JP6756698B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
4 力センサ
5 ロボット
10 研磨装置
20 制御装置
21 変化量取得部
22 位置補正部
31 回転砥石
32 保持部
33 カバー
90 基準面
91 基準面
121 基準面
122 基準面
Claims (3)
- ロボットと、
前記ロボットの手首部先端に取り付けられた研磨ツールと、
前記研磨ツールにかかる力を検出する力センサと、
前記力センサと接続されると共に前記ロボットを制御するように構成された制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記力センサによって検出される押付力が一定となるように前記研磨ツールを基準面に対して押し付けることによって前記ロボットの前記手首部先端の前記研磨ツールの現在位置を取得し、取得された前記現在位置と予め保持された前記手首部先端の前記研磨ツールの基準位置との差分を前記研磨ツールの変化量として取得する変化量取得部を有し、
前記基準面は、互いに垂直に交わる第1の壁面と第2の壁面であって、第1の方向に対して垂直な第1の壁面と、該第1の方向に垂直な第2の方向に対して垂直な第2の壁面とを有し、
前記変化量取得部は、
前記基準位置を取得する際に、前記力センサによって検出される押付力が一定となり且つ前記力センサによって検出される前記押付力の方向が前記第1の方向となるように前記研磨ツールを前記第1の壁面に対して押し付けることにより、前記基準位置の前記第1の方向の成分を取得し、更に、前記力センサによって検出される押付力が一定となり且つ前記力センサによって検出される前記押付力の方向が前記第2の方向となるように前記研磨ツールを前記第2の壁面に対して押し付けることにより、前記基準位置の前記第2の方向の成分を取得し、
前記現在位置を取得する際に、前記力センサによって検出される押付力が一定となり且つ前記力センサによって検出される前記押付力の方向が前記第1の方向となるように前記研磨ツールを前記第1の壁面に対して押し付けることにより、前記現在位置の前記第1の方向の成分を取得し、更に、前記力センサによって検出される押付力が一定となり且つ前記力センサによって検出される前記押付力の方向が前記第2の方向となるように前記研磨ツールを前記第2の壁面に対して押し付けることにより、前記現在位置の前記第2の方向の成分を取得し、
前記現在位置の前記第1の方向の成分と前記基準位置の前記第1の方向の成分との差分を前記変化量の前記第1の方向の成分として取得し、前記現在位置の前記第2の方向の成分と前記基準位置の前記第2の方向の成分との差分を前記変化量の前記第2の方向の成分として取得し、
前記変化量取得部は、前記研磨ツールが研磨動作に使用される前に、前記力センサによって検出される押付力が一定となるように前記研磨ツールを前記第1の壁面及び前記第2の壁面に対して押し付けることによって前記基準位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分を取得し、
前記研磨ツールの前記基準位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分を取得する際の前記一定の押付力と、前記研磨ツールの前記現在位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分を取得する際の前記一定の押付力は同一であり、
前記研磨ツールの前記基準位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分を取得する際の前記第1の壁面及び前記第2の壁面に対する前記研磨ツールの姿勢と、前記研磨ツールの前記現在位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分を取得する際の前記第1の壁面及び前記第2の壁面に対する前記研磨ツールの姿勢は同一であり、
前記制御装置は、取得された前記変化量の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分に基づいて前記研磨ツールによる研磨動作の開始点を補正する位置補正部をさらに有し、
前記研磨ツールは、底面と周面部とを有する回転砥石であり、
前記開始点は、前記回転砥石の前記底面と前記周面部との角部に定義され、
前記基準位置及び前記現在位置を取得する場合における前記第1の壁面及び前記第2の壁面に対する前記回転砥石の姿勢は、前記底面が前記第1の壁面及び前記第2の壁面の一方に対して、研磨動作時に前記回転砥石の前記底面が水平なワークの表面に対し成す角度と等しい角度だけ傾斜した姿勢であり、
前記位置補正部は、前記開始点を前記変化量に従って前記第1の方向及び前記第2の方向にシフトすることにより、前記開始点を補正する、
研磨装置。 - 前記現在位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分が取得される場合における前記研磨ツールは、研磨動作後の摩耗した状態のものであり、
前記変化量の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分は、それぞれ前記研磨ツールの前記第1の方向及び前記第2の方向における摩耗量を表す、請求項1に記載の研磨装置。 - 前記現在位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分が取得される場合における前記研磨ツールは、前記基準位置の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分を取得した際の研磨ツールを交換することによって前記ロボットに新たに取り付けられた状態のものであり、
前記変化量の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分は、それぞれ、交換後の前記研磨ツールの個体差、取付誤差の少なくとも一方に関する変化量の前記第1の方向及び前記第2の方向の成分を表す、請求項1に記載の研磨装置。
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