JP2013205202A - 半田ツノ外観検査装置 - Google Patents
半田ツノ外観検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013205202A JP2013205202A JP2012074061A JP2012074061A JP2013205202A JP 2013205202 A JP2013205202 A JP 2013205202A JP 2012074061 A JP2012074061 A JP 2012074061A JP 2012074061 A JP2012074061 A JP 2012074061A JP 2013205202 A JP2013205202 A JP 2013205202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder
- horn
- fillet
- shape
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【課題】どの方向にできたツノであっても発見することができる、半田ツノ外観検査装置を提供する。
【解決手段】半田付け部位を照明する照明装置2と、照明装置2により照明された半田付け部位を撮影する撮影装置1と、撮影装置1による撮影画像に基づいて検査対象物における半田フィレットの三次元形状を取得する画像処理装置3とを備え、画像処理装置3が、撮影装置1から得られた平面画像から半田付け部位を半田領域として切り出すとともに、切り出した半田領域を1ピクセル幅ごとに分割し、当該分割した領域における半田フィレットの形状を撮影装置1により撮影された輝度情報から求め、半田フィレットに半田ツノが形成されているか否かを判定するツノ識別手段31を有するようにしたので、どの方向にできた半田ツノであっても発見することができる。
【選択図】図1
【解決手段】半田付け部位を照明する照明装置2と、照明装置2により照明された半田付け部位を撮影する撮影装置1と、撮影装置1による撮影画像に基づいて検査対象物における半田フィレットの三次元形状を取得する画像処理装置3とを備え、画像処理装置3が、撮影装置1から得られた平面画像から半田付け部位を半田領域として切り出すとともに、切り出した半田領域を1ピクセル幅ごとに分割し、当該分割した領域における半田フィレットの形状を撮影装置1により撮影された輝度情報から求め、半田フィレットに半田ツノが形成されているか否かを判定するツノ識別手段31を有するようにしたので、どの方向にできた半田ツノであっても発見することができる。
【選択図】図1
Description
この発明は、撮像画像を用いた画像処理により、半田付け部位の半田ツノの有無を検出する半田ツノ外観検査装置に関するものである。
一般的に、半田付けを行う際に、半田ゴテのコテ先に半田が引っ張られ、突起形状が半田フィレットに形成されることがある。この突起は、一般的に「ツノ」と呼ばれ、製品品質に悪影響を及ぼす。そのため、検査によりツノを発見することができる技術が必要とされている。
このようなものとして、例えば特許文献1には、半田ゴテのコテ先を横方向に引っ張りながら半田付けを行う「引き半田」に対象を絞った半田ツノ外観検査装置が開示されている。ツノは、半田ゴテのコテ先の移動方向に形成されるため、コテ先を横方向に引っ張る引き半田においては、ツノは必ずフィレットの横に飛び出る形となる。そこで、特許文献1では、それを上から撮影し、横に飛び出た特徴を見つけることにより、ツノを発見していた。
しかしながら、例えば特許文献1のような引き半田に対象を絞った半田ツノ外観検査装置では、ポイント半田付けなど、半田ゴテのコテ先を上方向もしくは斜め上方向に引っ張った場合に発生したツノについては、見つけることができないという課題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、どの方向にできたツノであっても発見することができる、半田ツノ外観検査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、この発明は、検査対象物における半田付け部位の外観検査を行う半田ツノ外観検査装置において、前記半田付け部位を照明する照明装置と、前記照明装置により照明された半田付け部位を撮影する撮影装置と、前記撮影装置による撮影画像に基づいて前記検査対象物における半田フィレットの三次元形状を取得する画像処理装置とを備え、前記画像処理装置は、前記撮影装置から得られた平面画像から前記半田付け部位を半田領域として切り出すとともに、前記切り出した半田領域を1ピクセル幅ごとに分割し、当該分割した領域における前記半田フィレットの形状を前記撮影装置により撮影された輝度情報から求め、前記半田フィレットに半田ツノが形成されているか否かを判定するツノ識別手段を有することを特徴とする。
この発明によれば、半田フィレットの三次元形状を取得して、その形状を評価することによりツノを発見するようにしたので、どの方向にできた半田ツノであっても発見することができる。
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1に係る半田ツノ外観検査装置の構成を示す概略図であり、図1(a)は横から見た側面図、図1(b)は上から見た平面図である。この半田ツノ外観検査装置は、カメラ(撮影装置)1、照明装置2、画像処理装置3を備え、プリント基板4上のランドに部品の端子を半田付けした際の半田フィレットに形成されたツノを検出するものである。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1に係る半田ツノ外観検査装置の構成を示す概略図であり、図1(a)は横から見た側面図、図1(b)は上から見た平面図である。この半田ツノ外観検査装置は、カメラ(撮影装置)1、照明装置2、画像処理装置3を備え、プリント基板4上のランドに部品の端子を半田付けした際の半田フィレットに形成されたツノを検出するものである。
この実施の形態1では、半田ツノを検出するために、半田フィレットの三次元形状を計測するものとする。
図2は、フォトメトリックステレオ法の原理を説明するための模式図である。フォトメトリックステレオ法は、光源が平行光源であり、対象となる物体の表面が均等拡散面である場合に有効な三次元形状計測の手法である。物体に照明をあて、カメラにより撮影された画像から物体の形状を求める際には、カメラで観測される強度は視線方向(カメラの方向)には依存せず、照明方向と表面の法線方向のみに依存する。したがって、照明方向とカメラで得られる画像の輝度情報から、表面の法線方向の情報が得られる。しかし、一方向からの照明では、一方向のみの情報しか得られないが、フォトメトリックステレオ法では、照明装置2として少なくとも3つの固定スポット照明器を検査対象物のまわりに配置し、各照明器ごとに照明させて画像を撮影し、その照明器ごとの照明による画像すべてを用いることにより、半田の三次元形状情報を取得することができる。
図2は、フォトメトリックステレオ法の原理を説明するための模式図である。フォトメトリックステレオ法は、光源が平行光源であり、対象となる物体の表面が均等拡散面である場合に有効な三次元形状計測の手法である。物体に照明をあて、カメラにより撮影された画像から物体の形状を求める際には、カメラで観測される強度は視線方向(カメラの方向)には依存せず、照明方向と表面の法線方向のみに依存する。したがって、照明方向とカメラで得られる画像の輝度情報から、表面の法線方向の情報が得られる。しかし、一方向からの照明では、一方向のみの情報しか得られないが、フォトメトリックステレオ法では、照明装置2として少なくとも3つの固定スポット照明器を検査対象物のまわりに配置し、各照明器ごとに照明させて画像を撮影し、その照明器ごとの照明による画像すべてを用いることにより、半田の三次元形状情報を取得することができる。
例えば、図2に示す光源2−1から均等拡散面である検査対象物を照明した場合、検査対象物の表面の法線ベクトルをN1(単位ベクトル)、光源の方向をS1(単位ベクトル)とし、これらの2つの単位ベクトルによる角度をαとする。ここで、光源2−1の放射強度をIe(λ)とし、検査対象物の表面の反射率(0〜1の値)をKd(λ)とすると、このとき観測される画素から得られる輝度Lq(λ)は、(1)式により与えられる。
Lq(λ)=Ie(λ)×Kd(λ)×cosα (1)
この式を変形すると、(2)式のようになる。
Lq=Ie×Kd×S1×N1 (2)
Lq(λ)=Ie(λ)×Kd(λ)×cosα (1)
この式を変形すると、(2)式のようになる。
Lq=Ie×Kd×S1×N1 (2)
法線ベクトルNの長さを1として規格化し、自由度を2とすると、表面反射率の自由度1を加えて、3つの未知変数をもつ方程式となる。したがって、3つ以上の光源(2−1,2−2,2−3)から得られる各画素での3つ以上の画素値を用いて、各点の法線ベクトル、反射率を計算することができ、得られた各点の法線ベクトルを空間方向に積分することにより、形状を復元することができる。なお、物体の表面が均等拡散面でない場合にも、非線形最適化法により法線ベクトルを求めることができる。
そして、この実施の形態1では、図1(b)に示すように、照明装置2として6つの固定スポット照明器を用い、撮影対象物である半田フィレットに対してそれら6つの照明器から順次照射し、それぞれの画像の輝度情報から半田フィレットの表面形状を復元する。
なお、照明装置2としては、この実施の形態1にように検査対象物のまわりに複数台の固定スポット照明器を配置する以外に、1台のスポット照明装置を検査対象物を中心に回転させ、または、1台のスポット照明装置を中心に検査対象物を回転させ、所定の角度ごとにカメラ1により検査対象物における半田付け部位を撮影するようにしてもよい。
なお、照明装置2としては、この実施の形態1にように検査対象物のまわりに複数台の固定スポット照明器を配置する以外に、1台のスポット照明装置を検査対象物を中心に回転させ、または、1台のスポット照明装置を中心に検査対象物を回転させ、所定の角度ごとにカメラ1により検査対象物における半田付け部位を撮影するようにしてもよい。
画像処理装置3は、カメラ1により得られた平面画像から、検査対象物における半田付け部位を半田領域(半田の検査領域)として切り出すとともに、半田フィレットの形状をカメラ1により撮影された輝度情報から求め、半田フィレットに半田ツノが形成されているか否かをツノ識別手段31により判定する。なお、図1(a)に示すように、画像処理装置3はその内部にツノ識別手段31を有するものである。
図3は、プリント基板4上の部品5に設けられた端子6を、ランド(図示せず)に半田付けした際に半田フィレット7が形成された範囲を、検査領域として切り出すイメージを示した説明図である。図3(b)は、図3(a)の破線で囲まれた半田領域10のみを切り出したものであり、図3(c)は、図3(b)の検査領域をピクセル単位で1ラインごとに分割した分割ライン11のイメージを説明する図である。図3(c)の矢印Aは、1ピクセル幅の枠である分割ライン11を、切り出した半田領域10の端から端まで(図の一番下の分割ライン11から図の一番上の分割ライン11まで)順に移動させていくことを示している。
ここで、まず初めに、明らかに良品であると判断できる半田フィレット7の形状計測を行う。この場合、図3(c)に示すように分割した1ライン(分割ライン11)における半田フィレット7の形状を計測すると、図4のようになる。この図4は、図3(c)における破線で示した分割ライン11における半田フィレット7の形状イメージを示しており、図4に示すような基準のフィレット形状が取得できる。なお、図4における各ドット(P1,P2,P3,・・・)は、ピクセル単位の情報であるため飛び飛びになっているが、以降の説明および図においては、簡略化のため線で表現することとする。
次に、半田フィレットにツノができている場合の原理について説明する。図5は、図4に示すフィレット形状と同様の基準のフィレット形状20に、ツノ21ができている状態の半田フィレットの形状イメージを示す図である。図6は、ツノ21の特徴を抽出する説明図であり、図6(a)は、図5のツノ21部分(図中、破線の丸で囲んだBの部分)を簡易化のために一部回転させて拡大した図である。この図6(a)は、基準のフィレット形状20に対するツノ21の形状を示しており、この図6(a)に示すように、ツノ21は、基準のフィレット形状20の表面に対して急激に角度θで盛り上がり、その後また盛り下がる形状であると推測できる。
また、図6(b)は、図6(a)に示すツノ21の基準のフィレット形状20に対する表面角度分布を示す図である。実際には、基準のフィレット形状20に対するツノ21の角度θは、図6(b)に示すほど直線的に減少するとは限らないが、ほぼ同様に、徐々に減少していくものである。
これにより、実際に半田ツノ外観検査を行う場合には、画像処理装置3は、検査対象となる半田フィレットの形状を計測した後に、表面角度を探索し、図6(b)に示すような分布が得られた場合には、ツノと思しき箇所である「突起」として抽出する。その後、画像処理装置に備えられたツノ識別手段(図示せず)が、抽出した「突起」を評価して、この突起がツノ(半田ツノ)であるのか否かを判断するが、その判定方法については後述する。
これにより、実際に半田ツノ外観検査を行う場合には、画像処理装置3は、検査対象となる半田フィレットの形状を計測した後に、表面角度を探索し、図6(b)に示すような分布が得られた場合には、ツノと思しき箇所である「突起」として抽出する。その後、画像処理装置に備えられたツノ識別手段(図示せず)が、抽出した「突起」を評価して、この突起がツノ(半田ツノ)であるのか否かを判断するが、その判定方法については後述する。
そして、図4に示すような良品の半田フィレット7から取得した基準のフィレット形状の情報と、実際の検査対象のフィレット形状の情報との差分を求める。図7は、基準のフィレット形状と検査対象のフィレット形状それぞれの三次元形状情報を示すグラフであり、図中の○印は基準のフィレット形状の情報を示しており、×印は検査対象のフィレット形状の情報を示している。この図7によると、検査対象のフィレット形状には、突起が存在している形状となっているように見受けられる。
また、図8は、図7に示すそれぞれの半田フィレットの形状情報の表面角度とその差分を示すグラフである。この図においても、○印は基準のフィレット形状の情報(表面角度)を示しており、×印は検査対象のフィレット形状の情報(表面角度)を示している。また、△印はその差分情報(基準のフィレット形状に対する検査対象のフィレット形状の表面角度θ)を示している。このように差分を取得することにより、基準情報と比較した場合の検査情報の形状異常を把握することができる。
そして、この図8により、検査対象のフィレット形状は基準のフィレット形状からの表面角度に対して顕著な差があることがわかり、突起が形成されていると判定できる。
そして、この図8により、検査対象のフィレット形状は基準のフィレット形状からの表面角度に対して顕著な差があることがわかり、突起が形成されていると判定できる。
次に、この突起がツノであるのか否かの判定を行うために、検査範囲として、表面角度の差分値が正となった点から、差分値が一度負の値になりその後再び正に変化する点まで、すなわち、図8の中の範囲Cを検出する。
図9は、検査範囲について説明する模式図である。実際の検査対象において、半田フィレットにツノができている場合には、図7および図9(a)に示すように、ツノができた分だけ、ツノにより半田が引っ張られて凹み部分22が形成される。このことを考慮して、ツノの開始点としては盛り上がりの開始した地点、ツノの終了点としてはその盛り上がりが終わり次の盛り上がりの開始する地点を設定し、その開始点から終了点までを検査範囲とする。
図9は、検査範囲について説明する模式図である。実際の検査対象において、半田フィレットにツノができている場合には、図7および図9(a)に示すように、ツノができた分だけ、ツノにより半田が引っ張られて凹み部分22が形成される。このことを考慮して、ツノの開始点としては盛り上がりの開始した地点、ツノの終了点としてはその盛り上がりが終わり次の盛り上がりの開始する地点を設定し、その開始点から終了点までを検査範囲とする。
そして、このようにして求めた検査範囲内で、表面角度の差分の最大値と最小値を記録する。図10(a)は、図8と同じグラフにおいて、表面角度の差分の最大値D、最小値Eを丸で囲んだものである。そして、この位置に対応する検査対象のフィレット形状は、図10(b)の丸FおよびGである。これは、図6(a)に示したツノの形状と同様であり、また、この時の基準のフィレット形状に対する表面角度(表面角度の差分)を示した図10(a)の最大値Dから最小値Eまでの分布は、図6(b)に示した分布と同様であるから、ツノの特徴を表していると判断され、ツノと思しき箇所である「突起」として抽出される。
しかしながら、基準のフィレット形状に対して「突起」、すなわち、盛り上がりと盛り下がりができ、その基準のフィレット形状に対する表面角度が徐々に下がっていくような特徴を備えていたとしても、その盛り上がりが極端に緩やかな場合、緩やかに大きく広がっている場合、また、極端に小さな場合など、この突起が必ずしもツノではない場合もあり得る。
そこで、前述のようにして抽出された突起の特徴について、ツノであるのか否かの判定を行う必要がある。以下、画像処理装置3のツノ識別手段31が、抽出された突起がツノであるか否かを判定する手法について説明する。
そこで、前述のようにして抽出された突起の特徴について、ツノであるのか否かの判定を行う必要がある。以下、画像処理装置3のツノ識別手段31が、抽出された突起がツノであるか否かを判定する手法について説明する。
[1]突起の鋭さ判定1
図10(a)のように記録された表面角度の差分の最大値と最小値(D点とE点の差)を利用し、突起の鋭さを判断する。ここでは、図11(a)に示すようなツノと思しき突起21と、図12(a)に示すような盛り上がりが小さくツノではないと思われる突起21’を例に説明する。まず、表面角度の差分の最大値θmaxと最小値θminの幅を求める。この際、θmax>0、θmin<0であるため、最大最小角度幅「θmax−θmin」は、θmaxより大きな正の値である。
図10(a)のように記録された表面角度の差分の最大値と最小値(D点とE点の差)を利用し、突起の鋭さを判断する。ここでは、図11(a)に示すようなツノと思しき突起21と、図12(a)に示すような盛り上がりが小さくツノではないと思われる突起21’を例に説明する。まず、表面角度の差分の最大値θmaxと最小値θminの幅を求める。この際、θmax>0、θmin<0であるため、最大最小角度幅「θmax−θmin」は、θmaxより大きな正の値である。
そして、図11(b)に示すように、ツノと思しき突起21の場合には、最大最小角度幅「θmax−θmin」が閾値(第1の所定の値)P(実験では、P=25度とした)以上であるのに対し、盛り上がりが小さくツノではないと思われる突起21’の場合には、図12(b)に示すように、最大最小角度幅「θmax−θmin」が閾値Pより小さくなる。
そこで、(3)式を満たす場合には、ツノの可能性があると判断する。
θmax−θmin ≧ P (3)
そこで、(3)式を満たす場合には、ツノの可能性があると判断する。
θmax−θmin ≧ P (3)
[2]突起の鋭さ判定2
同じく、図10(a)のように記録された表面角度の差分の最大値と最小値(D点とE点の差)を利用し、突起の鋭さを判断するが、上記[1]の判定により最大最小角度幅「θmax−θmin」が閾値P以上であったとしても、それが広範囲に渡ってなだらかに大きく形成された場合には、ツノではない可能性が高い。ここでは、図13(a)に示すようなツノと思しき突起と、図14(a)に示すような広範囲に渡ってなだらかに大きく形成されたツノではないと思われる突起を例に説明する。
同じく、図10(a)のように記録された表面角度の差分の最大値と最小値(D点とE点の差)を利用し、突起の鋭さを判断するが、上記[1]の判定により最大最小角度幅「θmax−θmin」が閾値P以上であったとしても、それが広範囲に渡ってなだらかに大きく形成された場合には、ツノではない可能性が高い。ここでは、図13(a)に示すようなツノと思しき突起と、図14(a)に示すような広範囲に渡ってなだらかに大きく形成されたツノではないと思われる突起を例に説明する。
まず、上記[1]と同様に、最大最小角度幅「θmax−θmin」を計測すると同時に、表面角度の差分の最大値θmaxの平面上の地点MaxPosと最小値θminの平面上の地点MinPosの差(図8で説明した検査範囲Cの長さ)、すなわち、表面角度の差分の最大値θmaxの地点と最小値θminの地点の平面上の距離「MinPos−MaxPos」を計測し、その関係性を求める。
図13(b),図14(b)はそれぞれ、図13(a),図14(a)に示す突起21,21’の基準のフィレット形状20に対する表面角度分布を示す図であり、図13(c),図14(c)は、最大最小角度幅「θmax−θmin」と最大値θmaxの地点と最小値θminの地点の平面上の距離「MinPos−MaxPos」との関係を示す図である。
図13(b),図14(b)はそれぞれ、図13(a),図14(a)に示す突起21,21’の基準のフィレット形状20に対する表面角度分布を示す図であり、図13(c),図14(c)は、最大最小角度幅「θmax−θmin」と最大値θmaxの地点と最小値θminの地点の平面上の距離「MinPos−MaxPos」との関係を示す図である。
この際、図13(a)に示すようにツノと思しき突起21の場合には、図13(c)に示す角度βが閾値Q(実験では、Q=35度とした)より大きいのに対し、図14(a)に示すようにツノではないと思われる突起21’の場合には、図14(c)に示す角度βが閾値Tより小さくなる。
そこで、(4)式を満たす場合には、ツノの可能性があると判断する。
なお、MinPos>MaxPosであるものとする。
そこで、(4)式を満たす場合には、ツノの可能性があると判断する。
なお、MinPos>MaxPosであるものとする。
ここで、(4)式により角度βを求めて閾値Qと比較するよりも、tanβ=(θmax−θmin)/(MinPos−MaxPos)を求める方が簡単であるので、(4)式の代わりに(5)式を満たす場合に、ツノの可能性があると判断する。
なお、実験では、tanQ=tan35度≒0.7により、閾値(第2の所定の値)R=0.7とした。
なお、実験では、tanQ=tan35度≒0.7により、閾値(第2の所定の値)R=0.7とした。
[3]突起の大きさ判定
上記[1],[2]に示した判定方法では、角度情報が基本となっているために、ツノではないと思われる極めて小さな突起であってもツノであると認識してしまう可能性がある。そこで、図15に示すように、突起の大きさによって非ツノかツノかを判定する境界を設定する。
上記[1],[2]に示した判定方法では、角度情報が基本となっているために、ツノではないと思われる極めて小さな突起であってもツノであると認識してしまう可能性がある。そこで、図15に示すように、突起の大きさによって非ツノかツノかを判定する境界を設定する。
この識別に用いる値は、図16に示すように、底辺を1ピクセルの距離x(mm)、角度を表面角度の差分θとした三角形の高さh(mm)を累積したもの、すなわち、1ピクセルごとの表面角度の差分θを最大値θmaxから最小値θminまで累積した値とし、その値が閾値(第3の所定の値)S(実験では、S=5とした)より大きい場合、すなわち(6)式を満たす場合に、ツノの可能性があると判断する。
なお、(6)式で求めた値(閾値Sと比較する値)は、図6の斜線部分の面積に相当するものである。
なお、(6)式で求めた値(閾値Sと比較する値)は、図6の斜線部分の面積に相当するものである。
そして、上記[1]〜[3]のすべての判定方法により、ツノの可能性があると判断された場合、すなわち(3)式、(5)式、(6)式のすべてを満たす場合に、ツノであると判定するようにすることにより、ツノではない突起までツノであると判定してしまう不具合を減らすことができる。
なお、ここでは上記[1]〜[3]のすべての判定方法を用いることとしたが、いずれか1つのみ、または2つの組合せに基づいて判定するようにしてもよい。
なお、ここでは上記[1]〜[3]のすべての判定方法を用いることとしたが、いずれか1つのみ、または2つの組合せに基づいて判定するようにしてもよい。
実験では、良品であるフィレット形状60個と、ツノがあるフィレット形状60個の、合計120個の検査対象について、この発明の実施の形態1の手法で、すなわち、フォトメトリックステレオ法による三次元形状計測を行い、上記[1]〜[3]のすべての判定方法によりツノがあるか否かを判定したところ、ツノ検出率は100%(ツノがあるフィレット形状60個すべてを「ツノ」があると判定)、過剰検出率は3.3%(良品60個中2個を「ツノ」があると誤判定)という結果であった。
なお、この実施の形態1では、三次元形状を画像処理により計測する手法として、フォトメトリックステレオ法を用いるものとして説明したが、三次元形状を取得する手法としては様々なものが知られており、他の公知の手法を用いるものであっても構わない。
以上のように、この発明の実施の形態1によれば、検査対象物における半田フィレットの三次元形状を取得して、その形状を評価することによりツノを発見するようにしたので、どの方向にできた半田ツノであっても発見することができる。
なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
1 カメラ(撮影装置)
2 照明装置
3 画像処理装置
4 プリント基板
5 部品
6 端子
7 半田フィレット
10 切り出した半田領域
11 分割ライン
20 基準のフィレット形状
21 ツノ(ツノと思しき突起)
21’ 非ツノ(ツノではないと思われる突起)
22 凹み
31 ツノ識別手段
2 照明装置
3 画像処理装置
4 プリント基板
5 部品
6 端子
7 半田フィレット
10 切り出した半田領域
11 分割ライン
20 基準のフィレット形状
21 ツノ(ツノと思しき突起)
21’ 非ツノ(ツノではないと思われる突起)
22 凹み
31 ツノ識別手段
Claims (6)
- 検査対象物における半田付け部位の外観検査を行う半田ツノ外観検査装置において、
前記半田付け部位を照明する照明装置と、前記照明装置により照明された半田付け部位を撮影する撮影装置と、前記撮影装置による撮影画像に基づいて前記検査対象物における半田フィレットの三次元形状を取得する画像処理装置とを備え、
前記画像処理装置は、
前記撮影装置から得られた平面画像から前記半田付け部位を半田領域として切り出すとともに、
前記切り出した半田領域を1ピクセル幅ごとに分割し、当該分割した領域における前記半田フィレットの形状を前記撮影装置により撮影された輝度情報から求め、前記半田フィレットに半田ツノが形成されているか否かを判定するツノ識別手段を有する
ことを特徴とする半田ツノ外観検査装置。 - 前記ツノ識別手段は、前記輝度情報から求めた半田フィレットの形状から突起を検出した場合に、前記半田ツノが形成されていない基準の半田フィレット形状に対する前記突起を含んだ半田フィレット形状の表面角度を求め、当該表面角度の最大値と最小値との差が第1の所定の値以上である場合に、半田ツノが形成されていると判定する
ことを特徴とする請求項1記載の半田ツノ外観検査装置。 - 前記ツノ識別手段は、さらに、前記表面角度の最大値と最小値との差を前記最大値の地点と最小値の地点の平面上の距離で割った値が第2の所定の値より大きい場合に、半田ツノが形成されていると判定する
ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の半田ツノ外観検査装置。 - 前記ツノ識別手段は、さらに、1ピクセルごとの前記表面角度を最大値から最小値の地点まで累積した値が第3の所定の値より大きい場合に、半田ツノが形成されていると判定する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記載の半田ツノ外観検査装置。 - 前記照明装置は、前記検査対象物のまわりに複数台の固定スポット照明器を配置したもの、または、1台のスポット照明装置のいずれかであり、
前記1台のスポット照明装置である場合には、当該スポット照明装置または前記検査対象物のいずれか一方を中心にしてもう一方を回転させ、所定の角度ごとに前記撮影装置により前記検査対象物における半田付け部位を撮影する
ことを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の半田ツノ外観検査装置。 - 前記三次元形状を取得する手法は、フォトメトリックステレオ法である
ことを特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれか1項記載の半田ツノ外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012074061A JP2013205202A (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 半田ツノ外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012074061A JP2013205202A (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 半田ツノ外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013205202A true JP2013205202A (ja) | 2013-10-07 |
Family
ID=49524428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012074061A Pending JP2013205202A (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 半田ツノ外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013205202A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015232482A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社キーエンス | 検査装置、検査方法およびプログラム |
WO2017221286A1 (ja) * | 2016-06-20 | 2017-12-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像処理装置、複製システム、及び複製方法 |
WO2018020533A1 (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像処理装置、複製システム、及び複製方法 |
JP2018200328A (ja) * | 2018-09-18 | 2018-12-20 | 株式会社キーエンス | 検査装置、検査方法およびプログラム |
JP2020079927A (ja) * | 2014-10-14 | 2020-05-28 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッドNanotronics Imaging,Inc. | 明視野暗視野対物レンズを使用する独自の斜角照明法及びそれに関連した撮像方法 |
KR20210061499A (ko) * | 2019-11-19 | 2021-05-28 | 주식회사 앤에이치씨 | 스캔 장치 |
-
2012
- 2012-03-28 JP JP2012074061A patent/JP2013205202A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015232482A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社キーエンス | 検査装置、検査方法およびプログラム |
JP2020079927A (ja) * | 2014-10-14 | 2020-05-28 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッドNanotronics Imaging,Inc. | 明視野暗視野対物レンズを使用する独自の斜角照明法及びそれに関連した撮像方法 |
US10955651B2 (en) | 2014-10-14 | 2021-03-23 | Nanotronics Imaging, Inc. | Unique oblique lighting technique using a brightfield darkfield objective and imaging method relating thereto |
JP7072892B2 (ja) | 2014-10-14 | 2022-05-23 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド | 明視野暗視野対物レンズを使用する独自の斜角照明法及びそれに関連した撮像方法 |
US11561383B2 (en) | 2014-10-14 | 2023-01-24 | Nanotronics Imaging, Inc. | Unique oblique lighting technique using a brightfield darkfield objective and imaging method relating thereto |
US11846765B2 (en) | 2014-10-14 | 2023-12-19 | Nanotronics Imaging, Inc. | Unique oblique lighting technique using a brightfield darkfield objective and imaging method relating thereto |
WO2017221286A1 (ja) * | 2016-06-20 | 2017-12-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像処理装置、複製システム、及び複製方法 |
WO2018020533A1 (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像処理装置、複製システム、及び複製方法 |
JP2018200328A (ja) * | 2018-09-18 | 2018-12-20 | 株式会社キーエンス | 検査装置、検査方法およびプログラム |
KR20210061499A (ko) * | 2019-11-19 | 2021-05-28 | 주식회사 앤에이치씨 | 스캔 장치 |
KR102257723B1 (ko) * | 2019-11-19 | 2021-06-16 | 주식회사 앤에이치씨 | 스캔 장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013205202A (ja) | 半田ツノ外観検査装置 | |
JP5672480B2 (ja) | ビードの終端部の形状を判定する装置及びその方法 | |
JPWO2016208606A1 (ja) | 表面欠陥検出装置、表面欠陥検出方法、及び鋼材の製造方法 | |
JP2016519768A (ja) | 基板の異物質検査方法 | |
JP2020008501A (ja) | 表面欠陥検出装置及び表面欠陥検出方法 | |
JP2009293999A (ja) | 木材欠陥検出装置 | |
JP7226493B2 (ja) | 架線摩耗検査方法 | |
KR20120052087A (ko) | 기판 검사방법 | |
US20100309309A1 (en) | Method for precisely detecting crack width | |
JP2010181328A (ja) | 太陽電池ウェハ表面の検査装置,太陽電池ウェハ表面の検査用プログラム,太陽電池ウェハ表面の検査方法 | |
JP5481232B2 (ja) | パンタグラフ監視装置 | |
JP5475167B1 (ja) | ワーク検出装置及びワーク検出方法 | |
JP5629478B2 (ja) | パンタグラフ監視装置 | |
JP6387909B2 (ja) | 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法 | |
JP2009236760A (ja) | 画像検出装置および検査装置 | |
JP6566903B2 (ja) | 表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置 | |
JP2010085165A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2009222676A (ja) | 線形状物検出装置、及び該線形状物検出装置に用いられる線形状物検出方法 | |
TWI753424B (zh) | 外觀檢查管理系統、外觀檢查管理裝置、外觀檢查管理方法以及程式 | |
JP2007205868A (ja) | 光学式形状検査装置及び方法 | |
JP2017096907A (ja) | ワイヤボンディング検査装置、ワイヤボンディング検査方法及びプログラム | |
JP6509146B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP5475509B2 (ja) | パンタグラフ監視装置 | |
JP5231779B2 (ja) | 外観検査装置 | |
JP2007198762A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |