JP4974267B2 - ウェーハ外周検査方法 - Google Patents
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Description
本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもので、ウェーハ外周部の面取り部の短時間で且つ的確に検査し得るウェーハ外周検査方法を提供することを目的とする。
テーブル上に載置されたウェーハのウェーハ外周部に光を照射し、ウェーハ外周部での反射光を検出して前記ウェーハ外周部の検査を行うウェーハ外周検査方法において、
前記光として面光源から出る非コヒーレント光を用いると共に、
検出位置を前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部の2つに設定し、
前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部に対応して、対物レンズを互いに共用する照明光学系と、前記対物レンズを構成要素とする像側テレセントリック光学系を有する結像光学系とからなる組をそれぞれ設置し、
前記テーブル上に設置された前記ウェーハが当該テーブルの回転に伴って回転し、当該テーブルの移動に伴って当該ウェーハの主面に沿った方向に移動できるようにし、
前記対物レンズとして物側焦点面が光軸に直交し且つ平面であるレンズを用い、前記照明光学系からの光が前記対物レンズによって当該物側焦点面を経て前記ウェーハの厚さ方向の中点に向けて集束するようにするとともに、
上半部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め上方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、上半部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の上半部の全周に亘って当該上半部の厚さ方向の各点に当接できるようにし、
下半部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め下方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、下半部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の下半部の全周に亘って当該下半部の厚さ方向の各点に当接できるようにしておき、
各々の前記照明光学系からの光を前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部に照射する照射工程と、各々の前記結像光学系を介して前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部での反射光を検出する検出工程と、前記ウェーハを回転させる工程とを同時に実行した後、
前記ウェーハを前記物側焦点面に接近又は離反する方向に段階的に移動させ、各段階にて前記照射工程、前記検出工程及び前記回転工程を同時に実行し、
前記検出工程で得られた前記ウェーハ外周部の各点の反射光のデータと、前記ウェーハの回転量、前記ウェーハの移動量及び前記ウェーハの厚さ方向位置とに基づいて前記ウェーハ外周部の検査を行うことを特徴とする。
テーブル上に載置されたウェーハのウェーハ外周部に光を照射し、ウェーハ外周部での反射光を検出して前記ウェーハ外周部の検査を行うウェーハ外周検査方法において、
前記光として面光源から出る非コヒーレント光を用いると共に、検出位置を前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部の3つに設定し、
前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部に対応して、対物レンズを互いに共用する照明光学系と、前記対物レンズを構成要素とする像側テレセントリック光学系を有する結像光学系とからなる組をそれぞれ設置し、
前記テーブル上に設置された前記ウェーハが当該テーブルの回転に伴って回転し、当該テーブルの移動に伴って当該ウェーハの主面に沿った方向に移動できるようにし、
前記対物レンズとして物側焦点面が光軸に直交し且つ平面であるレンズを用い、前記照明光学系からの光が前記対物レンズによって当該物側焦点面を経て前記ウェーハの厚さ方向の中点に向けて集束するようにするとともに、
上部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め上方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、上部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の上部の全周に亘って当該上部の厚さ方向の各点に当接できるようにし、
端部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に側方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、端部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の端部の全周に亘って当該端部の厚さ方向の各点に当接できるようにし、
下部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め下方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、下部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の下部の全周に亘って当該下部の厚さ方向の各点に当接できるようにしておき、
各々の前記照明光学系からの光を前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部に照射する照射工程と、各々の前記結像光学系を介して前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部での反射光を検出する検出工程と、前記ウェーハを回転させる工程とを同時に実行した後、
前記ウェーハを前記物側焦点面に接近又は離反する方向に段階的に移動させ、各段階にて前記照射工程、前記検出工程及び前記回転工程を同時に実行し、
前記検出工程で得られた前記ウェーハ外周部の各点の反射光のデータと、前記ウェーハの回転量、前記ウェーハの移動量及び前記ウェーハの厚さ方向位置とに基づいて前記ウェーハ外周部の検査を行うことを特徴とする。
(全体構成)
第1実施形態に係るウェーハ外周検査方法に使用されるウェーハ外周検査装置は照明光学系2(図1)と結像光学系3(図2)を備えている。
照明光学系2はウェーハWの外周部を照射するものである。この照明光学系2は面光源200、ハーフミラー201及び対物レンズ202を含んで構成されている。このうち対物レンズ202は複数のレンズから構成されていてもよい。この光照射装置2は、面光源200からの光によって対物レンズ202を介して対象物を照射するように構成されている。この場合、対象物がウェーハWであり、そのウェーハ外周部の厚さ方向全域をウェーハWの全周に亘って検査するものでは、照射光学系2はウェーハ外周部の上半部及び下半部に対応して2つ設けられている。また、ウェーハWはテーブル(図示せず)上に載置される。
図3には12インチウェーハのエッジプロファイルが示されている。同図において斜線で示した領域がウェーハのエッジ許容領域を示している。このウェーハの厚さ寸法は0.775mmである。また、ウェーハの直径寸法の最大値は298mm、最小値は297.95mmである。そして、ウェーハの上下の角部がベベル状に面取りされる構造となっている。
この12インチのウェーハ外周部を検査する外周検査装置1においては、ウェーハ外周部の上半部を担う照明光学系2の物側焦点面は、例えばウェーハの上面と50度±5度好ましくは50度±1度程度となるように設定される。この場合に、ウェーハの中心から148.594mmの位置で且つウェーハの厚さ方向の中点を中心とする曲率半径0.388mmの円弧に物側焦点面Fが接した状態で考えると、対物レンズ202からの光はその接点における垂線がウェーハWの厚さ方向の中点と交わる位置に集束する(向かう)ように構成されている。この様子が図4に示されている。一方、ウェーハ外周部の下半部を担う照明光学系2の物側焦点面Fは、例えばウェーハの下面と50度±5度好ましくは50度±1度程度となるように設定される。この場合に、ウェーハの中心から148.594mmの位置で且つウェーハの厚さ方向の中点を中心とする曲率半径0.388mmの円弧に物側焦点面が接した状態で考えると、対物レンズ202からの光はその接点における垂線がウェーハWの厚さ方向の中点と交わる位置に集束する(向かう)ように構成されている。
そして、特に限定はされないが、この場合の物体側のNAは0.05に設定される。
このように構成すれば、エッジプロファイルが許容領域内に有るすべての12インチウェーハに対応できることになる。
次に、図5に本実施形態に係るウェーハ外周部検査方法に使用するウェーハ外周部検査装置1の回路ブロックを示す。
また、制御部400にはロータリエンコーダ403がインターフェースを介して接続されている。このロータリエンコーダ403はテーブル401の回転量を検出するためのものである。
さらに、制御部400にはラインセンサ303がインターフェースを介して接続されている。このラインセンサ303は上述したようにウェーハ外周部での反射光を受光するためのものである。
また、入力部404は、キーボード、マウス、タッチパネルなどから構成され、ユーザによってウェーハ外周部の検査に関する指示入力がインターフェースを介して行えるようになっている。
なお、制御部400にはディスプレイ等の表示装置405がインターフェースを介して接続され、検査結果等を表示することができるように構成されている。
次に、上記ウェーハ外周部検査装置1を使用したウェーハ外周部検査方法について説明する。
この場合、物側焦点面が同図に示すようにウェーハWと重なり合ってもよい。そして、その段階的に移動させた各位置で、ウェーハ外周部の厚さ方向の反射光のデータを全周に亘って収集する。このときの受光データをテーブルの回転量、ウェーハの移動量及びウェーハ外周部の厚さ方向位置に対応させてメモリに記憶しておく。
ウェーハ外周部の一点について考えると、そこに焦点があったときにラインセンサ303のCCDで受光される反射光の光強度は最大となり、焦点から外れた場合には光強度は小さくなる。このことを利用し、ウェーハ外周部の一点の確度の高いデータを選択するにあたっては、各段階(初回を含む)におけるその一点の受光データとその周辺の受光データの総和の平均値をそれぞれ求め、その平均値が最大である段階のその一点のデータを確度の高いデータとして採用する。このようにしてウェーハ外周部の各点についての確度の高いデータを選択する。
そして、ウェーハ外周部の各点について得られた確度の高いデータを合成し、ウェーハ外周部の検査データとする。以上のようにして、得られた検査データに基づきウェーハの評価を行う。このようにすれば、テーブル上にウェーハWが偏心して載置された場合でも、ウェーハの厚さ方向の分解能のバラツキを小さくすることができるので、ウェーハWの正確な評価が行えることになる。
図7には第2実施形態の照明光学系の対物レンズの物側焦点面を説明するための図が示されている。この第2実施形態は、非コヒーレント光を用いる点、上記照明光学系2及び結像光学系3を用いる点は第1実施形態と同じである。この第2実施形態が第1実施形態と異なる点は、検出位置をウェーハ外周部の上部、端部及び下部の3つに設定している点、その上部、端部及び下部に対応して照明光学系2及び結像光学系3の組をそれぞれ設置している点、その上部、端部及び下部の検出位置での対物レンズ202それぞれの物側焦点面が平面となるように設定し上部及び下部を担う対物レンズ202の物側焦点面がウェーハ外周部に寄りかかる方向に傾斜し且つ端部を担う対物レンズ202の物側焦点面が直立するように設定している点である。この場合、ウェーハ外周部の上部を担う対物レンズ202の物側焦点面FのウェーハWの上面となす角度は30度〜48度好ましくは33度±1度程度、ウェーハ外周部の下部を担う対物レンズ202の物側焦点面FのウェーハWの下面となす角度は30度〜48度好ましくは33度±1度程度となっている。
なお、その他の構成については第1実施形態と同じである。
この第2実施形態においても、各々の照明光学系2の対物レンズ202を介して非コヒーレント光を所定の照射開口角で以てウェーハWの厚さ方向の中点に集束するようにウェーハ外周部の上部、端部及び下部に照射し、各々の結像光学系3を介してウェーハ外周部の上部、端部及び下部での反射光を検出する。
その検査の具体的方法は、第1実施形態の場合と同じである。
2 照明光学系
3 結像光学系
200 面光源
201 ハーフミラー
202 対物レンズ
300 対物レンズ
301 マスターレンズ
302 絞り
303 ラインセンサ
Claims (2)
- テーブル上に載置されたウェーハのウェーハ外周部に光を照射し、ウェーハ外周部での反射光を検出して前記ウェーハ外周部の検査を行うウェーハ外周検査方法において、
前記光として面光源から出る非コヒーレント光を用いると共に、
検出位置を前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部の2つに設定し、
前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部に対応して、対物レンズを互いに共用する照明光学系と、前記対物レンズを構成要素とする像側テレセントリック光学系を有する結像光学系とからなる組をそれぞれ設置し、
前記テーブル上に設置された前記ウェーハが当該テーブルの回転に伴って回転し、当該テーブルの移動に伴って当該ウェーハの主面に沿った方向に移動できるようにし、
前記対物レンズとして物側焦点面が光軸に直交し且つ平面であるレンズを用い、前記照明光学系からの光が前記対物レンズによって当該物側焦点面を経て前記ウェーハの厚さ方向の中点に向けて集束するようにするとともに、
上半部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め上方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、上半部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の上半部の全周に亘って当該上半部の厚さ方向の各点に当接できるようにし、
下半部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め下方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、下半部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の下半部の全周に亘って当該下半部の厚さ方向の各点に当接できるようにしておき、
各々の前記照明光学系からの光を前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部に照射する照射工程と、各々の前記結像光学系を介して前記ウェーハ外周部の上半部及び下半部での反射光を検出する検出工程と、前記ウェーハを回転させる工程とを同時に実行した後、
前記ウェーハを前記物側焦点面に接近又は離反する方向に段階的に移動させ、各段階にて前記照射工程、前記検出工程及び前記回転工程を同時に実行し、
前記検出工程で得られた前記ウェーハ外周部の各点の反射光のデータと、前記ウェーハの回転量、前記ウェーハの移動量及び前記ウェーハの厚さ方向位置とに基づいて前記ウェーハ外周部の検査を行うことを特徴とするウェーハ外周検査方法。 - テーブル上に載置されたウェーハのウェーハ外周部に光を照射し、ウェーハ外周部での反射光を検出して前記ウェーハ外周部の検査を行うウェーハ外周検査方法において、
前記光として面光源から出る非コヒーレント光を用いると共に、検出位置を前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部の3つに設定し、
前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部に対応して、対物レンズを互いに共用する照明光学系と、前記対物レンズを構成要素とする像側テレセントリック光学系を有する結像光学系とからなる組をそれぞれ設置し、
前記テーブル上に設置された前記ウェーハが当該テーブルの回転に伴って回転し、当該テーブルの移動に伴って当該ウェーハの主面に沿った方向に移動できるようにし、
前記対物レンズとして物側焦点面が光軸に直交し且つ平面であるレンズを用い、前記照明光学系からの光が前記対物レンズによって当該物側焦点面を経て前記ウェーハの厚さ方向の中点に向けて集束するようにするとともに、
上部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め上方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、上部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の上部の全周に亘って当該上部の厚さ方向の各点に当接できるようにし、
端部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に側方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、端部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の端部の全周に亘って当該端部の厚さ方向の各点に当接できるようにし、
下部を担う前記照明光学系からの光が前記ウェーハ外周部に斜め下方から照射されるようにするとともに、前記ウェーハの回転と当該ウェーハのその主面に沿った方向の移動とによって、下部を担う前記対物レンズの前記物側焦点面が前記ウェーハ外周部の下部の全周に亘って当該下部の厚さ方向の各点に当接できるようにしておき、
各々の前記照明光学系からの光を前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部に照射する照射工程と、各々の前記結像光学系を介して前記ウェーハ外周部の上部、端部及び下部での反射光を検出する検出工程と、前記ウェーハを回転させる工程とを同時に実行した後、
前記ウェーハを前記物側焦点面に接近又は離反する方向に段階的に移動させ、各段階にて前記照射工程、前記検出工程及び前記回転工程を同時に実行し、
前記検出工程で得られた前記ウェーハ外周部の各点の反射光のデータと、前記ウェーハの回転量、前記ウェーハの移動量及び前記ウェーハの厚さ方向位置とに基づいて前記ウェーハ外周部の検査を行うことを特徴とするウェーハ外周検査方法。
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