JP6583119B2 - 電力変換装置 - Google Patents
電力変換装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6583119B2 JP6583119B2 JP2016084052A JP2016084052A JP6583119B2 JP 6583119 B2 JP6583119 B2 JP 6583119B2 JP 2016084052 A JP2016084052 A JP 2016084052A JP 2016084052 A JP2016084052 A JP 2016084052A JP 6583119 B2 JP6583119 B2 JP 6583119B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mosfet
- igbt
- semiconductor
- resistance
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 121
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M1/00—Details of apparatus for conversion
- H02M1/08—Circuits specially adapted for the generation of control voltages for semiconductor devices incorporated in static converters
- H02M1/088—Circuits specially adapted for the generation of control voltages for semiconductor devices incorporated in static converters for the simultaneous control of series or parallel connected semiconductor devices
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
- H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
- H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
- H02M3/10—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
- H02M3/145—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
- H02M3/155—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
- H02M3/156—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only with automatic control of output voltage or current, e.g. switching regulators
- H02M3/158—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only with automatic control of output voltage or current, e.g. switching regulators including plural semiconductor devices as final control devices for a single load
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/072—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/18—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0207—Geometrical layout of the components, e.g. computer aided design; custom LSI, semi-custom LSI, standard cell technique
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
- H01L29/1608—Silicon carbide
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/739—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals controlled by field-effect, e.g. bipolar static induction transistors [BSIT]
- H01L29/7393—Insulated gate bipolar mode transistors, i.e. IGBT; IGT; COMFET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M1/00—Details of apparatus for conversion
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M1/00—Details of apparatus for conversion
- H02M1/08—Circuits specially adapted for the generation of control voltages for semiconductor devices incorporated in static converters
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M7/00—Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
- H02M7/42—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
- H02M7/44—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters
- H02M7/48—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
- H02M7/53—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
- H02M7/537—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters
- H02M7/5387—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters in a bridge configuration
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
Description
上記半導体モジュールは、
シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
上記制御回路部は、還流電流が発生する期間に上記MOSFETをオンし、該MOSFETに上記還流電流を流すよう構成されている、電力変換装置にある。
本発明の他の態様は、半導体モジュール(1)と、該半導体モジュールの動作制御を行う制御回路部(60)とを備えた電力変換装置(6)であって、
上記半導体モジュールは、
シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
上記MOSFETにダイオード(5)を逆並列接続してあり、
上記IGBTの面積S IGBT と、上記ダイオードの面積S DI と、上記MOSFETの面積S MOS とが、以下の関係を満たすよう構成されており、
S IGBT >S DI >S MOS
上記制御回路部は、還流電流が流れる期間に、上記MOSFETをオンしないよう構成されている、電力変換装置にある。
そのため、製造コストが高い、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFETの面積を小さくすることができ、半導体モジュール全体の製造コストを低減できる。
そのため、低電流領域では、電流は、オン抵抗が低いMOSFETを主に流れることになる。したがって、低電流時の損失を低減できる。上述したように、上記半導体モジュールでは、MOSFETの面積を小さくしているが、MOSFETは上記低電流領域で主に用いられるため、面積が小さくても大きな問題は生じにくい。
なお、特許請求の範囲及び課題を解決する手段に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
上記半導体モジュールに係る実施形態について、図1〜図7を参照して説明する。図1に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、IGBT2と、MOSFET3とを備える。IGBT2は、シリコン半導体からなる。MOSFET3は、シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなる。より詳しくは、本形態のMOSFET3は、SiCからなる。
RMOSRT<RIGBTRT
また、半導体モジュール1が高電流領域AHにおいて動作し、発熱によって、上記低電流領域ALにおいて動作した場合よりも温度が高くなった(150℃:HT)状態では、MOSFET3のオン抵抗RMOSHTと、IGBT2のオン抵抗RIGBTHTとが、以下の関係を満たすことが分かる。
RIGBTHT<RMOSHT
そのため、製造コストが高い、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET3の面積を小さくすることができ、半導体モジュール1全体の製造コストを低減できる。
そのため、低電流領域ALでは、電流は、オン抵抗が低いMOSFET3を主に流れることになる。したがって、半導体モジュール1の、低電流時の損失を低減できる。上述したように、本形態では、MOSFET3の面積を小さくしているが、MOSFET3は低電流領域ALで主に用いられるため、面積が小さくても大きな問題は生じにくい。
RMOSRT<RIGBTRT
また、半導体モジュール1が高電流領域AHにおいて動作し、発熱によって温度が相対的に高くなった(150℃:HT)状態では、MOSFET3のオン抵抗RMOSHTと、IGBT2のオン抵抗RIGBTHTとが、以下の関係を満たす。
RIGBTHT<RMOSHT
つまり、高電流領域AHで動作して、半導体モジュール1の温度が高くなった場合、MOSFET3の方がIGBT2よりもオン抵抗の上昇率が高いため、MOSFET3に電流がより流れにくくなる。そのため、オン抵抗がより小さく、面積が大きいIGBT2に、電流が流れやすくなる。したがって、高電流領域AHで動作したとき、半導体モジュール1が高温になっても、面積が大きいIGBT2に電流を主に流し続けることができ、半導体モジュール1の損失が低い状態を維持できる。
本形態は、半導体モジュール1内の回路構成を変更した例である。図8に示すごとく、本形態では、MOSFET3にダイオード5を逆並列接続してある。このダイオード5は、ワイドバンドギャップ半導体(SiC)からなるショットキーバリアダイオードである。
SIGBT>SMOS>SDI
SIGBT>SMOS>SDI
そのため、ダイオード5の面積SDIを小さくすることができ、半導体モジュール1の製造コストを低減できる。また、還流電流は、ダイオード5よりも抵抗が小さいMOSFET3を流れるので、損失を低減することもできる。
このようにすると、MOSFET3に還流電流IFを流せるため、ダイオード5の面積を充分小さくすることができ、半導体モジュール1の製造コストを低減できる。また、還流電流はダイオード5よりも抵抗が小さいMOSFET3を流れるので、損失を低減することもできる。
その他、実施形態1と同様の構成および作用効果を備える。
本形態は、MOSFET3とダイオード5の面積の関係を変更した例である。図13に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、IGBT2の面積SIGBTと、ダイオード5の面積SDIと、MOSFET3の面積SMOSとが、以下の関係を満たすよう構成されている。
SIGBT>SDI>SMOS
また、本形態では、実施形態2と同様に、ダイオード5として、ワイドバンドギャップ半導体からなるショットキーバリアダイオードを用いている。
SIGBT>SDI>SMOS
そのため、製造コストが特に高い、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET3を小型化でき、半導体モジュール1の製造コストを効果的に低減することができる。
したがって、MOSFET3に還流電流IFが流れないため、MOSFET3を小型化しやすい。したがって、半導体素子1の製造コストを低減しやすい。また、上述したように本形態では、ダイオード5の面積SDIを、MOSFET3の面積SMOSよりも大きくしている。そのため、ダイオード5の抵抗を低減でき、ダイオード5に充分に還流電流IFを流すことができる。したがって、MOSFET3に還流電流IFが流れなくても大きな問題は生じにくい。
その他、実施形態2と同様の構成および作用効果を備える。
2 IGBT
3 MOSFET
4 半導体素子対
AL 低電流領域
AH 高電流領域
Claims (5)
- 半導体モジュール(1)と、該半導体モジュールの動作制御を行う制御回路部(60)とを備えた電力変換装置(6)であって、
上記半導体モジュールは、
シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
上記制御回路部は、還流電流が発生する期間に上記MOSFETをオンし、該MOSFETに上記還流電流を流すよう構成されている、電力変換装置。 - 上記MOSFETにダイオード(5)を逆並列接続してあり、
上記IGBTの面積S IGBT と、上記ダイオードの面積S DI と、上記MOSFETの面積S MOS とが、以下の関係を満たすよう構成されている、請求項1に記載の電力変換装置。
S IGBT >S MOS >S DI - 半導体モジュール(1)と、該半導体モジュールの動作制御を行う制御回路部(60)とを備えた電力変換装置(6)であって、
上記半導体モジュールは、
シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
上記MOSFETにダイオード(5)を逆並列接続してあり、
上記IGBTの面積S IGBT と、上記ダイオードの面積S DI と、上記MOSFETの面積S MOS とが、以下の関係を満たすよう構成されており、
S IGBT >S DI >S MOS
上記制御回路部は、還流電流が流れる期間に、上記MOSFETをオンしないよう構成されている、電力変換装置。 - 上記ダイオードは、上記ワイドバンドギャップ半導体からなるショットキーバリアダイオードである、請求項2又は3に記載の電力変換装置。
- 上記半導体モジュールが上記低電流領域において動作し、温度が相対的に低い状態では、上記MOSFETのオン抵抗RMOSRTと、上記IGBTのオン抵抗RIGBTRTとが以下の関係を満たし、
RMOSRT<RIGBTRT
かつ、上記高電流領域において動作し、発熱によって、上記低電流領域において動作した場合よりも温度が高くなった状態では、上記MOSFETのオン抵抗RMOSHTと、上記IGBTのオン抵抗RIGBTHTとが、以下の関係を満たすよう構成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の電力変換装置。
RIGBTHT<RMOSHT
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016084052A JP6583119B2 (ja) | 2016-04-19 | 2016-04-19 | 電力変換装置 |
DE102017108157.7A DE102017108157A1 (de) | 2016-04-19 | 2017-04-18 | Halbleitermodul und Umwandlungsgerät für elektrische Leistung |
CN201710253726.XA CN107305889A (zh) | 2016-04-19 | 2017-04-18 | 半导体模块和电力转换装置 |
US15/491,307 US10116213B2 (en) | 2016-04-19 | 2017-04-19 | Semiconductor module and electric power conversion apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016084052A JP6583119B2 (ja) | 2016-04-19 | 2016-04-19 | 電力変換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017195259A JP2017195259A (ja) | 2017-10-26 |
JP6583119B2 true JP6583119B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=59980796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016084052A Active JP6583119B2 (ja) | 2016-04-19 | 2016-04-19 | 電力変換装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10116213B2 (ja) |
JP (1) | JP6583119B2 (ja) |
CN (1) | CN107305889A (ja) |
DE (1) | DE102017108157A1 (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10097010B2 (en) * | 2016-04-19 | 2018-10-09 | Infineon Technologies Ag | Control of freewheeling voltage |
DE102016110035B4 (de) * | 2016-05-31 | 2020-09-10 | Infineon Technologies Ag | Elektrische Baugruppe, die eine bipolare Schaltvorrichtung und einen selbstleitenden Transistor mit breiter Bandlücke umfasst, und eine elektrische Baugruppe, die eine bipolare Schaltvorrichtung und einen selbstleitenden Junction-Feldeffekttransistor umfasst, der einen Halbleiterbereich aus Siliziumcarbid umfasst |
JP6988517B2 (ja) * | 2018-01-25 | 2022-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | 電力変換装置 |
CN108649772A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-10-12 | 中国科学院电工研究所 | 一种Si IGBT和SiC MOSFET的混合电力电子模块 |
JP6996539B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2022-01-17 | 株式会社デンソー | 電力変換装置 |
WO2020090788A1 (ja) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | 株式会社デンソー | 電力変換装置 |
JP7317492B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2023-07-31 | 東芝インフラシステムズ株式会社 | 半導体スイッチ回路、インバータ回路、および、チョッパ回路 |
CN109698608A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-04-30 | 江苏固德威电源科技股份有限公司 | 一种开关器件及其采用的控制方法 |
DE102019102371B4 (de) * | 2019-01-30 | 2023-07-06 | Infineon Technologies Ag | Transistoranordnung und verfahren zum betreiben einer transistoranordnung |
JP7158317B2 (ja) * | 2019-03-07 | 2022-10-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
DE102019107112B3 (de) * | 2019-03-20 | 2020-07-09 | Lisa Dräxlmaier GmbH | Schaltvorrichtung, Spannungsversorgungssystem, Verfahren zum Betreiben einer Schaltvorrichtung und Herstellverfahren |
JP2020170827A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP7056622B2 (ja) * | 2019-04-05 | 2022-04-19 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
US11057033B2 (en) * | 2019-06-25 | 2021-07-06 | Cree, Inc. | Hybrid power module |
JP7259655B2 (ja) * | 2019-09-04 | 2023-04-18 | 株式会社デンソー | パワーモジュール |
CN110634818B (zh) * | 2019-09-25 | 2021-09-24 | 湖南大学 | 一种由igbt和mosfet构成的混合功率模块的封装结构 |
CN110634817B (zh) * | 2019-09-25 | 2023-04-18 | 湖南大学 | 一种由igbt和mosfet构成的混合功率模块的封装结构 |
CN111130514B (zh) * | 2019-12-30 | 2022-04-29 | 华为数字能源技术有限公司 | 开关装置的控制方法及控制装置 |
JP7331723B2 (ja) * | 2020-02-13 | 2023-08-23 | 株式会社デンソー | モータ駆動装置 |
JP7331724B2 (ja) * | 2020-02-13 | 2023-08-23 | 株式会社デンソー | モータ駆動装置 |
CN111600490A (zh) * | 2020-05-09 | 2020-08-28 | 青岛鼎信通讯股份有限公司 | 一种应用于电力电子变压器的dab辅助回路及控制时序 |
JP7410822B2 (ja) * | 2020-08-20 | 2024-01-10 | 株式会社 日立パワーデバイス | 半導体パワーモジュールおよび半導体パワーモジュールの製造方法 |
DE102021203864A1 (de) | 2021-04-19 | 2022-10-20 | Zf Friedrichshafen Ag | Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul |
DE102021203861A1 (de) | 2021-04-19 | 2022-10-20 | Zf Friedrichshafen Ag | Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul |
DE102021203867A1 (de) | 2021-04-19 | 2022-10-20 | Zf Friedrichshafen Ag | Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul |
DE102021204518A1 (de) | 2021-05-05 | 2022-11-10 | Zf Friedrichshafen Ag | Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul |
JP2022183861A (ja) * | 2021-05-31 | 2022-12-13 | 三菱電機株式会社 | パワー半導体装置 |
JP2023006250A (ja) * | 2021-06-30 | 2023-01-18 | 富士電機株式会社 | 集積回路、及びパワーモジュール |
CN113992048A (zh) * | 2021-11-05 | 2022-01-28 | 哈尔滨工业大学(深圳) | 一种基于混合器件的anpc优化结构及控制方法 |
DE102022201435B4 (de) | 2022-02-11 | 2023-12-21 | Zf Friedrichshafen Ag | Schaltungsanordnung für einen topologischen Halbleiterschalter eines Inverters |
WO2023189052A1 (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | ローム株式会社 | 半導体モジュール |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE9502249D0 (sv) * | 1995-06-21 | 1995-06-21 | Abb Research Ltd | Converter circuitry having at least one switching device and circuit module |
DE10030875C1 (de) * | 2000-06-23 | 2002-03-07 | Compact Dynamics Gmbh | Halbbrückenbaugruppe |
JP2012234926A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP5452549B2 (ja) * | 2011-06-03 | 2014-03-26 | 三菱電機株式会社 | パワーモジュール |
JP5932269B2 (ja) * | 2011-09-08 | 2016-06-08 | 株式会社東芝 | パワー半導体モジュール及びパワー半導体モジュールの駆動方法 |
JP5805513B2 (ja) * | 2011-12-14 | 2015-11-04 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置 |
CN103855913A (zh) * | 2012-11-30 | 2014-06-11 | 通用电气公司 | 能量变换系统及其控制方法 |
JP5741565B2 (ja) * | 2012-12-25 | 2015-07-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体モジュール |
JP6065744B2 (ja) | 2013-05-20 | 2017-01-25 | 株式会社デンソー | 半導体モジュール |
WO2016000840A1 (en) * | 2014-07-04 | 2016-01-07 | Abb Technology Ag | Power semiconductor module |
US9397657B1 (en) * | 2014-07-24 | 2016-07-19 | Eaton Corporation | Methods and systems for operating hybrid power devices using multiple current-dependent switching patterns |
-
2016
- 2016-04-19 JP JP2016084052A patent/JP6583119B2/ja active Active
-
2017
- 2017-04-18 DE DE102017108157.7A patent/DE102017108157A1/de active Pending
- 2017-04-18 CN CN201710253726.XA patent/CN107305889A/zh active Pending
- 2017-04-19 US US15/491,307 patent/US10116213B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017195259A (ja) | 2017-10-26 |
US20170302182A1 (en) | 2017-10-19 |
DE102017108157A1 (de) | 2017-10-19 |
US10116213B2 (en) | 2018-10-30 |
CN107305889A (zh) | 2017-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6583119B2 (ja) | 電力変換装置 | |
US9041456B2 (en) | Power semiconductor device | |
JP5805513B2 (ja) | 電力用半導体装置 | |
US9171837B2 (en) | Cascode circuit | |
CN103633077B (zh) | 功率模块 | |
US10090761B2 (en) | Power conversion apparatus | |
JP2018157712A (ja) | 電力変換装置 | |
JPWO2018143429A1 (ja) | 電力用半導体モジュールおよび電力変換装置 | |
JP2010238835A (ja) | 複合半導体整流素子とそれを用いた電力変換装置 | |
JP6652802B2 (ja) | 半導体装置、および当該半導体装置を備えるインバータ装置 | |
JP2015149508A (ja) | 電力用半導体装置 | |
JP2018107494A (ja) | 半導体装置及びインバータシステム | |
JP2013192297A (ja) | 電力変換装置 | |
WO2020203001A1 (ja) | 半導体モジュール | |
JP6820825B2 (ja) | 半導体装置及びその駆動方法 | |
US10439606B2 (en) | Semiconductor module | |
JP2013222905A (ja) | 半導体装置および電子機器 | |
JP2010172078A (ja) | スイッチ回路 | |
JP5832845B2 (ja) | 半導体モジュール及び電力変換モジュール | |
JP6641782B2 (ja) | 電力変換装置 | |
JP2009219264A (ja) | ゲート駆動回路 | |
JP2015201947A (ja) | パワー半導体デバイス | |
JP6702852B2 (ja) | パワーコントロールユニット | |
JP7550730B2 (ja) | 半導体装置、半導体モジュール、及び、電力変換装置 | |
JP2019122116A (ja) | 電力変換装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190510 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190819 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6583119 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |