CN109968127A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种研磨装置，具有：机器人、安装于机器人的研磨工具、检测施加于研磨工具的力的力传感器、以及构成为与力传感器连接并且控制机器人的控制装置。控制装置具有：变化量取得部，其通过以由力传感器检测的按压力恒定的方式对基准面按压研磨工具而取得机器人的当前位置，并将取得的当前位置与预先保持的机器人的基准位置之间的差量取得为研磨工具的变化量。

Description

研磨装置

技术领域

本发明涉及用于研磨工件的研磨装置。

背景技术

对于研磨各种工件的表面的研磨装置，谋求维持研磨品质。作为一例，已知有如下研磨装置(例如，参照日本特开2015-160303号公报)，即构成为为了维持研磨品质，取得研磨垫片的轮廓随着重复修整研磨工作台上的研磨垫片的变化。

发明内容

但是，在进行熔接焊珠的研磨或去毛边等的研磨装置中，在重复研磨动作时进行研磨的工具(旋转磨石等)发生磨损，工具与工件接触的位置发生变化，有时对研磨品质造成影响。一般情况下为了测定这样的工具的磨损而采用的方法是进行以下设计的方法，即与研磨装置分开地设置的用于测定工具的磨损量的光学传感器等的专用的测定装置，并使用这样的测定装置来测定磨损量的工序。然而，使用这样的专用的测定装置来进行磨损量的测定会导致作业时间的增加、作业成本的提升。理想的是，不使用这样的专用的测定装置来测定工具的磨损量。

本公开的第一方式是一种研磨装置，具有：机器人、安装于所述机器人的研磨工具、检测施加于所述研磨工具的力的力传感器、以及构成为与所述力传感器连接并且控制所述机器人的控制装置，所述控制装置具有：变化量取得部，其以由所述力传感器检测的按压力恒定的方式对基准面按压所述研磨工具而取得所述机器人的当前位置，并将取得的所述当前位置与预先保持的所述机器人的基准位置之间的差量取得为所述研磨工具的变化量。

附图说明

通过与附图关联的以下实施方式的说明可以进一步明确本发明的目的、特征和优点。这些附图中，

图1A示意性地表示实施方式所涉及的研磨装置的结构，

图1B放大表示机器人末端部的研磨工具附近，

图2A是研磨工具的俯视图，

图2B是研磨工具的侧视图，

图3用于对研磨动作进行说明，

图4A表示没有磨损的全新的旋转磨石，

图4B表示因磨损而成为半径R1的外径尺寸的旋转磨石，

图5说明用于测定图4A-4B那样的磨损的样式的方法，

图6A表示没有磨损的全新的旋转磨石，

图6B表示因磨损而成为厚度H1的尺寸的旋转磨石，

图7A说明用于测定像图6A-6B那样的磨损的样式的方法，

图7B说明用于测定像图6A-6B那样的磨损的样式的方法，

图8A对将旋转磨石倾斜地与熔接焊珠接触来进行研磨的状态进行说明，

图8B表示旋转磨石的磨损状态，

图9A说明针对2个方向取得安装有全新的研磨工具的机器人的基准位置的状态，

图9B说明针对2个方向取得安装有全新的研磨工具的机器人的基准位置的状态，

图10A说明针对2个方向取得安装有磨损后的研磨工具的机器人的当前位置的状态，

图10B说明针对2个方向取得安装有磨损后的研磨工具的机器人的当前位置的状态，

图11用于说明进行研磨始点的校正的状态，

图12是表示变化量测定处理的动作的流程图，

图13是表示研磨装置的结构的框图，

图14是具有多个加工点的工件的示意图，

图15是相对于图14的工件的磨损量的测定和位置校正相关的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在所有附图中，向对应的结构要素标注共通的参照符号。为了容易理解，这些附图适当变更了比例尺。此外，附图所示的方式是用于实施本发明的一个示例，本发明并非限定于图示的方式。

图1A示意性地表示与本公开的一实施方式有关的研磨装置10的整体结构。图1B放大表示图1A中的机器人末端部的研磨工具附近。如图1A-1B所示，研磨装置10具备机器人5和控制机器人5的控制装置20。机器人5是包含多个臂部和连接各臂部的多个关节部在内的垂直型多关节机器人。在机器人5的手腕末端部处经由力传感器4装配有研磨工具3。机器人5、力传感器4和研磨工具3与控制装置20连接。在控制装置20中存储有用于使机器人5执行研磨动作的研磨程序。另外，用于进行示教输入的示教操作盘(未图示)可以与控制装置20连接。

来自力传感器4的检测信号输入到控制装置20。力传感器4是用于对施加于研磨工具3的力进行测定的传感器。作为力传感器4能够使用一般结构的力传感器。作为一例，力传感器4是应变仪式的传感器，其能够检测3个轴向的力成分以及作用于3个轴周围的转矩成分(力矩)。在研磨装置10中，力传感器4在研磨工件时检测施加给研磨工具3的力，并将该检测值提供给控制装置20。

作为研磨工具3能够使用各种工具。在以下的说明中，作为一例，设使用具有图2A-2B所示那样的旋转磨石的类型的工具作为研磨工具3。图2A、图2B分别是研磨工具3的俯视图、侧视图。如图2A、图2B所示，研磨工具3具有：旋转磨石31、可旋转地保持旋转磨石31并且传递旋转驱动力的保持部32、以及覆盖旋转磨石31的一部分的盖部33。

控制装置20具有如下功能(以下，也记载为恒定力按压功能)：在进行研磨动作时，以在某个方向上通过研磨工具3始终以恒定的力来按压工件的方式进行控制。控制装置20使用来自力传感器4的检测信号来执行该恒定力按压功能。通过使用恒定力按压功能进行针对工件的研磨动作，能够在研磨动作中，在始终以恒定的力对工件按压研磨工具3的状态下进行研磨(即，避免产生在对熔接焊珠等施加过度的力的状态下进行研磨那样的状态)，并能够将研磨的成品品质保持为高品质。

这里，参照图3对研磨动作进行说明。这里，作为一例，说明针对熔接焊珠的研磨动作。另外，在图3中，为了便于说明，只示出了旋转磨石31、工件W、工件W上的熔接焊珠B。此外，图3中的位置Ps是当全新的研磨工具3最初安装于机器人5的状态时由研磨程序定义的研磨动作的始点(以下，也记载为研磨始点)。在研磨动作中，按照存储于控制装置20的研磨程序，研磨工具3的旋转磨石31的角部如图3所示定位于始点Ps，旋转磨石31沿着基于研磨程序的移动轨迹向图3中的箭头A1方向移动并进行熔接焊珠B的研磨。以下，如详细说明那样，基于本实施方式的研磨装置10构成为：测定基于各种要因的始点Ps的变化，并以根据测定结果使旋转磨石31正确定位于始点Ps的方式进行位置校正。

使研磨始点发生变化的要因考虑有磨损、基于更换的个体差、安装误差等，但是本实施方式涉及的测定方法能够同样地应用于这些要因，因此，以下关于磨损的情况进行详细说明。

在研磨装置10中，在使用恒定力按压功能等进行熔接焊珠的研磨或去毛边等研磨动作时，会磨损进行研磨的工具(在本实施方式中是旋转磨石31)。在旋转磨石31磨损时，在通过相同的研磨程序使研磨装置10动作时，旋转磨石31相对于工件的位置发生变化，可能造成研磨品质降低。为了防止产生这样的问题，本实施方式所涉及的研磨装置10具有磨损量测定功能，该磨损量测定功能利用基于力传感器的恒定力按压功能来测定研磨工具3中的旋转磨石31的磨损量。以与测定出的磨损量相当的量来校正研磨始点(即，校正由研磨工具3进行的动作的轨迹)，由此能够维持研磨工具3相对于工件的位置关系，并维持研磨动作的品质。

以下，针对研磨工具3的旋转磨石31磨损时的3种样式及其测定方法进行说明。图4A-4B示出了研磨工具3的旋转磨石31在径向上磨损时的示例。这里，为了便于说明，如图4A-4B所示将沿着保持部32的中心线32c的方向定义为X方向。在向工件按压研磨工具3的旋转磨石31的外周表面31a的状态下执行研磨动作时，可能产生这样的磨损的样式。图4A示出了没有磨损的全新的旋转磨石31。全新的旋转磨石31具有半径R0的外径尺寸。另一方面，

图4B示出了因磨损而成为半径R1的外径尺寸的旋转磨石31。

图5说明用于测定图4A-4B那样的磨损的样式的方法。如图5中上侧所示，在全新的研磨工具3安装于机器人5时，控制装置20以基于恒定力按压功能的恒定力向相对于X方向垂直的基准面即壁面90按压研磨工具3的旋转磨石31。此时，取得针对机器人5定义的坐标系中的机器人5的位置和姿势。以下，在像这样将全新的研磨工具3安装于机器人5时，将最初测定而得的机器人5的位置定义为基准位置(P0)。在研磨工具3的旋转磨石31磨损之后，控制装置20再次使用恒定力按压功能，以与全新的测定的情况相同的恒定力以及相同的姿势，向壁面90按压研磨工具3的旋转磨石31。该情况下，相同的姿势对应于以下姿势，即在与取得基准位置时相同的X方向上向壁面90按压研磨工具3的旋转磨石31。由于通过力传感器4同时检测施加于研磨工具3的力的大小和方向，因此通过确认力传感器4的检测结果能够可靠地在X方向上以恒定力按压研磨工具3。以上，可以求出磨损后的研磨工具3安装于机器人5时的机器人5的当前位置(P1)。基准位置P0与当前位置P1在X方向上的差等于全新的旋转磨石31的半径R0与磨损后的旋转磨石31的半径R1之差(R0-R1)。因此，通过上述测定可以求出旋转磨石31的磨损量△X。对于作为这里获得的磨损量的研磨工具的变化量，通过力传感器来检测施加于研磨工具的实际的力的大小和方向，并且在进行全新的研磨工具安装于机器人时的测定时和磨损后的研磨工具安装于机器人时的测定时以相同的恒定力和相同的姿势来进行测定，因此，能够高精度地求出变化量。

在以后的研磨动作中，控制装置20使研磨工具3的位置(研磨始点)在X方向上移位求出的X方向的磨损量△X的量。由此，在以后的研磨动作中，也能够维持研磨工具3的旋转磨石31相对于工件的位置关系，并在适当的状态下使研磨工具3与工件接触来进行研磨动作。因此，能够维持研磨动作的品质。

图6A-6B示出了研磨工具3的旋转磨石31在厚度方向(Z方向)上磨损时的示例。在向工件按压研磨工具3的旋转磨石31的底面31b的状态下执行研磨动作时，可能产生这样的磨损的样式。图6A表示没有磨损的全新的旋转磨石31。全新的旋转磨石31具有厚度H0的尺寸。另一方面，图6B示出了因磨损而成为厚度H1的尺寸的旋转磨石31。

图7A-7B说明用于测定图6A-6B那样的磨损的样式的方法。如图7A所示，在全新的研磨工具3安装于机器人5时，控制装置20以基于恒定力按压功能的恒定力向相对于Z轴方向垂直的基准面91(例如，用于设置工件的工作台面)按压研磨工具3的旋转磨石31。由此，作为一例，可以求出针对机器人5定义的坐标系中的机器人5的基准位置。在研磨工具3的旋转磨石31磨损之后，控制装置20再次使用恒定力按压功能，以与全新的测定时相同的恒定力以及相同的姿势，向基准面91按压研磨工具3的旋转磨石31(参照图7B)。该情况下，相同的姿势对应于以下姿势，即在与取得基准位置时相同的Z方向上向壁面91按压研磨工具3的旋转磨石31。由于通过力传感器4同时检测施加于研磨工具3的力的大小和方向，因此通过确认力传感器4的检测结果能够可靠地在Z方向上以恒定力按压研磨工具3。以上，可以取得机器人5的当前位置。另外，在图7A-7B中，距离Z0表示全新的研磨工具3中的保持部32的中心线32c与基准面91之间的距离，距离Z1表示磨损后的研磨工具3中的保持部32的中心线32c与基准面91之间的距离。因此，基准位置与当前位置在Z方向上的差是距离Z0与距离Z1之差，即，全新的旋转磨石31的厚度H0与磨损后的旋转磨石31的厚度H1之差相等。因此，通过上述测定可以求出旋转磨石31的磨损量△Z。

在以后的研磨动作中，控制装置20使研磨工具3的位置在Z方向上移位求出的Z方向的磨损量△Z的量。由此，在以后的研磨动作中，也能够维持研磨工具3的旋转磨石31的底面与工件的相对的位置关系，并维持研磨动作的品质。

在实际的熔接焊珠的研磨等中，有时将旋转磨石31如图8A所示地倾斜地与熔接焊珠接触来进行研磨动作。该情况下，旋转磨石31的磨损以如下方式产生，即因磨损而被削减的面31c如图8B所示相对于旋转磨石31倾斜。另外，在图8A中，α表示旋转磨石31的底面31b相对于水平的工件W的表面101构成的角度。图9A～图11用于说明倾斜地产生像这样磨损的面的情况下的磨损量的测定方法。在该情况下的测定中，为了迅速地测定2个方向的磨损量，将垂直相交的壁面121、122用作基准面(参照图9A)。另外，在图9A～

图11中为了便于说明，将与壁面122平行的方向定义为X方向，将与壁面121平行的方向定义为Z方向。首先，如图9A所示，将全新的研磨工具3的旋转磨石31定位成具有底面31b相对于壁面122构成角度α的姿势。接下来，在以下状态下取得机器人5的坐标作为基准坐标Px0，即利用力传感器4的恒定力按压功能来以恒定的力向壁面121按压全新的研磨工具3的旋转磨石31。此外，如图9B所示，在以下状态下取得机器人5的坐标作为基准坐标Pz0，即利用力传感器4的恒定力按压功能来以恒定的力向垂直相交的壁面121、122中的与Z方向相对的壁面122按压全新的研磨工具3的旋转磨石31。

接下来，以与测定全新的旋转磨石31时相同的恒定的按压力以及姿势来测定产生了磨损的研磨工具3的旋转磨石31。具体来说，在以下状态下(参照图10A)，取得机器人5的坐标作为磨损后X坐标Px1，即设底面31b相对于壁面122构成角度α，并利用基于与测定全新的研磨工具3时相同的恒定力的恒定力按压功能来对壁面121按压产生了磨损的研磨工具3的旋转磨石31。能够认为基准坐标Px0与磨损后X坐标Px1之差表示X方向上的磨损量△X。接下来，自该状态起，在以下状态下(参照图10B)，取得机器人5的坐标作为磨损后Z坐标Pz1，即利用基于与测定全新的研磨工具3时相同的恒定力的恒定力按压功能，对壁面122按压研磨工具3。能够认为基准坐标Pz0与磨损后Z坐标Pz1之差表示Z方向上的磨损量△Z。在上述那样的测定中，通过确认力传感器4的检测结果，也能够与取得基准坐标时相同地在X方向或Z方向上准确地向壁面121或壁面122按压研磨工具3的旋转磨石31。因此，能够进行准确的位置测定。

在以后的研磨动作中，控制装置20使研磨工具3的位置在X方向和Z方向上移位求出的X方向和Z方向的磨损量△X、△Z的量。图11说明定义在全新的旋转磨石31的底面31b与外周表面部31a的角部的始点Ps，因基于上述测定的坐标的移位，而被定义在磨损后的旋转磨石31上的哪个位置。如图11所示，可以理解以下内容：通过使定义在全新的旋转磨石的底面31b与外周表面部31a的角部的始点Ps在X方向和Z方向上位移磨损量△X、△Z的量而获得的坐标Pn，可以定义在磨损后的旋转磨石31的倾斜的磨损面31c上。另外，可以根据实际磨损的形状，使通过上述测定而得的磨损量△X、△Z在抬高了基于实验值等的数值的基础上，设定实际的移位量。由此，在以后的研磨动作中，也能够维持研磨工具3的旋转磨石31的外周表面与工件之间的相对的位置关系，并维持研磨动作的品质。

参照图4A～图11所说明的测定例是以下例子：通过使用了力传感器4的恒定力按压功能来对相对于全新的研磨工具3安装于机器人5时的机器人5的基准位置的磨损后的研磨工具3安装于机器人5时的机器人5的位置进行测定，而求出研磨工具3的磨损量。像这样的测定方法，不但能够应用于磨损量，还能够应用于伴随保养等的更换研磨工具后的位置校正等。例如，考虑因保养等而将研磨工具更换为全新的情况。该情况下，将更换前的研磨工具3为全新时所测定的位置作为基准位置，通过与上述同样的测定方法来测定更换后的全新的研磨工具3的位置。然后，求出更换前的研磨工具的基准位置与更换品的当前位置之间的差量。该情况下的差量值为表示研磨工具的个体差、安装误差。该情况下，通过使用差量值来校正研磨动作的始点，也可以排除由个体差、安装误差造成的对研磨动作的影响而维持适当的研磨动作。

图12将上述的变化量测定处理的动作表示为流程图。在由控制装置20进行的控制下执行图12所示的动作。另外，设在执行图12的处理之前，预先取得针对全新的研磨工具的基准位置。首先，在步骤S1中，控制装置20使研磨工具3移动至作业工作台上的指定位置。工作台上的指定位置是具有适合进行磨损量的测定的基准面的部分，是针对全新的研磨工具进行了基准位置的取得的部位。接下来，控制装置20利用恒定力按压功能，向工作台等的基准面按压研磨工具3(旋转磨石31)(步骤S2)，在该状态下，取得机器人5的当前位置(步骤S3)。

接下来，控制装置20计算表示全新的研磨工具安装于机器人5时的机器人5的位置的基准位置与通过步骤S3取得的当前位置之间的差量。该差量如上所述，表示研磨工具3的磨损量、个体差、安装误差等。接着，控制装置20将通过步骤S4获得的差量值作为校正量来校正研磨始点。该情况下的校正例如可以通过对研磨轨迹的始点校正上述差量值的量来进行(步骤S5)。

图13是将进行以上所说明的磨损量测定和位置校正的研磨装置10的结构表示为框图的图。如图13所示，机器人5、力传感器4以及研磨工具3与控制装置20连接。控制装置20可以具有作为一般的计算机的结构，所述计算机具有CPU、ROM、RAM、存储装置等。控制装置20由变化量取得部21和位置校正部22构成，所述变化量取得部21以由力传感器4检测的按压力恒定的方式对基准面按压研磨工具3由此取得机器人5的当前位置，并将取得的当前位置与基准位置之间的差量取得为研磨工具3的变化量，所述位置校正部22根据取得的变化量来校正基于研磨工具3的研磨动作的始点。

接下来，参照图14和图15对将上述的磨损量测定方法应用于具有多个加工点那样的一般的工件的情况的具体例进行说明。这里，如图14所示，考虑工件W包含多个一样的毛边(b1、b2、b3、b4、b5、b6…)那样的情况。在针对这样的工件W要求高品质的研磨处理时，理想的是在每次对一个一个毛边进行研磨处理时，对由研磨工具3的磨损造成的位置的变化进行校正。因此，根据基于上述的本实施方式的磨损量测定处理，得到准确的磨损量，鉴于此，以图15所示那样的动作流程来进行针对工件W的研磨处理。

首先，从顶部的毛边(在图14的示例中是毛边b1)起依次进行研磨处理(步骤S31)。接下来，针对预定数量的毛边判定研磨处理是否结束(步骤S32)。这里，作为一例，将预定数量设为4个部位(毛边b1～b4)。在预定数量的毛边的研磨处理没有结束的情况下，在结束之前待机(S32：否)。在针对预定数量的毛边的研磨处理结束的情况下(S32：是)，以按照图12的磨损量测定处理的方法来测定研磨工具3的磨损量。这里得到的磨损量是合计了基于4个部位的毛边的处理的磨损量而得的磨损量，因此，通过用磨损量除以处理过的毛边的数量(这里是4个)，求出每一处毛边的平均的磨损量(步骤S33)。以后，在每一次针对各毛边的研磨处理结束时，执行以下动作，即对研磨工具3的位置校正通过步骤S33求出的磨损量的量(步骤S34)。

根据以上的动作，通过一次求出每一处毛边的平均的磨损量，在此后的毛边的处理中不再需要逐一执行磨损量测定，能够维持研磨动作的品质还能够降低处理的整体的所要时间。

根据以上说明的实施方式，不需要导入用于测定研磨工具的磨损量等的专用的传感器等，而能够使用研磨装置为了进行研磨动作而具有的力传感器的恒定力按压功能来准确地测定磨损量等并进行研磨始点的校正。因此，可以大幅降低用于磨损量测定的工序所需的时间、工夫。

由于力传感器的检测结果用于研磨工具的位置的取得，因此能够在求出基准位置时准确地再现出施加于研磨工具的力的大小和方向的状态下取得机器人的当前位置。

特别是，在本实施方式中，构成为使用在研磨工具的磨损后等中测定出的变化量来校正研磨动作的始点，由此来校正研磨动作的轨迹，并构成为不需要对研磨程序本身增加变更(即，不需要进行再次的示教输入)。

在上述实施方式中，在全新的研磨工具3最初安装于机器人5时测定并取得基准位置，但是基准位置例如可以根据研磨工具3的尺寸规格而通过计算求出。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但是本领域技术人员可以理解在不脱离后述的权利要求的范围内可以进行各种修正和变更。

上述实施方式示出了将研磨工具安装于垂直型多关节机器人的研磨装置的示例，但是研磨装置的结构例并不限定于这样的示例。上述实施方式的结构能够应用于使用了各种类型的机器人的研磨装置的结构。

在图12所说明的变化量测定处理中，在相对于基准位置的当前位置比预定阈值大的情况下，考虑研磨工具的磨损大幅进展的情况、更换后的研磨工具没有正确地安装的情况。因此，在相对于基准位置的当前位置比预定的阈值大时，可以针对操作员通知警报(基于显示、声音的警报)。

另外，根据基于上述实施方式的变化量测定和研磨始点校正的方法，在将种类不同的研磨工具安装于机器人5时执行了它们的情况下，能够带来诸如不用对研磨程序本身增加变更就能够继续执行后期的研磨动作的效果。

此外，为了解决本公开的课题，能够提供以下那样的各种方式及其效果。另外，以下的方式的说明书中的括号内的编号与本公开的附图的参照符号对应。

例如，本公开的第一方式是一种研磨装置(10)，其具有：机器人(5)、安装于所述机器人的研磨工具(3)、检测施加于所述研磨工具(3)的力的力传感器(4)、以及构成为与所述力传感器(4)连接并且控制所述机器人(5)的控制装置(20)，所述控制装置(20)具有：变化量取得部(21)，其以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定的方式对基准面按压所述研磨工具(3)，由此取得所述机器人(5)的当前位置，并将取得的所述当前位置与预先保持的所述机器人(5)的基准位置之间的差量取得为所述研磨工具(3)的变化量。

根据上述第一方式，不需要导入用于测定研磨工具的磨损量等的专用的传感器等，就能够使用研磨装置为了进行研磨动作而具有的力传感器的恒定力按压功能来准确地测定磨损量等，并用于校正等。

此外，本公开的第二方式是上述第一方式的研磨装置(10)，所述控制装置(20)还具有：位置校正部(22)，其根据取得的所述变化量来校正基于所述研磨工具(3)的研磨动作的始点。

此外，本公开的第三方式是上述第一方式或第二方式的研磨装置(10)，在所述研磨工具(3)被使用于研磨动作之前，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定的方式对所述基准面按压所述研磨工具(3)，由此取得所述基准位置。

此外，本公开的第四方式是上述第三方式的研磨装置(10)，取得所述机器人(5)的所述基准位置时的恒定的所述按压力与取得所述机器人(5)的所述当前位置时的恒定的所述按压力相同，取得所述机器人(5)的所述基准位置时由所述力传感器(4)检测的恒定的所述按压力的方向与取得所述机器人(5)的所述当前位置时由所述力传感器(4)检测的恒定的所述按压力的方向相同。

此外，本公开的第五方式是上述第三方式的研磨装置(10)，取得所述机器人(5)的所述基准位置时的恒定的所述按压力与取得所述机器人(5)的所述当前位置时的恒定的所述按压力相同，取得所述机器人(5)的所述基准位置时的所述研磨工具(3)相对于所述基准面的姿势与取得所述机器人(5)的所述当前位置时的所述研磨工具(3)相对于所述基准面的姿势相同。

此外，本公开的第六方式是上述第一方式或第二方式的研磨装置(10)，在取得所述机器人(5)的所述基准位置时，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定且由所述力传感器(4)检测的所述按压力的方向为第一方向的方式对所述基准面按压所述研磨工具(3)，在取得所述机器人(5)的所述当前位置时，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定且由所述力传感器(4)检测的所述按压力的方向为所述第一方向的方式对所述基准面按压所述研磨工具(3)，由此，取得所述第一方向上的所述研磨工具(3)的所述变化量。

此外，本公开的第七方式是上述第一方式或第二方式的研磨装置(10)，所述基准面具有分别与至少两个方向垂直的第一基准面和第二基准面，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定的方式至少对所述第一基准面与第二基准面按压所述研磨工具(3)，由此，针对所述至少两个方向的成分取得所述研磨工具(3)的当前位置。

此外，本公开的第八方式是上述第七方式的研磨装置(10)，所述至少两个方向是第一方向和第二方向，在取得所述机器人(5)的所述基准位置时，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定且由所述力传感器(4)检测的所述按压力的方向为所述第一方向的方式对所述第一基准面按压所述研磨工具(3)，在取得所述机器人(5)的所述当前位置时，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定且由所述力传感器(4)检测的所述按压力的方向为所述第一方向的方式对所述第一基准面按压所述研磨工具(3)，由此，取得所述变化量在所述第一方向上的成分，在取得所述机器人(5)的所述基准位置时，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器(4)检测的按压力恒定且由所述力传感器(4)检测的所述按压力的方向为所述第二方向的方式对所述第二基准面按压所述研磨工具(3)，在取得所述机器人(5)的所述当前位置时，所述变化量取得部(21)以由所述力传感器检测的按压力恒定且由所述力传感器(4)检测的所述按压力的方向为所述第二方向的方式对所述第二基准面按压所述研磨工具(3)，由此，取得所述变化量在所述第二方向上的成分。

此外，本公开的第九方式是上述第一方式～第八方式中的某一方式的研磨装置(10)，取得所述当前位置时的所述研磨工具(3)是研磨动作后的磨损状态下的研磨工具，所述变化量表示所述研磨工具(3)的磨损量。

此外，本公开的第十方式是上述第一方式～第八方式中的某一方式的研磨装置(10)，取得所述当前位置时的所述研磨工具(3)是通过更换取得了所述基准位置时的研磨工具(3)而重新安装于所述机器人的状态下的研磨工具，所述变化量表示与更换后的所述研磨工具(3)的个体差、安装误差的至少一个有关的变化量。

此外，本公开的第十一方式是上述第二方式的研磨装置(10)，所述变化量取得部(21)在针对工件上的多个加工点中的预定数量的加工点的研磨处理之后求出所述变化量，并通过将求出的所述变化量除以所述预定数量而求出针对1个加工点的研磨处理中的平均变化量，所述位置校正部(22)使用求出的所述平均变化量来校正基于所述研磨工具的研磨动作的始点。

Claims (11)

1.一种研磨装置，其特征在于，具有：

机器人；

研磨工具，其安装于所述机器人；

力传感器，其检测施加于所述研磨工具的力；以及

控制装置，其构成为与所述力传感器连接并且控制所述机器人，

所述控制装置具有：变化量取得部，其以由所述力传感器检测的按压力恒定的方式对基准面按压所述研磨工具，由此取得所述机器人的当前位置，并将取得的所述当前位置与预先保持的所述机器人的基准位置之间的差量取得为所述研磨工具的变化量。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述控制装置还具有：位置校正部，其根据取得的所述变化量来校正基于所述研磨工具的研磨动作的始点。

3.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

在所述研磨工具被使用于研磨动作之前，所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定的方式对所述基准面按压所述研磨工具，由此取得所述基准位置。

4.根据权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，

取得所述机器人的所述基准位置时的恒定的所述按压力与取得所述机器人的所述当前位置时的恒定的所述按压力相同，

取得所述机器人的所述基准位置时由所述力传感器检测的恒定的所述按压力的方向与取得所述机器人的所述当前位置时由所述力传感器检测的恒定的所述按压力的方向相同。

5.根据权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，

取得所述机器人的所述基准位置时的恒定的所述按压力与取得所述机器人的所述当前位置时的恒定的所述按压力相同，

取得所述机器人的所述基准位置时的所述研磨工具相对于所述基准面的姿势与取得所述机器人的所述当前位置时的所述研磨工具相对于所述基准面的姿势相同。

6.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

在取得所述机器人的所述基准位置时，所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定且由所述力传感器检测的所述按压力的方向为第一方向的方式对所述基准面按压所述研磨工具，

在取得所述机器人的所述当前位置时，所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定且由所述力传感器检测的所述按压力的方向为所述第一方向的方式对所述基准面按压所述研磨工具，

由此，取得所述第一方向上的所述研磨工具的所述变化量。

7.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

所述基准面具有分别与至少两个方向垂直的第一基准面和第二基准面，

所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定的方式至少对所述第一基准面和第二基准面按压所述研磨工具，由此，针对所述至少两个方向的成分取得所述研磨工具的当前位置。

8.根据权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，

所述至少两个方向是第一方向和第二方向，

在取得所述机器人的所述基准位置时，所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定且由所述力传感器检测的所述按压力的方向为所述第一方向的方式对所述第一基准面按压所述研磨工具，

在取得所述机器人的所述当前位置时，所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定且由所述力传感器检测的所述按压力的方向为第一方向的方式对所述第一基准面按压所述研磨工具，由此，取得所述变化量在所述第一方向上的成分，

在取得所述机器人的所述基准位置时，所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定且由所述力传感器检测的所述按压力的方向为所述第二方向的方式对所述第二基准面按压所述研磨工具，

在取得所述机器人的所述当前位置时，所述变化量取得部以由所述力传感器检测的按压力恒定且由所述力传感器检测的所述按压力的方向为所述第二方向的方式对所述第二基准面按压所述研磨工具，由此，取得所述变化量在所述第二方向上的成分。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

取得所述当前位置时的所述研磨工具是研磨动作后的磨损状态下的研磨工具，

所述变化量表示所述研磨工具的磨损量。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

取得所述当前位置时的所述研磨工具是通过更换取得了所述基准位置时的研磨工具而重新安装于所述机器人的状态下的研磨工具，

所述变化量表示与更换后的所述研磨工具的个体差、安装误差的至少一个有关的变化量。

11.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，

所述变化量取得部在针对工件上的多个加工点中的预定数量的加工点的研磨处理之后求出所述变化量，并通过将求出的所述变化量除以所述预定数量而求出针对1个加工点的所述研磨处理中的平均变化量，

所述位置校正部使用求出的所述平均变化量来校正基于所述研磨工具的研磨动作的始点。