JP6791283B2 - 電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Description
1−1.第1実施形態
本発明の電気光学装置の一例として、アクティブマトリックス方式の液晶表示装置を例に説明する。
図1は、第1実施形態における電気光学装置100の平面図である。図2は、第1実施形態における電気光学装置100の断面図であって、図1中のA−A線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図1および図2のそれぞれに示す互いに直交するx軸、y軸、およびz軸を適宜用いて説明する。
図3は、第1実施形態における素子基板2の電気的な構成を示す等価回路図である。図3に示すように、素子基板2には、n本の走査線261とm本の信号線262とn本の容量線263とが設けられる。nおよびmはそれぞれ2以上の整数である。n本の走査線261とm本の信号線262との各交差に対応して「スイッチング素子」としてのTFT25が配置される。
図4は、第1実施形態における素子基板2の部分断面図である。なお、図4は、図2中の領域Bにおける拡大図である。
図5は、第1実施形態における第1遮光体31および第2遮光体32の配置を示す断面図である。図5に示すように、第1基体21には、第1遮光体31と、第2遮光体32とが設けられる。第1遮光体31は、表示領域A10に配置される。一方、第2遮光体32は、周辺領域A20に配置される。第1遮光体31および第2遮光体32は、それぞれ、遮光性を有する。遮光性とは、可視光に対する遮光性を意味し、具体的には、可視光の透過率が10%以下であること、好ましくは5%以下であることをいう。また、第1遮光体31および第2遮光体32は、それぞれ、導電性を有する。なお、本実施形態では、第1遮光体31および第2遮光体32は、各種配線と絶縁される。また、第1遮光体31と第2遮光体32とは互いに絶縁される。
次に、電気光学装置100の製造方法について説明する。まず、電気光学装置100が有する素子基板2の製造方法について説明する。図9は、第1実施形態における素子基板2の製造方法を示すフローである。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図16は、第2実施形態における素子基板2Aの一部断面図である。図17は、第2実施形態における素子基板2Aの製造方法を示すフローである。図18は、第2実施形態における第2凹部形成工程S11を説明するための断面図である。本実施形態は、素子基板2Aの構成が第1実施形態と異なる。なお、第2実施形態において第1実施形態と同様の事項については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明が適宜省略される。
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
図19は、第1変形例における第1遮光体31aを示す平面図である。隣り合う第1遮光体31a同士は、これらを連結する連結部33によって連結されていてもよい。連結された複数の第1遮光体31aおよび複数の連結部33を、走査線として用いることができる。なお、複数の第1遮光体31aおよび複数の連結部33とで、1つの「第1遮光体」として捉えてもよい。なお、図示はしないが、複数の「第2遮光体」についても同様に、複数の連結部で連結されてもよい。
第1実施形態における第1凹部211および第2凹部212は、それぞれ、図8に示す形状に限定されない。例えば、第1凹部211および第2凹部212は、それぞれ、+z軸側に向かうについて連続的に幅が広がる形状、すなわちテーパー状であってもよい。よって、第1遮光体31および第2遮光体32は、それぞれテーパー状であってもよい。また、例えば、第1凹部211の底面2111および第2凹部212の底面2121は、それぞれ、段差を有してもよい。よって、第1遮光体31の底面2111との接触面および第2遮光体32の底面2111との接触面は、それぞれ、段差を有してもよい。また、例えば、第1遮光体31および第2遮光体32は、それぞれ、角部が丸みを帯びてもよい。なお、第2実施形態における第1凹部211Aおよび第2凹部212Aについても同様である。
第1凹部211および第2凹部212は、省略されてもよい。第1遮光体31および第2遮光体32は、第1基体21の平坦な上面215から突出するように配置されてもよい。なお、第2実施形態における第1凹部211Aおよび第2凹部212Aについても同様である。
第1遮光体31および第2遮光体32は、それぞれ第1金属膜301、第2金属膜302および第3金属膜303を備えるが、第2金属膜302が省略されてもよい。また、第1遮光体31および第2遮光体32は、第3金属膜303が省略されてもよい。なお、第1遮光体31Aおよび第2遮光体32Aについても同様である。
前述の各実施形態において、「スイッチング素子」は、TFT260であるが、これに限定されない。「スイッチング素子」は、例えば、MOSFET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)等であってもよい。
前述の各実施形態では、光LLは、素子基板2から入射するが、光LLは、対向基板4から入射してもよい。
電気光学装置100は、各種電子機器に用いることができる。
Claims (9)
- 透光性の基材と、
透光性の画素電極と、
前記画素電極に電気的に接続されるスイッチング素子と、
前記スイッチング素子を駆動する回路とを備え、
前記基材は、第1凹部と第2凹部を有し、前記第1凹部に配置され、前記基材の厚さ方向からの平面視において前記スイッチング素子と重なる第1遮光体と、前記第2凹部に配置され、前記平面視において前記回路と重なる第2遮光体と、を備え、
前記第1凹部の深さと前記第2凹部の深さは、互いに異なり、
前記第1遮光体の厚さと前記第2遮光体の厚さは、互いに異なり、
前記基材の上面と、前記第1遮光体の上面と、前記第2遮光体の上面とは、同一平面に位置することを特徴とする電気光学装置。 - 前記第1遮光体の厚さは、前記第2遮光体の厚さよりも厚い請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記第2遮光体の厚さは、前記第1遮光体の厚さよりも厚い請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記基材は、前記画素電極と前記スイッチング素子が配置される表示領域と、前記回路が配置される周辺領域を備え、
前記第1凹部は、前記平面視において前記スイッチング素子と重なる位置に配置され、
前記第2凹部は、前記平面視において前記回路と重なる位置に配置され、
前記第1遮光体は、前記第1凹部の内部に配置され、
前記第2遮光体は、前記第2凹部の内部に配置される請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電気光学装置。 - 前記第1凹部の底面は、平坦である請求項4に記載の電気光学装置。
- 前記第2凹部の底面は、平坦である請求項4または5に記載の電気光学装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
- 透光性の基材を用意する工程と、
前記基材に、第1凹部と第2凹部を形成する工程と、
前記第1凹部に第1遮光体、および前記第2凹部に第2遮光体を形成する工程と、
前記基材上に、透光性の画素電極、前記画素電極に電気的に接続されるスイッチング素子、および前記スイッチング素子を駆動する回路を形成する工程と、を含み、
前記第1遮光体は、前記基材の厚さ方向からの平面視において前記スイッチング素子と重なり、
前記第2遮光体は、前記平面視において前記スイッチング素子と重なり、
前記第1凹部の深さと前記第2凹部の深さは、互いに異なり、
前記第1遮光体の厚さと前記第2遮光体の厚さは、互いに異なり、
前記基材の上面と、前記第1遮光体の上面と、前記第2遮光体の上面とは、同一平面に位置することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記第1凹部および前記第2凹部は、ハードマスクを用いてエッチングにより形成される請求項8に記載の電気光学装置の製造方法。
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