JP6647478B1 - 回転数検出器 - Google Patents

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Abstract

回転数検出器(1)は、回転軸(9)を中心に回転する回転体であるシャフト(4)に取り付けられる磁石(2)と、磁石(2)の回転による磁界の変化にしたがって誘起電圧を発生する発電素子(3)とを有し、誘起電圧を基に回転体の回転数を検出する。発電素子(3)は、磁性ワイヤ(6)と、磁性ワイヤ(6)のうち磁性ワイヤ(6)の両端部である第1端部および第2端部の間に巻回されたコイル(7)と、軟磁性体であって第1端部および第2端部の各々に設けられている筒体であるフェライトビーズ(8)と、を有する。磁石(2)は、磁石(2)の回転方向に並べられた複数の磁極を有する。複数の磁極の各々は、磁力の強さが互いに異なる第1の領域と第2の領域とを有する。

Description

本発明は、回転体の回転数を検出する回転数検出器に関する。
回転体に取り付けられる磁石を有し、磁石の回転による磁界の変化にしたがって発生する誘起電圧を基に回転体の回転数を検出する回転数検出器が知られている。特許文献1には、磁界の変化に基づいて大バルクハウゼン効果による磁化反転を生じる磁性ワイヤと、磁性ワイヤに巻回されており磁性ワイヤの磁化反転にしたがって誘起電圧を発生するコイルとを有する回転数検出器が開示されている。
特許文献1によると、磁性ワイヤおよびコイルが、回転体の回転軸と垂直な方向において磁石と対向することによって、磁性ワイヤの端部と磁石との間隔が、磁性ワイヤの中心部と磁石との間隔よりも長くなる。このため、磁石からの磁束は、磁性ワイヤの中心部よりも磁性ワイヤの端部において弱くなる。大バルクハウゼン効果は磁性ワイヤの端部よりも磁性ワイヤの中心部において安定することから、磁性ワイヤの中心部よりも磁性ワイヤの端部において磁束が弱められることによって、誘起電圧の発生が安定する。これにより、回転数検出器は、発電量のばらつきを低減できる。
特開2018−189426号公報
特許文献1にかかる従来の技術によると、磁性ワイヤの端部において磁束が弱められているため、磁性ワイヤの中心部に作用する磁束と同じ強さの磁束が磁性ワイヤの全体に作用する場合に比べて、発電量が低下する。発電量の低下は、発電量のばらつきと同様、回転数の検出における信頼性の低下を招来する。このように、従来の技術によると、回転数検出器は、発電量のばらつきの低減と発電量の低下の抑制との両立が困難であり、回転数検出の信頼性向上が容易ではなかった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、回転数検出の信頼性を向上可能な回転数検出器を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる回転数検出器は、回転軸を中心に回転する回転体に取り付けられる磁石と、磁石の回転による磁界の変化にしたがって誘起電圧を発生する発電素子とを有し、誘起電圧を基に回転体の回転数を検出する。発電素子は、磁性ワイヤと、磁性ワイヤのうち磁性ワイヤの両端部である第1端部および第2端部の間に巻回されたコイルと、軟磁性体であって第1端部および第2端部の各々に設けられている筒体と、を有する。磁石は、磁石の回転方向に並べられた複数の磁極を有する。複数の磁極の各々は、磁力の強さが互いに異なる第1の領域と第2の領域とを有する。
本発明にかかる回転数検出器は、回転数検出の信頼性を向上できるという効果を奏する。
本発明の実施の形態1にかかる回転数検出器を示す図 実施の形態1にかかる回転数検出器が有する磁石と発電素子とを示す平面図 実施の形態1にかかる回転数検出器における磁石の回転角度と磁束密度との関係の例を示す図 本発明の実施の形態2にかかる回転数検出器が有する磁石と発電素子とを示す平面図 実施の形態2にかかる回転数検出器における磁石の回転角度と磁束密度との関係の例を示す図 本発明の実施の形態3にかかる回転数検出器を示す図 本発明の実施の形態4にかかる回転数検出器を示す図 実施の形態4にかかる回転数検出器が有する磁石と発電素子とを示す平面図 本発明の実施の形態5にかかる回転数検出器を示す図
以下に、本発明の実施の形態にかかる回転数検出器を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1にかかる回転数検出器を示す図である。実施の形態1にかかる回転数検出器1は、磁界の変化にしたがって発生する誘起電圧を基に回転体の回転数を検出する磁気式回転数検出器である。回転数検出器1は、回転体が回転する回数を検出する。
回転数検出器1は、シャフト4に取り付けられる磁石2と、磁石2の回転による磁界の変化にしたがって誘起電圧を発生して信号を出力する発電素子3と、発電素子3からの信号を処理する処理部5とを有する。磁石2は、円形を呈する平板である。磁石2は、永久磁石である。シャフト4は、回転軸9を中心に回転する回転体である。磁石2は、接着、ねじ止め、あるいは圧入によって、シャフト4の先端に固定されている。シャフト4は、モータの駆動軸である。図1では、シャフト4を回転させるモータ本体の図示を省略する。
処理部5は、発電素子3からの信号を基に、発電によるパルスの数をカウントする。処理部5は、パルスの数をカウントすることによって、シャフト4の回転数を検出する。処理部5は、誘起電圧を利用して動作可能であるため、回転数の検出を無電源で行うことができる。
発電素子3は、回転軸9に平行な方向において磁石2と対向して配置されている。発電素子3は、磁石2のうちシャフト4に固定される側の面とは逆側の表面と対向する。発電素子3は、磁石2のうちシャフト4に固定される側の面と対向して配置されても良い。発電素子3は、磁性ワイヤ6と、磁性ワイヤ6に巻回されたコイル7と、磁性ワイヤ6の両端部である第1端部6aおよび第2端部6bの各々に設けられているフェライトビーズ8とを有する。
磁性ワイヤ6は、ワイヤ状に加工された磁性体である。磁性ワイヤ6は、磁界の変化に基づいて大バルクハウゼン効果による磁化反転を生じる。大バルクハウゼン効果は、磁性体が磁化する際に磁性体内部の磁壁が一度に移動することによって短時間において磁化方向が反転する現象である。
コイル7は、第1端部6aおよび第2端部6bとの間に巻回されている。すなわち、コイル7は、第1端部6aに設けられているフェライトビーズ8と第2端部6bに設けられているフェライトビーズ8との間に設けられている。コイル7は、ピックアップコイルである。
フェライトビーズ8は、軟磁性体の筒体である。フェライトビーズ8の透磁率は、磁性ワイヤ6の透磁率よりも高い。1つのフェライトビーズ8は、第1端部6aに被せられている。他の1つのフェライトビーズ8は、第2端部6bに被せられている。なお、第1端部6aと第2端部6bとに設けられる筒体は、フェライトビーズ8以外の軟磁性体であっても良く、鉄などの軟磁性材料からなる筒体であっても良い。軟磁性体には、フェライトビーズ8以外に、SS400またはS45Cといった鉄鋼材、SUS430またはSUS440といった磁性ステンレス鋼材、あるいは、パーマロイまたはパーメンジュールといった高透磁率材などが用いられても良い。発電素子3において2つの軟磁性体の筒体の間隔が広いほど、磁性ワイヤ6の磁化反転領域が増えることによって、発電素子3による発電量が大きくなる。したがって、2つの軟磁性体の筒体のうちの一方は磁性ワイヤ6の一方の端あるいは当該一方の端にできるだけ近い位置に配置され、2つの軟磁性体の筒体のうちの他方は磁性ワイヤ6の他方の端あるいは当該他方の端にできるだけ近い位置に配置されることが望ましい。
図2は、実施の形態1にかかる回転数検出器が有する磁石と発電素子とを示す平面図である。図2には、回転軸9に平行な方向かつシャフト4とは逆側から磁石2と発電素子3とを見た様子を示している。発電素子3は、磁石2の平面形状である円形の中心から離れた位置において磁石2と対向して配置されている。なお、回転数検出器1は、一般に、回転体の回転角度を検出する角度検出器と併せて使用される。角度検出部は、光学スリットが形成された光学検出用の円板と、光を発生する発光部と、発光部から出射して光学スリットを経由した光を検出する受光部とを備える。例えば、円板は、磁石2の上面側において回転体に固定される。発光部と受光部とは、光学スリットと対向する位置に設けられる。図1および図2では、角度検出部の図示を省略する。
磁石2は、磁石2の回転方向に並べられた複数の磁極を有する。実施の形態1では、磁石2は、2つの磁極である第1の磁極と第2の磁極とを有する。第1の磁極と第2の磁極とは、着磁方向が互いに異なる2つの磁極である。磁石2は、円の直径を境界として、第1の磁極であるN極2Nと第2の磁極であるS極2Sとに2等分されている。磁石2は、回転軸9に平行な方向に着磁されている。
磁石2は、1対のN極2NおよびS極2Sを有するものに限られず、2対以上のN極2NおよびS極2Sを有するものであっても良い。すなわち、磁石2は、4つ以上の磁極を有するものであっても良い。また、磁石2は、円形を呈する平板に限られず、中心に開口が設けられた円筒体であっても良い。
N極2Nは、第1の領域である2つの強磁化領域Na1,Na2と第2の領域である1つの弱磁化領域Nbとを有する。強磁化領域Na1,Na2と弱磁化領域Nbとは、着磁方向が互いに同じであって、かつ磁力の強さが互いに異なる。弱磁化領域Nbは、強磁化領域Na1,Na2よりも磁力が弱い領域である。すなわち、弱磁化領域Nbの表面磁束密度は、強磁化領域Na1,Na2の表面磁束密度よりも小さい。強磁化領域Na1の表面磁束密度と強磁化領域Na2の表面磁束密度とは、同程度である。
S極2Sは、第1の領域である2つの強磁化領域Sa1,Sa2と第2の領域である1つの弱磁化領域Sbとを有する。強磁化領域Sa1,Sa2と弱磁化領域Sbとは、着磁方向が互いに同じであって、かつ磁力の強さが互いに異なる。弱磁化領域Sbは、強磁化領域Sa1,Sa2よりも磁力が弱い領域である。すなわち、弱磁化領域Sbの表面磁束密度は、強磁化領域Sa1,Sa2の表面磁束密度よりも小さい。強磁化領域Sa1の表面磁束密度と強磁化領域Sa2の表面磁束密度とは、同程度である。なお、図2では、強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2と弱磁化領域Nb,Sbとの各領域の境界を実線で表している。
弱磁化領域Nbは、回転方向において強磁化領域Na1と強磁化領域Na2との間に設けられている。すなわち、弱磁化領域Nbは、回転方向において強磁化領域Na1,Na2に挟まれて配置されている。弱磁化領域Nbは、N極2Nのうち回転方向における中心に配置されている。弱磁化領域Sbは、回転方向において強磁化領域Sa1と強磁化領域Sa2との間に設けられている。すなわち、弱磁化領域Sbは、回転方向において強磁化領域Sa1,Sa2に挟まれて配置されている。弱磁化領域Sbは、S極2Sのうち回転方向における中心に配置されている。強磁化領域Na1と強磁化領域Sa1とは、回転方向において互いに隣り合う。強磁化領域Na2と強磁化領域Sa2とは、回転方向において互いに隣り合う。
このように、強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2は、磁石2のうちN極2NとS極2Sとの境界に設けられている。実施の形態1において、N極2Nの強磁化領域Na1,Na2および弱磁化領域Nbと、S極2Sの強磁化領域Sa1,Sa2および弱磁化領域Sbとは、磁石2の着磁の際に、磁石2の領域ごとに加えられる外部磁場の強さを変化させることによって実現される。磁石2を着磁する際に使用される着磁ヨークのヨークコア部分には、透磁率が互いに異なる2種類の材料が使用される。
図2に示す状態において、発電素子3は、強磁化領域Na1と強磁化領域Sa1とに対向している。回転軸9に平行な方向において磁石2と発電素子3とを平面視した場合において、発電素子3の全体は、強磁化領域Na1と強磁化領域Sa1とを合わせた領域の中にある。
図3は、実施の形態1にかかる回転数検出器における磁石の回転角度と磁束密度との関係の例を示す図である。図3において、角度「0度」は、磁石2が図2に示す状態であるときとする。図3に示すグラフの横軸は、図2において反時計回りの方向へ磁石2を回転させた場合における回転角度を表す。図3に示すグラフの縦軸は、磁性ワイヤ6における磁束密度を表す。
曲線M1は、実施の形態1の磁石2を回転させる場合における角度と磁束密度との関係を表す。曲線M2は、比較例の磁石2を回転させる場合における角度と磁束密度との関係を表す。比較例の磁石2は、強磁化領域のみからなる1対のN極およびS極を有するものとする。
実施の形態1と比較例とにおいて、角度が0度であるとき、磁束の方向は磁性ワイヤ6の長さ方向と平行である。角度が0度であるときの磁束密度は極大値である。角度が180度であるとき、磁束の方向は、角度が0度であるときとは逆の方向となる。角度が180度であるときの磁束密度は極小値である。
比較例の場合、0度から180度まで磁石2を回転させる間に、磁束密度は、30度付近から150度付近までの範囲において一様に減少する。また、180度から360度まで磁石を回転させる間に、磁束密度は、210度付近から330度付近までの範囲において一様に増加する。
実施の形態1の場合、0度から磁石2を回転させていくと、磁束密度は、30度付近から70度付近までの範囲において極大値からゼロまで減少する。磁束密度は、70度付近から120度付近までの範囲においてゼロのままとなり、120度付近から160度付近までの範囲においてゼロから極小値まで減少する。このように、実施の形態1の場合、比較例の場合よりも狭い角度範囲において磁束密度が減少する。すなわち、実施の形態1の場合、比較例の場合よりも、角度の変化に対して磁束密度が急峻に変化する。
また、実施の形態1の場合において、180度から磁石2を回転させていくと、磁束密度は、200度付近から250度付近までの範囲において極小値からゼロまで増加する。磁束密度は、250度付近から300度付近までの範囲においてゼロのままとなり、300度付近から340度付近までの範囲においてゼロから極大値まで増加する。実施の形態1の場合、比較例の場合よりも狭い角度範囲において磁束密度が増加する。すなわち、実施の形態1の場合、比較例の場合よりも、角度の変化に対して磁束密度が急峻に変化する。
図2に示す状態から磁石2を回転させることによって、第2端部6bに対向する位置に弱磁化領域Sbが到達する。さらに磁石2を回転させることによって、発電素子3と対向する位置から強磁化領域Na1,Sa1は離れていき、発電素子3と対向する位置に弱磁化領域Sbが到達する。発電素子3と対向する位置を弱磁化領域Sbが通過するときにおける磁束密度の変化は、発電素子3と対向する位置を強磁化領域Sa1が通過するときにおける磁束密度の変化よりも小さい。したがって、実施の形態1の場合、90度を含む角度範囲において磁束密度が変化しない状態となる。その後、さらに磁石2を回転させることによって、弱磁化領域Sbは発電素子3と対向する位置から離れていき、発電素子3と対向する位置に強磁化領域Sa2,Na2が到達する。発電素子3と対向する位置に強磁化領域Sa2,Na2が到達することによって、磁束密度は、ゼロから極小値へ急峻に減少する。磁石2が180度から360度まで回転する場合における磁束密度の変化は、磁束密度の正負が異なる以外は、磁石2が0度から180度まで回転する場合における磁束密度の変化と同様である。
実施の形態1では、磁石2のうちN極2NとS極2Sとの境界に強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2を設けたことによって、磁石2を1回転させる中において、磁束密度が減少する角度範囲と磁束密度が増加する角度範囲とが限定される。実施の形態1では、磁性ワイヤ6における磁化反転は、120度付近から160度付近までの角度範囲と、200度付近から250度付近までの角度範囲とにおいて生じる。
このように、実施の形態1では、比較例の場合に比べて、磁化反転が起きる角度範囲が限定可能となる。発電素子3は、磁化反転が起きる角度範囲が限定されることで、磁石2の回転によって誘起電圧を出力するタイミングのばらつきを抑制できる。これにより、発電素子3は、磁石2が回転するごとにおける発電のタイミングのばらつきを低減できる。また、発電素子3は、角度の変化に対する磁束密度の変化が急峻であることによって、比較例の場合よりも発電量を増加することができる。
また、実施の形態1では、回転軸9に平行な方向において発電素子3が磁石2と対向することによって、磁性ワイヤ6の全体に磁石2からの磁束を作用させることができる。このため、発電素子3は、磁性ワイヤ6のうち中心部のみに磁束を作用させる場合と比べて、発電量を増加することができる。
磁性ワイヤ6の第1端部6aと第2端部6bとは、磁性ワイヤ6のうち第1端部6aおよび第2端部6bの間の部位に比べて、磁束密度の変化が不安定になり易い。通常、磁性ワイヤ6は、ワイヤ状の材料を発電素子3に適した寸法に切断することによって製造される。第1端部6aと第2端部6bとは、切断時に応力が掛けられていることによって、第1端部6aおよび第2端部6bの間の部位とは組織の状態が変化している場合がある。組織の状態が変化していることは、磁束密度の変化が不安定となる要因の1つとなり得る。
実施の形態1では、軟磁性体であるフェライトビーズ8を第1端部6aと第2端部6bとに被せたことによって、発電素子3は、磁石2から第1端部6aへ向かう磁束と、磁石2から第2端部6bへ向かう磁束とを、フェライトビーズ8へ導く。磁性ワイヤ6の透磁率よりもフェライトビーズ8の透磁率のほうが高いことによって、第1端部6aへ向かう磁束と第2端部6bへ向かう磁束とをフェライトビーズ8へ引き寄せることができる。発電素子3は、第1端部6aと第2端部6bとには磁束を作用させず、フェライトビーズ8を通じて磁性ワイヤ6へ磁束を作用させることが可能となる。発電素子3は、フェライトビーズ8を通じて磁性ワイヤ6へ磁束を作用させることで、磁石2の回転によって磁化反転が生じるタイミングのばらつきと、発電量のばらつきとを抑制できる。これにより、発電素子3は、磁石2が回転するごとにおける発電のタイミングのばらつきの低減と、磁石2が回転するごとにおける発電量のばらつきの低減とが可能となる。
実施の形態1によると、回転数検出器1は、回転軸9に平行な方向において磁石2に発電素子3を対向させるとともに、強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2と弱磁化領域Nb,Sbとを磁石2に設けたことによって、発電素子3における発電量を増加させることができ、かつ発電のタイミングのばらつきを抑制できる。また、回転数検出器1は、磁性ワイヤ6の両端部の各々に軟磁性体である筒体を設けたことによって、発電のタイミングのばらつきと発電量のばらつきとを抑制できる。以上により、回転数検出器1は、回転数検出の信頼性を向上できるという効果を奏する。
実施の形態2.
図4は、本発明の実施の形態2にかかる回転数検出器が有する磁石と発電素子とを示す平面図である。実施の形態2の磁石2には、N極2NとS極2Sとの境界に弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2が設けられている。実施の形態2では、上記の実施の形態1と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1とは異なる構成について主に説明する。図4には、回転軸9に平行な方向かつシャフト4とは逆側から磁石2と発電素子3とを見た様子を示している。実施の形態2の磁石2は、中心に開口11が設けられた円筒体である。磁石2は、実施の形態1の場合と同様に、円形を呈する平板であっても良い。
N極2Nは、第1の領域である1つの強磁化領域Naと第2の領域である2つの弱磁化領域Nb1,Nb2とを有する。強磁化領域Naと弱磁化領域Nb1,Nb2とは、着磁方向が互いに同じであって、かつ磁力の強さが互いに異なる。弱磁化領域Nb1,Nb2は、強磁化領域Naよりも磁力が弱い領域である。すなわち、弱磁化領域Nb1,Nb2の表面磁束密度は、強磁化領域Naの表面磁束密度よりも小さい。弱磁化領域Nb1の表面磁束密度と弱磁化領域Nb2の表面磁束密度とは、同程度である。
S極2Sは、第1の領域である1つの強磁化領域Saと第2の領域である2つの弱磁化領域Sb1,Sb2とを有する。強磁化領域Saと弱磁化領域Sb1,Sb2とは、着磁方向が互いに同じであって、かつ磁力の強さが互いに異なる。弱磁化領域Sb1,Sb2は、強磁化領域Saよりも磁力が弱い領域である。すなわち、弱磁化領域Sb1,Sb2の表面磁束密度は、強磁化領域Saの表面磁束密度よりも小さい。弱磁化領域Sb1の表面磁束密度と弱磁化領域Sb2の表面磁束密度とは、同程度である。なお、図4では、強磁化領域Na,Saと弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2との各領域の境界を実線で表している。
強磁化領域Naは、回転方向において弱磁化領域Nb1と弱磁化領域Nb2との間に設けられている。すなわち、弱磁化領域Nb1,Nb2は、強磁化領域Naを挟むように配置されている。強磁化領域Naは、N極2Nのうち回転方向における中心に配置されている。強磁化領域Saは、回転方向において弱磁化領域Sb1と弱磁化領域Sb2との間に設けられている。すなわち、弱磁化領域Sb1,Sb2は、強磁化領域Saを挟むように配置されている。強磁化領域Saは、S極2Sのうち回転方向における中心に配置されている。弱磁化領域Nb1と弱磁化領域Sb1とは、回転方向において互いに隣り合う。弱磁化領域Nb2と弱磁化領域Sb2とは、回転方向において互いに隣り合う。
このように、弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2は、磁石2のうちN極2NとS極2Sとの境界に設けられている。実施の形態2において、N極2Nの強磁化領域Naおよび弱磁化領域Nb1,Nb2と、S極2Sの強磁化領域Saおよび弱磁化領域Sb1,Sb2とは、磁石2の着磁の際に、磁石2の領域ごとに加えられる外部磁場の強さを変化させることによって実現される。
図4に示す状態において、発電素子3のうち第1端部6aと第2端部6bとの間の部位は、弱磁化領域Nb1と弱磁化領域Sb1とに対向している。第1端部6aは、強磁化領域Naに対向している。第2端部6bは、強磁化領域Saに対向している。回転方向における強磁化領域Naの範囲は、回転方向における弱磁化領域Nb1と弱磁化領域Sb1とを合わせた領域の範囲よりも大きく、かつ、回転方向における弱磁化領域Nb2と弱磁化領域Sb2とを合わせた領域の範囲よりも大きい。回転方向における強磁化領域Saの範囲は、回転方向における弱磁化領域Nb1と弱磁化領域Sb1とを合わせた領域の範囲よりも大きく、かつ、回転方向における弱磁化領域Nb2と弱磁化領域Sb2とを合わせた領域の範囲よりも大きい。
図5は、実施の形態2にかかる回転数検出器における磁石の回転角度と磁束密度との関係の例を示す図である。図5において、角度「0度」は、磁石2が図4に示す状態であるときとする。図5に示すグラフの横軸は、図4において反時計回りの方向へ磁石2を回転させた場合における回転角度を表す。図5に示すグラフの縦軸は、磁性ワイヤ6における磁束密度を表す。
曲線M3は、実施の形態2の磁石2を回転させる場合における角度と磁束密度との関係を表す。曲線M2は、実施の形態1の場合と同様に、比較例の磁石2を回転させる場合における角度と磁束密度との関係を表す。
比較例の場合、0度から180度まで磁石2を回転させる間において、磁束密度は、30度付近にて極大値からの減少を開始して、150度付近にて極小値に到達する。実施の形態2の場合、磁束密度は、60度付近にて極大値からの減少を開始して、120度付近にて極小値に到達する。このように、実施の形態2の場合、比較例の場合よりも狭い角度範囲において磁束密度が減少する。すなわち、実施の形態2の場合、比較例の場合よりも、角度の変化に対して磁束密度が急峻に変化する。
また、比較例の場合、180度から360度まで磁石2を回転させる間において、磁束密度は、200度付近にて極小値からの増加を開始して、340度付近にて極大値に到達する。実施の形態2の場合、磁束密度は220度付近にて極小値からの増加を開始して、310度付近にて極大値に到達する。このように、実施の形態2の場合、比較例の場合よりも狭い角度範囲において磁束密度が増加する。すなわち、実施の形態2の場合、比較例の場合よりも、角度の変化に対して磁束密度が急峻に変化する。
図4に示す状態から磁石2を回転させていくと、発電素子3に対向する位置に強磁化領域Saが到達する。さらに磁石2を回転させることによって、強磁化領域Saは発電素子3と対向する位置から離れていき、発電素子3と対向する位置に弱磁化領域Sb2,Nb2が到達する。弱磁化領域Sb2,Nb2を合わせた領域の範囲が強磁化領域Saの範囲よりも小さいことによって、磁束密度は、急峻に減少する。磁石2が180度から360度まで回転する場合における磁束密度の変化は、磁束密度の正負が異なる以外は、磁石2が0度から180度まで回転する場合における磁束密度の変化と同様である。
実施の形態2では、磁石2のうちN極2NとS極2Sとの境界に弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2を設けたことによって、磁石2を1回転させる中において、磁束密度が減少する角度範囲と磁束密度が増加する角度範囲とが限定される。このように、実施の形態2では、比較例の場合に比べて、磁化反転が起きる角度範囲が限定可能となる。発電素子3は、磁化反転が起きる角度範囲が限定されることで、磁石2の回転によって誘起電圧を出力するタイミングのばらつきを抑制できる。これにより、発電素子3は、磁石2が回転するごとにおける発電のタイミングのばらつきを低減できる。また、発電素子3は、角度の変化に対する磁束密度の変化が急峻であることによって、比較例の場合よりも発電量を増加することができる。
実施の形態2によると、回転数検出器1は、強磁化領域Na,Saと弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2とを磁石2に設けたことによって、発電素子3における発電量を増加させることができ、かつ発電のタイミングのばらつきを抑制できる。これにより、回転数検出器1は、回転数検出の信頼性を向上できるという効果を奏する。
なお、実施の形態1の磁石2における第1の領域である強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2および第2の領域である弱磁化領域Nb,Sbと、実施の形態2の磁石2における第1の領域である強磁化領域Na,Saおよび第2の領域である弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2とは、着磁の際に加えられる外部磁場の強さを変化させることによって実現されるものに限られない。第1の領域と第2の領域とは、磁石2の形状あるいは磁石2の材料によって実現されるものでも良い。第1の領域と第2の領域とが磁石2の形状あるいは磁石2の材料によって実現される場合について、実施の形態3以降にて説明する。
実施の形態3.
図6は、本発明の実施の形態3にかかる回転数検出器を示す図である。実施の形態3にかかる回転数検出器20は、図1に示す磁石2に代えて磁石21が設けられているほかは、実施の形態1にかかる回転数検出器1と同様の構成を有する。実施の形態3では、上記の実施の形態1および2と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1および2とは異なる構成について主に説明する。なお、図6では、処理部5の図示を省略する。
磁石21において、第1の領域である強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2と第2の領域である弱磁化領域Nb,Sbとでは、回転軸9に平行な方向における厚みが互いに異なる。磁石21のうち回転軸9に平行な方向における強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2の長さは、磁石21のうち回転軸9に平行な方向における弱磁化領域Nb,Sbの長さよりも長い。磁石21における強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2と弱磁化領域Nb,Sbとの配置は、図2に示す磁石2の場合と同様である。
磁石21の中心には、開口11が設けられている。磁石21は、第1の領域と第2の領域とで厚みを異ならせるように円筒体を変形したものである。なお、磁石21には、開口11が設けられていなくても良い。磁石21は、第1の領域と第2の領域とで厚みを異ならせるように円板を変形したものであっても良い。
磁石21では、回転軸9に平行な方向における長さを領域ごとに異ならせることによって、総磁束量が多い領域である第1の領域と総磁束量が少ない領域である第2の領域とが形成される。また、第1の領域における磁石21と発電素子3との距離が、第2の領域における磁石21と発電素子3との距離よりも短いため、発電素子3に作用する磁力は第2の領域よりも第1の領域において強くなる。磁石21を着磁する際に使用される着磁ヨークのヨークコア部分が平坦であることによって、第1の領域をヨークコア部分と密着させる一方、第2の領域とヨークコア部分との間には隙間が生じる。これにより、総磁束量が多い第1の領域と総磁束量が少ない第2の領域とが磁石21に形成される。
なお、実施の形態3では、磁石21には、図4に示す磁石2の場合と同様に、第1の領域である強磁化領域Na,Saと第2の領域である弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2とを設けることとしても良い。
実施の形態4.
図7は、本発明の実施の形態4にかかる回転数検出器を示す図である。図8は、実施の形態4にかかる回転数検出器が有する磁石と発電素子とを示す平面図である。実施の形態4にかかる回転数検出器30は、図1に示す磁石2に代えて磁石31が設けられているほかは、実施の形態1にかかる回転数検出器1と同様の構成を有する。実施の形態4では、上記の実施の形態1から3と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1から3とは異なる構成について主に説明する。図8には、回転軸9に平行な方向から磁石31と発電素子3とを見た様子を示している。なお、図7では、処理部5の図示を省略する。
磁石31において、第1の領域である強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2と第2の領域である弱磁化領域Nb,Sbとでは、半径方向における長さが互いに異なる。磁石31のうち回転軸9を中心とする円の半径方向における強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2の長さは、磁石31のうち回転軸9を中心とする円の半径方向における弱磁化領域Nb,Sbの長さよりも長い。磁石31における強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2と弱磁化領域Nb,Sbとの配置は、図2に示す磁石2の場合と同様である。図8では、N極2NとS極2Sとの境界を実線で表している。
磁石31の中心には、開口11が設けられている。磁石31は、半径方向における長さを第1の領域と第2の領域とで異ならせるように円筒体を変形したものである。なお、磁石31には、開口11が設けられていなくても良い。磁石31は、半径方向における厚みを第1の領域と第2の領域とで異ならせるように円板を変形したものであっても良い。
磁石31では、半径方向における長さを領域ごとに異ならせることによって、総磁束量が多い領域である第1の領域と総磁束量が少ない領域である第2の領域とが形成される。なお、実施の形態4では、磁石31には、図4に示す磁石2の場合と同様に、第1の領域である強磁化領域Na,Saと第2の領域である弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2とを設けることとしても良い。
実施の形態5.
図9は、本発明の実施の形態5にかかる回転数検出器を示す図である。実施の形態5にかかる回転数検出器40は、図1に示す磁石2に代えて磁石41が設けられているほかは、実施の形態1にかかる回転数検出器1と同様の構成を有する。実施の形態5では、上記の実施の形態1から4と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1から4とは異なる構成について主に説明する。なお、図9では、処理部5の図示を省略する。
磁石41は、互いに異なる材料からなる部位である第1の部位41aと第2の部位41bとを有する。第1の部位41aは、第1の領域である強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2を構成する。第2の部位41bは、第2の領域である弱磁化領域Nb,Sbを構成する。第1の部位41aの材料には、第2の部位41bの材料よりも残留磁束密度が高い材料が使用されている。磁石41における強磁化領域Na1,Na2,Sa1,Sa2と弱磁化領域Nb,Sbとの配置は、図2に示す磁石2の場合と同様である。磁石41は、中心に開口11が設けられた円筒体である。磁石41は、円筒体に限られず、円板であっても良い。
磁石41では、第1の部位41aの材料に、第2の部位41bの材料よりも残留磁束密度が高い材料が使用されることによって、総磁束量が多い領域である第1の領域と総磁束量が少ない領域である第2の領域とが形成される。なお、実施の形態5では、磁石41には、図4に示す磁石2の場合と同様に、第1の領域である強磁化領域Na,Saと第2の領域である弱磁化領域Nb1,Nb2,Sb1,Sb2とを設けることとしても良い。
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
1,20,30,40 回転数検出器、2,21,31,41 磁石、2N N極、2S S極、3 発電素子、4 シャフト、5 処理部、6 磁性ワイヤ、6a 第1端部、6b 第2端部、7 コイル、8 フェライトビーズ、9 回転軸、11 開口、41a 第1の部位、41b 第2の部位、Na,Na1,Na2,Sa,Sa1,Sa2 強磁化領域、Nb,Nb1,Nb2,Sb,Sb1,Sb2 弱磁化領域。

Claims (10)

  1. 回転軸を中心に回転する回転体に取り付けられる磁石と、前記磁石の回転による磁界の変化にしたがって誘起電圧を発生する発電素子とを有し、前記誘起電圧を基に前記回転体の回転数を検出する回転数検出器であって、
    前記発電素子は、磁性ワイヤと、前記磁性ワイヤのうち前記磁性ワイヤの両端部である第1端部および第2端部の間に巻回されたコイルと、軟磁性体であって前記第1端部および前記第2端部の各々に設けられている筒体と、を有し、
    前記磁石は、前記磁石の回転方向に並べられた複数の磁極を有し、
    前記複数の磁極の各々は、磁力の強さが互いに異なる第1の領域と第2の領域とを有することを特徴とする回転数検出器。
  2. 前記発電素子は、前記回転軸に平行な方向において前記磁石と対向していることを特徴とする請求項1に記載の回転数検出器。
  3. 前記複数の磁極は、着磁方向が互いに異なる第1の磁極および第2の磁極を含み、
    前記第2の領域は、前記第1の領域よりも磁力が弱く、かつ前記回転方向において前記第1の領域に挟まれて配置され、
    前記第1の磁極の前記第1の領域と前記第2の磁極の前記第1の領域とは、前記回転方向において互いに隣り合うことを特徴とする請求項1または2に記載の回転数検出器。
  4. 前記第1の磁極の前記第1の領域と前記第2の磁極の前記第1の領域とに前記発電素子が対向する状態において、前記回転軸に平行な方向において前記磁石と前記発電素子とを平面視した場合に、前記発電素子の全体は、前記第1の磁極の前記第1の領域と前記第2の磁極の前記第1の領域とを合わせた領域の中にあることを特徴とする請求項3に記載の回転数検出器。
  5. 前記複数の磁極は、着磁方向が互いに異なる第1の磁極および第2の磁極を含み、
    前記第2の領域は、前記第1の領域よりも磁力が弱く、かつ前記回転方向において前記第1の領域を挟むように配置され、
    前記第1の磁極の前記第2の領域と前記第2の磁極の前記第2の領域とは、前記回転方向において互いに隣り合うことを特徴とする請求項1または2に記載の回転数検出器。
  6. 前記回転方向における前記第1の磁極の前記第1の領域の範囲と、前記回転方向における前記第2の磁極の前記第1の領域の範囲との各々は、前記回転方向における前記第1の磁極の前記第2の領域と前記第2の磁極の前記第2の領域とを合わせた領域の範囲よりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の回転数検出器。
  7. 前記筒体の透磁率は、前記磁性ワイヤの透磁率よりも高いことを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の回転数検出器。
  8. 前記磁石のうち前記回転軸に平行な方向における前記第1の領域の長さは、前記磁石のうち前記回転軸に平行な方向における前記第2の領域の長さよりも長いことを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の回転数検出器。
  9. 前記磁石のうち前記回転軸を中心とする円の半径方向における前記第1の領域の長さは、前記磁石のうち前記回転軸を中心とする円の半径方向における前記第2の領域の長さよりも長いことを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の回転数検出器。
  10. 前記磁石のうち前記第1の領域を構成する部位の材料には、前記磁石のうち前記第2の領域を構成する部位の材料よりも残留磁束密度が高い材料が使用されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の回転数検出器。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021200361A1 (ja) * 2020-04-01 2021-10-07 三菱電機株式会社 発電素子、これを用いた磁気センサ、エンコーダおよびモータ

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4332512A1 (en) * 2021-04-26 2024-03-06 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Power-generating element, encoder, and method for producing magnetic member
CN117280582A (zh) 2021-05-18 2023-12-22 三菱电机株式会社 发电模块
WO2024004423A1 (ja) * 2022-06-28 2024-01-04 パナソニックIpマネジメント株式会社 発電素子、磁気センサ、およびエンコーダ
WO2024084701A1 (ja) * 2022-10-21 2024-04-25 三菱電機株式会社 発電素子、発電モジュール、回転数検出器及び発電機

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5419134A (en) * 1977-07-12 1979-02-13 Sanyo Electric Co Charging apparatus utilizing electric generation
JPS5576533U (ja) * 1978-11-17 1980-05-27
JP2000101401A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Hirose Electric Co Ltd パルス信号発生方法および装置
JP2005114609A (ja) * 2003-10-09 2005-04-28 Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd 磁界発生方法およびその方法を使用するセンサ
WO2013094042A1 (ja) * 2011-12-21 2013-06-27 株式会社安川電機 モータ、モータシステムおよびモータ用エンコーダ
JP2013217792A (ja) * 2012-04-10 2013-10-24 Hirose Electric Co Ltd 回転検出装置
US20150130450A1 (en) * 2012-04-30 2015-05-14 Fritz Kubler Gmbh Zahl- Und Sensortechnik Energy-self-sufficient multiturn rotary encoder and method for determining a unique position of an encoder shaft by means of the multiturn rotary encoder

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3019022B2 (ja) * 1996-11-19 2000-03-13 トヨタ自動車株式会社 磁気式回転速度センサ
JP5895774B2 (ja) * 2012-09-04 2016-03-30 株式会社安川電機 モータ
CN106104211B (zh) * 2014-03-14 2018-11-13 三菱电机株式会社 磁力式位置检测装置、磁力式位置检测方法
DE102014220783A1 (de) * 2014-10-14 2016-04-14 Robert Bosch Gmbh Sensor zur Bestimmung mindestens einer Rotationseigenschaft eines rotierenden Elements
JP6336232B1 (ja) * 2017-03-21 2018-06-06 三菱電機株式会社 回転数検出器
JP7024207B2 (ja) 2017-04-28 2022-02-24 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5419134A (en) * 1977-07-12 1979-02-13 Sanyo Electric Co Charging apparatus utilizing electric generation
JPS5576533U (ja) * 1978-11-17 1980-05-27
JP2000101401A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Hirose Electric Co Ltd パルス信号発生方法および装置
JP2005114609A (ja) * 2003-10-09 2005-04-28 Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd 磁界発生方法およびその方法を使用するセンサ
WO2013094042A1 (ja) * 2011-12-21 2013-06-27 株式会社安川電機 モータ、モータシステムおよびモータ用エンコーダ
JP2013217792A (ja) * 2012-04-10 2013-10-24 Hirose Electric Co Ltd 回転検出装置
US20150130450A1 (en) * 2012-04-30 2015-05-14 Fritz Kubler Gmbh Zahl- Und Sensortechnik Energy-self-sufficient multiturn rotary encoder and method for determining a unique position of an encoder shaft by means of the multiturn rotary encoder

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021200361A1 (ja) * 2020-04-01 2021-10-07 三菱電機株式会社 発電素子、これを用いた磁気センサ、エンコーダおよびモータ
US20230068474A1 (en) * 2020-04-01 2023-03-02 Mitsubishi Electric Corporation Power generation element, and magnetic sensor, encoder, and motor using the same
JP7378586B2 (ja) 2020-04-01 2023-11-13 三菱電機株式会社 発電素子、これを用いた磁気センサ、エンコーダおよびモータ

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