JP7019168B2

JP7019168B2 - 貯蔵タンク及び温度制御装置

Info

Publication number: JP7019168B2
Application number: JP2017192398A
Authority: JP
Inventors: 篤史関
Original assignee: Shinwa Controls Co Ltd
Current assignee: Shinwa Controls Co Ltd
Priority date: 2017-10-02
Filing date: 2017-10-02
Publication date: 2022-02-15
Anticipated expiration: 2037-10-02
Also published as: JP2019064701A

Description

本発明は、貯蔵タンク及び温度制御装置に関する。

従来、温度制御装置などにおいては、温度が制御された流体を一時的に貯蔵するために貯蔵タンクが使用される場合がある。かかる貯蔵タンクに関連する技術としては、例えば、特許文献１等に開示されたものが既に提案されている。

特許文献１は、噴出手段の構造を簡素化し、貯湯タンクに貯める湯の拡散性を向上することを目的として、水を加熱し、湯にする加熱装置と、前記加熱装置の湯水を循環する循環ポンプと、前記循環ポンプにより湯水を搬送する配管と、前記配管から搬送される湯水を切り替える三方弁と、前記三方弁により湯水を貯える貯湯タンクとを備え、前記貯湯タンク内に湯水を面状均一に流入する噴出手段を配設したものである。

特開２００９－２４９８６号公報

本発明は、流体が流入又は流出するタンク本体の内部における流体の温度を均一化させた貯蔵タンクを提供することを目的とする。

請求項１に記載された発明は、流体が流入する流入口及び流体が流出する流出口を有し、前記流体を貯蔵するタンク本体と、
前記タンク本体の内部に設けられ、前記流入口から流入する流体の流入方向及び前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と交差するように互いに間隔を隔てて配置された複数の板状部材を有し、前記流入口から流入する流体及び前記流出口から流出する流体の少なくとも一方を流通させる流通口が開口された拡散部材とを備え、
前記複数の板状部材のうち、隣接する２つの板状部材の流通口は、前記流体の流入方向及び流出方向の少なくとも一方に沿って当該流通口の径が大きくなる組み合わせと、前記流体の流入方向及び流出方向の少なくとも一方に沿って当該流通口の径が小さくなる組み合わせの双方を有する貯蔵タンクである。

請求項２に記載された発明は、前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口されていない請求項１に記載の貯蔵タンクである。

請求項３に記載された発明は、前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口された前記板状部材とは異なる位置に前記流通口が開口されている請求項１に記載の貯蔵タンクである。

請求項４に記載された発明は、前記複数の板状部材は、前記流入口から流入する流体の流入方向又は前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と直交するように配置されている請求項１乃至３のいずれかに記載の貯蔵タンクである。

請求項５に記載された発明は、前記拡散部材は、前記流入口及び流出口の双方にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の貯蔵タンクである。

請求項６に記載された発明は、混合比が調整された低温側流体及び高温側流体からなる温度制御用流体が流れる温度制御用流路を有する温度制御手段と、
低温側の予め定められた第１の温度に調整された前記低温側流体を供給する第１の供給手段と、
高温側の予め定められた第２の温度に調整された前記高温側流体を供給する第２の供給手段と、
前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に接続され、前記第１の供給手段から供給される前記低温側流体と前記第２の供給手段から供給される前記高温側流体とを混合して前記温度制御用流路に供給する混合手段と、
前記温度制御用流路を流通した温度制御用流体を前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に流量を制御しつつ分配する流量制御弁と、
前記低温側流体を貯蔵する第１の貯蔵タンクと、
前記高温側流体を貯蔵する第２の貯蔵タンクと、
を備え、
前記第１及び第２の貯蔵タンクとして、請求項１乃至５のいずれかに記載の貯蔵タンクを用いたことを特徴とする温度制御装置である。

本発明によれば、流体が流入又は流出するタンク本体の内部における流体の温度を均一化させた貯蔵タンクを提供することができる。

本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクを示す断面構成図である。本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクの要部を示す斜視構成図である。拡散部材を示す構成図である。拡散部材の他の例を示す構成図である。拡散部材の他の例を示す構成図である。本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクの作用を示す断面構成図である。拡散部材の作用を示す斜視構成図である。本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクを適用したチラー装置を示す構成図である。本発明の実施の形態２に係る貯蔵タンクを示す断面構成図である。

以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

[実施の形態１]
図１は本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクを示す断面構成図、図２は貯蔵タンクの要部を示す拡大斜視図である。

貯蔵タンク１は、図１に示すように、上下方向に沿った両端部がそれぞれ閉塞された略円筒形状に形成されたタンク本体２を備えている。タンク本体２は、円筒形状に形成された円筒部３と、円筒部３の上下方向に沿った両端部にそれぞれ配置された外側に向けて凸型に湾曲した円板状の鏡板部４，５とから密閉された状態で構成されている。円筒部３と鏡板部４，５は、例えば、溶接等の手段により一体的に接続されてタンク本体２を構成している。なお、タンク本体２の外周は、図示しない断熱材によって被覆されるか、又はタンク本体２を二重に構成し中間の中空層を真空状態にして断熱処理が施される。

タンク本体２の下端部には、貯蔵タンク１に流体を流入させるＬ字形状に形成された流入管６が接続されている。流入管６は、タンク本体に溶接等の手段で固定された流入側の接続管７に外部連通管８を介して螺合等の手段により接続され固定されている。

タンク本体２の内部には、流入側の接続管７に螺合等の手段により接続固定された内部連通管９を介して流入側の拡散部材１０が設けられている。流入側の拡散部材１０は、流入管６からタンク本体２の内部に流入する流体を拡散させて、タンク本体２の内部に存在する流体１１と均一になるよう混合するための部材である。拡散部材１０は、図２に示すように、流入管９からタンク本体２の内部に流入する流体の流入方向（図中、上下方向）と交差する方向（図示例では、直交する方向）に互いに間隙を介して配置された複数（図示例では６つ）の板状部材である拡散板１２_１～１２_６を備えている。拡散板１２_１～１２_６の数は、特に限定されるものではないが、流体の拡散性を考慮すると、５～１０枚程度設けるのが望ましい。各拡散板１２_１～１２_６は、図３に示されるように、ステンレス等の金属や耐熱性を有する合成樹脂等によって円板状に形成されている。また、各拡散板１２_１～１２_６の中央には、流入管から流入する流体を挿通させる挿通口の一例としての流路用孔１３_１～１３_５が開口されている。ただし、複数の拡散板１２_１～１２_６のうち、流入管９から最も離間した拡散板１２_６には、流路用孔１３が開口されておらず閉塞されている。なお、複数の拡散板１２_１～１２_６のうち、流入管９から最も離間した拡散板１２_６には、図３（ｃ）に示すように、他の拡散板１２_１～１２_５と異なる位置、例えば、中心から半径方向外方向に向けて半径よりも短いスリット状の流路用孔１３ａを互いに９０度の角度を成す位置に開口しても良い。流路用孔１３ａの位置は、他の拡散板１２_１～１２_５と異なる位置であれば、図３（ｃ）に示す以外の位置に設けても良い。さらに、各拡散板１２_１～１２_６の外周には、複数の拡散板１２_１～１２_６を互いに固定するための複数（図示例では、４つ）の固定用ネジ孔１４_１～１４_６が開口されている。

各拡散板１２_１～１２_５に開口される流路用孔１３_１～１３_５は、すべて同一の直径を有するように設定されている。各拡散板１２_１～１２_５の流路用孔１３_１～１３_５は、例えば、内部連通管９の内径と等しい直径を有するように構成される。また、各拡散板１２_１～１２_５に開口される流路用孔１３_１～１３_５は、すべて同一の直径を有するように設定するのではなく、図４（ａ）に示されるように、流入管９に最も近接した位置から離間するに従って徐々に直径が小さくなるように設定しても良い。さらに、各拡散板１２_１～１２_５に開口される流路用孔１３_１～１３_５は、図４（ｂ）に示されるように、流入管９に最も近接した位置から離間するに従って徐々に直径が大きくなるように設定しても良い。また、各拡散板１２_１～１２_５に開口される流路用孔１３_１～１３_５は、図５に示されるように、直径が大きい流路用孔１３_１，１３_３，１２_５と直径が小さい流路用孔１３_２，１３_４とが交互に配置されるように構成しても良い。

複数の拡散板１２_１～１２_６は、図２及ぶ図３に示すように、固定用ネジ孔１４_１～１４_６に挿通されて締結されたボルト１４及びナット１５と、各拡散板１２_１～１２_６の間に介在された間隙設定部材としての円筒形状のカラー部材１６を介して互いに一定の間隙を介して平行に配置されるように固定されている。また、上述したように、複数の拡散板１２_１～１２_６のうち、流入管９に最も離間した拡散板１２_６としては、図３（ｂ）に示すように、流路用孔１３が開口されておらず閉塞されたものが配置されている。

また、拡散部材１０には、流入管９に最も近接した位置に拡散板１２_１～１２_６と同一形状であって肉厚に形成された基盤１７が設けられている。基盤１７は、内部連通管９にネジ止めや溶接等の手段で固定されている。

一方、タンク本体２の上端部には、図１に示すように、タンク本体２に貯蔵された流体を外部に流出させる流出管１８が設けられている。流出管１８は、外部連通管１９を介してタンク本体２の上端部に設けられた流出側の接続管２０に螺合等の手段により接続され固定されている。タンク本体２内の上端部には、内部連通管２１を介して流出側の拡散部材２２が設けられている。流出側の拡散部材２２は、流入側の拡散部材１０と同様に構成されている。拡散部材１０，２２は、タンク本体２の流入側及び流出側の少なくとも一方に設ければ良いが、タンク本体２に流入する流体及びタンク本体２から流出する流体の拡散性をより一層向上させるためには、拡散部材１０，２２をタンク本体２の流入側及び流出側の双方に設けるのが望ましい。なお、タンク本体２の流入側における流体の流量のばらつきを解消するためには、拡散部材１０を少なくともタンク本体２の流入側に設けるのが望ましい。

貯蔵タンク１の内部に貯蔵される流体１１としては、特に限定されるものではなく、水等の液体や気体などであっても良い。貯蔵タンク１の内部に貯蔵される流体１１としては、例えば、温度制御装置（チラー装置）に使用される－３０～＋１２０℃程度の温度範囲において使用可能なフロリナート（登録商標）などのフッ素系不活性液体やエチレングリコール等の熱媒体（ブライン）が挙げられる。また、貯蔵タンク１の内部に貯蔵される流体１１としては、温度範囲が＋５～＋８０℃程度であれば、水（純水）なども好適に使用することができる。

また、貯蔵タンク１の容積は、特に限定されるものではなく、例えば、２０Ｌ程度に設定されるが、目的に応じてこれより大きくても小さくても良いことは勿論である。

＜貯蔵タンクの作用＞
本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、図１に示されるように、タンク本体２の内部に所要温度の流体１１が貯蔵されている。タンク本体２の内部には、例えば、流入管６からタンク本体２の内部に貯蔵された流体１１より温度が高い流体が流入する。

流入管６からタンク本体２の内部に流入した流体は、内部連通管９を介して拡散部材１０へと到達する。拡散部材１０へと到達した流体は、図６及び図７に示すように、複数の拡散板１２_１～１２_６に開口された流路用孔１３_１～１３_５を介して流入管６から離間した拡散板１２_１～１２_６へと次第に流れる。その際、各拡散板１２_１～１２_６の間には、タンク本体２の内部に貯蔵された所要温度の流体１１が存在する。そのため、流路用孔１３_１～１３_５を介して流入管９から離間した拡散板１２_１～１２_６へと次第に流れる流体は、各拡散板の流路用孔１３_１～１３_５を通過する毎に、タンク本体２の内部に既に貯蔵された所要温度の流体１１と混合されつつ、一部が各拡散板１２_１～１２_６の表面に平行な方向（図示例では、水平方向）に移動する。そして、複数の拡散板１２_１～１２_６の流路用孔１３_１～１３_５を通過して流路用孔１３が開口されていない最後の拡散板１３_６に到達して流体は、当該最後の拡散板１３_６の表面に平行な方向（図示例では、水平方向）に移動してタンク本体２の内部に既に貯蔵された所要温度の流体１１と混合される。

このように、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、流入管６から流入する流体が複数の拡散板１２_１～１２_６の流路用孔１３_１～１３_５を通過する間に、タンク本体２の内部に既に貯蔵された所要温度の流体１１と混合されつつ、一部が各拡散板１２_１～１２_６の表面に平行な方向（図示例では、水平方向）に移動して拡散し、拡散部材１０の周囲に存在する貯蔵流体１１と混合される。そのため、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、拡散部材１０を設けない貯蔵タンクと比較して、流入管６からタンク本体２の内部に流入する流体の拡散性を向上させることができ、タンク本体２内の流体１１の温度を均一化することができる。

一方、タンク本体２の内部から流出管１８によって流出する流体は、タンク本体２の内部から拡散部材２２を介して流出管１８に連結された内部連通管２１へと到達する。その際、タンク本体２の内部から拡散部材２２へと到達した流体は、流出管１８から流体の流出に伴って圧力が低下する複数の拡散板１２_１～１２_６に開口された流路用孔１３_１～１３_５へと流入する。このとき、タンク本体２の内部の流体１１は、複数の拡散板１２_１～１２_６の表面に沿った方向に各拡散板１２_１～１２_６の間隙へと流入し、各拡散板１２_１～１２_６の流路用孔１３_１～１３_５を通過して内部連通管２１を介して流出管１８からタンク本体２の外部へと流出する。

そのため、拡散部材２２へと到達した流体は、タンク本体２の内部に既に貯蔵された流体１１と混合されつつ、複数の拡散板１２_１～１２_６の表面に沿った方向に流れて各拡散板１２_１～１２_６の流路用孔１３_１～１３_５を通過する間に、タンク本体２の上部に存在する流体１１と新たにタンク本体の上部へと移動する流体とが拡散されて混合されることで温度が均一化されつつ、流出管１８から混合された流体が流出する。

このように、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、流出管１８から流出する流体が複数の拡散板１２_１～１２_６の流路用孔１３_１～１３_５を通過する間に、タンク本体２の上部に存在する流体１１と新たにタンク本体２の上部へと移動する流体と混合される。そのため、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、拡散部材２２を設けない貯蔵タンクと比較して、流出管１８からタンク本体２の外部に流出する流体の混合性（拡散性）を向上させ流体１１の温度を均一化することができる。

なお、複数の拡散板１２_１～１２_６のうち、流入管９から最も離間した拡散板１２_６には、図３（ｃ）に示すように、他の拡散板１２_１～１２_５と異なる位置、例えば、中心から半径方向外方向に向けて半径よりも短いスリット状の流路用孔（拡散孔）１３ａを互いに９０度の角度を成す位置に開口することにより、流入管９及び流出管１８から最も離間した拡散板１２_６の背面側（流入管９及び流出管１８の反対側）の領域において流体１１が滞留するのを抑制することができる。

＜温度制御装置の構成＞
図８は本発明の実施の形態１に係る温度制御装置の一例としての恒温維持装置（チラー装置）の概略を示す配管構成図である。

このチラー装置１００は、例えば、温度制御対象装置２００としてのプラズマ処理装置の静電チャックに保持される温度制御対象（ワーク）の温度を所要の温度に制御するために使用される。チラー装置１００は、図８に示すように、大別して、低温側の予め定められた一定の温度（例えば、－２０℃）に調整された低温側流体を供給する低温側のブライン温調回路１０１と、高温側の予め定められた一定の温度（例えば、＋１００℃）に調整された高温側流体を供給する高温側のブライン温調回路１０２と、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体を混合して所要の温度に調整する第１の流量制御用三方弁１０３と、温度制御対象装置２００を流れた温度制御用流体を所要の分配比で低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２とに分配する第２の流量制御用三方弁１０６と、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体の一部と第２の流量制御用三方弁１０６により分配される温度制御用流体とを所要の混合比で混合して低温側のブライン温調回路１０１に還流させる第３の流量制御用三方弁１０７と、第３の流量制御用三方弁１０７によって低温側のブライン温調回路１０１に還流される温度制御用流体を貯蔵する低温側の貯蔵タンク１０８と、高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体の一部と第２の流量制御用三方弁１０６により分配される温度制御用流体とを所要の混合比で混合して高温側のブライン温調回路１０２に還流させる第４の流量制御用三方弁１０９と、第４の流量制御用三方弁１０９によって高温側のブライン温調回路１０２に還流される温度制御用流体を貯蔵する高温側の貯蔵タンク１１０とを備えている。

温度制御用流体としては、上述したように、例えば、－３０～＋１２０℃程度の温度範囲において使用可能なフロリナート（登録商標）などのフッ素系不活性液体やエチレングリコール等の熱媒体（ブライン）が用いられる。また、温度制御用流体としては、温度範囲が＋５～＋８０℃程度であれば、水（純水）なども好適に使用することができる。

＜チラー装置の動作＞
チラー装置では、次のようにして温度制御対象の温度が制御される。

本実施の形態に係るチラー装置１００においては、例えば、図８に示すように、低温側のブライン温調回路１０１から所要の温度（例えば、－２０℃）に調整された低温側流体が供給される。また、高温側のブライン温調回路１０２から所要の温度（例えば、＋１００℃）に調整された高温側流体が供給される。

低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と、高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体は、第１の流量制御用三方弁１０３によって所要の混合比で混合され、所要の温度の温度制御用流体として温度制御対象装置２００に供給される。

温度制御対象装置２００の温度が＋２０℃に設定されている場合には、温度制御用流体の温度が＋２０℃となるように、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と、高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体とが第１の流量制御用三方弁１０３によって混合される。

また、チラー装置１００は、図８に示すように、温度制御対象装置２００を流れた温度制御用流体を第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２とに分配する。

この第２の流量制御用三方弁１０６における低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２との分割比は、基本的に、第１の流量制御用三方弁１０３における低温側流体と高温側流体との混合比と等しい値に設定される。ただし、第１の流量制御用三方弁１０３によって所要の混合比で混合された温度制御用流体は、温度制御対象装置２００を流れて第２の流量制御用三方弁１０６に到達するため、当該第１の流量制御用三方弁１０３から第２の流量制御用三方弁１０６に温度制御用流体が到達するまでに要する時間だけ遅延して、第２の流量制御用三方弁１０６における分割比が制御される。

第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２とに分配される温度制御用流体は、同一の温度である。

第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１に分配された温度制御用流体は、第３の流量制御用三方弁１０７によって低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１に分配された温度制御用流体との混合比が制御された状態で混合される。

第３の流量制御用三方弁１０７によって所要の混合比で混合された低温側流体と温度制御用流体とは、低温側の貯蔵タンク１０８に供給される。

第１の流量制御用三方弁１０３によって温度制御対象装置２００に低温側流体のみが供給されている状態では、低温側の貯蔵タンク１０８に貯蔵されている流体は、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体の温度、すなわち－２０℃と等しい温度となっている。一方、温度制御対象装置２００の温度が＋２０℃である場合には、第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１に分配された温度制御用流体と等しい温度である＋２０℃と等しい温度となっている。

そのため、低温側の貯蔵タンク１０８に流入する流体の温度は、－２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体とを混合した温度となる。よって、低温側の貯蔵タンク１０８の内部では、例えば、低温側の貯蔵タンク１０８内に既に貯蔵されている－２０℃の低温側流体と、－２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体とを混合した流体が混合されることになる。

ところで、低温側の貯蔵タンク１０８の内部には、図１に示すように、流入側及び流出側の拡散部材１０，２２が設けられている。その結果、低温側の貯蔵タンク１０８の内部においては、低温側の貯蔵タンク１０８内に既に貯蔵されている－２０℃の低温側流体と、－２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体とを混合した流体が、流入側及び流出側の拡散部材１０，２２によって拡散されて混合された状態となり、流体の温度が均一化される。

そして、低温側の貯蔵タンク１０８からは、温度が均一化された－２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体との混合流体が低温側のブライン温調回路１０１に供給される。

同様に、高温側の貯蔵タンク１１０からは、温度が均一化された＋１００℃の高温側流体と＋２０℃の温度制御用流体との混合流体が高温側のブライン温調回路１０２に供給される。

[実施の形態２]
図９は本発明の実施の形態２に係る貯蔵タンクを示す断面構成図である。

本実施の形態２では、図９に示されるように、タンク本体２を円筒部３と鏡板部４，５との溶接によって構成するのではなく、タンク本体２を円筒部３と下部鏡板部４及び上部蓋板部２０とをＯリング２１を介してクランプ部材２２，２３で挟持することによって構成している。

タンク本体２の円筒部３とタンク本体２の下部鏡板部４及び上部蓋板部２０には、互いに接合することにより密閉するフランジ部３ａ及び４ａ、更にはフランジ部２０ａがそれぞれ設けられている。

また、タンク本体２の上部蓋板部２０には、温度測定用の開口部を形成するテーパー付き雌ネジに螺合された２本の測定管２５が装着されている。

なお、前記実施の形態１では、貯蔵タンク１０８，１０１を低温側のブライン温調回路１０１及び高温側のブライン温調回路１０２の還流（帰還）側に設けた場合について説明したが、貯蔵タンク１０８，１０１を低温側のブライン温調回路１０１及び高温側のブライン温調回路１０２の供給側に設けるように構成しても良い。

１…貯蔵タンク
２…タンク本体
３…円筒部
４，５…鏡板部
６…流入管
１０，２２…拡散部材
１２_１～１２_６…拡散板
１３_１～１３_５…流路用孔

Claims

流体が流入する流入口及び流体が流出する流出口を有し、前記流体を貯蔵するタンク本体と、
前記タンク本体の内部に設けられ、前記流入口から流入する流体の流入方向及び前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と交差するように互いに間隔を隔てて配置された複数の板状部材を有し、前記流入口から流入する流体及び前記流出口から流出する流体の少なくとも一方を流通させる流通口が開口された拡散部材とを備え、
前記複数の板状部材のうち、隣接する２つの板状部材の流通口は、前記流体の流入方向及び流出方向の少なくとも一方に沿って当該流通口の径が大きくなる組み合わせと、前記流体の流入方向及び流出方向の少なくとも一方に沿って当該流通口の径が小さくなる組み合わせの双方を有する貯蔵タンク。
前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口されていない請求項１に記載の貯蔵タンク。
前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口された前記板状部材とは異なる位置に前記流通口が開口されている請求項１に記載の貯蔵タンク。
前記複数の板状部材は、前記流入口から流入する流体の流入方向又は前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と直交するように配置されている請求項１乃至３のいずれかに記載の貯蔵タンク。
前記拡散部材は、前記流入口及び流出口の双方にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の貯蔵タンク。
混合比が調整された低温側流体及び高温側流体からなる温度制御用流体が流れる温度制御用流路を有する温度制御手段と、
低温側の予め定められた第１の温度に調整された前記低温側流体を供給する第１の供給手段と、
高温側の予め定められた第２の温度に調整された前記高温側流体を供給する第２の供給手段と、
前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に接続され、前記第１の供給手段から供給される前記低温側流体と前記第２の供給手段から供給される前記高温側流体とを混合して前記温度制御用流路に供給する混合手段と、
前記温度制御用流路を流通した温度制御用流体を前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に流量を制御しつつ分配する流量制御弁と、
前記低温側流体を貯蔵する第１の貯蔵タンクと、
前記高温側流体を貯蔵する第２の貯蔵タンクと、
を備え、
前記第１及び第２の貯蔵タンクとして、請求項１乃至５のいずれかに記載の貯蔵タンクを用いたことを特徴とする温度制御装置。