JP2012043911A - 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ - Google Patents
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- 238000005245 sintering Methods 0.000 title abstract description 4
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 92
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 19
- 229910021472 group 8 element Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 27
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910003668 SrAl Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 For example Polymers 0.000 description 2
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910018967 Pt—Rh Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005822 acrylic binder Polymers 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021480 group 4 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003826 uniaxial pressing Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
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- H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
- H01C17/065—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thick film techniques, e.g. serigraphy
- H01C17/06506—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B35/44—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminates
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- G01K7/22—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
- G01K7/223—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor characterised by the shape of the resistive element
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- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/02—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having positive temperature coefficient
- H01C7/022—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having positive temperature coefficient mainly consisting of non-metallic substances
- H01C7/023—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having positive temperature coefficient mainly consisting of non-metallic substances containing oxides or oxidic compounds, e.g. ferrites
- H01C7/025—Perovskites, e.g. titanates
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- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/04—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient
- H01C7/042—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient mainly consisting of inorganic non-metallic substances
- H01C7/043—Oxides or oxidic compounds
- H01C7/045—Perovskites, e.g. titanates
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
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- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
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- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
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- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
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- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
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Abstract
【解決手段】サーミスタ素子2をなす導電性酸化物焼結体1は、Yb,Luの少なくともいずれか、及び、Yb,Lu,Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなる元素群を第1元素群RE1とし、Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなり、第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群を第2元素群RE2とし、Sr,Ca,Mgのうち、少なくともSrをモル比で主として含む元素群をSLとし、Crを除く4A〜7A及び8族元素のうち少なくとも1種からなる元素群をM1としたとき、RE14Al2O9と表記される組成を有する第1結晶相と、(RE21-cSLc)(AlxM1y)O3と表記される第2結晶相とを含み、係数cが、0.18<c<0.50である。
【選択図】 図2
Description
これに対し、特許文献1では、温度勾配定数(B定数)が、2000〜3000K程度となる導電性酸化物焼結体が示されている。
このようなサーミスタ素子では、例えば、上述のような排ガス温度測定の用途において、−40℃〜+600℃の温度範囲で適切に温度検知ができ、しかも、温度センサの故障検知として、低温側での断線検知や高温側での短絡検知を、温度センサ(サーミスタ素子)の出力から正確に行いうる。
このような2つの結晶相を含むことにより、導電性酸化物焼結体のB定数を低くすることができる。従って、この焼結体をサーミスタ素子として利用することで、−40℃〜+600℃の温度範囲におけるB定数を、2000K以下の特性を有するサーミスタを得ることができる。かくして、広い温度範囲において、適切に温度を測定することができる。しかも、この導電性酸化物焼結体は、ペロブスカイト構造の第2結晶相中(具体的にはBサイト)に、高温時に揮発しやすいCrを含まない。このため、高温でも、第2結晶相ひいては導電性酸化物焼結体の組成変化が生じにくく、導電性酸化物焼結体の特性が安定である。
また製造段階においても、焼成中にCrが揮発することが無く、焼成条件の変動の影響を受けにくくなり、特性バラツキの少ない導電性酸化物焼結体となる。
また、第2元素群RE2は、第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群である。従って、例えば、第1元素群RE1が、YとYbである場合には、第2元素群RE2としては、Yのみ、Ybのみのほか、YとYbの2種の場合も含まれる。このように、第1元素群RE1と第2元素群RE2とが、同じ元素群であっても良い。
また、第1結晶相及び第2結晶相(ペロブスカイト型の結晶構造を有する結晶相)の存在は、それぞれ、X線回折法により、同一結晶系で類似組成の結晶に合致する特有のピークが存在すること、及び、当該結晶相に該当する各元素が存在することから、確認できる。
また、第2結晶相のBサイトにおいて、Alと固溶(置換)する元素群M1は、Crを除く、4A,5A,6A,7A及び8族元素(4〜10族元素)のうち少なくとも1種からなる。具体的には、Mn,Fe等が挙げられる。
また、この導電性酸化物焼結体を作製する際の焼成条件(酸化、還元等の焼成雰囲気、及び焼成温度など)や、Aサイト及びBサイトにおける元素同士の置換の量比により、酸素の過剰或いは欠損を生じることがある。従って、上述の組成式における酸素原子とAサイトの元素とのモル比、及び酸素原子とBサイトの元素とのモル比は、それぞれ正確に3:1となっていなくても、ペロブスカイト型の結晶構造が維持されていればよい。
さらに、第2結晶相の係数cの下限は、c≧0.19とするのが好ましい。この場合、第1結晶相、第2結晶相の存在下で、確実にB定数(-40〜600℃)を2000K以下にできる。
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.65
このように、Bサイトに元素群M1を含ませることで、焼結体を導電体として確実に機能させることができる。
かくして、例えば、このサーミスタ素子を用いて、前述したように、排気ガス温度検知用の温度センサを構成した場合には、自身の出力に基づいて、低温側での断線検知、及び、高温側での短絡検知の何れをも、正確に行うことが可能となる。
かくして、例えば、この温度センサを、前述したように、排気ガス温度検知用に用いた場合には、用いているサーミスタ素子からの出力に基づいて、低温側での断線検知、及び、高温側での短絡検知のいずれをも、正確に行うことが可能となる。
まず、実施例1〜11及び比較例1〜5にかかる導電性酸化物焼結体1及びサーミスタ素子2の製造について説明する。原料粉末として、Y2O3,Nd2O3,Yb2O3,Lu2O3,SrCO3(表1ではSrO換算で表示),CaCO3(表1ではCaO換算で表示),MgO,Al2O3,MnO2,Fe2O3(全て純度99%以上の市販品を用いた。)を用いて、表1に示す原料仕込み組成(モル%)となるように、それぞれ秤量し、これらの原料粉末を湿式混合して乾燥することにより原料粉末混合物を調整した。次いで、この原料粉末混合物を大気雰囲気下1400℃で2Hr仮焼し、平均粒径1〜2μmの仮焼粉末を得た。その後、樹脂ポットと高純度アルミナ玉石とを用い、エタノールを分散媒として、湿式混合粉砕を行った。
なお、使用しうるバインダーとしては、上述のポリビニルブチラールに特に限定されず、例えばポリビニルアルコール、アクリル系バインダー等が挙げられる。バインダーの
配合量は上述の仮焼粉末全量に対し、通常5〜20重量部、好ましくは10〜20重量部とする。
また、バインダーと混合するにあたり、サーミスタ合成粉末の平均粒子径は2.0μm以下としておくのが好ましく、これによって均一に混合することができる。
また、実施例7,8は、実施例1のSrOの一部を、CaOあるいはMgOに代えたものである。
さらに、実施例10は、実施例1等のMnO2に代えて、Fe2O3を用いたものであり、実施例11は、実施例1のMnO2の一部を、Fe2O3に代えたものである。
さらに、比較例1,3は、SrOの量を実施例に比して少なくして、後述する第1結晶相の生成を抑制すると共に第2結晶相における係数cの値を小さくしたものである。また、比較例2は、Yb2O3を用いないようにして、第1結晶相の生成を抑制すると共に第2結晶相における係数cの値を小さくしたものである。比較例4,5は、CaOあるいはMgOの量を多くする一方、SrOの量を少なくして、第1結晶相の生成を抑制すると共に第2結晶相における係数cの値を小さくしたものである。
ついで上述の造粒粉末を用いて、20MPaの圧力で一軸プレスを行い、19mmφ×2mmの円柱状に成形した。その後、150MPaの圧力でCIP(冷間等方静水圧プレス)処理を行い、この成形体を大気雰囲気において1550℃で4時間焼成して、実施例1〜11及び比較例1〜5に係る導電性酸化物焼結体のX線調査用サンプルを得た。
この図1において、○印で示したのは、結晶がYAlO3であると仮定した場合の、回折ピークデータに合致するピークであり、ペロブスカイト構造に特有のピーク配列が現れていることが判る。この結果から、実施例1の焼結体において、ペロブスカイト構造の結晶相(第2結晶相)が存在していることが確認できる。なお、YAlO3のピークデータを用いたのは、AサイトにYのほか、Yb(あるいはLu),Srが含まれていることが予測される、またBサイトには、Alのほか、Mnが含まれると予測されるが、それらは各々のサイトに固溶しているため、第2結晶相が存在しているので有れば、YAlO3と類似のパターンを示すと考えられるからである。
さらに、EPMA/WDSにより、各々の結晶相、特に導電相であるペロブスカイト型結晶相(第2結晶相)の組成分析を行った。これによると、ペロブスカイト型の結晶相には、Y,Alのほか、Yb(あるいはLu),Sr(及びCaあるいはMg),Mn(あるいはFe)の存在が確認された。従って、これらの実施例におけるペロブスカイト型の第2結晶相は、YAlO3ではなく、(RE21-cSLc)(AlxM1y)O3の組成式で示される組成を有しているものであると考えられる。但し、各実施例において、元素群RE2はY,Yb,Lu,Ndの少なくともいずれかが、元素群SLはSrあるいはこれに加えてCa,Mgのいずれかが、元素群M1には、Mn,Feの少なくともいずれかが該当する。
また、□印で示されるピークから、SrAl2O4 の存在を特定した。さらに、◇印で示されるピークから、Yb2O3の存在を特定した。
なお、他の実施例及び比較例についても同様にして、各結晶相を特定している(表2参照)。
一方、比較例1では、第2結晶相:(RE21-cSLc)(AlxM1y)O3及び他の結晶相は生成されているが、第1結晶相:RE14Al2O9は生成されていないことが判る。
このことは、他の実施例及び比較例についても同様であった。
従って、図1において▽印で示される第1結晶相:RE14Al2O9の生成されていることが、実施例と比較例の大きな違いであることが判る。
なお、図1において□印で示されるSrAl2O4および、◇印で示されるYb2O3は、比較例1〜3の何れにも存在しているので、特にこれらの存在が、実施例に係る焼結体に特異的であるとは言えないことも判る。
一方、前述の造粒粉末を用いて、金型成型法によりプレス成形(プレス圧:440MPa=4500kg/cm2)して、図2に示すように、Pt−Rh合金製の一対の電極線2a,2bの一端側が埋設された六角形板状(厚さ1.24mm)の未焼成成形体を得た。その後、大気中1550℃で4Hr焼成し、実施例1〜11のサーミスタ素子2を製造した。なお、比較例1〜5に係るサーミスタ素子も、同様にして製造した。
サーミスタ素子2の各寸法は、一辺1.15mmの六角形状で、厚み1.00mm、電極線2a,2bの径φ0.3mm、電極中心間距離0.74mm(ギャップ0.44mm)、電極挿入量1.10mmである。
B(-40〜600)=ln[R(600)/R(-40)]/[1/T(600)−1/T(-40)] …(1)
なお、R(-40):−40℃におけるサーミスタ素子の抵抗値(kΩ)、R(600):+600℃におけるサーミスタ素子の抵抗値(kΩ)である。
各実施例等についての、R(-40)、R(600)、及びB(-40〜600)の測定結果を、表3に示す。
但し、比較例4では、R(-40)が、オーバーレンジ、即ち、機器における抵抗の測定範囲外の大きな抵抗値となったので、R(-40)に代えて100℃での抵抗値を測定し、B定数B(100〜600)を算出し掲載した。
加えて、実施例1〜11の導電性酸化物焼結体及びサーミスタ素子は、Laを除く3A族元素(3族元素)のうち少なくとも1種からなる元素群RE2であって、上記第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群を第2元素群RE2とし、Sr,Ca,Mgのうち、少なくともSrをモル比で主として含む元素群をSLとし、Crを除く、4A,5A,6A,7A及び8族元素(4族元素〜10族元素)のうち少なくとも1種からなる元素群をM1としたとき、ABO3と表記されるペロブスカイト構造を有し、(RE21-cSLc)(AlxM1y)O3で表される第2結晶相をも含んでいることが判る。
なお、第2元素群RE2の本実施例1〜11における具体例も、YとYb、YとLu、YとYbとLu、あるいは、NdとYbである。また、元素群M1は、具体的には、Mn,及びFeである。
また、比較例4,5のように、元素群SLとして、CaあるいはMgを、Srと同量含んでいる場合(表1参照)、即ち、Srが主となっていない場合には、B定数が非常に大きな値となることから、元素群SLは、Sr,Ca,Mgのうち、少なくともSrをモル比で主として含むものとするのが良いことが判る。
この係数cは、ペロブスカイト結晶相(第2結晶相)のうち、Aサイトを占める元素における、元素群SLの固溶量(元素群SLの占める割合)を示す値である。元素群SLの量が増え、係数cが、大きくなりすぎる(c≧0.5)と、ペロブスカイト結晶相自身を維持することが困難になると考えられる。したがって、c<0.5とするのが好ましい。
さらに、実施例及び比較例について、表2と表3に記載した係数cとB定数の関係を、合わせて、表4に示すと共に、図3に両者の関係をグラフで示す。
但し、例えば、Srのみを用いた実施例1と、SrにCaあるいはMgを加えた実施例7,8とを比較すると容易に理解できるように、元素群SLを、Srのみとすると、これらCaやMgを元素群SLに含む(第2結晶相のAサイトに含む)ものに比して、B定数を低くすることができる点で好ましいことが判る。
ただし、第2結晶相のBサイトでAlに固溶(置換)する元素群M1として、Crを除いている。Crは、ペロブスカイト構造の第2結晶相中(Bサイト)に含まれていても、高温時に揮発しやすい。このため、Crを含む場合には、第2結晶相の組成変化を生じやすく、サーミスタ素子2のB定数や絶縁抵抗の安定性に劣る場合がある。これに対し、各実施例の導電性酸化物焼結体(サーミスタ素子)は、ペロブスカイト構造の第2結晶相にCrを含まない。このため、高温時においても第2結晶相及び導電性酸化物焼結体の組成変化が生じにくく、導電性酸化物焼結体の特性が安定である。
しかも、サーミスタ素子等の製造段階においても、焼成中にCrが揮発することが無いため、焼成温度のバラツキなど、焼成条件の変動の影響を受けにくくなり、特性バラツキの少ない導電性酸化物焼結体及びサーミスタ素子とすることができる利点もある。
特に、Bサイトを占める元素Alと、MnおよびFeとはイオン半径が近接しており、これらの元素同士で互いに容易に置換できるものであり、これらの元素からなる副生成物の生成が少なく、置換された組成で安定に存在する。このため、広い組成範囲で連続的に組成比を変えて、導電性酸化物焼結体の比抵抗値やその温度勾配定数(B定数)を調整することができる。
かくして、第2結晶相のBサイトにおいて、Alと固溶する元素群M1において、MnあるいはFeを用いると、導電線酸化物焼結体やこれを用いたサーミスタ素子について、広い温度範囲で適切な電気特性(B定数や抵抗値)を確実に得られる利点がある。
但し、実施例10と実施例11とを比較すると、元素群M1として、Feのみを用いた実施例10に比して、MnとFeとを用いた実施例11の方が、B定数が低くできることが判る。したがって、B定数の点から、元素群M1として、少なくともMnを用いるのが好ましいことが判る。
第2結晶相はペロブスカイト構造を有するので、Aサイトに配置される元素と、Bサイトに配置される元素とは、1:1の割合となるはずである。しかし、Aサイトの元素に対し、Bサイトの元素の量が、或る程度、過剰(x+y>1)あるいは欠損(x+y<1)の状態であっても、サーミスタ素子(焼結体)の所望の特性は得られるからである。
さらに好ましくは、0.95≦x+y≦1.05とすると良い。このような関係とすることで、よりペロブスカイト構造を有する第2結晶相が安定になるので、これを含む導電性酸化物焼結体、ひいてはこれを用いたサーミスタ素子の特性が安定になるからである。
この比較例1では、その組成中に、Y,Yb,Alが含まれている(表1の比較例1参照)が、先ずもって、第1結晶相((Y,Yb)4Al2O9)が生成されていない(表2参照)。さらに、係数cが、c≦0.13であり、係数cの適切な範囲である、0.18<c<0.50の範囲を外れている。
また、比較例2においても、その組成中に、Y,Alが含まれている(表1の比較例2参照)が、第1結晶相(Y4Al2O9)の生成が確認できていない。さらに、係数cが、c=0.10であり、0.18<c<0.50の範囲を外れている。
さらに、比較例3でも、第1結晶相が形成されておらず(表2参照)、また、係数cが、c=0.15であり、0.18<c<0.50の範囲を外れている。
これら比較例1〜3では、このような違いを有するため、B定数が2100Kを超える大きさになったものと考えられる。
また、比較例4では、元素群SLとして、SrのほかにCaを多く含んでおり、第1結晶相が形成されていない。また、係数c=0.11となっている。このため、B定数が、3800Kを超える極めて大きな値となった。また、比較例5では、元素群SLとして、SrのほかにMgを多く含んでおり、第1結晶相が形成されていない。また、係数c=0.12となっている。このため、B定数が、3200Kを超える極めて大きな値となったと考えられる。
これらから、B定数を、B(-40〜600)<2000Kとするのには、第1結晶相を生成させること、元素群SLとして、Srを主とすべきこと、及び、係数cをc>0.18とすることが良いことが判る。
一方、シース部材8から後端側に突き出した芯線7は、加締め端子11を介して一対のリード線12に接続されている。芯線7同士及び加締め端子11同士は、絶縁チューブ15により互いに絶縁されている。
また、この温度センサ100では、検出回路において適切なプルアップ抵抗を選択することにより、例えば、温度センサ100に5Vの電圧を印加した場合、その出力を、−40℃〜+600℃の範囲において、4.8V〜0.2Vの変化範囲に収めることができる。このため、この出力を、最大入力電圧が5Vの回路に入力する場合でも、適切に温度検知ができる。その上、温度センサ100(サーミスタ素子2)の低温時(−40℃)でも、出力が4.8V程度となり、5.0Vにまで至らないため、断線との差異を知ることができ、断線検知を容易にかつ正確に行いうる。また、同じく、高温時(+600℃)でも、出力が0.2V程度となり、0Vに至らないため、短絡との差異を知ることができ、容易かつ正確に短絡検知を行うことができる。
導電性酸化物焼結体(サーミスタ素子)の製造において、原料粉末としては、各実施例において例示した各元素を含む化合物の粉末を使用することができる。そのほか、酸化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等の化合物を用いることができる。なお、特に酸化物、炭酸塩を用いるのが好ましい。
2 サーミスタ素子
2a,2b 電極線
100 温度センサ
Claims (6)
- Yb,Luの少なくともいずれか、及び、Yb,Lu,Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなる元素群を第1元素群RE1とし、
Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなる元素群RE2であって、上記第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群を第2元素群RE2とし、
Sr,Ca,Mgのうち、少なくともSrをモル比で主として含む元素群をSLとし、 Crを除く、4A,5A,6A,7A及び8族元素のうち少なくとも1種からなる元素群をM1としたとき、
RE14Al2O9と表記される組成を有する第1結晶相と、
(RE21-cSLc)(AlxM1y)O3と表記されるペロブスカイト構造を有する第2結晶相と、
を含み、
上記第2結晶相の係数cが、0.18<c<0.50の範囲であり、
上記第2結晶相の係数x,yが、0.95≦x+y≦1.1の範囲である
導電性酸化物焼結体。 - 請求項1に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素群SLは、Srである
導電性酸化物焼結体。 - 請求項1または請求項2に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素群M1は、少なくともMnを含む
導電性酸化物焼結体。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記第2結晶相の係数x,yが以下を満たしてなる
導電性酸化物焼結体。
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.65 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の導電性酸化物焼結体を用いてなる
サーミスタ素子。 - 請求項5に記載のサーミスタ素子を用いてなる
温度センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010182636A JP5546996B2 (ja) | 2010-08-17 | 2010-08-17 | 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ |
US13/210,430 US8617433B2 (en) | 2010-08-17 | 2011-08-16 | Conductive sintered oxide, thermistor element including the same, and temperature sensor including the same |
EP11177816.3A EP2426471B1 (en) | 2010-08-17 | 2011-08-17 | Conductive sintered oxide, thermistor element including the same, and temperature sensor including the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010182636A JP5546996B2 (ja) | 2010-08-17 | 2010-08-17 | 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012043911A true JP2012043911A (ja) | 2012-03-01 |
JP5546996B2 JP5546996B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=44907722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010182636A Active JP5546996B2 (ja) | 2010-08-17 | 2010-08-17 | 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8617433B2 (ja) |
EP (1) | EP2426471B1 (ja) |
JP (1) | JP5546996B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013234105A (ja) * | 2012-04-10 | 2013-11-21 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 導電性酸化物焼結体、サーミスタ素子及び温度センサ |
JP2016131195A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 株式会社村田製作所 | Ntcサーミスタ素子の製造方法 |
JP2016196392A (ja) * | 2015-04-06 | 2016-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 導電性酸化物焼結体、それを用いたサーミスタ素子及び温度センサ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101908775B1 (ko) * | 2015-04-06 | 2018-10-16 | 니뽄 도쿠슈 도교 가부시키가이샤 | 도전성 산화물 소결체, 그것을 사용한 서미스터 소자 및 온도 센서 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004221519A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-08-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | サーミスタ素子用焼結体及びその製造方法、並びにサーミスタ素子、温度センサ |
JP2007246381A (ja) * | 2005-04-11 | 2007-09-27 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ |
JP2009182250A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | サーミスタ素子及び温度センサ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4723127B2 (ja) * | 2001-07-23 | 2011-07-13 | 日本特殊陶業株式会社 | アルミナセラミックス焼結体及びその製造方法並びに切削工具 |
JP4663927B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2011-04-06 | 信越化学工業株式会社 | 希土類含有酸化物部材 |
US7556745B2 (en) * | 2002-11-18 | 2009-07-07 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sintered compact for thermistor element, process for producing the same, thermistor element and temperature sensor |
EP1775274B1 (en) | 2005-04-11 | 2015-10-07 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Sintered electroconductive oxide, thermistor element using sintered electroconductive oxide, and temperature sensor using thermistor element |
JP5256897B2 (ja) | 2007-08-03 | 2013-08-07 | 三菱マテリアル株式会社 | サーミスタ用金属酸化物焼結体、サーミスタ素子及びサーミスタ温度センサ並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法 |
WO2010095691A1 (ja) | 2009-02-20 | 2010-08-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ |
-
2010
- 2010-08-17 JP JP2010182636A patent/JP5546996B2/ja active Active
-
2011
- 2011-08-16 US US13/210,430 patent/US8617433B2/en active Active
- 2011-08-17 EP EP11177816.3A patent/EP2426471B1/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004221519A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-08-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | サーミスタ素子用焼結体及びその製造方法、並びにサーミスタ素子、温度センサ |
JP2007246381A (ja) * | 2005-04-11 | 2007-09-27 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ |
JP2009182250A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | サーミスタ素子及び温度センサ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013234105A (ja) * | 2012-04-10 | 2013-11-21 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 導電性酸化物焼結体、サーミスタ素子及び温度センサ |
JP2016131195A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 株式会社村田製作所 | Ntcサーミスタ素子の製造方法 |
JP2016196392A (ja) * | 2015-04-06 | 2016-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 導電性酸化物焼結体、それを用いたサーミスタ素子及び温度センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2426471A1 (en) | 2012-03-07 |
US20120043513A1 (en) | 2012-02-23 |
EP2426471B1 (en) | 2018-01-17 |
US8617433B2 (en) | 2013-12-31 |
JP5546996B2 (ja) | 2014-07-09 |
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