JP6555247B2 - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、高輝度で良好な輝度分布を得るために、p型半導体層及び発光層から露出したn型半導体層に接続されるn型電極を、絶縁膜を介してp型半導体層上に配置する構造の発光素子が知られている(例えば、特許文献1)。
(1)上面に配線パターンを有する基板と、該基板の前記配線パターン上にバンプを介してフリップチップ実装される発光素子と、前記発光素子、前記バンプ及び前記基板を被覆する被覆部材とを備える発光装置であって、
前記発光素子は、第1半導体層、発光層及び第2半導体層を順に有し、かつ前記第2半導体層の上面側に前記第2半導体層から前記第1半導体層が露出する複数の露出部を有する半導体積層体と、該半導体積層体を覆うととともに、複数の前記露出部の上方に開口部を有する絶縁膜と、前記開口部にて前記露出部と接続され、かつ一部が前記絶縁膜を介して前記第2半導体層上に配置された第1電極と、前記第2半導体層上に接続された第2電極とを備え、
前記バンプは、前記第1電極と接合される第1バンプと、前記第2電極と接合される第2バンプとを含み、
平面視において、前記第1バンプは、前記露出部と離間し、かつ平面積が異なる2種を有する発光装置。
(2)上面に配線パターンを有する基板を準備する工程と、前記配線パターン上に発光素子を接合するためのバンプを形成する工程と、前記バンプ上に発光素子をフリップチップ実装する工程と、前記発光素子及び前記バンプの側面を被覆する被覆部材を形成工程とを有し、
前記バンプは、前記発光素子の第1電極と接合される第1バンプと、前記発光素子の第2電極と接合される第2バンプとを含み、
平面視において、前記第1バンプは平面積が異なる2種を有することを特徴とする発光装置の製造方法。
本実施形態に係る発光装置10は、図1A及び1Bに示すように、基板11と、発光素子20と、被覆部材13とを備える。
基板11は、図1B、4A、4Bに示すように、その上面に配線パターン14を有する。配線パターン14の上には、第1バンプ15及び第2バンプ16が配置されており、これらの第1バンプ15及び第2バンプ16を介して発光素子12が基板11の配線パターン14上にフリップチップ実装されている。さらに、基板11上には、発光素子20、第1バンプ15及び第2バンプ16を被覆する被覆部材13が配置されている。
バンプは、第1電極25と接合される第1バンプ15と、第2電極26と接合される第2バンプ16とを含み、平面視において、第1バンプ15は、露出部21aと離間し、かつ平面積が異なる2種を有する。
また、バンプを発光素子の直下に高密度に配置することにより、発光素子の発光によって発生する熱をバンプを介して基板側から逃がす経路を増大させることができる。また、バンプの高密度の配置によって、発光素子及びバンプの側面を覆う被覆部材を基板上に形成する際に、発光素子と基板との間を、被覆部材を形成する未硬化の樹脂材料が流動しやすくなり、発光素子の直下におけるボイド等の発生を抑制することができる。その結果、発光素子の下面からの光漏れを回避することができるとともに、発光装置の周辺の温度変化に伴うボイドの膨張により発光素子の基板からの剥がれを効果的に抑制することができ、より高品質の発光装置を提供することができる。
基板11は、上面に配線パターン14を有し、配線パターン14上に発光素子20がバンプ14、15を介してフリップチップ実装される。基板の材料としては、例えば、ガラスエポキシ、樹脂、セラミックスなどの絶縁性部材、表面に絶縁性部材を形成した金属部材等が挙げられる。なかでも、基板の材料は、耐熱性及び耐候性の高いセラミックスを利用したものが好ましい。セラミックス材料としては、アルミナ、窒化アルミニウムなどが挙げられる。
基板11は、その上面に、複数の配線パターン14を有する。
配線パターン14は、基板11の上面に正負一対のパターンを有していることが好ましい。このような配線パターンによって、後述する発光素子における第1の半導体積層体の第1電極と、第2の半導体積層体の第2電極とをフリップチップ実装により接続することができる。配線パターン14は、基板11の上面のみならず、内部及び/又は下面に配置されていてもよい。
配線パターン14は上面に、後述する発光素子をフリップ実装するために、発光素子の第1電極と接続される第1バンプ15と、第2電極と接続するための第2バンプ16とを備える。これらのバンプは、それぞれ複数配置される。本実施形態では、第1バンプ15は、図4Bに示すように、互いに平面積が異なる2種のバンプを含む。バンプの平面視形状は、例えば、円形又は略円形等が挙げられる。互いに平面積が異なる2種の第1バンプは、例えば、第1大バンプ15Bと、第1大バンプ15Bよりも平面積が小さい第1小バンプ15Sを含む。第2バンプ16は、第1バンプ15と異なる大きさでもよいが、第1大バンプ15Bと同等の大きさであることが好ましい。2種の第1バンプ15の各平面積は、用いる発光素子の大きさ等によって適宜設定される。放熱性及び接合強度の観点からは、1つの発光素子に接合されるバンプの総平面積は大きいほど好ましい。しかしながら露出部の配置等を考慮すると、例えば、第1大バンプ15Bは、第1大バンプ15Bの平面視形状に含まれる最も長い線分(例えば円形であれば直径)の長さが、1つの露出部と、それに近接する露出部のそれぞれの中心間距離より小さいことが好ましい。第1小バンプ15Sは、第1大バンプの平面積の30〜70%程度とすることが好ましい。これにより、第1大バンプを配置できない領域に第1小バンプを配置できるため、バンプの総平面積を大きくすることができる。
特に、第1小バンプ15Sは、発光素子20の平面視形状が矩形である場合、少なくとも、互いに対向する2辺の近傍において、その2辺に沿って配置されることが好ましい。また、互いに対向する2対の辺それぞれの近傍において、その2対の辺それぞれに沿って配置されていてもよい。このような配置によって、発光素子の外縁近傍においても、均一に電流を注入できることとなり、輝度の分布をより一層均一にすることができ、発光素子の面内において、均一な放熱性を確保することができる。
第1大バンプ15Bと第1小バンプ15Sとは、規則的又はランダムに混在していてもよいが、発光素子20に供給される電流密度が偏らないように、規則的に配列されていることが好ましい。
第1バンプ15及び第2バンプ16は、例えば、金、銀、銅、錫、白金、亜鉛、ニッケル又はこれらの合金により形成することができ、例えば当該分野で公知のスタッドバンプにより形成することができる。スタッドバンプは、スタッドバンプボンダー、ワイヤボンディング装置等により形成することができる。
発光素子20は、図2Bに示すように、第1半導体層21、発光層及び第2半導体層22をこの順に積層した半導体積層体23と、絶縁膜24と、第1電極25及び第2電極26とを有する。半導体積層体23は、第2半導体層22の上面側に第2半導体層22から第1半導体層21を露出する複数の露出部21aを有する。絶縁膜24は、半導体積層体23を覆うととともに、複数の露出部21aの上方に開口部24aを有する。第1電極25は、開口部24aにて露出部21aと接続され、かつ一部が絶縁膜24を介して第2半導体層22上に配置されている。第2電極26は、第2半導体層22と電気的に接続され、第2半導体層22上に配置されている。
発光素子20及び/又は半導体積層体の平面形状は、例えば、略矩形状、六角形等の多角形、これらの角に丸みを帯びた形状、円形又は楕円形等が挙げられる。
半導体積層体23は、第1半導体層21(例えば、n型半導体層)、発光層及び第2半導体層22(例えば、p型半導体層)が、成長基板27上にこの順に積層されたものである。ただし、発光素子20の状態では、成長基板27が除去されたものでもよい。
第1半導体層、発光層及び第2半導体層は、例えば、III-V族化合物半導体、II-VI族化合物半導体等、種々の半導体が挙げられる。具体的には、InXAlYGa1-X-YN(0≦X、0≦Y、X+Y≦1)等の窒化物系の半導体材料が挙げられ、InN、AlN、GaN、InGaN、AlGaN、InGaAlN等を用いることができる。各層の膜厚及び層構造は、当該分野で公知のものを利用することができる。
成長基板27は、半導体層をエピタキシャル成長させることができるものであればよい。このような成長基板の材料としては、サファイア(Al2O3)、スピネル(MgA12O4)のような絶縁性基板等が挙げられる。
半導体積層体23は、第2半導体層22及び発光層が膜厚方向の全てにわたって除去され、第1半導体層21が第2半導体層及び発光層から露出する露出部21aを複数有する。つまり、半導体積層体23は、第2半導体層側の表面に孔を有し、孔の底面に第1半導体層21が露出している。そして、孔の側面には第2半導体層22、発光層及び第1半導体層21が露出している。
露出部の形状、大きさ、位置、数は、意図する発光素子の大きさ、形状、電極パターン等によって適宜設定することができるが、半導体積層体の縁部よりも内側に複数形成されていることが好ましい。露出部は、規則的に配置していることが好ましい。これによって、発光素子の輝度ムラを抑制して、均一に光取り出しすることができる。
絶縁膜24は、半導体積層体23の上面及び側面を被覆するとともに、露出部21aの上方に開口部24aを有する。絶縁膜24が半導体積層体23を被覆し、かつ露出部21aの上方に開口部24aを有することにより、絶縁膜24の上面の広範囲に第1電極25を形成することができる。
絶縁膜24は、当該分野で公知の材料を、電気的な絶縁性を確保し得る材料及び厚みで形成されている。具体的には、絶縁膜24には、金属酸化物や金属窒化物を用いることができ、例えば、Si、Ti、Zr、Nb、Ta、Alからなる群より選択された少なくとも一種の酸化物又は窒化物を好適に用いることができる。
第1電極25及び第2電極26は、半導体積層体の上面側(つまり、成長基板とは反対側、第2半導体層側)に配置されている。第1電極及び第2電極は、第1半導体層及び第2半導体層と、それぞれ直接接触しておらず、後述する光反射性電極を介して電気的に接続されていてもよい。
第1電極及び第2電極の形状は、半導体積層体が矩形の場合、同様に矩形又は略矩形であることが好ましい。第1電極及び第2電極は、平面視、1つの半導体積層体において、一方向に並行して交互に配置されていることが好ましい。例えば、平面視、第1電極が第2電極を挟むように配置されていることが好ましい。
図2Bに示すように、発光素子20は、第2電極と第2半導体層との間に介在する光反射性電極28を有する。
光反射性電極28としては、銀、アルミニウム又はこれらのいずれかの金属を主成分とする合金を用いることができ、特に発光層から発せられる光に対して高い光反射性を有する銀又は銀合金がより好ましい。光反射性電極28は、発光層から出射される光を効果的に反射することができる厚みを有することが好ましく、例えば、20nm〜1μm程度が挙げられる。光反射性電極と第2半導体層との接触面積は大きいほど好ましく、このため、光反射性電極28は、第1電極25と第2半導体層22との間にも配置されることが好ましい。具体的には、光反射性電極28の総平面積は、半導体積層体の平面積の50%以上、60%以上、70%以上が挙げられる。
保護層29としては、通常、電極材料として用いられている金属及び合金等の導電性部材によって形成してもよいし、絶縁性部材を用いても形成してもよい。導電性部材としては、アルミニウム、銅、ニッケル等の金属を含有する単層又は積層層が挙げられる。絶縁性部材としては、上述した絶縁膜24と同様の材料が挙げられるが、なかでもSiNを用いることが好ましい。SiNは膜が緻密なため、水分の侵入を抑制する材料として優れている。保護層29の厚みは、効果的に銀のマイグレーションを防止するために、数百nm〜数μm程度が挙げられる。
保護層29を絶縁性部材で形成する場合、保護層29が光反射性電極の上方に開口を有することで光反射性電極と第2電極とを電気的に接続することができる。
なお、発光素子20が第2半導体層上に光反射性電極28及び保護層29を有する場合、半導体積層体23を覆う絶縁膜24は光反射性電極28及び保護層29を覆い、かつ、第2電極26の直下の領域に開口を有し、これにより第2電極26と光反射性電極28とが電気的に接続される。
被覆部材13は、図1Bに示すように、発光素子20、第1バンプ15、第2バンプ16及び基板11上面の一部又は全部を被覆する。なかでも、被覆部材13は、発光素子20の側面、発光素子20と基板11との間、基板11の上面、第1バンプ15及び第2バンプ16の側面の全てを被覆していることが好ましい。
被覆部材13は、光反射性、透光性、遮光性等を有する樹脂、これらの樹脂に光反射性物質、蛍光体、拡散材、着色剤等を含有した樹脂等によって形成することができる。なかでも、被覆部材は、光反射性及び/又は遮光性を有することが好ましい。被覆部材を構成する樹脂、光反射性物質等は、当該分野で通常使用されているもののいずれをも利用することができる。
例えば、樹脂としては、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、アクリル樹脂の1種以上を含む樹脂又はハイブリッド樹脂等が挙げられる。光反射性物質としては、酸化チタン、酸化ケイ素、酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ムライトなどが挙げられる。
図1A及び図1Bに示すように、発光装置10は、発光素子20の上に透光部材17を有する。発光素子20は第1電極及び第2電極を有する面を下面として配線パターン上にフリップチップ実装される。発光素子20は、下面と反対側の上面を主な光取り出し面として、この上面と透光部材17の下面とが接合される。
透光部材17は、発光素子の光取り出し面を被覆し、発光素子から出射される光の50%以上又は60%以上、好ましくは70%以上を透過させ、外部に放出することが可能な部材である。透光部材は、光拡散材や、発光素子20から出射される光の少なくとも一部を波長変換可能な蛍光体を含有することができる。
透光部材の下面は、発光素子の上面面積の80〜150%程度の面積を有することが好ましい。透光部材の下面外縁は、発光素子の上面外縁と一致するか、上面外縁より内側又は外側のどちらかのみに位置していることが好ましい。つまり、平面視において、発光素子の上面と透光部材の下面のどちらか一方がもう一方に内包されることが好ましい。透光部材の厚みは、例えば、50〜300μmが挙げられる。
発光装置10が、透光部材17を有する場合、透光部材17の側面の一部又は全部が被覆部材13で被覆されていることが好ましい。
本実施形態の発光装置は、主に、基板準備工程と、バンプ形成工程と、発光素子実装工程と、被覆部材形成工程とを有する。なお、各部材の材質や配置等については前記した発光装置10の説明で述べたとおりであるので、ここでは適宜説明を省略する。
また、任意に、被覆部材13を形成する前に、発光素子20の上に透光部材17を配置する工程、保護素子等の電子部品を搭載する工程を有することができる。
上面に配線パターン14が形成された基板11を準備する。図4A及び4Bに示すように、基板11には、配線パターン14として、発光素子20の第1電極と接続される第1配線パターン14a及び発光素子20の第2電極と接続される第2配線パターン14bの一対の配線パターン14が形成されていればよい。
基板11は、複数の発光装置を同時に製造するために、複数の基板11が連なった集合基板を用いることが好ましい。集合基板を用いることにより、複数の発光装置を一括して形成し、製造効率を向上させることができる。集合基板は、最終的に発光装置ごとに個片化する(図4G)ことができる。
図4Bに示すように、第1配線パターン14a上に、平面積の異なる2種の第1バンプ15、つまり、平面積の小さい第1小バンプ15Sと、第1小バンプより平面積の大きい第1大バンプ15Bを形成する。また、第2配線パターン14b上には、第2バンプ16を形成する。第2バンプ16の平面積は、任意の大きさとすることができるが、製造効率の向上のために第1大バンプ15B又は第1小バンプ15Sと同等の大きさとすることが好ましい。第2バンプと接合される第2電極の平面視形状を考慮して、第2バンプの総平面積が大きくなるよう適宜選択することが好ましい。
配線パターン14に対するバンプの配置は、そこに実装する発光素子の、露出部及び電極のレイアウト等に応じて、後述する発光素子の実装を可能とするように決定される。
このような方法によって、2種類の異なる平面積のバンプを形成する。これによって、バンプ間の距離を縮めて、バンプを高密度に配置することができる。また、スタッドバンプの上端を軟質化させることにより、フリップチップ実装時に上端が容易に変形して発光素子の電極と密着させやすくし、常温でも強度の高い接合をすることができる。
また、放熱性の観点から、バンプと発光素子との接合面積は大きいほど好ましく、例えば、第1電極と接続された第1バンプの総平面積は、第1電極の平面積の25%以上であることが好ましい。また、第2電極と接続された第2バンプの総平面積は、第2電極の平面積の50%以上であることが好ましい。
図4Cに示すように、配線パターン14上に、発光素子20をフリップチップ実装する。発光素子20の第1電極25を第1バンプ15に、第2電極26を第2バンプ16にそれぞれ接合する。この場合、第1バンプ15は、第1大バンプ15B及び第1小バンプ15Sいずれも、発光素子20における第1半導体層の露出部21aと、平面視においてオーバーラップしないように配置する。このように、バンプを露出部から離間して配置することにより、バンプとの接合時に発光素子に負荷される押圧力に起因する発光素子20のクラックを防止することができる。図2A及び図2Bに示すように、発光素子20の第1電極25は、絶縁膜24を介して第2半導体層上に形成されている。絶縁膜24は半導体積層体23を被覆し、露出部21aの上方に開口部24aを有する。第1電極25は、開口部24aの底面にて第1半導体層21と電気的に接続され、半導体積層体を覆う絶縁膜24を介して露出部21aの側面(つまり露出部21aを形成する孔の側面)及び第2半導体層の上面を被覆するように形成される。半導体積層体23は、露出部21aと第2半導体層表面との間には段差を有するため、この段差部分に大きな荷重がかかると、発光素子20にクラックが生じる懸念がある。特に、絶縁膜24を形成する金属酸化物や金属窒化物は、電極を形成する金属材料と比較すると硬くてもろいためクラックが生じやすく、仮に絶縁膜にクラックが生じると、第1電極と第2半導体層とが導通し、発光素子20が短絡する虞がある。つまり、平面視において、バンプと露出部とを離間して配置することにより、絶縁膜24のクラックの発生を効果的に回避することができる。ここでの離間とは、発光素子を押圧してバンプに接続し、バンプが圧力によって横方向に広がり平面積が大きくなった後においても、平面視においてバンプの外縁が露出部の外縁と重ならないことを意味する。
本実施形態の発光装置の製造方法は、透光部材配置工程を有していてもよい。透光部材配置工程では、図4Dに示すように、発光素子の上面を被覆する透光部材17を配置する。透光部材17は、当該分野で公知の透明な接着材18を用いて配置することができる。
なお、透光部材配置工程は素子実装工程の前に行ってもよく、例えば透光部材と発光素子とを接着材18を用いずに直接接合する場合は、透光部材配置工程は、素子実装工程の前に行うことが好ましい。
被覆部材形成工程は、発光素子20の載置後に、基板11上に発光素子20を被覆する被覆部材13を形成する工程である。被覆部材13は、発光素子20の下面(つまり発光素子20と基板11との間)において、バンプの側面を覆うように形成される。発光装置10が発光素子を被覆する透光部材17を備える場合は、被覆部材13は透光部材17の側面を被覆するように形成される。この際、透光部材17の上面を被覆部材13から露出させることで、透光部材17の上面を発光面とする発光装置10が形成される。
被覆部材13の形成は複数回に分けて行うことが好ましい。
まず、図4Eに示すように、未硬化の樹脂材料を、例えば、集合基板上に行列状に載置された複数の発光素子20の行間又は列間(例えば図4Eにおける矢印の位置)を一行飛ばし又は一列飛ばしに、発光装置ごとの境界線に沿って、樹脂材料を吐出させる。樹脂材料は基板11上を流動し、図4Fに示すように、発光素子20の下面を流動して基板11上に濡れ広がる。
次に、同様の行間又は列間を一行又は一列ずつ(例えば図4Fにおける矢印の位置)発光装置ごとの境界線に沿って樹脂材料を吐出させて、発光素子の側面を被覆させる。
また、上述したようにバンプを高密度で配置していることにより、樹脂材料がバンプ間の隙間に沿って流動しやすくなり(いわゆる毛管現象)、ボイドの発生を抑制しながら、簡便に被覆部材を適所に形成することができる。
図4Gに示すように、被覆部材13が形成された基板11を、任意に、発光装置10ごとに、例えば、図4G中の点線に沿って分割することにより、1つの発光素子20が搭載された発光装置10を得ることができる。分割は、ダイシングソー等、当該分野で公知の手段によって実行することができる。
実施例1の発光装置は、上述した発光装置の製造方法によって製造し、平面視形状が略正方形状で一辺が1.0mmの発光素子20を用いた。
図2A及び図2Bに示すように、この発光素子20は、中央部分を縦断するように細長い形状の第2電極26が配置されており、第2電極26の両側に第1電極25が配置されている。第2電極26の両側の第1電極25は、第2電極26の長手方向の両端部において連続している。つまり、第1電極25は、細長い形状の第2電極26を囲むように配置されている。第2電極26の幅(つまり短手方向における長さ)は約140μmであり、第2電極を挟む第1電極の幅は、それぞれ約370μmである。第1電極25の下方には、第1半導体層の露出部21aが配置されている。露出部21aは、直径が53μmの略円形であり、第2電極26を挟んで7×3個の露出部が、それぞれ等間隔で配置されている。第2電極26を挟んで対向する露出部の間隔は、例えば、0.28μmである。半導体積層体の外縁から、その外縁に最も近い露出部までの距離は、例えば、0.07μmである。
実施例1の発光装置において、第1電極25の平面積は約0.694mm2、第1バンプの総平面積は約0.235mm2であるので、第1バンプの総平面積は第1電極の平面積の34%程度である。また、第2電極26の平面積は約0.120mm2、第2バンプの総平面積は0.063mm2であるので、第2バンプの総平面積は、第2電極の平面積の53%程度である。
実施例2の発光装置は、上述した発光装置の製造方法によって製造し、平面視形状が略正方形状で一辺が0.8mmの発光素子30を用いた。
図3に示すように、この発光素子30は、実施例1の発光素子20と同様に、中央部分を分断するように細長い形状の第2電極56が配置されており、第2電極56を囲むように第1電極55が配置されている。
第1電極55の下方には、第1半導体層の露出部31aが配置されている。露出部31aは、直径が53μmの略円形であり、第2電極56の両側に5×2個ずつ、それぞれ等間隔、例えば隣接する露出部の中心間の距離が0.16mmで整列して配置されている。第2電極56を挟んで対向する露出部の中心間の距離は、例えば、0.28mmである。半導体積層体の外縁から、その外縁に最も近い露出部の中心までの距離は、例えば、0.007mmである。
実施例2の発光装置において、第1電極55の平面積は約0.396mm2、第1バンプの総平面積は約0.117mm2であるので、第1バンプの総平面積は第1電極の平面積の30%程度である。また、第2電極56の平面積は約0.089mm2、第2バンプの総平面積は0.048mm2であるので、第2バンプの総平面積は、第2電極の平面積の54%程度である。
実施例1及び比較例の発光装置について、熱抵抗及びバンプ強度を測定した。
その結果、比較例の発光装置に比べて、熱抵抗(℃/W)が6.5%低下し、発光素子と基板との接合強度(gf)が4.5%上昇した。
11 :基板
20、30、60 :発光素子
13 :被覆部材
13a :枠体
14 :配線パターン
14a :第1配線パターン
14b :第2配線パターン
15、35 :第1バンプ
15B、35B :第1大バンプ
15S、35S :第1小バンプ
16 :第2バンプ
17 :透光部材
18 :接着材
19 :保護素子
21 :第1半導体層
21a、31a :露出部
22 :第2半導体層
23 :半導体積層体
24 :絶縁膜
24a :開口部
25、55 :第1電極
26、56 :第2電極
27 :基板
28 :光反射性電極
29 :保護層
Claims (12)
- 上面に配線パターンを有する基板と、該基板の前記配線パターン上にバンプを介してフリップチップ実装される発光素子と、前記発光素子、前記バンプ及び前記基板を被覆する被覆部材とを備える発光装置であって、
前記発光素子は、第1半導体層、発光層及び第2半導体層を順に有し、かつ前記第2半導体層の上面側に前記第2半導体層から前記第1半導体層が露出する複数の露出部を有する半導体積層体と、該半導体積層体を覆うととともに、複数の前記露出部の上方に開口部を有する絶縁膜と、前記開口部にて前記露出部と接続され、かつ一部が前記絶縁膜を介して前記第2半導体層上に配置された第1電極と、前記第2半導体層上に接続された第2電極とを備え、
前記バンプは、前記第1電極と接合される第1バンプと、前記第2電極と接合される第2バンプとを含み、
平面視において、前記第1バンプは、前記露出部と離間し、かつ平面積が異なる2種を有することを特徴とする発光装置。 - 平面視において、前記第1電極は、第2電極の両側に配置されている請求項1に記載の発光装置。
- 前記発光素子は平面視形状が矩形であり、平面積が小さい前記第1バンプは前記矩形の対向する2辺に沿って配置される請求項1又は2に記載の発光装置。
- 前記第1電極は、前記複数の露出部を一体的に覆う請求項1〜3のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記第1バンプ及び前記第2バンプは、それぞれ規則的に配列されており、
前記第2バンプ間の距離は、前記第1バンプ間の同方向に配列されるバンプ間の距離よりも小さい請求項1〜4のいずれか一項に記載の発光装置。 - 前記第2電極は、光反射性電極を介して前記第2半導体層に接続されている請求項1〜5のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記第1電極と接続された第1バンプの総平面積は、第1電極の平面積の25%以上である請求項1〜6のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記第2電極と接続された第2バンプの総平面積は、第2電極の平面積の50%以上である請求項1〜7のいずれか一項に記載の発光装置。
- 平面視において、前記発光素子の最も外側に平面積が小さい前記第1バンプが配列され、その内側に平面積が大きな第1バンプが配列されている請求項1〜8のいずれか一項に記載の発光装置。
- 上面に配線パターンを有する基板を準備する基板準備工程と、
前記配線パターン上に発光素子を接合するためのバンプを形成するバンプ形成工程と、
前記バンプ上に発光素子をフリップチップ実装する素子実装工程と、
前記発光素子及び前記バンプの側面を被覆する被覆部材を形成する被覆部材形成工程とを含み、
前記発光素子は、第1半導体層、発光層及び第2半導体層を順に有し、かつ前記第2半導体層の上面側に前記第2半導体層から前記第1半導体層が露出する複数の露出部を有する半導体積層体と、該半導体積層体を覆うとともに、複数の前記露出部の上方に開口部を有する絶縁膜と、前記開口部にて前記露出部と接続され、かつ一部が前記絶縁膜を介して前記第2半導体層上に配置された第1電極と、前記第2半導体層上に接続された第2電極とを有し、
前記バンプは、前記発光素子の第1電極と接合される第1バンプと、前記発光素子の第2電極と接合される第2バンプとを含み、平面視において、前記第1バンプは、前記露出部と離間し、平面積が異なる2種を有する発光装置を製造する、発光装置の製造方法。 - 前記バンプ形成工程は、
前記第1バンプ及び第2バンプを、前記配線パターン上にスタッドバンプとして形成する請求項10に記載の発光装置の製造方法。 - 前記バンプ形成工程は、
前記平面積の異なる2種の前記第1バンプを、前記配線パターンからの高さが異なるように形成する請求項10又は11に記載の発光装置の製造方法。
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