JP5895774B2 - モータ - Google Patents

モータ Download PDF

Info

Publication number
JP5895774B2
JP5895774B2 JP2012193707A JP2012193707A JP5895774B2 JP 5895774 B2 JP5895774 B2 JP 5895774B2 JP 2012193707 A JP2012193707 A JP 2012193707A JP 2012193707 A JP2012193707 A JP 2012193707A JP 5895774 B2 JP5895774 B2 JP 5895774B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
magnetic
support
detection unit
rotation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012193707A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014048251A (ja
JP2014048251A5 (ja
Inventor
史朗 吉冨
史朗 吉冨
幾磨 室北
幾磨 室北
有永 雄司
雄司 有永
康 吉田
吉田  康
次郎 村岡
次郎 村岡
昌二 小山
昌二 小山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2012193707A priority Critical patent/JP5895774B2/ja
Priority to CN201310395402.1A priority patent/CN103683681B/zh
Priority to US14/016,227 priority patent/US9281729B2/en
Priority to EP13182809.7A priority patent/EP2703783A2/en
Publication of JP2014048251A publication Critical patent/JP2014048251A/ja
Publication of JP2014048251A5 publication Critical patent/JP2014048251A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5895774B2 publication Critical patent/JP5895774B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K11/00Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
    • H02K11/20Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
    • H02K11/21Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
    • H02K11/22Optical devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/487Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by rotating magnets
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K11/00Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
    • H02K11/20Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
    • H02K11/21Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
    • H02K11/225Detecting coils

Description

本発明は、磁気を用いてシャフトの回転を検出する回転検出装置を備えたモータに関する。
モータに搭載し、モータのシャフトの回転検出を行うことが可能な回転検出装置として、磁気を利用した回転検出装置が知られている。
例えば、特許文献1の図7に記載された回転検出装置(回転検知用の磁気センサ)は、大バルクハウゼンジャンプを起こし得るワイヤ状磁性素子(10)の周りに検出コイル(11)を巻回してなる検出素子を設け、モータのシャフト等の被検出物に接続される回転中心軸(21)を有するドラム状基体(20)に、極性を交互に変えた複数の永久磁石(31ないし36)を等間隔に並べて配置することにより構成されている。この回転検出装置において、ドラム状基体(20)が回転すると、永久磁石(31ないし36)がワイヤ状磁性素子(10)の近傍を順次通過し、これにより、ワイヤ状磁性素子(10)に交番磁界が付与される。この結果、ワイヤ状磁性素子の磁化の方向が順次切り換えられ、ドラム状基体(20)の回転状態を示すパルス信号が検出コイル(11)から出力される。
ところが、特許文献1の図7に記載された回転検出装置では、ワイヤ状磁性素子(10)が、ドラム状基体(20)の回転軸と平行な方向に伸長している。このため、当該回転検出装置の回転軸方向の寸法が大きくなってしまい、このような回転検出装置をモータに搭載した場合には、モータが大型化してしまうという不都合がある。
これに対し、下記の特許文献2の図1に記載されている回転検出装置(回転センサ)は、バルクハウゼン効果を有するアモルファス磁性体製の鉄芯(21)にコイル線(22)を巻回することにより形成されたセンサコイル(2)と、所定の回転方向に回転する回転板(200)に取り付けられた永久磁石(1)とを備え、センサコイル(2)は、鉄芯(21)の軸方向が回転板(200)の回転方向の接線方向と平行となるように配置されている。したがって、特許文献2の図1に記載されている回転検出装置によれば、特許文献1の図7に記載されている回転検出装置よりも、回転軸方向の寸法を小さくすることができる。したがって、このような回転検出装置をモータに搭載することにより、モータの小型化を図ることができる。
特開2001−194182号公報 特開2000−161989号公報
しかしながら、特許文献2の図1に記載されているように、永久磁石(1)が取り付けられた回転板(200)の回転方向の接線方向と鉄芯(21)(磁性素子)の長さ方向とが平行となるようにセンサコイル(2)(磁界検出部)を配置した回転検出装置には、次のような問題が生じ得る。
例えば、特許文献2の図2(a)に記載されているように、回転板(200)の回転により、N極の永久磁石(1)と、センサコイル(2)の一端(2a)側とが互いに接近したときには、永久磁石(1)により形成された磁界が、センサコイル(2)の一端(2a)側から他端(2b)側に向かって鉄芯(21)を通過するので、鉄芯(21)は一の方向に磁化される。また、特許文献2の図2(b)に記載されているように、回転板(200)の回転により、N極の永久磁石(1)と、センサコイル(2)の他端(2b)側とが互いに接近したときには、永久磁石(1)により形成された磁界が、センサコイル(2)の他端(2b)側から一端(2a)側に向かって鉄芯(21)を通過するので、鉄芯(21)は上記一の方向とは反対の方向に磁化される。そして、鉄芯(21)の磁化の方向の変化に応じたパルス信号がセンサコイル(2)のコイル線(22)から出力される。
このように、回転板(200)が回転する間、永久磁石(1)とセンサコイル(2)の一端(2a)側とが互いに接近した場合と、永久磁石(1)とセンサコイル(2)の他端(2b)側とが互いに接近した場合に限り、鉄芯(21)の磁化の方向が変化するのであれば、回転板(200)の回転状態を精度良く検出することができる。ところが、これら以外の場合に鉄芯(21)の磁化の方向が変化することがある。
すなわち、回転板(200)の回転により、永久磁石(1)とセンサコイル(2)の長さ方向中間部とが互いに接近したとき、鉄芯(21)の磁化の状態が不安定になり、鉄芯(21)の磁化の方向が変化することがある。この磁化方向の変化は、永久磁石(1)とセンサコイル(2)の長さ方向中間部とが互いに接近したときに常に生じるのではなく、生じるときと生じないときがあり、この磁化方向の変化が生じるか否かを予測することは困難である。
このような鉄芯(21)の磁化方向の予測困難な変化が生じる原因は、永久磁石(1)により鉄芯(21)に付与される磁界の方向が、鉄芯(21)の中間部から一端部にかけての部分と中間部から他端部にかけての部分とで異なるからであると考えられる。鉄芯(21)に付与される磁界の方向が、鉄芯(21)の中間部から一端部にかけての部分と中間部から他端部にかけての部分とで異なると、鉄芯(21)において磁化の方向が部分的に変化することとなる。このため、コイル線(22)から出力されるパルス信号の出力レベルが低くなる。また、大バルクハウゼン効果の発現が不確定的になるため、パルス信号の出力レベルにばらつきが生じる。このような低くばらついたパルス信号を後段の検出回路で正確に検出することは困難であり、結果的に、鉄芯(21)における磁化の方向の変化を正確に把握することができない。
このように磁化の方向の予測困難な変化が生じると、回転板(200)の回転状態を精度良く検出することが困難になる。それゆえ、このような回転検出装置を搭載し、当該回転検出装置によりシャフトの回転を検出する構成を備えたモータにおいて、シャフトの回転状態を精度良く検出することは困難である。
本発明は例えば上述したような問題に鑑みなされたものであり、本発明の課題は、回転検出装置において、磁界検出部を構成する磁性素子の磁化の方向の予測困難な変化を防止してシャフトの回転の検出精度を良くすることができると共に、回転検出装置の回転軸方向の寸法を小さくすることで小型化を図ることができるモータを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の第1のモータは、シャフトを軸線周りに回転させるモータ本体と、前記シャフトの回転を検出する回転検出装置とを備え、前記回転検出装置は、前記軸線の周囲に前記軸線方向に互いに離間して設けられ、いずれか一方が前記シャフトの回転に伴って前記軸線を回転軸として回転する第1の支持体および第2の支持体と、前記第1の支持体に固定され、前記第2の支持体に臨み、前記軸線の周囲に周方向にそれぞれ離間して配置され、極性が互いに異なり、前記第1の支持体と前記第2の支持体との間の領域に磁界を形成する少なくとも一対の磁界形成部と、長さ方向において磁化の方向が変化する棒状、ワイヤ状または長板状の磁性素子にコイルを巻回することにより形成され、前記第2の支持体に固定され、前記第1の支持体に臨み、前記軸線上の点を中心とし前記少なくとも一対の磁界形成部のそれぞれと重なり合う円周の接線と前記磁性素子の長さ方向とが平行となるように配置され、前記磁界形成部により形成された磁界を検出する少なくとも1つの磁界検出部と、磁性材料により形成され、前記第2の支持体に固定され、前記磁界検出部の長さ方向一端部において前記第1の支持体に臨む部分を覆う第1の磁性部材と、磁性材料により形成され、前記第2の支持体に固定され、前記磁界検出部の長さ方向他端部において前記第1の支持体に臨む部分を覆う第2の磁性部材とを備え、前記第1の磁性部材と前記第2の磁性部材とは、前記磁界検出部の長さ方向中間部に向けて互いに接近する方向に伸長し、前記磁界検出部の長さ方向中間部において間隙を介して互いに対向していることを特徴とする。
本発明の第1のモータが有する回転検出装置において、第1の支持体には、例えば、N極の第1の磁界形成部とS極の第2の磁界形成部とが軸線の周囲に周方向にそれぞれ離間して配置されている。これにより、第1の支持体と第2の支持体との間の領域には、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界が形成される。第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方が回転すると、相対的にみて、磁界検出部は、このような磁界が形成された領域中を周方向に移動する。
第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方の回転により、第1の磁界形成部と磁界検出部の長さ方向一端部とが互いに接近し、かつ第2の磁界形成部と磁界検出部の長さ方向他端部とが互いに接近すると、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界により、磁界検出部の磁性素子がその一端部から他端部に向いた方向に磁化される。また、第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方の回転により、第1の磁界形成部と磁界検出部の長さ方向他端部とが互いに接近し、かつ第2の磁界形成部と磁界検出部の長さ方向一端部とが互いに接近すると、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界により、磁界検出部の磁性素子がその他端部から一端部に向いた方向に磁化される。このように、第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方が回転するのに伴って磁性素子の磁化の方向が変化するので、磁性素子の磁化の方向の変化に基づき、第1の支持体または第2の支持体の回転状態を検出することができる。
ここで、磁界検出部の長さ方向一端部は第1の磁性部材により覆われ、長さ方向他端部は第2の磁性部材により覆われている。また、第1の磁性部材と第2の磁性部材とは磁界検出部の長さ方向中間部において互いに接近しているものの、互いに接触はしていない。このような第1の磁性部材および第2の磁性部材により、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界が次のように誘導される。
第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方の回転により、第1の磁界形成部と磁界検出部の一端部とが互いに接近し、かつ第2の磁界形成部と磁界検出部の他端部とが互いに接近したとき、第1の磁界形成部と磁界検出部の一端部との間には第1の磁性部材が介在し、第2の磁界形成部と磁界検出部の他端部との間には第2の磁性部材が介在する。したがって、第1の磁界形成部および第2の磁界形成部により形成される磁束の大部分は、まず、第1の磁界形成部から、磁界検出部の一端部ではなく、第1の磁性部材に進入する。第1の磁性部材に進入した磁束は、第2の磁性部材側に向かって第1の磁性部材中を進行する。磁界検出部の長さ方向中間部において第1の磁性部材と第2の磁性部材とは互いに離れているので、第1の磁性部材中を進行した磁束は、第2の磁性部材に接近するも、第2の磁性部材へは直接進入せず、磁界検出部の中間部においてやや一端部寄りの部分に進入する。磁界検出部の中間部においてやや一端部寄りの部分に進入した磁束は、磁界検出部中をその他端側へ向かって進行し、磁界検出部の長さ方向のちょうど中間を通過し、磁界検出部の中間部においてやや他端部寄りの部分に到達する。磁界検出部の中間部においてやや他端部寄りの部分に到達した磁束は、磁界検出部から離脱して第2の磁性部材に進入する。第2の磁性部材に進入した磁束は、第2の磁界形成部に向かって第2の磁性部材中を進行し、そして、この磁束は第2の磁性部材から第2の磁界形成部に到達する。
一方、第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方の回転により、第1の磁界形成部と磁界検出部の他端部とが互いに接近し、かつ第2の磁界形成部と磁界検出部の一端部とが互いに接近したときには、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界は、上述した磁界の経路と同様の経路を逆方向に辿る。すなわち、第1の磁界形成部および第2の磁界形成部により形成される磁束の大部分は、第1の磁界形成部から、第2の磁性部材、磁界検出部の中間部および第1の磁性部材を順次進行して第2の磁界形成部に到達する。
このように第1の磁性部材および第2の磁性部材によって磁界が誘導されることにより、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁束の大部分は、磁界検出部のうち、その中間部を通過する。この結果、第1の磁界形成部と磁界検出部の一端部(または他端部)とが互いに接近し、かつ第2の磁界形成部と磁界検出部の他端部(または一端部)とが互いに接近すると、磁界検出部の中間部の磁束密度が高くなる。一方、第1の磁界形成部および第2の磁界形成部が磁界検出部の一端部および他端部からそれぞれ離れると、磁界検出部の中間部の磁束密度が低くなる。これに対し、第1の磁界形成部および第2の磁界形成部が磁界検出部のそれぞれの端部に接近するか、離れるかにかかわらず、磁界検出部の一端部および他端部の磁束密度の変化は、磁界検出部の中間部の磁束密度の変化と比較して大幅に小さい。したがって、第1の磁界形成部と磁界検出部の一端部(または他端部)とが互いに接近し、かつ第2の磁界形成部と磁界検出部の他端部(または一端部)とが互いに接近した場合に限り磁性素子の磁化方向を変化させることができ、それ以外の場合に磁性素子の磁化方向の変化が生じることを防止することができる。
よって、磁界検出部を構成する磁性素子の磁化の方向の予測困難な変化を防止してシャフトの回転の検出精度を良くすることができる。また、回転検出装置の回転軸方向の寸法を小さくすることができるので、モータの小型化を図ることができる。
また、本発明の第2のモータは、上述した本発明の第1のモータにおいて、前記第1の磁性部材は、前記磁界検出部の長さ方向一端部に対応する位置から前記第2の支持体の内周側および外周側に向けてそれぞれ拡がり、前記第2の支持体において前記磁界検出部の長さ方向一端部よりも内周側および外周側の領域をそれぞれ覆い、前記第2の磁性部材は、前記磁界検出部の長さ方向他端部に対応する位置から前記第2の支持体の内周側および外周側に向けてそれぞれ拡がり、前記第2の支持体において前記磁界検出部の長さ方向他端部よりも内周側および外周側の領域をそれぞれ覆っていることを特徴とする。
本発明の第2のモータが有する回転検出装置において、第1の磁性部材が、磁界検出部の一端部を含む広い領域を覆っており、第2の磁性部材が、磁界検出部の他端部を含む広い領域を覆っている。したがって、第1および第2の磁界形成部が磁界検出部の両端部にそれぞれ接近しているときには、磁界形成部により形成された磁界を磁界検出部の中間部に誘導する効果を高めることができ、一方、第1または第2の磁界形成部が磁界検出部の端部に接近していないときには、磁界形成部により形成された磁界が磁界検出部に進入することを防止することができる。したがって、磁界検出部を構成する磁性素子の磁化の方向の予測困難な変化を防止することができる。
また、本発明の第3のモータは、上述した第1または第2のモータにおいて、前記磁界検出部の長さ方向中間部に対応する位置において互いに対向している前記第1の磁性部材の端面および前記第2の磁性部材の端面は、前記軸線に対して垂直でかつ前記磁界検出部の長さ方向に対して垂直な方向にそれぞれ伸長していることを特徴とする。
本発明の第3のモータによれば、当該モータが有する回転検出装置において、第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方の回転により、第1および第2の磁界形成部が磁界検出部の一端部および他端部にそれぞれ接近したとき、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界の拡散を抑制し、当該磁界を磁界検出部の長さ方向と平行な方向に進行させることができる。特に、磁界検出部の長さ方向中間部に対応する位置において第2の磁性部材の端面と対向している第1の磁性部材の端面から第1の磁性部材の外部に向かって磁界が進行するとき、あるいは、磁界検出部の長さ方向中間部に対応する位置において第1の磁性部材の端面と対向している第2の磁性部材の端面から第2の磁性部材の外部に向かって磁界が進行するとき、磁界の拡散を抑制することができる。これにより、磁界検出部の中間部を磁束密度の高い安定した状態にすることができる。したがって、各磁界形成部と磁界検出部の端部との接近、離間によって生じる、磁界検出部の中間部の磁束密度の変化を大きくし、かつ安定化させることができる。
また、本発明の第4のモータは、上述した第1ないし第3のいずれかのモータにおいて、前記第1の磁性部材において前記軸線側に向いた端面は、前記磁界検出部の長さ方向と平行な方向に伸長し、前記第2の磁性部材において前記軸線側に向いた端面は、前記磁界検出部の長さ方向と平行な方向に伸長していることを特徴とする。
本発明の第4のモータによれば、当該モータが有する回転検出装置において、第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方の回転により、第1および第2の磁界形成部が磁界検出部の一端部および他端部にそれぞれ接近したとき、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界の拡散を抑制し、当該磁界を磁界検出部の長さ方向と平行な方向に進行させることができる。特に、第1または第2の磁性部材において軸線側に向いた端面から磁界がその外部へ拡散することを抑制することができる。これにより、磁界検出部の中間部を磁束密度の高い安定した状態にすることができる。したがって、各磁界形成部と磁界検出部の端部との接近、離間によって生じる、磁界検出部の中間部の磁束密度の変化を大きくし、かつ安定化させることができる。
また、本発明の第5のモータは、上述した第1ないし第4のいずれかのモータにおいて、前記第1の磁性部材は前記磁界検出部の長さ方向一端部の端面を覆い、前記第2の磁性部材は前記磁界検出部の長さ方向他端部の端面を覆うことを特徴とする。
本発明の第5のモータによれば、当該モータが有する回転検出装置において、第1および第2の磁界形成部が磁界検出部の両端部にそれぞれ接近しているときには、これら一対の磁界形成部により形成された磁界を、磁界検出部の中間部だけでなく、磁界検出部の一端部および他端部にも誘導することができる。これにより、磁界検出部の中間部だけでなく両端部の磁束密度をも高めることができ、磁界検出部全体の磁化の方向を、一対の磁界形成部により形成された磁界の方向と一致するように揃えることができる。したがって、コイルから出力される電気信号(検出信号)の出力レベルを大きくすることができ、磁界検出部を構成する磁性素子の磁化方向の変化を高精度に検出することが可能になる。一方、第1または第2の磁界形成部が磁界検出部の端部に接近していないときには、磁界形成部により形成された磁界が磁界検出部に進入することを防止することができる。したがって、磁界検出部を構成する磁性素子の磁化方向の予測困難な変化を防止することができる。
また、本発明の第6のモータは、上述した第1ないし第5のいずれかのモータにおいて、各磁界形成部は永久磁石であり、各磁界形成部の周方向または前記円周の接線方向の寸法は、前記磁界検出部の長さ方向中間部に対応する位置において互いに対向している前記第1の磁性部材の端面と前記第2の磁性部材の端面との間の距離よりも大きいことを特徴とする。
本発明の第6のモータによれば、当該モータが有する回転検出装置において、第1の支持体および第2の支持体のいずれか一方の回転により、第1または第2の磁界形成部が磁界検出部の中間部に接近したとき、磁界形成部により形成された磁界が磁界検出部に進入することを抑制することができる。すなわち、各磁界形成部の周方向または前記円周の接線方向の寸法が、磁界検出部の長さ方向中間部に対応する位置において互いに対向している第1の磁性部材の端面と第2の磁性部材の端面との間の距離よりも大きいので、例えば、第1の磁界形成部が磁界検出部の中間部に接近したとき、第1の磁界形成部と磁界検出部の中間部との間の距離よりも、第1の磁界形成部と第1または第2の磁性部材との間の距離の方が近くなる。したがって、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界の大部分は、第1または第2の磁性部材に進入する。この結果、当該磁界は磁界検出部にはほとんど進入しない。同様に、第2の磁界形成部が磁界検出部の中間部に接近したときには、第1の磁界形成部から第2の磁界形成部に向かう磁界の大部分が、第1または第2の磁性部材に進入する。この結果、当該磁界は磁界検出部にはほとんど進入しない。したがって、第1または第2の磁界形成部が磁界検出部の中間部に接近したときに、磁界検出部を構成する磁性素子の磁化方向が変化することを防止することができる。
また、本発明の第7のモータは、上述した第1ないし第6のいずれかのモータにおいて、前記磁性素子は大バルクハウゼン素子であることを特徴とする。
本発明の第7のモータによれば、当該モータが有する回転検出装置において、第1および第2の磁界検出部により磁性素子に磁界が付与されると、磁性素子の磁化方向が急激に反転し、これにより生じる起電力により、鋭く立ち上がるパルス状の電気信号がコイルに流れる。したがって、磁性素子の磁化方向の変化に対応したパルス信号を検出信号として取得することができ、第1の支持体または第2の支持体の回転状態を高精度にまたは容易に検出することが可能になる。
また、本発明の第8のモータは、上述した第1ないし第7のいずれかのモータにおいて、前記第2の支持体には前記軸線の全周を囲むように少なくとも3つの前記磁界検出部が設けられ、前記各磁界検出部に前記第1の磁性部材および前記第2の磁性部材が設けられ、前記複数の第1の磁性部材および前記複数の第2の磁性部材のうち周方向に互いに隣り合う各対の第1の磁性部材と第2の磁性部材とが互いに接近し、これにより形成された前記複数の第1の磁性部材および前記複数の第2の磁性部材の連続的な配列が、前記第2の支持体との間に前記各磁界検出部を介在させつつ、前記第2の支持体において前記第1の支持体に望む部分内の外周側を略全周に亘って覆っていることを特徴とする。
本発明の第8のモータによれば、当該モータが有する回転検出装置において、複数の第1の磁性部材および複数の第2の磁性部材の連続的な配列によって第2の支持体において第1の支持体に望む部分の外周側を略全周に亘って覆うことにより、磁界形成部と磁界検出部との間に生じる磁力を抑え、または当該磁力を周方向に均一化することができ、これにより、第1の支持体または第2の支持体が回転する際にコギングの発生を抑えることができる。
また、本発明の第9のモータは、上述した第1ないし第8のいずれかのモータにおいて、前記磁界検出部の検出結果を記憶する記憶部と、前記記憶部に記憶された情報に基づいて前記シャフトの回転数を検出する回転数検出部とを備え、前記記憶部は前記磁界検出部に隣接して配置されていることを特徴とする。
本発明の第9のモータによれば、回転検出装置において、記憶部を磁界検出部に隣接して配置したことにより、磁界検出部の検出結果を記憶部に記憶する際、磁界検出部の検出結果を記憶部に伝えるのに必要な電力を低減させることができる。
また、本発明の第10のモータは、上述した第1ないし第9のいずれかのモータにおいて、前記シャフトの回転位置を検出する光学式の回転位置検出センサを備え、前記回転位置検出センサは、前記シャフトと共に回転する第1または第2の支持体に形成される反射パターンと、前記反射パターンへ光を照射し、前記反射パターンによる反射光を受光する光センサとを備えていることを特徴とする。
本発明の第10のモータによれば、光学式の回転位置検出センサによってシャフトの回転位置を検出する構成としたことにより、モータ本体からの漏れ磁束に対する影響を受けず、精度の良く、シャフトの回転位置を検出することができる。
また、本発明の第11のモータは、上述した第10のモータにおいて、前記反射パターンは、前記第1の支持体において前記磁界形成部が配置されている面の反対側の面、または前記第2の支持体において前記磁界検出部が配置されている面の反対側の面に形成されていることを特徴とする。
本発明の第11のモータが有する回転検出装置において、反射パターンを第1の支持体に形成した場合には、磁界形成部および反射パターンの双方を第1の支持体に設けることができ、第1の支持体を磁界形成部と反射パターンとの共用の部材とすることができる。また、反射パターンを第2の支持体に形成した場合には、磁界検出部および反射パターンの双方を第2の支持体に設けることができ、第2の支持体を磁界検出部と反射パターンとの共用の部材とすることができる。これにより、回転検出装置のサイズを小さくすることができ、モータを小型化することができる。
また、反射パターンを第1の支持体に形成した場合には、磁界形成部と回転位置検出センサとを第1の支持体によって互いに分離することができる。また、反射パターンを第2の支持体に形成した場合には、磁界検出部と回転位置検出センサとを第2の支持体によって互いに分離することができる。このように、回転位置検出センサを、磁界形成部または磁界検出部から分離させることにより、磁界検出部により形成される磁界が回転位置検出センサに与える影響を抑制することができる。
また、本発明の第12のモータは、上述した第10または第11のモータにおいて、前記第1の支持体は前記第2の支持体よりも前記モータ本体に接近した位置に配置されると共に前記シャフトの回転に伴って回転し、前記反射パターンは、前記第1の支持体のうち前記モータ本体側に向いた面に形成されていることを特徴とする。
本発明の第12のモータにおいて、第1の支持体を第2の支持体よりもモータ本体に接近した位置に配置すると共に、反射パターンを第1の支持体のうちモータ本体側に向いた面に形成することにより、モータ本体、回転位置検出センサ、第1の支持体、磁界形成部、磁界検出部および第2の支持体が、この順序で配置されることとなる。このような配置によれば、磁界形成部および磁界検出部を備えた磁気的構成とモータ本体との間に回転位置検出センサが介在するため、上記磁気的構成とモータ本体とが互いに離れた位置に配置される。したがって、モータ本体からの漏れ磁束が上記磁気的構成に与える影響を抑制することができる。
本発明によれば、モータに搭載された回転検出装置において、磁界検出部を構成する磁性素子の磁化の方向の予測困難な変化を防止してシャフトの回転の検出精度を良くすることができると共に、当該回転検出装置の回転軸方向の寸法を小さくすることでモータの小型化を図ることができる。
本発明の実施形態によるモータを含むモータシステムを示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータを示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータにおける回転検出装置を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータにおける回転検出装置の第1の支持体および磁石を図3中の矢示IV−IV方向から見た説明図である。 本発明の実施形態によるモータにおける回転検出装置の第2の支持体、磁界検出部および磁性部材を図3中の矢示V−V方向から見た説明図である。 図5中の構造体から磁性部材を取り除いた状態を示す説明図である。 図5中の第2の支持体の一部および磁界検出部等を拡大して示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータにおける回転検出装置の動作を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置における磁界の経路を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータにおける回転検出装置の動作を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置における磁界の経路を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータにおける回転検出装置の動作を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、1つの磁性素子の長さ方向の位置と当該磁性素子の磁束密度との関係を示す特性線図である。 比較例による回転検出装置において、1つの磁性素子の長さ方向の位置と当該磁性素子の磁束密度との関係を示す特性線図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、磁性部材等を進行する磁界を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、モータ本体の回転量を検出する信号処理に関する構成を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置における第1の支持体および反射ディスクを示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、磁性部材の側板部を取り除いた変形例を示す説明図である。 図18中の回転検出装置において、1つの磁性素子の長さ方向の位置と当該磁性素子の磁束密度との関係を示す特性線図である。 本発明のモータにおける回転検出装置の他の実施形態を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、磁石の変形例を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、第1の支持体および磁石の変形例を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、第1の支持体および磁石のさらなる変形例を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、磁性部材の変形例を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、磁性部材の他の変形例を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、磁性部材のさらなる他の変形例を示す説明図である。 本発明の実施形態によるモータの回転検出装置において、磁性部材のさらなる他の変形例を示す説明図である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(モータシステムおよびモータ)
図1は本発明の実施形態によるモータを含むモータシステムを示している。図1において、モータシステム201は、本発明の実施形態によるモータ210と、制御装置220とを備えている。さらに、モータ210は、モータ本体211と、回転検出装置1とを備えている。
モータ本体211はシャフト213を備えている。モータ本体211は、軸線Aを回転軸とし、シャフト213を当該回転軸周りに回転させることにより、回転力を出力する。なお、本実施形態においてモータ本体211は、動力源として電気を使用する電動式モータであるが、モータ本体はこれに限定されるものではなく、例えば、油圧式モータ、エア式モータ、蒸気式モータ等の他の動力源を使用したモータであってもよい。
回転検出装置1は、モータ本体211の回転力を出力する負荷装置側の反対側に配置され、シャフト213に連結されている。そして、回転検出装置1は、シャフト213の回転位置(回転角度)および回転数を検出することにより、モータ本体211の回転量xを検出し、その回転量xを表す位置データを出力する。なお、回転検出装置1は、モータ本体211の回転量xに加え、モータ本体211の回転速度vおよびモータ本体211の回転加速度aの少なくとも一方を検出することもできるが、本実施形態では回転量xのみを検出する場合を例にあげる。
制御装置220は、不図示の上位制御装置から上位制御指令を取得し、かかる上位制御指令に応じてモータ本体211を制御する。制御装置220は、回転検出装置1から出力される位置データを取得し、かかる位置データに基づいて、モータ本体211の回転が上位制御指令に応じた回転となるように、モータ本体211の回転を制御する。モータ本体211として電動式モータが使用される本実施形態では、制御装置220は、位置データに基づいて、モータ本体211に制御信号として印加する電流又は電圧等を制御することにより、モータ本体211の回転を制御する。なお、モータ本体211が、油圧式、エア式、蒸気式などの他の動力源を使用する場合には、制御装置220は、それらの動力源の供給を制御することにより、モータ本体211の回転を制御することが可能である。
図2はモータ210の構成を示している。図2に示すように、モータ210は、モータ本体211と回転検出装置1とを備え、モータ本体211の反負荷側に回転検出装置1が取り付けられている。モータ本体211は、シャフト213と、フレーム215と、ブラケット216と、軸受217A、217Bと、固定子218と、回転子219とを備えている。
フレーム215は、筒状に形成されており、内周面に固定子218の外周が固着され、一端側で軸受217Aを保持している。ブラケット216は、略円盤状に形成され、外周部がフレーム215の他方端に取り付けられ、内周部で軸受217Bを保持している。これら軸受217A、217Bによって、シャフト213が軸線A周りを回転可能となるように保持されている。
固定子218は、固定子コアと固定子巻線とを備えており、フレーム215に固定されている。かかる固定子218の内周側には空隙を介して回転子219が対向配置され、固定子218の固定子巻線に電流を流すことにより固定子218の内側に回転磁界が発生する。回転子219は、回転子コアおよび複数の永久磁石を備え、固定子218の内側に生じた回転磁界と回転子219の永久磁石が発生する磁界との相互作用により回転子219が回転し、この回転子219の回転に伴ってシャフト213が軸線A周りに回転する。
(回転検出装置)
図3は回転検出装置1を示している。図3において、回転検出装置1は、シャフト213の回転状態、例えば回転数および回転方向を検出することができる装置である。
回転検出装置1のハウジング2は、ベース部233、バックヨーク234および蓋部材235を備えている。ベース部233は中央部にシャフト213を挿通する開孔を有し、負荷側がブラケット216に取り付けられている。バックヨーク234は、金属などの磁性材料からなる円筒状の部材であり、ベース部233の反負荷側の外周部に一端が取り付けられている。バックヨーク234によって、回転検出装置1における耐磁気ノイズ性の向上が図られ、これにより、モータ本体211からの漏れ磁束等に起因する回転検出装置1の誤動作を抑制することができる。蓋部材235は、バックヨーク234の他端に取り付けられている。
ハウジング2内、すなわち、ベース部233、バックヨーク234および蓋部材235によって形成される空間内には、第1の支持体11および第2の支持体12が収容されている。例えばハウジング2は有蓋円筒状に形成され、第1の支持体11および第2の支持体12はそれぞれ例えば円盤状に形成されている。ハウジング2内において、第1の支持体11および第2の支持体12は、軸線Aがそれぞれの中心を貫くように相互に位置が定められている。また、第1の支持体11および第2の支持体12は、軸線Aの伸長方向、すなわち軸線方向に互いに離間するように配置されている。第1の支持体11の面11Aは、軸線Aに対して垂直であり、第2の支持体12に臨んでいる。また、第2の支持体12の面12Aは、軸線Aに対して垂直であり、第1の支持体11に臨んでいる。また、第1の支持体11は軸線Aを回転軸として回転することができる。一方、第2の支持体12はハウジング2に固定されており、回転しない。また、ハウジング2内には、ベース部233の開孔を介してシャフト213が進入している。シャフト213の端部はハウジング2内において第1の支持体11に例えばボルト236により固定されている。これにより、シャフト213が回転すると、これに伴って、第1の支持体11がハウジング2内で回転する。
図4は、回転検出装置1の第1の支持体11および第1の支持体11に設けられた4つの磁石を図3中の矢示IV−IV方向から見た図である。図4に示すように、第1の支持体11には4つの磁界形成部としての磁石21、22、23、24が設けられている。各磁石21、22、23、24は例えば板状の永久磁石である。磁石21、22、23、24は第1の支持体11の面11Aに固定されている。面11A上において、磁石21、22、23、24は、軸線Aの周囲に周方向にそれぞれ離間して配置されている。磁石21、22、23、24は、例えば周方向に等しい間隔をもって並べられている。磁石21、22、23、24は、例えば90度ごとに配置されている。磁石21、22、23、24は、周方向に極性が交互に異なるように配置されている。例えば、磁石21、22、23、24において第2の支持体12に臨む側の極性がそれぞれN極、S極、N極、S極となるように配置されている。磁石21、22、23、24は、第1の支持体11と第2の支持体12との間の領域に磁界を形成する。また、図4中の二点鎖線は、軸線A上の点を中心とし、4つの磁石21、22、23、24のそれぞれと重なり合う円周Rを示している。第1の支持体11が回転すると、磁石21、22、23、24の回転の軌跡が円周Rと一致する。また、図4に示すように、磁石21の周方向の寸法D1(磁石21の中心と重なり合う円周R上の点に接する接線の方向における磁石21の寸法D1)は所定の値に設定されている。同様に、各磁石22、23、24の周方向の寸法も、磁石21の寸法D1と同じ値に設定されている。
図5は、回転検出装置1の第2の支持体12、第2の支持体12に設けられた3つの磁界検出部、および各磁界検出部の各端部を覆う磁性部材を図3中の矢示V−V方向から見た図である。図6は、図5に示す構造体から磁性部材を取り除いた状態を示している。図7は、図5中の第2の支持体12の一部、1つの磁界検出部、当該磁界検出部を覆う一対の磁性部材等を拡大して示している。
図6に示すように、第2の支持体12には3つの磁界検出部31、32、33が設けられている。各磁界検出部31、32、33は、後述するワイヤ状、棒状または長板状の磁性素子35の周囲にコイル36を巻回することにより形成されている。磁界検出部31、32、33は、第2の支持体12の面12Aに固定されている。面12A上において、磁界検出部31、32、33は、軸線Aの周囲に周方向にそれぞれ離間して配置されている。磁界検出部31、32、33は、例えば周方向に等しい間隔をもって並べられている。磁界検出部31、32、33は、例えば120度ごとに配置されている。また、磁界検出部31は、磁性素子35の長さ方向が円周Rの接線(軸線A上の点および磁性素子35の長さ方向中間の点を通る直線と円周Rとが交わる点に接する接線)と平行となるように位置が定められている。同様に、各磁界検出部32、33も、磁性素子35の長さ方向が円周Rの接線と平行となるように位置が定められている。また、各磁界検出部31、32、33は、磁性素子35の一端部および他端部が円周Rと重なるように位置が定められている。また、各磁界検出部31、32、33は、磁性素子35の一端と軸線Aとの間の距離と、磁性素子35の他端と軸線Aとの間の距離とが互いに等しくなるように配置されている。また、各磁界検出部31、32、33は、磁石21、22、23、24により形成された磁界を検出する。
各磁界検出部31、32、33は磁性素子35として複合磁気ワイヤを採用している。一般に、複合磁気ワイヤは、細いワイヤ状の強磁性体である。複合磁気ワイヤは、その外周部は比較的小さな外部磁界の付与によって磁化の方向が変化するのに対し、中心部は比較的大きな外部磁界を付与しなければ磁化の方向が変化しないといった独特な磁気特性を有する一軸異方性の複合磁性体である。複合磁気ワイヤの長さ方向と平行な一の方向に、複合磁気ワイヤの中心部の磁化の方向を反転させるのに十分な比較的大きな外部磁界を付与すると、複合磁気ワイヤの中心部の磁化の方向と外周部の磁化の方向とが同じ方向に揃う。その後、複合磁気ワイヤの長さ方向と平行であり、上記一の方向とは逆である他の方向に、複合磁気ワイヤの外周部の磁化の方向だけを反転させることができる程度の比較的小さな外部磁界を付与すると、複合磁気ワイヤの中心部の磁化の方向は変化せず、外周部の磁化の方向だけが反転する。この結果、複合磁気ワイヤは、その中心部と外周部とで磁化の方向が異なる状態となり、この状態は外部磁界を取り除いても維持される。
ここで、中心部が上記一の方向に磁化され、外周部が上記他の方向に磁化された状態の複合磁気ワイヤに、上記一の方向に外部磁界を付与する。このとき、外部磁界の強さを始めは小さくし、その後、外部磁界の強さを徐々に増加させる。すると、外部磁界の強さがある強度を超えたときに、大バルクハウゼン効果が生じ、複合磁気ワイヤの外周部の磁化の方向が上記他の方向から上記一の方向へ急激に反転する。そして、複合磁気ワイヤの磁化方向の急激な反転により生じる起電力により、例えば正の方向に鋭く立ち上がるパルス状の電気信号が、複合磁気ワイヤに巻回されたコイルから出力される。
また、中心部および外周部がいずれも上記一の方向に磁化された状態の複合磁気ワイヤに、上記他の方向に外部磁界を付与する。このときも、外部磁界の強さを始めは小さくし、その後、外部磁界の強さを徐々に増加させる。すると、外部磁界の強さがある強度を超えたときに、複合磁気ワイヤの外周部の磁化の方向が上記一の方向から上記他の方向へ急激に反転する。そして、複合磁気ワイヤの磁化方向の急激な反転により生じる起電力により、例えば負の方向に鋭く立ち上がるパルス状の電気信号が、複合磁気ワイヤに巻回されたコイルから出力される。
このような複合磁気ワイヤを磁性素子35として採用している各磁界検出部31、32、33において、磁性素子35に外部磁界が付与され、これにより磁性素子35の外周部の磁化方向が変化すると、当該磁性素子35に巻回されたコイル36からパルス状の電気信号(以下、これを「検出パルス」という。)が出力される。回転検出装置1において、磁性素子35に付与される外部磁界に相当するものは、磁石21と磁石22とにより形成される磁界、磁石22と磁石23とにより形成される磁界、磁石23と磁石24とにより形成される磁界、および磁石24と磁石21とにより形成される磁界である。いずれか1つの磁性素子35に着目すると、第1の支持体11が回転することにより、これら4つの磁界が当該磁性素子35に順次付与される。また、これら4つの磁界は、磁性素子35の中心部および外周部の双方の磁化方向を変化させることができるような大きな磁界ではなく、磁性素子35の外周部の磁化方向のみを変化させることができる程度の大きさの磁界である。当該磁性素子35と磁石21、22、23、24との位置関係から、当該磁性素子35に付与される磁界が切り替わるごとに磁界の方向が切り替わるので、当該磁界が切り替わるごとに、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が変化し、これに伴い当該磁性素子35に巻回されたコイル36から検出パルスが出力される。
また、回転検出装置1において、磁石21、22、23、24は例えば90度間隔で配置されているのに対し、磁界検出部31、32、33は例えば120度間隔で配置されている。したがって、第1の支持体11が回転する間に、磁界検出部31、32、33から検出パルスが出力されるタイミングが重なり合うことがない。磁界検出部31、32、33からそれぞれ異なるタイミングで出力される検出パルスを用いて所定の処理を行うことにより、シャフト213の回転数および回転方向を検出することができる。
また、図5に示すように、磁界検出部31の一端部および他端部は磁性部材41、42によりそれぞれ覆われている。また、磁界検出部32の一端部および他端部は磁性部材43、44によりそれぞれ覆われている。さらに、磁界検出部33の一端部および他端部は磁性部材45、46によりそれぞれ覆われている。
ここで、磁性部材41、42について具体的に説明する。図7に示すように、磁性部材41、42は、例えば鉄等の磁性材料により形成され、第2の支持体12の面12上に配置され、第2の支持体12に固定されている。また、磁界検出部31と磁性部材41、42とは互いに接触していない。また、磁性部材41は他の磁性部材42ないし46のいずれとも接触しておらず、磁性部材42は他の磁性部材41および43ないし46のいずれとも接触していない。
磁性部材41は平板部41Aと側板部41Bとから形成されている。平板部41Aは磁界検出部31の一端部の上方において、第1の支持体11の面11Aまたは第2の支持体12の面12Aと平行に拡がっている。平板部41Aは、磁界検出部31の長さ方向一端部において第1の支持体11に臨む部分を覆っている。さらに、平板部41Aは磁界検出部31の長さ方向一端部に対応する位置から第2の支持体12の内周側および外周側に向けてそれぞれ拡がり、第2の支持体12において磁界検出部31の長さ方向一端部よりも内周側および外周側の領域をもそれぞれ広く覆っている。
側板部41Bは、平板部41Aの一端部を第2の支持体12に向けて折り曲げることにより形成されている。側板部41Bは、磁界検出部31の長さ方向一端部の端面(図7中の左端面)を覆っている。側板部41Bは第2の支持体12の面12Aまたは平板部41Aに対して垂直である。また、側板部41Bの下端部が第2の支持体12に固定されており、これにより磁性部材41全体が第2の支持体12に固定されている。
磁性部材42は、基準線Bを基準に磁性部材41と線対称の形状を有している。磁性部材42は、磁性部材41と同様に、平板部42Aと側板部42Bとから形成されている。平板部42Aは、磁界検出部31の長さ方向他端部において第1の支持体11に臨む部分を覆っている。さらに、平板部42Aは磁界検出部31の長さ方向他端部に対応する位置から第2の支持体12の内周側および外周側に向けてそれぞれ拡がり、第2の支持体12において磁界検出部31の長さ方向他端部よりも内周側および外周側の領域をもそれぞれ広く覆っている。側板部42Bは、磁界検出部31の長さ方向他端部の端面(図7中の右端面)を覆っている。また、側板部42Bの下端部が第2の支持体12に固定されており、これにより磁性部材42全体が第2の支持体12に固定されている。
また、磁性部材41と磁性部材42とは、磁界検出部31の長さ方向中間部に向けて互いに接近する方向に伸長し、磁性部材41の対向端面41Cと磁性部材42の対向端面42Cとは、磁界検出部31の長さ方向中間部において間隙を介して互いに対向している。対向端面41C、42Cは、軸線Aに対して垂直でかつ磁界検出部31の長さ方向に対して垂直な方向にそれぞれ伸長している。また、対向端面41C、42Cは、第2の支持体12の内周側から磁界検出部31の長さ方向中間部に対応する位置を通過して第2の支持体12の外周側へ互いの離間距離を一定に保ちつつ伸長している。図7に示すように、対向端面41Cと対向端面42Cとの間の距離D2は所定の値に設定されている。後述するように、各磁石21、22、23、24の周方向の寸法D1が、対向端面41Cと対向端面42Cとの間の距離D2よりも大きくなるように、寸法D1および距離D2が設定されている。
また、磁性部材41において軸線A側に向いた内周側端面41Dは、磁界検出部31の長さ方向と平行な方向に伸長している。同様に、磁性部材42において軸線A側に向いた内周側端面42Dは、磁界検出部31の長さ方向と平行な方向に伸長している。一方、磁性部材41の外周側端面41Eおよび磁性部材42の外周側端面42Eは、第2の支持体12の周縁に沿って円弧状に伸張している。
また、図7に示すように、磁界検出部31において第1の支持体11に臨む部分のうち、大部分が磁性部材41、42により覆われており、第1の支持体11に向かって露出している部分はわずかである。磁界検出部31において第1の支持体11に臨む部分のうち、磁性部材41および磁性部材42により覆われている部分の面積の方が露出している部分の面積よりも大きい。
磁性部材43、44の構成および磁性部材43、44と磁界検出部32との位置関係等は、磁性部材41、42の構成および磁性部材41、42と磁界検出部31との位置関係等と同じである。また、磁性部材45、46の構成および磁性部材45、46と磁界検出部33との位置関係等も、磁性部材41、42の構成および磁性部材41、42と磁界検出部31との位置関係等と同じである。
また、図5に示すように、磁性部材41ないし46のうち周方向に互いに隣り合う各対の磁性部材(41と42、42と43、43と44、44と45、45と46、46と41)は互いに接近し、これにより形成された磁性部材41ないし46の連続的な配列が、第2の支持体12との間に磁界検出部31、32、33を介在させつつ、第2の支持体12の面12A内の外周側上方を略全周に亘って覆っている。すなわち、磁性部材41ないし46の平板部41Aないし46Aの表面を含む平面において、磁性部材41ないし46のうち互いに隣り合う各対の磁性部材間の間隙に対応する領域の面積は、各磁性部材41ないし46の平板部41Aないし46Aの表面の面積と比較して大幅に小さい。このような磁性部材41ないし46の連続的な配列により、磁石21、22、23、24と磁界形成部31、32、33との間に生じる磁力を抑え、または当該磁力を周方向に均一化することができ、これにより、第1の支持体11が回転する際にコギングの発生を抑えることができる。
図8ないし図12は回転検出装置1の動作を示している。これらの図のうち、図8、図10および図12は、図3中の矢示VIII−VIII方向から見た回転検出装置1であるが、説明の便宜上、ハウジング2、シャフト213および第1の支持体11を図示していない。
まず、図8および図12を参照しながら、回転検出装置1の基本的な動作について説明する。シャフト213の回転に伴い、第1の支持体11と共に磁石21、22、23、24が時計回りまたは反時計回りに回転すると、磁石21、22、23、24によって第1の支持体11と第2の支持体12との間に形成された磁界がこれに伴って回転する。磁界検出部31、32、33は、このように回転する磁界の中で静止しているので、磁界検出部31、32、33に付与される磁界の極性が回転に伴って変化する。これにより、各磁界検出部31、32、33において、磁性素子35の外周部の磁化方向が変化し、コイル36から検出パルスが出力される。この検出パルスに基づいてシャフト213の回転数および回転方向を検出することができる。
ここで、磁界検出部31に着目し、この動作を具体的に説明する。例えば磁界検出部31の磁性素子35がその他端部から一端部に向いた方向に磁化された状態であるときに、第1の支持体11が反時計回りに回転したとする。これにより、図8に示すように、N極の磁石21が磁界検出部31の一端部に接近し、かつS極の磁石22が磁界検出部31の他端部に接近すると、磁石21から磁石22に向かう磁界により、磁界検出部31の磁性素子35の外周部の磁化方向が反転する。この結果、当該磁性素子35の磁化方向がその一端部から他端部に向いた方向となる。そして、当該磁性素子35の磁化方向の反転により、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば正の方向に鋭く立ち上がる検出パルスが出力される。
引き続き、第1の支持体11の反時計回りの回転が継続し、図12に示すように、S極の磁石24が磁界検出部31の一端部に接近し、かつN極の磁石21が磁界検出部31の他端部に接近すると、磁石21から磁石24に向かう磁界により、磁界検出部31の磁性素子35の外周部の磁化方向が反転する。この結果、当該磁性素子35の磁化方向がその他端部から一端部に向いた方向となる。そして、当該磁性素子35の磁化方向の反転により、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば負の方向に鋭く立ち上がる検出パルスが出力される。
引き続き、第1の支持体11が回転を続け、N極の磁石23が磁界検出部31の一端側に接近し、かつS極の磁石24が磁界検出部31の他端部に接近したときには、磁石23から磁石24に向かう磁界により、磁界検出部31の磁性素子35の磁化方向がその一端部から他端部に向いた方向となり、コイル36から例えば正の方向に鋭く立ち上がる検出パルスが出力される。さらに、第1の支持体11が回転を続け、S極の磁石22が磁界検出部31の一端側に接近し、かつN極の磁石23が磁界検出部31の他端部に接近したときには、磁石23から磁石22に向かう磁界により、磁界検出部31の磁性素子35の磁化方向がその他端部から一端部に向いた方向となり、コイル36から例えば負の方向に鋭く立ち上がる検出パルスが出力される。磁界検出部32、33も磁界検出部31と同様に動作する。
次に、図8ないし図12を参照しながら、磁性部材41ないし46による磁界誘導機能について説明する。すなわち、磁性部材41、42は、磁石21、22、23、24により磁界検出部31に付与される磁界を誘導し、所定の磁路を形成する機能を有する。また、磁性部材43、44は、磁石21、22、23、24により磁界検出部32に付与される磁界を誘導し、所定の磁路を形成する機能を有する。また、磁性部材45、46は、磁石21、22、23、24により磁界検出部33に付与される磁界を誘導し、所定の磁路を形成する機能を有する。
ここで、磁性部材41、42の磁界検出部31に対する磁界誘導機能について具体的に説明する。図8に示すように、第1の支持体11が例えば反時計回りに回転し、N極の磁石21が磁界検出部31の一端部に接近し、かつS極の磁石22が磁界検出部31の他端部に接近したとする。このとき、図9に示すように、磁石21と磁界検出部31の一端部との間には磁性部材41が介在し、一方、磁石22と磁界検出部31の他端部との間には磁性部材42が介在する。したがって、磁石21から磁石22に向かう磁束の大部分は、まず、磁石21から、磁界検出部31の一端部ではなく、磁性部材41に進入する。磁性部材41に進入した磁束は、磁性部材42側に向かって磁性部材41の平板部41A中を進行する。磁界検出部31の長さ方向中間部において磁性部材41と磁性部材42とは互いに離れているので、磁性部材41の平板部41A中を進行した磁束は、磁性部材42に接近するも、磁性部材42へは直接進入せず、磁界検出部31の中間部においてやや一端部寄りの部分に進入する。磁界検出部31の中間部においてやや一端部寄りの部分に進入した磁束は、磁界検出部31中をその他端側へ向かって進行し、磁界検出部31の長さ方向のちょうど中間を通過し、磁界検出部31の中間部においてやや他端部寄りの部分に到達する。磁界検出部31の中間部においてやや他端部寄りの部分に到達した磁束は、磁界検出部31から離脱して磁性部材42に進入する。磁性部材42に進入した磁束は、磁石22に向かって磁性部材42の平板部42A中を進行し、そして、この磁束は磁性部材42から磁石22に到達する。
このように、磁石21が磁界検出部31の一端部に接近し、かつ磁石22が磁界検出部31の他端部に接近したときには、磁石21から磁石22に向かう磁界が磁性部材41、42により誘導され、図9中の黒い実線の矢示で示すような磁路が形成される。この結果、当該磁界の大部分が磁界検出部31の中間部に付与されるので、磁界検出部31の中間部の磁束密度が、磁界検出部31の一端部または他端部の磁束密度と比較して高くなる。
また、磁界検出部31の一端部および他端部において第1の支持体11に臨む部分を含む広い領域が磁性部材41、42の平板部41A、42Aにより覆われており、さらに、磁界検出部31の一端面(左端面)および他端面(右端面)が磁性部材41、42の側板部41B、42Bにより覆われている。これにより、N極の磁石21が磁界検出部31の一端部に接近し、かつS極の磁石22が磁界検出部31の他端部に接近した場合、磁界検出部31の周囲であって磁性部材41、42により覆われた内側の空間には、図9中の黒い破線の矢印で示すように、磁界検出部31の一端側から他端側に向かう磁界が形成される。この磁界は、磁性素子35の中間部だけでなく、磁性素子35の一端部および他端部にも付与される。もっとも、磁石21から磁石22に向かう磁束のうち、その大部分は図9中の黒い実線の矢印で示す磁路を進行するので、図9中の黒い破線の矢印で示した磁界の強度は、図9中の黒い実線の矢印で示した磁界の強度よりも小さい。したがって、図9中の黒い破線の矢印で示した磁界が磁界検出部31に付与されることにより、磁界検出部31の中間部の磁束密度が一端部または他端部の磁束密度よりも高い状態が保持されたまま、磁界検出部31の磁束密度が全体的に増加する。
以上のような磁界が磁界検出部31に付与されることにより、磁界検出部31の磁性素子35の外周部は、図9中の白い矢印が示す方向、すなわち磁性素子35の一端部から他端部に向かう方向に磁化される。したがって、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が当該磁性素子35の他端部から一端部に向いた方向であった場合には、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が反転し、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば正の方向に鋭く立ち上がった検出パルスが出力される。
続いて、図10に示すように、第1の支持体11が反時計回りにさらに45度回転し、N極の磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときには、図11に示すように、磁石21と磁界検出部31との間の距離よりも、磁石21と磁性部材41との間の距離の方が短いので、磁石21から磁石24に向かう磁束の大部分は、磁石21から、磁界検出部31の中間部ではなく、磁性部材41に進入する。磁性部材41に進入した磁束は、磁石24側に向かって磁性部材41中を進行する。これにより、磁束が磁界検出部31に進入することを抑制することができる。また、図10に示すように、磁性部材41と磁性部材46とは間隙を介して互いに離間しているので、磁性部材41を進行した磁束の大部分は磁性部材46へ進入しない。
また、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときには、図11に示すように、磁石21と磁界検出部31との間の距離よりも、磁石21と磁性部材42との間の距離の方が短いので、磁石21から磁石22に向かう磁束の大部分は、磁石21から、磁界検出部31の中間部ではなく、磁性部材42に進入する。磁性部材42に進入した磁束は、磁石22側に向かって磁性部材42中を進行する。これにより、磁束が磁界検出部31に進入することを抑制することができる。また、図10に示すように、磁性部材42と磁性部材43とは間隙を介して互いに離間しているので、磁性部材42を進行した磁束の大部分は磁性部材43へ進入しない。
ここで、磁石21の周方向の寸法D1(図4参照)は、磁性部材41の対向端面41Cと磁性部材42の対向端面42Cとの間の距離D2(図7参照)よりも大きくなるように設定されている。したがって、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときには、磁石21と磁性部材41との間の距離、および磁石21と磁性部材42との間の距離のそれぞれが、磁石21と磁界検出部31との間の距離よりも確実に短くなる。これにより、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときに、磁石21から磁石24、22にそれぞれ向かう磁束の大部分が磁性部材41、42に進入することが保証され、当該磁束の磁界検出部31への進入を効果的に抑制または防止することができる。
また、磁界検出部31の一端部および他端部において第1の支持体11に臨む部分を含む広い領域が磁性部材41、42の平板部41A、42Aにより覆われており、さらに、磁界検出部31の一端面(左端面)および他端面(右端面)が磁性部材41、42の側板部41B、42Bにより覆われている。これにより、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときに、磁石21から磁石24、22にそれぞれ向かう磁束の磁界検出部31への進入を抑制する効果を高めることができる。
さらに、磁石21が磁性部材41と磁性部材42とのちょうど中間に位置したときには、磁性部材41を進行する磁束と、磁性部材42を進行する磁束とが、図11に示すように左右対称になる。このため、磁界検出部31の周囲であって磁性部材41、42により覆われた内側の空間において、磁石21から磁石22へ向かう磁界と、磁石21から磁石24へ向かう磁界とが互いに打ち消し合い、磁界がほぼ零になる。
このように、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときには、磁石21から磁石24、22に向かう磁界が、磁性部材41、42により、磁界検出部31を避けるように誘導される。この結果、当該磁界における磁束の大部分は磁界検出部31には進入しない。したがって、磁界検出部31の磁性素子35の外周部の磁化方向は変化しない。図11中の白い矢印が示す方向は、図9中の白い矢印が示す方向と同じであり、これは磁性素子35の磁化方向が変化していないことを示している。よって、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から検出パルスが出力されることはない。
続いて、図12に示すように、第1の支持体11が反時計回りにさらに45度回転し、S極の磁石24が磁界検出部31の一端部に接近し、かつN極の磁石21が磁界検出部31の他端部に接近したときには、磁石21から磁石24に向かう磁界は、磁性部材41、42により誘導され、図9中の黒い実線の矢印および黒い破線の矢印で示す磁界の経路と同様の経路を逆方向に辿る。すなわち、磁石21から磁石24に向かう磁束の大部分は、磁石21から、磁性部材42、磁界検出部31の中間部および磁性部材41を順次進行して磁石21に到達する。この結果、磁石21から磁石24に向かう磁界の大部分が磁界検出部31の中間部に付与されるので、磁界検出部31の中間部の磁束密度が、磁界検出部31の一端部または他端部の磁束密度と比較して高くなる。さらに、磁界検出部31の周囲であって磁性部材41、42により覆われた内側の空間には、磁界検出部31の他端側から一端側に向かう比較的強度の小さい磁界が形成される。この結果、磁界検出部31の中間部の磁束密度が一端部または他端部の磁束密度よりも高い状態が保持されたまま、磁界検出部31の磁束密度が全体的に増加する。
このような磁界が磁界検出部31に付与されることにより、磁界検出部31の磁性素子35の外周部は、磁性素子35の他端部から一端部に向かう方向に磁化される。したがって、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が当該磁性素子35の一端部から他端部に向いた方向であった場合には、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が反転し、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば負の方向に鋭く立ち上がった検出パルスが出力される。
以上より、磁性部材41、42の磁界誘導機能によれば、互いに極性の異なる磁石が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときには、これらの磁石により形成される磁束が、磁界検出部31の一端部および他端部よりも中間部を通過するように磁界を誘導することができる。また、磁石が磁界検出部31の中間部に接近したときには、この磁石により形成される磁束が磁界検出部31に進入するのを抑制することができる。
これにより、互いに極性の異なる一対の磁石が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときには、磁界検出部31の磁性素子35の主に中間部の磁束密度を高くすることができる。一方、磁石が磁界検出部31の中間部に接近したときには、磁界検出部31の磁性素子35の磁束密度をその全体に亘って低くすることができる。したがって、互いに極性の異なる磁石が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときに限り、磁界検出部31の磁性素子35の磁束密度を高くすることができる。それゆえ、互いに極性の異なる磁石が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときに限り、磁性素子35の磁化方向を変化させることができる。すなわち、互いに極性の異なる磁石が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近していない期間に、磁界検出部31の磁性素子35の磁化方向が変化するのを防止することができる。
図13は、第1の支持体11が反時計回りに0度から90度回転した間における、磁界検出部31の磁性素子35の長さ方向の位置と当該磁性素子35の磁束密度との関係を示している。図13において、磁性素子35の長さ方向位置0mmが磁性素子35の一端位置に相当し、磁性素子35の長さ方向位置10mmが磁性素子35の中間位置に相当し、磁性素子35の長さ方向位置20mmが磁性素子35の他端位置に相当する。また、θは第1の支持体11の反時計回りの回転角度を示し、例えば、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときの第1の支持体11の回転角度が0度(θ=0°)である(図8参照)。この場合、第1の支持体11の回転角度が45度(θ=45°)となったとき、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近する(図10参照)。また、第1の支持体の回転角度が90度(θ=90°)となったとき、磁石24、21が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近する(図12参照)。
第1の支持体11の回転角度が0度のときには、図13中の実線の特性線で示すように、磁性素子35の中間部の磁束密度が正の方向に最大になっている。これは、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときには、磁石21から磁石22に向かう磁界が磁性部材41、42により誘導され、その磁束の大部分が、磁界検出部31の中間部を通過することを意味する。また、第1の支持体11の回転角度が0度のときには、図13中の実線の特性線で示すように、磁性素子35の一端部および他端部の磁束密度も、第1の支持体11の回転角度が0度でないときと比較して正の方向に増加している。これは、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときには、磁界検出部31の周囲であって磁性部材41、42により覆われた内側の空間に、磁界検出部31の一端側から他端側に向かう磁界が形成され、当該磁界が磁性素子35に付与されることを意味する。
また、第1の支持体11の回転角度が0度から45度に向かって変化する間、図13中の二点鎖線の特性線で示すように、磁性素子35の磁束密度が0に向かって変化している。これは、磁石21および磁石22が磁界検出部31の一端部および他端部からそれぞれ離れるに連れて、磁石21から磁石22に向かう磁束が磁界検出部31の中間部を通過する程度が小さくなっていくことを意味する。また同時に、これは、磁界検出部31の周囲であって磁性部材41、42により覆われた内側の空間に形成される、磁界検出部31の一端側から他端側に向かう磁界の強度が小さくなっていくことを意味する。
また、第1の支持体11の回転角度が45度になったときには、図13中の一点鎖線の特性線で示すように、磁性素子35の長さ方向のすべての位置において磁束密度がほぼ0になっている。これは、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときには、磁石21から磁石22に向かう磁束も、磁石21から磁石24に向かう磁束も、磁性部材41、42により、磁界検出部31を回避するように誘導され、この結果、これらの磁束が磁界検出部31の中間部に進入していないことを意味する。また、磁性部材41、42が磁界検出部31の一端部および他端部を広い範囲で覆っているために、磁界検出部31への磁界進入抑制効果が高められていることを意味する。
さらに、第1の支持体11の回転角度が45度から90度に向かって変化する間、図13中の破線の特性線で示すように、磁性素子35の中間部の磁束密度が負の方向に増加している。これは、磁石24および磁石21が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ近づくに連れて、磁石21から磁石24に向かう磁束が磁界検出部31の中間部を通過する程度が大きくなっていくことを意味する。これと同時に、これは、磁界検出部31の周囲であって磁性部材41、42により覆われた内側の空間に形成される、磁界検出部31の他端側から一端側に向かう磁界の強度が大きくなっていくことを意味する。
また、第1の支持体11の回転角度が90度のときには、図13中の点線の特性線で示すように、磁性素子35の中間部の磁束密度が負の方向に最大となっている。これは、磁石24、21が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときには、磁石21から磁石24に向かう磁界が磁性部材41、42により誘導され、その磁束の大部分が、磁界検出部31の中間部を通過することを意味する。また、第1の支持体11の回転角度が0度のときには、図13中の点線の特性線で示すように、磁性素子35の一端部および他端部の磁束密度も、第1の支持体11の回転角度が0度でないときと比較して負の方向に増加している。これは、磁石24、21が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときには、磁界検出部31の周囲であって磁性部材41、42により覆われた内側の空間に、磁界検出部31の他端側から一端側に向かう磁界が形成され、当該磁界が磁性素子35に付与されることを意味する。
第1の支持体11の回転により磁性素子35の磁束密度が図13に示すように変化する場合、磁性素子35の特性を、その磁束密度が例えばおよそ正の方向に0.005テスラを超えたとき、または負の方向に−0.005テスラを超えたときに外周部の磁化方向が反転するように設定する。これにより、第1の支持体11の回転角度が0度または90度のときには磁性素子35の磁化方向が確実に反転し、これによりコイル36から十分な出力レベルを有する検出パルスが確実に出力され、一方、第1の支持体11の回転角度が45度のときには磁性素子35の磁化方向が常に反転せず、これによりコイル36から検出パルスが出力されることが確実に阻止される回転検出装置1を実現することができる。すなわち、磁性素子35の磁化方向の予測困難な変化を防止し、第1の支持体11(シャフト213)の回転状態を高精度に検出することができる回転検出装置1を実現することができる。
なお、図13では、磁性素子35の磁束密度の変化の幅が−0.008テスラから0.008テスラの範囲内であるが、磁性素子35の磁束密度の変化の幅は、磁石21、22、23、24、各磁性素子35等の磁気的特性等に応じて異なる。
ここで、図14は、比較例として、回転検出装置1から磁性部材41ないし46を取り除いた回転検出装置を用い、第1の支持体11が反時計回りに0度から90度回転した間における、磁界検出部31の磁性素子35の長さ方向の位置と当該磁性素子35の磁束密度との関係を調べた結果を示している。この比較例の回転検出装置では、磁界検出部31が磁性部材41、42に覆われておらず、上述したような磁性部材41、42による磁界の誘導は行われない。この場合、第1の支持体11の回転角度が45度となり、磁石21が磁界検出部31の中間部に接近したときには、図14中の一点鎖線の特性線で示すように、磁性素子35において長さ方向位置5mm付近の磁束密度が0.005テスラとなり、長さ方向位置15mm付近の磁束密度が−0.005テスラとなった。このように、磁性部材を設けない場合には、磁石が磁界検出部の中間部に接近したときに、磁性素子の一端部においてはその磁束密度が正(負)の方向に顕著に大きくなり、他端部においてはその磁束密度が負(正)の方向に顕著に大きくなる。このため、磁石が磁界検出部の中間部に接近したときに、磁性素子の磁化方向が反転することがあり、しかも、反転するか否かは予測が困難である。この結果、予測していないタイミングで検出パルスが出力されることがあり、それゆえ、第1の支持体11(シャフト213)の回転状態を高精度に検出することは難しい。
これに対し、磁性部材41ないし46を備えた回転検出装置1では、図13に示す通り、第1の支持体11の回転角度が45度のときには、磁性素子35の長さ方向のすべての位置において、磁束密度がほぼ0である。このように、第1の支持体11の回転角度が45度のときの磁性素子35の磁束密度に着目して図13と図14とを比較すると、磁性部材41ないし46を設けることにより、第1の支持体11(シャフト213)の回転状態の検出精度を高めることができることが理解できる。
さらに、磁性部材41、42は磁界誘導機能の性能を高めることができる構成的特徴をいくつか備えている。これらについて図15を参照しながら説明する。図15中の矢印は、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときの磁性部材41、42に形成される磁界を模式的に示している。
まず、磁性部材41において軸線A側に向いた内周側端面41D、および磁性部材42において軸線A側に向いた内周側端面42Dは、磁界検出部31の長さ方向と平行な方向にそれぞれ伸長している。これにより、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したとき、磁性部材41中を進行する磁束、および磁性部材42中を進行する磁束は、磁界検出部31の長さ方向とほぼ平行な方向に進行する。これにより、磁性部材41中を進行する磁束、または磁性部材42中を進行する磁束が進行途中に磁界検出部31から離れる方向に拡散するのを抑制することができる。特に、磁性部材41中を進行する磁束が内周側端面41Dから磁性部材41の外部へ拡散するのを抑制することができ、また、磁性部材42中を進行する磁束が内周側端面42Dから磁性部材42の外部へ拡散するのを抑制することができる。したがって、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときに、磁石21から磁石22に向かう磁界を磁性部材41、42により磁界検出部31へ誘導する効果を高めることができ、磁界検出部31を磁束密度の高い安定した状態にすることができる。
次に、磁性部材41の対向端面41Cおよび磁性部材42の対向端面42Cは、軸線Aに対して垂直でかつ磁界検出部31の長さ方向に対して垂直な方向にそれぞれ伸長している。これにより、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したとき、磁性部材41中を進行する磁束、および磁性部材42中を進行する磁束は、磁界検出部31の長さ方向とほぼ平行な方向に進行する。これにより、磁性部材41中を進行する磁束、または磁性部材42中を進行する磁束が進行途中に磁界検出部31から離れる方向に拡散するのを抑制することができる。特に、磁石21から磁石22に向かう磁界の磁束が磁性部材41中を進行し、対向端面41Cから磁性部材41の外部へ進行するとき、磁束の拡散を効果的に抑制することができる。したがって、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部にそれぞれ接近したときに、磁石21から磁石22に向かう磁界を磁性部材41、42により磁界検出部31へ誘導する効果を高めることができ、磁界検出部31を磁束密度の高い安定した状態にすることができる。
以上、磁性部材41、42の磁界検出部31に対する磁界誘導機能について説明したが、磁性部材43、44の磁界検出部32に対する磁界誘導機能、および磁性部材45、46の磁界検出部33に対する磁界誘導機能も、磁性部材41、42の磁界検出部31に対する磁界誘導機能と同様である。磁性部材41ないし46の磁界誘導機能により、磁界検出部31、32、33がそれぞれ有する磁性素子35の磁化方向の予測困難な変化を防止し、シャフト213の回転の検出精度を良くすることができる。
一方、モータ本体211からは漏れ磁束が生じる。この漏れ磁束は、概ね、軸線Aから放射状に進行する。このため、この漏れ磁束と、磁界検出部31、32、33の磁化方向との互いの位置関係は、ねじれの位置の関係または交差する位置関係となる。したがって、モータ本体211から発生する漏れ磁束が、磁石21、22、23、24により形成された磁界を磁界検出部31、32、33によって検出する動作に与える影響を抑制することができる。よって、当該漏れ磁束により、磁界検出部31、32、33が誤動作することを防止することができる。さらに、この結果、磁界検出部31、32、33をモータ本体211に接近させることができるので、回転検出装置1およびモータ本体211からなるモータ210を小型化することができる。
また、磁界検出部31、32、33を設けることによって、回路基板上に実装される多回転検出用のMR素子やホール素子が不要になる。そのため、それらの実装スペースを基板上に確保する必要がなくなり、回路基板の省スペース化および設計の自由度を高めることができる。
(回転量の検出)
図16は、回転検出装置1においてモータ本体211の回転量xを検出する信号処理に関する構成を示している。図17は第1の支持体11に配置された反射ディスクを示している。
回転検出装置1は、シャフト213の回転数および回転位置(絶対位置)をそれぞれ検出し、これらシャフト213の回転数および回転位置に基づいて、モータ本体211の回転量xを検出する。
図16に示すように、シャフト213の回転数は、第1の支持体11の面11Aに設けられた磁石21、22、23、24と、第2の支持体12の面12Aに設けられた磁界検出部31、32、33と、磁界検出部31、32、33のそれぞれの端部を覆う磁性部材41ないし46と、第2の支持体12に設けられた回転数検出部255(図5参照)とにより検出される。以下、磁石21、22、23、24と、磁界検出部31、32、33と、磁性部材41ないし46と、回転数検出部255とを備え、シャフト213の回転数を検出する構成を回転数検出ユニット237(図2参照)という。
また、図16に示すように、シャフト213の回転位置は、第1の支持体11に設けられた反射ディスク242(図3参照)と、ハウジング2のベース部233に設けられた光検出部232(図3参照)とにより検出される。以下、反射ディスク242と、光検出部232とを備え、シャフト213の回転位置を検出する構成を回転位置検出ユニット238(図2参照)という。
これより、回転数検出ユニット237における回転数検出部255、並びに回転位置検出ユニット238における反射ディスク242および光検出部232について説明する。
まず、回転数検出ユニット237における回転数検出部255について説明する。回転数検出部255は例えばパッケージ化された集積回路である。図5に示すように、回転数検出部255は、第2の支持体12の面12A上に配置されている。回転数検出部255は、磁界検出部31、32、33のそれぞれと接近または隣接した位置となるように、面12Aの中央付近に配置されている。
回転数検出部255は、図16に示すように、電源切替部270と、波形整形部271と、多回転検出部272と、多回転記憶部273とを備えている。回転数検出部255は、外部から電源電圧Vccが供給されない場合であっても、磁界検出部31、32、33から出力される検出パルスから生成される電力に基づいてシャフト213の回転数を検出することができる。
電源切替部270は、外部から電源電圧Vccが供給される場合、波形整形部271、多回転検出部272および多回転記憶部273へ電源電圧Vccを供給する。一方、外部から電源電圧Vccが供給されない場合、電源切替部270は、磁界検出部31、32、33から出力される検出パルスから生成した電圧を、波形整形部271、多回転検出部272および多回転記憶部273へ供給する。
ここで、磁界検出部31、32、33から出力される検出パルスには、正の方向に立ち上がる検出パルスと、負の方向に立ち上がる検出パルスがある。電源切替部270は、これらの検出パルスのうち、正の方向に立ち上がる検出パルスから電圧を生成し、この電圧を波形整形部271、多回転検出部272および多回転記憶部273に供給する。なお、全波整流器等を用い、磁界検出部31、32、33から出力される、負の方向に立ち上がる検出パルスを当該電圧生成に利用することもできる。
波形整形部271は、磁界検出部31、32、33から出力される検出パルスのうち、正の方向に立ち上がる検出パルスを選択し、選択した検出パルスの波形を矩形波となるように整形し、波形整形した検出パルスを多回転検出部272へ出力する。多回転検出部272は波形整形部271から出力された検出パルスに基づき、シャフト213の回転数を検出する。
具体的には、多回転検出部272は、波形整形部271から出力された検出パルスが、磁界検出部31、32、33のうちどの磁界検出部から出力された検出パルスによるものかを判定し、その結果を多回転記憶部273へ記憶する。例えば、多回転検出部272は、磁界検出部31に対応する検出パルスの場合には「00」のデータを、磁界検出部32に対応する検出パルスの場合には「01」のデータを、磁界検出部33に対応する検出パルスの場合には「10」のデータを、多回転記憶部273へ記憶する。そして、多回転検出部272は、多回転記憶部273に記憶されたデータに基づき、シャフト213の回転数を検出する。多回転検出部272は、シャフト213の回転数を示す情報を位置データ生成部262に出力する。
回転数検出部255は、外部から電源電圧Vccが供給されない場合でも、消費電力を自己発電できるため、バックアップ用電源(例えば、バッテリ)を省略することができる。
次に、回転位置検出ユニット238における反射ディスク242および光検出部232について説明する。図3に示すように、第1の支持体11において、磁石21、22、23、24が固定された面11Aの反対側の面11Bには、反射ディスク242が固定されている。反射ディスク242は第1の支持体11と共に回転する。図17に示すように、反射ディスク242は円盤状に形成され、その中心部に孔が形成されている。反射ディスク242は、その中心が軸線Aと一致するように面11B上に配置されている。反射ディスク242には、複数の反射スリットを有するスリットアレイ243が反射パターンとして形成されている。
また、図3に示すように、光検出部232は、ハウジング2のベース部233において、第1の支持体11の面11Bに臨む面に固定されている。光検出部232は、図16に示すように、光センサ260と、1回転絶対値検出部261と、位置データ生成部262とを備えている。
光センサ260は、発光部と受光部とを備えており、第1の支持体11に設けられた反射ディスク242に対して発光部から光を照射する。光センサ260は、スリットアレイ243による反射光を受光部で受光し、受光状態に応じた信号を出力する。スリットアレイ243が有する複数の反射スリットは、反射ディスク242の周方向でアブソリュートパターンを有するように、反射ディスク242の全周に配置されている。アブソリュートパターンとは、光検出部232の受光部が対向する角度内における反射スリットの位置や割合等が、反射ディスク242の1回転内で一義に定まるようなパターンである。光センサ260は、反射ディスク242への光の照射に対して反射ディスク242の複数の反射スリットから反射される光を受光して反射ディスク242の周方向の位置に応じた信号を出力する。
1回転絶対値検出部261は、光センサ260から出力される信号に基づいて、第1の支持体11の絶対位置、すなわちシャフト213の回転位置を検出し、シャフト213の回転位置を示す情報を位置データ生成部262へ出力する。
位置データ生成部262は、1回転絶対値検出部261から出力されるシャフト213の回転位置を示す情報と、回転数検出部255の多回転検出部272から出力されるシャフト213の回転数を示す情報とを取得する。そして、位置データ生成部262は、取得した情報に基づいて、モータ本体211の回転量xを算出する。具体的には、位置データ生成部262は、例えば、シャフト213の回転数とシャフト213の回転位置(回転角度)とを合わせることによりモータ本体211の回転量xを算出する。さらに、位置データ生成部262は、算出した回転量xを表す位置データを制御装置220に出力する。
なお、位置データ生成部262は、外部から電源電圧Vccが供給されている場合、1回転絶対値検出部261から出力されるシャフト213の回転位置を示す情報のみに基づいてモータ本体211の回転量xを算出することもできる。一方、外部からの電源電圧Vccが停止した後、外部からの電源電圧Vccの供給が開始された場合、1回転絶対値検出部261から出力されるシャフト213の回転位置を示す情報と、多回転検出部272から出力されるシャフト213の回転数を示す情報とに基づいてモータ本体11の回転量xを算出する。
また、多回転検出部272において、シャフト213の回転数を検出せずに、多回転記憶部273に記憶されたデータを位置データ生成部262へ出力するようにしてもよい。この場合、位置データ生成部262は、多回転記憶部273に記憶されたデータとシャフト213の回転位置とに基づいて、シャフト213の回転数を演算する。
モータ本体211の回転量xを検出する信号処理について以上のような構成を有する回転検出装置1においては、回転位置(1回転絶対値)の検出を光学的構成によって行うことから、モータ本体211からの漏れ磁束に対する影響を受けず、精度よく回転位置の検出を行うことができる。
また、図2に示すように、第1の支持体11の一方側に回転数検出ユニット237が形成され、その反対側に回転位置検出ユニット238が形成される。これにより、第1の支持体11を回転数検出と回転位置検出とに共用することができ、省スペース化および小型化を図ることができる。しかも、第1の支持体11によって回転数検出ユニット237と回転位置検出ユニット238とを分離することができるため、光検出部232や他の回路に対する磁石21、22、23、24の磁束による影響を抑制することができる。
また、磁界検出部31、32、33の検出結果を記憶する多回転記憶部273を磁界検出部31、32、33に隣接させて配置することにより、磁界検出部31、32、33の検出結果を伝える際の電力を低減させることができる。また、電源切替部270を磁界検出部31、32、33に隣接させて配置することにより、磁界検出部31、32、33からの電力供給を効率的に行うことができる。
なお、上述した実施形態における回転検出装置1では、各磁性部材41ないし46に側板部41Bないし46Bを形成する場合を例にあげたが、図18に示す回転検出装置51のように、側板部のない磁性部材51、52を有する構成を採用することもできる。もっとも、各磁性部材に側板部を設ける場合と設けない場合とで、各磁性部材により得られる作用効果が相違する。この作用効果の相違について、図9、図13、図18および図19を参照しながら説明する。図19は、図18に示す回転検出装置51において、第1の支持体11の回転角度が0度の場合と90度の場合について、磁界検出部31の磁性素子35の長さ方向の位置と当該磁性素子35の磁束密度との関係を示している。
図9に示すように、磁性部材41および42は側板部41Bおよび側板部42Bを有しており、磁界検出部31の一端面(左端面)および他端面(右端面)は側板部41B、42Bで覆われている。これにより、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部に接近したときには、図9中の黒い破線の矢印で示すように、磁界が側板部41Bから磁界検出部31の一端面に進入する一方、磁界が磁界検出部31の他端面から側板部42Bへ進出する。したがって、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部に接近したときには、図13に示すように、磁性素子35の中間部だけでなく、その一端部および他端部の磁束密度も、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部に接近していない場合と比較して増加する。
一方、図18に示すように、磁性部材51および52は側板部を有しておらず、磁界検出部31の一端面(左端面)および他端面(右端面)は側板部により覆われていない。このため、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部に接近したときに、磁界検出部31の一端面から進入する磁界、または磁界検出部31の他端面から進出する磁界が形成されにくい。この結果、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部に接近したときには、図19に示すように、磁性素子35の一端部および他端部の磁束密度が増加せず、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部に接近していない場合と同程度である。
磁性素子35の磁化方向の反転を確実に生じさせ、出力レベルが高く安定した検出パルスを得るためには、磁石21、22が磁界検出部31の一端部および他端部に接近したときに磁性素子35の磁束密度が全体的に高くなることが望ましい。この観点から、各磁性部材に側板部を設けることが好ましい。
また、上述した実施形態における回転検出装置1では、第1の支持体11には90度間隔に4つの磁石21、22、23、24を設け、第2の支持体12には120度間隔に3つの磁界検出部を設けたが本発明はこれに限らない。磁石の個数は2個以上であればよく、磁石の配置間隔は限定されず、磁界検出部の個数は限定されず、磁界検出部の配置間隔も限定されない。もっとも、上述したように、第1の支持体が回転する間に各磁界検出部から検出パルスが出力されるタイミングが重なり合うことのないように、磁石の配置間隔および磁界検出部の配置間隔を設定することが望ましい。図20は、本発明の回転検出装置の他の実施形態として、第1の支持体に2つの磁石61、62を設け、第2の支持体63に1つの磁界検出部64を設け、磁界検出部64の一端部および他端部を磁性部材65、66でそれぞれ覆った回転検出装置60を示している。
また、第1の支持体11に設ける磁石の形状は、図21に示す磁石71、72、73、74のように回転方向の接線方向に長い長方形(直方体)としてもよい。また、図22に示す第1の支持体80のように、第1の支持体80自体を、4つの磁片81、82、83、84に分割された円盤状の磁石により形成してもよい。また、図23に示す第1の支持体90のように、第1の支持体90自体を、4つの磁片91、92、93、94に分割されたリング状の磁石により形成してもよい。また、磁石を電磁石により形成することも可能である。
また、上述した実施形態における回転検出装置1では、各磁界検出部31、32、33の磁性素子35として複合磁性ワイヤを採用する場合を例にあげたが、他のバルクハウゼン素子を採用することも可能である。
また、上述した実施形態における回転検出装置1では、磁性部材41ないし46等を形成する磁性材料として鉄を例にあげたが、本発明はこれに限らず、他の磁性体ないし強磁性体、例えば、パーマロイ、電磁鋼板等を用いてもよい。
また、各磁性部材41ないし46の形状は、種々の変形が可能である。例えば、図24に示す磁性部材101、102のように、対向端面101C(102C)と内周側端面101D(102D)とが交わる角部を一部取り除き、対向端面101C(102C)と内周側端面101D(102D)との間に傾斜面101F(102F)を形成してもよい。また、図25に示す磁性部材111、112のように、対向端面111C、112Cに段部111F、112Fをそれぞれ形成し、対向端面111Cと対向端面112Cとの間の距離を部分的に変化させてもよい。具体的には、磁界検出部31の中間部と対応する部分では、対向端面111Cと対向端面112Cとの間を大きくする。一方、磁石21、22、23、24が通過する領域に対応する部分(円周Rに対応する部分)では、対向端面111Cと対向端面112Cとの間を小さくする。また、図26に示す磁性部材121、122のように、磁界検出部31の中間部に対応する部分において対向端面121Cと対向端面122Cとが最も接近するように、対向端面121Cおよび対向端面122Cとをそれぞれ円弧状に形成してもよい。また、図27に示す磁性部材131、132のように、対向端面131Cおよび対向端面132Cにおいて、磁石21、22、23、24が通過する領域に対応する部分(円周Rに対応する部分)に、クランク状に屈曲したクランク部131F、132Fをそれぞれ形成してもよい。
また、上述した実施形態では、第1の支持体11およびこれに設けられた磁石21、22、23、24を回転させる場合を例にあげたが、第2の支持体12とこれに設けられた磁界検出部31、32、33を回転させる構成を採用することもできる。
また、本発明は、請求の範囲および明細書全体から読み取ることのできる発明の要旨または思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うモータもまた本発明の技術思想に含まれる。
1、51 回転検出装置
11 第1の支持体
11A、11B 面
12 第2の支持体
21、22、23、24、61、62、71、72、73、74、80、90 磁石
31、32、33、64 磁界検出部
35 磁性素子
36 コイル
41、42、43、44、45、46、65、66、101、102、111、112、121、122、131、132 磁性部材
41A 42A、43A、44A、45A、46A 平板部
41B 42B、43B、44B、45B、46B 側板部
41C 42C、43C、44C、45C、46C、101C、102C、111C、112C、121C、122C、131C、132C 対向端面
41D 42D、43D、44D、45D、46D、101D、102D 内周側端面
210 モータ
211 モータ本体
213 シャフト
237 多回転検出ユニット
238 回転位置検出ユニット(回転位置検出センサ)
242 反射ディスク
243 スリットアレイ(反射パターン)
260 光センサ
272 多回転検出部(回転数検出部)
273 多回転記憶部(記憶部)
A 軸線
R 円周

Claims (12)

  1. シャフトを軸線周りに回転させるモータ本体と、
    前記シャフトの回転を検出する回転検出装置と
    前記シャフトの回転位置を検出する光学式の回転位置検出センサとを備え、
    前記回転検出装置は、
    前記軸線の周囲に前記軸線方向に互いに離間して設けられ、いずれか一方が前記シャフトの回転に伴って前記軸線を回転軸として回転する第1の支持体および第2の支持体と、
    前記第1の支持体に固定され、前記第2の支持体に臨み、前記軸線の周囲に周方向にそれぞれ離間して配置され、極性が互いに異なり、前記第1の支持体と前記第2の支持体との間の領域に磁界を形成する少なくとも一対の磁界形成部と、
    長さ方向において磁化の方向が変化する棒状、ワイヤ状または長板状の磁性素子にコイルを巻回することにより形成され、前記第2の支持体に固定され、前記第1の支持体に臨み、前記軸線上の点を中心とし前記少なくとも一対の磁界形成部のそれぞれと重なり合う円周の接線と前記磁性素子の長さ方向とが平行となるように配置され、前記磁界形成部により形成された磁界を検出する少なくとも1つの磁界検出部と、
    磁性材料により形成され、前記第2の支持体に固定され、前記磁界検出部の長さ方向一端部において前記第1の支持体に臨む部分を覆う第1の磁性部材と、
    磁性材料により形成され、前記第2の支持体に固定され、前記磁界検出部の長さ方向他端部において前記第1の支持体に臨む部分を覆う第2の磁性部材とを備え、
    前記第1の磁性部材と前記第2の磁性部材とは、前記磁界検出部の長さ方向中間部に向けて互いに接近する方向に伸長し、前記磁界検出部の長さ方向中間部において間隙を介して互いに対向し
    前記回転位置検出センサは、
    前記シャフトと共に回転する第1または第2の支持体に形成されるパターンを検出することにより前記シャフトの回転位置を検出することを特徴とするモータ。
  2. 前記回転位置検出センサは、
    前記パターンとして第1または第2の支持体に形成される反射パターンと、
    前記反射パターンへ光を照射し、前記反射パターンによる反射光を受光する光センサとを備えていることを特徴とする請求項1に記載のモータ。
  3. 前記反射パターンは、前記第1の支持体において前記磁界形成部が配置されている面の反対側の面、または前記第2の支持体において前記磁界検出部が配置されている面の反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項2に記載のモータ。
  4. 前記第1の支持体は前記第2の支持体よりも前記モータ本体に接近した位置に配置されると共に前記シャフトの回転に伴って回転し、
    前記反射パターンは、前記第1の支持体のうち前記モータ本体側に向いた面に形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載のモータ。
  5. 前記第1の磁性部材は、前記磁界検出部の長さ方向一端部に対応する位置から前記第2の支持体の内周側および外周側に向けてそれぞれ拡がり、前記第2の支持体において前記磁界検出部の長さ方向一端部よりも内周側および外周側の領域をそれぞれ覆い、
    前記第2の磁性部材は、前記磁界検出部の長さ方向他端部に対応する位置から前記第2の支持体の内周側および外周側に向けてそれぞれ拡がり、前記第2の支持体において前記磁界検出部の長さ方向他端部よりも内周側および外周側の領域をそれぞれ覆っていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のモータ。
  6. 前記磁界検出部の長さ方向中間部に対応する位置において互いに対向している前記第1の磁性部材の端面および前記第2の磁性部材の端面は、前記軸線に対して垂直でかつ前記磁界検出部の長さ方向に対して垂直な方向にそれぞれ伸長していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のモータ。
  7. 前記第1の磁性部材において前記軸線側に向いた端面は、前記磁界検出部の長さ方向と平行な方向に伸長し、前記第2の磁性部材において前記軸線側に向いた端面は、前記磁界検出部の長さ方向と平行な方向に伸長していることを特徴とする請求項1ないしのいずれかに記載のモータ。
  8. 前記第1の磁性部材は前記磁界検出部の長さ方向一端部の端面を覆い、前記第2の磁性部材は前記磁界検出部の長さ方向他端部の端面を覆うことを特徴とする請求項1ないしのいずれかに記載のモータ。
  9. 各磁界形成部は永久磁石であり、各磁界形成部の周方向または前記円周の接線方向の寸法は、前記磁界検出部の長さ方向中間部に対応する位置において互いに対向している前記第1の磁性部材の端面と前記第2の磁性部材の端面との間の距離よりも大きいことを特徴とする請求項1ないしのいずれかに記載のモータ。
  10. 前記磁性素子は大バルクハウゼン素子であることを特徴とする請求項1ないしのいずれかに記載のモータ。
  11. 前記第2の支持体には前記軸線の全周を囲むように少なくとも3つの前記磁界検出部が設けられ、
    前記各磁界検出部に前記第1の磁性部材および前記第2の磁性部材が設けられ、
    前記複数の第1の磁性部材および前記複数の第2の磁性部材のうち周方向に互いに隣り合う各対の第1の磁性部材と第2の磁性部材とが互いに接近し、これにより形成された前記複数の第1の磁性部材および前記複数の第2の磁性部材の連続的な配列が、前記第2の支持体との間に前記各磁界検出部を介在させつつ、前記第2の支持体において前記第1の支持体に望む部分内の外周側を略全周に亘って覆っていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載のモータ。
  12. 前記磁界検出部の検出結果を記憶する記憶部と、
    前記記憶部に記憶された情報に基づいて前記シャフトの回転数を検出する回転数検出部とを備え、
    前記記憶部は前記磁界検出部に隣接して配置されていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載のモータ。
JP2012193707A 2012-09-04 2012-09-04 モータ Active JP5895774B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012193707A JP5895774B2 (ja) 2012-09-04 2012-09-04 モータ
CN201310395402.1A CN103683681B (zh) 2012-09-04 2013-09-03 马达
US14/016,227 US9281729B2 (en) 2012-09-04 2013-09-03 Motor unit
EP13182809.7A EP2703783A2 (en) 2012-09-04 2013-09-03 Motor unit with magnetic rotation detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012193707A JP5895774B2 (ja) 2012-09-04 2012-09-04 モータ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2014048251A JP2014048251A (ja) 2014-03-17
JP2014048251A5 JP2014048251A5 (ja) 2015-11-26
JP5895774B2 true JP5895774B2 (ja) 2016-03-30

Family

ID=49150744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012193707A Active JP5895774B2 (ja) 2012-09-04 2012-09-04 モータ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9281729B2 (ja)
EP (1) EP2703783A2 (ja)
JP (1) JP5895774B2 (ja)
CN (1) CN103683681B (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5889144B2 (ja) * 2012-09-04 2016-03-22 ヒロセ電機株式会社 回転検出装置
JP6020184B2 (ja) * 2013-01-15 2016-11-02 株式会社安川電機 モータ
JP6017323B2 (ja) * 2013-01-15 2016-10-26 ヒロセ電機株式会社 回転検出装置
JP5694481B1 (ja) * 2013-10-30 2015-04-01 ファナック株式会社 主軸とモータとの間の動力伝達部の異常を検出するモータ制御装置
CN106489065B (zh) * 2014-06-30 2019-02-05 广濑电机株式会社 运动检测装置
WO2016010141A1 (ja) * 2014-07-18 2016-01-21 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
CN106662469B (zh) * 2014-08-08 2018-10-12 株式会社安川电机 电机
JP6407284B2 (ja) * 2014-08-08 2018-10-17 ヒロセ電機株式会社 回転検出装置
JP6172396B1 (ja) * 2015-09-14 2017-08-02 株式会社安川電機 モータ用エンコーダ及びモータ
JP6535270B2 (ja) 2015-10-30 2019-06-26 ヒロセ電機株式会社 回転検出装置
JP6848306B2 (ja) * 2016-09-29 2021-03-24 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、及びエンコーダ装置の取り付け方法
DE102016123210A1 (de) * 2016-12-01 2018-06-07 Centitech Gmbh Spannungsgenerator
JP6834430B2 (ja) * 2016-12-06 2021-02-24 株式会社ジェイテクト モータ装置
US20220349731A1 (en) * 2017-07-14 2022-11-03 Nikon Corporation Encoder and drive device
CN113939714B (zh) * 2019-06-14 2022-07-01 三菱电机株式会社 转速检测器
JP6842680B2 (ja) * 2019-07-19 2021-03-17 株式会社安川電機 エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム
WO2023099008A1 (en) * 2021-12-03 2023-06-08 Fraba B.V. Magnet-based detection system for detecting a movement of a movable object
DE102022004808A1 (de) * 2022-01-27 2023-07-27 Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg Elektromotor mit Winkelsensor

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1079880A (fr) * 1953-03-23 1954-12-03 Coupleurs directionnels résonnants
JPS5937695Y2 (ja) * 1978-11-17 1984-10-19 カルソニックカンセイ株式会社 パルス発生装置
US5124625A (en) * 1990-05-11 1992-06-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Position control system
JP2000161989A (ja) * 1998-11-30 2000-06-16 Matsushita Electric Works Ltd 回転センサ
JP2001133210A (ja) * 1999-11-08 2001-05-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 非接触型位置センサ
JP4415158B2 (ja) 2000-01-07 2010-02-17 ヒロセ電機株式会社 磁気センサ
JP4552353B2 (ja) * 2001-05-11 2010-09-29 ソニー株式会社 サーボ・アクチュエータ並びにその位置検出装置
US6614223B2 (en) * 2001-08-14 2003-09-02 Delphi Technologies, Inc. Analog angle encoder having a single piece magnet assembly surrounding an air gap
JP3839697B2 (ja) * 2001-10-17 2006-11-01 アルプス電気株式会社 回転角度センサ
WO2004059830A2 (de) * 2002-12-31 2004-07-15 Emb-Papst St. Georgen Gmbh & Co. Kg Rotorstellungssensoranordnung und verfahren zur erfassung der rotorstellung
JP4621987B2 (ja) * 2003-10-24 2011-02-02 株式会社安川電機 磁気式エンコーダ装置およびアクチュエータ
JP4811914B2 (ja) * 2005-09-30 2011-11-09 Jfeスチール株式会社 パイプの曲げ加工装置および方法
EP1992927B1 (de) * 2007-05-14 2011-04-27 ebm-papst St. Georgen GmbH & Co. KG Elektronisch kommutierter Asynchronmotor
US8466646B2 (en) * 2008-04-02 2013-06-18 Continental Automotive Systems, Inc. Apparatus and method for determining angular position
JP5304464B2 (ja) * 2008-09-11 2013-10-02 株式会社安川電機 エンコーダ付モータ
DE102009042473B4 (de) * 2009-09-24 2019-01-24 Continental Automotive Gmbh Verfahren zur Auswertung von Signalen eines Winkelsensors
JP5099459B2 (ja) * 2010-03-19 2012-12-19 株式会社安川電機 光全周エンコーダ及びモータシステム
JP5472045B2 (ja) * 2010-11-08 2014-04-16 株式会社安川電機 エンコーダ付モータ及びモータ用エンコーダ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014048251A (ja) 2014-03-17
US20140062366A1 (en) 2014-03-06
CN103683681A (zh) 2014-03-26
EP2703783A2 (en) 2014-03-05
CN103683681B (zh) 2016-08-17
US9281729B2 (en) 2016-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5895774B2 (ja) モータ
JP6020184B2 (ja) モータ
JP5889144B2 (ja) 回転検出装置
JP5880577B2 (ja) モータ、モータシステムおよびモータ用エンコーダ
JP6017323B2 (ja) 回転検出装置
JP2016504906A (ja) 多極カウントモータのための一体型多回転絶対位置センサ
JP5886269B2 (ja) 回転検出装置およびモータ
JP6535270B2 (ja) 回転検出装置
JP6165480B2 (ja) Pm型ステッピングモータ
JP2019200100A (ja) 回転検出装置
JP2019200098A (ja) 回転検出装置
JP5964117B2 (ja) 回転検出装置
JP2008286285A (ja) 電磁クラッチ
WO2020195003A1 (ja) モータ
JP2019200101A (ja) 回転検出装置
JP7469241B2 (ja) 回転検出装置
JP7453166B2 (ja) 回転検出装置
JP2022116385A (ja) 回転検出器及びそれを備えたモータ
JP2023051163A (ja) 回転検出器
JP2019200099A (ja) 回転検出装置
JP4645279B2 (ja) 回転検出器
JP2010119010A (ja) コイル−ワイヤ分離型電気パルス発生装置
JP2018196287A (ja) 複合発電機
JP2010210288A (ja) エンコーダ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150825

A256 Written notification of co-pending application filed on the same date by different applicants

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A2516

Effective date: 20150915

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151008

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160216

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160215

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5895774

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150