JP6838754B1

JP6838754B1 - 蛍光ｘ線分析装置

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Publication number: JP6838754B1
Application number: JP2019175938A
Authority: JP
Inventors: 片岡　由行; 由行片岡; 直人後藤
Original assignee: Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Corp
Priority date: 2019-09-26
Filing date: 2019-09-26
Publication date: 2021-03-03
Anticipated expiration: 2039-09-26
Also published as: CN113748333B; CN113748333A; WO2021059597A1; JP2021051053A

Abstract

【課題】ファンダメンタルパラメータ法による蛍光Ｘ線分析装置において、装置感度曲線が適切に作成されたか否かの評価を容易にする。【解決手段】ファンダメンタルパラメータ法を用いる定量手段を備え、定量手段が、各標準試料について、測定強度と、装置感度定数と、理論強度式において理論強度を計算するために測定元素の質量分率に乗ぜられる比例係数とを用いて、測定元素に対応する成分の含有率の定量値を計算し、各成分について、標準値と定量値との相関を示すグラフ、および／または、標準試料ごとの標準値、定量値、定量誤差と用いた一組の標準試料による定量値全体についての正確度を出力する。【選択図】図４

Description

本発明は、ファンダメンタルパラメータ法による蛍光Ｘ線分析装置に関する。

従来、定量分析を行う蛍光Ｘ線分析装置は、検量線法によるものと、ファンダメンタルパラメータ法（ＦＰ法ともいう）によるものに大別される。検量線法による定量分析では、未知試料の分析のために、成分の含有率が標準値として既知である一組の標準試料を用いて、成分の含有率と成分に対応する測定元素の蛍光Ｘ線の測定強度との相関として、次式（１）のように表される検量線式が求められる。なお、成分とは元素または化合物であり、成分の含有率は、含有率の標準値、定量値等を含め、一般に質量百分率（mass％）で表される。また、成分が元素である場合には、その元素そのものが成分に対応する測定元素であり、成分が化合物である場合には、その化合物を代表する元素が成分に対応する測定元素となる。

Ｗ_ｉ＝（ＡＩ_ｉ ^２＋ＢＩ_ｉ＋Ｃ）（１＋Σα_ｊＷ_ｊ） …（１）
Ｗ_ｉ：成分ｉの含有率
Ｉ_ｉ：成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の測定強度
Ａ，Ｂ，Ｃ：検量線定数
Ｗ_ｊ：加補正成分ｊの含有率
α_ｊ：加補正成分ｊのマトリックス補正係数

そして、作成した検量線式（１）の評価のために、次式（２）のように表される検量線のグラフが、例えば成分Ｃｒについて図２のように出力される。具体的には、検量線のグラフが、ディスプレイやプリンタにより表示される。ここで、成分ｉの推定基準値Ｘ_ｉとは、加補正成分ｊの含有率Ｗ_ｊをゼロと仮定した場合の、つまり、成分ｉに対する共存成分による吸収・励起のマトリックス効果がないと仮定した場合の、測定強度Ｉ_ｉにおける成分ｉの含有率である。なお、図２では、検量線を一次式（Ａ＝０）としており、矩形の点の横軸座標が標準試料の推定基準値を、白丸の点の横軸座標が標準試料の標準値（化学分析値）を示している。

Ｘ_ｉ＝ＡＩ_ｉ ^２＋ＢＩ_ｉ＋Ｃ …（２）
Ｘ_ｉ：成分ｉの推定基準値

また、標準試料について、成分ｉに対応する測定強度Ｉ_ｉと、加補正成分ｊの含有率Ｗ_ｊとしての成分ｊの標準値とを検量線式（１）に代入することにより、成分ｉの含有率Ｗ_ｉとして成分ｉの定量値Ｗ＾_ｉを求め、さらに、次式（３）により、成分ｉの定量値Ｗ＾_ｉと真の成分ｉの含有率Ｗ_ｉとしての成分ｉの標準値との差である定量誤差（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）の標準偏差として、用いた一組の標準試料による成分ｉの定量値全体についての正確度Ｓ_Ａを求める。

Ｓ_Ａ＝（Σ（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）^２／（ｎ−ｍ））^１／２ …（３）
ｎ：用いた標準試料の数
ｍ：用いた検量線定数の数

これらの、標準試料ごとの標準値Ｗ_ｉ、定量値Ｗ＾_ｉおよび定量誤差（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）、定量値全体についての正確度Ｓ_Ａも、作成した検量線式（１）の評価のために表示される。このように、検量線法による定量分析では、検量線のグラフにおける推定基準値Ｘ_ｉ、標準試料ごとの定量値Ｗ＾_ｉおよび定量誤差（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）、定量値全体についての正確度Ｓ_Ａが、すべて標準値Ｗ_ｉと同じ単位で表示されるので、検量線式（１）が適切に作成されたか否かの評価が容易である。

一方、ファンダメンタルパラメータ法による定量分析では、未知試料の分析のために、成分の含有率が標準値として既知である一組の標準試料を用いて、成分に対応する測定元素の蛍光Ｘ線ごとに、標準値に対応する測定元素の質量分率（質量百分率の１／１００）および標準値から得られる試料構成元素の質量分率を用いて理論強度式により計算した理論強度と測定強度との相関として、次式（４）のように表される装置感度曲線が求められ、装置感度定数が決定される（例えば特許文献１の段落０００３および図４におけるステップＳ１〜Ｓ３参照）。

Ｉ_Ｔｉ＝ａＩ_Ｍｉ ^２＋ｂＩ_Ｍｉ＋ｃ …（４）
Ｉ_Ｔｉ：成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の理論強度
Ｉ_Ｍｉ：成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の測定強度
ａ，ｂ，ｃ：装置感度定数

そして、作成した装置感度曲線の評価のために、前式（４）で表された装置感度曲線のグラフが、例えば成分Ｃｒについて図３のように表示される。図３では、黒丸の点の横軸座標が標準試料についての理論強度を示している。

また、標準試料について、成分ｉに対応する測定強度Ｉ_Ｍｉを装置感度曲線の式（４）に代入することにより、理論強度スケールに換算した測定強度である換算測定強度Ｉ＾_Ｔｉを求め、さらに、次式（５）により、換算測定強度Ｉ＾_Ｔｉと理論強度Ｉ_Ｔｉとの差である誤差（Ｉ＾_Ｔｉ−Ｉ_Ｔｉ）の標準偏差として、用いた一組の標準試料による成分ｉの換算測定強度全体についての正確度Ｓ_Ｂを求める。

Ｓ_Ｂ＝（Σ（Ｉ＾_Ｔｉ−Ｉ_Ｔｉ）^２／（ｎ−ｍ））^１／２ …（５）
ｎ：用いた標準試料の数
ｍ：用いた装置感度定数の数

これらの、標準試料ごとの理論強度Ｉ_Ｔｉ、換算測定強度Ｉ＾_Ｔｉおよび誤差（Ｉ＾_Ｔｉ−Ｉ_Ｔｉ）、換算測定強度全体についての正確度Ｓ_Ｂも、作成した装置感度曲線の評価のために表示される。

国際公開第２０１８／１６８９３９号

ファンダメンタルパラメータ法による定量分析では、装置感度曲線のグラフにおける理論強度Ｉ_Ｔｉ、標準試料ごとの理論強度Ｉ_Ｔｉ、換算測定強度Ｉ＾_Ｔｉおよび誤差（Ｉ＾_Ｔｉ−Ｉ_Ｔｉ）、換算測定強度全体についての正確度Ｓ_Ｂが、すべて標準値Ｗ_ｉとは異なる次元の単位つまり理論強度スケールで表示されるので、装置感度曲線が適切に作成されたか否かの評価が容易でない。

本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、ファンダメンタルパラメータ法による蛍光Ｘ線分析装置において、装置感度曲線が適切に作成されたか否かの評価を容易にすることを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明は、まず、試料に１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の測定強度に基づいてファンダメンタルパラメータ法を用いる定量手段により前記試料中の成分の含有率の定量値を求める蛍光Ｘ線分析装置である。前記定量手段は、成分の含有率が標準値として既知である一組の標準試料について、成分に対応する測定元素の蛍光Ｘ線ごとに、標準値に対応する測定元素の質量分率および標準値から得られる試料構成元素の質量分率を用いて理論強度式により計算した理論強度と測定強度との相関である装置感度曲線を求めて、装置感度定数を決定する。

そして、前記定量手段は、各標準試料について、前記測定強度と、前記装置感度定数と、前記理論強度式において前記理論強度を計算するために前記測定元素の質量分率に乗ぜられる比例係数とを用いて、測定元素に対応する成分の含有率の定量値を計算する。さらに、前記定量手段は、各成分について、標準値と定量値との相関を示すグラフ、および／または、標準試料ごとの標準値、定量値、定量誤差と前記一組の標準試料による定量値全体についての正確度を出力する。

本発明の蛍光Ｘ線分析装置においては、定量手段により、各成分について、標準値と定量値との相関を示すグラフ、および／または、標準試料ごとの標準値、定量値、定量誤差と用いた一組の標準試料による定量値全体についての正確度が出力される。ここで、グラフにおける定量値、標準試料ごとの定量値および定量誤差、定量値全体についての正確度が、すべて標準値と同じ単位で表示されるので、検量線法による定量分析において検量線式が適切に作成されたか否かの評価が容易であるのと同様に、装置感度曲線が適切に作成されたか否かの評価が容易である。

本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す概略図である。従来の検量線法による蛍光Ｘ線分析装置において出力される検量線のグラフの一例である。従来のファンダメンタルパラメータ法による蛍光Ｘ線分析装置において出力される装置感度曲線のグラフの一例である。本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置が備える定量手段の動作を示すフローチャートである。同定量手段により出力される標準値と定量値との相関を示すグラフの一例である。

以下、本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について説明する。図１に示すように、この装置は、試料１，１４（未知試料１と標準試料１４の双方を含む）に１次Ｘ線３を照射して発生する２次Ｘ線５の強度を測定する走査型の蛍光Ｘ線分析装置であって、試料１，１４が載置される試料台２と、試料１，１４に１次Ｘ線３を照射するＸ線管などのＸ線源４と、試料１，１４から発生する蛍光Ｘ線などの２次Ｘ線５を分光する分光素子６と、その分光素子６で分光された２次Ｘ線７が入射され、その強度を検出する検出器８とを備えている。検出器８の出力は、図示しない増幅器、波高分析器、計数手段などを経て、装置全体を制御するコンピュータなどの制御手段１１に入力される。

この装置は、波長分散型でかつ走査型の蛍光Ｘ線分析装置であり、検出器８に入射する２次Ｘ線７の波長が変化するように、分光素子６と検出器８を連動させる連動手段１０、すなわちいわゆるゴニオメータを備えている。２次Ｘ線５がある入射角θで分光素子６へ入射すると、その２次Ｘ線５の延長線９と分光素子６で分光（回折）された２次Ｘ線７は入射角θの２倍の分光角２θをなすが、連動手段１０は、分光角２θを変化させて分光される２次Ｘ線７の波長を変化させつつ、その分光された２次Ｘ線７が検出器８に入射するように、分光素子６を、その表面の中心を通る紙面に垂直な軸Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、検出器８を、軸Ｏを中心に円１２に沿って回転させる。分光角２θの値（２θ角度）は、連動手段１０から制御手段１１に入力される。

この装置は、制御手段１１に搭載されるプログラムとして定量手段１３を備えており、蛍光Ｘ線５の測定強度に基づいて、ファンダメンタルパラメータ法を用いる定量手段１３により、試料１，１４中の成分の含有率の定量値を求める。なお、本発明においては、蛍光Ｘ線分析装置は、波長分散型でかつ多元素同時分析型の蛍光Ｘ線分析装置でもよいし、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置でもよい。

次に、定量手段１３の動作について、図４のフローチャートにしたがって説明する。まず、前述した従来のファンダメンタルパラメータ法による定量分析と同様に、未知試料１の分析のために、ステップＳ１で、成分ｉ，ｊの含有率Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊが標準値として既知である一組の標準試料１４を用いて、成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線５ごとに、標準値Ｗ_ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉ（質量百分率の１／１００）および標準値Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊから得られる試料構成元素ｋの質量分率ｗ_ｋを用いて理論強度式により計算した理論強度Ｉ_Ｔｉと、測定強度Ｉ_Ｍｉとの相関として、前式（４）のように表される装置感度曲線を求めて、装置感度定数ａ，ｂ，ｃを決定する。なお、試料構成元素ｋは、試料１、１４を構成するすべての元素であり、成分ｉに対応する測定元素を含む。また、成分ｉ，ｊが化合物の場合、試料構成元素ｋは、１対１で成分ｉ，ｊと対応しないため、異なる記号ｋを用いている。

ここで、理論強度を計算するための理論強度式としては、単一波長の１次Ｘ線による励起で一次励起のみ生じるとした場合には、次式（６）が用いられる。

Ｉ_Ｔｐｉ＝Ｋ_ｉｗ_ｉ／Σμ_ｋｗ_ｋ …（６）
Ｉ_Ｔｐｉ：成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の理論強度（一次励起）
Ｋ_ｉ：定数
ｗ_ｉ：成分ｉに対応する測定元素の質量分率
μ_ｋ：成分ｉに対応する蛍光Ｘ線に対する試料構成元素ｋの総合吸収計数
ｗ_ｋ：試料構成元素ｋの質量分率

式（６）から理解されるように、Ｋ_ｉ／Σμ_ｋｗ_ｋ＝Ｉ_Ｔｐｉ’は、理論強度式（６）において、成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の理論強度Ｉ_Ｔｐｉを計算するために、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉに乗ぜられる比例係数となっている。この比例係数Ｉ_Ｔｐｉ’は、成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の理論強度Ｉ_Ｔｐｉを計算するための理論強度式（６）を、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉで除した式Ｋ_ｉ／Σμ_ｋｗ_ｋで計算される数値ともいえる。二次励起の成分ｉに対応する理論強度Ｉ_Ｔｓｉも、同様に成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉに比例しており、その比例係数をＩ_Ｔｓｉ’とすると、一次励起と二次励起を合わせての成分ｉに対応する理論強度Ｉ_Ｔｉも、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉに比例し、その比例係数は、次式（７）のようにＩ_Ｔｉ’となる。

Ｉ_Ｔｉ＝Ｉ_Ｔｐｉ＋Ｉ_Ｔｓｉ＝（Ｉ_Ｔｐｉ’＋Ｉ_Ｔｓｉ’）ｗ_ｉ＝Ｉ_Ｔｉ’ｗ_ｉ …（７）

なお、試料１、１４が単層の薄膜試料である場合には、理論強度式に試料１、１４の厚さに依存する項が加わるが、式（７）と同様に、成分ｉに対応する理論強度Ｉ_Ｔｉは、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉに比例する。さらに、試料１、１４が基板を含む多層の薄膜試料である場合にも、基板を含む複数の層に同一の測定元素が含まれない限り、成分ｉに対応する理論強度Ｉ_Ｔｉは、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉに比例する。

以上に説明した理論強度式において、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉとして成分ｉの標準値Ｗ_ｉから換算される当該測定元素の質量分率を、試料構成元素ｋの質量分率ｗ_ｋとして標準値Ｗ_ｉ，Ｗ_ｊから換算される各試料構成元素ｋの質量分率ｗ_ｋを用い、理論強度Ｉ_Ｔｉを計算する。そして、その理論強度Ｉ_Ｔｉと、標準試料１４についての成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線５の測定強度Ｉ_Ｍｉとの相関として、前式（４）のように表される装置感度曲線を求めて、装置感度定数ａ，ｂ，ｃを決定する。

なお、成分ｉが元素である場合には、その元素そのものが成分ｉに対応する測定元素であるから、成分ｉの含有率Ｗ_ｉ（含有率の標準値、定量値等を含め、一般に質量百分率（mass％）で表される）から、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉへの換算は、単に１／１００を乗ずるだけである。成分ｉが化合物である場合の、成分ｉの含有率Ｗ_ｉから、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉへの換算は、化合物の分子量および対応する測定元素（当該化合物を代表する元素）の原子量に基づいて、周知技術によりなされる。また、酸化物などである試料をガラスビードとして調製し、そのガラスビードを検体として蛍光Ｘ線分析に処する場合や、粉末である試料をバインダと混合し、その混合物を検体として蛍光Ｘ線分析に処する場合においては、試料中の成分ｉの含有率Ｗ_ｉから、検体中の成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉへの換算は、試料についての希釈率、ガラスビード調製により揮散するイグロス成分の含有率などに基づいて、周知技術によりなされる。

ステップＳ１の具体例を挙げると、試料１、１４がステンレス鋼で、表１に示すような標準値を有する５つの標準試料１４を用い、成分Ｃｒに対応する測定元素Ｃｒの蛍光Ｘ線であるＣｒ−Ｋα線について、表２に示すような理論強度と測定強度の相関として、最小二乗法で一次式の装置感度曲線（装置感度定数ａ＝０）を求めて、前式（４）における装置感度定数を、ｂ＝１．１０２３８，ｃ＝６．９１６６６と決定する。

次に、定量手段１３は、ステップＳ２で、各標準試料１４について、前記測定強度Ｉ_Ｍｉと、前記装置感度定数ａ，ｂ，ｃと、前記理論強度式において前記理論強度Ｉ_Ｔｉを計算するために前記測定元素の質量分率ｗ_ｉに乗ぜられる比例係数Ｉ_Ｔｉ’とを用いて、測定元素に対応する成分ｉの含有率の定量値Ｗ＾_ｉを以下のように計算する。

まず、前式（４）および（７）から導かれる次式（８）により、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉの定量値ｗ＾_ｉを計算する。なお、比例係数Ｉ_Ｔｉ’は、ステップＳ１で用いた理論強度式、例えば式（６）を、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉで除した式、例えばＫ_ｉ／Σμ_ｋｗ_ｋで計算する。

ｗ＾_ｉ＝（ａＩ_Ｍｉ ^２＋ｂＩ_Ｍｉ＋ｃ）／Ｉ_Ｔｉ’ …（８）

そして、ステップＳ１で述べた成分ｉの含有率Ｗ_ｉから成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉへの換算とは逆の換算を、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉの定量値ｗ＾_ｉに対して行うことにより、測定元素に対応する成分ｉの含有率の定量値Ｗ＾_ｉを計算する。

ステップＳ１で述べた具体例では、表３のように、各標準試料１４について、（ａＩ_Ｍｉ ^２＋ｂＩ_Ｍｉ＋ｃ）（この具体例ではａ＝０で、表３では換算測定強度と表記）、比例係数Ｉ_Ｔｉ’、成分Ｃｒに対応する測定元素Ｃｒの質量分率ｗ_ｉの定量値ｗ＾_ｉ（表３ではＣｒ質量分率と表記）、測定元素Ｃｒに対応する成分Ｃｒの含有率の定量値Ｗ＾_ｉ（表３ではＣｒ定量値と表記）が計算される。

次に、定量手段１３は、ステップＳ３で、各成分ｉについて、標準値Ｗ_ｉと定量値Ｗ＾_ｉとの相関を示すグラフ、および／または、標準試料１４ごとの標準値Ｗ_ｉ、定量値Ｗ＾_ｉ、定量誤差（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）と用いた一組の標準試料１４による定量値全体についての正確度Ｓ_Ｃを出力する。具体的には、グラフおよび／または各数値を、ディスプレイやプリンタ（図示せず）で表示する。なお、標準値Ｗ_ｉと定量値Ｗ＾_ｉとの相関を示すグラフに重ねて正確度Ｓ_Ｃを表示してもよい。ここで、正確度Ｓ_Ｃは、次式（９）により、定量誤差（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）の標準偏差として求める。

Ｓ_Ｃ＝（Σ（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）^２／（ｎ−ｍ））^１／２ …（９）
ｎ：用いた標準試料の数
ｍ：用いた装置感度定数の数

ステップＳ１、Ｓ２で述べた具体例では、図５のグラフ、および／または、表４と正確度が０．１１mass％である旨が、出力され、ディスプレイに表示される。

この後、作成した装置感度曲線を用いて未知試料１中の成分ｉの含有率の定量値Ｗ＾_ｉを求める工程については、従来のファンダメンタルパラメータ法による定量分析と同様に行う。

以上のように、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置においては、定量手段１３により、各成分ｉについて、標準値Ｗ_ｉと定量値Ｗ＾_ｉとの相関を示すグラフ、および／または、標準試料１４ごとの標準値Ｗ_ｉ、定量値Ｗ＾_ｉ、定量誤差（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）と用いた一組の標準試料１４による定量値全体についての正確度Ｓ_Ｃが出力される。ここで、グラフにおける定量値Ｗ＾_ｉ、標準試料１４ごとの定量値Ｗ＾_ｉおよび定量誤差（Ｗ＾_ｉ−Ｗ_ｉ）、定量値全体についての正確度Ｓ_Ｃが、すべて標準値Ｗ_ｉと同じ単位で表示されるので、検量線法による定量分析において検量線式が適切に作成されたか否かの評価が容易であるのと同様に、装置感度曲線が適切に作成されたか否かの評価が容易である。

なお、本実施形態でのステップＳ２においては、ステップＳ１で用いた理論強度式を成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉで除した式で、比例係数Ｉ_Ｔｉ’を計算している。これに対し、ステップＳ１において計算される、成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の理論強度Ｉ_Ｔｉを、やはりステップＳ１において計算される、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉで単純に除して、比例係数Ｉ_Ｔｉ’を求めることも考えられる。しかし、この求め方では、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉが０の場合に、除数が０となり、対処できない。そこで、改善案として、ステップＳ１において、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉが０の場合には、その質量分率ｗ_ｉを例えば１０^−８の極微量に置き換えた組成を仮定して、各成分の理論強度を計算することが考えられる。そうすれば、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉが０でなくなる。したがって、成分ｉに対応する測定元素の蛍光Ｘ線の理論強度Ｉ_Ｔｉを、成分ｉに対応する測定元素の質量分率ｗ_ｉで単純に除して、比例係数Ｉ_Ｔｉ’を求めることができる。

１未知試料
３１次Ｘ線
５蛍光Ｘ線
１３定量手段
１４標準試料

Claims

試料に１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の測定強度に基づいてファンダメンタルパラメータ法を用いる定量手段により前記試料中の成分の含有率の定量値を求める蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記定量手段が、
成分の含有率が標準値として既知である一組の標準試料について、成分に対応する測定元素の蛍光Ｘ線ごとに、標準値に対応する測定元素の質量分率および標準値から得られる試料構成元素の質量分率を用いて理論強度式により計算した理論強度と測定強度との相関である装置感度曲線を求めて、装置感度定数を決定し、
各標準試料について、前記測定強度と、前記装置感度定数と、前記理論強度式において前記理論強度を計算するために前記測定元素の質量分率に乗ぜられる比例係数とを用いて、測定元素に対応する成分の含有率の定量値を計算し、
各成分について、標準値と定量値との相関を示すグラフ、および／または、標準試料ごとの標準値、定量値、定量誤差と前記一組の標準試料による定量値全体についての正確度を出力する、蛍光Ｘ線分析装置。