CN108100662A - 吸附缓冲装置 - Google Patents

Abstract

本发明的课题是提供通过安装到XYZ致动器的前端而能使用的吸附缓冲装置，为简便、低成本的构成，也能长期地对输送对象物的搭载位置上的旋转位置进行高精度的定位。在与旋转轴(14a)连结的驱动轴(15)的外周面设置有驱动轴磁铁(20)，在与可动轴(17)连结的从动轴(16)的内周面设置有从动轴磁铁(21)。并且，驱动轴磁铁(20)的外周面和从动轴磁铁(21)的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，由此驱动轴(15)和从动轴(16)不接触且在旋转方向上能一体地旋转。可动轴(17)在被轴承(30)在与可动轴(17)的轴向正交的方向上支承于主体壳体(13)的状态下允许可动轴向轴向的移动及可动轴的旋转。

Description

吸附缓冲装置

技术领域

本发明涉及吸附电子部件等输送对象物的吸附缓冲装置。

背景技术

一般，吸附电子部件等输送对象物的吸附缓冲装置装配于致动器。吸附缓冲装置具有吸附输送对象物的吸附部。并且，在利用吸附部吸附输送对象物时，使致动器驱动而使吸附缓冲装置朝向输送对象物移动，将吸附部按压到输送对象物。此时，当作用于输送对象物的按压力过大时，有输送对象物破损的担忧。但是，当作用于输送对象物的按压力过小时，有不能利用吸附部吸附输送对象物的担忧。

因此，例如专利文献1公开了如下装置：通过在将吸附部按压到输送对象物时吸收作用于吸附部的按压反作用力，可抑制针对输送对象物过剩地作用按压力，且使作用于输送对象物的按压力为恒定。专利文献1的吸附垫支架构成为在固定轴的内周面及可动轴的外周面分别设置有相对的面的磁极不同的磁体。

并且，在将装配于可动轴的一端部、即吸引部的垫按压到输送对象物时，可动轴相对于固定轴向与吸引部相反的一侧移动。此时，固定轴的磁体和可动轴的磁体偏移，在两磁体之间作用由要使偏移复原的磁力产生的吸引力。该吸引力以弹回可动轴的移动的方式作用，所以作用于垫的按压反作用力被吸收。而且，作用于两磁体之间的吸引力不被固定轴的磁体与可动轴的磁体的相对距离限制，为大致相同的大小，因此从垫作用于输送对象物的按压力为恒定。这样，提案在吸附操作时始终作用恒定的力的磁性弹簧的缓冲功能。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4522611号公报

在现有技术的吸附缓冲装置中，通过使自身装配于能在XYZ方向移动的致动器的前端，从而能在输送对象物的吸附及脱离时以一定负荷缓冲，但是在需要进行输送对象物的搭载角度的位置调整的情况下，不易进行精密的位置调整。作为角度调整的方法，例如将电动机的旋转轴与吸附垫支架连结，在输送对象物被垫吸附的状态下使电动机的旋转轴旋转，使整个吸附垫支架向以可动轴的轴线为旋转中心的旋转方向旋转，从而能调整输送对象物的以可动轴的轴线为旋转中心的旋转方向的朝向。但是，在电动机的旋转轴的轴线和可动轴的轴线一致的状态下，吸附垫支架不与电动机的旋转轴连结，在电动机的旋转轴和可动轴产生轴偏移的情况下，当输送对象物伴随电动机的旋转轴的旋转而旋转时，在与可动轴的轴线正交的平面方向上输送对象物的位置偏移。一边使电动机的旋转轴的轴线与可动轴的轴线一致一边进行吸附垫支架和电动机的旋转轴的连结操作非常费事。另外，有如下问题：担忧由于动作产生的粉尘使定位精度劣化、担忧该粉尘掉落到移载面等。

发明内容

本发明的目的在于提供通过安装到XYZ致动器的前端而能使用的吸附缓冲装置，为简便、低成本的构成，也能长期地对输送对象物的搭载位置上的旋转位置进行高精度的定位。

解决上述问题的吸附缓冲装置具备：壳体；旋转轴，其能旋转地支承于所述壳体；驱动轴，其收容于所述壳体内，与所述旋转轴一体地旋转；筒状的从动轴，在其内侧插入所述驱动轴，并且所述从动轴相对于所述驱动轴能在轴向上移动；可动轴，其能与所述从动轴一体地在所述轴向上移动，并且在所述可动轴的与所述从动轴相反的一侧的端部具有吸附输送对象物的吸附部；筒状的驱动轴磁铁，其设置于所述驱动轴的外周面；以及筒状的从动轴磁铁，其设置于所述从动轴的内周面，并且在与所述轴向正交的方向上与所述驱动轴磁铁相对配置。所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁以在周向上分割为多个磁极的方式使N极和S极交替地起磁，通过所述驱动轴磁铁的外周面和所述从动轴磁铁的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，从而所述驱动轴和所述从动轴不接触且能在旋转方向上一体地旋转，所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁不接触且使轴向的磁极的重叠偏移，使要复原的轴向的吸引力作用于所述可动轴同时能在轴向上移动。在所述壳体中形成有所述可动轴插通的插通孔。在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间设置有轴承，所述轴承在将所述可动轴在与所述轴向正交的方向上支承于所述壳体的状态下，允许所述可动轴向所述轴向的移动及所述可动轴的旋转。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述轴承具有：轴承外筒，其配置于所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间；多个滚珠，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，并且与所述轴承外筒的内周面和所述可动轴的外周面接触；以及筒状的保持构件，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，保持所述多个滚珠。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述可动轴具有：抽吸口，其抽吸空气以使得在所述吸附部吸附所述输送对象物；以及轴内通路，其将所述抽吸口和所述插通孔的内部连通，所述壳体具有抽真空用口，所述抽真空用口与所述插通孔的内部连通，并且抽出所述抽吸口、所述轴内通路以及所述插通孔的内部的空气，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述抽真空用口靠所述抽吸口侧设置有第1密封构件。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述壳体具有收容所述第1密封构件的第1收容部，所述第1密封构件为环状，具有构成与所述可动轴的外周面的间隙密封的第1内周面、以及与所述第1内周面垂直的第1端面，通过作用大气压与真空压的压力差，从而作用所述第1端面上的密封力，所述第1密封构件的外形及厚度方向的尺寸是不受所述第1收容部限制的形状或者尺寸。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述抽真空用口靠与所述抽吸口相反的一侧设置有第2密封构件，所述壳体具有收容所述第2密封构件的第2收容部，所述第2密封构件为环状，具有构成与所述可动轴的外周面的间隙密封的第2内周面、以及与所述第2内周面垂直的第2端面，通过作用大气压与真空压的压力差，从而作用所述第2端面上的密封力，所述第2密封构件的外形及厚度方向的尺寸是不受所述第2收容部限制的形状或者尺寸，所述第2密封构件的与所述第2端面相反的一侧的端面成为所述从动轴的所述可动轴侧的端面能抵接的抵接面。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述从动轴的所述可动轴侧的端面与所述抵接面抵接的状态下，所述从动轴磁铁的所述可动轴侧的端面位于比所述驱动轴磁铁的所述可动轴侧的端面靠与所述可动轴相反的一侧。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述第1密封构件及所述第2密封构件为树脂制。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述第1密封构件设置于所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述轴承靠所述抽吸口侧。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述第1密封构件靠所述抽吸口侧设置有沿着所述可动轴的外周面的狭小的外周空间，所述外周空间与真空发生器连接。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述轴承中的被所述多个滚珠隔开的所述可动轴与所述轴承外筒之间的排出空间与真空发生器连接。

在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述排出空间连接有能切换地供给大气压和真空压的切换阀。

根据本发明，为简便、低成本的构成，也能长期地对输送对象物的搭载位置上的旋转位置进行高精度的定位。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式中的吸附缓冲装置的剖视图。

图2是表示驱动轴磁铁和从动轴磁铁的关系的剖视图。

图3是将吸附缓冲装置的一部分放大的剖视图。

图4是表示可动轴及从动轴朝向电动机壳体侧移动的状态的剖视图。

图5是表示可动轴及从动轴朝向电动机壳体侧进一步移动的状态的剖视图。

图6是表示输送对象物在被可动轴的突出端部的端面吸附的状态下离开载置面的状态的剖视图。

图7(a)是表示第2密封构件从收容孔向收容室侧飞出的状态的剖视图，图7(b)是表示第2密封构件复原到原位置的状态的剖视图。

图8(a)及图8(b)是表示本发明的其它实施方式中的吸附缓冲装置的一部分的剖视图。

附图标记说明

W：输送对象物；10：吸附缓冲装置；11：壳体；13b：抽真空用口；13c：切换阀；13d：真空发生器；13h：插通孔；14a：旋转轴；15：驱动轴；16：从动轴；17：可动轴；17a：抽吸口；17b：轴内通路；17e：作为吸附部执行功能的端面；20：驱动轴磁铁；20a、21a：N极；20b、21b：S极；21：从动轴磁铁；30：轴承；31：轴承外筒；31k：排出空间；32：滚珠；33：保持构件；41：第1密封构件；41a：第1内周面；41b：第1端面；42：第2密封构件；42a：第2内周面；42b：第2端面；42c：抵接面；44k：外周空间；131h：作为第2收容部的收容孔；134h：作为第1收容部的收容孔。

具体实施方式

以下按照图1～图7说明将吸附缓冲装置具体化的本发明的一实施方式。本实施方式的吸附缓冲装置吸附电子部件等输送对象物。另外，吸附缓冲装置安装于未图示的XYZ致动器的前端使用。

如图1所示，吸附缓冲装置10的壳体11具有电动机壳体12、以及与电动机壳体12连结的筒状的主体壳体13。在电动机壳体12内内置有电动机的转子14，该转子14具有旋转轴14a。主体壳体13以主体壳体13的轴向与旋转轴14a的轴向一致的方式与电动机壳体12连结。

旋转轴14a通过轴承12a能旋转地支承于电动机壳体12。旋转轴14a的两端贯通电动机壳体12并突出到电动机壳体12的外部。旋转轴14a的主体壳体13侧的端部贯通电动机壳体12突出到主体壳体13的内部。

吸附缓冲装置10具备驱动轴15，驱动轴15与旋转轴14a连结并且与旋转轴14a一体地旋转。驱动轴15的轴向与旋转轴14a的轴向一致。驱动轴15具有：圆筒状的大径部15a，其位于旋转轴14a侧；以及圆柱状的小径部15b，其与大径部15a连续，并且外径比大径部15a的外径小。小径部15b从大径部15a朝向与旋转轴14a相反的一侧延伸。

在大径部15a的内侧插入有旋转轴14a中的主体壳体13侧的端部。在旋转轴14a的插入到大径部15a的内侧的部位的外周面形成有平坦面14b。另外，在旋转轴14a的径向上，在大径部15a的与平坦面14b相对的部分形成有内螺纹孔15h。在内螺纹孔15h中螺合有螺钉14c。螺钉14c的前端与旋转轴14a的平坦面14b抵接。由此，旋转轴14a和驱动轴15通过螺钉14c连结。

吸附缓冲装置10具备有底圆筒状的从动轴16，驱动轴15插入到从动轴16的内侧。从动轴16的轴向与驱动轴15的轴向一致。从动轴16相对于驱动轴15能在轴向上移动。驱动轴15及从动轴16收容于主体壳体13的内部的形成于电动机壳体12侧的收容室13a。在驱动轴15的外周面与从动轴16的内周面之间具有余隙。

吸附缓冲装置10具备可动轴17，可动轴17与从动轴16连结，并能与从动轴16一体地在轴向上移动。可动轴17的轴向与从动轴16的轴向一致。在从动轴16的底部16e形成有螺钉插通孔16h。在可动轴17的从动轴16侧的端部形成有内螺纹孔17h。并且，在螺钉插通孔16h中插通的紧固螺钉18与内螺纹孔17h螺合，由此可动轴17通过紧固螺钉18而与从动轴16的底部16e连结。

在主体壳体13形成有可动轴17插通的插通孔13h。可动轴17的位于从动轴16相反侧的端部经由插通孔13h突出到主体壳体13的外部。可动轴17能从插通孔13h出没。可动轴17为具有抽吸口17a、以及将抽吸口17a和插通孔13h的内部连通的轴内通路17b的中空柱状。抽吸口17a在可动轴17的位于从动轴16相反侧的端部、即突出端部的端面17e开口。

轴内通路17b具有在可动轴17的轴向上延伸的轴路171b和在可动轴17的径向上延伸的路径172b。轴路171b的位于从动轴16相反侧的开口相当于上述的抽吸口17a。另外，轴路171b的从动轴16侧与内螺纹孔17h连续，由紧固螺钉18和从动轴16封闭轴路171b的从动轴16侧的端部。路径172b将轴路171b的从动轴16侧和插通孔13h的内部连通。

在驱动轴15的小径部15b的外周面设置有圆筒状的驱动轴磁铁20。在从动轴16的内周面设置有圆筒状的从动轴磁铁21。从动轴磁铁21相对于驱动轴磁铁20在与轴向正交的方向上相对配置。驱动轴磁铁20的轴向的长度和从动轴磁铁21的轴向的长度相同。在驱动轴磁铁20的外周面与从动轴磁铁21的内周面之间具有余隙。

如图2所示，驱动轴磁铁20构成为：以在周向上分割为多个(在本实施方式中为4个)磁极的方式使N极20a和S极20b交替地起磁。从动轴磁铁21构成为：在周向上分割为多个(在本实施方式中为4个)磁极，N极21a和S极21b交替地起磁。驱动轴磁铁20的各N极20a的外周面与从动轴磁铁21的各S极21b的内周面相对。驱动轴磁铁20的各S极20b的外周面与从动轴磁铁21的各N极21a的内周面相对。这样，驱动轴磁铁20的外周面和从动轴磁铁21的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，由此在驱动轴磁铁20的外周面和从动轴磁铁21的内周面的相互相对的面上，不同的磁极彼此利用磁力相对，形成为互相吸引的不接触状态，驱动轴15和从动轴16能一体地旋转。在驱动轴磁铁20的外周面与从动轴磁铁21的内周面之间设置有余隙，并成为如下构成：即使驱动轴15和从动轴16的轴有偏心，驱动轴磁铁20的外周面和从动轴磁铁21的内周面也不接触。

如图3所示，插通孔13h具有：圆孔状的收容孔131h，其与收容室13a连续；以及小径孔132h，其与收容孔131h的与收容室13a相反的一侧连续，并且孔径比收容孔131h的孔径小。并且，在收容孔131h与小径孔132h之间形成有在可动轴17的径向上延伸的环状的台阶面135h。另外，插通孔13h具有：轴承收容孔133h，其与小径孔132h的与收容孔131h相反的一侧连续，并且孔径比小径孔132h的孔径大；以及圆孔状的收容孔134h，其与轴承收容孔133h的与小径孔132h相反的一侧连续，并且孔径比轴承收容孔133h大。并且，在收容孔134h与轴承收容孔133h之间形成有在可动轴17的径向上延伸的环状的台阶面136h。

在可动轴17的外周面与轴承收容孔133h的内周面之间设置有轴承30。轴承30具有：圆筒状的轴承外筒31，其配置于可动轴17的外周面与轴承收容孔133h的内周面之间；多个滚珠32，其配置于轴承外筒31的内周面与可动轴17的外周面之间，并且与轴承外筒31的内周面和可动轴17的外周面接触；以及圆筒状的保持构件33，其保持多个滚珠32。保持构件33配置于轴承外筒31的内周面与可动轴17的外周面之间。保持构件33的轴向的长度比轴承外筒31的轴向的长度短。保持构件33保持多个滚珠32且使其能转动。

因为多个滚珠32与轴承外筒31的内周面和可动轴17的外周面接触，所以可动轴17以在可动轴17的径向上作用预压的状态被定位在插通孔13h的内部。另外，因为多个滚珠32能转动地被保持构件33保持，所以可动轴17在插通孔13h的内部能向可动轴17的轴向移动及旋转。因此，在可动轴17被轴承30在与可动轴17的轴向正交的方向上支承于主体壳体13的状态下，轴承30允许可动轴17向可动轴17的轴向的移动及可动轴17的旋转。

主体壳体13具有抽真空用口13b，抽真空用口13b与插通孔13h的内部连通，并且将抽吸口17a、轴内通路17b以及插通孔13h的内部的空气抽出。抽真空用口13b与小径孔132h及轴承收容孔133h连通。抽真空用口13b经由轴承外筒31的小径孔132h侧的开口与轴承外筒31的内侧连通。轴承外筒31的内侧是被多个滚珠32隔开的可动轴17与轴承外筒31之间的排出空间31k。另外，排出空间31k与路径172b连通。在抽真空用口13b上通过切换阀13c连接有喷射器等真空发生器13d。因此，排出空间31k经由抽真空用口13b与切换阀13c连接。另外，排出空间31k经由抽真空用口13b及切换阀13c而与真空发生器13d连接。通过切换阀13c的切换，对排出空间31k(抽真空用口13b)能切换地供给大气压和真空压。

在收容孔134h内收容有树脂制的第1密封构件41。因此，收容孔134h是收容第1密封构件41的第1收容部。第1密封构件41设置于可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间的比抽真空用口13b及轴承30靠抽吸口17a侧。第1密封构件41为圆环状。可动轴17在可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面滑动接触的状态下插入到第1密封构件41的内侧，可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面之间被密封。因此，第1密封构件41的内周面是构成与可动轴17的外周面的间隙密封的第1内周面41a。

另外，第1密封构件41在对抽真空用口13b供给真空压时，在第1密封构件41的轴向上作用由真空压与大气压的压力差产生的力，并与台阶面136h抵接，从而台阶面136h与第1密封构件41之间被密封。因此，第1密封构件41的与台阶面136h抵接的端面是与第1内周面41a垂直的第1端面41b，通过作用大气压与真空压的压力差从而作用第1端面41b上的密封力。第1密封构件41的轴向的厚度设定得比收容孔134h的深度薄，在不产生压力差的状态下不产生厚度方向的力。

第1密封构件41的外径比收容孔134h的内径小，在第1密封构件41的外周面与收容孔134h的内周面之间具有余隙。因此，由于在径向上也设置有间隙，所以第1密封构件41能不受限制地将向可动轴17滑动的阻力抑制得小，并且排除可动轴17与第1密封构件41的轴偏移的影响。因此，第1密封构件41的外形及厚度方向的尺寸是不受收容孔134h限制的形状或者尺寸。

在主体壳体13的与电动机壳体12相反的一侧的端面装配有防脱用的盖39，防脱用的盖39阻止第1密封构件41从收容孔134h脱落。盖39与主体壳体13的外形为相同形状，在中央具有贯通孔39h。可动轴17通过盖39的贯通孔39h。

在收容孔131h中收容有树脂制的第2密封构件42。因此，收容孔131h是收容第2密封构件42的第2收容部。第2密封构件42设置于可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间的比抽真空用口13b靠收容室13a侧。第2密封构件42为圆环状。可动轴17在可动轴17的外周面与第2密封构件42的内周面滑动接触的状态下插入到第2密封构件42的内侧，可动轴17的外周面与第2密封构件42的内周面之间被密封。因此，第2密封构件42的内周面是构成与可动轴17的外周面之间的间隙密封的第2内周面42a。

另外，第2密封构件42在对抽真空用口13b供给真空压时，在第2密封构件42的轴向上作用由真空压和大气压的压力差产生的力，并与台阶面135h抵接，从而台阶面135h与第2密封构件42之间被密封。因此，第2密封构件42的与台阶面135h抵接的端面是与第2内周面42a垂直的第2端面42b，通过作用大气压与真空压的压力差从而作用第2端面42b上的密封力。

第2密封构件42的外径比收容孔131h的内径小，在第2密封构件42的外周面与收容孔131h的内周面之间具有余隙。因此，由于在径向上也设置有间隙，所以第2密封构件42能不受限制地将向可动轴17滑动的阻力抑制得小，并且排除可动轴17和第2密封构件42的轴偏移的影响。因此，第2密封构件42的外形及厚度方向的尺寸是不受收容孔131h限制的形状或者尺寸。

如图1所示，从动轴16的可动轴17侧的端面能与第2密封构件42抵接。因此，第2密封构件42的与第2端面42b相反的一侧的端面成为从动轴16的可动轴17侧的端面能抵接的抵接面42c。在从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态下，从动轴磁铁21的可动轴17侧的端面位于比驱动轴磁铁20的可动轴17侧的端面靠与可动轴17相反的一侧。

从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态是可动轴17从插通孔13h最突出的状态。另外，从动轴16的电动机壳体12侧的端面与电动机壳体12抵接的状态是可动轴17从插通孔13h最没入的状态。即使是可动轴17从插通孔13h最没入的状态，可动轴17的与从动轴16相反的一侧的端部也经由插通孔13h突出到主体壳体13的外部。

如图4所示，未图示的致动器驱动，通过致动器的驱动，吸附缓冲装置10朝向载置于载置面W1上的输送对象物W移动，可动轴17的突出端部的端面17e从轴向按压到输送对象物W上。

从动轴16能在轴向上移动地收容在收容室13a内。在从动轴16能向轴向移动的范围内，从动轴磁铁21以其磁铁端部比驱动轴磁铁20的磁铁端部向电动机壳体12侧突出的方式配置。因此，在从动轴磁铁21与驱动轴磁铁20的端部一致的方向上作用轴向的吸引力。即，在可动轴17突出的方向上作用吸引力，从动轴16的底部16e在第2密封构件42的端面作用吸引力作为按压力。作为吸引力的该按压力构成为，在从动轴16的可动范围内以与位置无关而为恒定的方式使从动轴磁铁21和驱动轴磁铁20在轴向上偏移。驱动轴磁铁20及从动轴磁铁21不接触且使轴向的磁极的重叠偏移，驱动轴磁铁20及从动轴磁铁21使要复原的轴向的吸引力作用于可动轴17上同时能在轴向上移动。

当可动轴17的突出端部的端面17e按压到输送对象物W时，来自输送对象物W的按压反作用力作用于可动轴17，但是在超出基于所述吸引力的按压力前可动轴17不进行移动。当进一步进行按压动作时，所述按压反作用力与基于吸引力的按压力一致，成为平衡状态，在对输送对象物W施加恒定的按压力的状态下，可动轴17能向电动机壳体12侧移动。因为所述按压力是由于恒定的吸引力引起的，所以即使输送对象物W的高度方向的尺寸发生变化，所述按压力也作为作用恒定的按压力的缓冲功能发挥作用。

另外，如图4所示，当从动轴16的底部16e离开第2密封构件42的抵接面42c时，除了第2密封构件42的外形之外，厚度方向的限制变没。每当进行动作时，轴偏移就这样地解除，从而即使在有可动轴17和第2密封构件42的轴偏移的情况下，也可维持将向可动轴17滑动的阻力抑制得低的状态。

如图6所示，接下来，切换阀13c驱动，抽真空用口13b与真空发生器13d连接，抽吸口17a与输送对象物W之间的空气从抽吸口17a被抽吸，已从抽吸口17a抽吸的空气流过轴内通路17b及排出空间31k并从抽真空用口13b被吸出。由此，按压到输送对象物W的可动轴17的突出端部的端面17e与输送对象物W之间成为真空状态，输送对象物W被吸附到可动轴17的突出端部的端面17e。因此，抽吸口17a抽吸空气，以使得在可动轴17的突出端部的端面17e吸附输送对象物W。并且，可动轴17的突出端部的端面17e作为吸附输送对象物W的吸附部执行功能。

但是，如图7(a)所示，当可动轴17朝向电动机壳体12侧移动时，由于可动轴17的外周面与第2密封构件42的内周面之间的滑动阻力，有时第2密封构件42从收容孔131h向收容室13a侧飞出。即使在该情况下，当真空发生器13d驱动时，收容室13a内的空气流过收容孔131h及小径孔132h从抽真空用口13b被吸出，从而如图7(b)所示，第2密封构件42复原到原位置，成为第2密封构件42的第2端面42b与台阶面135h抵接的状态。因此，可维持第2密封构件42的轴心。

如图6所示，接下来，在输送对象物W被可动轴17的突出端部的端面17e吸附的状态下，致动器向Z轴向驱动，通过致动器的驱动，吸附缓冲装置10向与载置面W1相反的一侧移动。于是，由于作用于驱动轴磁铁20与从动轴磁铁21之间的吸引力，直至从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接，在用基于吸引力的恒定的力将输送对象物W按压到载置面W1的状态下，可动轴17及从动轴16一体地移动。并且，成为从动轴16的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态，输送对象物W在被可动轴17的突出端部的端面17e吸附的状态下离开载置面W1。然后，将输送对象物W输送到目的输送位置。

此时，进行如下：调整输送对象物W的以可动轴17的轴线为旋转中心的旋转方向的朝向。具体地，在输送对象物W被可动轴17的端面17e吸附后，吸附缓冲装置10向上方移动，当从动轴16的底部16e再次与第2密封构件42的抵接面42c抵接时，输送对象物W离开载置面W1。在该状态下，从动轴16的底部16e为以一定负荷按压到第2密封构件42的抵接面42c的状态，作为抑制可动轴17的上下运动的力发挥作用。接着，在装置侧，通过对输送对象物W进行摄像及图像处理，从而运算出向搭载位置的校正距离及校正角度。XYZ致动器向移载位置进行XY移动，同时吸附缓冲装置10侧的转子14驱动，旋转轴14a旋转，伴随旋转轴14a的旋转，驱动轴15与旋转轴14a一体地旋转。在此，驱动轴磁铁20的外周面和从动轴磁铁21的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，所以在驱动轴磁铁20的外周面和从动轴磁铁21的内周面的相互相对的面上不同的磁极彼此相互相对的状态下，驱动轴15和从动轴16一体地旋转。由此，可动轴17也与从动轴16一体地旋转，输送对象物W的以可动轴17的轴线为旋转中心的旋转方向的朝向被调整。在这样进行该输送对象物W的XY位置和旋转方向的朝向(角度)的调整后，致动器在Z轴向下降，输送对象物W被输送到目的输送位置。此时，如图4所示，再次成为缓冲动作模式，进行对输送对象物W的缓冲，通过切换阀13c切换为大气压，从而吸附被解除。

在此对输送对象物W的输送进行了记述，但是作为输送目的地，有时需要将输送对象物W例如压入到载置面W1等操作。在该情况下，如图5所示，当可动轴17的突出端部的端面17e进一步按压到输送对象物W时，可动轴17及从动轴16一体地进一步朝向电动机壳体12侧移动。并且，当从动轴16的电动机壳体12侧的端面与电动机壳体12抵接时，超出由驱动轴15及从动轴16的磁铁产生的恒定的吸引力，会直接作用由致动器的驱动产生的力。因此，按压力从一定的缓冲功能模式转移到将输送对象物W压入载置面W1的压入功能模式。此时的压入操作力通过致动器侧的按压力的控制进行。

接着，对本实施方式的作用进行说明。

有时旋转轴14a的轴线和可动轴17的轴线不一致，旋转轴14a和可动轴17产生轴偏移。即使在该情况下，驱动轴磁铁20的外周面与从动轴磁铁21的内周面之间的余隙也吸收旋转轴14a和可动轴17的轴偏移，并且伴随旋转轴14a的旋转，驱动轴15、从动轴16以及可动轴17一体地旋转。因此，即使旋转轴14a和可动轴17产生轴偏移，在输送对象物W伴随旋转轴14a的旋转而旋转时，也可抑制在与可动轴17的轴线正交的平面方向上输送对象物W的位置偏移。

另外，当可动轴17在轴向上移动或者旋转时，有时可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面滑动接触而产生摩擦粉末。另外，当可动轴17在轴向上移动或者旋转时，有时可动轴17的外周面和多个滚珠32滑动接触而产生摩擦粉末，或者多个滚珠32和轴承外筒31的内周面滑动接触而产生摩擦粉末。

当真空发生器13d驱动时，排出空间31k的空气从抽真空用口13b被吸出，因此上述的摩擦粉末也经由可动轴17的外周面与保持构件33的内周面之间、保持构件33的外周面与轴承外筒31的内周面之间、以及排出空间31k与空气一起从抽真空用口13b被吸出。因此，可抑制摩擦粉末经由可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面之间释放到主体壳体13的外部。

另外，即使是从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态，也成为在驱动轴磁铁20与从动轴磁铁21之间作用要使驱动轴磁铁20和从动轴磁铁21的轴向的偏移复原的吸引力的状态。因此，在从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态下，针对第2密封构件42作用来自从动轴16的按压力。当在该状态下驱动轴15和从动轴16一体地旋转时，从动轴16的可动轴17侧的端面和第2密封构件42的抵接面42c滑动。但是，因为第2密封构件42为树脂制，所以与例如第2密封构件42为橡胶制的情况相比，可抑制从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c之间的滑动阻力。

在上述实施方式中能得到以下效果。

(1)在与旋转轴14a连结的驱动轴15的外周面设置有驱动轴磁铁20，在与可动轴17连结的从动轴16的内周面设置有从动轴磁铁21。并且，驱动轴磁铁20的外周面与从动轴磁铁21的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，由此驱动轴15和从动轴16不接触且能在旋转方向上一体地旋转。可动轴17在被轴承30在与可动轴17的轴向正交的方向上支承于主体壳体13的状态下，允许可动轴17向轴向的移动及可动轴17的旋转。即使在旋转轴14a的轴线与可动轴17的轴线不一致，旋转轴14a和可动轴17产生轴偏移的情况下，也在驱动轴磁铁20的外周面与从动轴磁铁21的内周面之间吸收旋转轴14a和可动轴17的轴偏移，同时伴随旋转轴14a的旋转，驱动轴15、从动轴16以及可动轴17一体地旋转。因此，即使旋转轴14a和可动轴17产生轴偏移，在输送对象物W伴随旋转轴14a的旋转而旋转时，也能抑制在与可动轴17的轴线正交的平面方向上输送对象物W的位置偏移。因此，为简便、低成本的构成，也能长期地对输送对象物W的搭载位置上的旋转位置进行高精度的定位。

(2)轴承30具有：轴承外筒31，其配置于可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间；多个滚珠32，其配置于轴承外筒31的内周面与可动轴17的外周面之间，并且与轴承外筒31的内周面和可动轴17的外周面接触；以及筒状的保持构件33，其保持多个滚珠32。使用多个滚珠32的轴承30适宜作为如下构成：在插通孔13h的内部，在可动轴17的径向上对可动轴17作用预压的状态下，定位精度高，为滚动摩擦，滑动阻力极低，且允许可动轴17向轴向的移动及旋转。

(3)在可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间的比抽真空用口13b靠抽吸口17a侧设置有树脂制的第1密封构件41。第1密封构件41抑制插通孔13h的内部的空气经由插通孔13h的比抽真空用口13b靠抽吸口17a侧的开口泄漏到主体壳体13的外部。另外，当可动轴17在轴向上移动或者旋转时，有时可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面滑动接触而产生摩擦粉末。由于插通孔13h的内部的空气从抽真空用口13b被吸出，所以摩擦粉末也与空气一起从抽真空用口13b被吸出。因此，能抑制摩擦粉末经由可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面之间释放到主体壳体13的外部。

(4)第1密封构件41的外形及厚度方向的尺寸是不被收容孔134h限制的形状或者尺寸。据此，在将可动轴17插入到第1密封构件41的内侧时，允许第1密封构件41的收容孔134h的内侧的可动轴17向径向的移动。因此，可动轴17和第1密封构件41安装时的同轴性、尺寸精度不受影响，能较低地保持滑动阻力，能提高旋转定位精度。

(5)第2密封构件42的外形及厚度方向的尺寸是不被收容孔131h限制的形状或者尺寸。据此，在将可动轴17插入到第2密封构件42的内侧时，允许第2密封构件42的收容孔131h的内侧的可动轴17向径向的移动。因此，可动轴17和第2密封构件42安装时的同轴性、尺寸精度不受影响，能将滑动阻力保持得较低，能提高旋转定位精度。

(6)即使由于第1密封构件41及第2密封构件42使抽真空用口13b的压力产生变动，作用于第1密封构件41及第2密封构件42的压力也平衡，所以压力变动不作用于可动轴17上。另外，第2密封构件42的与第2端面42b相反的一侧的端面成为从动轴16的可动轴17侧的端面能抵接的抵接面42c。据此，第2密封构件42的抵接面42c兼作承受角度调整动作时的从动轴16的推力负荷的轴承，能减小角度调整时的摩擦系数，并能减少旋转位置误差。

(7)在从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态下，从动轴磁铁21的可动轴17侧的端面位于比驱动轴磁铁20的可动轴17侧的端面靠与可动轴17相反的一侧。据此，即使是从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态，也成为在驱动轴磁铁20与从动轴磁铁21之间作用要使驱动轴磁铁20和从动轴磁铁21的轴向的偏移复原的吸引力的状态。因此，即使是从动轴16的移动初期，也在驱动轴磁铁20与从动轴磁铁21之间作用要使驱动轴磁铁20和从动轴磁铁21的轴向的偏移复原的吸引力，因此，即使在从动轴16的移动初期，也能将可动轴17的突出端部的端面17e按压到输送对象物W的按压力设为恒定的按压力。

(8)第1密封构件41及第2密封构件42为树脂制。据此，第1密封构件41及第2密封构件42不易产生如弹性构件那样的变形，得到稳定的低滑动。具体地，例如在从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c抵接的状态下，来自从动轴16的按压力作用于第2密封构件42。因此，当在该状态下驱动轴15和从动轴16一体地旋转时，从动轴16的可动轴17侧的端面和第2密封构件42的抵接面42c滑动。但是，因为第2密封构件42为树脂制，所以与例如第2密封构件42为橡胶制的情况相比，能抑制从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42的抵接面42c之间的滑动阻力。

(9)第1密封构件41设置于可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间的比轴承30靠抽吸口17a侧。据此，即使在轴承30中产生粉尘，插通孔13h的内部的空气也从抽真空用口13b被吸出，并且摩擦粉末也与空气一起从抽真空用口13b被吸出。因此，能抑制摩擦粉末经由可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面之间释放到主体壳体13的外部。

(10)排出空间31k与真空发生器13d连接。据此，通过真空发生器13d产生的真空进行粉尘的排出，可实现旋转位置精度的长期稳定化。

(11)在排出空间31k连接有切换阀13c，切换阀13c用于能切换地供给大气压和真空压。据此，通过切换阀13c的切换，高速地进行从大气到达真空，从而空气的排出速度提高，且排出效果提高。由于排出效果提高，从而可实现旋转定位精度的长期稳定化。

(12)在上述构成的吸附缓冲装置10中，在组装吸附缓冲装置10时，不必以旋转轴14a的轴线和可动轴17的轴线一致的方式进行各部件的组装，因此能容易进行吸附缓冲装置10的组装操作。

此外，上述实施方式也可以变更为如下。

·如图8(a)所示，主体壳体13也可以在可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间的比第1密封构件41靠与抽真空用口13b相反的一侧进一步具有抽吸孔43。在抽吸孔43上经由配管43c连接有真空发生器13d。配管43c的真空发生器13d侧的端部与连接配管13e连接，连接配管13e连接真空发生器13d和切换阀13c。

在插通孔13h内，在相对于第1密封构件41而与轴承30相反的一侧设置有环状的间隔物44。在间隔物44的内侧插通可动轴17。在间隔物44的内周面与可动轴17的外周面之间具有余隙。该余隙是沿着可动轴17的外周面的狭小的外周空间44k。在间隔物44中形成有与抽吸孔43连通的连通孔44a。外周空间44k经由连通孔44a、抽吸孔43、配管43c以及连接配管13e与真空发生器13d连接。

当真空发生器13d驱动时，在可动轴17的外周面与第1密封构件41的内周面之间产生的摩擦粉末与流过外周空间44k及连通孔44a的空气一起从抽吸孔43被吸出。因此，可抑制摩擦粉末释放到主体壳体13的外部。这样，通过在主体壳体13上另外设置用于吸出摩擦粉末的抽吸孔43，从而能始终从抽吸孔43吸出摩擦粉末。因为外周空间44k狭小，所以从外周空间44k经由连通孔44a吸出到抽吸孔43的空气的流速提高，排出效果大。

·如图8(b)所示，第1密封构件41也可以配置于可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间的比抽真空用口13b靠抽吸口17a侧、且比轴承30靠抽真空用口13b侧。在插通孔13h的内部，且在可动轴17的轴向上设置有配置于第1密封构件41与第2密封构件42之间的间隔物45。在间隔物45中形成有将路径172b和抽真空用口13b连通的连通孔45a。

·在实施方式中，在从动轴16的可动轴17侧的端面与第2密封构件42抵接的状态下，从动轴磁铁21的可动轴17侧的端面和驱动轴磁铁20的可动轴17侧的端面也可以是在可动轴17的轴向上相同的位置。

·在实施方式中，作为轴承30也可以使用圆筒状的滑动轴承。

·在实施方式中，第1密封构件41及第2密封构件42也可以为橡胶制、金属制。

·在实施方式中，电动机也可以不内置于壳体11，也可以是将设置于壳体11的外部的电动机的电动机轴的旋转通过动力传递机构传递到旋转轴14a的构成。

Claims (11)

1.一种吸附缓冲装置，其特征在于，具备：

壳体；

旋转轴，其能旋转地支承于所述壳体；

驱动轴，其收容于所述壳体内，与所述旋转轴一体地旋转；

筒状的从动轴，在其内侧插入所述驱动轴，并且所述从动轴相对于所述驱动轴能在轴向上移动；

可动轴，其能与所述从动轴一体地在所述轴向上移动，并且在所述可动轴的与所述从动轴相反的一侧的端部具有吸附输送对象物的吸附部；

筒状的驱动轴磁铁，其设置于所述驱动轴的外周面；以及

筒状的从动轴磁铁，其设置于所述从动轴的内周面，并且在与所述轴向正交的方向上与所述驱动轴磁铁相对配置，

所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁以在周向上分割为多个磁极的方式使N极和S极交替地起磁，通过所述驱动轴磁铁的外周面和所述从动轴磁铁的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，从而所述驱动轴和所述从动轴不接触且能在旋转方向上一体地旋转，所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁不接触且使轴向的磁极的重叠偏移，使要复原的轴向的吸引力作用于所述可动轴同时能在轴向上移动，

在所述壳体中形成有所述可动轴插通的插通孔，

在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间设置有轴承，所述轴承在将所述可动轴在与所述轴向正交的方向上支承于所述壳体的状态下，允许所述可动轴向所述轴向的移动及所述可动轴的旋转。

2.根据权利要求1所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述轴承具有：

轴承外筒，其配置于所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间；

多个滚珠，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，并且与所述轴承外筒的内周面和所述可动轴的外周面接触；以及

筒状的保持构件，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，保持所述多个滚珠。

3.根据权利要求2所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述可动轴具有：抽吸口，其抽吸空气以使得在所述吸附部吸附所述输送对象物；以及轴内通路，其将所述抽吸口和所述插通孔的内部连通，

所述壳体具有抽真空用口，所述抽真空用口与所述插通孔的内部连通，并且抽出所述抽吸口、所述轴内通路以及所述插通孔的内部的空气，

在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述抽真空用口靠所述抽吸口侧设置有第1密封构件。

4.根据权利要求3所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述壳体具有收容所述第1密封构件的第1收容部，

所述第1密封构件为环状，具有构成与所述可动轴的外周面的间隙密封的第1内周面、以及与所述第1内周面垂直的第1端面，

通过作用大气压与真空压的压力差，从而作用所述第1端面上的密封力，

所述第1密封构件的外形及厚度方向的尺寸是不受所述第1收容部限制的形状或者尺寸。

5.根据权利要求4所述的吸附缓冲装置，其特征在于，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述抽真空用口靠与所述抽吸口相反的一侧设置有第2密封构件，

所述壳体具有收容所述第2密封构件的第2收容部，

所述第2密封构件为环状，具有构成与所述可动轴的外周面的间隙密封的第2内周面、以及与所述第2内周面垂直的第2端面，

通过作用大气压与真空压的压力差，从而作用所述第2端面上的密封力，

所述第2密封构件的外形及厚度方向的尺寸是不受所述第2收容部限制的形状或者尺寸，

所述第2密封构件的与所述第2端面相反的一侧的端面成为所述从动轴的所述可动轴侧的端面能抵接的抵接面。

6.根据权利要求5所述的吸附缓冲装置，其特征在于，在所述从动轴的所述可动轴侧的端面与所述抵接面抵接的状态下，所述从动轴磁铁的所述可动轴侧的端面位于比所述驱动轴磁铁的所述可动轴侧的端面靠与所述可动轴相反的一侧。

7.根据权利要求5所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述第1密封构件及所述第2密封构件为树脂制。

8.根据权利要求4～权利要求7中的任一项所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述第1密封构件设置于所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述轴承靠所述抽吸口侧。

9.根据权利要求4～权利要求7中的任一项所述的吸附缓冲装置，其特征在于，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述第1密封构件靠所述抽吸口侧设置有沿着所述可动轴的外周面的狭小的外周空间，

所述外周空间与真空发生器连接。

10.根据权利要求2所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述轴承中的被所述多个滚珠隔开的所述可动轴与所述轴承外筒之间的排出空间与真空发生器连接。

11.根据权利要求10所述的吸附缓冲装置，其特征在于，在所述排出空间连接有能切换地供给大气压和真空压的切换阀。