JP6792356B2 - マスク及びこれを利用した表示装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の他の課題は、そのようなマスクを利用した表示装置を提供することである。
好ましくは、前記マスクの前記第1ソース電極部の末端、前記第1ドレイン電極部の末端、前記第2ソース電極部の末端及び前記第2ドレイン電極部の末端には補助遮光部が配置されていない。
本発明は多様な変更が可能であり、様々な形態に実施できるが、特定の実施例だけを図面に例示しこれに基づいて本発明を説明する。しかし、本発明の範囲はこのような特定の実施例に限定されない。本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物又は代替物は本発明に含まれると理解されるべきである。
図1は本発明の第1実施例に係る表示装置の平面図であり、図2は図1のI−I’に沿って切断した断面図であり、図3は図1のII−II’に沿って切断した断面図であり、図4は図1のIII−III’に沿って切断した断面図である。
第1維持ライン751は前述のゲートラインGLと同一の構造を有し得る。即ち、ゲートラインGLと第1維持ライン751は同一の工程で同時に作り得る。
第2維持ライン752は前述のゲートラインGLと同一の構造を有し得る。即ち、ゲートラインGLと第2維持ライン752は同一の工程で同時に作り得る。
ゲート絶縁膜310は、図4に示されているように、第1維持ラインを露出させる第3コンタクトホールCH3を有する。即ち、図4を参考にすれば、第1維持ラインを露出させる第3コンタクトホールCH3はゲート絶縁膜310によって定義される。
第1乃至第3半導体層311、312、313は各々、非晶質シリコン又は多結晶シリコンなどからなり得る。また、第1乃至第3半導体層311、312、313は酸化物半導体からもなり得る。
抵抗性接触層360はリン(phosphorus)のようなn型不純物が高濃度でドーピングされているn+水素化非晶質シリコンなどの物質からなるかシリサイド(silicide)からなり得る。
画素101は、図5に示されているように、第1薄膜トランジスタTFT1、第1液晶容量キャパシタClc1、第1補助容量キャパシタCst1、第2薄膜トランジスタTFT2、第2液晶容量キャパシタClc2、第2補助容量キャパシタCst2及び第3薄膜トランジスタTFT3を含む。
ゲートラインGLにゲート信号が印加されると、データラインGLに伝達されたデータ電圧が第1薄膜トランジスタTFT1及び第2薄膜トランジスタTFT2を通じて第1副画素電極PE1及び第2副画素電極PE2に各々、印加される。
第3薄膜トランジスタTFT3のチャンネル700は第3ソース電極SE3と第3ドレイン電極DE3によって定義され、短い長さLbを有する。従って、第3薄膜トランジスタTFT3のチャンネル700は全体的にライン形状を有する。フォトレジストPR及び露光マスクを利用した露光及びエッチングによって第3薄膜トランジスタTFT3が製造される過程で、ライン形状のチャンネル700を形成するために、チャンネル700の上部にライン形状のフォトレジストパターンが形成される。しかし、光の干渉やスティッチ露光に応じた露光量の差などによって、チャンネル700上部に位置するライン形状のフォトレジストは、均一な厚さと幅の維持が困難である。従って、チャンネル700の形成過程で不良が発生し易い。
図7は本発明の第2実施例に係るマスク20の平面図であり、図8は図7のIV−IV’に沿って切断した断面図であり、図9は図7の“A”部分に対する拡大図である。
本発明の第2実施例に係るマスク20はデータラインDL、ソース電極SE1、SE2、SE3、ドレイン電極DE1、DE2、DE3、及び半導体層311、312、313を含むデータ配線部形成用マスクであり、光照射によってエッチング性が増加するポジティブ型(positive type)フォトレジストを利用するパターン形成工程に使用される。
遮光パターン902は透光部及び遮光部を含む。また、遮光パターン902は半透過部をさらに含む。
即ち、遮光部はデータラインDLと対応するデータライン部910、第1ソース電極SE1と対応する第1ソース電極部912、第1ドレイン電極DE1と対応する第1ドレイン電極部913、第2ソース電極SE2と対応する第2ソース電極部922、第2ドレイン電極DE2に対応する第2ドレイン電極部923、第3ソース電極SE3に対応する第3ソース電極部932及び第3ドレイン電極DE3に対応する第3ドレイン電極部933を含む。
半透過部は入射された光の一部が透過する部分で、半導体層311、312、313のチャンネル領域に対応する。
半透過部はベース基板に遮光物質を塗布することによって形成され、遮光物質の濃度調節によって半透過部の光透過度を調整する。
図10は本発明の第3実施例に係るマスク30の部分平面図であって、第3薄膜トランジスタTFT3の形成部に対する平面図である。即ち、図10は図7の“A”部分に対応する。以下、重複を避けるために、上述した構成要素に対する説明は省略する。
本発明の第3実施例に係るマスク30は第3半導体層313のチャンネル700に対応する第3チャンネル部931、第3ソース電極SE3に対応する第3ソース電極部932及び第3ドレイン電極DE3に対応する第3ドレイン電極部933を含み、第3ソース電極部932と離隔して配置された第1補助遮光部936及び第3ドレイン電極部933と離隔して配置された第2補助遮光部937を含む。第1補助遮光部936と第2補助遮光部937は第3チャンネル部931とも離隔する。
第2補助遮光部937は露光過程で第3チャンネル部931の下部が露光部905に照射される光に影響を受けるのを防止する。従って、第3チャンネル部931の下部境界で第3半導体層313が過度にエッチングされるのを防止できる。
図11は本発明の第4実施例に係るマスク40の部分平面図であって、第3薄膜トランジスタTFT3の形成部に対する平面図である。
本発明の第4実施例に係るマスク40は、第1補助遮光部938と第2補助遮光部939の形状が円形という点において第3実施例に係るマスク30と差がある。
図12は本発明の第5実施例に係るマスク50の部分平面図であって、第3薄膜トランジスタTFT3の形成部に対する平面図である。
本発明の第5実施例に係るマスク50は、第3ソース電極SE3に対応する第3ソース電極部952と第3ドレイン電極DE3に対応する第3ドレイン電極部953とが直線形状でなく折り曲げられた棒形状という点において、第2実施例に係るマスク20と差がある。第5実施例に係るマスク50の第3チャンネル部951は逆S字形状を有する。
図13は本発明の第6実施例に係るマスク60の部分平面図であって、第3薄膜トランジスタTFT3の形成部に対する平面図である。
本発明の第6実施例に係るマスク60は、第3ソース電極SE3に対応する第3ソース電極部952と第3ドレイン電極DE3に対応する第3ドレイン電極部953が直線形状でなく折り曲げられた棒形状という点において第3実施例に係るマスク30と差がある。
図14は本発明の第7実施例に係るマスク70の部分平面図であって、第3薄膜トランジスタTFT3の形成部に対する平面図である。
本発明の第7実施例に係るマスク70は、第3ソース電極SE3に対応する第3ソース電極部952と第3ドレイン電極DE3に対応する第3ドレイン電極部953とが直線形状でなく折り曲げられた棒形状という点から第4実施例に係るマスク40と差がある。
図15乃至25は表示装置の製造工程図である。以下、説明の便宜のために図1のIII−III’に沿って切断した断面図を基準にして本発明の第1実施例に係る液晶表示装置10(図1参照)の製造方法を説明する。
図1及び図15を参照すれば、透明なガラス又はプラスチックなどからなる第1基板301上に第3ゲート電極GE3及び第1維持ライン751を形成する。図15には明示していないが、このとき、ゲートラインGL、第1ゲート電極GE1、第2ゲート電極GE2及び第2維持ライン752も共に形成される。
ゲートラインGL、ゲート電極GE1、GE2、GE3、第1維持ライン751、及び第2維持ライン752の形成のために第1パターンマスク(図示せず)が用いられる。
次に、マスク20を通じて光Lが照射されて、フォトレジスト390に対する選択的露光が行われる。
マスク20の遮光部はデータ配線部に対応し、半透過部931は半導体層のチャンネルに対応する。
図19を参照すれば、1次フォトレジストパターン391を利用した1次エッチングによって、データ配線部及び半導体層のチャンネル領域以外の領域に配置された半導体材料330、抵抗性接触部材360及び導電膜370が除去される。
図示していないが、データラインDL、第1薄膜トランジスタTFT1及び第2薄膜トランジスタTFT2も共に形成される。
保護膜320はシリコン酸化物、シリコン窒化物、感光性(photosensitivity)有機物又は低誘電率絶縁物質を含む単一膜又は多重膜構造を有し得る。保護膜320は薄膜トランジスタを保護する役割を果たすと共に、薄膜トランジスタの上方を平坦化する。
図26を参照すれば、第3ソース電極SE3の末端部に第3ドレイン電極DE3に向かって突出した第1突起315が配置され、第3ドレイン電極DE3の末端部に第3ソース電極SE3に向かって突出した第2突起316が配置される。
DE1、DE2、DE3 第1、第2、第3ドレイン電極
DL データライン
GE1、GE2、GE3 第1、第2、第3ゲート電極
GL ゲートライン
PE1、PE2 第1、第2副画素電極
P1、P2 第1、第2副画素領域
SE1、SE2、SE3 第1、第2、第3ソース電極 TFT1、TFT2、TFT3 第1、第2、第3薄膜トランジスタ
10 液晶表示装置
20、30 マスク
101 画素
181、182、183 第1、第2、第3延長電極
210 共通電極
301 第1基板
302 第2基板
310 ゲート絶縁膜
311、312、313 第1、第2、第3半導体層
313a 凹部
315、317 第1突起
316、318 第2突起
320 保護膜
330 半導体材料
333 液晶層
354 カラーフィルタ
360、364 抵抗性接触層、抵抗性接触部材
370 導電膜
376 ブラックマトリクス
390 フォトレジスト
391 1次フォトレジストパターン
392、393 2次フォトレジストパターン
601 枝電極
602 切開部
700 (第3薄膜トランジスタTFT3の)チャンネル
722 オーバコート層
751、752 第1、第2維持ライン
901 ベース基板
902 遮光パターン
905 透光部
910 (マスクの遮光部の)データライン部
911 (マスクの半透過部の)第1チャンネル部
912 (マスクの遮光部の)第1ソース電極部
913 (マスクの遮光部の)第1ドレイン電極部
921 (マスクの半透過部の)第2チャンネル部
922 (マスクの遮光部の)第2ソース電極部
923 (マスクの遮光部の)第2ドレイン電極部
931、951 (マスクの半透過部の)第3チャンネル部、半透過部
931a、931b 境界部
932、952 (マスクの遮光部の)第3ソース電極部、遮光部
933、953 (マスクの遮光部の)第3ドレイン電極部、遮光部
934、954 第1突起部(第1補助遮光部)
935、955 第2突起部(第2補助遮光部)
936、938、956、958 第1補助遮光部
937、939、957、959 第2補助遮光部
Claims (16)
- ベース基板と、
前記ベース基板に配置された遮光部及び透光部を有する遮光パターンとを含み、
前記遮光部は、第1ソース電極部と、
前記第1ソース電極部と離隔して配置された第1ドレイン電極部と、
前記第1ソース電極部と連結された第2ソース電極部と、
前記第2ソース電極部と離隔して配置された第2ドレイン電極部と、
前記第2ドレイン電極部と連結された第3ソース電極部と、
前記第3ソース電極部と離隔して配置され、少なくとも一部が前記第3ソース電極部と平行な第3ドレイン電極部と、
前記第3ドレイン電極部と向き合う前記第3ソース電極部の末端部に配置された第1補助遮光部と、
前記第3ソース電極部と向き合う前記第3ドレイン電極部の末端部に配置された第2補助遮光部とを含み、
前記第1補助遮光部は、前記第2補助遮光部が配置されない前記第3ドレイン電極の非末端部分に向かって突出して前記第3ドレイン電極の非末端部分と直接向き合い、
前記第2補助遮光部は、前記第1補助遮光部が配置されない前記第3ソース電極の非末端部分に向かって突出して前記第3ソース電極の非末端部分と直接向き合うことを特徴とするマスク。 - 前記第1補助遮光部は前記第3ソース電極部と接触し、
前記第2補助遮光部は前記第3ドレイン電極部と接触することを特徴とする請求項1に記載のマスク。 - ベース基板と、
前記ベース基板に配置された遮光部及び透光部を有する遮光パターンとを含み、
前記遮光部は、第1ソース電極部と、
前記第1ソース電極部と離隔して配置された第1ドレイン電極部と、
前記第1ソース電極部と連結された第2ソース電極部と、
前記第2ソース電極部と離隔して配置された第2ドレイン電極部と、
前記第2ドレイン電極部と連結された第3ソース電極部と、
前記第3ソース電極部と離隔して配置され、少なくとも一部が前記第3ソース電極部と平行な第3ドレイン電極部と、
前記第3ドレイン電極部と向き合う前記第3ソース電極部の末端部に配置された第1補助遮光部と、
前記第3ソース電極部と向き合う前記第3ドレイン電極部の末端部に配置された第2補助遮光部とを含み、
前記第1補助遮光部は前記第3ソース電極部と離隔して、前記第3ソース電極部と前記第3ドレイン電極部の間に配置され、
前記第2補助遮光部は前記第3ドレイン電極部と離隔して前記第3ソース電極部と前記第3ドレイン電極部の間に配置されることを特徴とするマスク。 - 前記第1補助遮光部及び前記第2補助遮光部は、各々棒(bar)形状を有することを特徴とする請求項3に記載のマスク。
- 前記第1補助遮光部及び前記第2補助遮光部は、各々円形及び多角形のうちの何れか一つの形状を有することを特徴とする請求項3に記載のマスク。
- 前記第3ソース電極部と前記第3ドレイン電極部の間に配置された第3チャンネル部をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のマスク。
- 前記第3チャンネル部は半透過部であることを特徴とする請求項6に記載のマスク。
- 前記第3ソース電極部と前記第3ドレイン電極部は前記第3チャンネル部の両側に互いに平行に配置され各々、棒(bar)形状を有することを特徴とする請求項6に記載のマスク。
- 前記第3ソース電極部と前記第3ドレイン電極部は前記第3チャンネル部の両側に互いに平行に配置され各々、折り曲げられた棒形状を有することを特徴とする請求項6に記載のマスク。
- 前記第1ソース電極部の末端、前記第1ドレイン電極部の末端、前記第2ソース電極部の末端、及び前記第2ドレイン電極部の末端に補助遮光部を配置しないことを特徴とする請求項1に記載のマスク。
- 第1基板と、
前記第1基板上に配置された第1ゲート電極、第2ゲート電極及び第3ゲート電極と、
前記第1ゲート電極、第2ゲート電極及び第3ゲート電極上に配置されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に配置され前記第1ゲート電極と少なくとも一部が重畳する第1半導体層と、
前記第1半導体層と少なくとも一部が重畳する第1ソース電極と、
前記第1ソース電極と離隔して配置された前記第1半導体層と少なくとも一部が重畳する第1ドレイン電極と、
前記ゲート絶縁膜上に配置され前記第2ゲート電極と少なくとも一部が重畳する第2半導体層と、
前記第1ソース電極と連結され前記第2半導体層と少なくとも一部が重畳する第2ソース電極と、
前記第2ソース電極と離隔して配置され前記第2半導体層と少なくとも一部が重畳する第2ドレイン電極と、
前記ゲート絶縁膜上に配置され前記第3ゲート電極と少なくとも一部が重畳する第3半導体層と、
前記第2ドレイン電極と連結され前記第3半導体層と少なくとも一部が重畳する第3ソース電極と、
前記第3ソース電極と離隔して配置され前記第3半導体層と少なくとも一部が重畳する第3ドレイン電極とを含み、
前記第3ソース電極の末端部に前記第3ドレイン電極に向かって突出した第1突起が配置され、
前記第3ドレイン電極の末端部に前記第3ソース電極に向かって突出した第2突起が配置され、
前記第1突起は、前記第2突起が配置されない前記第3ドレイン電極の非末端部分に向かって突出して前記第3ドレイン電極の非末端部分と直接向き合い、
前記第2突起は、前記第1突起が配置されない前記第3ソース電極の非末端部分に向かって突出して前記第3ソース電極の非末端部分と直接向き合うことを特徴とする表示装置。 - 前記第3ソース電極と前記第3ドレイン電極は各々、3μm乃至5μmの幅を有し、
前記第1突起と前記第2突起は各々、0.1μm乃至0.5μmの突出長さを有することを特徴とする請求項11に記載の表示装置。 - 前記第3ソース電極と前記第3ドレイン電極は前記第3半導体層上に互いに平行に配置され、各々、棒(bar)形状を有することを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
- 前記第3ソース電極と前記第3ドレイン電極は前記第3半導体層上に互いに平行に配置され、各々、折り曲げられた棒(bar)形状を有することを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
- 前記第1ソース電極の末端部、前記第1ドレイン電極の末端部、前記第2ソース電極の末端部及び前記第2ドレイン電極の末端部に突起を配置しないことを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
- 前記第1基板に対向して配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板の間に配置された液晶層とを含むことを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
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