JP6734733B2 - ガスセンサ用導電性酸化物焼結体、導電性酸化物焼結体、配線基板及びガスセンサ - Google Patents
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Description
0.375≦a≦0.524、
0.050<b≦0.200、
0.025≦c≦0.250、
0.150≦d≦0.350
を満たすことを特徴とする。この形態によれば、200S/cm以上の室温導電率を有するガスセンサ用導電性酸化物焼結体を提供できる。ここで、「室温導電率」とは25℃における導電率を意味する。
0.412≦a≦0.524、
0.060≦b≦0.200、
0.025≦c≦0.200、
0.200≦d≦0.350
を満たしてもよい。この形態のガスセンサ用導電性酸化物焼結体によれば、500S/cm以上の室温導電率を有するガスセンサ用の導電性酸化物焼結体を提供できる。
0.412≦a<0.500、
0.060≦b≦0.200、
0.025≦c≦0.200、
0.150≦d≦0.350
を満たすことを特徴とする。この形態の導電性酸化物焼結体によれば、希土類元素REが欠損する場合(a<b+c+d)であっても、500S/cm以上の室温導電率を有する導電性酸化物焼結体を提供できる。
本発明の一実施形態としての電性酸化物焼結体は、以下の組成式である(1)式を満たすペロブスカイト型酸化物結晶構造を有する結晶相を含む酸化物焼結体である。
ここで、REは希土類元素を表し、a+b+c+d=1、1.25≦x≦1.75である。また、係数a,b,c,dは以下の関係を満たす。
0.375≦a≦0.524 … (2a)
0.050<b≦0.200 … (2b)
0.025≦c≦0.250 … (2c)
0.150≦d≦0.350 … (2d)
0.412≦a≦0.524 …(3a)
0.060≦b≦0.200 …(3b)
0.025≦c≦0.200 …(3c)
0.200≦d≦0.350 …(3d)
0.412≦a<0.500 … (4a)
0.060≦b≦0.200 … (4b)
0.025≦c≦0.200 … (4c)
0.150≦d≦0.350 … (4d)
図1は、本発明の一実施形態における導電性酸化物焼結体の製造方法を示す工程図である。導電性酸化物焼結体の製造では、まず、原料粉末を秤量し、混合する(工程T110)。本実施形態では、工程T110において、原料粉末を秤量した後、湿式混合して乾燥することにより、原料粉末混合物を調整する。原料粉末としては、例えば、RE(OH)3、CuO、Fe2O3及びNiOを用いることができる。これらの原料粉末としては、すべて純度99%以上のものを用いることが好ましい。なお、RE原料としては、RE(OH)3の代わりにRE2O3を利用することも可能であるが、RE(OH)3を用いることが好ましく、RE2O3を用いないことが好ましい。この理由は、例えば、La2O3には吸水性があるので正確に調合することが困難であり、導電率の低下や再現性の低下を招く可能性があるためである。
図2は、本実施形態の導電性酸化物焼結体を電極材料として用いたガスセンサ素子100の一例を示す正面図である。図3は、図2に示すガスセンサ素子100の断面図である。本実施形態において、ガスセンサ素子100は、酸素センサ素子である。ガスセンサ素子100は、軸線方向である長手方向に延びるとともに、有底筒状をなすセラミック(固体電解質)製の基材110と、基材110の外面に形成された貴金属の外部電極120と、基材110の内面に形成された基準電極130(参照電極)とを有する。
図5は、本発明の一実施形態としてのガスセンサ300の一例を示す断面図である。本実施形態のガスセンサ300は、例えば内燃機関の排気ガス中の酸素濃度を検出するために用いる酸素センサである。ガスセンサ300は、軸線Oに沿って伸長する細長形状を有している。以下の説明では、図5の下方側を先端側と呼び、上方側を後端側と呼ぶ。また、軸線Oと垂直な方向であって、軸線Oから外部に向かう方向を「径方向」と呼ぶ。ガスセンサ300は、上述した実施形態のガスセンサ素子100と、主体金具20と、プロテクタ62と、外筒40と、保護外筒38と、ガスセンサ素子100の基準電極130から引き出されるリード線60と、を備えている。
以下では、導電性酸化物焼結体の組成を(1),(2a)〜(2d)式を満たすようにすることで、200S/cm以上の室温導電率を達成可能な根拠F1と、希土類元素REとしてLaのみを含むようにすることで、室温導電率がより高い導電性酸化物焼結体を得ることができる根拠F2と、上記(3a)〜(3d)式を満たすようにすることで、500S/cmの室温導電率を達成可能な根拠F3と、上記(4a)〜(4d)式を満たすようにすることで、希土類元素REが欠損する場合(a<b+c+d)であっても、500S/cm以上の室温導電率を達成可能な根拠F4とについて、実験結果に基づいて説明する。
各サンプルについて、直流4端子法を用いて導電率を測定した。測定に用いる電極及び電極線として、Ptを用いた。導電率測定は、電圧・電流発生器(エーディシー社製のモニタ6264型)を用いた。
B定数は、上記<導電率の測定>の方法で測定した25℃の導電率と900度の導電率から、下記式(5)に従って算出した。
ρ1=1/σ1
ρ2=1/σ2
ρ1:絶対温度T1(K)における抵抗率(Ωcm)
ρ2:絶対温度T2(K)における抵抗率(Ωcm)
σ1:絶対温度T1(K)における導電率(S/cm)
σ2:絶対温度T2(K)における導電率(S/cm)
T1=298.15(K)
T2=1173.15(K)
熱起電力は、定常直流法により測定した。各サンプル(3.0mm×3.0mm×15mm)の長手方向の両端の一方を加熱することで温度差を生じさせ、両端にR熱電対(Pt−Pt13Rh)を取付けて、温度差を読み取った。両端の電位差−温度差の相関関係を求め、最小二乗法により770℃における熱起電力を算出した。なお、測定には熱電特性評価装置(アルバック理工、ZEM−3)を用いた。また、測定は低圧Heガス雰囲気下で行った。
各サンプルを室温(25℃)から1000℃に変化させた際の熱膨張係数を、リガク社製TMA8310を用いて測定した。標準試料としてAl2O3を用いた。測定は、大気雰囲気下、昇温速度10.0℃/minで行った。
本発明は、上述の実施形態や変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組合せを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
上記実施形態のガスセンサ300では、導電性酸化物焼結体によって基準電極130を構成したが、異なる構成としてもよい。例えば、基準電極130に代えて、あるいは、基準電極130に加えて、外部電極120を導電性酸化物焼結体によって構成してもよい。
上記実施形態では、ガスセンサ300は酸素センサとしたが、他種のガスの濃度を測定するためのガスセンサ(例えばNOxセンサ)用の電極において、実施形態と同様の導電性酸化物焼結体を適用してもよい。
上記実施形態では、ガスセンサ素子100として有底筒状をなすセラミック(固体電解質)製の基材110に一対の電極120、130を設ける構成としたが、異なる構成としてもよい。例えば、長手方向に延びる板状をなすセラミック(固体電解質)製の基材110に一対の電極を設け、一対の電極の一方を被測定ガスに晒して、一対の電極の他方を基準ガスに晒すように構成し、一対の電極の少なくとも一方に、上記実施形態と同様の導電性酸化物焼結体を適用してもよい。
20a…屈曲部
20b…段部
20c…鍔部
20d…雄ねじ部
29…ガスケット
31…粉体充填部
32…絶縁部材
33…金属リング
34…セパレータ
35…挿通孔
36…グロメット
37…フィルタ
38…保護外筒
39…第2通気孔
40…外筒
41…第1通気孔
60…リード線
62…プロテクタ
70…接続端子
100…ガスセンサ素子
110…基材
120…外部電極
130…基準電極
140…鍔部
300…ガスセンサ
Claims (9)
- ガスセンサ用導電性酸化物焼結体であって、
組成式:REaCubFecNidOx(但し、REは希土類元素を表し、a+b+c+d=1、1.25≦x≦1.75)で表されるペロブスカイト型酸化物結晶構造を有する結晶相を含み、前記a,b,c,dが、
0.375≦a≦0.524、
0.050<b≦0.200、
0.025≦c≦0.250、
0.150≦d≦0.350
を満たすことを特徴とする、ガスセンサ用導電性酸化物焼結体。 - 請求項1に記載のガスセンサ用導電性酸化物焼結体であって、
前記希土類元素REは、Laであることを特徴とする、ガスセンサ用導電性酸化物焼結体。 - 請求項2に記載のガスセンサ用導電性酸化物焼結体であって、
前記a,b,c,dが、
0.412≦a≦0.524、
0.060≦b≦0.200、
0.025≦c≦0.200、
0.200≦d≦0.350
を満たすことを特徴とするガスセンサ用導電性酸化物焼結体。 - 請求項2又は請求項3に記載のガスセンサ用導電性酸化物焼結体であって、
前記bは前記cよりも小さいことを特徴とする、ガスセンサ用導電性酸化物焼結体。 - 導電性酸化物焼結体であって、
組成式:REaCubFecNidOx(但し、REは希土類元素を表し、a+b+c+d=1、1.25≦x≦1.75、a<b+c+d)で表されるペロブスカイト型酸化物結晶構造を有する結晶相を含み、前記a,b,c,dが、
0.412≦a<0.500、
0.060≦b≦0.200、
0.025≦c≦0.200、
0.150≦d≦0.350
を満たすことを特徴とする、導電性酸化物焼結体。 - 配線基板であって、
セラミックス製の基材と、
前記基材の表面に、請求項5記載の導電性酸化物焼結体で形成された導電体層と、
を備えることを特徴とする配線基板。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスセンサ用導電性酸化物焼結体で形成された電極、又は、請求項5に記載の導電性酸化物焼結体で形成された電極を備えることを特徴とするガスセンサ。
- 請求項7に記載のガスセンサは、酸素センサであることを特徴とする、ガスセンサ。
- 請求項7又は請求項8に記載のガスセンサであって、
前記電極は、基準電極であることを特徴とするガスセンサ。
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TWI348546B (en) * | 2007-07-10 | 2011-09-11 | Univ Nat Taiwan Science Tech | Gas sensor |
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JP4995327B1 (ja) * | 2010-03-25 | 2012-08-08 | 日本碍子株式会社 | 電極材料、それを含む燃料電池セル、及びその製造方法 |
JP4995328B1 (ja) * | 2010-03-25 | 2012-08-08 | 日本碍子株式会社 | 電極材料及びそれを含む燃料電池セル |
JP5748584B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2015-07-15 | 京セラ株式会社 | 導電体および固体酸化物形燃料電池セルならびにセルスタック、燃料電池 |
CA2869627C (en) * | 2012-04-06 | 2018-06-12 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sintered oxide compact and circuit board using same |
JP5767743B2 (ja) * | 2013-11-15 | 2015-08-19 | 日本碍子株式会社 | 固体酸化物型燃料電池及び空気極材料 |
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