JP6798543B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
第1の電極層3a…Pt膜、膜厚:0.02λ
第2の電極層3b…Al膜
IDT電極3…デューティ比:0.50
誘電体層6…SiO2膜、膜厚D:0.3λ
弾性波…主モード:レイリー波
第1の電極層3a…Pt膜、膜厚:0.02λ
第2の電極層3b…Al膜:0.10λ
IDT電極3…デューティ比:0.50
誘電体層6…SiO2膜
弾性波…主モード:レイリー波
第1の電極層3a…Pt膜、膜厚:0.02λ
第2の電極層3b…Al膜、膜厚:0.10λ
IDT電極3…デューティ比:0.50
誘電体層6:SiO2膜
弾性波…主モード:レイリー波
第1の電極層3a…Pt膜、膜厚:0.02λ
第2の電極層3b…Al膜、膜厚:0.10λ
IDT電極3…デューティ比:0.50
誘電体層6…SiO2膜、膜厚D:0.40λ
弾性波…主モード:レイリー波
第1の電極層3a…Pt膜
第2の電極層3b…Al膜、膜厚:0.10λ
IDT電極3…デューティ比:0.50
誘電体層6…SiO2膜、膜厚D:0.35λ
弾性波…主モード:レイリー波
第1の電極層3a…Pt膜
第2の電極層3b…Al膜、膜厚:0.10λ
IDT電極3…デューティ比:0.60
誘電体層6…SiO2膜、膜厚D:0.35λ
弾性波…主モード:レイリー波
第1の電極層3a…Pt膜、膜厚:0.06λ
第2の電極層3b…Al膜、膜厚:0.10λ
誘電体層6…SiO2膜、膜厚D:0.32λ
弾性波…主モード:レイリー波
第1の電極層3a…Pt、膜厚:0.06λ
第2の電極層3b…Al、膜厚:0.10λ
IDT電極3…デューティ比:0.50
誘電体層6…SiO2、膜厚D:0.40λ
弾性波…主モード:レイリー波
2…圧電基板
2a…主面
3…IDT電極
3a,3b…第1,第2の電極層
4,5…反射器
6…誘電体層
Claims (8)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられたIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記圧電基板上に設けられた誘電体層と、
を備え、
前記IDT電極が、第1の電極層と、該第1の電極層上に積層された第2の電極層とを有し、前記第1の電極層が、前記第2の電極層を構成している金属及び前記誘電体層を構成している誘電体よりも密度の高い金属若しくは合金により構成されており、
前記圧電基板が、LiNbO3により構成されており、
前記圧電基板を伝搬する弾性表面波の主モードは、レイリー波であり、
前記圧電基板のオイラー角(0°±5°,θ,0°±10°)において、θが8°以上、32°以下の範囲内にあり、
前記第2の電極層が、Al又はAlを主成分とする合金により構成されており、
前記第1の電極層が、Pt、Au、Cu及びこれらの金属の合金からなる群から選択された少なくとも1種であり、
前記第1の電極層が、Pt又はPtを主成分とする合金により構成されている場合には、
前記第1の電極層の厚みが、前記IDT電極の電極指のピッチによって定まる弾性表面波の波長をλとしたときに、0.047λ以上であり、
前記IDT電極の厚みが、0.25λ以下であり、
前記第1の電極層が、Au又はAuを主成分とする合金により構成されている場合には、
前記第1の電極層の厚みが、0.042λ以上であり、
前記IDT電極の厚みが、0.25λ以下であり、
前記第1の電極層が、Cu又はCuを主成分とする合金により構成されている場合には、
前記第1の電極層の厚みが、0.136λ以上であり、
前記IDT電極の厚みが、0.25λ以下である、弾性波装置。 - 前記第2の電極層の厚みが、前記IDT電極の電極指のピッチによって定まる弾性表面波の波長をλとしたときに、0.0175λ以上、0.2λ以下である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板の前記オイラー角のθが、12°以上、26°以下の範囲内にある、請求項1又は2に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体層が、SiO2とSiNのうち少なくとも一方の前記誘電体により構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体層が、SiO2により構成されている、請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体層の膜厚が、前記IDT電極の電極指のピッチによって定まる弾性表面波の波長をλとしたときに、0.30λ以上、0.50λ以下である、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極のデュ−ティ比が、0.48以上、0.80以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極のデュ−ティ比が、0.55以上、0.80以下である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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