JP6861469B2 - 定量x線分析及びマトリックス厚み補正方法 - Google Patents
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Description
試料の組成元素を決定するために蛍光X線分析を実行し;
前記試料を偏りなく直接に透過するエネルギーEにおける透過X線の強度を測定することにより、X線の補正測定を行い;
X線源から出るエネルギーEのX線を試料に角度ψ1で照射し、所定の組成のX線回折ピークに対応する出口角度ψ2におけるエネルギーEの回折されたX線の測定強度Id(θfl)をX線検出器により測定し;
X線回折測定により測定されたX線強度、補正測定、組成元素と前記元素の質量減衰係数から計算される前記試料の質量減衰係数を使用してマトリックス補正されたX線強度を計算する、ことを含む。
既知の濃度を持つ予め定めた成分を持つ複数の試料について、上述の方法を実施して校正線を得る、及び
未知の試料について、上述の方法を実施して未知の試料の所定の成分の量を測定する。
実質的に水平に延在する試料を支持する試料台と;
前記試料台の一方の側に位置するX線源と;
蛍光X線検出器と;
透過ジオメトリでX線回折を行うための前記試料台の他方の側に位置する蛍光X線検出器と;
制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記X線装置に上記の方法を実行させるようにされている。
透過ジオメトリで実行されるX線回折測定は、測定される試料片が、生成された光子が背面側から一定の出口角度で逃げることができるように限定された厚みを持つことを必要としている。理論的計算は、測定される光子強度は試料の厚さと共に組成の両方に依存するであろうことを予見している。
上式は、試料片の質量減衰係数(通常、cm2/gで表される)で、試料片に含まれる全ての元素の重量比wi、及び各元素の励起エネルギーEにおける各元素の質量減衰係数μi(E)を含むため試料片の組成に直接に関連する。
この例では、測定を通じて、特定の(予め定めた)成分はフリーライムであるが、他の成分についても適用可能である。
X線装置2は、試料6を支持する試料台4を有する。
本方法の適用性と共に、実施される近似の有効性をテストするために実験例が実施された。圧縮ペレットの組が、0%、0.5%、1%、1.5%、2%、3%、4%及び5%に等しい最終FL(フリーライム)濃度を生成する適宜のフリーライム量を混入したクリンカーマトリックスから製造された。
4 試料台
6 試料
10 X線源
12 蛍光X線検出装置
14 透過X線検出装置
16 ゴニオメータ
18 フィルタ
20 制御装置
22 メモリ
24 プロセッサ
Claims (13)
- X線分析の方法であって、
試料の元素組成を決定するために蛍光X線測定を行うステップと;
前記試料を偏向することなく直接に透過するエネルギーEの透過X線の強度を測定することによりX線の補正測定を行うステップと;
前記エネルギーEのX線源からのX線を、前記試料の表面に入射角度ψ1で照射することにより、透過型のX線回折測定を行い、予め定められた成分のX線回折ピークに対応する出口角ψ2におけるX線検出器により、前記エネルギーEにおける回折X線の測定強度Id(θfl)を測定するステップと;
X線回折測定における測定されたX線強度と、前記補正測定と、前記蛍光X線測定によって決定された元素組成と組成元素の質量減衰係数から計算された試料の質量減衰係数とを使用してマトリックス補正されたX線強度を演算するステップ;
を有しており、
前記マトリックス補正の測定の強度I dc は、以下の式(3)により計算され、
X線分析方法。
- 前記補正測定を行うステップと蛍光X線測定を行うステップは同時に行う、請求項1に記載の方法。
- 前記補正測定からビア-ランバートの法則を使用して積μρdを計算するステップを有する請求項1又は2に記載の方法。
ここで、μ(E)は質量減衰係数、ρは試料密度、dは試料の厚さである。 - 前記予め定められた成分はフリーライムである、請求項1乃至4のいずれかに記載の方法。
- 前記予め定められた成分の既知の濃度を持つ複数の試料について請求項1乃至5のいずれかの方法に従う方法を実施することにより校正ラインを得るステップと;
未知の試料について請求項1の方法を行うことにより、未知の試料中の予め定められた成分の量を測定するステップ、
を有する方法。 - 校正ラインを得るステップは、前記予め定められた成分の既知の濃度を持つ前記複数の試料の濃度の関数として補正された強度に直線を当てはめるステップを有する、請求項6に記載の方法。
- 実質的に水平に延伸する試料を支持する試料台と;
前記試料台の一方の側に位置するX線源と;
蛍光X線検出器と;
透過型幾何でX線回折を実施するための、前記試料台の他方の側に位置する回折X線検出器と;
制御装置とを有するX線装置であって、
前記制御装置は、当該X線装置に、請求項1乃至7のいずれかの方法を実施させるように構成される、
X線装置。 - 前記試料台の上方に位置し、前記X線源から放射され、前記試料を偏向することなく透過するX線の強度を測定するための透過X線検出器を更に有する、請求項8に記載のX線装置。
- 前記X線源は、Ag-Ka放射線の線源である、請求項8又は9に記載のX線装置。
- 前記試料台と上方の前記X線検出器との間に、Ag-Kb放射線を濾過するフィルタを更に有する、請求項10に記載のX線装置。
- 前記フィルタは、チューブスペクトルの連続放射線を濾過する、(a)Rh又はPd及び(b)Ag又は原子番号が47より大きい他の元素の積層体である、請求項11に記載のX線装置。
- 前記X線源及び前記蛍光X線検出器は前記試料台の下方に設けられ、前記回折X線検出器は前記試料台の上方に設けられる、請求項8乃至12のいずれかに記載のX線装置。
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