JP2018131347A - 導電性酸化物焼結体、それを用いたサーミスタ素子及び温度センサ - Google Patents
導電性酸化物焼結体、それを用いたサーミスタ素子及び温度センサ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】M1aM2bMncAldCreOf(M1が、Pr,Nd,Smから選ばれる1種以上、M2は、Mg,Ca,Sr,Baから選ばれる1種以上)で表記されるペロブスカイト相101と、MeOxで表記される金属酸化物相102とを含み、a,b,c,d,e,fが、0.600≦a<1.000、0<b≦0.400、0≦c<0.150、0.400≦d<0.950、0.050<e≦0.600、0.50<e/(c+e)≦1.00、2.80≦f≦3.30を満たす導電性酸化物焼結体。
【選択図】図4
Description
を含む導電性酸化物焼結体が提供される。この導電性酸化物焼結体は、3族元素から選ばれる1種以上の元素をM1とし、
Mg(マグネシウム),Ca(カルシウム),Sr(ストロンチウム),Ba(バリウム)から選ばれる1種以上の元素をM2としたとき、
組成式:M1aM2bMncAldCreOfで表記され、
前記元素M1が、Pr(プラセオジム),Nd(ネオジム),Sm(サマリウム)から選ばれる1種以上の元素を主として含み、
前記a,b,c,d,e,fが下記条件式を満たし、
ペロブスカイト型結晶構造を有する導電性のペロブスカイト相と、
前記ペロブスカイト相よりも導電性が低く、
前記ペロブスカイト相を構成する金属元素から選択された少なくとも1種の金属元素をMeとしたとき、
組成式MeOxで表記される結晶構造を有する少なくとも1種の金属酸化物相と、
を含む。
0.600≦a<1.000
0<b≦0.400
0≦c<0.150
0.400≦d<0.950
0.050<e≦0.600
0.50<e/(c+e)≦1.00
2.80≦f≦3.30
0.65≦e/(c+e)≦1.00
を満たすものとしてもよい。
この構成によれば、更に高い耐熱性を有する導電性酸化物焼結体を提供することができる。
0.700≦a<1.000
0<b≦0.300
0≦c<0.140
0.500<d<0.950
0.050<e≦0.500
0.65<e/(c+e)≦1.00
2.80≦f≦3.30
を満たすものとしてもよい。
この構成によれば、更に高い耐熱性を有する導電性酸化物焼結体を提供することができる。
この構成によれば、更に高い耐熱性を有する導電性酸化物焼結体を提供することができる。
0.20≦SP/S≦0.90
この構成によれば、ペロブスカイト相の占める割合が適度であり、十分な導電パスを形成することができる。
この構成によれば、更に高い耐熱性を有する導電性酸化物焼結体を提供することができる。
本発明の導電性酸化物焼結体は、導電性のペロブスカイト相と、ペロブスカイト相よりも導電性が低い金属酸化物相と、を含む。
〔1.1〕ペロブスカイト相
導電性酸化物焼結体は、下記(1)式の組成で表記され、ペロブスカイト型結晶構造を有する導電性のペロブスカイト相を含む。
(M1aM2b)(MncAldCre)Of …(1)
ここで、M1は、3族元素から選ばれる1種以上の元素であり、M2はMg,Ca,Sr,Baから選ばれる1種以上の元素であり、a〜fは係数である。
0.600≦a<1.000 …(2a)
0<b≦0.400 …(2b)
0≦c<0.150 …(2c)
0.400≦d<0.950 …(2d)
0.050<e≦0.600 …(2e)
0.50<e/(c+e)≦1.00 …(2f)
2.80≦f≦3.30 …(2g)
0.65≦e/(c+e)≦1.00
を満たすことが更に好ましい。こうすれば、Crの含有割合が更に高まるので、更に耐熱性を高めることが可能である。
0.700≦a<1.000 …(3a)
0<b≦0.300 …(3b)
0≦c<0.140 …(3c)
0.500<d<0.950 …(3d)
0.050<e≦0.500 …(3e)
0.65<e/(c+e)≦1.00 …(3f)
2.80≦f≦3.30 …(3g)
この組成では、更に高い耐熱性を有する導電性酸化物焼結体を提供することができる。
さらに、上記(3d)〜(3f)については、以下の(4d)〜(4f)を満たすことがより高い耐熱性を有する導電性酸化物焼結体を提供する観点から好ましい。
0.600≦d≦0.920 …(4d)
0.080≦e<0.400 …(4e)
0.75≦e/(c+e)≦1.00 …(4f)
導電性酸化物焼結体は、金属酸化物相を含む。金属酸化物相は、ペロブスカイト相よりも導電性が低く、ペロブスカイト相を構成する金属元素から選択された少なくとも1種の金属元素をMeとしたとき、組成式MeOxで表記される結晶構造を有するものであればよい。具体的には、単一金属元素の酸化物、例えば、Y2O3,Pr6O11,Nd2O3,Sm2O3,Yb2O3,SrO,CaO,MnO2,Al2O3,Cr2O3などが挙げられる。また、複数の金属元素からなる複酸化物、例えば、Ca−Al系酸化物(CaAl12O19、CaAl2O4等)、Nd−Al系酸化物(NdAl11O18、NdAlO3)なども挙げられる。導電性酸化物焼結体は、金属酸化物相として1種を単独で含有してもよく、2種以上(複数種)を含有してもよい。
また、金属元素Meがペロブスカイト相をなす金属元素でない場合には、この金属元素Meがペロブスカイト相中に固溶することで、固溶前とは異なる元素からなるペロブスカイト相が生成される虞があるが、本発明の導電性酸化物焼結体では、このような組成変動も生じにくく、安定した組成を維持でき、導電性酸化物焼結体の諸特性の変動も抑制される。
0.20≦SP/S≦0.90
この構成によれば、ペロブスカイト相の占める割合が適度であり、十分な導電パスを形成することができる。
より詳細に説明すると、金属酸化物相に対して相対的に高い導電性を示すペロブスカイト相の総断面積が20%以上90%以下であるため、焼結体の導電性が低下して比抵抗が上昇することが抑制される。よって、このような導電性酸化物焼結体は、標準的な形態のサーミスタ素子に使用する導電性酸化物焼結体として好適である。
なお、焼結体の断面積S中に占めるペロブスカイト相の総断面積SPの割合は、焼結体に含まれるペロブスカイト相の体積分率とも等しい値となる。
なお、導電性酸化物焼結体を構成する結晶粒子の大きさを示す平均粒径は、特に限定されないが、好ましくは7μm以下、より好ましくは0.1〜7μm、更に好ましくは0.1〜3μmである。結晶粒子の平均粒子径が大きくなりすぎると、焼結体あるいはこれを用いたサーミスタ素子の特性の不安定化を招く傾向があるためである。
図1は、本発明の一実施形態としての温度センサ200の一例を示す部分破断断面図である。本実施形態の温度センサ200は、感温素子としてのサーミスタ素子202と、このサーミスタ素子202を先端に取り付けるシース部材206と、シース部材206とサーミスタ素子202とを収納する金属チューブ212と、金属チューブ212の一端に溶接された取付部材240と、取付部材240に一端が溶接された筒状部材260と、この筒状部材260に回動自在に外嵌されたナット部材250とを備えている。なお、金属チューブ212の内側には、サーミスタ素子202及びシース部材206の揺動を防止するためにセラミック製のセメント(図示せず)が充填されている。この温度センサ200は、例えば、内燃機関の排気管に装着されて使用される。温度センサ200の先端側に設けられたサーミスタ素子202は、排ガスが流れる排気管内に配置され、排ガスの温度を検出する。
図2は、サーミスタ素子202の外観を示す斜視図である。このサーミスタ素子202は、六角形の平面形状を有する板状のサーミスタ部203と、2本の素子電極線204とを備えている。サーミスタ部203は、上述のペロブスカイト相及び金属酸化物相を含む導電性酸化物焼結体で形成されている。
〔4〕本実施形態の効果
本実施形態の導電性酸化物焼結体、それを用いたサーミスタ素子を用いることにより、−40℃の低温下から900℃以上の高温域までの温度範囲において、適切に温度検知ができ、且つ、耐熱性に優れ、長期信頼性の高い温度センサを提供することができる。
なお、サンプルS1〜S7、S9〜S21は、本発明の実施例に該当し、サンプルS8は、比較例に該当する。
〔1.1〕サンプルS1〜S7、S9〜S21の製造
図3は、サンプルS1〜S7、S9〜S21のサーミスタ素子の製造方法を示すフローチャートである。まず、工程T1では、サンプルS1〜S7、S9〜S21にかかるペロブスカイト相用の原料粉末として、元素M1を含む原料粉末(Y2O3,Pr6O11,Nd(OH)3,Sm2O3,Yb2O3等)と、元素M2を含む原料粉末(MgCO3,CaCO3,SrCO3,BaCO3)と、その他の元素Mn,Al,Crを含む原料粉末(MnO2,Al2O3,Cr2O3等)のうちから選択された粉末材料(全て純度99%以上の市販品)を秤量し、これらの原料粉末を湿式混合して乾燥することにより、ペロブスカイト相用の原料粉末混合物を調製する。次いで、工程T3において、この原料粉末混合物を大気雰囲気下1400℃で2時間仮焼し、仮焼粉末を得る。
次の点以外は、サンプルS1〜S7、S9〜S21と同様にしてサーミスタ素子を製造する。
サンプルS8の製造では、図3における工程T5及び工程T7を省略する。すなわち、サンプルS8の製造の場合には、上述と同様の工程T1、及び工程T3を行った後、ペロブスカイト相用の仮焼粉末のみを用いて、工程T9を行い、続いて、工程T11、工程T13を行う。
詳細には、工程T9において、ペロブスカイト相用の仮焼粉末のみを用い、エタノールを分散媒として湿式混合粉砕を行う。次いで、得られたスラリーを湯煎乾燥して、合成粉末を得る。その後、この合成粉末の100重量部に対し、ポリビニルブチラールを主成分とするバインダーを20重量部添加して混合・乾燥する。更に、目開き250μmの篩を通して造粒し、造粒粉末を得る。
次いで、工程T11、T13を行う。詳細には、上述の造粒粉末を用いて、金型成型法にてプレス成形(プレス圧:4500kg/cm3)を行い、図2に示したように、Pt−Rh合金製の一対の素子電極線204の一端側が埋設された六角形板状の成形体を得る。その後、大気中1500℃〜1600℃で2〜4時間焼成することによって、サーミスタ素子202を作製する。
〔2.1〕B定数(温度勾配係数)の測定
B定数は、以下のように測定した。まず、各サンプルのサーミスタ素子202を−40℃(絶対温度T(−40)=233K)の環境下に放置し、その状態での素子電極線204間の初期抵抗値Rs(−40)を測定した。次いで、サーミスタ素子202を、900℃(絶対温度T(900)=1173K)の環境下に放置し、その状態での素子電極線204間の初期抵抗値Rs(900)を測定した。B定数B(−40〜900)は、以下の式に従って算出した。
B(−40〜900)=ln[Rs(900)/Rs(−40)]/[1/T(900)−1/T(−40)]
高温耐久試験前後の指示温度変化の換算値CT(900)は、以下のように測定した。まず、高温耐久試験前の各サンプルを900℃の環境下に放置し、その状態での初期抵抗値Rs(900)を測定した。その後、高温耐久試験として、大気中にて1050℃×50時間保持した。その後、上述と同様にして高温耐久試験後の抵抗値Ra(900)を測定した。そして、高温耐久試験前の初期抵抗値Rsと高温耐久試験後の抵抗値Raから、高温耐久試験による抵抗変化の指示温度変化量の換算値CT(900)を、次式に従って算出した。
CT(900)=[(B(−40〜900)×T(100))/[ln(Ra(900)/Rs(900))×T(900)+B(−40〜900)]]−T(900)
以下では、この換算値CT(900)を、「温度変化換算値CT(900)」とも記載する。
以下のようにして、導電性酸化物焼結体の断面組織写真を撮影し、面積分率SP/Sを算出した。
まず、断面を鏡面研磨した試料を作製し、走査型電子顕微鏡により、断面を倍率1500倍で写真撮影する。図4にサンプルS3にかかる導電性酸化物焼結体の断面写真を示す。なお、EDSによる組成分析から、明るい灰色部分がペロブスカイト相、暗い灰色部分が金属酸化物相(具体的には、CaAl12O19)である。また、黒色部分は気孔である。撮影した組織写真を画像解析装置にて解析し、視野(断面積S)に対するペロブスカイト相の断面積SPの占める割合(面積分率)SP/Sを求めた。なお、視野は、80μm×60μmとした。
実験結果を表1に示す。表1に示した各元素の係数a〜eは、工程T1(図3)の原料混合時における成分を示している。なお、表1には係数fの値を記載していないが、蛍光X線分析を用いた各元素の組成比から、2.80≦f≦3.30の範囲内であることを確認した。
これに対し、ペロブスカイト相の組成はサンプルS8と同じであるが、相対的に導電性の低い金属酸化物相を含み、ペロブスカイト相の面積分率を47%としたサンプルS3においては、金属酸化物相を増やした分(従って、ペロブスカイト相が減った分)、サンプルS8よりも抵抗値が高くなっているため、温度センサとして十分な検知精度を持たせることができる。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。
102…金属酸化物相(暗灰色部分)
103…気孔(黒色部分)
200…温度センサ
202…サーミスタ素子
203…サーミスタ部
204…素子電極線
206…シース部材
212…金属チューブ
240…取付部材
250…ナット部材
260…筒状部材
Claims (8)
- 3族元素から選ばれる1種以上の元素をM1とし、
Mg,Ca,Sr,Baから選ばれる1種以上の元素をM2としたとき、
組成式:M1aM2bMncAldCreOfで表記され、
前記元素M1が、Pr,Nd,Smから選ばれる1種以上の元素を主として含み、
前記a,b,c,d,e,fが下記条件式を満たし、
ペロブスカイト型結晶構造を有する導電性のペロブスカイト相と、
前記ペロブスカイト相よりも導電性が低く、
前記ペロブスカイト相を構成する金属元素から選択された少なくとも1種の金属元素をMeとしたとき、
組成式MeOxで表記される結晶構造を有する少なくとも1種の金属酸化物相と、
を含む導電性酸化物焼結体。
0.600≦a<1.000
0<b≦0.400
0≦c<0.150
0.400≦d<0.950
0.050<e≦0.600
0.50<e/(c+e)≦1.00
2.80≦f≦3.30 - 請求項1に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記c,eが、
0.65≦e/(c+e)≦1.00
を満たすことを特徴とする導電性酸化物焼結体。 - 請求項1又は2に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記a,b,c,d,e,fが、
0.700≦a<1.000
0<b≦0.300
0≦c<0.140
0.500<d<0.950
0.050<e≦0.500
0.65<e/(c+e)≦1.00
2.80≦f≦3.30
を満たすことを特徴とする導電性酸化物焼結体。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素M1が、Pr,Nd,Smから選ばれる1種以上の元素であり、
前記元素M2が、Ca,Srから選ばれる1種以上の元素であることを特徴とする導電性酸化物焼結体。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記導電性酸化物焼結体の断面(断面積S)に現れた前記ペロブスカイト相の断面積をSPとしたとき、S及びSPが下記条件式を満たす導電性酸化物焼結体。
0.20≦SP/S≦0.90 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記金属酸化物相に複酸化物を含む導電性酸化物焼結体。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の導電性酸化物焼結体を用いてなるサーミスタ素子。
- 請求項7に記載のサーミスタ素子を用いてなる温度センサ。
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