JP6719246B2 - 計測方法、計測装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一側面としての露光装置1の構成を示す概略図である。露光装置1は、マスク又はレチクル(原版)を介して基板を露光してパターンを形成するリソグラフィ装置である。露光装置1は、プリアライメントステージ102と、基板Wを搬送する搬送系104と、第1撮像部106と、第2撮像部108R及び108Lと、照明部110R及び110Lとを有する。また、露光装置1は、マスクMを照明する照明光学系(不図示)と、マスクMのパターンの像を基板Wに投影する投影光学系112と、基板Wを保持する基板ステージ114と、アライメントスコープ116と、制御部118とを有する。
第1実施形態では、第1画像を取得する際(S304)に、基板Wを回転させている間において基板上の対象領域を撮像し続けて1つの第1画像を取得している。一方、第2実施形態では、S304において、基板Wを回転させている間に複数の第1画像を取得する。例えば、基板Wを回転させている間において、基板上の対象領域内の互いに異なる複数の領域のそれぞれを撮像して複数の第1画像を取得する。但し、基板上の対象領域内の互いに異なる複数の領域の少なくとも1つの領域は、基板上の対象物であるスクライブラインSLを含むとよい。
第2実施形態では、第3画像を取得する際(S308)に、S304で取得された複数の第1画像のそれぞれについて、第2画像との差分を示す第3画像を求めている。一方、第3実施形態では、S308において、S304で取得された複数の画像を平均化して平均画像(第1画像)を取得し、S306で取得された第2画像を平均画像で補正して平均画像と第2画像との差分を示す画像を第3画像として取得する。
露光装置1は、例えば、デバイス(半導体デバイス、磁気記憶媒体、液晶表示素子など)などの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、露光装置1を用いて、基板にパターンを形成する(即ち、基板を露光する)工程と、パターンを形成された基板を処理する(例えば、基板を現像する)工程を含む。また、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (12)
- 基板の外縁に設けられた基準部分に対する前記基板上に配列されたパターン領域の回転ずれ量を計測する計測方法であって、
前記基板を回転させながら前記基準部分の位置を検出している間に、前記基板上に配列されたパターン領域にある対象物を含む対象領域を撮像して第1画像を取得する工程と、
前記基板を静止させた状態で前記対象物を撮像して第2画像を取得する工程と、
前記第2画像を前記第1画像を用いて補正して前記第1画像と前記第2画像との差分を示す第3画像を取得する工程と、
前記第3画像に基づいて前記対象物の位置を求め、求められた前記対象物の位置に基づいて前記基準部分に対する前記パターン領域の回転ずれ量を求める工程と、
を有することを特徴とする計測方法。 - 前記第1画像を取得する工程では、前記基板を回転させている間において前記対象領域を撮像し続けて1つの第1画像を取得することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。
- 前記第1画像を取得する工程では、前記基板を回転させている間において前記対象領域内の互いに異なる複数の領域のそれぞれを撮像して複数の第1画像を取得し、
前記第3画像を取得する工程では、前記第2画像を前記複数の第1画像のそれぞれで補正して前記複数の第1画像のそれぞれと前記第2画像との差分を示す複数の第3画像を取得し、
前記回転ずれ量を求める工程では、前記複数の第3画像のそれぞれのコントラストを求め、前記コントラストが最も高い第3画像に基づいて前記対象物の位置を求めることを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記第1画像を取得する工程では、前記基板を回転させている間において前記対象領域内の互いに異なる複数の領域のそれぞれを撮像して複数の画像を取得し、
前記第3画像を取得する工程では、前記複数の画像を平均化して、平均化された画像を前記第1画像として取得し、前記第2画像を前記第1画像を用いて補正して前記第1画像と前記第2画像との差分を示す画像を前記第3画像として取得することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記複数の領域の少なくとも1つの領域は、前記対象物を含むことを特徴とする請求項3又は4に記載の計測方法。
- 前記第1画像を取得する工程では、前記基板を少なくとも1回転させることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記対象物は、前記パターン領域のそれぞれの間に規定されるスクライブライン、前記基板上に配列されたパターン領域にあるマーク、及び、前記パターン領域のパターンの一部のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記第1画像を取得する工程では、前記基板を回転させている間において撮像素子に連続的に蓄電させることにより前記第1画像を取得することを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記基準部分は、前記基板のノッチ又はオリエンテーションフラットを含むことを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 基板の外縁に設けられた基準部分に対する前記基板上に配列されたパターン領域の回転ずれ量を計測する計測装置であって、
前記基板を保持して回転させるステージと、
前記基板の外縁を撮像する第1撮像部と、
前記基板上の領域を撮像する第2撮像部と、
前記基準部分に対する前記パターン領域の回転ずれ量を求める処理を行う処理部と、を有し、
前記処理部は、
前記ステージによって前記基板を回転させながら前記基板の外縁を前記第1撮像部で撮像して前記基準部分の位置を検出している間に、前記基板上に配列されたパターン領域にある対象物を含む対象領域を前記第2撮像部で撮像して第1画像を取得し、
前記基板を静止させた状態で前記対象物を前記第2撮像部で撮像して第2画像を取得し、
前記第2画像を前記第1画像を用いて補正して前記第1画像と前記第2画像との差分を示す第3画像を取得し、
前記第3画像に基づいて前記対象物の位置を求め、求められた前記対象物の位置に基づいて前記基準部分に対する前記パターン領域の回転ずれ量を求める、ことを特徴とする計測装置。 - 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板を保持して回転させるプリアライメントステージと、
前記プリアライメントステージに配置された前記基板の外縁に設けられた基準部分に対する前記基板上に配列されたパターン領域の回転ずれ量を計測する請求項10に記載の計測装置と、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記計測装置によって計測された回転ずれ量に基づいて、前記基板を前記プリアライメントステージから前記基板ステージに受け渡す際の前記基板の回転量を決定する決定部と、
前記決定部によって決定された回転量に従って基板を回転させた状態で前記プリアライメントステージから前記基板ステージに受け渡す搬送系と、
を有することを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項11に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
を有し、処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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