバー層７を形成する。
　開口形成工程では、例えば、ベース絶縁層の下面（第１ベース層６）に対し、公知のエッチングなどにより、第１開口部１１を形成する。
　異方導電部２は、側断面図において、導体部４の中央部２１の径方向の中心点を上下方向に通過する軸（図２に示す仮想線）にして対称である。換言すると、異方導電部２は、側断面図において左右対称である。
　一の導体部４（中央部２１）の径方向中心点と、隣接する他の導体部４の径方向中心点との距離Ｌ８（導体部間ピッチ）は、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、４０μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、８０μｍ以下、より好ましくは、６０μｍ以下である。導体部間ピッチＬ８が上記範囲内であれば、導体部４同士の間隔が十分に狭いため、より微細化した被検査装置４１の検査が可能となる。
　異方導電性シート１の厚みＴ８、すなわち、異方導電部２の上端から下端までの上下方向長さは、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、４０μｍ以下であり、また、例えば、１０μｍ以上である。異方導電性シート１の厚みが上記上限以下であれば、上下方向に可撓することが容易であるため、被検査装置４１の形状や反りに容易に追従できる。したがって、より低圧での検査が可能となる。
　そして、この異方導電性シート１は、被検査装置４１および検査装置４２を互いに電気的に接続するために用いられる。
　具体的には、図３に示すように、複数の端子４３を備える被検査装置４１、および、複数の検査プローブ４４を備える検査装置４２を用意する。被検査装置４１としては、半導体素子、プリント回路基板などが挙げられる。検査装置４２としては、プローブテスター、プリント基板検査装置などの公知または市販の検査装置が挙げられる。
　次いで、被検査装置４１の端子４３を、導体部４の上面、すなわち、中央部２１の上面と接触させる一方、検査装置４２の検査プローブ４４を、導体部４の下面、すなわち、中央部２１の下面と接触させる。
　その後、検査装置４２の作動によって、被検査装置４１に対して導通検査などの機能検査を実施することができる。
　なお、異方導電性シート１は、被検査装置４１および検査装置４２を含まず、異方導電性シート１そのものが、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。また、この異方導電性シートは、後述するめっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０の一部品としても使用することができる。
　そして、この異方導電性シート１は、上下方向に貫通する貫通孔１６を有する絶縁層３と、貫通孔１６に配置される導体部４とを有する異方導電部２を備えており、導体部４の上面および貫通孔１６の周側面が、第１凹部３３を区画している。
　そのため、異方導電部２の上面にめっき層５１、５２（後述）や導電性弾性部６１（後述）を配置する際に、めっき層５１や導電性弾性部６１を第１凹部３３内に収容することができる。したがって、めっき層５１などがカバー層７の上面に付着されにくい。その結果、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制することができる。
　また、被検査装置４１の端子４３の先端が、目的とする接触点（第１凹部３３内の導体部）から僅かにずれた場合であっても、被検査装置４１の端子４３の先端を第１凹部３３内に誘導して取り込むことができる。よって、被検査装置４１の端子４３が導体部４に容易にかつ確実に接触することができ、導通信頼性が向上する。
　また、この異方導電性シート１は、導体部４（中央部２１、傾斜部２２、鍔部２３）を公知の微細配線などを形成するパターニング方法により形成することができるため、導体部間ピッチＬ８を狭くすることができる。よって、より微細な被検査装置４１を検査することができる。
　また、絶縁層３は、貫通孔１６において面方向に凹む被嵌合部３２（第３下側開口部１４の外周部）を有し、導体部４は、被嵌合部３２に嵌合する嵌合部３１（鍔部２３）を有している。
　そのため、導体部４が、鍔部２３および第３下側開口部１４の嵌合によって絶縁層３に固定されている。したがって、被検査装置４１の検査時において、導体部４が、被検査装置４１の端子４３および検査装置４２および検査プローブ４４によって上側や下側から加圧されたとしても、導体部４が貫通孔１６から脱落することを抑制できる。その結果、耐久性が優れる。
　また、導体部４は、中央部２１と、斜め方向（特に、径方向外側に向かうに従って上側に向かう方向）に延びる傾斜部２２を備えている。
　そのため、中央部２１を貫通孔１６の下方に配置することができ、より確実に異方導電部２に第１凹部３３を形成することができる。
　また、導体部４は、傾斜部２２の外周端縁から径方向外側に延びる鍔部２３をさらに備えている。
　そのため、鍔部２３を絶縁層３の被嵌合部３２に嵌合させることができる。これにより、鍔部２３の上面、下面および外周側面のそれぞれが、絶縁層３（第１ベース層５および第２ベース層６）に固定されている。したがって、被検査装置４１の端子４３による上側からの加圧、検査装置４２の検査プローブ４４による下側からの加圧、および、これらによる面方向への応力のいずれに対しても、導体部４が強固に固定され、位置ずれが生じにくい。その結果、導体部４の脱落をより確実に抑制することができる。したがって、耐久性がより一層優れる。
　また、第１凹部３３は、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。
　そのため、被検査装置４１の検査時において、被検査装置４１の端子４３を上側から中央部２１の上面に容易に電気的に接続させることができる。特に、被検査装置４１の端子４３の先端が、目的とする接触点（第１凹部３３内の導体部）から僅かにずれた場合であっても、被検査装置４１の端子４３の先端を第１凹部３３内に、よりスムーズに誘導して取り込むことができる。よって、導通信頼性がさらに向上する。
　また、導体部４の下面は、第１ベース層５の下面よりも上側に位置し、導体部４の下面および貫通孔１６の周側面が、第２凹部３４を区画している。
　そのため、導体部４の下面に第２めっき層５２や導電性弾性部６１を配置する際に、第２めっき層５２や導電性弾性部６１を第２凹部３４内に収容することができる。したがって、第２めっき層５２などが第１ベース層５の下面に付着されにくく、その結果、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制することができる。
　また、第２凹部３４は、下側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。
　そのため、被検査装置４１の検査時において、検査装置４２の検査プローブ４４を下側から中央部２１の下面に容易に電気的に接続させることができる。特に、検査装置４２の検査プローブ４４の先端が、目的とする接触点（第２凹部３４内の導体部）から僅かにずれた場合であっても、検査装置４２の検査プローブ４４の先端を第２凹部３４内に、よりスムーズに誘導して取り込むことができる。よって、導通信頼性がさらに向上する。
　２．めっき層付き異方導電性シート
　異方導電性シート１は、めっき層をさらに備えることができる。具体的には、図４に示すめっき層付き異方導電性シート５０は、導体部４の上面（厚み方向一方面）に配置される第１めっき層５１と、導体部４の下面（厚み方向他方面）に配置される第２めっき層５２をさらに備えている。
　第１めっき層５１は、導体部４の上面全面およびカバー層７の側面（傾斜面）の一部を被覆するように、導体部４の上面に配置されている。
　第１めっき層５１は、第１内側めっき層５３および第１外側めっき層５４を備えている。
　第１内側めっき層５３は、導体部４の上面全面およびカバー層７の側面の一部を被覆するように、導体部４の上面に配置されている。
　第１外側めっき層５４は、第１内側めっき層５３の上面全面を被覆するように、第１内側めっき層５３の上面に配置されている。
　第１めっき層５１の材料としては、例えば、金、銀、銅、ニッケルなどの金属材料が挙げられる。
　第１内側めっき層５３としては、好ましくは、ニッケルめっき層が挙げられ、第１外側めっき層としては、好ましくは、金めっき層が挙げられる。これにより、導電性がより一層優れるため、検査感度を向上させたり、導体部間ピッチＬ８を狭くすることができる。
　第２めっき層５２は、導体部４の下面全面および第１ベース層５の側面（傾斜面）の一部を被覆するように、導体部４の下面に配置されている。
　第２めっき層５２は、第２内側めっき層５５および第２外側めっき層５６を備えている。
　第２内側めっき層５５は、導体部４の下面全面および第１ベース層５の側面の一部を被覆するように、導体部４の下面に配置されている。
　第２外側めっき層５６は、第２内側めっき層５５の下面全面を被覆するように、第２内側めっき層５５の下面に配置されている。
　第２めっき層５２の材料としては、例えば、金、銀、銅、ニッケルなどの金属材料が挙げられる。
　第２内側めっき層５５としては、好ましくは、ニッケルめっき層が挙げられ、第２外側めっき層としては、好ましくは、金めっき層が挙げられる。これにより、導電性がより一層優れるため、検査感度を向上させたり、導体部間ピッチＬ８を狭くすることができる。
　各めっき層の厚み（５３、５４，５５、５６）は、それぞれ、例えば、０．０１μｍ以上、好ましくは、０．０５μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、１２μｍ以下、より好ましくは、８μｍ以下である。
　めっき層５１、５２を設ける方法としては、例えば、電解めっき法、無電解めっき法などの公知のめっき方法が挙げられる。
　第１めっき層５１の上面および貫通孔１６の周側面が、第３凹部５７を区画し、第２めっき層５２の下面および貫通孔１６の周側面が、第４凹部５８を区画する。具体的には、第１外側めっき層５４の上面および第３上側開口部１５の周側面が、第３凹部５７を区画し、第２外側めっき層５６の下面および第１開口部１１の周側面が、第４凹部５８を区画している。
　第３凹部５７の底面の直径Ｌ９および第４凹部５８の底面の直径Ｌ１０は、それぞれ、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、８０μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。
　第３凹部５７の深さＤ３および第４凹部５８の深さＤ４は、それぞれ、例えば、５μｍ以上、好ましくは、８μｍ以上であり、また、例えば、６０μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。
　めっき層付き異方導電性シート５９は、めっき層５１、５２を備えている。そのため、導体部４の酸化を抑制でき、耐久性がより一層優れる。
　３．弾性部付き異方導電性シート
　異方導電性シート１は、導電性弾性部６１をさらに備えることができる。具体的には、図５に示す弾性部付き異方導電性シート６０は、異方導電部２において、導体部４の上側に配置される導電性弾性部６１をさらに備えている。
　異方導電部２は、導体部４、めっき層（第１めっき層５１、第２めっき層５２）、および、導電性弾性部６１を備えている。
　導電性弾性部６１は、異方導電部２において、第３凹部５７内に配置されている。すなわち、導電性弾性部６１は、第３凹部５７内に充填されている。導電性弾性部６１の形状は、第３凹部５７の形状と一致しており、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って平断面積が大きくなるテーパ形状を有している。
　導電性弾性部６１の上面は、カバー層７の上面と面一となるように、形成されている。
　導電性弾性部６１は、導電性粒子６２および樹脂を含有する導電性樹脂組成物から形成されている。
　導電性粒子６２の材料としては、例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、銀、銅、パラジウム、ロジウムおよびこれらの合金などの金属などが挙げられる。
　導電性粒子６２は、上記金属である金属粒子であってもよい。また、導電性粒子は、例えば、コア材としての非導電性粒子（ポリマー粒子、ガラスビーズなど）と、そのコア材表面に上記金属であるシェル部とを備えるコアシェル型粒子であってもよい。
　導電性粒子６２の平均粒子径は、例えば、１μｍ以上、１０μｍ以下である。
　樹脂としては、例えば、ゴムなどの弾性材料、絶縁層３を形成する樹脂などが挙げられ、好ましくは、ゴムが挙げられる。
　ゴムとしては、例えば、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、クロロプレンゴム、スチレン－ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル－ブタジエン共重合体ゴム、スチレン－ブタジエン－ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン－イソプレンブロック共重合体などの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、例えば、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン－プロピレン共重合体ゴム、エチレン－プロピレン－ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。
　導電性弾性部６１の硬度は、例えば、３０Ｈｓ以上、好ましくは、４０Ｈｓ以上であり、また、例えば、７０Ｈｓ以下、好ましくは、６０Ｈｓ以下である。導電性弾性部６１の硬度を上記範囲内とすることにより、複数の端子４３に対応して導電性弾性部６１がより一層柔軟に変形することができる。硬度は、例えば、ＪＩＳ　Ｋ　６２５３に記載の方法により測定することができる。
　弾性部付き異方導電性シート６０は、例えば、異方導電性シート１の上面全面に、導電性粒子６２および樹脂を含有する組成物を塗布し、次いで、スキージで異方導電性シート１の上面をこすり、組成物を第３凹部５７に移動させることによって、製造することができる。具体的には、特開２０１５－２６５８４号公報に記載の製造方法を参照することができる。
　弾性部付き異方導電性シート６０は、第３凹部５７内に導電性弾性部６１を備えている。そのため、被検査装置４１の複数の端子４３の高さに、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置４１を弾性部付き異方導電性シート６０に押圧する際に、これらの端子４３の個々の高さに応じて、導電性弾性部６１が下側に圧縮することができる。特に、導電性弾性部６１は、その厚みに応じて圧縮され、例えば、数μｍの厚みを圧縮することができる。その結果、複数の端子４３の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。
　また、導電性弾性部６１が、被検査装置４１からの圧力を吸収するとともに、導体部４と端子４３との直接的な接触を回避する。そのため、耐久性がより一層優れる。
　なお、図５に示す実施形態では、導電性弾性部６１は、その上面が、カバー層７の上面と面一となるように、形成されている。すなわち、導電性弾性部６１は、その体積割合が、第３凹部５７の体積に対して、１００％となるように充填されている。しかし、例えば、図示しないが、導電性弾性部６１は、その上面が、カバー層７の上面よりも上側または下側となるように、形成されていてもよい。そのような場合、導電性弾性部６１の体積割合は、第３凹部５７の体積に対して、例えば、２０％以上、好ましくは、５０％以上であり、また、例えば、２００％以下、好ましくは、１５０％以下である。
　導電性弾性部６１の体積割合が上記範囲内であれば、被検査装置４１の複数の端子４３の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。また、導電性弾性部６１が、異方導電部２への圧力や衝撃を確実に和らげることができるため、耐久性がより一層優れる。
　４．変形例
　図６～図９を参照して、第１実施形態の異方導電性シート１の変形例について説明する。なお、変形例において、上記した図２などに示す実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。
　（１）図２に示す実施形態では、カバー層７が、鍔部２３の上面の一部のみを被覆しているが、例えば、図６に示すように、カバー層７が、鍔部２３の上面全面を被覆していてもよい。
　図６に示す実施形態では、カバー層７の傾斜面は、導体部４の傾斜面１７の上面と、導体部４の傾斜面１７が延びる方向において、面一となるように形成されている。
　図６に示す異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
　（２）図２に示す実施形態では、第１開口部１１が、下側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有しているが、例えば、図７に示すように、第１開口部１１は、下側に向かうに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状を有していてもよく、また、図示しないが、第１開口部１１は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有していてもよい。
　さらに、図７に示す実施形態では、第３開口部１３は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有している。
　図７に示す異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。好ましくは、検査装置４２の検査プローブ４４や被検査装置４１の端子４３における接続容易性から、図２に示す実施形態が挙げられる。
　（３）図２に示す実施形態では、異方導電部２は、第１ベース層５を備えているが、例えば、図８および図９に示すように、異方導電部２は、第１ベース層５を備えなくてもよい。
　図８および図９に示す実施形態では、絶縁層３は、第２ベース層６およびカバー層７のみを備えており、第２ベース層６の下面は、露出している。また、絶縁層３は、第１開口部１１を備えず、第２開口部１２および第３開口部１３が貫通孔１６を構成している。異方導電部２は、第２凹部３４を有しない。
　図８に示す実施形態では、中央部２１の下面は、第２ベース層６の下面と面一となるに形成されている。
　図９に示す実施形態では、中央部２１の下面は、第２ベース層６の下面よりも下側に位置している。すなわち、中央部２１は、絶縁層３の下面よりも下側に突出している。また、傾斜部２２の下面の一部は、第２ベース層６から露出している。
　図８および図９に示す異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。好ましくは、第２めっき層５２などを配置する際に、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制できる観点から、図２に示す実施形態が挙げられる。
　（４）図６～図９に示す異方導電性シート１についても、図４に示すめっき層付き異方導電性シート５０および図５に示す弾性部付き異方導電性シート６０に参照されるように、めっき層５１、５２および導電性弾性部６１を備えることができる。
　（５）図２～図９において、第１ベース層５、第２ベース層６およびカバー層７が、互いに同種の材料（例えば、ポリイミド樹脂）から形成される場合、第１ベース層５と第２ベース層６との境界、および、第２ベース層６とカバー層７との境界（各図面における絶縁層３内の破線）は存在せず、第１ベース層５、第２ベース層６およびカバー層７は一体的に形成される。なお、これは、後述する図１０～図１５に示す実施形態およびその変形例についても同様である。
　＜第２実施形態＞
　１．異方導電性シート
　図１０を参照して、本発明における第２実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第２実施形態において、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
　第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を備えているが、第２実施形態の異方導電性シート１では、図１０に示すように、導体部４は、中央部２１および傾斜部２２のみを備えており、鍔部２３を備えていなくてもよい。
　また、第２実施形態の異方導電性シート１では、絶縁層３は、第２ベース層６およびカバー層７のみを備えており、第１ベース層５を備えていない。
　第２ベース層６は、絶縁層３の最下部に位置し、第２開口部１２を有している。第２開口部１２は、底面視円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第２開口部１２は、上側において、第３内側開口部１９および第３外側開口部２０およびと連通している。第２開口部１２の上端の開口は、第３外側開口部２０（後述）の下端の開口と一致する。
　カバー層７は、絶縁層３の最上部に位置し、第２ベース層６の上側に配置されている。具体的には、カバー層７は、カバー層７の下面が第２ベース層６の上面と連続するように、第２ベース層６の上面に配置されている。カバー層７の上面は、露出している。
　カバー層７は、第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、第３開口部１３の内側を区画する第３内側開口部１９と、第３内側開口部１９の外側を区画する第３外側開口部２０とを備えている。
　第３内側開口部１９は、カバー層７を上下方向に貫通している。第３内側開口部１９は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第３内側開口部１９は、下側において、第２開口部１２の内側と連通している。
　第３外側開口部２０は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略三角形状を有している。
第３外側開口部２０は、下側において第２開口部１２の外側と連通している。
　第１開口部１１および第３開口部１３は、上下方向に互いに連通しており、絶縁層３を上下方向に貫通する貫通孔１６を構成する。
　導体部４は、中央部２１および傾斜部２２のみを備えており、鍔部２３を備えていない。
　中央部２１の下面は、第２ベース層６の下面よりも、下側に位置している。すなわち、中央部２１は、第２ベース層６の下面よりも下側に突出している。このため、中央部２１の全面および傾斜部２２の下面の一部（下部）は、第２ベース層６から露出している。
　傾斜部２２の上面および外周側面は、カバー層７に被覆され、傾斜部２２の下面は、第２ベース層６に被覆されている。具体的には、傾斜部２２の上面の全面、および、傾斜部２２の外周側面の全面は、カバー層７と接触し、傾斜部２２の下面の一部（上部）は、第２ベース層６の傾斜面１７と接触している。このため、傾斜部２２は、第２ベース層６およびカバー層７によって区画され、面方向（特に斜め方向）に凹む第３外側開口部２０および第２開口部１２に嵌合している。すなわち、傾斜部２２は、嵌合部３１を構成し、第３外側開口部２０、および、第２開口部１２の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。
　第２実施形態の異方導電性シート１においても、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。
　特に、第２実施形態では、斜め方向に延びる傾斜部２２が嵌合部３１を構成し、斜め方向に凹む被嵌合部３２（第３外側開口部２０および第２開口部１２）に嵌合されている。
そのため、導体部４は、より確実に絶縁層３に固定されている。したがって、被検査装置４１の端子４３による上側からの加圧、検査装置４２の端子による下側からの加圧、および、両端子による面方向への応力のいずれに対しても、導体部４が強固に固定され、位置ずれが生じにくい。その結果、導体部４が貫通孔１６から脱落することを抑制することができる。したがって、耐久性が優れる。
　また、鍔部２３を備えていないため、導体部４の面方向長さを短縮できる。その結果、導体部間ピッチＬ８をより微細化することができる。
　また、第１ベース層５を備えていないため、異方導電性シート１の薄膜化を図ることができる。また、可撓性に優れ、被検査装置４１の形状や反りに容易に追従できるため、より低圧での検査が可能となり、その結果、耐久性がさらに優れる。
　２．めっき層付き異方導電性シート、および、弾性部付き異方導電性シート
　第２実施形態の異方導電性シート１は、図１１および図１２に示すように、めっき層５１、５２および導電性弾性部６１の少なくとも一方をさらに備えることができる。めっき層５１、５２および導電性弾性部６１は、第１実施形態に示すめっき層５１、５２および導電性弾性部６１と同様である。
　第２実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０、および、弾性部付き異方導電性シート６０についても、第１実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０、および、弾性部付き異方導電性シート６０と同様の作用効果を奏することができる。
　３．変形例
　第２実施形態の異方導電性シート１の変形例について説明する。なお、変形例において、上記した図２などに示す実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。
　（１）図１０に示す実施形態では、カバー層７は、傾斜部２２の上面の全部を被覆しているが、例えば、図示しないが、カバー層７は、傾斜部２２の上面の一部（上部）のみを被覆してもよい。この異方導電性シート１においても、図１０に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
　（２）図１０に示す実施形態では、絶縁層３は、第１ベース層５を備えていないが、例えば、図示しないが、絶縁層３は、第２ベース層６の下面に配置される第１ベース層５を備えていてもよい。
　第１ベース層５は、第１開口部１１を有している。これにより、中央部２１および第１開口部１１が、第２凹部３４を区画する。第１開口部１１は、図２および図７に参照されるように、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるまたは小さくなるテーパ形状を有してもよく、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有していてもよい。
　この異方導電性シート１においても、図２に示す実施形態と同様の作用効果を奏することができる。薄膜化および低圧での検査の観点からは、好ましくは、図１０に示す実施形態が挙げられる。
　＜第３実施形態＞
　１．異方導電性シート
　図１３を参照して、本発明における第３実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第３実施形態において、上記した第１～２実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
　第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を備えているが、第３実施形態の異方導電性シート１では、図１３に示すように、導体部４は、中央部２１および鍔部２３のみを備えており、傾斜部２２を備えなくてもよい。
　また、第３実施形態では、絶縁層３は、第２ベース層６およびカバー層７のみを備えており、第１ベース層５を備えていない。
　第２ベース層６は、絶縁層３の最下部に位置している。具体的には、第２ベース層６は、第２ベース層６の上面がカバー層７の下面と連続するように、カバー層７の下面に配置されている。第２ベース層６の下面は、露出している。
　第２ベース層６は、第２開口部１２を有している。第２開口部１２は、底面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第２開口部１２は、上側において、第３下側開口部１４と連通している。第２開口部１２の上端の開口は、第３下側開口部１４の下端の開口と一致する。
　カバー層７は、絶縁層３の最上部に位置し、第２ベース層６の上側に配置されている。具体的には、カバー層７は、その下面が第２ベース層６の上面と連続するように、第２ベース層６の上面に配置されている。カバー層７の上面は、露出している。
　カバー層７は、第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、第３開口部１３の下側を区画する第３下側開口部１４と、第３開口部１３の上側を区画する第３上側開口部１５とを備えている。
　第３下側開口部１４は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状を有している。第３下側開口部１４は、下側において第２開口部１２と連通し、上側において第３上側開口部１５と連通している。第３下側開口部１４の下端の開口は、第２開口部１２の上端の開口と一致する。
　第３上側開口部１５は、平面視略円形状を有し、側断面視において、上側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有している。第３上側開口部１５は、下側において第３下側開口部１４と連通している。第３上側開口部１５の下端の開口は、第３下側開口部１４の上端の開口よりも狭く、上下方向に投影したときに、第３上側開口部１５は、第３下側開口部１４に含まれる。
　第１開口部１１、第２開口部１２および第３開口部１３は、上下方向に互いに連通しており、絶縁層３を上下方向に貫通する貫通孔１６を構成する。
　導体部４は、中央部２１および鍔部２３を備えている。
　中央部２１は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に配置されている。中央部２１の上面の一部（中央部）は、カバー層７から露出している。中央部２１の下面全面は、第２ベース層６から露出しており、第２ベース層６の下面と面一となるように形成されている。
　鍔部２３は、中央部２１の外周端縁から面方向に延びるように形成されている。鍔部２３は、平面視略円環形状を有し、かつ、側断面視において、外側に向かうに従って開口断面積が小さくなる略三角形状を有している。
　鍔部２３の上面（傾斜面）は、カバー層７に被覆され、鍔部２３の下面（傾斜面）は、第２ベース層６に被覆されている。具体的には、鍔部２３の上面全面は、カバー層７と接触し、鍔部２３の下面全面は、第２ベース層６の傾斜面１７と接触している。このため、鍔部２３は、第２ベース層６およびカバー層７によって区画され、面方向に凹む第２開口部１２および第３下側開口部１４の外周部に嵌合している。すなわち、鍔部２３は、嵌合部３１を構成し、第２開口部１２および第３下側開口部１４の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。
　異方導電部２では、中央部２１の上面および第３上側開口部１５の周側面が、第１凹部３３を区画している。
　第３実施形態の異方導電性シート１においても、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。
　特に、第３実施形態では、導体部４が、第２開口部１２および第３下側開口部１４に配置されているため、その厚みを厚くすることができる。そのため、耐久性がより一層優れる。また、被検査装置４１の端子４３からの押圧に対して、異方導電性シート１が上下方向に撓みにくく、複数の端子４３に対して均等に異方導電部２が接触することができる。
　２．めっき層付き異方導電性シート
　第３実施形態の異方導電性シート１は、図１４に示すように、めっき層５１，５２をさらに備えることができる。
　第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０では、第１内側めっき層５３は、第１凹部３３を完全に充填するように形成されている。具体的は、第１内側めっき層５３は、カバー層７の上面よりも上側に突出するように、形成されている。
　第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０においても、第１実施形態のめっき層付き異方導電性シート１０と同様の作用効果を奏することができる。
　また、第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート５０では、第１内側めっき層５３、ひいては、第１めっき層５１が厚くなるように形成されている。そのため、第１めっき層５１によって、導体部４をより確実に保護することができ、導体部４の酸化をより一層抑制することができる。
　特に、第３実施形態のめっき層付き異方導電性シート１は、第１凹部３３を有する異方導電性シート１から得られるため、第１内側めっき層５３の厚み、ひいては、第１めっき層５１の厚みを厚くしても、第１内側めっき層５３は、カバー層７の上面全面に流出しにくい。そのため、隣接する異方導電部２の導体部４同士が導通することを抑制しながら、導体部４をより確実に保護することができる。
　＜第４実施形態＞
　図１５を参照して、本発明における第４実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第４実施形態において、上記した第１～３実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
　図８に示す第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を一体的に備えているが、第４実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、図１５に示すように、中央部２１、傾斜部２２、鍔部２３および充填部２４を一体的に備えることもできる。
　充填部２４は、第２開口部１２および第３下側開口部１４の内部に配置されている。充填部２４は、図１５の破線に示すように、略円錐台形状を有している。充填部２４は、その下面が中央部２１および傾斜部２２と連続するように、中央部２１および傾斜部２２と一体的に連続している。また、充填部２４の上面は、鍔部２３の上面と面一となるように、形成されている。すなわち、導体部４の上面は、平坦面となっている。
　異方導電部２では、充填部２４および傾斜部２２の周側面が、第１凹部３３を区画している。
　第４実施形態の異方導電性シート１０も、第１実施形態の異方導電性シート１０と同様の作用効果を奏することができる。
　異方導電性シート１を用いためっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０も、上記した第１～３実施形態と同様である。また、上記した第１～３実施形態の変形例も、第４実施形態に同様に適用することができる。
　＜第５実施形態＞
　図１６を参照して、本発明における第５実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第５実施形態において、上記した第１～４実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
　第１実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１、傾斜部２２および鍔部２３を一体的に備え、絶縁層３が、第２ベース層６およびカバー層７を備えているが、第５実施形態の異方導電性シート１では、図１６に示すように、導体部４は、中央部２１および鍔部２３のみを一体的に備え、絶縁層３は、カバー層７のみを備えることもできる。
　絶縁層３は、カバー層７のみを備えており、第１ベース層５および第２ベース層６を備えてない。カバー層７は、第３下側開口部１４および第３上側開口部１５を有する。
　導体部４において、鍔部２３は、中央部２１の周端縁から径方向外側に延びるように形成されている。鍔部２３は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略矩形状を有している。
鍔部２３の上面および下面は、それぞれ、中央部２１の上面および下面と面一となるように形成されている。
　鍔部２３の上面および周側面は、カバー層７に被覆されている。具体的には、鍔部２３の上面全面および外周側面全面は、カバー層７と接触する。このため、鍔部２３は、カバー層７によって区画され、面方向に凹む第３下側開口部１４の外周部に嵌合している。すなわち、鍔部２３は、嵌合部３１を構成し、第３下側開口部１４の外周部は、嵌合部３１を嵌合する被嵌合部３２を構成している。なお、鍔部２３（嵌合部３１）の下面は、絶縁層３から露出されている。
　異方導電部２では、中央部２１の上面および第３上側開口部１５の周側面が、第１凹部３３を区画している。
　第５実施形態の異方導電性シート１においても、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。
　好ましくは、絶縁層３が第２ベース層６を備え、嵌合部３１の下面が第２ベース層６によって被覆されている第１～４実施形態が挙げられる。第１～４実施形態では、被検査装置４１の端子４３による上側からの加圧、検査装置４２の端子による下側からの加圧、および、両端子による面方向への応力のいずれに対しても、貫通孔１６内の導体部４の位置ずれを抑制できる。特に、上側からの加圧に対しても、貫通孔１６内の導体部４の位置ずれを抑制できる。その結果、導体部４が貫通孔１６から脱落することを効果的に抑制することができ、耐久性が優れる。
　異方導電性シート１を用いためっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０も、上記した第１～３実施形態と同様である。また、上記した第１～３実施形態の変形例も、第５実施形態に同様に適用することができる。
　　＜第６実施形態＞
　図１７を参照して、本発明における第６実施形態の異方導電性シートの一実施形態について説明する。なお、第６実施形態において、上記した第１～５実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
　第５実施形態の異方導電性シート１では、導体部４は、中央部２１および鍔部２３を一体的に備えているが、第６実施形態の異方導電性シート１では、図１７に示すように、導体部４は、中央部２１のみを備えることもできる。
　第６実施形態の異方導電性シート１では、カバー層７は、第３開口部１３を有している。第３開口部１３は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状を有している。
　導体部４において、中央部２１の外周側面は、第３開口部１３（貫通孔１６）の周側面と接触している。このため、第６実施形態の異方導電性シート１は、嵌合部および被嵌合部を備えていない。
　異方導電部２では、中央部２１の上面および第３開口部１３の周側面が、第１凹部３３を区画している。
　第６実施形態の異方導電性シート１においても、第１～５実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。
　好ましくは、導体部４が嵌合部３１を有し、絶縁層３が被嵌合部３２を有する第１～５実施形態が挙げられる。第１～５実施形態では、検査装置４２の検査プローブ４４による下側からの加圧に対しても、貫通孔１６内での導体部４の上方への位置ずれを抑制できる。その結果、導体部４が貫通孔１６から脱落することを抑制することができ、耐久性が優れる。
　異方導電性シート１を用いためっき層付き異方導電性シート５０および弾性部付き異方導電性シート６０も、上記した第１～３実施形態と同様である。また、上記した第１～３実施形態の変形例も、第６実施形態に同様に適用することができる。
　なお、上記発明は、本発明の例示の実施形態として提供したが、これは単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。当該技術分野の当業者によって明らかな本発明の変形例は、後記請求の範囲に含まれる。
　本発明の異方導電性フィルムは、各種の工業製品に適用することができ、例えば、半導体素子や回路基板に対する導通検査などに好適に用いられる。
１　異方導電性シート
２　異方導電部
３　絶縁層
４　導体部
１６　貫通孔
２２　傾斜部
２３　鍔部
３１　嵌合部
３２　被嵌合部
３３　第１凹部
３４　第２凹部
４１　被検査装置
４２　検査装置
５１　第１めっき層
５２　第２めっき層
６１　導電性弾性部
６２　導電性粒子

Claims (10)

  1. 　被検査装置および検査装置を互いに電気的に接続するための異方導電性シートであって、
    　厚み方向に貫通する貫通孔を有する絶縁層と、前記貫通孔に配置される導体部とを有する異方導電部を備え、
    　前記導体部の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第１凹部を区画することを特徴とする、異方導電性シート。
  2. 　前記絶縁層は、前記貫通孔において厚み方向に直交する面方向に凹む被嵌合部を有し、
    　前記導体部は、前記被嵌合部に嵌合する嵌合部を有することを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。
  3. 　前記導体部は、厚み方向および面方向の両方に交差する交差方向に延びる傾斜部を備えることを特徴とする、請求項２に記載の異方導電性シート。
  4. 　前記導体部は、前記傾斜部の面方向端縁から面方向に延びる端部をさらに備えることを特徴とする、請求項３に記載の異方導電性シート。
  5. 　前記第１凹部は、厚み方向一方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有することを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。
  6. 　前記導体部の厚み方向他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面よりも厚み方向一方側に位置し、
    　前記導体部の厚み方向他方面および前記貫通孔の周側面が、第２凹部を区画することを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。
  7. 　前記第２凹部は、厚み方向他方側に向かうに従って開口断面積が大きくなるテーパ形状を有することを特徴とする、請求項６に記載の異方導電性シート。
  8. 　前記異方導電部は、前記導体部の厚み方向一方面および厚み方向他方面に、めっき層をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。
  9. 　前記導体部の厚み方向一方側に配置され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。
  10. 　前記めっき層の厚み方向一方面および前記貫通孔の周側面が、第３凹部を区画し、
    　前記導電性弾性部の体積割合は、前記第３凹部の体積に対して、２０％以上２００％以下であることを特徴とする、請求項９に記載の異方導電性シート。
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