JP6706644B2 - スラリー冷却装置及びそれを備えたスラリー供給システム - Google Patents
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Description
本発明は、半導体処理装置に関するものであって、より詳細には研磨装置にスラリーを供給する装置に関する。
半導体ウェーハは、単結晶シリコンインゴット（ｉｎｇｏｔ）をウェーハ形状に薄く切断するスライシング工程、所望の厚さに研磨して平坦度を改善するラッピング工程（ｌａｐｐｉｎｇ）、ウェーハ内部の損傷層の除去のための蝕刻工程（ｅｔｃｈｉｎｇ）、表面鏡面化及び平坦度を向上させるためのポリッシング工程（ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）、ウェーハ表面の汚染物質を除去するための洗浄工程（ｃｌｅａｎｉｎｇ）などの段階を経てウェーハとして生産される。
一方、ラッピング工程（ｌａｐｐｉｎｇ）とポリッシング工程（ｐｏｌｓｈｉｎｇ）とを行う研磨装置には、研磨用粒子と分散剤、希釈剤、超純水などが混合されたミキシングスラリー（Ｍｉｘｉｎｇ Ｓｌｕｒｒｙ）が持続的に供給される。このために研磨装置はスラリーをミキシングし、ミキシングされたスラリーが貯蔵されたスラリータンクを備えるスラリー供給システムと連結される。
図１は実施例のスラリー供給システムの構成図であり、図２は図１のスラリータンク内部の断面図である。
図１に示されたように、スラリー供給システム１０は、スラリーをミキシングするスラリーミキシング部１００と、ミキシングされたスラリーが貯蔵され、研磨装置（ＦＰ）３００に供給されるスラリー供給部２００とを含むことができる。スラリー供給システム１０には、スラリータンク１２０、１４０、２１０ごとにスラリーを強制的に移動させるためにポンプ（Ｐｕｍｐ）１３０、１５０、２２０が設けられる。
このように、スラリー供給システム１０は、ポンプ１３０、１５０、２２０を稼動するので、スラリータンク１２０、１４０、２１０に貯蔵されたミキシングスラリーは温度が上昇することによって物性が変わることになる。したがって、ミキシングスラリーの温度を適正な温度に下げるため、スラリータンク１２０、１４０、２１０の内部には冷却水が流動する冷却配管（Ｃｈｉｌｌｅｒ Ｌｉｎｅ）３１０、３２０、３３０がスラリータンク１２０、１４０、２１０の内周面に沿って設けられる。
冷却配管３１０、３２０、３３０は、スラリータンク１２０、１４０、２１０の内部で、図２に示されたように固定台３５０を通じて位置が固定される。
しかし、スラリータンク１２０、１４０、２１０で流動するスラリーと冷却配管３１０、３２０、３３０に沿って流動する冷却水の流動によって、冷却配管３１０、３２０、３３０と固定台３５０には摩擦が発生して冷却配管３１０,３２０,３３０の破損が生じる可能性がある。
したがって、冷却配管３１０、３２０、３３０を通じてスラリータンク１２０、１４０、２１０の内部に冷却水のリーク（Ｌｅａｋ）が発生してスラリーが汚染され、汚染されたスラリーによって研磨装置（ＦＰ）３００で研磨されるウェーハの品質の劣化が生じる可能性がある。
また、冷却配管３１０、３２０、３３０がスラリータンク１２０、１４０、２１０の内部に設けられるので、リーク（Ｌｅａｋ）が発生しても目視で確認できないので即刻対応に困難がある。
本発明は、スラリーを効率的に冷却させながらも冷却水のリークによってスラリーが汚染されず、目視でリークの有無を確認できるスラリー冷却装置及びそれを備えたスラリー供給システムを提供する。
本発明は、スラリーをミキシングするスラリーミキシング部；前記スラリーミキシング部でミキシングされたスラリーが貯蔵され、研磨装置にスラリーを供給するスラリー供給部；前記スラリーミキシング部と前記スラリー供給部との間を連結する配管、前記スラリー供給部と前記研磨装置との間を連結する配管の少なくともいずれか一方に設けられ、ミキシングされたスラリーを冷却させるスラリー冷却部を含む、スラリー供給システムを提供する。
スラリーミキシング部は、中央薬液供給装置（ＣＣＳＳ）から供給されたスラリーが貯蔵される分配タンク；前記分配タンクに貯蔵されたスラリーの分配を受けてスラリーと超純水とをミキシングする第１ミキシングタンク；前記第１ミキシングタンクでミキシングされたスラリーが貯蔵される第２ミキシングタンク；及び前記第２ミキシングタンクに貯蔵されたミキシングされたスラリーを前記スラリー供給部に移動させる移動配管；を含むことができる。
前記スラリー供給部は、前記研磨装置にスラリーを供給する供給配管；前記移動配管からミキシングされたスラリーが流入する流入配管；及び前記流入配管と連結されてミキシングされたスラリーが貯蔵され、前記供給配管と連結される貯蔵タンク；を含むことができる。
前記スラリー冷却部は、前記移動配管と前記流入配管との間、前記供給配管と前記研磨装置を連結する連結配管との間のいずれにも設けられ得る。
前記スラリー冷却部は、ミキシングされたスラリーが流入する配管と連結される第１本体部；ミキシングされたスラリーが流出する配管と連結される第２本体部；前記第１本体部と前記第２本体部との間に配置され、ミキシングされたスラリーを分岐させる複数のチューブ管；前記複数のチューブ管の外側を囲むように前記第１本体部及び前記第２本体部と結合され、内部に冷却水が循環されるようにする冷却水循環配管；を含むことができる。
前記第１本体部及び前記第２本体部は、配管が挿入固定されるように外側に突出して位置する結合管をそれぞれ含むことができる。
前記複数のチューブ管は、前記結合管の外側から内側に行くほど間隔が徐々に広がり前記冷却水循環配管から一定の間隔で離隔するように配置され得る。
前記冷却水循環配管に挿入されて前記複数のチューブ管の離隔位置を固定させる固定板をさらに含むことができる。
前記固定板は、前記冷却水循環配管の内側に複数離隔して配置され得る。
前記固定板は、前記複数のチューブ管が挿入される複数の挿入孔が形成された固定板本体；及び前記固定板本体の外側に結合されて前記冷却水循環配管の内側に密着する複数の結合突起；を含むことができる。
前記複数の結合突起は、前記冷却水循環配管の内側で冷却水が循環する流路を形成するように互いに一定の間隔で離隔して配置され得る。
前記スラリー冷却部は、前記冷却水循環配管に結合され、前記冷却水循環配管に冷却水を流入させる冷却水流入管；及び前記冷却水循環配管に結合され、前記冷却水循環配管で循環された冷却水を排出させる冷却水流出管をさらに含むことができる。
前記冷却水流入管は、前記第１本体部に隣接して配置され、前記冷却水流出管は前記第２本体部に隣接して配置され得る。
前記冷却水流入管は、前記冷却水循環配管の下部に位置し、前記冷却水流出管は前記冷却水循環配管の上部に位置することができる。
前記スラリー冷却部は透明な材質からなってもよい。
一方、本発明は、スラリーをミキシングするスラリーミキシング部；前記スラリーミキシング部でミキシングされたスラリーが貯蔵されるスラリー供給部；前記スラリーミキシング部でミキシングされたスラリーを前記スラリー供給部に移動させる移動配管；前記スラリー供給部に貯蔵されたミキシングされたスラリーを研磨装置にスラリーを供給するための供給配管；及び前記移動配管、前記供給配管の少なくともいずれか一方に設けられ、ミキシングされたスラリーを冷却させるスラリー冷却部を含む、スラリー供給システムを提供する。
前記スラリー冷却部は、ミキシングされたスラリーが流入する配管と連結される第１本体部；ミキシングされたスラリーが流出する配管と連結される第２本体部；前記第１本体部と前記第２本体部との間に配置され、ミキシングされたスラリーを分岐させる複数のチューブ管；前記複数のチューブ管の外側を囲むように前記第１本体部及び前記第２本体部と結合され、内部に冷却水が循環されるようにする冷却水循環配管；を含むことができる。
前記スラリー冷却部は、前記冷却水循環配管に結合され、前記冷却水循環配管に冷却水を流入させる冷却水流入管；及び前記冷却水循環配管に結合され、前記冷却水循環配管で循環された冷却水を排出させる冷却水流出管をさらに含むことができる。
一方、本発明は、ミキシングされたスラリーが流入する配管と連結される第１本体部；ミキシングされたスラリーが流出する配管と連結される第２本体部；前記第１本体部と前記第２本体部との間に配置され、ミキシングされたスラリーを分岐させる複数のチューブ管；前記複数のチューブ管の外側を囲むように前記第１本体部及び前記第２本体部と結合され、内部に冷却水が循環されるようにする冷却水循環配管；前記冷却水循環配管に冷却水を流入させる冷却水流入管；及び前記冷却水循環配管で循環された冷却水を排出させる冷却水流出管を含む、スラリー冷却装置を提供する。
前記第１本体部及び前記第２本体部は、配管が挿入固定されるように外側に突出して位置する結合管をそれぞれ含むことができる。
本発明のスラリー冷却装置及びそれを備えたスラリー供給システムによると、スラリーが流動する配管の外部に装着されたスラリー冷却部を通じてスラリーを効率的に冷却させながらも冷却水のリークによってスラリーが汚染されることを防止することができる。
また、本発明のスラリー冷却装置及びそれを備えたスラリー供給システムによると、スラリー冷却部が透明に成されて外部に露出するため、スラリーが流動する配管またはスラリー冷却部の破損及びリーク状態を目視で確認できるので、チューブ管や冷却水循環配管などが破損する場合、簡単に知ることができる。
以下、実施例は添付された図面及び実施例に対する説明を通じて明らかに示されるはずである。実施例の説明において、各層（膜）、領域、パターンまたは構造物が基板、各層（膜）、領域、パッドまたは、パターンの「上／うえ（ｏｎ）」に、または「下／した（ｕｎｄｅｒ）」に形成されるものと記載される場合において、「上／うえ（ｏｎ）」と「下／した（ｕｎｄｅｒ）」は「直接（ｄｉｒｅｃｔｌｙ）」または「他の層を介在して（ｉｎｄｉｒｅｃｔｌｙ）」形成されるものをすべて含む。また、各層の上／うえ、または下／したに対する基準は、図面を基準として説明する。
図面において、大きさは説明の便宜及び明確性のために誇張されたり省略されたりまたは概略的に示された。また各構成要素の大きさは、実際の大きさを全面的に反映したものではない。また、同じ参照番号は図面の説明を通じて同じ要素を示す。以下、添付された図面を参照して実施例を説明する。
図３は、本発明の実施例によるスラリー供給システムの構成図である。
図３に示されたように、本発明の実施例によるスラリー供給システム１はスラリーミキシング部１００と、スラリー供給部２００とを含んで構成され得る。
スラリーミキシング部１００は、研磨用粒子と、分散剤、希釈剤、超純水などをミキシングすることができる。例えば、スラリーミキシング部１００は、分配タンク１１０、第１ミキシングタンク１２０、第２ミキシングタンク１４０、第１ポンプ１３０、第２ポンプ１５０、移動配管１８０を含むことができる。ここで、分配タンク１１０、第１ミキシングタンク１２０、第２ミキシングタンク１４０はスラリーが貯蔵されるのでスラリータンク、スラリー貯蔵タンク、貯蔵タンクと呼ばれることがある。
分配タンク１１０は、中央薬液供給装置（ＣＣＳＳ、Ｃｅｎｔｒａｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｕｐｐｌｙ Ｓｙｓｔｅｍ）から供給された純粋なスラリーが貯蔵され得る。分配タンク１１０は、中央薬液供給装置から適切な量のスラリーの供給を受け、第１ミキシングタンク１２０に適正な量のスラリーを計測（Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ）して送ることができる。
第１ミキシングタンク１２０は、分配タンク１１０に貯蔵されたスラリーの分配を受けてスラリーと超純水をミキシングすることができる。第１ミキシングタンク１２０には、超純水が供給される配管と分配タンク１１０からスラリーの供給を受けられ得る配管とが設けられ得る。
第２ミキシングタンク１４０は、第１ミキシングタンク１２０でミキシングされたスラリーが貯蔵され得る。すなわち、第１ミキシングタンク１２０では、スラリーと超純水とをミキシングし、適切な割合でミキシングが完了したスラリーは第２ミキシングタンク１４０に送られて貯蔵された後、スラリー供給部２００に移動することができる。
第１ミキシングタンク１２０に設けられた第１ポンプ１３０は、第１ミキシングタンク１２０でミキシングが完了したスラリーを強制的に第２ミキシングタンク１４０に流入するようにし、第２ミキシングタンク１４０に設けられた第２ポンプ１５０は、第２ミキシングタンク１４０に貯蔵されたミキシングされたスラリーをスラリー供給部２００に強制的に移動させることができる。
移動配管１８０は、第２ミキシングタンク１４０に貯蔵されたミキシングされたスラリーをスラリー供給部２００に移動させ、第２ポンプ１５０と連結されるように設けられ得る。
スラリー供給部２００は、スラリーミキシング部１００でミキシングされたスラリーが貯蔵され、研磨装置３００にスラリーを供給することができる。このためにスラリー供給部２００は、流入配管２８０、貯蔵タンク２１０、第３ポンプ２２０、供給配管２３０、連結配管２４０を含むことができる。
流入配管２８０は、スラリーミキシング部１００の移動配管１８０からミキシングされたスラリーが流入して貯蔵タンク２１０に貯蔵されるようにすることができる。
貯蔵タンク２１０は、第１ミキシングタンク１２０と第２ミキシングタンク１４０よりも大きい容量を有し、研磨装置３００に送られる前までミキシングされた大容量のスラリーを貯蔵することができる。
第３ポンプ２２０は、貯蔵タンク２１０に貯蔵されたミキシングされたスラリーを強制的に供給配管２３０に移動させることができる。
供給配管２３０は、第３ポンプ２２０により貯蔵タンク２１０からミキシングされたスラリーが研磨装置３００に向かって移動する流路を形成する。供給配管２３０の一側は研磨装置３００に連結された連結配管２４０と連結され得る。
前述した構成を含むスラリー供給システムは、スラリーミキシング部１００またはスラリー供給部２００の少なくともいずれか一方で流動するミキシングされたスラリーに対する冷却を行うスラリー冷却部４００をさらに含むことができる。
スラリー冷却部４００は、スラリーミキシング部１００とスラリー供給部２００との間を連結する配管の間、スラリー供給部２００と研磨装置３００との間を連結する配管の少なくともいずれか一方に設けられ得る。例えば、図３に示されたようにスラリー冷却部４００は、スラリーミキシング部１００の移動配管１８０とスラリー供給部２００の流入配管２８０との間、スラリー供給部２００の供給配管２３０と研磨装置３００の連結配管２４０との間のいずれにも設けられ得る。
スラリー冷却部４００は、スラリーを冷却させる別途のユニットを構成することができるのでスラリー冷却装置と呼ばれることがある。以下、スラリー冷却部４００またはスラリー冷却装置４００の構成に対して以下の図面を参照して詳細に説明する。
図４は図３のスラリー冷却装置の斜視図であり、図５は図４の垂直断面図であってスラリーと冷却水との流動を示し、図６は図５の結合管と第１本体部領域との斜視図であり、図７は図３の固定板が冷却水循環配管に設けられた状態を示す図である。
図４ないし図７に示されたように、スラリー冷却部４００は、第１本体部４１０、第２本体部４２０、チューブ管４３０、冷却水循環配管４５０、固定板４６０、冷却水流入管４７０、冷却水流出管４８０を含んで構成され得る。
第１本体部４１０は、ミキシングされたスラリーが流入する配管と連結され得る。例えば、第１本体部４１０は、スラリーミキシング部１００の移動配管１８０またはスラリー供給部２００の供給配管２３０と連結され得る。第１本体部４１０は、配管が挿入固定されるように外側に突出して位置する結合管４１１を含むことができる。すなわち、第１本体部４１０の結合管４１１は、スラリーミキシング部１００の移動配管１８０またはスラリー供給部２００の供給配管２３０と連結され得る。
第２本体部４２０は、ミキシングされたスラリーが流出する配管と連結され得る。例えば、第２本体部４２０は、スラリー供給部２００の流入配管２８０または、研磨装置３００の連結配管２４０と連結され得る。第２本体部４２０は、配管が挿入固定されるように外側に突出して位置する結合管４２１を含むことができる。すなわち、第２本体部４２０の結合管４２１は、スラリー供給部２００の流入配管２８０または研磨装置３００の連結配管２４０と連結され得る。
チューブ管４３０は、第１本体部４１０と第２本体部４２０との間に複数配置され、ミキシングされたスラリーを分岐させることができる。例えば、複数のチューブ管４３０は、一つの大きい直径を有する移動配管１８０、供給配管２３０に流入されたスラリーの量を分散して小さい直径を有する複数のチューブ管４３０に分岐させることができる。複数のチューブ管４３０は、内部で流動するミキシングされたスラリーの表面積を広げることによって冷却効率を増大させることができる。
また、図５及び図６に示されたように複数のチューブ管４３０は、冷却効率を高めることができるように結合管４１１、４２１の外側から内側に行くほど間隔が徐々に広がり後述する冷却水循環配管４５０から一定の間隔で離隔するように配置され得る。
冷却水循環配管４５０は、複数のチューブ管４３０の外側を囲むように第１本体部４１０及び第２本体部４２０と結合され、内部に冷却水が循環されるようにすることができる。例えば、冷却水循環配管４５０は、第１本体部４１０と第２本体部４２０との直径と類似のサイズを有する断面が円形の配管からなってもよい。
固定板４６０は、冷却水循環配管４５０に挿入されて複数のチューブ管４３０の離隔位置を固定させることができる。固定板４６０は、複数のチューブ管４３０が冷却水循環配管４５０の内部で安定に位置し得るように冷却水循環配管４５０の内側に複数離隔して配置され得る。
例えば、図７に示されたように固定板４６０は固定板本体４６１と結合突起４６２とを含んで構成され得る。
固定板本体４６１は、円形の断面を有し、内側には複数のチューブ管４３０が挿入される複数の挿入孔４６１ａが形成され得る。複数の挿入孔４６１ａは、互いに一定の間隔で離隔するように配置され、複数の挿入孔４６１ａに挿入された複数のチューブ管４３０は互いに一定の間隔を維持して冷却水によって一定の接触面積を有して冷却され得る。
結合突起４６２は、複数個からなり、固定板本体４６１の外側に結合されて冷却水循環配管４５０の内側に密着され得る。結合突起４６２によって固定板本体４６１は冷却水循環配管４５０に密着されて固定され得る。複数の結合突起４６２は、冷却水循環配管４５０の内側で冷却水が循環する流路５００を形成するように互いに一定の間隔で離隔して配置され得る。例えば、結合突起４６２は、固定板本体４６１の上、下、左、右の４個が互いに一定の間隔で離隔して配置され得るが、個数、形状などは変形して実施可能であろう。
前述した構成を含む固定板４６０により図４及び図５に示されたように、複数のチューブ管４３０は、長く配置されても下へ垂れることなく冷却水循環配管４５０の内部で安定に位置することができる。
冷却水流入管４７０は、冷却水循環配管４５０に結合され、冷却水循環配管４５０に冷却水を流入させることができる。冷却水流出管４８０は、冷却水循環配管４５０に結合され、冷却水循環配管４５０で循環された冷却水を排出させることができる。ここで、冷却水流入管４７０は、ミキシングされたスラリーが流入する第１本体部４１０に隣接して配置され、冷却水流出管４８０は、ミキシングされたスラリーが流出する第２本体部４２０に隣接して配置され得る。
したがって、冷却水循環配管４５０で流動する冷却水は、ミキシングされたスラリーを冷却させ、温度が高まった冷却水は外部に排出され得る。そして、冷却水流入管４７０には冷たい冷却水が再び流入するので、冷却水循環配管４５０は一定の温度で複数のチューブ管４３０を冷却させてミキシングされたスラリーの冷却温度を一定に維持させることができる。
また、冷却水流入管４７０は冷却水循環配管４５０の下部に位置し、冷却水流出管４８０は冷却水循環配管４５０の上部に位置することができ、互いに同一であるか、または反対の位置に付着することもできる。
このように、本発明のスラリー冷却装置及びそれを備えたスラリー供給システムによると、スラリーが流動する配管の外部に装着されたスラリー冷却部を通じてスラリーを効率的に冷却させながらも冷却水のリークによってスラリーが汚染されることを防止することができる。
前述したスラリー冷却部４００は透明な材質からなってもよい。例えば、第１本体部４１０、第２本体部４２０、チューブ管４３０、冷却水循環配管４５０、固定板４６０、冷却水流入管４７０、冷却水流出管４８０の少なくともいずれか一方は透明な材質であってもよい。
また、このようにスラリー冷却部が透明に成されるため、スラリーが流動する配管またはスラリー冷却部の破損及びリーク状態を目視で確認できるので、チューブ管や冷却水循環配管などが破損する場合、簡単に知ることができる。
以上、実施例に説明された特徴、構造、効果などは本発明の少なくとも一つの実施例に含まれ、必ずしも一つの実施例にのみ限定されるものではない。さらに、各実施例において例示された特徴、構造、効果などは実施例が属する分野における通常の知識を有する者によって他の実施例に対しても組合せるか、または変形して実施可能である。したがって、このような組合せと変形に関係した内容は、本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。
１、１０:スラリー供給システム １００:スラリーミキシング部
１１０:分配タンク １２０:第１ミキシングタンク
１３０:第１ポンプ １４０:第２ミキシングタンク
１５０:第２ポンプ １８０:移動配管
２００:スラリー供給部 ２１０:貯蔵タンク
２２０:第３ポンプ ２３０:供給配管
２４０:連結配管 ２８０:流入配管
３００:研磨装置ＦＰ ４００:スラリー冷却部冷却装置
４１０:第１本体部 ４２０:第２本体部
４１１、４２１:結合管 ４３０:チューブ管
４５０:冷却水循環配管 ４６０:固定板
４６１:固定板本体 ４６１ａ:挿入孔
４６２:結合突起 ４７０:冷却水流入管
４８０:冷却水流出管 ５００:冷却水流路
１１０:分配タンク １２０:第１ミキシングタンク
１３０:第１ポンプ １４０:第２ミキシングタンク
１５０:第２ポンプ １８０:移動配管
２００:スラリー供給部 ２１０:貯蔵タンク
２２０:第３ポンプ ２３０:供給配管
２４０:連結配管 ２８０:流入配管
３００:研磨装置ＦＰ ４００:スラリー冷却部冷却装置
４１０:第１本体部 ４２０:第２本体部
４１１、４２１:結合管 ４３０:チューブ管
４５０:冷却水循環配管 ４６０:固定板
４６１:固定板本体 ４６１ａ:挿入孔
４６２:結合突起 ４７０:冷却水流入管
４８０:冷却水流出管 ５００:冷却水流路
Claims (11)
- スラリーをミキシングするスラリーミキシング部；
前記スラリーミキシング部でミキシングされたスラリーが貯蔵され、研磨装置にスラリーを供給するスラリー供給部；
前記スラリーミキシング部と前記スラリー供給部との間を連結する配管、前記スラリー供給部と前記研磨装置との間を連結する配管の少なくともいずれか一方に設けられ、ミキシングされたスラリーを冷却させるスラリー冷却部を含み、
前記スラリー冷却部は、
ミキシングされたスラリーが流入する配管と連結される第１本体部；
ミキシングされたスラリーが流出する配管と連結される第２本体部；
前記第１本体部と前記第２本体部との間に配置され、ミキシングされたスラリーを分岐させる複数のチューブ管；
前記複数のチューブ管の外側を囲むように前記第１本体部及び前記第２本体部と結合され、内部に冷却水が循環されるようにする冷却水循環配管；を含み、
前記第１本体部及び前記第２本体部は、配管が挿入固定されるように外側に突出して位置する結合管をそれぞれ含み、
前記結合管と前記冷却水循環配管との間に配置された前記複数のチューブ管の間隔は、前記結合管から前記冷却水循環配管に行くほど徐々に広がり、
前記冷却水循環配管内に配置された前記複数のチューブ管の間隔は、一定の値に維持され、
前記スラリー冷却部は、
前記冷却水循環配管に結合され、前記冷却水循環配管に冷却水を流入させる冷却水流入管；及び 前記冷却水循環配管に結合され、前記冷却水循環配管で循環された冷却水を排出させる冷却水流出管をさらに含み、
前記スラリー冷却部は、透明な材質からなるスラリー供給システム。 - スラリーミキシング部は、
中央薬液供給装置（ＣＣＳＳ）から供給されたスラリーが貯蔵される分配タンク；
前記分配タンクに貯蔵されたスラリーの分配を受けてスラリーと超純水とをミキシングする第１ミキシングタンク；
前記第１ミキシングタンクでミキシングされたスラリーが貯蔵される第２ミキシングタンク；及び
前記第２ミキシングタンクに貯蔵されたミキシングされたスラリーを前記スラリー供給部に移動させる移動配管；を含む、請求項１に記載のスラリー供給システム。 - 前記スラリー供給部は、
前記研磨装置にスラリーを供給する供給配管；
前記移動配管からミキシングされたスラリーが流入する流入配管；及び
前記流入配管と連結されてミキシングされたスラリーが貯蔵され、前記供給配管と連結される貯蔵タンク；を含む、請求項２に記載のスラリー供給システム。 - 前記スラリー冷却部は、前記移動配管と前記流入配管との間、前記供給配管と前記研磨装置を連結する連結配管との間のいずれにも設けられる、請求項３に記載のスラリー供給
システム。 - 前記冷却水循環配管に挿入されて前記複数のチューブ管の離隔位置を固定させる固定板をさらに含む、請求項１に記載のスラリー供給システム。
- 前記固定板は、前記冷却水循環配管の内側に複数離隔して配置される、請求項５に記載のスラリー供給システム。
- 前記固定板は、
前記複数のチューブ管が挿入される複数の挿入孔が形成された固定板本体；及び
前記固定板本体の外側に結合されて前記冷却水循環配管の内側に密着する複数の結合突起；を含む、請求項６に記載のスラリー供給システム。 - 前記複数の結合突起は、前記冷却水循環配管の内側で冷却水が循環する流路を形成するように互いに一定の間隔で離隔して配置される、請求項７に記載のスラリー供給システム。
- 前記冷却水流入管は前記第１本体部に隣接して配置され、
前記冷却水流出管は前記第２本体部に隣接して配置される、請求項１に記載のスラリー供給システム。 - 前記冷却水流入管は前記冷却水循環配管の下部に位置し、
前記冷却水流出管は前記冷却水循環配管の上部に位置する、請求項９に記載のスラリー供給システム。 - ミキシングされたスラリーが流入する配管と連結される第１本体部；
ミキシングされたスラリーが流出する配管と連結される第２本体部；
前記第１本体部と前記第２本体部との間に配置され、ミキシングされたスラリーを分岐させる複数のチューブ管；
前記複数のチューブ管の外側を囲むように前記第１本体部及び前記第２本体部と結合され、内部に冷却水が循環されるようにする冷却水循環配管；
前記冷却水循環配管に冷却水を流入させる冷却水流入管；及び
前記冷却水循環配管で循環された冷却水を排出させる冷却水流出管を含み、
前記第１本体部及び前記第２本体部は、配管が挿入固定されるように外側に突出して位置する結合管をそれぞれ含み、
前記結合管と前記冷却水循環配管との間に配置された前記複数のチューブ管の間隔は、前記結合管から前記冷却水循環配管に行くほど徐々に広がり、
前記冷却水循環配管内に配置された前記複数のチューブ管の間隔は、一定の値に維持され、
前記スラリー冷却部は透明な材質からなるスラリー冷却装置。
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