JP6596492B2 - 明視野暗視野対物レンズを使用する独自の斜角照明法及びそれに関連した撮像方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2014年10月14日に出願され、参照によって本明細書に組み込まれる米国特許仮出願第62/063,564号の利益を主張する。
Claims (18)
- 結像レンズと、ノーズピースと、暗視野チャネル、明視野チャネル及び周囲を有するBD対物レンズとを含む撮像システムを用いて、試料の表面を撮像する方法であって、
前記BD対物レンズの外側であって、かつ前記ノーズピース内に、光バリアを配置するステップであって、前記光バリアは、第1の弧状照射光を画定するように光を前記暗視野チャネルの一部に通す開口を含む、ステップと、
前記暗視野チャネルを通して前記第1の弧状照射光で前記試料を斜角照射し、それにより前記周囲における単一の第1の弧を通して前記試料を斜角照射し、前記第1の弧状照射光を前記試料の前記表面に反射させるステップと、
前記試料の前記表面に反射する前記第1の弧状照射光から前記試料の第1の画像を記録するステップと、
を含む、方法。 - 前記第1の弧は1度以上180度以下である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の弧は2度以上5度以下である、請求項2に記載の方法。
- トポグラフィ撮像法を介して前記第1の画像を処理することにより前記試料の3Dトポグラフィを生成するステップをさらに備える、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の弧と異なる前記周囲における単一の第2の弧を通して前記試料を斜角照射する第2の弧状照射光で、前記暗視野チャネルを通して前記試料を斜角照射し、前記第2の弧状照射光を前記試料の前記表面に反射させるステップであって、前記第2の弧状照射光は前記BD対物レンズの外側に置かれた前記光バリアにより提供される、ステップと、
前記試料の前記表面に反射する前記第2の弧状照射光から前記試料の第2の画像を記録するステップであって、3Dトポグラフィを生成する前記ステップは、トポグラフィ撮像法を介して前記第2の画像を処理することを含む、記録するステップと
をさらに含む、請求項4に記載の方法。 - すべての前記斜角照射するステップは、
前記暗視野チャネルの外に光バリアを提供するステップであって、前記光バリアはそれを通る光が通過できない本体、及びそれを通る光が通過できる暗視野開口を前記本体内に有する、提供するステップと、
前記試料を斜角照射する前記第1の弧状照射光及び第2の弧状照射光を提供するために、照射光を前記光バリアまで達し、前記暗視野開口を通して送達するステップと
を含む、請求項5に記載の方法。 - 前記暗視野チャネルを通して前記第1の弧状照射光で試料を斜角照射する前記ステップ、及び前記暗視野チャネルを通して前記第2の弧状照射光で試料を斜角照射する前記ステップを制御し、さらに、前記第1の画像及び前記第2の画像を記録する前記ステップを制御する、処理装置を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記処理装置は3Dトポグラフィを生成する前記ステップを制御する、請求項7に記載の方法。
- 明視野照射光が前記明視野チャネルを通って前記試料を直角照射するステップであって、前記明視野照射光は前記試料の前記表面に反射する、直角照射するステップと、
前記試料の前記表面に反射する前記明視野照射光から前記試料の第3の画像を記録するステップとをさらに含み、
3Dトポグラフィを生成する前記ステップは、トポグラフィ撮像法を介して前記第3の画像を処理する、請求項8に記載の方法。 - 前記トポグラフィ撮像法は、陰影からの形状復元法、フォトメトリックステレオ法、及びフーリエタイコグラフィ変調法から選択される、請求項4に記載の方法。
- 結像レンズと、ノーズピースと、暗視野チャネル、明視野チャネル及び周囲を有するBD対物レンズとを利用する、試料の表面を撮像するための撮像装置において、
改良点は前記BD対物レンズの外側であって、かつ前記ノーズピース内に光バリアを置くことを含み、前記光バリアはそれを通る光が通過できない本体、及びそれを通る光が通過できる暗視野開口を前記本体内に有するので、前記本体は前記試料に向かって移動する照射光を遮断し、前記開口は前記暗視野チャネルを通って前記試料に向かって移動するように前記照射光の通路を画定し、それによって前記開口は、離散方向から前記BD対物レンズの周囲の単一の弧のみを通り、前記暗視野チャネルを通って前記試料を斜角照射する弧状照射光を画定する、撮像装置。 - 前記弧は1度以上180度以下である、請求項11に記載の撮像装置。
- 前記弧は2度以上5度以下である、請求項12に記載の撮像装置。
- 前記撮像装置によって撮られた画像にトポグラフィ撮像法を利用する処理装置をさらに備える、請求項13に記載の撮像装置。
- 前記光バリアは前記周囲の種々の位置で前記開口の前記配置ができるように回転する、請求項11に記載の撮像装置。
- 前記改良点は、前記光バリアの零点位置を同定するためのセンサを含み、前記零点位置により前記光バリアの前記暗視野開口の既知の開始位置を確立することをさらに含む、請求項11に記載の撮像装置。
- 前記光バリアは前記暗視野開口を含み、前記暗視野開口の既知の開始位置を確立するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記確立するステップにおいて、前記暗視野開口が既知の開始位置にある時に、センサが前記光バリア上の参照要素と位置合わせされる、請求項17に記載の方法。
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