JP6583119B2 - 電力変換装置 - Google Patents

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Description

本発明は、半導体素子を内蔵した半導体モジュールを用いた電力変換装置に関する。
従来から、電力変換装置等に用いられる半導体モジュールが知られている(下記特許文献1参照)。この半導体モジュールは、例えば、シリコン半導体からなるIGBTを内蔵している。上記電力変換装置は、上記IGBTをスイッチング動作させることにより、電力変換を行うよう構成されている。
近年、損失が低い半導体モジュールの要求が高まっている。そのため、シリコン半導体からなるIGBTと、SiCやGaN等のワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFETとを並列接続することが検討されている。IGBTは、拡散電位が存在するため、比較的電流が少ない領域ではオン抵抗が大きいが、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFETは、拡散電位が無いためオン抵抗が低い。そのため、上記IGBTとMOSFETとを並列接続すれば、半導体モジュールの損失を低減できると考えられる。損失を更に低減するためには、上記MOSFETのチップ面積を大きくすればよいと考えられる。
特開2014−229642公報
しかしながら、ワイドバンドギャップ半導体はコストが高いため、MOSFETのチップ面積を大きくすると、半導体モジュールの製造コストが上昇する。また、高い電流が流れる領域では、IGBTのバイポーラ効果が顕著になり、IGBTのオン抵抗が低減する。そのため、高い電流が流れる領域では、MOSFETの拡散電位レスによるオン抵抗の低減効果が、相対的に低下する。したがって、チップ面積の大きなMOSFETを用いると、高い電流を流したときの損失低減効果を充分に発揮しにくい。
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、製造コストを低減でき、より損失を低減できる半導体モジュールを用いた電力変換装置を提供しようとするものである。
本発明の一態様は、半導体モジュール(1)と、該半導体モジュールの動作制御を行う制御回路部(60)とを備えた電力変換装置(6)であって、
上記半導体モジュールは、
シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
上記制御回路部は、還流電流が発生する期間に上記MOSFETをオンし、該MOSFETに上記還流電流を流すよう構成されている、電力変換装置にある。
本発明の他の態様は、半導体モジュール(1)と、該半導体モジュールの動作制御を行う制御回路部(60)とを備えた電力変換装置(6)であって、
上記半導体モジュールは、
シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
上記MOSFETにダイオード(5)を逆並列接続してあり、
上記IGBTの面積S IGBT と、上記ダイオードの面積S DI と、上記MOSFETの面積S MOS とが、以下の関係を満たすよう構成されており
IGBT >S DI >S MOS
上記制御回路部は、還流電流が流れる期間に、上記MOSFETをオンしないよう構成されている、電力変換装置にある。
上記半導体モジュールは、シリコン半導体からなるIGBTと、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFETとを並列接続してある。そして、IGBTの面積を、MOSFETの面積よりも大きくしてある。
そのため、製造コストが高い、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFETの面積を小さくすることができ、半導体モジュール全体の製造コストを低減できる。
また、上記半導体モジュールは、上記低電流領域と上記高電流領域との、2つの領域にわたって動作するよう構成されている。低電流領域では、MOSFETの方がIGBTよりもオン抵抗が低く、高電流領域では、IGBTの方がMOSFETよりもオン抵抗が低い。
そのため、低電流領域では、電流は、オン抵抗が低いMOSFETを主に流れることになる。したがって、低電流時の損失を低減できる。上述したように、上記半導体モジュールでは、MOSFETの面積を小さくしているが、MOSFETは上記低電流領域で主に用いられるため、面積が小さくても大きな問題は生じにくい。
また、高電流領域では、電流は、オン抵抗が低いIGBTを主に流れることになる。また、上述したように、本態様ではIGBTの面積を大きくしているため、IGBTに高い電流を流しやすい。そのため、高電流が流れるときにおける、半導体モジュールの損失を低減できる。
このように、上記構成にすることにより、低電流領域と高電流領域とのそれぞれにおいて、オン抵抗が小さい素子に電流を主に流すことができる。そのため、広い電流範囲にわたって、半導体モジュールの損失を低減することができる。
以上のごとく、本態様によれば、製造コストを低減でき、より損失を低減できる半導体モジュールを用いた電力変換装置を提供することができる。
なお、特許請求の範囲及び課題を解決する手段に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
実施形態1における、半導体モジュールの概念図。 実施形態1における、半導体モジュールの一部透視平面図。 実施形態1における、室温での、IGBT及びMOSFETの、電流電圧特性を表したグラフ。 実施形態1における、高温での、IGBT及びMOSFETの、電流電圧特性を表したグラフ。 図3と図4を合せたグラフ。 実施形態1における、電力変換装置の回路図。 実施形態1における、上アームと下アームとを備える、半導体モジュールの概念図。 実施形態2における、半導体モジュールの概念図。 実施形態2における、半導体モジュールの一部透視平面図。 実施形態2における、電力変換装置のタイミング図。 実施形態2における、上アームのIGBT及びMOSFETをオンしたときの、電力変換装置の一部の回路図。 実施形態2における、下アームに還流電流が流れているときの、電力変換装置の一部の回路図。 実施形態3における、半導体モジュールの一部透視平面図。 実施形態3における、電力変換装置のタイミング図。 実施形態3における、上アームのIGBT及びMOSFETをオンしたときの、電力変換装置の一部の回路図。 実施形態3における、下アームに還流電流が流れているときの、電力変換装置の一部の回路図。
上記半導体モジュールは、電気自動車やハイブリッド車等に搭載するための、車載用電力変換装置に用いることができる。
(実施形態1)
上記半導体モジュールに係る実施形態について、図1〜図7を参照して説明する。図1に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、IGBT2と、MOSFET3とを備える。IGBT2は、シリコン半導体からなる。MOSFET3は、シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなる。より詳しくは、本形態のMOSFET3は、SiCからなる。
図1に示すごとく、本形態では、IGBT2とMOSFET3とを互いに並列に接続して半導体素子対4を形成してある。また、図2に示すごとく、IGBT2の方がMOSFET3よりも面積が大きい。
図3に示すごとく、半導体モジュール1は、半導体素子対4に流れる電流が相対的に低い低電流領域ALと、該低電流領域ALよりも半導体素子対4に流れる電流が高い高電流領域AHとの、2つの領域AL,AHにわたって動作するよう構成されている。低電流領域ALでは、MOSFET3の方がIGBT2よりもオン抵抗が低い。また、高電流領域AHでは、IGBT2の方がMOSFET3よりもオン抵抗が低い。
本形態の半導体モジュール1は、図6に示すごとく、電力変換装置6に用いられる。この電力変換装置6は、ハイブリッド車や電気自動車等の車両に搭載するための、車載用電力変換装置である。
図2に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、IGBT2及びMOSFET3を内蔵した本体部10と、該本体部10から突出した一対のパワー端子11a,11bと、複数の制御端子12とを備える。図1に示すごとく、一対のパワー端子11a,11bのうち一方のパワー端子11aは、IGBT2のコレクタ及びMOSFET3のドレインに接続している。他方のパワー端子11bは、IGBT2のエミッタ及びMOSFET3のソースに接続している。また、一部の制御端子12は、IGBT2及びMOSFET3のゲートに接続している。この制御端子12を介して、IGBT2及びMOSFET3のゲートに電圧を加えるよう構成されている。
図3に、室温(25℃)における、IGBT2及びMOSFET3の、電流電圧特性を示す。図3のグラフは、IGBT2及びMOSFET3のゲートに一定の電圧を加えた状態で、コレクタ−エミッタ間、又はドレイン−ソース間に加わる電圧と、これらの間に流れる電流との関係を調べたものである。このグラフから、MOSFET3は、電流が高くなるに従って、ドレイン-ソース間電圧Vdsが一定の傾きで上昇することが分かる。すなわち、MOSFET3は、ドレイン電流Idにかかわらず、オン抵抗が一定であることが分かる。
これに対して、IGBT2のコレクタ電流Icは、コレクタ−エミッタ間電圧Vceがある高さに達すると、急に上昇することが分かる。つまり、IGBT2は、オン抵抗が一定でなく、コレクタ−エミッタ間電圧Vceがある高さに達すると、急に低下することが分かる。
したがって、半導体モジュール1全体に流れる電流が相対的に低い低電流領域ALでは、MOSFET3の方が、オン抵抗が小さい。また、低電流領域AHより高い電流が流れる高電流領域AHでは、IGBT2の方が、オン抵抗が小さい。
一方、図4に示すごとく、IGBT2及びMOSFET3は、温度が上昇すると、オン抵抗が上昇する。IGBT2は、温度上昇に伴うオン抵抗の上昇率が比較的小さい。これに対して、MOSFET3は、温度上昇に伴うオン抵抗の上昇率が、IGBT2よりも高い。つまり、MOSFET3は、温度が上昇すると、オン抵抗が急に高くなる。
図5に、図3と図4とを重ねたグラフを示す。同図から、半導体モジュール1が低電流領域ALにおいて動作し、温度が相対的に低い状態(グラフでは室温:25℃)では、MOSFET3のオン抵抗RMOSRTと、IGBT2のオン抵抗RIGBTRTとが以下の関係を満たすことが分かる。
MOSRT<RIGBTRT
また、半導体モジュール1が高電流領域AHにおいて動作し、発熱によって、上記低電流領域ALにおいて動作した場合よりも温度が高くなった(150℃:HT)状態では、MOSFET3のオン抵抗RMOSHTと、IGBT2のオン抵抗RIGBTHTとが、以下の関係を満たすことが分かる。
IGBTHT<RMOSHT
次に、上記電力変換装置6の説明をする。図6に示すごとく、本形態では、複数の半導体モジュール1を用いて、電力変換装置6を構成してある。個々の半導体モジュール1は、IGBT2とMOSFET3とを備える。また、電力変換装置6は、平滑用のコンデンサ19と、制御回路部60とを備える。この制御回路部60によって、IGBT2及びMOSFET3をスイッチング動作させている。これにより、直流電源8から供給される直流電力を交流電力に変換し、交流負荷80を駆動している。これによって、上記車両を走行させている。
図6に示すごとく、個々のMOSFET3には、ボディダイオード30が形成されている。IGBT2やMOSFET3をスイッチング動作させると、交流負荷80のインダクタンスの影響を受けて、ボディダイオード30に還流電流が流れる。
本形態の作用効果について説明する。図1に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、シリコン半導体からなるIGBT2と、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET3とを並列接続してある。そして、図2に示すごとく、IGBT2の面積を、MOSFET3の面積よりも大きくしてある。
そのため、製造コストが高い、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET3の面積を小さくすることができ、半導体モジュール1全体の製造コストを低減できる。
また、図3に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、低電流領域ALと高電流領域AHとの、2つの領域にわたって動作するよう構成されている。低電流領域ALでは、MOSFET3の方がIGBT2よりもオン抵抗が低く、高電流領域AHでは、IGBTの方がMOSFETよりもオン抵抗が低い。
そのため、低電流領域ALでは、電流は、オン抵抗が低いMOSFET3を主に流れることになる。したがって、半導体モジュール1の、低電流時の損失を低減できる。上述したように、本形態では、MOSFET3の面積を小さくしているが、MOSFET3は低電流領域ALで主に用いられるため、面積が小さくても大きな問題は生じにくい。
また、高電流領域AHでは、電流は、オン抵抗が低いIGBT2を主に流れることになる。上述したように、本形態ではIGBT2の面積を大きくしているため、IGBT2に高い電流を流しやすい。そのため、高電流が流れるときにおける、半導体モジュール1の損失を低減できる。
このように、上記構成を採用することにより、低電流領域ALと高電流領域AHとのそれぞれにおいて、オン抵抗が小さい素子に電流を主に流すことができる。そのため、広い電流範囲にわたって、半導体モジュール1の損失を低減することができる。
また、本形態では、図5に示すごとく、半導体モジュール1が低電流領域ALにおいて動作し、温度が相対的に低い状態(グラフでは室温:25℃)では、MOSFET3のオン抵抗RMOSRTと、IGBT2のオン抵抗RIGBTRTとが以下の関係を満たす。
MOSRT<RIGBTRT
また、半導体モジュール1が高電流領域AHにおいて動作し、発熱によって温度が相対的に高くなった(150℃:HT)状態では、MOSFET3のオン抵抗RMOSHTと、IGBT2のオン抵抗RIGBTHTとが、以下の関係を満たす。
IGBTHT<RMOSHT
つまり、高電流領域AHで動作して、半導体モジュール1の温度が高くなった場合、MOSFET3の方がIGBT2よりもオン抵抗の上昇率が高いため、MOSFET3に電流がより流れにくくなる。そのため、オン抵抗がより小さく、面積が大きいIGBT2に、電流が流れやすくなる。したがって、高電流領域AHで動作したとき、半導体モジュール1が高温になっても、面積が大きいIGBT2に電流を主に流し続けることができ、半導体モジュール1の損失が低い状態を維持できる。
以上のごとく、本態様によれば、製造コストを低減でき、より損失を低減できる半導体モジュールを提供することができる。
なお、本形態では、MOSFET3を構成するワイドバンドギャップ半導体としてSiCを用いたが、本発明はこれに限るものではなく、GaNやダイヤモンド等を用いることもできる。
また、図1に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、IGBT2とMOSFET3をそれぞれ1個内蔵しているが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、図7に示すごとく、IGBT2とMOSFET3をそれぞれ2個内蔵し、上アームと下アームとにおいて、それぞれ、IGBT2及びMOSFET3を並列接続してもよい。
以下の実施形態においては、図面に用いた符号のうち、実施形態1において用いた符号と同一のものは、特に記さない限り、実施形態1と同様の構成要素等を表す。
(実施形態2)
本形態は、半導体モジュール1内の回路構成を変更した例である。図8に示すごとく、本形態では、MOSFET3にダイオード5を逆並列接続してある。このダイオード5は、ワイドバンドギャップ半導体(SiC)からなるショットキーバリアダイオードである。
図9に示すごとく、本形態では、IGBT2の面積SIGBTと、MOSFET3の面積SMOSと、ダイオード5の面積SDIとが、以下の関係を満たす。
IGBT>SMOS>SDI
また、本形態では、実施形態1と同様に、半導体モジュール1を用いて、電力変換装置1(図6参照)を構成してある。この電力変換装置1の一部の回路図を、図11、図12に示す。図11に示すごとく、例えば上アームの半導体素子1Hをオンすると、電流がIGBT2及びMOSFET3を流れ、交流負荷80に流れる。その後、図12に示すごとく、上アームの半導体素子1Hをオフすると、交流負荷80のインダクタンスの影響により、下アームのダイオード5Lに還流電流IFが流れる。また、下アームのボディダイオード30Lにも、僅かに還流電流IFが流れる。本形態では、還流電流IFが発生するときに、MOSFET3(図では下アームのMOSFET3L)をオンする。これにより、還流電流IFをMOSFET3に流すよう構成してある。
図10に、電力変換装置1のタイミング図の一部を示す。同図に示すごとく、上アームのIGBT2H及びMOSFET3Hを所定期間(t0〜t1、t4〜t5)オンすると、その期間、電流IH(図11参照)が流れる。また、例えば時刻t1においてIGBT2H及びMOSFET3Hをオフし、所定時間が経過した後、時刻t2において、下アームのMOSFET3Lをオンする。さらに、時刻t3においてMOSFET3Lをオフし、所定時間経過した後、時刻t4において、上アームのIGBT2H、及びMOSFET3Hを再びオンする。このような動作を繰り返す。これらのオンオフ動作は、上記制御回路部60(図6参照)によって制御される。
t1〜t2、t3〜t4の間(デッドタイム)は、還流電流IFは、主にダイオード5を流れる。また、時刻t2〜t3の間は、下アームのMOSFET3Lがオンしているため、還流電流IFは、オン抵抗が小さいMOSFET3Lを主に流れる。
本形態の作用効果について説明する。本形態では、図8に示すごとく、MOSFET3にダイオード5を逆並列接続してある。そのため、還流電流IFを低抵抗でより多く流すことが可能になる。すなわち、MOSFET3のボディダイオード30に流すことができる電流の量は少ない。そのため、実施形態1(図1参照)のように、ダイオード5を設けないことも可能であるが、この場合、充分な量の還流電流IFを流すと、抵抗値が高いため、損失が増えることが考えられる。これに対して、本形態のように別部品のダイオード5を設ければ、還流電流IFを充分に流すことが可能になる。
また、本形態では、ダイオード5を、ワイドバンドギャップ半導体からなるショットキーバリアダイオードとしている。ショットキーバリアダイオードは、リカバリ電流が流れない。そのため、ショットキーバリアダイオードを用いることにより、リカバリ損失を低減することが可能になる。
また、本形態では、低損失を目的にMOSFETにも積極的に還流電流を流すため、IGBT2の面積SIGBTと、MOSFET3の面積SMOSと、ダイオード5の面積SDIとが以下の関係を満たすよう構成してある。
IGBT>SMOS>SDI
そのため、ダイオード5の面積SDIを小さくすることができ、半導体モジュール1の製造コストを低減できる。また、還流電流は、ダイオード5よりも抵抗が小さいMOSFET3を流れるので、損失を低減することもできる。
また、本形態の制御回路部60(図6参照)は、還流電流が流れる期間に、MOSFET3をオンして、該MOSFET3に還流電流が流れるよう構成してある。
このようにすると、MOSFET3に還流電流IFを流せるため、ダイオード5の面積を充分小さくすることができ、半導体モジュール1の製造コストを低減できる。また、還流電流はダイオード5よりも抵抗が小さいMOSFET3を流れるので、損失を低減することもできる。
その他、実施形態1と同様の構成および作用効果を備える。
(実施形態3)
本形態は、MOSFET3とダイオード5の面積の関係を変更した例である。図13に示すごとく、本形態の半導体モジュール1は、IGBT2の面積SIGBTと、ダイオード5の面積SDIと、MOSFET3の面積SMOSとが、以下の関係を満たすよう構成されている。
IGBT>SDI>SMOS
また、本形態では、実施形態2と同様に、ダイオード5として、ワイドバンドギャップ半導体からなるショットキーバリアダイオードを用いている。
また、本形態では、実施形態1、2と同様に、半導体モジュール1を用いて電力変換装置6を構成してある(図6参照)。図15、図16に、電力変換装置6の一部の回路図を示す。図15に示すごとく、例えば上アームのIGBT2H及びMOSFET3Hをオンすると、電流IHがこれらの素子を流れ、交流負荷80に流れる。その後、図16に示すごとく、上アームのIGBT2H、及びMOSFET3Hをオフすると、還流電流IFが流れる。本形態の制御回路部6(図6参照)は、還流電流IFが流れる期間は、MOSFET3をオンしないよう構成されている。そのため、還流電流IFは、ダイオード5Lに主に流れる。また、還流電流IFの一部は、ボディダイオード30Lにも流れる。
次に、図14に、電力変換装置6のタイミング図の一部を示す。同図に示すごとく、上アームのIGBT2H及びMOSFET3Hをオンすると、この期間(t0〜t1、t4〜t5)は、電流IH(図15参照)が流れる。また、上アームのIGBT2H及びMOSFET3Hがオフしている期間(t1〜t4、t5〜t8)は、下アームのMOSFET3Lはオンされない。そのため、還流電流IFはMOSFET3Lには流れず、主にダイオード5Lに流れる。
本形態の作用効果について説明する。本形態では、図13に示すごとく、IGBT2の面積SIGBTと、ダイオード5の面積SDIと、MOSFET3の面積SMOSとが、以下の関係を満たすよう構成されている。
IGBT>SDI>SMOS
そのため、製造コストが特に高い、ワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET3を小型化でき、半導体モジュール1の製造コストを効果的に低減することができる。
また、本形態の制御回路部60は、還流電流IFが流れている期間は、MOSFET3をオンしないよう構成されている。
したがって、MOSFET3に還流電流IFが流れないため、MOSFET3を小型化しやすい。したがって、半導体素子1の製造コストを低減しやすい。また、上述したように本形態では、ダイオード5の面積SDIを、MOSFET3の面積SMOSよりも大きくしている。そのため、ダイオード5の抵抗を低減でき、ダイオード5に充分に還流電流IFを流すことができる。したがって、MOSFET3に還流電流IFが流れなくても大きな問題は生じにくい。
その他、実施形態2と同様の構成および作用効果を備える。
1 半導体モジュール
2 IGBT
3 MOSFET
4 半導体素子対
L 低電流領域
H 高電流領域

Claims (5)

  1. 半導体モジュール(1)と、該半導体モジュールの動作制御を行う制御回路部(60)とを備えた電力変換装置(6)であって、
    上記半導体モジュールは、
    シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
    上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
    上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
    上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
    上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
    上記制御回路部は、還流電流が発生する期間に上記MOSFETをオンし、該MOSFETに上記還流電流を流すよう構成されている、電力変換装置
  2. 上記MOSFETにダイオード(5)を逆並列接続してあり、
    上記IGBTの面積S IGBT と、上記ダイオードの面積S DI と、上記MOSFETの面積S MOS とが、以下の関係を満たすよう構成されている、請求項1に記載の電力変換装置。
    IGBT >S MOS >S DI
  3. 半導体モジュール(1)と、該半導体モジュールの動作制御を行う制御回路部(60)とを備えた電力変換装置(6)であって、
    上記半導体モジュールは、
    シリコン半導体からなるIGBT(2)と、
    上記シリコン半導体よりもバンドギャップが広いワイドバンドギャップ半導体からなるMOSFET(3)とを備え、
    上記IGBTと上記MOSFETとを互いに並列に接続して半導体素子対(4)を形成してあり、
    上記IGBTの方が上記MOSFETよりも面積が大きく、
    上記MOSFETの方が上記IGBTよりもオン抵抗が小さく、上記半導体素子対に流れる電流が相対的に低い低電流領域(AL)と、上記IGBTの方が上記MOSFETよりもオン抵抗が小さく、上記低電流領域よりも上記半導体素子対に流れる電流が高い高電流領域(AH)との、2つの領域にわたって動作するよう構成されており、
    上記MOSFETにダイオード(5)を逆並列接続してあり、
    上記IGBTの面積S IGBT と、上記ダイオードの面積S DI と、上記MOSFETの面積S MOS とが、以下の関係を満たすよう構成されており
    IGBT >S DI >S MOS
    上記制御回路部は、還流電流が流れる期間に、上記MOSFETをオンしないよう構成されている、電力変換装置
  4. 上記ダイオードは、上記ワイドバンドギャップ半導体からなるショットキーバリアダイオードである、請求項2又は3に記載の電力変換装置
  5. 上記半導体モジュールが上記低電流領域において動作し、温度が相対的に低い状態では、上記MOSFETのオン抵抗RMOSRTと、上記IGBTのオン抵抗RIGBTRTとが以下の関係を満たし、
    MOSRT<RIGBTRT
    かつ、上記高電流領域において動作し、発熱によって、上記低電流領域において動作した場合よりも温度が高くなった状態では、上記MOSFETのオン抵抗RMOSHTと、上記IGBTのオン抵抗RIGBTHTとが、以下の関係を満たすよう構成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の電力変換装置
    IGBTHT<RMOSHT
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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10097010B2 (en) * 2016-04-19 2018-10-09 Infineon Technologies Ag Control of freewheeling voltage
DE102016110035B4 (de) * 2016-05-31 2020-09-10 Infineon Technologies Ag Elektrische Baugruppe, die eine bipolare Schaltvorrichtung und einen selbstleitenden Transistor mit breiter Bandlücke umfasst, und eine elektrische Baugruppe, die eine bipolare Schaltvorrichtung und einen selbstleitenden Junction-Feldeffekttransistor umfasst, der einen Halbleiterbereich aus Siliziumcarbid umfasst
JP6988517B2 (ja) * 2018-01-25 2022-01-05 トヨタ自動車株式会社 電力変換装置
CN108649772A (zh) * 2018-03-27 2018-10-12 中国科学院电工研究所 一种Si IGBT和SiC MOSFET的混合电力电子模块
JP6996539B2 (ja) * 2018-11-02 2022-01-17 株式会社デンソー 電力変換装置
WO2020090788A1 (ja) * 2018-11-02 2020-05-07 株式会社デンソー 電力変換装置
JP7317492B2 (ja) * 2018-11-16 2023-07-31 東芝インフラシステムズ株式会社 半導体スイッチ回路、インバータ回路、および、チョッパ回路
CN109698608A (zh) * 2018-12-21 2019-04-30 江苏固德威电源科技股份有限公司 一种开关器件及其采用的控制方法
DE102019102371B4 (de) * 2019-01-30 2023-07-06 Infineon Technologies Ag Transistoranordnung und verfahren zum betreiben einer transistoranordnung
JP7158317B2 (ja) * 2019-03-07 2022-10-21 三菱電機株式会社 半導体装置
DE102019107112B3 (de) * 2019-03-20 2020-07-09 Lisa Dräxlmaier GmbH Schaltvorrichtung, Spannungsversorgungssystem, Verfahren zum Betreiben einer Schaltvorrichtung und Herstellverfahren
JP7056622B2 (ja) * 2019-04-05 2022-04-19 株式会社デンソー 半導体装置
JP2020170827A (ja) * 2019-04-05 2020-10-15 株式会社デンソー 半導体装置
US11057033B2 (en) * 2019-06-25 2021-07-06 Cree, Inc. Hybrid power module
JP7259655B2 (ja) * 2019-09-04 2023-04-18 株式会社デンソー パワーモジュール
CN110634818B (zh) * 2019-09-25 2021-09-24 湖南大学 一种由igbt和mosfet构成的混合功率模块的封装结构
CN110634817B (zh) * 2019-09-25 2023-04-18 湖南大学 一种由igbt和mosfet构成的混合功率模块的封装结构
CN111130514B (zh) * 2019-12-30 2022-04-29 华为数字能源技术有限公司 开关装置的控制方法及控制装置
JP7331724B2 (ja) * 2020-02-13 2023-08-23 株式会社デンソー モータ駆動装置
JP7331723B2 (ja) * 2020-02-13 2023-08-23 株式会社デンソー モータ駆動装置
CN111600490A (zh) * 2020-05-09 2020-08-28 青岛鼎信通讯股份有限公司 一种应用于电力电子变压器的dab辅助回路及控制时序
JP7410822B2 (ja) * 2020-08-20 2024-01-10 株式会社 日立パワーデバイス 半導体パワーモジュールおよび半導体パワーモジュールの製造方法
DE102021203864A1 (de) 2021-04-19 2022-10-20 Zf Friedrichshafen Ag Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul
DE102021203867A1 (de) 2021-04-19 2022-10-20 Zf Friedrichshafen Ag Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul
DE102021203861A1 (de) 2021-04-19 2022-10-20 Zf Friedrichshafen Ag Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul
DE102021204518A1 (de) 2021-05-05 2022-11-10 Zf Friedrichshafen Ag Schaltungsanordnung für parallel geschaltete Leistungshalbleiter, sowie Elektronikmodul
JP2022183861A (ja) * 2021-05-31 2022-12-13 三菱電機株式会社 パワー半導体装置
JP2023006250A (ja) * 2021-06-30 2023-01-18 富士電機株式会社 集積回路、及びパワーモジュール
CN113992048A (zh) * 2021-11-05 2022-01-28 哈尔滨工业大学(深圳) 一种基于混合器件的anpc优化结构及控制方法
DE102022201435B4 (de) 2022-02-11 2023-12-21 Zf Friedrichshafen Ag Schaltungsanordnung für einen topologischen Halbleiterschalter eines Inverters
WO2023189052A1 (ja) * 2022-03-31 2023-10-05 ローム株式会社 半導体モジュール

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9502249D0 (sv) * 1995-06-21 1995-06-21 Abb Research Ltd Converter circuitry having at least one switching device and circuit module
DE10030875C1 (de) * 2000-06-23 2002-03-07 Compact Dynamics Gmbh Halbbrückenbaugruppe
JP2012234926A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Sanken Electric Co Ltd 半導体装置
JP5452549B2 (ja) * 2011-06-03 2014-03-26 三菱電機株式会社 パワーモジュール
JP5932269B2 (ja) * 2011-09-08 2016-06-08 株式会社東芝 パワー半導体モジュール及びパワー半導体モジュールの駆動方法
JP5805513B2 (ja) * 2011-12-14 2015-11-04 三菱電機株式会社 電力用半導体装置
CN103855913A (zh) * 2012-11-30 2014-06-11 通用电气公司 能量变换系统及其控制方法
JP5741565B2 (ja) * 2012-12-25 2015-07-01 三菱電機株式会社 半導体モジュール
JP6065744B2 (ja) * 2013-05-20 2017-01-25 株式会社デンソー 半導体モジュール
WO2016000840A1 (en) * 2014-07-04 2016-01-07 Abb Technology Ag Power semiconductor module
US9397657B1 (en) * 2014-07-24 2016-07-19 Eaton Corporation Methods and systems for operating hybrid power devices using multiple current-dependent switching patterns

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