JP6518643B2 - 吸着緩衝装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品等の移送対象物を吸着する吸着緩衝装置に関する。

一般的に、電子部品等の移送対象物を吸着する吸着緩衝装置は、アクチュエータに取り付けられている。吸着緩衝装置は、移送対象物を吸着する吸着部を有する。そして、移送対象物を吸着部によって吸着する際には、アクチュエータを駆動させて吸着緩衝装置を移送対象物に向けて移動させ、吸着部を移送対象物に押し付ける。このとき、移送対象物に対して作用する押し付け力が大きすぎると、移送対象物が破損してしまう虞がある。しかし、移送対象物に対して作用する押し付け力が小さすぎると、吸着部によって移送対象物を吸着することができない虞がある。

そこで、吸着部を移送対象物に押し付けたときに、吸着部に作用する押し付け反力を吸収することにより、移送対象物に対して押し付け力が過剰に作用してしまうことを抑制し、且つ移送対象物に作用する押し付け力を一定にするものが、例えば特許文献１に開示されている。特許文献１の吸着パッドホルダは、固定軸の内周面、及び可動軸の外周面に、それぞれ対向する面の磁極が異なるマグネットを設けたものである。

そして、可動軸の一端部である吸引部に取り付けられたパッドを移送対象物に押し付けたときに、可動軸が固定軸に対して吸引部とは反対側に移動する。このとき、固定軸のマグネットと可動軸のマグネットとがずれて、両マグネットの間にずれを元に戻そうとする磁力による吸引力が作用する。この吸引力が、可動軸の移動に反発するように作用するため、パッドに作用する押し付け反力が吸収される。さらに、両マグネットの間に作用する吸引力は、固定軸のマグネットと可動軸のマグネットとの相対距離に拘わらず、ほぼ同じ大きさであるため、パッドから移送対象物に作用する押し付け力が一定となる。このように、吸着作業時に常に一定な力を作用させる磁気ばねによる緩衝機能を提案している。

特許第４５２２６１１号公報

従来技術の吸着緩衝装置においては、自身を、ＸＹＺ方向に移動可能なアクチュエータの先端に取り付けることで、移送対象物の吸着と吸着及び離脱時に一定荷重で緩衝させることができるが、移送対象物の搭載角度の位置調整が必要なケースでは、精密な位置調整が困難であった。角度調整の方法としては、例えば、モータの回転軸を吸着パッドホルダに連結し、移送対象物がパッドに吸着された状態で、モータの回転軸を回転させて、吸着パッドホルダ全体を可動軸の軸線を回転中心とした回転方向へ回転させることにより、移送対象物における可動軸の軸線を回転中心とした回転方向の向きを調整することができる。しかし、モータの回転軸の軸線と可動軸の軸線とが一致した状態で、吸着パッドホルダがモータの回転軸に連結されておらず、モータの回転軸と可動軸とに軸ずれが生じていた場合、移送対象物がモータの回転軸の回転に伴って回転したときに、可動軸の軸線に直交する平面方向で移送対象物の位置がずれてしまう。モータの回転軸の軸線と可動軸の軸線とを一致させながら、吸着パッドホルダとモータの回転軸との連結作業を行うことは、非常に手間が掛かる。また、動作によって発生する発塵により位置決め精度の劣化の虞や、移載面への落下の虞などの課題があった。

本発明の目的は、ＸＹＺアクチュエータの先端への装着によって使用可能な吸着緩衝装置であって、簡便でローコストな構成で、移送対象物の搭載位置での回転位置を長期的にも高精度な位置決めを可能とすることにある。

上記課題を解決する吸着緩衝装置は、ハウジングと、前記ハウジングに回転可能に支持される回転軸と、前記ハウジング内に収容され、前記回転軸と一体的に回転する駆動軸と、前記駆動軸が内側に挿入されるとともに前記駆動軸に対して軸方向に移動可能な筒状の従動軸と、前記従動軸と一体的に前記軸方向に移動可能であるとともに前記従動軸とは反対側の端部に移送対象物を吸着する吸着部を有する可動軸と、前記駆動軸の外周面に設けられる筒状の駆動軸磁石と、前記従動軸の内周面に設けられるとともに前記駆動軸磁石に対して前記軸方向に直交する方向で対向配置される筒状の従動軸磁石と、を備え、前記駆動軸磁石及び前記従動軸磁石は、周方向に複数に磁極として分割されるよう、Ｎ極とＳ極とが交互に着磁され、前記駆動軸磁石の外周面と前記従動軸磁石の内周面との互いに対向する面が異なる磁極で着磁されることにより、前記駆動軸と前記従動軸とが非接触且つ回転方向には一体的に回転可能になっており、前記駆動軸磁石及び前記従動軸磁石が非接触且つ軸方向の磁極の重なりをオフセットさせ、復帰しようとする軸方向の吸引力を前記可動軸に作用させながら軸方向に移動可能であり、前記ハウジングには、前記可動軸が挿通される挿通孔が形成されており、前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間には、前記可動軸を前記ハウジングに対して前記軸方向に直交する方向に支持した状態で、前記可動軸における前記軸方向への移動、及び前記可動軸の回転を許容する軸受が設けられている。

上記吸着緩衝装置において、前記軸受は、前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間に配置される軸受外筒と、前記軸受外筒の内周面と前記可動軸の外周面との間に配置されるとともに前記軸受外筒の内周面と前記可動軸の外周面とに接触する複数のボールと、前記軸受外筒の内周面と前記可動軸の外周面との間に配置され、前記複数のボールを保持する筒状の保持部材と、を有しているとよい。

上記吸着緩衝装置において、前記可動軸は、前記吸着部に前記移送対象物を吸着するために空気を吸引する吸引口と、前記吸引口と前記挿通孔の内部とを連通する軸内通路と、を有し、前記ハウジングは、前記挿通孔の内部に連通するとともに前記吸引口、前記軸内通路、及び前記挿通孔の内部の空気を抜く真空引き用ポートを有し、前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記真空引き用ポートよりも前記吸引口側には、第１シール部材が設けられているとよい。

上記吸着緩衝装置において、前記ハウジングは、前記第１シール部材を収容する第１収容部を有し、前記第１シール部材は、環状であり、前記可動軸の外周面との隙間シールを構成する第１内周面と、前記第１内周面に垂直な第１端面と、を有し、大気圧と真空圧との圧力差を作用させることにより前記第１端面でのシール力が作用し、前記第１シール部材の外形及び厚み方向の寸法は、前記第１収容部により拘束されない形状又は寸法であるとよい。

上記吸着緩衝装置において、前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記真空引き用ポートよりも前記吸引口とは反対側には、第２シール部材が設けられており、前記ハウジングは、前記第２シール部材を収容する第２収容部を有し、前記第２シール部材は、環状であり、前記可動軸の外周面との隙間シールを構成する第２内周面と、前記第２内周面に垂直な第２端面と、を有し、大気圧と真空圧との圧力差を作用させることにより前記第２端面でのシール力が作用し、前記第２シール部材の外形及び厚み方向の寸法は、前記第２収容部により拘束されない形状又は寸法であり、前記第２シール部材における前記第２端面とは反対側の端面は、前記従動軸における前記可動軸側の端面が当接可能な当接面になっているとよい。

上記吸着緩衝装置において、前記従動軸における前記可動軸側の端面が前記当接面に当接している状態において、前記従動軸磁石における前記可動軸側の端面が、前記駆動軸磁石における前記可動軸側の端面よりも前記可動軸とは反対側に位置しているとよい。

上記吸着緩衝装置において、前記第１シール部材及び前記第２シール部材は、樹脂製であるとよい。
上記吸着緩衝装置において、前記第１シール部材は、前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記軸受よりも前記吸引口側に設けられているとよい。

上記吸着緩衝装置において、前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記第１シール部材よりも前記吸引口側には、前記可動軸の外周面に沿った狭小な外周空間が設けられており、前記外周空間は、真空発生器に接続されているとよい。

上記吸着緩衝装置において、前記軸受における前記複数のボールにより隔てられる前記可動軸と前記軸受外筒との間の排出空間は、真空発生器に接続されているとよい。
上記吸着緩衝装置において、前記排出空間には、大気圧と真空圧とを切換可能に供給するための切換弁が接続されているとよい。

この発明によれば、簡便でローコストな構成で、移送対象物の搭載位置での回転位置を長期的にも高精度な位置決めを可能とすることができる。

実施形態における吸着緩衝装置を示す断面図。 駆動軸磁石と従動軸磁石との関係を示す断面図。 吸着緩衝装置の一部分を拡大した断面図。 可動軸及び従動軸がモータハウジング側に向けて移動した状態を示す断面図。 可動軸及び従動軸がモータハウジング側に向けてさらに移動した状態を示す断面図。 移送対象物が可動軸の突出端部の端面に吸着された状態で載置面から離れた状態を示す断面図。 （ａ）は第２シール部材が収容孔から収容室側へ飛び出した状態を示す断面図、（ｂ）は第２シール部材が元の位置に復帰した状態を示す断面図。 （ａ）及び（ｂ）は別の実施形態における吸着緩衝装置の一部分を示す断面図。

以下、吸着緩衝装置を具体化した一実施形態を図１〜図７にしたがって説明する。本実施形態の吸着緩衝装置は、電子部品等の移送対象物を吸着する。また、吸着緩衝装置は、図示しないＸＹＺアクチュエータの先端に装着されて使用される。

図１に示すように、吸着緩衝装置１０のハウジング１１は、モータハウジング１２と、モータハウジング１２に連結される筒状の本体ハウジング１３とを有している。モータハウジング１２内には、回転軸１４ａを有するモータの回転子１４が内蔵されている。本体ハウジング１３は、本体ハウジング１３の軸方向が回転軸１４ａの軸方向と一致するようにモータハウジング１２に連結されている。

回転軸１４ａは、モータハウジング１２に対してベアリング１２ａを介して回転可能に支持されている。回転軸１４ａの両端は、モータハウジング１２を貫通してモータハウジング１２の外部へ突出している。回転軸１４ａにおける本体ハウジング１３側の端部は、モータハウジング１２を貫通して本体ハウジング１３の内部に突出している。

吸着緩衝装置１０は、回転軸１４ａに連結されるとともに回転軸１４ａと一体的に回転する駆動軸１５を備えている。駆動軸１５の軸方向は、回転軸１４ａの軸方向に一致する。駆動軸１５は、回転軸１４ａ側に位置する円筒状の大径部１５ａと、大径部１５ａに連続するとともに大径部１５ａよりも外径が小さい円柱状の小径部１５ｂとを有する。小径部１５ｂは、大径部１５ａから回転軸１４ａとは反対側に向けて延びている。

大径部１５ａの内側には、回転軸１４ａにおける本体ハウジング１３側の端部が挿入されている。回転軸１４ａにおける大径部１５ａの内側に挿入されている部位の外周面には、平坦面１４ｂが形成されている。また、回転軸１４ａの径方向において、大径部１５ａにおける平坦面１４ｂと対向する部分には、雌ねじ孔１５ｈが形成されている。雌ねじ孔１５ｈには、螺子１４ｃが螺合されている。螺子１４ｃの先端は、回転軸１４ａの平坦面１４ｂに当接している。これにより、回転軸１４ａと駆動軸１５とが螺子１４ｃを介して連結されている。

吸着緩衝装置１０は、駆動軸１５が内側に挿入される有底円筒状の従動軸１６を備えている。従動軸１６の軸方向は、駆動軸１５の軸方向に一致する。従動軸１６は、駆動軸１５に対して軸方向に移動可能である。駆動軸１５及び従動軸１６は、本体ハウジング１３の内部におけるモータハウジング１２側に形成された収容室１３ａ内に収容されている。駆動軸１５の外周面と従動軸１６の内周面との間にはクリアランスがある。

吸着緩衝装置１０は、従動軸１６に連結されて従動軸１６と一体的に軸方向に移動可能な可動軸１７を備えている。可動軸１７の軸方向は、従動軸１６の軸方向に一致する。従動軸１６の底部１６ｅには螺子挿通孔１６ｈが形成されている。可動軸１７における従動軸１６側の端部には、雌ねじ孔１７ｈが形成されている。そして、螺子挿通孔１６ｈに挿通された締結ネジ１８が雌ねじ孔１７ｈに螺合されることにより、可動軸１７が、従動軸１６の底部１６ｅに締結ネジ１８を介して連結されている。

本体ハウジング１３には、可動軸１７が挿通される挿通孔１３ｈが形成されている。可動軸１７における従動軸１６とは反対側の端部は、挿通孔１３ｈを介して本体ハウジング１３の外部へ突出している。可動軸１７は、挿通孔１３ｈから出没可能になっている。可動軸１７は、吸引口１７ａと、吸引口１７ａと挿通孔１３ｈの内部とを連通する軸内通路１７ｂとを有する中空柱状である。吸引口１７ａは、可動軸１７における従動軸１６とは反対側の端部である突出端部の端面１７ｅに開口している。

軸内通路１７ｂは、可動軸１７の軸方向に延びる軸路１７１ｂと、可動軸１７の径方向に延びる径路１７２ｂとを有する。軸路１７１ｂにおける従動軸１６とは反対側の開口は、上述した吸引口１７ａに相当する。また、軸路１７１ｂにおける従動軸１６側は、雌ねじ孔１７ｈに連続しており、締結ネジ１８と従動軸１６とにより、軸路１７１ｂにおける従動軸１６側の端部が閉塞されている。径路１７２ｂは、軸路１７１ｂにおける従動軸１６側と挿通孔１３ｈの内部とを連通している。

駆動軸１５の小径部１５ｂの外周面には、円筒状の駆動軸磁石２０が設けられている。従動軸１６の内周面には、円筒状の従動軸磁石２１が設けられている。従動軸磁石２１は、駆動軸磁石２０に対して軸方向に直交する方向で対向配置されている。駆動軸磁石２０における軸方向の長さと従動軸磁石２１における軸方向の長さとは同じになっている。駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との間にはクリアランスがある。

図２に示すように、駆動軸磁石２０は、周方向に複数（本実施形態では４つ）に磁極として分割されるよう、Ｎ極２０ａとＳ極２０ｂとが交互に着磁して構成されている。従動軸磁石２１は、周方向に複数（本実施形態では４つ）に分割され、Ｎ極２１ａとＳ極２１ｂとが交互に着磁されるように構成されている。駆動軸磁石２０の各Ｎ極２０ａの外周面は、従動軸磁石２１の各Ｓ極２１ｂの内周面に対向している。駆動軸磁石２０の各Ｓ極２０ｂの外周面は、従動軸磁石２１の各Ｎ極２１ａの内周面に対向している。このように、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との互いに対向する面が異なる磁極で着磁されることにより、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との互いに対向する面において異なる磁極同士が磁力により向かい合い、引き付け合った非接触状態として、駆動軸１５と従動軸１６とが一体的に回転可能になっている。駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との間にはクリアランスが設けられ、駆動軸１５と従動軸１６との軸の偏心があっても、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面とが接触しない構成となっている。

図３に示すように、挿通孔１３ｈは、収容室１３ａに連続する円孔状の収容孔１３１ｈと、収容孔１３１ｈにおける収容室１３ａとは反対側に連続するとともに収容孔１３１ｈの孔径よりも小径の小径孔１３２ｈと、を有する。そして、収容孔１３１ｈと小径孔１３２ｈとの間には、可動軸１７の径方向に延びる環状の段差面１３５ｈが形成されている。また、挿通孔１３ｈは、小径孔１３２ｈにおける収容孔１３１ｈとは反対側に連続するとともに小径孔１３２ｈよりも孔径が大径の軸受収容孔１３３ｈと、軸受収容孔１３３ｈにおける小径孔１３２ｈとは反対側に連続するとともに軸受収容孔１３３ｈよりも孔径が大径の円孔状の収容孔１３４ｈと、を有する。そして、収容孔１３４ｈと軸受収容孔１３３ｈとの間には、可動軸１７の径方向に延びる環状の段差面１３６ｈが形成されている。

可動軸１７の外周面と軸受収容孔１３３ｈの内周面との間には、軸受３０が設けられている。軸受３０は、可動軸１７の外周面と軸受収容孔１３３ｈの内周面との間に配置される円筒状の軸受外筒３１と、軸受外筒３１の内周面と可動軸１７の外周面との間に配置されるとともに軸受外筒３１の内周面と可動軸１７の外周面とに接触する複数のボール３２と、複数のボール３２を保持する円筒状の保持部材３３と、を有している。保持部材３３は、軸受外筒３１の内周面と可動軸１７の外周面との間に配置されている。保持部材３３の軸方向の長さは、軸受外筒３１の軸方向の長さよりも短い。保持部材３３は、複数のボール３２を転動可能に保持している。

複数のボール３２が軸受外筒３１の内周面と可動軸１７の外周面とに接触しているため、可動軸１７は、挿通孔１３ｈの内部において、可動軸１７の径方向に予圧が作用した状態で位置決めされている。また、複数のボール３２が転動可能に保持部材３３に保持されているため、可動軸１７は、挿通孔１３ｈの内部において、可動軸１７の軸方向への移動、及び回転が可能である。したがって、軸受３０は、可動軸１７を本体ハウジング１３に対して可動軸１７の軸方向に直交する方向に支持した状態で、可動軸１７における可動軸１７の軸方向への移動、及び可動軸１７の回転を許容する。

本体ハウジング１３は、挿通孔１３ｈの内部に連通するとともに、吸引口１７ａ、軸内通路１７ｂ、及び挿通孔１３ｈの内部の空気を抜く真空引き用ポート１３ｂを有する。真空引き用ポート１３ｂは、小径孔１３２ｈ及び軸受収容孔１３３ｈに連通している。真空引き用ポート１３ｂは、軸受外筒３１における小径孔１３２ｈ側の開口を介して軸受外筒３１の内側に連通している。軸受外筒３１の内側は、複数のボール３２により隔てられる可動軸１７と軸受外筒３１との間の排出空間３１ｋである。また、排出空間３１ｋは、径路１７２ｂに連通している。真空引き用ポート１３ｂには、切換弁１３ｃを介してエゼクタ等の真空発生器１３ｄが接続されている。よって、排出空間３１ｋは、真空引き用ポート１３ｂを介して切換弁１３ｃに接続されている。また、排出空間３１ｋは、真空引き用ポート１３ｂ及び切換弁１３ｃを介して真空発生器１３ｄに接続されている。排出空間３１ｋ（真空引き用ポート１３ｂ）には、切換弁１３ｃの切り換えにより、大気圧と真空圧とが切換可能に供給される。

収容孔１３４ｈ内には、樹脂製の第１シール部材４１が収容されている。よって、収容孔１３４ｈは、第１シール部材４１を収容する第１収容部である。第１シール部材４１は、可動軸１７の外周面と挿通孔１３ｈの内周面との間における真空引き用ポート１３ｂ及び軸受３０よりも吸引口１７ａ側に設けられている。第１シール部材４１は円環状である。可動軸１７は、可動軸１７の外周面が第１シール部材４１の内周面に摺接した状態で、第１シール部材４１の内側に挿入されており、可動軸１７の外周面と第１シール部材４１の内周面との間がシールされている。よって、第１シール部材４１の内周面は、可動軸１７の外周面との隙間シールを構成する第１内周面４１ａである。

また、第１シール部材４１は、真空引き用ポート１３ｂに真空圧が供給されているときには、真空圧と大気圧との圧力差による力が第１シール部材４１の軸方向に作用し、段差面１３６ｈに当接し、段差面１３６ｈと第１シール部材４１との間がシールされる。よって、第１シール部材４１における段差面１３６ｈに当接する端面は、第１内周面４１ａに垂直な第１端面４１ｂであり、大気圧と真空圧との圧力差を作用させることにより第１端面４１ｂでのシール力が作用する。第１シール部材４１の軸方向の厚さは、収容孔１３４ｈの深さよりも薄く設定してあり、圧力差が生じない状態では、厚さ方向の力は発生しない。

第１シール部材４１の外径は、収容孔１３４ｈの内径よりも小さくなっており、第１シール部材４１の外周面と収容孔１３４ｈの内周面との間にはクリアランスがある。よって、径方向にも隙間が設けられているため、第１シール部材４１は拘束されることなく可動軸１７への摺動抵抗を小さく抑えることができるとともに、可動軸１７と第１シール部材４１との軸ずれの影響を排除している。したがって、第１シール部材４１の外形及び厚み方向の寸法は、収容孔１３４ｈにより拘束されない形状又は寸法である。

本体ハウジング１３におけるモータハウジング１２とは反対側の端面には、第１シール部材４１における収容孔１３４ｈからの抜けを阻止する抜け止め用のキャップ３９が取り付けられている。キャップ３９は、本体ハウジング１３の外形と同一形状であり、中央に貫通孔３９ｈを有する。可動軸１７は、キャップ３９の貫通孔３９ｈを通過している。

収容孔１３１ｈには、樹脂製の第２シール部材４２が収容されている。よって、収容孔１３１ｈは、第２シール部材４２を収容する第２収容部である。第２シール部材４２は、可動軸１７の外周面と挿通孔１３ｈの内周面との間における真空引き用ポート１３ｂよりも収容室１３ａ側に設けられている。第２シール部材４２は円環状である。可動軸１７は、可動軸１７の外周面が第２シール部材４２の内周面に摺接した状態で、第２シール部材４２の内側に挿入されており、可動軸１７の外周面と第２シール部材４２の内周面との間がシールされている。よって、第２シール部材４２の内周面は、可動軸１７の外周面との隙間シールを構成する第２内周面４２ａである。

また、第２シール部材４２は、真空引き用ポート１３ｂに真空圧が供給されているときには、真空圧と大気圧との圧力差による力が第２シール部材４２の軸方向に作用し、段差面１３５ｈに当接し、段差面１３５ｈと第２シール部材４２との間がシールされる。よって、第２シール部材４２における段差面１３５ｈに当接する端面は、第２内周面４２ａに垂直な第２端面４２ｂであり、大気圧と真空圧との圧力差を作用させることにより第２端面４２ｂでのシール力が作用する。

第２シール部材４２の外径は、収容孔１３１ｈの内径よりも小さくなっており、第２シール部材４２の外周面と収容孔１３１ｈの内周面との間にはクリアランスがある。よって、径方向にも隙間が設けられているため、第２シール部材４２は拘束されることなく可動軸１７への摺動抵抗を小さく抑えることができるとともに、可動軸１７と第２シール部材４２との軸ずれの影響を排除している。したがって、第２シール部材４２の外形及び厚み方向の寸法は、収容孔１３１ｈにより拘束されない形状又は寸法である。

図１に示すように、従動軸１６における可動軸１７側の端面は、第２シール部材４２に当接可能になっている。よって、第２シール部材４２における第２端面４２ｂとは反対側の端面は、従動軸１６における可動軸１７側の端面が当接可能な当接面４２ｃになっている。従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接している状態において、従動軸磁石２１における可動軸１７側の端面は、駆動軸磁石２０における可動軸１７側の端面よりも可動軸１７とは反対側に位置している。

従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接している状態は、可動軸１７が挿通孔１３ｈから最も突出した状態である。また、従動軸１６におけるモータハウジング１２側の端面がモータハウジング１２に当接している状態は、可動軸１７が挿通孔１３ｈから最も没入した状態である。可動軸１７が挿通孔１３ｈから最も没入した状態であっても、可動軸１７における従動軸１６とは反対側の端部は、挿通孔１３ｈを介して本体ハウジング１３の外部へ突出している。

図４に示すように、図示しないアクチュエータが駆動して、アクチュエータの駆動により、吸着緩衝装置１０が載置面Ｗ１に載置されている移送対象物Ｗに向けて移動し、可動軸１７の突出端部の端面１７ｅが移送対象物Ｗに軸方向から押し付けられる。

従動軸１６は、収容室１３ａ内で軸方向に移動可能に収容されている。従動軸１６の軸方向への移動可能範囲において、従動軸磁石２１は駆動軸磁石２０よりも、磁石端部がモータハウジング１２側に突出するように配置されている。したがって、従動軸磁石２１と駆動軸磁石２０との端部が一致する方向に軸方向の吸引力が作用している。つまり、可動軸１７が突出する方向に吸引力が作用し、従動軸１６の底部１６ｅが第２シール部材４２の端面に吸引力が押し付け力として作用している。吸引力であるこの押し付け力は、従動軸１６の可動範囲においては、位置に関係無く一定になるように、従動軸磁石２１と駆動軸磁石２０とを軸方向にオフセットさせて構成している。駆動軸磁石２０及び従動軸磁石２１は、非接触且つ軸方向の磁極の重なりをオフセットさせ、復帰しようとする軸方向の吸引力を可動軸１７に作用させながら軸方向に移動可能である。

可動軸１７の突出端部の端面１７ｅが移送対象物Ｗに押し付けられると、可動軸１７には、移送対象物Ｗからの押し付け反力が作用するが、前記吸引力による押し付け力を越えるまでは、可動軸１７は移動を行わない。さらに、押し付け動作を行っていくと、前記押し付け反力が吸引力による押し付け力とが一致しバランス状態となり、移送対象物Ｗには一定の押し付け力が加わった状態で、可動軸１７がモータハウジング１２側に移動可能となる。前記押し付け力は一定の吸引力によるため、移送対象物Ｗの高さ方向の寸法変化があっても、一定の押し付け力が作用する緩衝機能として作用する。

また、図４のように従動軸１６の底部１６ｅが第２シール部材４２の当接面４２ｃから離れると、第２シール部材４２の外形に加え、厚さ方向の拘束が無くなる。動作毎にこのように軸ずれ解除することで、可動軸１７と第２シール部材４２の軸ずれがあった場合であっても、可動軸１７への摺動抵抗を低く抑えた状態が維持される。

図６に示すように、続いて、切換弁１３ｃが駆動して、真空引き用ポート１３ｂが真空発生器１３ｄと接続され、吸引口１７ａと移送対象物Ｗとの間の空気が吸引口１７ａから吸引され、吸引口１７ａから吸引された空気が軸内通路１７ｂ及び排出空間３１ｋを流れて真空引き用ポート１３ｂから吸い出される。これにより、移送対象物Ｗに押し付けられた可動軸１７の突出端部の端面１７ｅと移送対象物Ｗとの間が真空状態となり、移送対象物Ｗが可動軸１７の突出端部の端面１７ｅに吸着される。よって、吸引口１７ａは、可動軸１７の突出端部の端面１７ｅに移送対象物Ｗを吸着するために空気を吸引する。そして、可動軸１７の突出端部の端面１７ｅは、移送対象物Ｗを吸着する吸着部として機能する。

ところで、図７（ａ）に示すように、可動軸１７がモータハウジング１２側に向けて移動すると、可動軸１７の外周面と第２シール部材４２の内周面との間の摺動抵抗によって、第２シール部材４２が収容孔１３１ｈから収容室１３ａ側に飛び出してしまう場合がある。この場合であっても、真空発生器１３ｄが駆動すると、収容室１３ａ内の空気が、収容孔１３１ｈ及び小径孔１３２ｈを流れて真空引き用ポート１３ｂから吸い出されることにより、第２シール部材４２が、図７（ｂ）に示すように、元の位置に復帰し、第２シール部材４２の第２端面４２ｂが段差面１３５ｈに当接した状態となる。このため、第２シール部材４２の軸心は維持されている。

図６に示すように、続いて、移送対象物Ｗが可動軸１７の突出端部の端面１７ｅに吸着された状態で、アクチュエータがＺ軸方向に駆動して、アクチュエータの駆動により、吸着緩衝装置１０が載置面Ｗ１とは反対側へ移動する。すると、駆動軸磁石２０と従動軸磁石２１との間に作用する吸引力によって、従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接するまで、移送対象物Ｗを吸引力による一定の力で載置面Ｗ１に押し付けた状態で、可動軸１７及び従動軸１６が一体的に移動する。そして、従動軸１６の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接した状態となり、移送対象物Ｗは可動軸１７の突出端部の端面１７ｅに吸着された状態で載置面Ｗ１から離れる。この後、移送対象物Ｗを、目的の移送位置へ移送する。

このとき、移送対象物Ｗにおける可動軸１７の軸線を回転中心とした回転方向の向きを調整することが行われる。具体的には、移送対象物Ｗが可動軸１７の端面１７ｅに吸着された後、吸着緩衝装置１０が上方へ移動し、従動軸１６の底部１６ｅが第２シール部材４２の当接面４２ｃに再び当接すると移送対象物Ｗが載置面Ｗ１から離される。この状態では、従動軸１６の底部１６ｅは第２シール部材４２の当接面４２ｃに一定荷重で押し付けた状態であり、可動軸１７の上下動を抑える力として作用している。次に装置側では、移送対象物Ｗを撮像及び画像処理することにより、搭載位置への補正距離及び補正角度が演算される。ＸＹＺアクチュエータは移載位置へＸＹ移動しながら、吸着緩衝装置１０側は、回転子１４が駆動して、回転軸１４ａが回転し、回転軸１４ａの回転に伴って駆動軸１５が回転軸１４ａと一体的に回転する。ここで、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との互いに対向する面が異なる磁極で着磁されているため、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との互いに対向する面において異なる磁極同士が向かい合った状態で、駆動軸１５と従動軸１６とが一体的に回転する。これにより、可動軸１７も従動軸１６と一体的に回転し、移送対象物Ｗにおける可動軸１７の軸線を回転中心とした回転方向の向きが調整される。このように、この移送対象物ＷにおけるＸＹ位置と回転方向の向き（角度）の調整が行われた後、アクチュエータがＺ軸方向に降下し、移送対象物Ｗが目的の移送位置へ移送される。このとき、図４に示されるように、再び緩衝動作モードとなり、移送対象物Ｗへの緩衝が行われ、切換弁１３ｃにより大気圧に切り換えられることにより、吸着が解除される。

ここまでは移送対象物Ｗの移送について記述したが、移送先で、移送対象物Ｗを載置面Ｗ１に、例えば圧入などの作業が必要な場合がある。この場合、図５に示すように、可動軸１７の突出端部の端面１７ｅが移送対象物Ｗにさらに押し付けられると、可動軸１７及び従動軸１６が一体的にさらにモータハウジング１２側に向けて移動する。そして、従動軸１６におけるモータハウジング１２側の端面が、モータハウジング１２に当接すると、駆動軸１５及び従動軸１６の磁石による一定な吸引力を越えて、アクチュエータの駆動による力が直接作用することになる。したがって、押し付け力が一定の緩衝機能モードから、移送対象物Ｗを載置面Ｗ１へ圧入する圧入機能モードへ移行する。このときの圧入操作力はアクチュエータ側の押し付け力の制御により行われる。

次に、本実施形態の作用について説明する。
回転軸１４ａの軸線と可動軸１７の軸線とが一致しておらず、回転軸１４ａと可動軸１７とに軸ずれが生じている場合がある。この場合であっても、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との間のクリアランスが、回転軸１４ａと可動軸１７との軸ずれを吸収しつつ、回転軸１４ａの回転に伴って、駆動軸１５、従動軸１６及び可動軸１７が一体的に回転する。したがって、回転軸１４ａと可動軸１７とに軸ずれが生じていたとしても、移送対象物Ｗが回転軸１４ａの回転に伴って回転したときに、可動軸１７の軸線に直交する平面方向で移送対象物Ｗの位置がずれてしまうことが抑制される。

また、可動軸１７が軸方向に移動したり、回転したりすると、可動軸１７の外周面が第１シール部材４１の内周面に摺接して摩耗粉が発生する場合がある。また、可動軸１７が軸方向に移動したり、回転したりすると、可動軸１７の外周面と複数のボール３２とが摺接して摩耗粉が発生したり、複数のボール３２と軸受外筒３１の内周面とが摺接して摩耗粉が発生したりする場合がある。

真空発生器１３ｄが駆動すると、排出空間３１ｋの空気が真空引き用ポート１３ｂから吸い出されるため、上述した摩耗粉も、可動軸１７の外周面と保持部材３３の内周面との間、保持部材３３の外周面と軸受外筒３１の内周面との間、及び排出空間３１ｋを介して空気と共に真空引き用ポート１３ｂから吸い出される。よって、摩耗粉が可動軸１７の外周面と第１シール部材４１の内周面との間を介して本体ハウジング１３の外部へ放出されてしまうことが抑制される。

また、従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接している状態であっても、駆動軸磁石２０と従動軸磁石２１との間には、駆動軸磁石２０と従動軸磁石２１との軸方向のずれを戻そうとする吸引力が作用した状態になっている。したがって、従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接している状態では、第２シール部材４２に対して従動軸１６からの押し付け力が作用している。この状態で駆動軸１５と従動軸１６とが一体的に回転すると、従動軸１６における可動軸１７側の端面と第２シール部材４２の当接面４２ｃとが摺動する。しかし、第２シール部材４２は樹脂製であるため、例えば、第２シール部材４２がゴム製である場合に比べると、従動軸１６における可動軸１７側の端面と第２シール部材４２の当接面４２ｃとの間の摺動抵抗が抑えられている。

上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）回転軸１４ａと連結される駆動軸１５の外周面に駆動軸磁石２０が設けられ、可動軸１７と連結される従動軸１６の内周面に従動軸磁石２１が設けられている。そして、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との互いに対向する面が異なる磁極で着磁されることにより、駆動軸１５と従動軸１６とが非接触且つ回転方向には一体的に回転可能になっている。可動軸１７は、軸受３０によって、本体ハウジング１３に対して可動軸１７の軸方向に直交する方向に支持された状態で、可動軸１７における軸方向への移動、及び可動軸１７の回転が許容されている。回転軸１４ａの軸線と可動軸１７の軸線とが一致しておらず、回転軸１４ａと可動軸１７とに軸ずれが生じている場合であっても、駆動軸磁石２０の外周面と従動軸磁石２１の内周面との間で、回転軸１４ａと可動軸１７との軸ずれが吸収されながら、回転軸１４ａの回転に伴って、駆動軸１５、従動軸１６及び可動軸１７が一体的に回転する。したがって、回転軸１４ａと可動軸１７とに軸ずれが生じていたとしても、移送対象物Ｗが回転軸１４ａの回転に伴って回転したときに、可動軸１７の軸線に直交する平面方向で移送対象物Ｗの位置がずれてしまうことを抑制することができる。よって、簡便でローコストな構成で、移送対象物Ｗの搭載位置での回転位置を長期的にも高精度な位置決めを可能とすることができる。

（２）軸受３０は、可動軸１７の外周面と挿通孔１３ｈの内周面との間に配置される軸受外筒３１と、軸受外筒３１の内周面と可動軸１７の外周面との間に配置されるとともに軸受外筒３１の内周面と可動軸１７の外周面とに接触する複数のボール３２と、複数のボール３２を保持する筒状の保持部材３３と、を有している。複数のボール３２を用いた軸受３０は、挿通孔１３ｈの内部において、可動軸１７を、可動軸１７の径方向に予圧を作用させた状態で位置決め精度が高く、転がり摩擦化で摺動抵抗がごく低く、且つ、可動軸１７の軸方向への移動、及び回転が許容する構成として好適である。

（３）可動軸１７の外周面と挿通孔１３ｈの内周面との間における真空引き用ポート１３ｂよりも吸引口１７ａ側には、樹脂製の第１シール部材４１が設けられている。第１シール部材４１は、挿通孔１３ｈの内部の空気が、挿通孔１３ｈにおける真空引き用ポート１３ｂよりも吸引口１７ａ側の開口を介して本体ハウジング１３の外部へ洩れてしまうことを抑制する。また、可動軸１７が軸方向に移動したり、回転したりすると、可動軸１７の外周面が第１シール部材４１の内周面に摺接して摩耗粉が発生する場合がある。挿通孔１３ｈの内部の空気が真空引き用ポート１３ｂから吸い出されるため、摩耗粉も空気と共に真空引き用ポート１３ｂから吸い出される。よって、摩耗粉が可動軸１７の外周面と第１シール部材４１の内周面との間を介して本体ハウジング１３の外部へ放出されてしまうことを抑制することができる。

（４）第１シール部材４１の外形及び厚み方向の寸法は、収容孔１３４ｈにより拘束されない形状又は寸法である。これによれば、可動軸１７を、第１シール部材４１の内側に挿入していく際に、第１シール部材４１における収容孔１３４ｈの内側での可動軸１７の径方向への移動が許容される。よって、可動軸１７と第１シール部材４１との装着時の同軸性や寸法精度に影響を受けることなく、摺動抵抗を低く保つことができ、回転位置決め精度を高めることができる。

（５）第２シール部材４２の外形及び厚み方向の寸法は、収容孔１３１ｈにより拘束されない形状又は寸法である。これによれば、可動軸１７を、第２シール部材４２の内側に挿入していく際に、第２シール部材４２における収容孔１３１ｈの内側での可動軸１７の径方向への移動が許容される。よって、可動軸１７と第２シール部材４２との装着時の同軸性や寸法精度に影響を受けることなく、摺動抵抗を低く保つことができ、回転位置決め精度を高めることができる。

（６）第１シール部材４１及び第２シール部材４２により、真空引き用ポート１３ｂの圧力変動が生じても、第１シール部材４１及び第２シール部材４２に作用する圧力がバランスされるため可動軸１７に圧力変動が作用しない。また、第２シール部材４２における第２端面４２ｂとは反対側の端面が、従動軸１６における可動軸１７側の端面が当接可能な当接面４２ｃになっている。これによれば、第２シール部材４２の当接面４２ｃが、角度調整動作時の従動軸１６のスラスト荷重を受ける軸受を兼用し、角度調整時の摩擦係数を低減することができ、回転位置誤差を減少させることができる。

（７）従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接している状態において、従動軸磁石２１における可動軸１７側の端面は、駆動軸磁石２０における可動軸１７側の端面よりも可動軸１７とは反対側に位置している。これによれば、従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接している状態であっても、駆動軸磁石２０と従動軸磁石２１との間には、駆動軸磁石２０と従動軸磁石２１との軸方向のずれを戻そうとする吸引力が作用した状態になっている。よって、従動軸１６の移動初期であっても、駆動軸磁石２０と従動軸磁石２１との間には、駆動軸磁石２０と従動軸磁石２１との軸方向のずれを戻そうとする吸引力が作用するため、従動軸１６の移動初期であっても、可動軸１７の突出端部の端面１７ｅが移送対象物Ｗに押し付けられる押し付け力を、一定の押し付け力とすることができる。

（８）第１シール部材４１及び第２シール部材４２は、樹脂製である。これによれば、第１シール部材４１及び第２シール部材４２が、弾性部材のような変形が生じ難く、安定した低摺動が得られる。具体的には、例えば、従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２の当接面４２ｃに当接している状態では、第２シール部材４２に対して従動軸１６からの押し付け力が作用している。このため、この状態で駆動軸１５と従動軸１６とが一体的に回転すると、従動軸１６における可動軸１７側の端面と第２シール部材４２の当接面４２ｃとが摺動する。しかし、第２シール部材４２は樹脂製であるため、例えば、第２シール部材４２がゴム製である場合に比べると、従動軸１６における可動軸１７側の端面と第２シール部材４２の当接面４２ｃとの間の摺動抵抗を抑えることができる。

（９）第１シール部材４１は、可動軸１７の外周面と挿通孔１３ｈの内周面との間における軸受３０よりも吸引口１７ａ側に設けられている。これによれば、軸受３０にて発塵が生じたとしても、挿通孔１３ｈの内部の空気が真空引き用ポート１３ｂから吸い出されるため、摩耗粉も空気と共に真空引き用ポート１３ｂから吸い出される。よって、摩耗粉が可動軸１７の外周面と第１シール部材４１の内周面との間を介して本体ハウジング１３の外部へ放出されてしまうことを抑制することができる。

（１０）排出空間３１ｋは、真空発生器１３ｄに接続されている。これによれば、真空発生器１３ｄによる真空により発塵の排出が行われるため、回転位置精度の長期安定化が図れる。

（１１）排出空間３１ｋには、大気圧と真空圧とを切換可能に供給するための切換弁１３ｃが接続されている。これによれば、切換弁１３ｃでの切り換えにより、大気から真空到達までを高速に行うことによって、空気の排出速度が高まり、排出効果が高まる。排出効果が高まることにより、回転位置決め精度の長期安定化が図れる。

（１２）上記構成の吸着緩衝装置１０では、吸着緩衝装置１０を組み付ける際に、回転軸１４ａの軸線と可動軸１７の軸線とが一致するように、各部品の組み付けを行う必要が無いため、吸着緩衝装置１０の組み付け作業を容易なものとすることができる。

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・ 図８（ａ）に示すように、本体ハウジング１３は、可動軸１７の外周面と挿通孔１３ｈの内周面との間における第１シール部材４１よりも真空引き用ポート１３ｂとは反対側に吸引ポート４３をさらに有していてもよい。吸引ポート４３には、配管４３ｃを介して真空発生器１３ｄが接続されている。配管４３ｃにおける真空発生器１３ｄ側の端部は、真空発生器１３ｄと切換弁１３ｃとを接続する接続配管１３ｅに接続されている。

挿通孔１３ｈ内において、第１シール部材４１に対して軸受３０とは反対側には環状のスペーサ４４が設けられている。スペーサ４４の内側には可動軸１７が挿通されている。スペーサ４４の内周面と可動軸１７の外周面との間にはクリアランスがある。このクリアランスは、可動軸１７の外周面に沿った狭小な外周空間４４ｋである。スペーサ４４には、吸引ポート４３に連通する連通孔４４ａが形成されている。外周空間４４ｋは、連通孔４４ａ、吸引ポート４３、配管４３ｃ及び接続配管１３ｅを介して真空発生器１３ｄに接続されている。

真空発生器１３ｄが駆動すると、可動軸１７の外周面と第１シール部材４１の内周面との間で発生した摩耗粉が、外周空間４４ｋ及び連通孔４４ａを流れる空気と共に吸引ポート４３から吸い出される。よって、摩耗粉が本体ハウジング１３の外部へ放出されてしまうことが抑制される。このように、摩耗粉を吸い出すための吸引ポート４３を本体ハウジング１３に別途設けることで、常に吸引ポート４３から摩耗粉を吸い出すことが可能となる。外周空間４４ｋは、狭小であるため、外周空間４４ｋから連通孔４４ａを介して吸引ポート４３へ吸い出される空気の流速が高められ、排出効果が大きい。

・ 図８（ｂ）に示すように、第１シール部材４１が、可動軸１７の外周面と挿通孔１３ｈの内周面との間における真空引き用ポート１３ｂよりも吸引口１７ａ側であって、且つ、軸受３０よりも真空引き用ポート１３ｂ側に配置されていてもよい。挿通孔１３ｈの内部には、可動軸１７の軸方向において第１シール部材４１と第２シール部材４２との間に配置されるスペーサ４５が設けられている。スペーサ４５には、径路１７２ｂと真空引き用ポート１３ｂとを連通する連通孔４５ａが形成されている。

・ 実施形態において、従動軸１６における可動軸１７側の端面が第２シール部材４２に当接している状態で、従動軸磁石２１における可動軸１７側の端面と、駆動軸磁石２０における可動軸１７側の端面とが、可動軸１７の軸方向で同じ位置であってもよい。

・ 実施形態において、軸受３０として、円筒状の滑り軸受を用いてもよい。
・ 実施形態において、第１シール部材４１及び第２シール部材４２は、ゴム製や金属製であってもよい。

・ 実施形態において、モータがハウジング１１に内蔵されていなくてもよく、ハウジング１１の外部に設けられたモータのモータ軸の回転を、動力伝達機構を介して回転軸１４ａに伝達するような構成であってもよい。

Ｗ…移送対象物、１０…吸着緩衝装置、１１…ハウジング、１３ｂ…真空引き用ポート、１３ｃ…切換弁、１３ｄ…真空発生器、１３ｈ…挿通孔、１４ａ…回転軸、１５…駆動軸、１６…従動軸、１７…可動軸、１７ａ…吸引口、１７ｂ…軸内通路、１７ｅ…吸着部として機能する端面、２０…駆動軸磁石、２０ａ，２１ａ…Ｎ極、２０ｂ，２１ｂ…Ｓ極、２１…従動軸磁石、３０…軸受、３１…軸受外筒、３１ｋ…排出空間、３２…ボール、３３…保持部材、４１…第１シール部材、４１ａ…第１内周面、４１ｂ…第１端面、４２…第２シール部材、４２ａ…第２内周面、４２ｂ…第２端面、４２ｃ…当接面、４４ｋ…外周空間、１３１ｈ…第２収容部である収容孔、１３４ｈ…第１収容部である収容孔。

Claims (11)

1. ハウジングと、
   前記ハウジングに回転可能に支持される回転軸と、
   前記ハウジング内に収容され、前記回転軸と一体的に回転する駆動軸と、
   前記駆動軸が内側に挿入されるとともに前記駆動軸に対して軸方向に移動可能な筒状の従動軸と、
   前記従動軸と一体的に前記軸方向に移動可能であるとともに前記従動軸とは反対側の端部に移送対象物を吸着する吸着部を有する可動軸と、
   前記駆動軸の外周面に設けられる筒状の駆動軸磁石と、
   前記従動軸の内周面に設けられるとともに前記駆動軸磁石に対して前記軸方向に直交する方向で対向配置される筒状の従動軸磁石と、を備え、
   前記駆動軸磁石及び前記従動軸磁石は、周方向に複数に磁極として分割されるよう、Ｎ極とＳ極とが交互に着磁され、前記駆動軸磁石の外周面と前記従動軸磁石の内周面との互いに対向する面が異なる磁極で着磁されることにより、前記駆動軸と前記従動軸とが非接触且つ回転方向には一体的に回転可能になっており、前記駆動軸磁石及び前記従動軸磁石が非接触且つ軸方向の磁極の重なりをオフセットさせ、復帰しようとする軸方向の吸引力を前記可動軸に作用させながら軸方向に移動可能であり、
   前記ハウジングには、前記可動軸が挿通される挿通孔が形成されており、
   前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間には、前記可動軸を前記ハウジングに対して前記軸方向に直交する方向に支持した状態で、前記可動軸における前記軸方向への移動、及び前記可動軸の回転を許容する軸受が設けられていることを特徴とする吸着緩衝装置。
2. 前記軸受は、
   前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間に配置される軸受外筒と、
   前記軸受外筒の内周面と前記可動軸の外周面との間に配置されるとともに前記軸受外筒の内周面と前記可動軸の外周面とに接触する複数のボールと、
   前記軸受外筒の内周面と前記可動軸の外周面との間に配置され、前記複数のボールを保持する筒状の保持部材と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の吸着緩衝装置。
3. 前記可動軸は、前記吸着部に前記移送対象物を吸着するために空気を吸引する吸引口と、前記吸引口と前記挿通孔の内部とを連通する軸内通路と、を有し、
   前記ハウジングは、前記挿通孔の内部に連通するとともに前記吸引口、前記軸内通路、及び前記挿通孔の内部の空気を抜く真空引き用ポートを有し、
   前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記真空引き用ポートよりも前記吸引口側には、第１シール部材が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の吸着緩衝装置。
4. 前記ハウジングは、前記第１シール部材を収容する第１収容部を有し、
   前記第１シール部材は、環状であり、前記可動軸の外周面との隙間シールを構成する第１内周面と、前記第１内周面に垂直な第１端面と、を有し、
   大気圧と真空圧との圧力差を作用させることにより前記第１端面でのシール力が作用し、
   前記第１シール部材の外形及び厚み方向の寸法は、前記第１収容部により拘束されない形状又は寸法であることを特徴とする請求項３に記載の吸着緩衝装置。
5. 前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記真空引き用ポートよりも前記吸引口とは反対側には、第２シール部材が設けられており、
   前記ハウジングは、前記第２シール部材を収容する第２収容部を有し、
   前記第２シール部材は、環状であり、前記可動軸の外周面との隙間シールを構成する第２内周面と、前記第２内周面に垂直な第２端面と、を有し、
   大気圧と真空圧との圧力差を作用させることにより前記第２端面でのシール力が作用し、
   前記第２シール部材の外形及び厚み方向の寸法は、前記第２収容部により拘束されない形状又は寸法であり、
   前記第２シール部材における前記第２端面とは反対側の端面は、前記従動軸における前記可動軸側の端面が当接可能な当接面になっていることを特徴とする請求項４に記載の吸着緩衝装置。
6. 前記従動軸における前記可動軸側の端面が前記当接面に当接している状態において、前記従動軸磁石における前記可動軸側の端面が、前記駆動軸磁石における前記可動軸側の端面よりも前記可動軸とは反対側に位置していることを特徴とする請求項５に記載の吸着緩衝装置。
7. 前記第１シール部材及び前記第２シール部材は、樹脂製であることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の吸着緩衝装置。
8. 前記第１シール部材は、前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記軸受よりも前記吸引口側に設けられていることを特徴とする請求項４〜請求項７のいずれか一項に記載の吸着緩衝装置。
9. 前記可動軸の外周面と前記挿通孔の内周面との間における前記第１シール部材よりも前記吸引口側には、前記可動軸の外周面に沿った狭小な外周空間が設けられており、
   前記外周空間は、真空発生器に接続されていることを特徴とする請求項４〜請求項８のいずれか一項に記載の吸着緩衝装置。
10. 前記軸受における前記複数のボールにより隔てられる前記可動軸と前記軸受外筒との間の排出空間は、真空発生器に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の吸着緩衝装置。
11. 前記排出空間には、大気圧と真空圧とを切換可能に供給するための切換弁が接続されていることを特徴とする請求項１０に記載の吸着緩衝装置。

Images