JP6880777B2 - 光モジュール - Google Patents

光モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP6880777B2
JP6880777B2 JP2017013242A JP2017013242A JP6880777B2 JP 6880777 B2 JP6880777 B2 JP 6880777B2 JP 2017013242 A JP2017013242 A JP 2017013242A JP 2017013242 A JP2017013242 A JP 2017013242A JP 6880777 B2 JP6880777 B2 JP 6880777B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
housing
optical module
wiring board
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017013242A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018121022A (ja
Inventor
松村 貴由
貴由 松村
中村 直章
直章 中村
海沼 則夫
則夫 海沼
福園 健治
健治 福園
雄基 星野
雄基 星野
崇 久保田
崇 久保田
卓己 増山
卓己 増山
吉良 秀彦
秀彦 吉良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2017013242A priority Critical patent/JP6880777B2/ja
Priority to US15/874,927 priority patent/US20180217343A1/en
Publication of JP2018121022A publication Critical patent/JP2018121022A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6880777B2 publication Critical patent/JP6880777B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4266Thermal aspects, temperature control or temperature monitoring
    • G02B6/4268Cooling
    • G02B6/4269Cooling with heat sinks or radiation fins
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3675Cooling facilitated by shape of device characterised by the shape of the housing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4256Details of housings
    • G02B6/4257Details of housings having a supporting carrier or a mounting substrate or a mounting plate
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4274Electrical aspects
    • G02B6/428Electrical aspects containing printed circuit boards [PCB]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/02208Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0233Mounting configuration of laser chips
    • H01S5/02345Wire-bonding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0235Method for mounting laser chips
    • H01S5/02355Fixing laser chips on mounts
    • H01S5/0236Fixing laser chips on mounts using an adhesive
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02438Characterized by cooling of elements other than the laser chip, e.g. an optical element being part of an external cavity or a collimating lens
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16135Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/16145Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/921Connecting a surface with connectors of different types
    • H01L2224/9212Sequential connecting processes
    • H01L2224/92122Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector
    • H01L2224/92125Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector the second connecting process involving a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/13Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L24/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L24/80 - H01L24/90
    • H01L24/92Specific sequence of method steps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12042LASER
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1515Shape
    • H01L2924/15151Shape the die mounting substrate comprising an aperture, e.g. for underfilling, outgassing, window type wire connections
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02325Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02469Passive cooling, e.g. where heat is removed by the housing as a whole or by a heat pipe without any active cooling element like a TEC

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、光モジュールに関する。
シリコンフォトニクス(Si−Ph)チップ及び制御チップが搭載された光モジュールでは、通信速度の高速化に伴い、配線の短縮化及び高効率冷却が要求されている。図21及び図22は、QSFP(Quad Small Form・Factor Pluggable)規格の光モジュール1
01の使用例を示す図である。図21に示すように、サーバ等に取り付けられたケージ102に光モジュール101が挿入される。光モジュール101の筐体103にケーブル104が接続され、ケージ102の表面に放熱フィン105が設けられている。図21の(A)及び図22の(A)は、光モジュール101をケージ102に挿入する前の状態を示し、図21の(B)及び図22の(B)は、光モジュール101をケージ102に挿入した後の状態を示している。
特開2004−179309号公報 国際公開第2007/114384号 特開2006−261311号公報 特開平7−58257号公報
図23は、光モジュール101の断面図である。図23は、光モジュール101がケージ102に挿入された状態が示されている。筐体103の下部103Aが、ケージ102の下部102Aに接触しており、筐体103の上部103Bが、ケージ102の上部102Bに接触している。光モジュール101は、基板106、Si−Phチップ110及び制御チップ120を備える。Si−Phチップ110及び制御チップ120は、基板106上に設けられている。Si−Phチップ110にはレーザダイオード111及びフィン112が搭載されており、レーザダイオード111の熱がフィン112によって放熱される。制御チップ120にはフィン121が搭載されており、制御チップ120の回路の熱がフィン121によって放熱される。Si−Phチップ110と制御チップ120とがワイヤ130を介して電気的に接続されている。
レーザダイオード111及び制御チップ120の回路は、発熱量が大きい。レーザダイオード111及び制御チップ120の回路の発熱量が大きい場合であっても、レーザダイオード111と制御チップ120の回路との間の距離が大きいため、フィン112によりレーザダイオード111の冷却が可能であると共に、フィン121により制御チップ120の回路の冷却が可能である。しかし、Si−Phチップ110と制御チップ120との間の距離が大きい場合、Si−Phチップ110と制御チップ120との間の通信速度が小さくなるため、通信速度の高速化に対応することが困難になる。一方、Si−Phチップ110と制御チップ120との間の距離を短縮して通信速度を向上する場合、レーザダイオード111と制御チップ120の回路との間の距離が短くなる。この場合、光モジュール101が局所的に高温になり、レーザダイオード111及び制御チップ120の回路の冷却が不十分となる恐れがある。
本願は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、光モジュールを効率よく放熱するこ
とを目的とする。
本願の一観点によれば、筐体と、貫通穴を有する基板と、第1発熱体を有し、前記貫通穴の内側に配置された第1チップと、第2発熱体を有する第2チップと、前記筐体の下部と前記第1チップとの間に挟まれ、前記第1発熱体が発する熱を前記筐体の前記下部に伝える第1熱伝導部材と、前記筐体の上部と前記第2チップとの間に挟まれ、前記第2発熱体が発する熱を前記筐体の前記上部に伝える第2熱伝導部材と、を備え、前記第2チップが、前記基板及び前記第1チップの上にバンプを介して載置されている、光モジュールが提供される。
本願によれば、光モジュールを効率よく放熱することができる。
図1の(A)は、第1実施形態に係る光モジュールの側面図であり、図1の(B)は、第1実施形態に係るケージの断面図である。 図2は、光モジュールをケージに挿し込んだ状態の模式図である。 図3は、第1実施形態に係る光モジュールの断面図である。 図4は、第1実施形態に係る光モジュールの平面図である。 図5は、配線板及び放熱板の下面図である。 図6は、配線板及び放熱板の下面図である。 図7は、第1実施形態に係る光モジュールの断面図である。 図8は、第1実施形態の変形例に係る光モジュールの断面図である。 図9は、第1実施形態の変形例に係る光モジュールの断面図である。 図10は、第2実施形態に係る光モジュールの断面図である。 図11は、第2実施形態の変形例に係る光モジュールの断面図である。 図12は、第3実施形態に係る光モジュールの断面図である。 図13は、第4実施形態に係る光モジュールの断面図である。 図14は、第4実施形態に係る光モジュールの平面図である。 図15は、第5実施形態に係る光モジュールの断面図である。 図16は、第5実施形態に係る光モジュールの平面図である。 図17は、配線板の断面図である。 図18は、第6実施形態に係る光モジュールの断面図である。 図19は、第6実施形態に係る光モジュールの平面図である。 図20は、参考例に係る光モジュールの断面図である。 図21は、QSFPタイプの光モジュールの使用例を示す図である。 図22は、QSFPタイプの光モジュールの使用例を示す図である。 図23は、光モジュールの断面図である。
以下、図面を参照して、実施形態を詳細に説明する。以下の各実施形態の構成は例示であり、本発明は、各実施形態の構成に限定されない。
〈第1実施形態〉
第1実施形態について説明する。図1の(A)は、第1実施形態に係る光モジュール1の側面図であり、図1の(B)は、第1実施形態に係るケージ2の断面図である。図2は、光モジュール1をケージ2に挿し込んだ状態の模式図である。光モジュール1は、例えば、QSFP規格の光コネクタであるが、他の規格の光コネクタであってもよい。光モジュール1は、筐体3及びケーブル4を備える。ケージ2の上部2Bの表面に複数の放熱フ
ィン5が設けられている。光モジュール1は、ケージ2に着脱可能に挿入される。ケージ2は、例えば、サーバ等に取り付けられている。ケージ2は、光モジュール1を着脱可能に収容する。ケージ2は、光モジュール1が挿入される挿入口を備えた箱形部材である。ケージ2内にコネクタが設けられており、光モジュール1がケージ2に挿入されると、ケージ2内のコネクタに対して光モジュール1が電気的、機械的に接続される。これにより、光モジュール1とサーバ等との間で電気信号が伝送される。光モジュール1の熱はケージ2に伝わり、放熱フィン5により放熱される。
図3は、第1実施形態に係る光モジュール1の断面図である。図3は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。筐体3は、下部3A及び上部3Bを有している。筐体3の下部3Aが、ケージ2の下部2Aに接触しており、筐体3の上部3Bが、ケージ2の上部2Bに接触している。筐体3は、銅(Cu)又はアルミニウム(Al)等の金属材料、熱伝導性を有する樹脂を用いて形成されている。光モジュール1は、配線板11と、Si−Ph(シリコンフォトニクス)チップ12と、制御チップ13と、放熱板14、15と、を備える。配線板11は、基板の一例である。Si−Phチップ12は、第1チップの一例である。制御チップ13は、第2チップの一例である。
配線板11、Si−Phチップ12、制御チップ13及び放熱板14、15は、筐体3の内部に配置されている。配線板11は、筐体3の下部3Aに設けられた台座上に配置されている。例えば、筐体3の下部3Aに設けられた台座が、配線板11の下面の外周部分に接触していてもよい。Si−Phチップ12は、シリコン基板31と、シリコン基板31上に設けられたレーザダイオード32とを有する。Si−Phチップ12の回路が形成されている面(回路面)にレーザダイオード32が設けられている。また、Si−Phチップ12は、シリコン基板31上に設けられたフォトダイオード(図示せず)を有する。
レーザダイオード32及びフォトダイオードは、ケーブル4に接続されている。レーザダイオード32は、ケーブル4を介して入力される電気信号を光に変換する。フォトダイオードは、ケーブル4を介して入力される光を電気信号に変換する。レーザダイオード32及びフォトダイオードが一体である光トランシーバをシリコン基板31上に設けてもよい。制御チップ13は、Si−Phチップ12の駆動を制御する。
図4は、第1実施形態に係る光モジュール1の平面図である。図4では、筐体3及び放熱板15の図示を省略している。配線板11は、配線板11を貫通する貫通穴21を有する。配線板11の貫通穴21の内側にSi−Phチップ12が配置されている。Si−Phチップ12の全部又は一部が配線板11の貫通穴21に挿し込まれている。図3及び図4に示す光モジュール1の構成例では、Si−Phチップ12の全部が配線板11の貫通穴21に挿し込まれている。図3及び図4に示すように、配線板11の貫通穴21の内周面とSi−Phチップ12の側面とが離間していてもよい。配線板11の貫通穴21の内周面とSi−Phチップ12の側面とが離間することにより、光モジュール1に外力が加えられた場合における配線板11の変形の影響が、Si−Phチップ12に波及することが抑制される。また、配線板11の貫通穴21の内周面とSi−Phチップ12の側面の一部とが接触していてもよい。
Si−Phチップ12の回路面と、制御チップ13の回路が形成されている面(回路面)とが向かい合っている。また、配線板11の上面と制御チップ13の回路面とが向かい合っている。配線板11と制御チップ13との間にバンプ16が設けられていると共に、Si−Phチップ12と制御チップ13との間にバンプ16が設けられている。バンプ16は、例えば、半田ボールである。制御チップ13は、配線板11及びSi−Phチップ12の上にバンプ16を介して載置されている。したがって、制御チップ13が、配線板11及びSi−Phチップ12を跨るようにして配置されている。また、配線板11と制
御チップ13との間にアンダーフィル17が設けられていると共に、Si−Phチップ12と制御チップ13との間にアンダーフィル17が設けられている。アンダーフィル17を設けることにより、配線板11と制御チップ13との接続信頼性及びSi−Phチップ12と制御チップ13との接続信頼性が向上する。
配線板11の上面、Si−Phチップ12の回路面及び制御チップ13の回路面には電極(図示せず)が設けられている。配線板11と制御チップ13との間に設けられたバンプ16は、配線板11の上面の電極及び制御チップ13の回路面の電極に接合されている。Si−Phチップ12と制御チップ13との間に設けられたバンプ16は、Si−Phチップ12の回路面の電極及び制御チップ13の回路面の電極に接合されている。制御チップ13は、バンプ16を介して配線板11に電気的に接続されていると共に、バンプ16を介してSi−Phチップ12に電気的に接続されている。配線板11と制御チップ13との間に設けられたバンプ16を介して配線板11と制御チップ13との間で電気信号が送受信される。Si−Phチップ12と制御チップ13との間に設けられたバンプ16を介してSi−Phチップ12と制御チップ13との間で電気信号が送受信される。
筐体3の下部3AとSi−Phチップ12との間に放熱板14が挟まれている。放熱板14は、Si−Phチップ12の回路面の反対面(以下、Si−Phチップ12の裏面と表記する)に接触すると共に、筐体3の下部3Aに接触している。筐体3の上部3Bと制御チップ13との間に放熱板15が挟まれている。放熱板15は、制御チップ13の回路面の反対面(以下、制御チップ13の裏面と表記する)に接触すると共に、筐体3の上部3Bに接触している。放熱板14、15は、熱伝導部材であり、例えば、銅又はアルミニウム等の金属材料を用いて形成されている。放熱板14は、レーザダイオード32が発する熱を筐体3の下部3Aに伝える。放熱板15は、制御チップ13の回路が発する熱を筐体3の上部3Bに伝える。放熱板14は、第1熱伝導部材の一例である。放熱板15は、第2熱伝導部材の一例である。レーザダイオード32は、第1発熱体の一例である。制御チップ13の回路は、第2発熱体の一例である。
放熱板14は、配線板11の貫通穴21の開口部の一部又は全部を覆っている。図3に示す光モジュール1の構成例では、放熱板14は、配線板11の貫通穴21の開口部の全部を覆っている。放熱板14の一部が、筐体3の下部3Aと配線板11との間に挟まれている。放熱板14は、配線板11の下面に接触すると共に、筐体3の下部3Aに接触している。図5及び図6は、配線板11及び放熱板14の下面図である。図5に示すように、放熱板14が、配線板11の貫通穴21の開口部の一部を覆ってもよい。図6に示すように、放熱板14が、配線板11の貫通穴21の開口部の全部を覆ってもよい。
放熱板14の一部が、配線板11と筐体3の下部3Aとの間に配置されることにより、光モジュール1に外力が加えられた場合の配線板11の変形が低減される。その結果、配線板11と制御チップ13との接続部分に加わる応力が低減され、配線板11と制御チップ13との接続信頼性が向上する。図3に示す光モジュール1の構成例では、配線板11の厚みがシリコン基板31の厚みよりも大きいため、放熱板14が凸形状である。放熱板14の上面の中央部分に凸部が形成され、放熱板14の凸部の頭頂面がSi−Phチップ12の裏面に接触している。したがって、放熱板14の一部が、配線板11の貫通穴21に挿入されている。放熱板14の上面の外周部分はSi−Phチップ12の裏面に接触していない。放熱板14の上面の外周部分の一部が配線板11の下面に接触している。
配線板11の厚みがシリコン基板31の厚みよりも大きい場合、放熱板14の凸部の頭頂面がSi−Phチップ12の裏面に接触することで、配線板11の上面の位置とSi−Phチップ12の回路面の位置とを一致又は略一致させることができる。したがって、配線板11の上面とSi−Phチップ12の回路面との間の段差の発生が抑制され、配線板
11と制御チップ13との接続信頼性及びSi−Phチップ12と制御チップ13との接続信頼性が向上する。配線板11の厚みとシリコン基板31の厚みとが同じである場合、放熱板14の上面の全部を平面にしてもよい。
図7は、第1実施形態に係る光モジュール1の断面図である。図7に示すように、配線板11の厚みがシリコン基板31の厚みよりも小さくてもよい。図7に示す光モジュール1の構成例では、Si−Phチップ12の一部が配線板11の貫通穴21から突出しており、放熱板14が凹形状である。放熱板14の上面の中央部分に凹部が設けられ、Si−Phチップ12の一部が放熱板14の凹部に収容されている。Si−Phチップ12の裏面が放熱板14の凹部の底面に接触している。放熱板14の上面の外周部分はSi−Phチップ12の裏面に接触していない。放熱板14の上面の外周部分が配線板11の下面に接触している。したがって、放熱板14の外周部分が、筐体3の下部3Aと配線板11との間に挟まれている。
配線板11の厚みがシリコン基板31の厚みよりも小さい場合、Si−Phチップ12の一部を放熱板14の凹部に収容することで、配線板11の上面の位置とSi−Phチップ12の回路面の位置とを一致又は略一致させることができる。したがって、配線板11の上面とSi−Phチップ12の回路面との間の段差の発生が抑制され、配線板11と制御チップ13との接続信頼性及びSi−Phチップ12と制御チップ13との接続信頼性が向上する。
〈変形例〉
第1実施形態の変形例について説明する。図8は、第1実施形態の変形例に係る光モジュール1の断面図である。図8は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。筐体3の下部3Aが、ケージ2の下部2Aに接触しており、筐体3の上部3Bが、ケージ2の上部2Bに接触している。筐体3の下部3AとSi−Phチップ12との間に放熱板14が挟まれている。放熱板14は、Si−Phチップ12の裏面に接触すると共に、筐体3の下部3Aに接触している。放熱板14は、筐体3の下部3Aと配線板11との間に配置されていない。したがって、放熱板14は、配線板11の下面に接触していない。配線板11の貫通穴21の内周面に放熱板14が接触していてもよいし、配線板11の貫通穴21の内周面と放熱板14とが離間していてもよい。図8に示す光モジュール1の構成例では、配線板11の貫通穴21の内周面と放熱板14とが離間している。
配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも大きくてもよいし、Si−Phチップ12の厚みよりも小さくてもよい。配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも大きい場合、放熱板14の一部が、配線板11の貫通穴21に挿入されている。配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも小さい場合、Si−Phチップ12の一部が配線板11の貫通穴21から突出している。また、配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みと同一であってもよい。図8に示す光モジュール1の構成例では、配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも大きい。
図9に示すように、筐体3の下部3Aと配線板11との間に支持部材41を配置してもよい。図9は、第1実施形態の変形例に係る光モジュール1の断面図である。制御チップ13の裏面の法線方向から見た平面視で、制御チップ13と支持部材41とが重なっていてもよい。支持部材41は、枠状であってもよい。支持部材41が枠状である場合、放熱板14が支持部材41の枠状部分の内側に配置される。支持部材41は、例えば、銅又はアルミニウム等の金属材料を用いて形成されてもよいし、熱伝導性を有する樹脂を用いて形成されてもよい。支持部材41が、筐体3の下部3Aと配線板11との間に挟まれることにより、光モジュール1に外力が加えられた場合の配線板11の変形が低減される。その結果、配線板11と制御チップ13との接続部分に加わる応力が低減され、配線板11
と制御チップ13との接続信頼性が向上する。
〈第2実施形態〉
第2実施形態について説明する。第2実施形態において、第1実施形態と同一の構成要素については、第1実施形態と同一の符号を付し、その説明を省略する。図10は、第2実施形態に係る光モジュール1の断面図である。図10は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。筐体3の下部3Aと放熱板14との間、筐体3の上部3Bと放熱板15との間、配線板11と放熱板14との間、Si−Phチップ12と放熱板14との間、及び制御チップ13と放熱板15との間に緩衝部材42が設けられている。第2実施形態に係る光モジュール1は、図10に示す光モジュール1の構成例に限定されない。筐体3の下部3Aと放熱板14との間、筐体3の上部3Bと放熱板15との間、配線板11と放熱板14との間、Si−Phチップ12と放熱板14との間、及び制御チップ13と放熱板15との間の少なくとも一箇所に緩衝部材42を設けてもよい。
緩衝部材42は、熱伝導性を有する。緩衝部材42は、例えば、サーマルグリース等のゾル状、ゲル状の流動体材料であってもよい。流動体材料のヤング率は、放熱板14、15のヤング率よりも小さい。緩衝部材42として流動体材料を用いることにより、放熱板14、15の熱膨張や外部応力、曲げモーメントによる放熱板14、15の変形を緩衝部材42が吸収する。これにより、配線板11と制御チップ13との接続部分及びSi−Phチップ12と制御チップ13との接続部分に加わる応力が低減される。
緩衝部材42は、例えば、シート状又はテープ状の熱界面材料(Thermal Interface Material:TIM)、Agペースト、はんだ、熱伝導性を有する接着剤であってもよい。緩衝部材42として熱界面材料、Agペースト、はんだ、熱伝導性を有する接着剤を用いることにより、放熱板14を筐体3の下部3A、配線板11及びSi−Phチップ12に接着固定し、放熱板15を筐体3の上部3B及び制御チップ13に接着固定することができる。放熱板14、15を接着固定する場合、緩衝部材42のヤング率が放熱板14、15のヤング率よりも小さいことが好ましい。緩衝部材42のヤング率が放熱板14、15のヤング率よりも小さいことにより、放熱板14、15の熱膨張や外部応力、曲げモーメントによる放熱板14、15の変形を緩衝部材42が吸収する。これにより、配線板11と制御チップ13との接続部分及びSi−Phチップ12と制御チップ13との接続部分に加わる応力が低減される。
〈変形例〉
図11は、第2実施形態の変形例に係る光モジュール1の断面図である。図11は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。筐体3の下部3Aと放熱板14との間、筐体3の上部3Bと放熱板15との間、Si−Phチップ12と放熱板14との間、及び制御チップ13と放熱板15との間に緩衝部材42が設けられている。第2実施形態に係る光モジュール1は、図11に示す光モジュール1の構成例に限定されない。筐体3の下部3Aと放熱板14との間、筐体3の上部3Bと放熱板15との間、Si−Phチップ12と放熱板14との間、及び制御チップ13と放熱板15との間の少なくとも一箇所に緩衝部材42を設けてもよい。
配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも大きくてもよいし、Si−Phチップ12の厚みよりも小さくてもよい。図11に示す光モジュール1の構成例では、配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも大きい。配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも大きい場合、Si−Phチップ12と放熱板14との間に設けられた緩衝部材42が配線板11の貫通穴21の内側に配置されている。配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも大きい場合、放熱板14の一部が、配線板11の貫通穴21に挿入されてもよい。
配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みよりも小さい場合、Si−Phチップ12の一部が配線板11の貫通穴21から突出し、Si−Phチップ12と放熱板14との間に設けられた緩衝部材42が配線板11の貫通穴21の外側に配置されている。また、配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みと同一であってもよい。配線板11の厚みが、Si−Phチップ12の厚みと同一である場合、Si−Phチップ12と放熱板14との間に設けられた緩衝部材42が配線板11の貫通穴21の外側に配置されている。
〈第3実施形態〉
第3実施形態について説明する。第3実施形態において、第1実施形態及び第2実施形態と同一の構成要素については、第1実施形態及び第2実施形態と同一の符号を付し、その説明を省略する。図12は、第3実施形態に係る光モジュール1の断面図である。図12は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。図12に示すように、筐体3の下部3Aと放熱板14とが一体であり、筐体3の上部3Bと放熱板15とが一体である。筐体3、放熱板14、15の材料は、例えば、銅又はアルミニウム等の金属材料である。
筐体3の下部3Aと放熱板14とが一体となることにより、筐体3の下部3Aと放熱板14との間の熱抵抗が低減する。筐体3の上部3Bと放熱板15とが一体となることにより、筐体3の上部3Bと放熱板15との間の熱抵抗が低減する。これにより、光モジュール1の放熱性が向上する。また、放熱板14、15の取り付け工程が削減されるため、光モジュール1の製造コストダウンが可能となる。図12では、配線板11と放熱板14との間、Si−Phチップ12と放熱板14との間、及び、制御チップ13と放熱板15との間、に緩衝部材42が設けられている。第3実施形態に係る光モジュール1は、図12に示す光モジュール1の構成例に限定されない。配線板11と放熱板14との間、Si−Phチップ12と放熱板14との間、及び、制御チップ13と放熱板15との間の少なくとも一箇所に緩衝部材42を設けてもよい。また、緩衝部材42の設置を省略してもよい。
〈第4実施形態〉
第4実施形態について説明する。第4実施形態において、第1実施形態から第3実施形態と同一の構成要素については、第1実施形態から第3実施形態と同一の符号を付し、その説明を省略する。図13は、第4実施形態に係る光モジュール1の断面図である。図13は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。図14は、第4実施形態に係る光モジュール1の平面図である。図14では、筐体3、放熱板15及び緩衝部材42の図示を省略している。図13及び図14に示すように、配線板11とSi−Phチップ12との間に接着剤43が設けられている。したがって、配線板11の貫通穴21の内側にSi−Phチップ12及び接着剤43が配置されている。Si−Phチップ12の外周が接着剤43によって補強されている。第4実施形態に係る光モジュール1は、図13に示す光モジュール1の構成例に限定されない。筐体3の下部3Aと放熱板14との間、筐体3の上部3Bと放熱板15との間、配線板11と放熱板14との間、Si−Phチップ12と放熱板14との間、及び制御チップ13と放熱板15との間の少なくとも一箇所に緩衝部材42を設けてもよい。また、緩衝部材42の設置を省略してもよい。
接着剤43のヤング率が、配線板11、Si−Phチップ12及び放熱板14のヤング率よりも小さいことが好ましい。接着剤43のヤング率が、配線板11及びSi−Phチップ12のヤング率よりも小さい場合、外力や熱応力により接着剤43が優先的に変形し、配線板11及びSi−Phチップ12に加わる応力が低減される。接着剤43のヤング率が、配線板11、Si−Phチップ12及び放熱板14のヤング率よりも小さい場合、
外力や熱応力により接着剤43が優先的に変形し、配線板11、Si−Phチップ12及び放熱板14に加わる応力が低減される。接着剤43が、Si−Phチップ12の側面の一部又は全部を覆っている。図14では、接着剤43が、Si−Phチップ12の側面の全部を覆っている。
〈第5実施形態〉
第5実施形態について説明する。第5実施形態において第1実施形態から第4実施形態と同一の構成要素については、第1実施形態から第4実施形態と同一の符号を付し、その説明を省略する。図15は、第5実施形態に係る光モジュール1の断面図である。図15は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。図16は、第5実施形態に係る光モジュール1の平面図である。図16では、筐体3、放熱板15及び緩衝部材42の図示を省略している。配線板11に穴44及びスリット45が設けられている。Si−Phチップ12、制御チップ13及び貫通穴21は、配線板11の中央部分に配置され、穴44及びスリット45は、配線板11の端部又は端部近傍に配置されている。穴44及びスリット45は、Si−Phチップ12及び制御チップ13と離間している。
図17に示すように、座ぐり46が、配線板11に設けられてもよい。図17は、配線板11の断面図である。穴44、スリット45及び座ぐり46の少なくとも一種類が配線板11に設けられていてもよい。穴44、スリット45及び座ぐり46は、配線板11を貫通していてもよい。穴44、スリット45及び座ぐり46は、配線板11を貫通せずに、配線板11の内部で終端していてもよい。複数の穴44、複数のスリット45及び複数の座ぐり46が配線板11に設けられていてもよい。配線板11の端部に荷重が加えられた場合、穴44、スリット45及び座ぐり46の周囲の配線板11が優先的に変形するため、貫通穴21の周囲の配線板11の変形が低減される。これにより、配線板11と制御チップ13との接続部分に加わる応力が低減され、配線板11と制御チップ13との接続信頼性が向上する。穴44、スリット45及び座ぐり46は、溝部の一例である。図15及び図16に示す光モジュール1の構成例に限定されず、緩衝部材42の配置を省略してもよい。また、第4実施形態と同様に、配線板11とSi−Phチップ12との間に接着剤43を設けてもよい。
〈第6実施形態〉
第6実施形態について説明する。第6実施形態において、第1実施形態から第5実施形態と同一の構成要素については、第1実施形態から第5実施形態と同一の符号を付し、その説明を省略する。図18は、第6実施形態に係る光モジュール1の断面図である。図18は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。図19は、第6実施形態に係る光モジュール1の平面図である。図19では、筐体3、放熱板15及び緩衝部材42の図示を省略している。図18及び図19に示すように、配線板11に貫通穴21が設けられておらず、Si−Phチップ12が、配線板11の端部に隣接して配置されている。制御チップ13が、配線板11及びSi−Phチップ12を跨るようにして配置されている。図18及び図19では、配線板11は、穴44を備えているが、配線板11は、穴44に替えてスリット45又は座ぐり46を有してもよいし、配線板11は、穴44、スリット45及び座ぐり46の少なくとも一種類を有してもよい。また、第4実施形態と同様に、配線板11とSi−Phチップ12との間に接着剤43を設けてもよい。
各実施形態は、可能な限り組み合わせて実施することができる。各実施形態に係る光モジュール1によれば、Si−Phチップ12のレーザダイオード32の放熱が、放熱板14及び筐体3の下部3Aを介して行われ、制御チップ13の回路の放熱が、放熱板15及び筐体3の上部3Bを介して行われる。したがって、Si−Phチップ12の熱を筐体3の下部3Aに誘導でき、制御チップ13の熱を筐体3の上部3Bに誘導できるため、光モジュール1を効率よく放熱することができる。
図20は、参考例に係る光モジュール1の断面図である。図20は、光モジュール1がケージ2に挿入された状態が示されている。Si−Phチップ12及びスペーサ51の上に制御チップ13が載置されている。放熱板14は、筐体3の上部3BとSi−Phチップ12との間に挟まれている。放熱板14は、Si−Phチップ12の回路面に接触すると共に、筐体3の上部3Bに接触している。図20では、Si−Phチップ12のレーザダイオード32の放熱が、放熱板14及び筐体3の上部3Bを介して行われ、制御チップ13の回路の放熱が、放熱板15及び筐体3の上部3Bを介して行われる。Si−Phチップ12及び制御チップ13の熱を筐体3の上部3Bに誘導する場合、熱が筐体3の上部3Bに集中するため、Si−Phチップ12及び制御チップ13の熱移動が低下する。
各実施形態に係る光モジュール1によれば、Si−Phチップ12の熱を筐体3の下部3Aに誘導し、制御チップ13の熱を筐体3の上部3Bに誘導するため、Si−Phチップ12及び制御チップ13の熱移動が向上している。各実施形態に係る光モジュール1によれば、図20の参考例に係る光モジュール1と比較して、放熱板14の厚みが薄いため、放熱板14の熱膨張量が小さい。したがって、各実施形態に係る光モジュール1によれば、放熱板14の熱膨張によって配線板11又はSi−Phチップ12に加わる応力が低減される。これにより、配線板11と制御チップ13との接続信頼性及びSi−Phチップ12と制御チップ13との接続信頼性が向上する。
各実施形態に係る光モジュール1によれば、Si−Phチップ12の回路面と、制御チップ13の回路面とが向かい合い、Si−Phチップ12と制御チップ13とがバンプ16を介して電気的に接続されている。そのため、Si−Phチップ12と制御チップ13との間の距離が短縮されており、Si−Phチップ12と制御チップ13との間の通信速度が向上している。
1 光モジュール
2 ケージ
3 筐体
4 ケーブル
5 放熱フィン
11 配線板
12 Si−Phチップ
13 制御チップ
14、15 放熱板
16 バンプ
17 アンダーフィル
21 貫通穴
31 シリコン基板
32 レーザダイオード

Claims (9)

  1. 筐体と、
    貫通穴を有する基板と、
    第1発熱体を有し、前記貫通穴の内側に配置された第1チップと、
    第2発熱体を有する第2チップと、
    前記筐体の下部と前記第1チップとの間に挟まれ、前記第1発熱体が発する熱を前記筐体の前記下部に伝える第1熱伝導部材と、
    前記筐体の上部と前記第2チップとの間に挟まれ、前記第2発熱体が発する熱を前記筐体の前記上部に伝える第2熱伝導部材と、
    を備え、
    前記第2チップが、前記基板及び前記第1チップの上にバンプを介して載置されており、
    前記第1熱伝導部材は、前記貫通穴の開口部の一部又は全部を覆い、
    前記第1熱伝導部材の一部が、前記筐体の前記下部と前記基板との間に挟まれていることを特徴とする光モジュール。
  2. 前記第1熱伝導部材の一部が、前記貫通穴に挿入されていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。
  3. 前記第1熱伝導部材の中央部分に凹部が設けられ、
    前記第1チップの一部が、前記凹部に収容され、
    前記第1熱伝導部材の外周部分が、前記筐体の前記下部と前記基板との間に挟まれていることを特徴とする請求項に記載の光モジュール。
  4. 前記基板と前記第1熱伝導部材との間、前記第1チップと前記第1熱伝導部材との間、前記第1熱伝導部材と前記筐体の前記下部との間、前記第2チップと前記第2熱伝導部材との間、及び前記第2熱伝導部材と前記筐体の前記上部との間の少なくとも一箇所に設けられた緩衝部材を備え、
    前記緩衝部材のヤング率が、前記第1熱伝導部材及び前記第2熱伝導部材のヤング率より小さいことを特徴とする請求項1又は3に記載の光モジュール。
  5. 前記第1熱伝導部材と前記筐体の前記下部とが一体であり、
    前記第2熱伝導部材と前記筐体の前記上部とが一体であることを特徴とする請求項1からの何れか一項に記載の光モジュール。
  6. 前記第1チップと前記第1熱伝導部材との間、及び前記第2チップと前記第2熱伝導部材との間の少なくとも一箇所に設けられた緩衝部材を備え、
    前記緩衝部材のヤング率が、前記第1熱伝導部材及び前記第2熱伝導部材のヤング率より小さいことを特徴とする請求項に記載の光モジュール。
  7. 前記基板と前記第1チップとの間に設けられた接着剤を備え、
    前記接着剤のヤング率が、前記基板及び前記第1チップのヤング率より小さいことを特徴とする請求項1からの何れか一項に記載の光モジュール。
  8. 前記基板に溝部が設けられていることを特徴とする請求項1からの何れか一項に記載の光モジュール。
  9. 筐体と、
    基板と、
    第1発熱体を有し、前記基板に隣接して配置された第1チップと、
    第2発熱体を有する第2チップと、
    前記筐体の下部と前記第1チップとの間に挟まれ、前記第1発熱体が発する熱を前記筐体の前記下部に伝える第1熱伝導部材と、
    前記筐体の上部と前記第2チップとの間に挟まれ、前記第2発熱体が発する熱を前記筐体の前記上部に伝える第2熱伝導部材と、
    を備え、
    前記第2チップが、前記基板及び前記第1チップの上にバンプを介して載置されており、
    前記第1熱伝導部材は、前記第1チップが配置された部位を覆い、
    前記第1熱伝導部材の一部が、前記筐体の前記下部と前記基板との間に挟まれていることを特徴とする光モジュール。
JP2017013242A 2017-01-27 2017-01-27 光モジュール Active JP6880777B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017013242A JP6880777B2 (ja) 2017-01-27 2017-01-27 光モジュール
US15/874,927 US20180217343A1 (en) 2017-01-27 2018-01-19 Optical module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017013242A JP6880777B2 (ja) 2017-01-27 2017-01-27 光モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018121022A JP2018121022A (ja) 2018-08-02
JP6880777B2 true JP6880777B2 (ja) 2021-06-02

Family

ID=62979743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017013242A Active JP6880777B2 (ja) 2017-01-27 2017-01-27 光モジュール

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20180217343A1 (ja)
JP (1) JP6880777B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN208283709U (zh) * 2018-06-13 2018-12-25 中强光电股份有限公司 光侦测元件与投影装置
US10481350B1 (en) * 2018-12-11 2019-11-19 Sicoya Gmbh Through-board optical assembly
JP7243449B2 (ja) * 2019-05-24 2023-03-22 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光モジュール
JP7359579B2 (ja) * 2019-07-05 2023-10-11 日東電工株式会社 光電気複合伝送モジュール
JP2022135003A (ja) * 2021-03-04 2022-09-15 住友電気工業株式会社 光コネクタケーブル
US11789221B2 (en) * 2021-10-05 2023-10-17 Aeva, Inc. Techniques for device cooling in an optical sub-assembly
CN117706703A (zh) * 2022-09-07 2024-03-15 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 一种光模块

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06302728A (ja) * 1993-04-12 1994-10-28 Oki Electric Ind Co Ltd セラミック多層基板上におけるlsi放熱構造
US5388027A (en) * 1993-07-29 1995-02-07 Motorola, Inc. Electronic circuit assembly with improved heatsinking
JPH09107053A (ja) * 1995-10-09 1997-04-22 Shinko Electric Ind Co Ltd 半導体装置用パッケージおよび半導体装置
JPH10282373A (ja) * 1997-04-07 1998-10-23 Oki Electric Ind Co Ltd 光モジュールおよび光モジュールの形成方法
JP2001318283A (ja) * 2000-02-29 2001-11-16 Kyocera Corp 光モジュール
JP4079604B2 (ja) * 2001-05-30 2008-04-23 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置の製造方法
SE0103121D0 (sv) * 2001-09-19 2001-09-19 Optillion Ab Cooling of optical modules
JP4581768B2 (ja) * 2005-03-16 2010-11-17 ソニー株式会社 半導体装置の製造方法
WO2007141987A1 (ja) * 2006-06-07 2007-12-13 Mitsubishi Electric Corporation 熱抵抗体ならびにこれを用いた半導体装置および電気装置
JP2008010520A (ja) * 2006-06-28 2008-01-17 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc パワーモジュール用基板及びその製造方法
JP4332567B2 (ja) * 2007-03-27 2009-09-16 Okiセミコンダクタ株式会社 半導体装置の製造方法及び実装方法
JP2009026871A (ja) * 2007-07-18 2009-02-05 Denso Corp 電子装置の製造方法
JP2013197479A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Tosaモジュールパッケージ
JP6277851B2 (ja) * 2014-05-08 2018-02-14 富士通株式会社 光モジュール
JP2016207785A (ja) * 2015-04-20 2016-12-08 株式会社東芝 半導体装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20180217343A1 (en) 2018-08-02
JP2018121022A (ja) 2018-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6880777B2 (ja) 光モジュール
US6974263B2 (en) Optical data link
JP4825739B2 (ja) 光電気混載基板と光電気パッケージとの構造体
JP2636777B2 (ja) マイクロプロセッサ用半導体モジュール
JPWO2008099554A1 (ja) 半導体パッケージの実装構造
US9633919B2 (en) Package structure with an elastomer with lower elastic modulus
JP2008060172A (ja) 半導体装置
JP4014591B2 (ja) 半導体装置および電子機器
JP2007305761A (ja) 半導体装置
US6643136B2 (en) Multi-chip package with embedded cooling element
JP2010147382A (ja) 電子装置
JP2000332171A (ja) 発熱素子の放熱構造およびその放熱構造を有するモジュール
JP2017022282A (ja) モジュール及び光電気変換モジュール
JP5949195B2 (ja) ヒートスプレッダ、半導体装置、及びその製造方法
JP2010021410A (ja) サーモモジュール
JP3378174B2 (ja) 高発熱素子の放熱構造
JP2007188934A (ja) マルチチップモジュール
CN210073824U (zh) 散热主板及光模块
JP2017028131A (ja) パッケージ実装体
JP6184106B2 (ja) 固体撮像素子用中空パッケージ、固体撮像素子及び固体撮像装置
WO2021006214A1 (ja) 光電気複合伝送モジュール
JP2015065293A (ja) 光学素子実装モジュール、および光学素子実装モジュールの製造方法
JP2013065887A (ja) 電子装置
CN218158692U (zh) 光机用dmd封装及散热结构、散热压板及投影光机
JP2009044026A (ja) 半導体レーザ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191008

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200915

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200916

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201112

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210406

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210419

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6880777

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150