JP6690127B2 - 耐リチウム還元層形成用組成物および耐リチウム還元層の成膜方法 - Google Patents
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Description
[式中、Xは、0〜2を表す。]
本発明の耐リチウム還元層形成用組成物は、溶媒と、
リチウム化合物と、ランタン化合物と、ジルコニウム化合物と、元素Mを備える化合物と、を含み、
前記リチウム化合物、前記ランタン化合物、前記ジルコニウム化合物および前記元素Mを備える化合物は前記溶媒に対して溶解性を示し、
一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記リチウム化合物が1.50倍以上2.50倍以下であり、
前記一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記ランタン化合物が0.70倍以上1.00倍以下であり、
前記一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記ジルコニウム化合物が0.70倍以上1.00倍以下であり、
前記一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記元素Mを備え
る化合物が等倍に含む、ことを特徴とする。
Li7−xLa3(Zr2−x,Mx)O12 ・・・ (I)
[式中、元素MはNbとTaとの双方を表し、Xは0〜2を表す。]
前記ランタン化合物は、ランタン金属塩化合物およびランタンアルコキシド化合物のいずれかであり、
前記ジルコニウム化合物は、ジルコニウム金属塩化合物およびジルコニウムアルコキシド化合物のいずれかであり、
前記元素Mを備える化合物は、前記元素Mの金属塩化合物および金属アルコキシド化合物のいずれかであることが好ましい。
前記液状被膜を加熱する第2の工程と、を含み、
前記一般式(I)で表される化合物を含む耐リチウム還元層を得ることを特徴する。
<<第1実施形態>>
図1は、リチウム二次電池の第1実施形態を示す縦断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図1の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図1においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率等は適宜異ならせて記載してある。
[式中、MはNb、Sc、Ti、V、Y、Hf、Ta、Al、Si、Ga、Ge、Sn、およびSbのうちの少なくとも1種を表し、Xは0〜2を表す。]
次に、図1に示す、第1実施形態のリチウム二次電池100の製造方法について説明する。
造孔材の平均粒径は、好ましくは0.5μm〜10μmである。
これにより、活物質成形体2と固体電解質層3とを備える複合体4が形成される。
(A)無機固体電解質が有する金属原子を無機固体電解質の組成式に従った割合で含み、酸化により無機固体電解質となる塩を有する組成物
(B)無機固体電解質が有する金属原子を無機固体電解質の組成式に従った割合で含む金属アルコキシドを有する組成物
(C)無機固体電解質微粒子、または無機固体電解質が有する金属原子を無機固体電解質の組成式に従った割合で含む微粒子ゾルを溶媒、または(A)もしくは(B)に分散させた分散液
[4−1]まず、耐リチウム還元層形成用組成物(前駆体組成物)を調製し、その後、この耐リチウム還元層形成用組成物を用いて他面4b上に液状被膜を形成する(第1の工程)。
以上のような工程を経ることで、リチウム二次電池100が製造される。
次に、リチウム二次電池の第2実施形態について説明する。
図5は、リチウム二次電池の第2実施形態を示す縦断面図である。
1.各金属化合物溶液の調製
<1.0mol/kg 硝酸リチウムのブタノール溶液の調製>
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、硝酸リチウム1.3789g、及びブタノール18.6211gを秤量し、マグネチックスターラーを用いて、室温にて30分間撹拌し、硝酸リチウムを完全に溶解し、1.0mol/kg濃度の硝酸リチウムのブタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、酢酸リチウム1.3198g、トルエン13.0761g、及びプロピオン酸5.6041gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、酢酸リチウムを完全に溶解させ、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのトルエン/プロピオン酸溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、酢酸リチウム1.3198g、及びプロピオン酸18.6802gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、酢酸リチウムを完全に溶解させ、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、硝酸リチウム2.758g、及び2−ブトキシエタノール17.242gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、160℃にて30分間撹拌し、硝酸リチウムを完全に溶解し、2.0mol/kg濃度の硝酸リチウムの2−ブトキシエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、硝酸リチウム0.690g、及びエタノール9.310gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、160℃にて30分間撹拌し、硝酸リチウムを完全に溶解し、1.0mol/kg濃度の硝酸リチウムのエタノール溶液を得た。
20gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、2−エチルヘキサン酸ランタン2.2741g、トルエン5.4081g、及び2−ブトキシエタノール2.3178gを秤量し、室温にて超音波洗浄器にて超音波を掛け、完全に溶解させ、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、酢酸ランタン1.5水和物2.7445g、及びプロピオン酸17.2555gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、酢酸ランタン1.5水和物を完全に溶解させ、室温迄徐冷し、0.4mol/kg濃度の酢酸ランタン1.5水和物のプロピオン酸溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、硝酸ランタン6水和物4.330g、及び2−ブトキシエタノール5.670gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、硝酸ランタン6水和物を完全に溶解させ、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物の2−ブトキシエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、硝酸ランタン6水和物4.330g、及びエタノール5.670gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、硝酸ランタン6水和物を完全に溶解させ、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物のエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた20gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、ジルコニウムブトキシド3.8368g、及びブタノール6.1632gを秤量し、80℃にて30分間撹拌し、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドのブタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた30gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、ジルコニウムアクリレート3.0020g、及びプロピオン酸16.9980gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、ジルコニウムアクリレートを完全に溶解させ、室温迄徐冷し、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた20gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、ジルコニウムブトキシド7.674g、及び2−ブトキシエタノール12.326gを秤量し、80℃にて30分間撹拌し、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドの2−ブトキシエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた20gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、ジルコニウムブトキシド7.674g、及びエタノール12.326gを秤量し、80℃にて30分間撹拌し、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドのエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた10gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、ニオブペンタエトキシド3.1821g、及び2−ブトキシエタノール6.8179gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた10gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、ニオブペンタブトキシド3.182g、及びエタノール6.818gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度のニオブペンタブトキシドのエタノール溶液を得た。
マグネチックスターラーバーを入れた10gのパイレックス(登録商標)製試薬ビンに、タンタルペンタエトキシド3.182g、及び2−ブトキシエタノール6.818gを秤量し、温調付のマグネチックスターラーを用いて、80℃にて30分間撹拌し、室温迄徐冷し、1.0mol/kg濃度のタンタルペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液を得た。
<実施例1>(Li6.9La3(Zr1.9,Nb0.1)O12前駆体溶液の調製)
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液10.350g、0.4mol/kg濃度の酢酸ランタン1.5水和物のプロピオン酸溶液6.375g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシド1.615g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.100gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.9La3(Zr1.9,Nb0.1)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の硝酸リチウムのブタノール溶液12.750g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液5.250g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドのブタノール溶液0.070g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.900gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li5.1La3(Zr0.1,Nb1.9)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのトルエン/プロピオン酸溶液10.125g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液5.250g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液3.719g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液10.125g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液6.375g、1mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドのブタノール溶液1.313g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液13.500g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液6.000g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液3.500g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の硝酸リチウムのブタノール溶液11.813g、0.4mol/kg濃度の酢酸ランタン1.5水和物のプロピオン酸溶液5.625g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドのブタノール溶液1.280g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.400gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.6La3(Zr1.6,Nb0.4)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液13.500g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液5.250g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液1.875g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.000gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.0La3(Zr1.0,Nb1.0)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液11.000g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液6.000g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液0.938g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.500gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li5.5La3(Zr0.5,Nb1.5)O12前駆体溶液を得た。
2.0mol/kg濃度の硝酸リチウムの2−ブトキシエタノール溶液6.600g、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物の2−ブトキシエタノール溶液2.400g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.20g、1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.200g及び1.0mol/kg濃度のタンタルペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.200gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.6La3(Zr1.6,Nb0.2,Ta0.2)O12前駆体溶液を得た。
2.0mol/kg濃度の硝酸リチウムの2−ブトキシエタノール溶液6.800g、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物の2−ブトキシエタノール溶液2.400g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.35g及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.200gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.8La3(Zr1.8,Nb0.2)O12前駆体溶液を得た。
2.0mol/kg濃度の硝酸リチウムの2−ブトキシエタノール溶液6.800g、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物の2−ブトキシエタノール溶液2.400g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.80g及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.200gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.8La3(Zr1.8,Nb0.2)O12前駆体溶液を得た。
2.0mol/kg濃度の硝酸リチウムの2−ブトキシエタノール溶液5.100g、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物の2−ブトキシエタノール溶液2.400g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.80g及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.200gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.8La3(Zr1.8,Nb0.2)O12前駆体溶液を得た。
2.0mol/kg濃度の硝酸リチウムの2−ブトキシエタノール溶液4.250g、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物の2−ブトキシエタノール溶液2.400g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドの2−ブトキシエタノール溶液1.80g及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.200gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.8La3(Zr1.8,Nb0.2)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の硝酸リチウムのエタノール溶液7.090g、1.0mol/kg濃度の硝酸ランタン6水和物のエタノール溶液2.400g、1.0mol/kg濃度のジルコニウムブトキシドのエタノール溶液1.75g及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドのエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液6.750g、0.4mol/kg濃度の酢酸ランタン1.5水和物のプロピオン酸溶液5.250g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液3.063g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の硝酸リチウムのブタノール溶液6.750g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液7.875g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液4.594g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液17.213g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液5.250g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液3.062g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
1.0mol/kg濃度の酢酸リチウムのプロピオン酸溶液18.563g、0.4mol/kg濃度の2−エチルヘキサン酸ランタンのトルエン/2−ブトキシエタノール溶液7.875g、0.4mol/kg濃度のジルコニウムアクリレートのプロピオン酸溶液4.594g、及び1.0mol/kg濃度のニオブペンタエトキシドの2−ブトキシエタノール溶液0.250gを秤量し、90℃のホットプレートにて30分間加熱混合を行い、室温迄徐冷し、Li6.75La3(Zr1.75,Nb0.25)O12前駆体溶液を得た。
まず、基材として、縦20mm×横20mmの単結晶シリコン基板を用意し、この基材上に、実施例6を除く実施例1〜8および各比較例の耐リチウム還元層形成用組成物を、それぞれ、供給することにより液状被膜を形成した。
4.1 I−V特性
実施例1〜8および各比較例の耐リチウム還元層形成用組成物を用いて基材上に成膜された耐リチウム還元層について、それぞれ、I−V特性を測定した。
実施例1〜8および各比較例の耐リチウム還元層形成用組成物を用いて基材上に成膜された耐リチウム還元層について、それぞれ、X線回折スペクトルを取得し、得られたX線回折スペクトルについて、下記の定義に基づいて評価した。
実施例9、10、14の耐リチウム還元層形成用組成物を、それぞれ、180℃で、0.5時間加熱することにより溶媒を乾燥させ、その後、360℃で、0.5時間加熱することにより配位子を分解させた後、540℃で、1.0時間加熱することにより仮焼成を行うことで仮焼成品を得た。次いで、仮焼成品をアルミナ製ルツボに入れ、蓋をした後に、電気マッフル炉中において、700℃で、8.0時間加熱することにより本焼成を行うことで本焼成品を得た。
実施例9〜14の耐リチウム還元層形成用組成物を用いて得られた本焼成品について、それぞれ、X線回折スペクトルを取得した、その結果を図7、8に示す。
2、2A……活物質成形体
2X……活物質粒子
3、3A……固体電解質層
3X……液状体
4、4A……複合体
4a、30a……一面
4b……他面
10……電極複合体
20……電極
30……耐リチウム還元層
100、100A……リチウム二次電池
D……ディスペンサー
F……成形型
Claims (9)
- 溶媒と、
リチウム化合物と、ランタン化合物と、ジルコニウム化合物と、元素Mを備える化合物と、を含み、
前記リチウム化合物、前記ランタン化合物、前記ジルコニウム化合物および前記元素Mを備える化合物は前記溶媒に対して溶解性を示し、
一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記リチウム化合物が1.50倍以上2.50倍以下であり、
前記一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記ランタン化合物が0.70倍以上1.00倍以下であり、
前記一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記ジルコニウム化合物が0.70倍以上1.00倍以下であり、
前記一般式(I)で表される化合物における化学量論組成に対して、前記元素Mを備え
る化合物が等倍に含む、ことを特徴とする耐リチウム還元層形成用組成物。
Li7−xLa3(Zr2−x,Mx)O12 ・・・ (I)
[式中、元素MはNbとTaとの双方を表し、Xは0〜2を表す。] - 前記リチウム化合物は、リチウム金属塩化合物およびリチウムアルコキシド化合物のいずれかであり、
前記ランタン化合物は、ランタン金属塩化合物およびランタンアルコキシド化合物のいずれかであり、
前記ジルコニウム化合物は、ジルコニウム金属塩化合物およびジルコニウムアルコキシド化合物のいずれかであり、
前記元素Mを備える化合物は、前記元素Mの金属塩化合物および金属アルコキシド化合物のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の耐リチウム還元層形成用組成物。 - 前記溶媒は、水、単一の有機溶媒、水と有機溶媒を含む混合溶媒、および、少なくとも2種類以上の有機溶媒を含む混合溶媒のいずれかである請求項1または2に記載の耐リチウム還元層形成用組成物。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の耐リチウム還元層形成用組成物を用いて液状被膜を形成する第1の工程と、
前記液状被膜を加熱する第2の工程と、を含み、
前記一般式(I)で表される化合物を含む耐リチウム還元層を得ることを特徴する耐リチウム還元層の成膜方法。 - 前記液状被膜は、塗付法を用いて形成される請求項4に記載の耐リチウム還元層の成膜方法。
- 前記第2の工程は、前記液状被膜を乾燥する第1の加熱処理と、リチウム、ランタン、ジルコニウムおよび前記元素Mの金属酸化物を生成する第2の加熱処理と、前記一般式(I)で表される化合物を生成、焼結する第3の加熱処理とを有する請求項4または5に記載の耐リチウム還元層の成膜方法。
- 前記第1の加熱処理における加熱温度は、50℃以上250℃以下である請求項6に記載の耐リチウム還元層の成膜方法。
- 前記第2の加熱処理における加熱温度は、400℃以上550℃以下である請求項6または7に記載の耐リチウム還元層の成膜方法。
- 前記第3の加熱処理における加熱温度は、600℃以上900℃以下である請求項6ないし8のいずれか1項に記載の耐リチウム還元層の成膜方法。
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